DE69632762T2

DE69632762T2 - Herstellungsverfahren für eine Gasentladungsanzeigetafel

Info

Publication number: DE69632762T2
Application number: DE69632762T
Authority: DE
Inventors: Shinya Kyoto-shi Fujiwara
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp
Priority date: 1995-04-20
Filing date: 1996-04-18
Publication date: 2005-07-14
Anticipated expiration: 2016-04-19
Also published as: CN1196162C; DE69632762D1; EP0739026A3; TW320732B; KR960039075A; CA2174613A1; CA2174613C; EP0739026A2; EP0739026B1; CN1147685A; KR100287498B1; US5876542A; CN1395276A; CN1073273C

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft allgemein ein Verfahren zur Herstellung einer Gasentladungsdisplayeinheit zum Anzeigen von Zeichen und Bildern durch Verwenden einer Gasentladung.
Aus den PATENT ABSTRACTS OF JAPAN Band 095, Nr. 005, 30. Juni 1995 und JP 07 045190 A (DAINIPPON PRINTING COMPANY LTD), 14. Februar 1995, ist ein Verfahren zum Ausbilden einer Barriere einer Plasmadisplaytafel bekannt. Eine Trennwandschicht entsteht, indem zwei oder mehr Arten von Glaspasten, deren Schleifgeschwindigkeiten voneinander verschieden sind, geschichtet werden, und diejenige Glaspaste, deren Schleifgeschwindigkeit groß ist, wird als Glaspaste der untersten Schicht verwendet. Da die Glaspaste der untersten Schicht durch Sandstrahlen leicht geschliffen werden kann, kann die Beschädigung einer unteren Oberfläche wie etwa einer Elektrode reduziert werden, wenn das Sandblasen durchgeführt wird.
Jüngst wurde eine Gasentladungsdisplayeinheit (Plasmadisplaytafel) als eine ebene Displayeinheit für ein Informationsterminal wie etwa einen tragbaren Computer eingesetzt. Die Gasentladungsdisplayeinheit findet breite Anwendung, da das Display klar ist und der Winkel der Sichtbarkeit größer ist als der einer Flüssigkristalltafel.
Außerdem ist die Größe eines Fernsehbildempfängers so gesteigert worden, daß ein Fernseher vom Projektionstyp, der eine Projektionskathodenstrahlröhre oder eine Flüssigkristalltafel verwendet, vermarktet wird. Die Helligkeit des Schirms und die Größe der Einrichtung haben jedoch zu Problemen geführt.
Andererseits ist die Farbgebungstechnologie der Gasentladungsdisplayeinheit jüngst bemerkenswert entwickelt worden. Die Tiefe der Einheit kann stärker als die der Kathodenstrahlröhre reduziert werden. Folglich ist die Aufmerksamkeit auf die Gasentladungsdisplayeinheit als der beste Wandfernseher für hohe Sichtbarkeit gelenkt worden. Außerdem wird erwartet, daß Farben präzise wiedergegeben und die Helligkeit und Lebensdauer verbessert werden.
Ein Beispiel für eine Gleichstromgasentladungsdisplayeinheit vom Speicheransteuerungstyp gemäß dem Stand der Technik wird unten unter Bezugnahme auf 8 beschrieben. Wie in 8 gezeigt, werden mehrere streifenförmige Kathodenelektroden 22 auf einer Vorderplatte 21 ausgebildet, die aus einem transparenten Glas oder dergleichen besteht. Mehrere streifenförmige Anodenbusse 24a sind auf einer Rückplatte 23 ausgebildet, die aus einem transparenten Glas oder dergleichen hergestellt ist. Die Vorderplatte 21 liegt der Rückplatte 23 gegenüber, wobei mehrere Trennwände 25 derart dazwischen gehalten werden, daß die Kathodenelektroden 22 orthogonal zu den Anodenbussen 24a liegen. Somit werden viele Entladungszellen 26, die von den Trennwänden 25 umgeben sind, wie eine Matrix ausgebildet. Die peripheren Teile der Vorderplatte 21 und der Rückplatte 23, die kombiniert sind, werden mit einem Glas oder dergleichen mit einem niedrigen Schmelzpunkt abgedichtet. Entladungsgase, deren Hauptkomponente ein inertes Gas ist, werden in die Entladungszelle 26 gefüllt.
Anodenelektroden 24b werden entsprechend jeweiligen Entladungszellen 26 auf der Rückplatte 23 individuell ausgebildet. Eine Displayelektrode 27 wird auf jeder Anodenelektrode 24b in der Entladungszelle 26 ausgebildet. Die Displayelektrode 27 ist über einen Widerstand 28 mit dem Anodenbus 24a verbunden. So wird ein Paar Entladungselektroden in der Entladungszelle 26 durch die Kathodenelektroden 22 und die Displayelektrode (Anode) 27 ausgebildet. In 8 bezeichnet die Bezugszahl 31 eine Hilfselektrode zum Erzeugen einer Hilfsentladung, damit die Entladung in der Entladungszelle 26 leicht gestartet wird.
Ein schichtenisolierender Film 30 ist auf der Rückplatte 23 ausgebildet, aber nicht auf dem Teil der Displayelektrode 27, auf dem der Anodenbus 24a, die Anodenelektrode 24b und der Widerstand 28 ausgebildet sind. Folglich kann verhindert werden, daß zwischen einem Plasma in der Entladungszelle 26 und dem Anodenbus 24a oder Widerstand 28 eine Entladung auftritt. Ein Leuchtstoff 29 wird auf den schichtenisolierenden Film 30 in der Entladungszelle 26 aufgetragen, aber nicht auf den Teil der Displayelektrode 27.
Die Vorderplatte 21 ist mit Ausnahme des Teils mit der Kathodenelektrode 22 transparent.
Die Oberfläche des Leuchtstoffs 29 kann durch die Entladungszelle 26 direkt betrachtet werden.
Die Kathodenelektrode 22, der Anodenbus 24a, die Anodenelektrode 24b, die Displayelektrode 27, der Widerstand 28, der schichtenisolierende Film 30, der Leuchtstoff 29, die Trennwand 25 und dergleichen werden durch Dickfilmdrucktechnologie auf der Vorderplatte 21 oder der Rückplatte 23 ausgebildet, die aus der Glasplatte oder dergleichen hergestellt ist.
Um die Pixeldichte zu erhöhen und die feineren Bilder in der obigen Struktur ähnlich zu Fernsehen mit hoher Sichtbarkeit zu reproduzieren, müssen Trennwände, die Entladungszellen ausbilden, hyperfein ausgebildet werden. Genauer gesagt, sollte die Trennwand mit einer Höhe von 160 bis 200 μm und einer Breite von 50 bis 60 μm ausgebildet werden. Insbesondere sollte 1 Punkt durch drei Entladungszellen R, G und B ausgebildet werden, damit Farbbilder angezeigt werden. Falls jedoch feine Bilder angezeigt werden sollen, müssen Trennwände mit sehr geringer Größe und hochpräzisen Maßen ausgebildet werden.
Ein Verfahren zum Ausbilden der Trennwände einer Gasentladungsdisplayeinheit gemäß dem Stand der Technik wird unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. Die 9(a) bis 9(c) sind Ansichten, die die Schritte des Ausbildens von Trennwänden in der Gasentladungsdisplayeinheit gemäß dem Stand der Technik zeigen. 10 ist eine Ansicht, die den Sandstrahlschritt schematisch zeigt. In den 9(a) bis 9(b) und 10 sind diejenigen Komponenten, die die Ausbildung von Trennwänden nicht betreffen, weggelassen.
Wie in 9(a) gezeigt, wird durch das Rakelbeschichtungsverfahren eine Rippenpaste 32 zum Ausbilden einer Trennwand 25 auf eine Rückplatte 23 aufgetragen, die aus einem transparenten Glas oder dergleichen besteht, auf dem eine Anodenelektrode 24b ausgebildet wird. Dann wird die Rippenpaste 32 getrocknet und verfestigt. Dann wird ein lichtempfindlicher Film 33 wie in 9(b) gezeigt auf der Rippenpaste 32 fixiert. Danach werden Ultraviolettstrahlen durch eine Belichtungsmaske, auf der Trennmuster ausgebildet sind, auf den lichtempfindlichen Film 33 gestrahlt, und der sensibilisierte Teil wird entwickelt und entfernt, und so entsteht ein Maskenmuster 34, wie in 9(c) gezeigt. Wie in 9(d) gezeigt, werden Schleifteilchen wie etwa Glasperlen mit Hilfe einer Sandstrahleinrichtung mit einer Strahlkanone 35 auf die Rippenpaste 32 geblasen. Dadurch wird die Rippenpaste 32 mit Ausnahme des Teils, auf dem das Maskenmuster 34 entsteht, geschnitten. Schließlich wird das Maskenmuster 34 unter Verwendung eines Ablösemittels entfernt, wie in 9(e) gezeigt. So werden die Trennwände (25) auf der Rückplatte 23 ausgebildet.
Wie in 10 gezeigt, wird die Rückplatte 23 in einer Richtung bewegt und die Sandstrahleinrichtung (Strahlkanone 35) bewegt sich in der senkrecht zur Bewegungsrichtung der Rückplatte 23 verlaufenden Richtung hin und her über dem Maskenmuster 34 auf der Rückplatte 23. In diesem Zustand wird der Schleifsand wie etwa Glasperlen durch die Düse der Strahlkanone 35 gejagt. Folglich wird die Rippenpaste 32 auf dem Teil, wo das Maskenmuster 34 nicht ausgebildet ist, geschnitten und entfernt.
Zur Herstellung der Gasentladungsdisplayeinheit gemäß dem Stand der Technik wird ein Material für die Trennwand über Dickfilmdrucktechnologie auf dem ganzen Glassubstrat aufgetragen und nicht erforderliche Teile werden bei dem Sandstrahlschritt entfernt, so daß die Trennwand ausgebildet wird. Mit anderen Worten sollte das Material für die Trennwand die folgenden Eigenschaften aufweisen: (1) Haftung am Glassubstrat, (2) Schneideigenschaften für den Sandstrahlschritt, (3) Haftung an einem Lack für eine Maske während des Sandstrahlens, (4) Beständigkeit gegenüber einem Ablösemittel, das zum Ablösen und Entfernen des Lacks nach dem Schneiden der Rippenpaste verwendet wird, und dergleichen. Es ist jedoch für das Material für die Trennwand gemäß dem Stand der Technik sehr schwer, alle diese Eigenschaften zu erfüllen.
Gemäß der Trennwand mit der obigen Struktur und dem Verfahren zu ihrer Herstellung weisen die Form und die Maße der Trennwand Begrenzungen auf, das heißt eine Breite von (100 ± 10) μm und eine Höhe von (200 ± 5) μm. Außerdem beträgt der Mittenabstand der Entladungszellen höchstens (650 ± 10) μm. Es ist dementsprechend sehr schwierig, feine Trennwände und Entladungszellen mit hohen Dichten zur Ausbildung von Pixeln auszubilden, die Bilder mit hoher Präzision reproduzieren können.
Gemäß dem Verfahren zur Herstellung der Gasentladungsdisplayeinheit gemäß dem Stand der Technik wird die Rippenpaste allgemein durch Sandstrahlen mit Hilfe einer Sandstrahleinrichtung mit einer Strahlkanone geschnitten und entfernt. 11 zeigt den Einfluß, den der Strahldruck des Schleifsands, der während des Sandstrahlens mit Hilfe der Strahlkanone aufgebracht wird, auf die Schneidgeschwindigkeit der Rippenpaste und das Ausmaß des Seitenätzens der Trennwand hat. 12 zeigt den Einfluß, der von der Entfernung zwischen der Rippenpaste und der Strahlkanone (Strahlabstand) auf die Schneidgeschwindigkeit der Rippenpaste und das Ausmaß des Seitenätzens der Trennwand ausgeübt wird. Wie in 11 gezeigt steigt bei Anhebung des Strahldrucks P eine Schneidgeschwindigkeit Rs der Rippenpaste und das Ausmaß Es des Seitenätzens der Trennwand steigt mit einem größeren Verhältnis als die Schneidgeschwindigkeit Rs. Falls der Strahldruck P auf einen relativen Wert mit einem kleineren Ausmaß Es am Seitenätzen eingestellt ist, d. h. 3 oder weniger, so daß der Injektionsabstand reduziert werden muß, um die Schneidgeschwindigkeit Rs anzuheben, steigt das Ausmaß des Seitenätzens wieder an, wie in 12 gezeigt. Wie in 13(a) gezeigt, sollte die Trennwand 25 im Schnitt eine rechteckige Form aufweisen. Die Trennwand 25 weist jedoch eine konkav gekrümmte Fläche auf, so daß die Breite des Abschnitts an ihrem Mittelteil reduziert ist. Aus diesem Grund sind die Präzision und die Stärke der Trennwand reduziert.
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Bereitstellung eines Verfahrens zur Herstellung einer Gasentladungsdisplayeinheit mit einer Trennwandstruktur, die für die Ausbildung einer Entladungszelle nützlich ist, die sich für das Farbbilddisplay mit hoher Präzision eignet.
Die vorliegende Erfindung stellt ein Verfahren zur Herstellung einer Gasentladungsdisplayeinheit gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1 bereit, das dadurch gekennzeichnet ist, daß die Trennwände ausgebildet werden, indem die Schneidgeschwindigkeiten der mehreren Strahlkanonen so gesteuert werden, daß sie voneinander verschieden sind. Gemäß dem Verfahren zur Herstellung einer Gasentladungsdisplayeinheit werden mehrere Strahlkanonen in der Bewegungsrichtung des zweiten Substrats bereitgestellt. Die Schneidgeschwindigkeit jeder Strahlkanone wird so eingestellt, daß sie sequentiell in Bewegungsrichtung des zweiten Substrats abnimmt. Folglich kann das Ausmaß des Seitenätzens der Trennwand soweit wie möglich gesteuert werden und der Durchsatz einer Herstellungsvorrichtung kann erhöht werden. Die isolierende Schicht an einem spezifischen Teil wird mit einer allmählich abnehmenden Schneidgeschwindigkeit geschnitten und entfernt. Dadurch wird das Ausmaß des Seitenätzens der Trennwand reduziert. Da die Sandstrahleinrichtung mit mehreren Strahlkanonen verwendet wird, wird der Durchsatz der Herstellungsvorrichtung nicht gesenkt.
Bei dem Verfahren zur Herstellung einer Gasentladungsdisplayeinheit der vorliegenden Erfindung wird bevorzugt, daß die vorliegende Erfindung weiterhin den Schritt des Ausbildens eines isolierenden Films auf dem zweiten Substrat vor dem Ausbilden einer isolierenden Schicht umfaßt, so daß die isolierende Schicht auf dem isolierenden Film ausgebildet wird.
Gemäß dem Verfahren zur Herstellung einer Gasentladungsdisplayeinheit der vorliegenden Erfindung wird bevorzugt, daß die zweite Elektrode einen Anodenbus, eine durch einen Widerstand mit dem Anodenbus verbundene Anodenelektrode und eine auf der Anodenelektrode ausgebildete Displayelektrode umfaßt, weiterhin mit dem Schritt des Ausbildens eines isolierenden Films auf dem zweiten Substrat mit Ausnahme der Displayelektrode, so daß die isolierende Schicht auf dem isolierenden Film ausgebildet wird.
Gemäß dem Verfahren zur Herstellung einer Gasentladungsdisplayeinheit der vorliegenden Erfindung wird bevorzugt, daß die isolierende Schicht aus einer ersten, zweiten und dritten isolierenden Schicht ausgebildet wird, die sequentiell von der Seite des zweiten Substrats laminiert sind. In diesem Fall wird bevorzugt, daß die erste isolierende Schicht, die aus einem Material hergestellt ist, dessen Hauptkomponenten 1,0 bis 3,0 Gewichtsprozent eines Harzbindemittels und eine Glasfritte sind, die zweite isolierende Schicht, die aus einem Material hergestellt ist, dessen Hauptkomponenten 0,5 bis 1,5 Gewichtsprozent eines Harzbindemittels und eine Glasfritte sind, und die dritte isolierende Schicht, die aus einem Material hergestellt ist, dessen Hauptkomponenten 2,0 bis 5,0 Gewichtsprozent eines Harzbindemittels und eine Glasfritte sind, bei einer vorbestimmten Temperatur laminiert und gesintert werden. In diesem Fall wird bevorzugt, daß die erste isolierende Schicht mit einer Dicke von 5 bis 15 μm, die zweite isolierende Schicht mit einer Dicke von 100 bis 250 μm und die dritte isolierende Schicht mit einer Dicke von 5 bis 30 μm ausgebildet sind. Weiterhin wird bevorzugt, daß die zweite isolierende Schicht durch Laminieren mehrerer isolierender Schichten ausgebildet ist. Bevorzugt besteht die dritte isolierende Schicht aus einem schwarzen Material.
Gemäß dem Verfahren zur Herstellung einer Gasentladungsdisplayeinheit der vorliegenden Erfindung wird bevorzugt, daß die Strahldrücke der Strahlkanonen variiert werden. Gemäß dem bevorzugten Beispiel ist es möglich, die isolierende Schicht an einem Teil zu entfernen, wo das Maskenmuster nicht ausgebildet ist, während die Schneidgeschwindigkeiten der Strahlkanonen gesteuert werden.
Gemäß dem Verfahren zur Herstellung einer Gasentladungsdisplayeinheit der vorliegenden Erfindung wird bevorzugt, daß die Düsenkaliber der Strahlkanonen variiert werden. Gemäß dem bevorzugten Beispiel ist es möglich, die isolierende Schicht an einem Teil zu entfernen, wo das Maskenmuster nicht ausgebildet ist, während die Schneidgeschwindigkeiten der Strahlkanonen gesteuert werden.
Gemäß dem Verfahren zur Herstellung einer Gasentladungsdisplayeinheit der vorliegenden Erfindung wird bevorzugt, daß die Entfernungen zwischen den Düsenspitzen der Strahlkanonen und der Oberflächensubstanz auf dem Substrat variiert werden. Gemäß dem bevorzugten Beispiel ist es möglich, die isolierende Schicht an einem Teil zu entfernen, wo das Maskenmuster nicht ausgebildet ist, während die Schneidgeschwindigkeiten der Strahlkanonen gesteuert werden.
Gemäß dem Verfahren zur Herstellung einer Gasentladungsdisplayeinheit der vorliegenden Erfindung wird bevorzugt, daß die mittleren Teilchengrößen von Schleifteilchen, die aus den Strahlkanonen herausgespritzt werden, voneinander verschieden sind. Gemäß dem bevorzugten Beispiel ist es möglich, die isolierende Schicht an einem Teil zu entfernen, wo das Maskenmuster nicht ausgebildet ist, während die Schneidgeschwindigkeiten der Strahlkanonen gesteuert werden.
Gemäß dem Verfahren zur Herstellung einer Gasentladungsdisplayeinheit der vorliegenden Erfindung wird bevorzugt, daß das zweite Substrat relativ zur Sandstrahleinrichtung in einer ersten Richtung bewegt wird, die Sandstrahleinrichtung mehrere Strahldüsen enthält, die in der ersten Richtung angeordnet sind, und die Schneidgeschwindigkeiten der mehreren Strahldüsen in der ersten Richtung abnehmen.
Gemäß der obenbeschriebenen Gasentladungsdisplayeinheit der vorliegenden Erfindung kann die Haftung der Trennwand am zweiten Substrat durch die erste Trennwandschicht vergrößert und die Beständigkeit der Trennwand gegenüber einem Lackablösemittel verbessert werden. Außerdem kann man durch die zweite Trennwandschicht ausgezeichnete Schneideigenschaften für den Sandstrahlschritt erhalten. Zudem kann die Haftung der Trennwand an einem Lack vergrößert werden, der während des Sandstrahlens als eine Maske wirkt.
Zudem kann die Trennwand mit feiner und präziser Form und Abmessung leicht ohne Seitenätzung und ohne Verringerung des Durchsatzes der Herstellungsvorrichtung ausgebildet werden.
1 ist eine Teilschnittansicht, die eine Gasentladungsdisplayeinheit gemäß einer ersten Ausführungsform zeigt, die nicht Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist;
2(a) bis 2(e) sind Ansichten, die die Schritte zur Herstellung der Gasentladungsdisplayeinheit gemäß der ersten Ausführungsform zeigen;
3 ist eine graphische Darstellung, die die Beziehung zwischen der Menge eines Zellulosepolymerbindemittels, das in einem Trennwandmaterial enthalten ist, und einer Sandstrahlschneidgeschwindigkeit und Haftung gemäß der ersten Ausführungsform zeigt;
4 ist eine Teilschnittansicht, die eine Gasentladungsdisplayeinheit gemäß einer zweiten Ausführungsform zeigt, die nicht Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist;
5 ist eine Perspektivansicht, die schematisch eine Sandstrahleinrichtung zeigt, die bei einer dritten Ausführungsform verwendet wird, die Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist;
6 ist eine Schnittansicht, die ein Verfahren zum Ausbilden von Trennwänden gemäß der dritten Ausführungsform zeigt;
7 ist eine graphische Darstellung, die die Beziehung zwischen dem Ausmaß an Seitenätzung der Trennwand und dem Durchsatz einer Gasentladungsdisplayeinheit zeigt, die bei der dritten Ausführungsform erzielt wird;
8 ist eine Teilschnittansicht, die eine Gasentladungsdisplayeinheit gemäß dem Stand der Technik zeigt;
9(a) bis 9(e) sind Ansichten, die die Schritte eines Verfahrens zur Herstellung der Gasentladungsdisplayeinheit des Stands der Technik zeigen.
10 ist eine Ansicht, die den Sandstrahlschritt gemäß dem Stand der Technik schematisch zeigt;
11 ist ein Kennlinienbild, das die Beziehung zwischen dem Strahldruck einer Sandstrahleinrichtung mit einer Strahlkanone gemäß dem Stand der Technik und der Schneidgeschwindigkeit einer Rippenpaste und dem Ausmaß an Seitenätzung von Trennwänden zeigt;
12 ist ein Kennlinienbild, das die Beziehung zwischen der Strahlentfernung der Sandstrahleinrichtung mit einer Strahlkanone gemäß dem Stand der Technik und der Schneidgeschwindigkeit einer Rippenpaste und dem Ausmaß an Seitenätzung von Trennwänden zeigt; und
13(a) und 13(b) sind Schnittansichten, die den Idealzustand des Seitenätzens der Trennwände und ein Beispiel für den tatsächlichen Zustand gemäß dem Stand der Technik zeigen.
Erste Ausführungsform
1 ist eine Teilschnittansicht, die eine Gasentladungsdisplayeinheit gemäß der ersten Ausführungsform zeigt. Wie in 1 gezeigt, sind mehrere streifenförmige Kathodenelektroden 2 auf einem aus einem transparenten Glas oder dergleichen hergestellten ersten Substrat 1 ausgebildet. Mehrere streifenförmige Anodenbusse 4a sind auf einem aus einem transparenten Glas oder dergleichen hergestellten zweiten Substrat 3 ausgebildet. Das erste Substrat 1 liegt dem zweiten Substrat 3 gegenüber, wobei mehrere Trennwände 5 derart dazwischen gehalten werden, daß die Kathodenelektrode 2 orthogonal zum Anodenbus 4a verläuft. Folglich ist eine Reihe von Entladungszellen 6, die von den Trennwänden 5 umgeben sind, wie eine Matrix ausgebildet. Die peripheren Teile des ersten Substrats 1 und des zweiten Substrats 3, die miteinander kombiniert sind, werden durch ein Glas oder dergleichen mit niedrigem Schmelzpunkt abgedichtet. Entladungsgase, deren Hauptkomponente ein inertes Gas ist, werden in die Entladungszelle 6 gefüllt.
Anodenelektroden 4b werden entsprechend jeweiligen Entladungszellen 6 individuell auf dem zweiten Substrat 3 ausgebildet. Eine Displayelektrode 7 wird auf jeder Anodenelektrode 4b in der Entladungszelle 6 ausgebildet. Die Displayelektrode 7 ist durch einen Widerstand 8 mit dem Anodenbus 4a verbunden. Somit wird durch die Kathodenelektrode 2 und die Displayelektrode (Anode) 7 in der Entladungszelle 6 ein Paar Entladungselektroden ausgebildet. In 1 bezeichnet die Bezugszahl 11 eine Hilfsanode zum Erzeugen einer Hilfsentladung zum leichten Starten der Entladung in der Entladungszelle 6.
Ein schichtenisolierender Film 10 wird auf dem zweiten Substrat 3 ausgebildet, auf dem die Anodenbusse 4a, die Anodenelektroden 4b und die Widerstände 8 ausgebildet sind, aber nicht auf dem Teil der Displayelektrode 7. Folglich kann verhindert werden, daß es zwischen einem Plasma in der Entladungszelle 6 und dem Anodenbus 4a oder dem Widerstand 8 zu einer Entladung kommt. Ein Leuchtstoff 9 wird auf den schichtenisolierenden Film 10 in der Entladungszelle 6 aufgetragen, aber nicht auf dem Teil der Displayelektrode 7.
Die Trennwand 5 weist eine dreischichtige Struktur auf, bei der die erste, zweite und dritte Trennwandschicht 5a, 5b und 5c sequentiell von der Seite des zweiten Substrats 3 her ausgebildet werden. Dadurch kann die Haftung der Trennwand 5 am schichtenisolierenden Film 10 durch die erste Trennwandschicht 5a vergrößert werden und die Beständigkeit der Trennwand 5 gegenüber einem Lackablösemittel kann verbessert werden. Außerdem können gute Schneideigenschaften für den Sandstrahlschritt in der zweiten Trennwandschicht 5b erhalten werden. Außerdem kann durch die dritte Trennwandschicht 5c die Haftung der Trennwand 5 an einem Lack, der während des Sandstrahlens als eine Maske wirkt, verstärkt werden.
Ein Verfahren zur Herstellung einer Gasentladungsdisplayeinheit gemäß einer ersten Ausführungsform wird unten beschrieben.
2 zeigt das Verfahren zur Herstellung einer Gasentladungsdisplayeinheit gemäß der ersten Ausführungsform. Wie in 2(a) gezeigt, sind mehrere streifenförmige Anodenbusse 4a, Anodenelektroden 4b und Hilfsanoden 11 durch das Siebdruckverfahren und das photolithographische Verfahren auf dem zweiten Substrat 3 ausgebildet, das aus einem transparentem Glas mit einer Dicke von 3 mm besteht. Der Anodenbus 4a, die Anodenelektrode 4b und die Hilfsanode 11 weisen eine Dicke von 5 μm und eine Breite von 80 μm auf. Wie in 2(b) gezeigt, wird eine RuO₂-Paste mit einer Dicke von 20 μm zwischen dem Anodenbus 4a und der Anodenelektrode 4b aufgetragen. Die RuO₂-Paste wird bei einer Temperatur von etwa 520 bis 600°C gesintert, damit man einen Widerstand 8 erhält. Wie in 2(c) gezeigt, wird eine Glaspaste mit einer Dicke von 35 μm mit Ausnahme eines Öffnungsteils für die Displayelektrode 7 und einem Teil der Hilfselektrode 11 auf das zweite Substrat 3 aufgetragen. Die Glaspaste wird bei einer Temperatur von etwa 520 bis 600°C gesintert, damit ein schichtenisolierender Film 10 entsteht. Dann wird die Displayelektrode 7 auf der oberen Fläche der Anodenelektrode 4b ausgebildet. Wie in 2(d) gezeigt, wird ein Film mit einer Dicke von 10 μm auf dem schichtenisolierenden Film 10 ausgebildet, indem ein Material verwendet wird, dessen Hauptkomponenten 1,0 bis 3,0 Gewichtsprozent eines Cellulosepolymerbindemittels und eine Glasfritte sind. Auf diese Weise wird eine erste Trennwandschicht 5a ausgebildet. Dann wird ein Film mit einer Dicke von 200 bis 210 μm auf dem ersten isolierenden Film ausgebildet, indem ein Material verwendet wird, dessen Hauptkomponenten 0,5 bis 1,5 Gewichtsprozent des Cellulosepolymerbindemittels und die Glasfritte sind. Auf diese Weise wird eine zweite Trennwandschicht 5b ausgebildet. Danach wird ein Film mit einer Dicke von 10 bis 20 μm auf dem zweiten isolierenden Film ausgebildet, indem ein Material verwendet wird, dessen Hauptkomponenten 2,0 bis 5,0 Gewichtsprozent des Cellulosepolymerbindemittels und die Glasfritte sind. Auf diese Weise wird eine dritte Trennwandschicht 5c ausgebildet. Beispiele für das Cellulosepolymer sind Methylcellulose, Ethylcellulose, Propylcellulose, Hydroxymethylcellulose, Hydroxyethylcellulose, Hydroxypropylcellulose, Hydroxymethylpropylcellulose, Hydroxyethylpropylcellulose und dergleichen. Nachdem das dreischichtige Produkt wie oben beschrieben ausgebildet ist, werden die unnötigen Teile des dreischichtigen Produkts über das Sandstrahlverfahren durch ein Maskenmuster geätzt und entfernt. Dann wird das derart erhaltene dreischichtige Produkt bei einer Temperatur von etwa 500 bis 550°C gesintert, so daß auf dem schichtenisolierenden Film 10 die aus der ersten, zweiten und dritten Trennwandschicht 5a, 5b und 5c bestehende Trennwand 5 ausgebildet wird. Dann wird der Leuchtstoff 9 mit einer Dicke von 20 μm auf der isolierenden Filmschicht 10 zwischen den Trennwänden 5 aufgetragen, mit Ausnahme des Teils für die Displayelektrode 7. Mehrere streifenförmige Kathodenelektroden 2 werden durch das Siebdruckverfahren und das photolithographische Verfahren auf dem aus einem transparenten Glas oder dergleichen hergestellten ersten Substrat 1 ausgebildet. Die Kathodenelektrode 2 weist eine Dicke von 35 μm und eine Breite von 170 μm auf (siehe 2(d)). Wie in 2(e) gezeigt, liegt die Seite des ersten Substrats 1 mit der Kathodenelektrode 2 der Seite des zweiten Substrats 3 mit dem Anodenbus 4a gegenüber, so daß das erste Substrat 1 durch die Trennwand 5 derart mit dem zweiten Substrat 3 verbunden ist, daß die Kathodenelektrode 2 orthogonal zum Anodenbus 4a verläuft. Folglich wird eine Reihe von Entladungszellen 6, die von den Trennwänden 5 umgeben sind; wie eine Matrix ausgebildet. Dann werden die peripheren Teile des ersten Substrats 1 und des zweiten Substrats 3 durch ein Glas mit einem niedrigen Schmelzpunkt oder dergleichen abgedichtet, und eine Evakuierung wird vorgenommen. Danach werden Entladungsgase, deren Hauptkomponente ein inertes Gas ist, über die wohlbekannte Technologie in die Entladungszelle 6 gefüllt. So kann eine Gasentladungsdisplayeinheit erhalten werden.
Wie in 3 gezeigt, beeinflußt die Menge des Cellulosepolymerbindemittels, die zum Ausbilden der Trennwand 5 in der Glasfrittenpaste enthalten ist, die Haftung am zweiten Substrat 3 oder dergleichen und die Schneidgeschwindigkeit, die während des Sandstrahlens erhalten wird. Dementsprechend beeinflußt die Menge des Cellulosepolymerbindemittels, die in der Trennwand 5 enthalten ist, oder ihre Verteilung stark die Ausbildung der präzisen und feinen Trennwände 5.
Genauer gesagt: Falls die Menge des Cellulosepolymerbindemittels, die in der ersten Trennwandschicht 5a enthalten ist, unter 1,0 Gewichtsprozent liegt, nimmt die Haftfestigkeit am zweiten Substrat 3 und dem schichtenisolierenden Film 10 ab. Falls die Menge an Cellulosepolymerbindemittel, die in der ersten Trennwandschicht 5a enthalten ist, über 3,0 Gewichtsprozent liegt, wird die Schneidgeschwindigkeit während des Sandstrahlens zu sehr reduziert, so daß der Durchsatz einer Herstellungsvorrichtung sinkt. Falls die Menge des Cellulosepolymerbindemittels, die in der zweiten Trennwandschicht 5b enthalten ist, unter 0,5 Gewichtsprozent liegt, nimmt die Schneidgeschwindigkeit während des Sandstrahlens zu sehr zu. Infolgedessen wird das Ausmaß des Seitenätzens der Trennwand 5 vergrößert und die Haftung der zweiten Trennwandschicht 5b an der ersten und dritten Trennwandschicht 5a und 5c wird schlecht. Falls die Menge des Cellulosepolymerbindemittels, die in der zweiten Trennwand 5b enthalten ist, über 1,5 Gewichtsprozent liegt, wird die Schneidgeschwindigkeit während des Sandstrahlens zu sehr reduziert, so daß der Durchsatz der Herstellungsvorrichtung abnimmt. Falls die Menge des Cellulosepolymerbindemittels, die in der dritten Trennwandschicht 5c enthalten ist, unter 2,0 Gewichtsprozent liegt, wird die Haftung am Lack für das Sandstrahlen schlecht, so daß es schwierig ist, die Trennwand 5 fein zu verarbeiten. Falls die Menge des Cellulosepolymerbindemittels, die in der dritten Trennwandschicht 5c enthalten ist, über 5,0 Gewichtsprozent liegt, wird die Schneidgeschwindigkeit während des Sandstrahlens zu sehr reduziert, so daß der Durchsatz der Herstellungsvorrichtung abnimmt. Gemäß den von den Erfindern durchgeführten Versuchen erhält man gute Ergebnisse, wenn die erste und dritte Trennwandschicht 5a und 5c geringe Dicken aufweisen und die Mengen des Cellulosepolymerbindemittels, die in der ersten und dritten Trennwandschicht 5a und 5c enthalten sind, groß sind.
Gemäß der obenbeschriebenen vorliegenden Ausführungsform ist die in der dritten Trennwandschicht 5c enthaltene Menge des Cellulosepolymerbindemittels die größte. Folglich ist die Haftung der Trennwand 5 am Lack für ein Maskenmuster ausgezeichnet. Außerdem ist die Schneidgeschwindigkeit vergleichsweise gering, so daß der Öffnungsteil der Entladungszelle in der ersten Stufe des Sandstrahlens präzise geschnitten werden kann. Da weiterhin die Menge des in der zweiten Trennwandschicht 5b enthaltenen Cellulosepolymerbindemittels soweit wie möglich reduziert ist, ist die Schneidgeschwindigkeit stark erhöht, so daß der Durchsatz der Herstellungsvorrichtung vergrößert werden kann. Die in der ersten Trennwandschicht 5a enthaltene Menge des Cellulosepolymerbindemittels ist größer als die der zweiten Trennwandschicht 5b. Folglich wird die Haftung der Trennwand 5 an dem schichtenisolierenden Film 10 vergrößert. Dadurch besteht keine Möglichkeit, daß das Ablösemittel beim Schritt des Entfernens des Lacks von der Trennwand 5 nach dem Ende des Sandstrahlschritts in den Teil zwischen der Trennwand 5 und dem schichtenisolierenden Film 10 eintritt und diesen beschädigt.
Bei der Ausbildung der Trennwand 5 beim Sandstrahlschritt sollten die Schneidbedingungen für eine Sandstrahleinrichtung und die zu schneidenden Trennwandmaterialien in der ersten, mittleren und letzten Stufe des Sandstrahlschritts unterschiedliche Charakteristiken aufweisen. Gemäß der vorliegenden Ausführungsform werden drei Arten von Trennwandschichten mit verschiedenen Materialeigenschaften laminiert. Es ist infolgedessen möglich, ein ideales Sandstrahlen durchzuführen, ohne den Durchsatz der Herstellungsvorrichtung zu senken.
Zur Vergrößerung der Helligkeit wird für die erste und zweite Trennwandschicht 5a und 5b ein weißes Material verwendet. Andererseits wird bevorzugt, daß eine schwarze Paste für die dritte Trennwandschicht 5c verwendet wird. Indem für die dritte Trennwandschicht 5c die schwarze Paste verwendet wird, ist es möglich, die Entstehung einer Lichthofbildung während der Lackbelichtung zu verhindern, wenn das Maskenmuster für das Sandstrahlen ausgebildet wird. Dadurch kann ein präzises Maskenmuster hergestellt werden. Es ist infolgedessen möglich, feine und präzise Trennwände herzustellen, die für die Ausbildung von Entladungszellen und zum Anzeigen von Bildern mit hoher Präzision erforderlich sind.
Weiterhin fungiert die schwarze Paste als eine schwarze Matrix, wenn die fertiggestellte Gasentladungsdisplayeinheit Bilder reproduziert. Somit kann der Kontrast angezeigter Bilder verstärkt werden.
Bei der vorliegenden Ausführungsform weist die erste Trennwandschicht 5a weist eine Dicke von 10 μm, die zweite Trennwandschicht 5b eine Dicke von 200 bis 210 μm und die dritte Trennwandschicht 5c eine Dicke von 10 bis 20 μm auf. Falls die erste isolierende Schicht 5a eine Dicke von 5 bis 15 μm, die zweite isolierende Schicht 5b eine Dicke von 100 bis 250 μm und die dritte isolierende Schicht 5c eine Dicke von 5 bis 30 μm aufweist, kann man die gleichen Effekte erhalten.
Zweite Ausführungsform
4 ist eine Teilschnittansicht, die eine Gasentladungsdisplayeinheit gemäß der zweiten Ausführungsform zeigt. Wie in 4 gezeigt, werden mehrere Trennwandfilme 5b₁ , 5b₂ , 5b₃ , ..., 5b_n laminiert, so daß die zweite Trennwandschicht 5b gemäß der vorliegenden Ausführungsform entsteht. Insbesondere wird eine Glasfrittenpaste auf der oberen Fläche einer ersten Trennwandschicht 5a aufgetragen. Die Glasfrittenpaste wird hergestellt, indem die Menge des Cellulosepolymerbindemittels geändert wird, die innerhalb des Bereichs von 0,5 bis 1,5 Gewichtsprozent liegt. So wird die zweite Trennwandschicht 5b, die aus mehreren Trennwandfilmen 5b₁ , 5b₂ , 5b₃ , ..., 5b_n besteht, hergestellt. In diesem Fall werden die Materialzusammensetzungen der Trennwandfilme 5b₁ , 5b₂ , 5b₃ , ..., 5b_n und die Zahl n der Trennwandfilme je nach der Größe und Form der zu erhaltenden Entladungszelle, der Verwendung der Gasentladungsanzeigeeinheit und dergleichen entsprechend ausgewählt. Da andere Strukturen der Struktur der ersten Ausführungsform gleich sind, entfällt die Beschreibung.
So weist die zweite Trennwandschicht 5b eine Laminierungsstruktur aus den Trennwandfilmen 5b₁ , 5b₂ , 5b₃ , ..., 5b_n auf. Es ist infolgedessen möglich, die Trennwand 5 mit der feinen Form und Abmessung präzise zu bearbeiten und gleichzeitig Seitenätzen soweit wie möglich zu verhindern.
Wenngleich das Cellulosepolymerbindemittel zum Ausbilden der Trennwand 5 in der ersten und zweiten Ausführungsform verwendet worden ist, kann ein Harzbindemittel verwendet werden. In diesem Fall kann ein Polymer verwendet werden, das die gleichen Effekte erzeugt. Beispiele für das Polymer sind Siliziumpolymer, Polystyrol, Butadien/Styrol-Copolymer, Polyamid, hochmolekularer Polyether, Ethylenoxid-Propylenoxid-Copolymer, verschiedene Acrylpolymere und dergleichen.
Wenngleich die Trennwände durch das Druckverfahren in der ersten und zweiten Ausführungsform ausgebildet werden, kann ein Verfahren eingesetzt werden, das ein Isolatorzusammensetzungsbandmaterial, das als ein grünes Band bezeichnet wird, verwendet.
Dritte Ausführungsform
Es wird unten eine Sandstrahleinrichtung zum Durchführen des Sandstrahlschritts beschrieben.
5 ist eine Perspektivansicht, die die in einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung verwendete Sandstrahleinrichtung schematisch zeigt. Wie in 5 gezeigt, besteht die Sandstrahleinrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung aus Strahlkanonen 16a, 16b, 16c und 16d. Das zweite Substrat 3 bewegt sich in einer Richtung. Die Sandstrahleinrichtung (Strahlkanone 16) bewegt sich senkrecht zur Bewegungsrichtung des zweiten Substrats 3 über einem Maskenmuster 14 auf dem zweiten Substrat 3 hin und her. In diesem Zustand werden Schleifteilchen wie etwa Glasperlen aus den Düsen der Strahlkanonen 16a, 16b, 16c und 16d herausgespritzt, so daß eine Rippenpaste 12 auf einem Teil, wo das Maskenmuster 14 nicht ausgebildet ist, geschnitten und entfernt wird. Die Strahlkanonen 16a, 16b, 16c und 16d werden sequentiell in der Bewegungsrichtung des zweiten Substrats 3 bereitgestellt.
6 zeigt den Schneidzustand, den man erhält, wenn die Sandstrahleinrichtung mit der obigen Struktur verwendet wird. Wie in 6 gezeigt, wird die Trennwandschicht 12, die aus Rippenpaste besteht, die unter den Strahlkanonen 16a, 16b, 16c und 16d angeordnet ist, unter verschiedenen Bedingungen geschnitten. 6 zeigt den Fall, bei dem die Schneidgeschwindigkeiten der Strahlkanonen 16a, 16b, 16c und 16d auf die verschiedenen Strahlentfernungen eingestellt sind. Es ist außerdem möglich, die Schneidgeschwindigkeiten der Strahlkanonen 16a, 16b, 16c und 16d nachzustellen, indem ihr Strahldruck und ihr Düsenkaliber oder die mittlere Teilchengröße des Schleifsands variiert werden.
Falls die Sandstrahleinrichtung wie oben beschrieben ausgebildet ist, um die Schneidgeschwindigkeiten der Strahlkanonen 16a, 16b, 16c und 16d in dieser Reihenfolge zu reduzieren, kann das Ausmaß des Seitenätzens der Trennwand 5 so gesteuert werden, daß es kleiner ist, und der Durchsatz einer Herstellungsvorrichtung kann erhöht werden. Mit anderen Worten wird die Trennwandschicht 12 an einem spezifischen Teil mit einer langsam abnehmenden Schneidgeschwindigkeit geschnitten und entfernt. Folglich kann das Ausmaß des Seitenätzens der Trennwand 5 so gesteuert werden, daß es kleiner ist. Da die Sandstrahleinrichtung mit den Strahlkanonen 16a, 16b, 16c und 16d verwendet wird, wird der Durchsatz der Herstellungsvorrichtung nicht gesenkt.
Die Strahlbedingungen für jede Strahlkanone gemäß der vorliegenden Ausführungsform werden unten beschrieben.
Beispiel 1
Wenn das Düsenkaliber der Strahlkanone mit 9 mm festliegt und der Schleifsand eine mittlere Teilchengröße von 20 μm aufweist, wird der Strahldruck jeder Strahlkanone durch den folgenden relativen Wert ausgedrückt.

Strahlkanone 16a: 4,0

Strahlkanone 16b: 2,5

Strahlkanone 16c: 1,0

Strahlkanone 16d: 0,5
Beispiel 2
Wenn der Strahldruck konstant ist (2 kg/cm²) und der Schleifsand eine mittlere Teilchengröße von 20 μm aufweist, lautet das Düsenkaliber jeder Strahlkanone wie folgt:

Strahlkanone 16a: 6 mm

Strahlkanone 16b: 9 mm

Strahlkanone 16c: 12 mm

Strahlkanone 16d: 15 mm
Beispiel 3
Wenn der Strahldruck konstant ist (2 kg/cm²), der Schleifsand eine mittlere Teilchengröße von 20 μm aufweist und das Düsenkaliber jeder Strahlkanone 9 mm beträgt, lautet jede Strahlentfernung wie folgt:

Strahlkanone 16a: 50 mm

Strahlkanone 16b: 100 mm

Strahlkanone 16c: 150 mm

Strahlkanone 16d: 200 mm
Beispiel 4
Wenn der Strahldruck konstant ist (2 kg/cm²), das Düsenkaliber 9 mm beträgt und die Strahlentfernung 100 mm beträgt, lautet die mittlere Teilchengröße des Schleifsands wie folgt:

Strahlkanone 16a: 15 μm

Strahlkanone 16b: 35 μm

Strahlkanone 16c: 60 μm

Strahlkanone 16d: 100 μm
Bei einem Teil, bei dem kein Maskenmuster für die Ausbildung einer Trennwand vorgesehen ist, wird die Schneidgeschwindigkeit nicht durch die mittlere Teilchengröße des Schleifsands beeinflußt. Bei einem Teil, der von dem Maskenmuster umgeben ist, ist die Schneidgeschwindigkeit größer, wenn die mittlere Teilchengröße kleiner ist.
Gemäß den Experimenten der ersten bis vierten Ausführungsform weist die Entladungszelle der Gasentladungsdisplayeinheit eine Öffnungsabmessung von 550 μm × 450 μm und eine Trennwandhöhe von 200 μm auf. 7 zeigt den Vergleich der Beziehung zwischen dem Ausmaß an Seitenätzung der Trennwand und dem Durchsatz der Gasentladungsdisplayeinheit gemäß der vorliegenden Ausführungsform mit der Beziehung zwischen dem Ausmaß an Seitenätzung der Trennwand und dem Durchsatz der Gasentladungsdisplayeinheit gemäß dem Stand der Technik. Gemäß dem Verfahren zum Ausbilden von Trennwänden gemäß dem Stand der Technik, wie in 7 gezeigt, steigt das Ausmaß an Seitenätzung der Trennwand an, wenn der Durchsatz der Herstellungsvorrichtung erhöht wird. Gemäß der Gasentladungsdisplayeinheit der vorliegenden Ausführungsform weist die Trennwand ungeachtet des Durchsatzes der Herstellungsvorrichtung eine sehr hohe Abmessungspräzision auf. Außerdem wird das Ausmaß an Seitenätzung der Trennwand gesteuert, so daß es selbst dann sehr klein ist, wenn der Durchsatz der Herstellungsvorrichtung erhöht wird. Dadurch wird die Massenproduktion der Gasentladungsdisplayeinheit gesteigert.
Wenngleich die erste bis vierte Ausführungsform eine Änderung bei einer der Strahlbedingungen jeder Strahlkanone zeigen, um ihre Schneidgeschwindigkeiten zu variieren, können mehrere Bedingungen jeder Strahlkanone geändert werden, um ihre Schneidgeschwindigkeiten zu variieren. In diesem Fall müssen die Schneidgeschwindigkeiten der Strahlkanonen 16a, 16b, 16c und 16d in dieser Reihenfolge gesenkt werden.
Wenngleich bei der vorliegenden Ausführungsform der Fall beschrieben worden ist, bei dem die Sandstrahleinrichtung mit vier Strahlkanonen 16a, 16b, 16c und 16d verwendet wird, können zwei bis zehn Strahlkanonen verwendet werden. Die Anzahl der Strahlkanonen kann je nach der Größe der Gasentladungsdisplayeinheit, dem Verwendungszweck, der Form der Entladungszelle und dergleichen entsprechend geändert werden.
Wenngleich die Beispiele der Gleichstrom-Gasentladungsdisplayeinheit in der ersten bis dritten Ausführungsform beschrieben worden sind, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Außerdem kann man die gleichen Effekte in dem Fall erhalten, wenn die vorliegende Erfindung auf eine Wechselstrom-Gasentladungsdisplayeinheit angewendet wird.

Claims

Verfahren zur Herstellung einer Gasentladungsdisplayeinheit mit einem ersten Substrat (1), einem zweiten Substrat (3) gegenüber dem ersten Substrat (1), zwischen dem ersten (1) und zweiten Substrat (3) ausgebildeten Trennwänden (5) zum Ausbilden von Entladungszellen, mit den folgenden Schritten: Ausbilden einer isolierenden Trennwandschicht (12) zum Ausbilden von Trennwänden (5) auf dem zweiten Substrat (3); Ausbilden eines Maskenmusters (14) mit Sandstrahlbeständigkeit auf der Trennwandschicht (12) und Ausbilden von Trennwänden (5) durch Entfernen der Trennwandschicht (12) auf einem Teil, wo kein Maskenmuster (14) bereitgestellt ist, mit Hilfe einer Sandstrahleinrichtung mit mehreren Strahlkanonen (16a, 16b, 16c, 16d), dadurch gekennzeichnet, daß die Trennwände (5) ausgebildet werden, indem die Schneidgeschwindigkeiten der mehreren Strahlkanonen (16a, 16b, 16c, 16d) so gesteuert werden, daß sie voneinander verschieden sind.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Trennwandschicht (12) aus einer ersten, zweiten und dritten isolierenden Trennwandschicht (5a, 5b, 5c) ausgebildet ist, die sequentiell von der Seite des zweiten Substrats (3) laminiert sind.
Verfahren nach Anspruch 2, wobei die erste Trennwandschicht (5a), die aus einem Material hergestellt ist, dessen Hauptkomponenten 1,0 bis 3,0 Gew.-% eines Harzbindemittels und eine Glasfritte sind, die zweite Trennwandschicht (5b), die aus einem Material hergestellt ist, deren Hauptkomponenten 0,5 bis 1,5 Gew.-% eines Harzbindemittels und eine Glasfritte sind, und die dritte Trennwandschicht (5c), die aus einem Material hergestellt ist, dessen Hauptkomponenten 2,0 bis 5,0 Gew.-% eines Harzbindemittels und eine Glasfritte sind, bei einer vorbestimmten Temperatur laminiert und gesintert werden.
Verfahren nach Anspruch 2, wobei die erste Trennwandschicht (5a) mit einer Dicke von 5 bis 15 μm, die zweite Trennwandschicht (5b) mit einer Dicke von 100 bis 250 μm und die dritte Trennwandschicht (5c) mit einer Dicke von 5 bis 30 μm ausgebildet ist.
Verfahren nach Anspruch 2, wobei die zweite Trennwandschicht (5b) durch Laminieren mehrerer isolierender Schichten ausgebildet ist.
Verfahren nach Anspruch 2, wobei die dritte Trennwandschicht (5c) aus einem schwarzen Material besteht.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Trennwandschicht (12) mit einer Schneidgeschwindigkeit geschnitten und entfernt wird, die mit zunehmender Schnittiefe allmählich abnimmt.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei Strahldrücke der Strahlkanonen (16a, 16b, 16c, 16d) variiert werden.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Düsenkaliber der Strahlkanonen (16a, 16b, 16c, 16d) variiert werden.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Entfernungen zwischen den Düsenspitzen der Strahlkanonen (16a, 16b, 16c, 16d) und dem Substrat (3) variiert werden.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei mittlere Teilchengrößen von Schleifteilchen, die aus den Strahlkanonen (16a, 16b, 16c, 16d) herausgespritzt werden, voneinander verschieden sind.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei das zweite Substrat (3) relativ zur Sandstrahleinrichtung in einer ersten Richtung bewegt wird, wobei die Düsen der Strahlkanonen (16a, 16b, 16c, 16d) in dieser ersten Richtung angeordnet sind und die Schneidgeschwindigkeiten der mehreren Strahlkanonen (16a, 16b, 16c, 16d) in dieser ersten Richtung abnehmen.
Verfahren nach Anspruch 1, weiterhin mit dem Schritt des Ausbildens eines isolierenden Films (10) auf dem zweiten Substrat (3) vor dem Ausbilden der Trennwandschicht (12), so daß die Trennwandschicht (12) auf dem isolierenden Film (10) ausgebildet wird.