經濟部中央標準局負工消费合作社印製 330732 A7 B7 五、發明説明（I) [産業上之利用領域〕 本發明係有關一種利用氣體放電顯示文字或圖像之氣 體放電型顏示装置及其製法，尤指一種媾成放電電池之分 隔壁的構造及其製法。 〔習用技術之説明] 近年，氣體放電型顯示装置（電漿顯示板），已作為 平面型顯示裝置利用於攜帶型電腦等之資訊端末機中。此 一氣體放電型顯示裝置，顯示鮮明，且與液晶顯示板相較 視野角較廑|因此，其應用領域正日益擴大中。 再者，電視受像器之大型化亦日益進展，與其相對應 ，利用投射陰極射線管或液晶顯示板之投射型電視等，也 業已商品化。然而，不管是任何一種，在畫面之輝度或裝 置之大小上，均殘留有課題。 另一方面，有關氣體放電型顧示裝置，最近，其彩色 化技術日益進步，與険極射線管相較*其深度可大幅變薄 ，因此|作為高視覺用之壁掛式竜視之最右翼，正廑受注 目，又，其亦被期待能作忠寅之色再硯及提高輝度及壽命 0 以下，茲就習用記.憶體驅動式之直流形氣體放電型_ 示装置之_例，佐以圖δ説明之。如圖8所示，.在由透明 玻璃等所構成之前面板2 1上，形成有複數之條帶狀的陰 柽線2 2 ，又，由透明玻璃等所構成之背面板2 3上，形 成有複數之條帶狀陽極母線2 4.a。前面板U...與..._背面板 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -φ 320732 A7 B7_ 五、發明説明（、） 2 3 ，係以陰極線2 2與陽極母線2 4 a彼此直交配置之 方式1夾著複數之分隔壁2 5對向。藉此|由分隔壁2 5 所包圍之多數個放電電池2 6 _，係形成為矩陣狀。耜含式 之前面板2 1與背面板2 3之周圍，係由低熔點玻璃等所 封止，放電電池2 6之内部，封入有以稀有氣體為主體之 放電氣體。 背面板2 3上，形成有與各放電電池2 6分別對應之 陽極電極.2 4 b。各陽掻電極2 4 b上，位於放電電池2 6内，形成有顯示電極體2 7。顧示電極體2 7係藉由電 阻體2 8與陽極母線2 4 a接續。如此*藉由陰極線2 2 與顯示電極體（陽極27)，在放電電池26内形成一對 放竜電極。又，圖8中，3 1係用以産生輔助放電之輔助 電掻，以使放電電池2 6内之放電容易。 形成有陽極母線24a、陽極電極24 b及電阻體2 8之背面板2 3上，以不包括顯示電極體2 7的部份之方 式形成有層間絶縁膜3 0 °藉此，可防止放電電極2 6内 之電漿與陽極母線2 4 a或電阻體2 8間之放電。又，放 電電池2 6内’之層間絶緣膜3 0上，不包括顯示電極體2 7之部份，塗佈有瑩光體2 9。 前面板2 1 ，不包括陰極線2 2之部份，係呈透明， 成可經由放電電池2 6直接觀察螢光體2 9表面之狀態。 陰極線2 2、陽掻母線2 4 a、陽極電掻2 4 b、.顯 示電極體2 7、電阻體2 δ、層間絶緣膜3 0、螢光體2 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） ---------<------ΐτ·------^_ (請先閏讀背面之注意事項再填寫本頁) · 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印製 A7 B7 經濟部中央橾隼局肩工消費合作社印製 五、發明説明 (、 ) 1 1 i 9 及 分 隔 壁 2 5 等 1 係 使 用 厚 膜 印 刷 技 術 形 成 於 由 玻 璃 板 1 1 1 等 所 構 成 之 前 面 板 2 1 或 背 面 板 2 3 上 〇 請 1 1 I 於 上 述 構 成 中 如 上 述 視 覺 電 視 所 示 般 之 了 揲 k» 閱 讀 1 1 圖 素 密 度 % 再 生 Μι 精 細 化 之 映 像 有 必 要 將 構 成 放 電 電 池 背 面 1 1 之 1 1 之 分 隔 壁 超 /At! 微 細 地 形 成 0 具 體 而 言 必 須 形 成 具 有 1 6 >王 1 1 事 1 0 2 0 0 Μ m % 寬 5 0 6 0 m 之 形 狀 尺 寸 的 微 細 之 項 再 1 I 分 隔 壁 0 特 別 是 為 了 顯 示 彩 色 圖 像 — 點 必 須 由 R N G \ 填 % 本 1 八 B 之 3 個 放 電 電 池 所 構 成 因 此 為 了 獲 得 精 細 度 之 顯 頁 I 1 示 圖 像 必 須 要 具 有 極 AllL· 微 細 且 高 精 度 形 成 之 形 狀 K 寸 的 分 1 I 隔 壁 0 \ 其 次 -W- 就 習 用 氣 體 放 電 型 顯 示 装 置 中 之 分 隔 壁. 的 形 • 1 ir 成 方 法 佐 以 圖 面 説 明 之 Ο 圖 9 係 習 用 氣 體 放 電 型 顧 示 装 - 1 1 置 中 之 分 隔 壁 的 形 成 方 法 之 過 程 圖 圖 1 〇 係 噴 砂 過 程 之 1 I 概 略 圖 0 又 於 圖 9 N 1 0 中 省 略 與 分 陽 壁 之 形 成 無 關 1 1 | 係 之 構 成 要 棄 0 1 首 先 如 圖 9 ( a ) 所 示 係 在 形 成 有 陽 極 電 極 2 4 1 1 b 之 透 明 玻 璃 等 所 構 成 的 背 面 板 2 3 上 以 SJ 刀 塗 覆 法 塗 1 I 布 用 以 形 成 分 隔 壁 2 5 之 補 強 糊 料 3 2 0 其 次 將 補 強 糊 1 1 I 料 3 2 乾 燥 固 化 後 如 圖 9 ( b ) 所 示 在 補 強 糊 料 3 2 1 T 1 上 貼 附 感 光 性 薄 膜 3 3 Ο 其 次 如 圖 9 ( C )· 所 示 介 1 以 形 成 有 分 隔 壁 圖 案 之 曝 光 罩 幕 在 感 光 性 薄 膜 3 3 照 射 1 I 紫 外 線 將 感 光 之 部 份 顯 像 除 去 形 成 罩 幕 圖 案 3 .4 Ο 繼 1 I 之 如 圖 9 ( d ) 所 示 使 用 備 有 噴 槍 3 5 之 噴 砂 装 置 1 1 1 - 6 - 1 1 本紙铁尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 320732 A7 B7 經濟部中央標準局負工消費合作杜印製 五、發明説明（γ ) 將由玻璃粉等所構成之研磨砂吹附於補強糊料3 2上。藉 此’以不包括形成有罩幕圖案3 4之部份的方式，補強糊 料3 2經切削。最後，如圖9 ( e )所示，使用剝難劑除 去罩幕圖案3 4 °經由以上之過程，在背面板2 3上形成 分隔壁2 5。 如.圖1 0所示，於上述過程（d )中，背面板2 3係 朝一方向移動’噴砂装置（噴槍3 5 )係在背面板2 3上 之罩幕圖案3 4上之上方，朝相對背面板2 3之移動方向 在直角方向往復運動。於此一狀態下，由噴槍3 5之噴嘴 噴射出玻璃粉等之研磨砂，將未形成光罩圖案3 4之部份 的補強糊料3 2切削除去。 [發明之解決課題〕 以上述方式，在製作習用氣體放電型顯示裝I時，係 '使用厚膜印刷技術將成為分隔壁之材料塗布於玻璃基板上 之全面後，以噴砂工法將不必要之部份除去|藉此而.形成 分隔壁。此一場合下，作禹分隔壁材料一般係使用一種材 料，因此在寅施噴砂時，會有以下之問題點。具體1而言1 作為分隔壁材料必備之特性，應有（1)對於玻璃基板之 密接性、（2 )相對噴砂工法之切削性、（3 )對於萁施 噴砂時供罩幕用的光致抗數劑之密接性、（4 )相對在切 削補強糊料後將光致抗蝕劑剝離時的剝離劑之耐久牲等等 墟習用之一種類所構成的分隔壁材料，同時滿 ,，極為a難。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
I l·—訂 ^ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠） A7 ________B7___ 五、發明说明（^) 又，根據具有上述習用構成之分隔壁或其製法’分隔 壁之形狀尺寸，會有寬為（〗〇〇± 1 00 ) vm、高（ 2 50± 5 ) Mm、放電單元之間距（6 50 士Ί 0 ) Mm 程度之界隈，因此’難以形成用以構成可再生高精細圖谭 之圖棄的微細且高密度之分隔壁及放電電池。 又，於習用氣體放電型顧示装置之製法中’補強糊料 之利用噴砂工法的切削除去，一般係以具有一個嗔槍之噴 砂装置寅施。圖1 1中所示的是，利用一個噴槍之噴砂中 經濟部中央樣準局員工消费合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
A |研磨砂之噴射壓力對於補強糊料之切削速率及分隔壁之 側蝕童的影響。又，圖〗2中所示的是，利用一個噴槍之 噴砂中之噴射距離，亦即補強糊料與噴射槍之距離’對於 補強糊料之切削速率及分隔壁之惻蝕量之影響。如圖1 1 所示，藉由提高噴射壓力P，補強糊料之切削速率RS ’ •雖會上昇，但同時分隔壁之側蝕量E s係以較切削率速R s 羔大之比例增加。又，為了將疃射壓力P之相對值降低至 側蝕量E s少之3以上，提高降低之切削率s，而欲縮短嗆 射距難時，如圖1 2所示*側蝕量再次上昇。如圖1 3 ( a )所示，分隔壁2 5原本其斷面應為長方形，於此一場 合下，如圖1 3 ( b )所示，分隔壁2 5之壁面係形成為 凹曲面，以致分隔壁中央部之斷面的寬度變袂。.因此，> 有分隔壁之精度、強度均劣化之問題點。 本發明係為解決習用技術中之上述課題開發而成者， 其目的係在提供一種備有必要之分隔壁構_造，此構造係適 -8 - 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 320732 A7 B7___ 五、發明説明（ί) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 於高精細度彩色圖像之顯示的放電電池之形成的氣體放電 型顯示装置，以及其製法。 [課題之解決手段] 為了達成上述目的，本發明氣體放電型顯示裝置’備 有：第一基板，形成於該第一基板上之第一電掻，與上述 第一基板對向配置之第二基板，形成於該第二基板上之第 二電棰’形成於上述第一基板與第二基板之間的用以構^ 放電電池之分隔壁，以及封入上述放電電池内之放電氣體 ;其特徵係在： 上述分隔壁係由從上述第二基板側依序層合之笋一分 嗶壁層、第二分隔壁層及第三分隔壁曾之三層層含構造體 所構成者。 經濟部中夬梯準局負工消費合作杜印製 根據此一氣體放電型顯示裝置之構成，藉由第一分隔 +壁層，提高對於第二基板之分隔壁的密接性，可提高對於 光致抗蝕劑剝離劑之分隔壁的耐久性。又，藉由第二分隔 壁層，可使對於噴砂工法之切削性良好化。又，藉由第三 分隔壁層，可提高噴砂時，對於成為幕罩之光致抗0ί劑的 分隔壁之密接性。 又’於上述本發明氣體放電型顯示装置之構成中，分 隔壁宜將以1 0〜3 0重量.％之樹脂結合劑與玻璃粉 為主成份之第一分隔壁層、以0 5〜1 5重量％之樹 脂結合劑與玻璃粉為主成份之第二分隔壁層、以2 · 0〜 5·0重量％之樹脂結含劑與玻璃粉為主成份之第三分隔 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） 經濟部中央梂準局員工消费合作社印製 A7 _B7_ 五、發明説明（7 ) 壁層依序層合，並以一定之溫度燒成形成。根據此一較佳 之例，可發揮以下之作用。具體言之，由於第三分隔壁層 之樹脂結含劑的含量十分大，因此，分隔壁與罩幕圖案用 之光致抗蝕剤的密接性優異，又，由於切削速率也較馒開 始增加，因此，在噴砂初期，可將放電電池開□部正確地 切削。又，由於第二分隔壁層之樹脂結含劑的含量設定成 儘童地少，因此，其切削速率掻快，可使製造装置之産率 提高。又 > 有關第一分隔壁層，與第二分隔壁層相較，因 稍增加樹脂結含劑之含量，因此，分隔壁之對於第二基板 之接著性提高。如此，在喰砂過程終了後，於除去分隔壁 上之光致抗蝕劑的過程中，不窨有剝雄劑侵入分隔壁與第 二基板間造成妨礙之屋。又，此一場含下，樹脂結含剤宜 為纖維棄系高分于結含劑。根據此一較佳例，燒成分隔壁 時，由於分隔壁内未殘留有樹脂結含劑，因此在完成氣體 放電型顯示装置之後，不會産生導因於樹脂結合劑之雜質 氣體。 又，於上述本發明氣體放電型顯示裝置之構成中，第 一分隔壁層之厚度宜盎5〜1 5 jum，第二分隔壁層之厚 度宜為1 0 0〜2 5 0 Mm，第三分隔壁層之厚度，宜為 5〜3 Ο μ m。根據此一較佳例，即使是欲提高切削速率 之場合，仍可獲得側蝕童充份小之分隔壁。 又’於上述本發明氣體放電型顯示装置之構成中1較 佳的是，第二基裉上形成絶緣膜，第一基板與上述絶縁膜 本紙張尺度逍用中國國家樣準（CNS ) A4规格（210X297公釐） ---------A------ΐτ·------^- (請先閱讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) ' A7 B7 320732 五、發明説明（匕） 間形成分隔壁°根據此一較佳例，可防止封入放電電池内 之放罨氣體與第二電極間之放電° 又，於上述本發明氣體放電型顯示裝置之構成中，較 佳的是第一電極係由陰極線所構成，第二電極係由陽極母 線、介以電阻接續於上述陽極母線之陽極電極、及形成於 上述陽極電極上之顯示電極體所構成；又’第二基板上， 不包括上述顯示電極體之部份，形成有絶縁膜’而在第一 基板與上述絶緣膜之間，形成分隔壁° 另，於上述本發明氣體放電型顯示装置之構成中’第 三分隔壁層宜由複數之分隔壁膜的層含構造體所構成。根 據此一較佳例，可發揮以下之作用。具體言之’若改變複 數之分隔壁膜的材料構成（具體而言，樹脂結含劑之含量 )，使第二分隔壁層的中央附近切削速率減少’使愈睡開 '中央切削速率愈大的話，可一面儘量防止具有微細形狀尺 寸之分隔壁的側蝕，一面作精密之加工。
又，於上述本發明氣體放電型顧示装置之構成中，第 三分隔壁層，宜由黑色材料所構成。根據此一較佳例，可 防正噴砂用之罩幕圖案形成時之光致抗蝕剤曝光時的暈影 。如此，可形成正確之罩幕，可形成對於形成供顯示高精 細度圖像之放電電池有必要之超微細且高精度的分隔壁。 又’此一黑色糊料，在作為完成之氣體放電型顯示裝置再 生映像時，係可作為黑矩陣發揮機能，因此，對於顯示圖 像之對比度的提高，亦可發揮效果。Y -1 1 - 本紙決尺度適用中國國家棣準（CNS ) Α4说格（210Χ 297公嫠） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 經濟部中央標準局貝工消費合作杜印製 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（7 ) 又，本發明氣體放竜型顧示装置之製法，係镛有：第 一基板，形成於該第一基板上之第一電極，與上述第一基 板對向配置之第二基板，形成於該第二基板上之第二電極 ，形成於上述第一基板與第二基板之.間的用以構成放電電 池之分隔壁|以及封入上述放電電池内之放電氣體的氣體 放電型顯示装置之製法，其特徵係在： 此一製法包括：一在上述第二基板上形成上述第二電 H過程；一在形成有上述第二電極之第二基板上，形成 絶縁層之過程；一在上述絶緣層上面I’形成耐喰砂性的罩 幕圖案之過程；以及一使用具有複數個噴槍之噴砂裝置， 一面控制上述複數個噴槍之切削速率，一面將未形成之上 述罩幕圖案之部份的上述絶縁暦除去，而形成分隔壁之過 程。 根據此一氣體放電型顯示裝置之製法，藉由將複數個 喰槍沿第二基板之移動方向配置，調整各噴槍之切削速率 ，使該切削速率朝第二基板之移動方向依序減少，可將分 隔壁之側蝕量抑制地較小，同時可提高製造裝置之産量。 亦即，在注目某一特定部位之絶縁層的場合，此一特定部 位之絕縁層係以逐漸滅小之切削速率所除去，因此，分隔 壁之側蝕量可被抑制成較小。又 > 由於使用備有複數個噴 槍之噴砂装置，因此製造裝置之産率不翕降低。 另，於上述本發明氣體放電型顯示装置之製法中，較 佳的是，進一步具有在形成絶縁層之前，在第二基板上形 -1 2- 本紙法尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 A7 B7_ 五、發明説明（/&) 成絶縁膜之過程，將上述絶縁層形成於上述絶緣膜之上。 又，於上述本發明氣體放電型_示装置之製法中|較 佳的是，第二蜜極係由陽掻母線、介以電阻接續於上述陽 柽母線之陽極電極、以及形成於該陽極電極上之顯示電掻 體所構成；此外，又進一步具有在不包括上述電極體之部 份之第二基板上，形成絶縁膜之過程，將上述絶縁層形成 於上述絶縁膜之上。 又，於上述本發明氣體放電型顯示裝置之製法中，較 佳的是，將絶緣層由第二基板側依第一絶縁層、第二絶縁 層、第三絶縁層之順序層合形成。又，於此一場含下，宜 將以10〜30重量％之樹脂結合劑與玻璃粉為主成 份之第一絶縁層、以0 5〜1 5重量％之樹脂結含劑 與玻璃粉為主成份之第二絶緣層、以2·0〜5·0重量 1之樹脂結含劑與玻璃粉為主成份之第三絶縁層依序層合 ，並以一定之溫度燒成形成。此一場合下，較佳的是，第 —絶緣層係以5〜1 5 Mm之厚度形成，第二絶緣層係以 1 0 0〜2 5 0 Mm之厚度形成，第三絶縁層係以5〜3 Ο ΜΓΤ1之厚度形成。又，此一場含下，敦佳的是，將第二 絶緣層，以層含複數個絶縁層之方式形成。又，此一場合 下，敦佳的是，第三絶縁層由黑色材料所媾成。. 另，於本發明氣體放莆型顯示装置之製法中•較佳的 是，複數個噴槍之曈射壓力分別不同。根據此一較佳例， 係一面控制複數個噴槍之切削速率，一面除去未形成罩幕 -1 3 - 本紙伕尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X 297公嫠） ---------(------訂------.^I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) . A7 B7 320732 五、發明説明（"） 圖案之部份的絶緣層。 此外，於本發明氣體放電型顯示裝置之製法中’較佳 的是，複數個噴槍之噴嘴前端與基板上之表面物質的矩離 各有不同。根據此一較佳例，可一面控制複數個噴槍之切 削速率，一面除去未形成罩幕圖案之部份的絶緣層。 再者，於本發明氣體放電型顯示装置之製法中’較佳 的是，由複數個噴槍所噴射之研磨砂的平均粒徑各有不同 。根據此一較佳例’可一面控制複數個噴槍之切削速率’ 一面除去未形成罩幕圖案之部份的絶縁層。 [發明之宵施形態〕 以下，茲以寅施之形態，將本發明作更詳細之説明。 圖1係本發明第一形態之氣體放電型顯示装置之部份 斷面圖。如圖1所示，於透明玻璃等所構成之前面板1上 _ ，形成有複數個條帶狀隆極線2。又，由透明玻璃等所構 成之背面板3上，形成有複數之條帶狀陽掻母線4 a。前 面板1與背面板3 ，係以陰極線2與陽掻母線4 a彼此直 交配置之方式，夾著複數個分隔壁5相對向。藉此，由分 隔壁5包圍之多數個放電電池6係形成為矩陣狀。組合之 前面板1與背面板3之周圍，係由低熔點玻璃等所封止， 放電電池6之内部，封入有以稀有氣體為主體之放電氣體 0 背面板3上，與各放電電池6對應，分別形成有陽極 電掻4 b。各陽極電極4 b上，於放電電池6内，形成有 -14- 本紙張尺度逍用中囷國家棣準（CNS )六4^格（210X297公釐） (請先閏讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 A7 ___________B7 五、發明説明（/v) 顯示電極體7。顯示電掻體7係藉電阻體8與陽極母線4 a榇續。如此，藉由陰極線2與顯示電極體（陽極）7 1 形成放電電池6内之一對放電電極。又，圖1中，1 1係 輔助陽極，使用産生輔助放電，使放電電池6内之放電可 容易地開始。 形成有陽極母線4 a 、陽極電極4 b及電阻體8之背 面板3之上，不包括顯示電掻體7之部份，形成有層間絶 縁膜1 0 。藉此，可防止放電電池6内之電漿與陽極母線 4 a或電阻體8間之放電。又，放電電池6内之層間絶緣 膜1 0之上，不包括顧示電棰7之部份，塗布有螢光體9 0 分隔壁5係形成盎由背面板3側依序層合之第一、第 二及第三分隔壁層5 a、5 b、5 c之三層層合構造。因 此，藉由第一分隔壁層，可提高對於層間絶縁膜1 0 之分隔壁5的密接性，以及對於光致抗蝕劑剝越劑之分隔 壁5的耐久性。又 > 藉由第二分隔壁層5 b ，可使對於噴 砂工法之切削性良好。再者，藉由第三分隔壁層5 b ，可 使對於曈砂時成為罩幕之光致抗蝕劑的分隔壁5之密接性 提高。 其次，茲就本發明第一寅施形態之氣體放電型顯示装 置的製法説明之， 圖2係上述製法之過程圖。首先，如圖2 ( a )所示 ，在由透明玻璃等所構成之厚度為3 mm的背面板3上， 本紙张尺度速用中國國家標率（CNS) Α4規格（210Χ297公釐〉 (请先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、?τ € $20732 五、發明説明 A7 B7 (巧) 以絲網 線4 a 4 a ' 度係8 a與陽 度塗布 溫度燒 背面板 ，將玻 2 0〜 ，在陽 圖2 ( 0重 材料， 在第一 分于結 M m之 上，將 與玻璃 ，形成 用甲基 、羥乙 乙基丙 印刷法及 、陽掻電 陽極電極 0 M m ° 極電極4 ，再將此 成，形成 3上 > 以 璃糊料以 6 0 0 °C 極電極4 d )所示 量％之嫌 以1 Ο μ 絶縁層上 含劑與玻 厚度成膜 以2 0 粉為主成 第三絶緣 纖維棄、 基纖維棄 基嫌維素 光學石版術法 極4 b及輔助 4 b及輔助陽 其次，如圖2 b之間，將R —R U 0 2 糊 形成複 陽極1 掻1 1 (b ) U 0 2 料以約 次，如 電掻體 塗布， 形成層 成顯示 膜1 0 結含劑 ，形成 之材料 縁層。 %之纖 1 0〜 纖維案 丙基纖 素、羥 方式形 數個條帶 1 。於此 之厚度係 所示，在 糊料以2 5 2 0〜 圍2 ( c 7用之開 將該玻璃 間絶縁膜 電極體7 上，將以 與玻璃粉 第一絶縁 5重量％ ，以2 0 之後，於 維棄系S 2 Ο μ m 系高分于 維棄、羥 甲基丙基 成三層層 狀之陽掻母 ，陽極母線 5 μ m ，寬 陽極母線4 0 M m之厚 6 Ο Ο Ό 之 )所示，在 □部的方式 糊料以約5 1 0。其次 。而後，如 1 0 〜3 為主成份之 層。楢之* 之纖維系高 0 〜2 1 0 第二絶縁層 分于結含劑 之厚度成膜 ，-例如可使 甲基嫌維棄 纖維素、羥 合體之後1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 電阻體 不包括 3 5m 之溫度 b之上 ，在層 維棄系 m之厚 ，將以 璃粉為 >形成 〜 5 份之材 層。又 乙基嫌 、羥丙 等等。 8。其 供顯示 m厚度 燒成， 面，形 間絶縁 高分于 度成膜 0 5 主成份 第二絶 〇重量 料|以 ，作羔 維素、 基纖維 以上述 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公嫠） 經濟部中夬棟隼局負工消资合作社印製 A7 ___B7__ 五、發明説明（ 介以罩幕圖案利用噴砂工法將三層層合體之不必<要_.部份蝕 除n再-丄11!1„5.』.〇〜_5 5.1°5_之_溫..度.燒成..，—藤在—曆-潤~^縁 膜1 0上形成由第一、第二及第三分隔壁層5 a、5 b及 5 c所構成之分隔壁5。其次，在不包括顯示電極賴7之 部分的分隔壁5、5間之層間絶縁膜1 〇上，以2 Ο μ m 之厚度塗布螢光體9。另一方面，在由透明玻璃等所構成 之前面板1上’以絲網印刷法及光學石版術法形成；複數之 條帶狀険棰線2。此處，険掻線2之厚度係Sum寬係1 7〇um(以上請參見圖2 ( d ))。其次，如圖2 ( e )所示，將前面板1之險極線2側與背面板3之陽棰母線 4 a側相對向，以使険極線2與陽極母線4 a直交之方式 |將前面板1與背面板3介以分隔壁5接合。藉此，由分 隔壁5所包圍之多數個放電竜池6 ，係形成袅矩陣狀。繼 •之，將前面板1與背面板3之周圍，以低熔點玻璃等封止 ，在作真空排氣之後，在放電電池6之内部封入以稀有氣 體為主體之放電氣體。藉由以上之過程，獲得氣體放電型 顯示装置。 如圖3所示，用以形成分隔壁5之玻璃粉糊料中之截 維棄系高分于結含劑的含量，係對相對背面板3等之密接 性或噴砂時之切削速率帶來影饗。是以，分隔壁5中之纖 維菜系高分于結含劑之含量或其分布狀態，對於精密且超 微細之分隔壁5的形成，金帶來重大的影響。 具體言之，當第一分隔壁層5 a之截維素系高分亍結 本紙張尺度遑用中國國家標隼（CNS ) Μ规格（210Χ29"；公嫠〉 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ΐτ· 320732五、發明説明（ A7 B7 經濟部中央標準局®:工消費合作社印袈 含劑之含量未達1 0重量％時，與背面板3或層間絶緣 膜1 0之接著強度會降低，而當超過3 _ 0重量％時，在 噴砂之際之切削速率畲變慢，以致降低製造裝置之産率。 又，當第二分隔壁層5 b之纖維素系高分于結合劑的含量 未達0 · 5重量％時，噴砂時之切削速率會變得過快，以 致分隔壁5之側蝕量增大’同時，第二分隔壁層5 b與第 一及第三分隔壁層5 a、5 c之密接性也會趨劣。又，第 二分隔壁層5 b之纖維棄系高分于結合劑之含量超過1 5重量％時|喰砂時之切削速率會減慢，以致製造装置之 産率降低。又，當第三分隔壁層5 c之嫌維索系高分于結 含劑之含量未達2 0重量％時《對於曈砂用之光致抗蝕 劑的密接性畲轉劣，以致分隔壁5之微細加工變得困難； 當超過5重量％時，曈砂時之切削速率會滅慢，以致製造 裝置之産率降低。根據發明人等之黄験確認’第一及第三 分隔壁層5 a、5 c之厚度均薄，且第一及第三分隔壁層 5a、 5c之戴維棄系高分于結含劑的含量多之場含，可 獲得良好之結果。 如上所述，根據本黄施之形態1由於使第三分隔壁層 5 c之纖維棄系高分子結合劑的含量充份大，因此，分隔 壁與罩幕圖案用光致抗蝕劑之密接性優異，切削速率也較 緩才開始增大，是以，在噴砂初期，可正確地切削放電電 池開口部。又，由於第二分隔壁層5 b之锇維素系高分于 結合劑的含量係設定成極少，因此，其切削速率極快，可 本紙伕尺度逋用中國國家揉率（CNS〉Α4规格（210X297公釐} (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
，1T -^! 經濟部中央梯準局工消費合作社印製 320732 at __B7_ 五、發明説明（/¾) 提高製造裝置之産率。又’就第一分隔壁層5 a ，由於與 第二分隔壁層5 b相較’纖維棄系高分于結含劑之含量有 若干之增加，因此，分隔壁5之對於層間絶縁膜10之接 著性提高。如此’在噴砂過程終了後’於除去分隔壁5上 之光致抗蝕劑的過程中’不會有剝離劑侵入分隔壁5與層 間絶縁膜1 〇之間造成妨礙之度。 利用喰砂工法之分隔壁5的形成’在噴砂之初期、中 間期、終朗，係對噴砂装置之切削條件及切削之分隔壁材 料，要求不同之特性，但在本實施形態中’由於係層合具 有不同材料特性之三種分隔壁層，可在不降低製造裝置之 産率的狀況下，寅施理想之喰砂。 第一及第二分隔壁層5a、5b中，為了提高輝度’ 係使用白色材料。另一方面1第三分隔壁層5 c中’宜使 •用著色成黑色之糊料。在第三分隔壁層5 c若使用黑色糊 料，在形成噴砂用罩幕圖案時，可防止光致抗蝕劑曝光時 之最影。如此，因可形成正確之罩幕圖案，因此可形成對 用以顯示高精細度圖像之放電電池的形成，有必要之超微 細且高精度之分隔壁，又，此一黑色之糊料’在作為完成 之氣體放電型顧示裝置再生映像時，可作為黑矩陣發揮機 能，因此，對於顯示圖像之對比度的提高’可發揮效果。 又，於本黄施例之形態中，第一分隔壁層5 a之厚度 係設成1 0 Mm |第二分隔壁層5 b之厚度係設成2 0 0 〜2 1 〇Mm，第三分隔壁層5c之厚度，係設成1 0〜 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 320732 A7 經濟部中央揉準局—工消費合作杜印製 B7五、發明説明（^/) 2 0 Mm，但是，各分隔壁層之厚度不一定要限定於此等 數值。若將第一絶縁層5 a之厚度設定於5〜1 5 Mm之 範圍内’第二絶縁層5b之厚度設定於1〇〇〜250μ m之範圍内’第三絶縁層5 c之厚度設定於5〜3 0 //m 之範圍内，可獲得相同之效果。 [第二寅施形態] 圖4係本發明第二寅施例形態之氣體放電型_示裝置 之部份斷面圖。如圖4所示，本黄施例形態之第二分隔壁 層5 b ，係進而藉由層合複數之分隔壁膜5 b i ，5 b2 、5 b3 、""·，5 bn形成。具雅言之，第一分隔壁層 5 a之上面，係藉將纖維系高分于結合劑之含量，分別在 0 _ 5〜1 · 5重量％之範圍内變化調含成之玻璃粉糊料 塗布層含，而形成有由複數個分隔壁膜5 b : 、5 b2 、 • 5 b 3 ' ......、5 bn所構成之第二分陽壁層.5 B。此一 場合下，各分隔壁膜5bi ' 5 b 2 ' 5 b 3 、……5bn 之材料組成及分隔壁膜之數目η ，係依目的之放電電池之 大小、形狀及氣體放電型顯示裝置之用途等而適當選擇。 又，其他之構成與上述第一寅施例形態相同，至於其説明 在此省略。 依上述方式’藉由將第二分隔壁5 b形成為複數個分 隔壁膜5bi 、5b2 、5b3 、···· 5bn之層含構造 可在將具有微細形狀尺寸之分隔壁5儘量防止側蝕之狀 況下，作精密之加工。 -20- (請先W讀背面之注意事項再填寫本頁) Γ Γ 、-'° A ! 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 320732 B7 經濟部中央橾準局貝工消費合作杜印製 五、發明説明 (A) > • I I I 又 9 於 上 述 第 —— 及 第 二 黄 施 例 形 態 中 形 成 分 隔 壁 時 1 1 1 I ) 係 使 用 纖 維 棄 系 分 于 結 含 劑 但 不 受 此 之 m 制 若 為 請 1 1 樹 脂 結 含 劑 也 可 〇 又 此 — 場 合 下 使 用 可 獲 得 相 同 效 果 先 閱 1 I 讀 1 1 之 聚 合 物 物 質 亦 腫 無 妨 〇 作 连 聚 合 物 物 質 可 使 用 例 如 矽 背 £ 1 I 之 1 系 聚 含 體 聚 苯 乙 烯 \ 丁 二 m / 苯 乙 烯 共 聚 物 聚 醯 胺 i 1 I 分 于 量 聚 m 瑭 氣 乙 與 化 丙 烯 之 共 聚 合 物 以 及 各 事 項 再 1 1 種 丙 烯 酸 系 聚 含 物 等 等 0 填 % 1 ά 本 又 1 於 上 述 第 — 及 第 二 寅 施 狀 態 中 係 藉 印 刷 法 形 成 頁 >—^ 1 1 分 隔 壁 但 不 — 定 受 此 — 方 法 之 限 制 例如 可 採 用 使 用 1 I 稱 為 9 r e e η t a pe j 之 絶 縁 體 組 成 膠 帶 材 料 0 1 [ 第 三 寅 施 例 j - 1 訂’ 其 次 茲 就 噴 砂 工 法 中 使 用 之 噴 砂 裝 置 進 行 説 明 〇 - 1 1 圖 5 係 本 發 明 第 三 黄 施 形 想 中 所 用 之 喰 砂 裝 置 的 概 略 1 | 透 視 圈 0 如 圖 5 所 示 本 施 形 態 之 噴 砂 装 置 的 噴 槍 1 6 1 1 I 1 係 由 四 個 噴 槍 1 6 a N 1 6 b N 1 6 C 1 6 d 所 構 成 1 0 背 面 板 3 係 朝 — 方 向 移 勤 噴 砂 装 置 ( 噴 槍 1 6 ) 係 1 1 在 背 面 板 3 之 罩 幕 圖 案 1 4 的 上 方 t 相 對 stts 冃 面 板 3 之 移 動 1 I 方 向 在 直 角 方 向 往 復 運 動 〇 於 此 — 狀 態 下 由 噴 槍 1 6 a 1 1 I \ 1 6 b 、 1 6 C N 1 6 d 之 噴 嘴 噴 出 玻 璃 珠 等 之 研 磨 砂 1 » 1 t 係 將 未 形 成 罩 幕 圈 案 1 4 之 部 份 的 補 強 糊 料 1- 2 切削 除 去 0 此 處 噴 槍 1 6 a 1 6 b \ 1 6 C \ 1 6 d 係 沿 背 1 1 面 板 3 之 移 動 方 向 依 序 配 置 〇 1 1 圖 6 係 使 用 上 述 方 式 構 成 之 噴 砂 裝 置 時 的 切 削 裝 置 0 1 1 2 1 - 1 1 本紙張尺度適用中國國家棣準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央榡準局员工消費合作社印製 A7 — _B7___ 五、發明説明（〖]) 如圖6所示，各噴槍16a、 16b、 16c、 16d之 下方的補強糊料1 2係由分別不同之切削條件切削。圖6 中所示的是，令噴槍1 6a、1 6b、1 6c、1 6d之 喰射距離各有不同，將各噴槍之切削速率調整之場合，但 也可將噴槍16a、 16b、 16c、 16d之曈射壓力 、噴槍之噴嘴口徑或研磨砂之平均粒徑不同化，而調整各 噴槍之切削速率。 若依上述方式，構成噴砂装置，將噴槍1 6a、1 6 b、 】6 c、1 6 d之切削速率依此一順序調整成減小的 話，可將分隔壁5之側蝕量·抑制地較小，同時可提高製造 裝置之産率。具體言之>當注目特定部位之補強糊料12 時，由於此一特定部位之補強糊料12係由徐徐變小之切 削速率切削除去，因此，可將分隔壁5之側蝕童抑制地較 小。又，由於使用備有複數之噴槍1 6 a 、1 6 b 、1 6 c、 1 6 d之噴砂装置，因此，製造装置之産率不致降低 0 以下，茲將本黄施形態之各噴槍的噴射條件表示如下 (寅施例1 ) 將噴槍之噴嘴口徑固定於9 mm，將研磨砂之平均粒 徑設成2 0 時之各噴槍的噴射壓力以相對值表示如下 0 噴槍 16a : 4 0 -22- 本紙張尺度適用中國國€棣準（CNS ) A4规格（210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 J20132五、發明説明（#) 噴槍1 6 b 噴搶1 6 c 噴槍1 6 d (黄施例2 ) A7 B7 〇 5 將噴射壓力設成一定（2kg/cmz )，將研磨砂 之平均粒徑設成2 0 wm時之各噴槍的噴嘴□徑表示如下 喰槍1 6 a 噴槍1 6 b 噴槍1 6 c 6mm 9mm 2mm 噴 槍 1 6 d 1 5 m m ( 寶 施 例 3 ) 將 噴 射 壓 力 設 成 — 定 ( 2 k 8 / cm2 ) 1 研 磨 砂 之 平 均 粒 徑 設 成 2 0 〆 m j 將 噴 嘴 □ 徑設成9 m m 時 之 噴 射 距 睡 t 表 示 如 下 0 噴 槍 1 6 a ; 5 0 m m 噴 槍 1 6 b : 1 0 0 m m 噴 槍 1 6 c ; 1 5 0 m m 噴 槍 1 6 d · 2 0 0 m m ( 施 例 4 ) 將 噴 射 壓 力 設 成 — 定 ( 2 k 8 / cm2 ) N 噴 嘴 □ 徑 設 成 9 m m 噴 射 m 離 設 成 1 〇 0 m m時之 研 磨 砂 的 平 均 粒 徑 表 示 如 下 0 23- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X29·/公釐） (請先閏讀背面之注意事項再填寫本頁) 、-'β < ! 經濟部中央揉準局貞工消费合作社印策 A7 B7 五、發明説明 又，有關研磨砂之平均粒徑，在未設有分隔壁形成用 之罩幕圖案的部份，在切削速率方面Μ無影響，但是，由 罩幕圖案所包圍之部份，一般而言，平均粒徑愈小，切肖Ij 速率愈大。 上述黄施例1〜4 ，均係氣體放電型顬示裝置之放電 電池的開□部尺寸為5 5 0 MmX 4 5 0 Mm *分隔壁的 高度為2 0 0 Mm之例于的黄験結果。圖7中所示的是， 本實施例形想中所獲得之氣體放電型顯示装置的産量與分 隔壁的側視置之關係，與習用例比較之結果。如圖7所示 ，相對於習用之分隔壁形成方法中，企圖提高製造裝置之 産率時的側蝕量增加，本萁施形態所獲得的氣體放電型_ 示装置之分隔壁，與無關，極 #，•隔壁之側 •触較小。如此，可提高氣體放電型顯示装置之量産 性。 於上述寅施例—四圖中，係改變吝噴槍之一個噴射 條件使各嗆槍之切削速率不同，但也可改變各噴槍之複數 個嗆射條件，令各噴槍之切削速率不同也可，此一場合下 ，可將喰槍1 6a、 1 6b、1 6c、 1 6d之切削速率 調整成依此次序減小。 又，於本寅施例中，係就使用備有四個噴槍1 6 a 、 1 6 b 、1 6 c 、1 6 d之噴砂裝置的場合之例于進行説 明，但該噴槍之數目不賬禹四個，例如也可使用二〜十個 -24- 本紙乐尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公漦） (請先閏讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 一! A7 B7 86· 23 五、發明説明（） 。噴搶之數目，係可依氣體放電型顯示裝置之大小、使用 目的、放電電池之形狀‘等適當地變更。 又，於上述第--第三實施形態中，係K直流形氣體 放電型顯示裝置為例說明，但本發明不一定限定於直流形 氣體放電型顯示裝置，應用於交流形氣體放電型顯示裝置 ，也可獲得相同之效果。 〔發明之效果] 如上所說明，根據本發明氣體放電型顯示裝置*藉由 第一分隔壁層，可提高對於第二基.板之分隔壁的密接性， 同時堪可提高對於光致抗蝕劑剝離劑之分隔壁的耐久性。 又，藉由第二分隔壁層，也可使對於噴砂法之切削性良好 。又，藉由第三分隔壁層，可提高對於嗔砂時成為罩幕之 光致抗蝕劑的分隔壁之密接性。 又*根據本發明氣體放電型顯示裝置之製法，可在不 降低製造裝置之產率的狀況，在不造成側蝕之前提下，容 易地形成極超微细且具有正確形狀尺寸之分隔壁。 〔圖面之簡單說明] 圖1係本發明之第一實施形態氣體放電型顯示裝置之 部分斷面圖。 圖2 (a)〜（e)係本發明之第一實施形態氣體放 罨型顯示裝置的製法之過程圖。 圖3係本發明第一實施形態之分隔壁材料中所含的缴 維素系高分子结合劑之量，與噴砂切削速率及接著性之關 -2 5- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1. 1 装 訂 ^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央橾準局員工消費合作社印氧 Α7 Β7 320732 五、發明説明（） 係特性圖。 圖4係本發明第二會施胗態氣體放電型顯示裝置之部 份斷面圖。 圖5係本發明第三實施形態中使用的噴砂裝置之概略 透視圖。 圖6係本發明第三實施形態的分隔壁形成方法之斷面 圈。 圖7係本發明第三實施形態所獲得之氣體放電型顯示 裝置的產率與分隔壁的側蝕量之關係特性圖。 圖8係習用技術的氣體放電型顯示裝置之部份斷面圖 0 圖9 (a)〜（e)係習用技術的氣體放電型顯示装 置之製造方法之過程圖。 圖10係習用技術的噴砂過程之概略圖。 圖1 1係習用技術之備有一個噴搶之噴砂装置的噴射 壓力與補強糊料的切削速率及分隔壁的側蝕量之關係特性 圖0 圖12係習用技術之備有一個噴槍之噴砂装置的噴射 距離與補強糊料的切削速率及分隔壁的側蝕量之關係特性 圖0 圖13 (a) 、 （b)係習用技術之分隔壁的側蝕狀 態之斷面·。 〔符號之說明〕 -26- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ,ιτ 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 it 8b (20732 ；'ϋ. 23五、發明説明（ A7 B7 1 前 面 板 2 陰 極 線 3 背 面 板 4 a 陽 極 母 線 4 b 陽 極 電 極 5 分 隔 壁 5 a 第 一 分 隔 壁 暦 5 b 第 二 分 隔 壁 層 5 c 第 三 分 隔 ϊττί 壁 層 7 顯 示 電 極 體 8 電 阻 體 9 螢 光 體 10 層 間 絕 緣 膜 12 補 強 糊 料 14 罩 幕 圖 案 16 噴 槍 (裝 訂 ^".-J (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央搮準局貝工消費合作社印製 -27 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）