KR19980084258A - 플라즈마 표시소자의 격벽 제조방법 - Google Patents

Abstract

기판의 상면에 소정패턴의 어드레스 전극층을 형성하는 제1단계와, 상기 어드레스 전극층이 형성된 기판의 상면에 절연층을 형성하는 제2단계와, 상기 절연층의 상면에 격벽층를 소정의 두께로 형성하는 제3단계와, 상기 격벽층를 레이저 가공, 연마제를 이용한 젯트가공, 또는 워터젯가공에 의해 소정패턴의 격벽를 형성하는 제4단계를 포함하여 된 것에 특징이 있으며, 이는 격벽의 형성에 따른 작업공수를 줄일 수 있다.

Description

플라즈마 표시소자의 격벽 제조방법

본 발명은 플라즈마 표시소자 및 이 플라즈마 표시소자의 격벽 제조방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 화소간의 크로스 토크를 방지하는 격벽이 개량된 플라즈마 표시소지 및 이의 격벽 제조방법에 관한 것이다.

플라즈마 표시소자는 형광물질이나 특수 가스를 여기시킴으로써 빛을 발생시키고, 이 빛을 이용하여 화상을 형성하는 장치이다. 예컨대, 방전공간에 설치된 두 전극에 소저의 전압을 인가하여 이들 사이에서 글로우방전이 일어나도록 하고, 이 글로우방전시 발생되는 자외선에 의해 소정의 패턴으로 형성된 형광체층을 여기시켜 화상을 형성하게 된다.

상술한 바와 같은 플라즈마 표시소자는 크게 교류형(AC type)과 직류형(DC type) 및 혼합형(hybrid type)으로 대별되는데, 도 1에는 이러한 플라즈마 표시소자중 교류형 플라즈마 표시소자의 일예를 나타내 보였다.

도시된 바와 같이 일반적인 플라즈마 표시 소자는 기판(10)과, 상기 배면 기판(10) 위에 형성된 어드레스 전극(11)과, 이 어드레스 전극(11)이 형성된 기판(10)위에 형성된 유전체층(12)과, 이 유전체층(12) 상에 형성되어 방전거리를 유지시키고 셀간의 전기적 광학적 크로스 토크를 방지하는 격벽(13)과, 상기 격벽(13)이 형성된 기판(10)과 결합되며 상기 어드레즈 전극(11)과 직교하도록 소정의 패턴으로 형성된 전극(14)(15)들이 하면에 형성된 전면판(16)을 구비하여 구성된다. 그리고 도면에는 도시되어 있지 않으나 상기 격벽(13)에 의해 구획된 방전공간 내의 적어도 일측에는 형광체층이 형성되고, 상기 전면판의 하면에는 한쌍의 전극이 몰입되는 유전체층이 형성될 수 있다.

상술한 바와 같이 구성된 플라즈마 표시소자는 각 전극에 소정의 전압이 인가됨에 따라 양이온이 유전체층(12)으로 집적되고, 이 이온들과 전극(14,15)들 중의 한 전극과 예비적으로 트리거 방전이 일어나 하전입자가 형성되고, 전면판(16)의 하면에 형성된 전극(14)(15)사이에서 주방전이 일어난다. 상기 주방전시에 발생되는 자외선에 의해 형광체층이 여기되어 화상을 형성한다.

상술한 바와 같이 작동되는 플라즈마 표시소자는 방전공간을 구획하는 격벽(13)에 의해 전기적 광학적인 크로스 토크가 방지되는데, 이러한 격벽의 형성방법은 스크린 인쇄를 이용한 후막 다층 인쇄방법과, 샌드 브라스팅법(sand-blasting method) 및 스퀴징접(squeezing method)등이 이용된다.

도 2a 내지 도 2c에는 상술한 격벽 형성방법중 후막 다층 인쇄법의 일예를 나타내 보였다.

먼저 도 2a와 도 2b에 도시된 바와 같이 기판(10)의 상면에 소정패턴의 어드레스 전극(11)을 형성하고, 이 어드레스 전극(11)이 형성된 기판(10)의 상면에 절연층인 유전체층(12)을 형성한다. 그리고 도 2c에 도시된 바와 같이 유전체층(12)의 상면에 소정 패턴 즉, 격벽의 패턴과 동일한 패턴의 스크린을 이용하여 반복 인쇄하여 격벽(13)을 형성한다.

상술한 바와 같이 격벽(13)을 형성하는 것은 격벽(13)의 인쇄공정과 건조 및 소성공정을 반복하여야 하므로 인쇄 및 열처리에 따른 격벽 패턴의 변형이 필수적으로 발생되는 문제점을 가지고 있을 뿐만 아니라 생산성의 향상을 도모할 수 없는 문제점을 가지고 있다.

또한 상술한 바와 같이 스크린을 이용하여 기판에 격벽을 형성하기 위한 재료를 반복 인쇄함으로써 격벽을 형성하는 것은 미세한 격벽패턴을 형성하는데 한계가 있다.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 방전공간을 구획하는 격벽의 변형을 방지할 수 있으며, 격벽의 형성에 따른 생산성의 향상을 도모할 수 있는 플라즈마 표시소자의 격벽 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.

도 1은 종래 플라즈마 표시 소자의 분리 사시도,

도 2a 내지 도 2c는 종래 격벽의 형성방법을 도시한 도면,

도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 표시소자의 분리 사시도,

도 4a 내지 도 4d는 종래 기판에 격벽을 형성하는 단계를 나타내 보인 도면,

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

31; 기판 32; 어드레스 전극

33; 유전체층 40; 격벽

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명, 플라즈마표시소자의 격벽제조방법은, 기판의 상면에 소정패턴의 어드레스 전극층을 형성하는 제1단계와, 상기 어드레스 전극층이 형성된 기판의 상면에 유전체층을 형성하는 제2단계와, 상기 유전체층의 상면에 격벽층을 소정의 두께로 형성하는 제3단계와, 상기 격벽층을 가공하여 소정패턴의 격벽를 형성하는 제4단계를 포함하여 된 것을 그 특징으로 한다.

본 발명에 있어서, 상기 제4단계는 격벽층을 레이저가공 또는 연마제를 이용한 젯트가공하여 격벽을 형성한다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 한 바람직한 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 플라즈마 표시소자의 일 실시예를 도 3에 나타내 보였다.

도시된 바와 같이 기판(31)의 상면에 소정패턴의 어드레스 전극(32)이 형성되고, 이 어드레스 전극(32)이 형성된 기판(31)의 상면에는 유전체층(33)이 설치된다. 상기 유전체층(33)의 상면에는 격벽층을 소정의 패턴으로 가공하여 형성된 격벽(40)가 형성된다. 그리고 상기 기판은 하면에 주방전을 이루기 위한 전극(34)(35)들이 형성된 투명한 전면기판(36)과 결합된다.

상술한 바와 같이 구성된 플라즈마 표시소자에 있어서, 기판(31)에 대한 격벽의 형성은 다음과 같이 이루어진다.

기판(31)의 상면에 격벽(40)을 형성하기 위한 방법이 도 4a 내지 도 4e에 도시되어 있다. 먼저 기판(31)에 격벽을 형성하기 위해서는 제1단계로서 세정이 완료된 기판(31)의 상면에 소정의 패턴을 가지는 어드레스 전극층(32)이 형성한다.(도 4a). 그리고 제2단계로서 어드레스 전극층(32)이 형성된 기판(31)의 상면에 유전체층(33)을 형성한다.( 도 4b). 상기와 같이 유전체로 이루어진 유전체층의 형성이 완료되면, 제3단계로서 상기 절연층(33)의 상면에 격벽을 형성하고자하는 재료를 이용하여 격벽층(41)을 형성한다.(도 4c) 상기 유전체층(33)에 대한 격벽층의 형성은 기판(31)의 유전체층(33) 상면에 격벽을 이루고하는 격벽재를 주입하고 이를 소정의 회전수로 회전시키면서 도포하는 스템핑 공정에 의해 이루어지거나 후막인쇄법에 의해 이루어진다. 여기에서 상기 격벽재는 글라스 페이스트 또는 감광성물질(green sheet; 듀폰사 제품임)이 이용된다.

상기와 같이 격벽층(41)이 완료되면 상기 격벽층을 가공하여 방전공간을 구획하는 소정패턴의 격벽(40)을 형성한다. 상기 격벽(40)을 형성하기 위한 격벽층(41)의 가공은 도 4d에 도시된 바와 같이 연마제 분사하는 연마제 젯가공에 의해 이루어지는데, 이 연만제 젯트 가공은 고압의 공기에 연마제를 편승시켜 가공하거나 연마제를 물에 편상시켜 분사하여 가공하는 워터젯가공 또는 센트 브라스트 등을 말한다. 상술한 바와 같은 연마제 젯트 가공에 있어서, 상기 연마제의 분사는 격벽의 패턴과 동일한 패턴을 갖도록 분사되어야 함은 물론이다.

이러한 패턴의 분사는 연마제 젯트 가공을 위한 노즐의 분사공의 배열을 조정할 수 있다. 그리고 연마재를 무작위로 분사하는 경우에는 격벽층(41)의 상면에 격벽이 형성될 부위가 연마되지 않도록 하는 마스크층 형성함으로써 가능하다.

상술한 바와 같은 방법에 의해 방전공간인 격벽(40)이 형성된 플라즈마 표시소자는 각 전극에 소정의 전위가 인가됨에 따라 양이온들이 유전체층(33)으로 집적되고, 이 양이온들과 전면판에 형성된 전극중의 한 전극 사이에서 예비적으로 방전되는 트리거 방전이 일어나 하전입자를 형성하고 방전공간에 노출되는 한쌍의 전극(34)(35) 사이에서 주방전이 일난다. 이 주방전시에 외선에 의해 형광체층(도시되지 않음)이 여기되어 화상을 형성하게 된다.

이상에서 설명한 바와 같이 상술한 플라즈마 표시소자의 격벽 제조방법은 다음과 같은 효과를 가진다.

첫째: 격벽을 형성함에 있어서 종래 인쇄법에 비하여 그 공정을 단축할 수 있어 생산성의 향상을 도모할 수 있다.

둘째; 동일한 패턴을 반복하여 적층하고 이를 건조 및 소성시켜야 하므로 공정이 간단하며, 미세 패턴의 격벽을 균일하게 형성할 수 있다.

셋째; 격벽층의 두께를 조정함으로써 격벽의 높이를 조절할 수 있으므로 격벽의 높이 조절이 용이하다.

넷째;격벽층의 높이에 따른 산포를 줄일 수 있다.

본 발명은 도면에 도시된 바와 같은 상기 실시예에 의해 한정되지 않고 본원 발명의 기술적 범위내에서 당업자에 의해 다양한 방법으로 변형 가능함은 물론이다.

Claims (1)

1. 기판의 상면에 소정패턴의 어드레스 전극층을 형성하는 제1단계와,

   상기 어드레스 전극층이 형성된 기판의 상면에 절연층을 형성하는 제2단계와,

   상기 절연층의 상면에 격벽층를 소정의 두께로 형성하는 제3단계와,

   상기 격벽층를 레이저 가공, 연마제를 이용한 젯트가공, 또는 워터젯가공에 의해 소정패턴의 격벽를 형성하는 제4단계를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 격벽 제조방법.