JP3229722B2 - プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プラズマディスプレイ
パネル（以下、ＰＤＰと記す）の製造工程に係わるもの
であり、詳しくはＰＤＰの放電空間を構成する障壁の形
成方法に関するものである。
パネル（以下、ＰＤＰと記す）の製造工程に係わるもの
であり、詳しくはＰＤＰの放電空間を構成する障壁の形
成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＰＤＰにおける障壁の形成方法と
しては、ガラス基板上にガラスペーストをスクリーン印
刷によりパターン状に重ねて印刷を行い、このペースト
を乾燥、焼成して所望の障壁を形成する方法が一般的で
あったが、この方法は工程が複雑であるとともに良好な
線幅精度が得られ難いことから、最近では、ガラス基板
上にガラスペーストを所定の厚さで塗布して乾燥させ、
その上に耐サンドブラスト性を有するマスクをパターン
状に形成してから、このサンドブラスト用マスクを介し
てサンドブラスト加工を行うことによりガラスペースト
を研削して所望パターンの障壁を形成する方法が提案さ
れている。
しては、ガラス基板上にガラスペーストをスクリーン印
刷によりパターン状に重ねて印刷を行い、このペースト
を乾燥、焼成して所望の障壁を形成する方法が一般的で
あったが、この方法は工程が複雑であるとともに良好な
線幅精度が得られ難いことから、最近では、ガラス基板
上にガラスペーストを所定の厚さで塗布して乾燥させ、
その上に耐サンドブラスト性を有するマスクをパターン
状に形成してから、このサンドブラスト用マスクを介し
てサンドブラスト加工を行うことによりガラスペースト
を研削して所望パターンの障壁を形成する方法が提案さ
れている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記したサンドブラス
ト加工法により障壁を形成する場合、障壁材料として研
削速度の速いガラスペーストを用いると、サンドブラス
ト加工に要する時間は短縮されるが、障壁の形状が悪く
なるという問題点がある。すなわち、障壁の下部コーナ
ー部分が研削されずに残ったり、逆に障壁の側面が過大
に削れて痩せてしまうといった事態が発生する。一方、
研削速度の遅いガラスペーストを用いると、障壁の形状
は良くなるが、加工時間が長いために下部面のダメージ
が大きくなり、特に基板上に電極がある場合にはその表
面のダメージが大きくなるという問題が発生する。この
後者の問題を解決するために、例えば電極上を保護膜で
覆うことも提案されてはいるが、工程が増えるという問
題点がある。
ト加工法により障壁を形成する場合、障壁材料として研
削速度の速いガラスペーストを用いると、サンドブラス
ト加工に要する時間は短縮されるが、障壁の形状が悪く
なるという問題点がある。すなわち、障壁の下部コーナ
ー部分が研削されずに残ったり、逆に障壁の側面が過大
に削れて痩せてしまうといった事態が発生する。一方、
研削速度の遅いガラスペーストを用いると、障壁の形状
は良くなるが、加工時間が長いために下部面のダメージ
が大きくなり、特に基板上に電極がある場合にはその表
面のダメージが大きくなるという問題が発生する。この
後者の問題を解決するために、例えば電極上を保護膜で
覆うことも提案されてはいるが、工程が増えるという問
題点がある。
【０００４】本発明は、上記のような問題点に鑑みなさ
れたものであり、その目的とするところは、保護膜など
を使用せずともサンドブラスト加工時に下部面に対する
ダメージが少なくて済み、しかも形状の良好な障壁を形
成することのできるＰＤＰの障壁形成方法を提供するこ
とにある。
れたものであり、その目的とするところは、保護膜など
を使用せずともサンドブラスト加工時に下部面に対する
ダメージが少なくて済み、しかも形状の良好な障壁を形
成することのできるＰＤＰの障壁形成方法を提供するこ
とにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、ガラス基板上に障壁用のガラスペースト
層を形成し、その上にパターン状のサンドブラスト用マ
スクを形成した後、該サンドブラスト用マスクを介して
のサンドブラスト加工により障壁を形成するＰＤＰの障
壁形成方法において、前記ガラスペースト層を研削速度
の異なる２種類以上のガラスペーストで構成するととも
に、そのガラス基板側のガラスペーストに研削速度の速
いガラスペーストを使用したこと特徴としている。
に、本発明は、ガラス基板上に障壁用のガラスペースト
層を形成し、その上にパターン状のサンドブラスト用マ
スクを形成した後、該サンドブラスト用マスクを介して
のサンドブラスト加工により障壁を形成するＰＤＰの障
壁形成方法において、前記ガラスペースト層を研削速度
の異なる２種類以上のガラスペーストで構成するととも
に、そのガラス基板側のガラスペーストに研削速度の速
いガラスペーストを使用したこと特徴としている。
【０００６】
【作用】上述の構成からなる障壁形成方法では、ガラス
基板側にある研削速度の速いガラスペーストがサンドブ
ラスト加工により容易に研削されるため、障壁の下部コ
ーナー部分は下部面の受けるダメージが少ないうちにそ
のエッジラインが綺麗になるように研削される。
基板側にある研削速度の速いガラスペーストがサンドブ
ラスト加工により容易に研削されるため、障壁の下部コ
ーナー部分は下部面の受けるダメージが少ないうちにそ
のエッジラインが綺麗になるように研削される。
【０００７】
【実施例】以下、図１及び図２を参照しながら本発明の
実施例を説明する。
実施例を説明する。
【０００８】まず、図１の（ａ）に示すように、Ｎｉ電
極１を形成したガラス基板２の上にスクリーン印刷によ
り膜厚５０μｍでガラスペースト３ａ（奥野製薬工業
製、ＥＬＤ−５０１）を塗布して乾燥させた後、その上
に同じくスクリーン印刷により膜厚１００μｍでガラス
ペースト３ｂ（ＮＦＥ製、１１２３ＲＣＢ）を塗布して
乾燥させることにより２層構造のガラスペースト層３を
形成した。
極１を形成したガラス基板２の上にスクリーン印刷によ
り膜厚５０μｍでガラスペースト３ａ（奥野製薬工業
製、ＥＬＤ−５０１）を塗布して乾燥させた後、その上
に同じくスクリーン印刷により膜厚１００μｍでガラス
ペースト３ｂ（ＮＦＥ製、１１２３ＲＣＢ）を塗布して
乾燥させることにより２層構造のガラスペースト層３を
形成した。
【０００９】次いで、（ｂ）に示すように、マスク材４
としてジアゾニウム塩添加ＰＶＡを用い、これをガラス
ペースト層３の上にその膜厚が１０〜１５μｍとなるよ
うスピンナー、ローラーコーター、ブレードコーター等
により塗布して室温で乾燥させた後、マスクパターン５
を介して露光を行った。露光条件は、３６５ｎｍで測定
した時に強度７００μＷ／ｃｍ2 、照射量４００ｍＪ／
ｃｍ2 である。露光後、水に１〜２分浸漬してからスプ
レー現像を行って、（ｃ）に示す如くガラスペースト層
３上にサンドブラスト用マスク６を形成した。
としてジアゾニウム塩添加ＰＶＡを用い、これをガラス
ペースト層３の上にその膜厚が１０〜１５μｍとなるよ
うスピンナー、ローラーコーター、ブレードコーター等
により塗布して室温で乾燥させた後、マスクパターン５
を介して露光を行った。露光条件は、３６５ｎｍで測定
した時に強度７００μＷ／ｃｍ2 、照射量４００ｍＪ／
ｃｍ2 である。露光後、水に１〜２分浸漬してからスプ
レー現像を行って、（ｃ）に示す如くガラスペースト層
３上にサンドブラスト用マスク６を形成した。
【００１０】その後、乾燥工程を経てから、図２の
（ｄ）に示すようにサンドブラスト用マスク６を介して
サンドブラスト加工を行い、（ｅ）に示すようにガラス
ペースト層３の不要部分を除去した。ここでは、研磨材
としてアルミナ♯１０００を用い、噴射圧力３ｋｇｆ／
ｃｍ2 、ノズルと基板１との距離１８５ｍｍ、スキャン
速度３０ｍｍ／ｓｅｃの条件でサンドブラスト加工を行
った。続いて、サンドブラスト用マスク６を剥離剤によ
り除去し、（ｆ）に示す如く基板１上にガラスペースト
からなる障壁７のパターンを得た後、焼成工程を経て障
壁７を基板に密着させた。これにより電極１の表面のダ
メージが極めて少なく、障壁７の下部のエッジライン形
状が良好となったパターンが得られた。
（ｄ）に示すようにサンドブラスト用マスク６を介して
サンドブラスト加工を行い、（ｅ）に示すようにガラス
ペースト層３の不要部分を除去した。ここでは、研磨材
としてアルミナ♯１０００を用い、噴射圧力３ｋｇｆ／
ｃｍ2 、ノズルと基板１との距離１８５ｍｍ、スキャン
速度３０ｍｍ／ｓｅｃの条件でサンドブラスト加工を行
った。続いて、サンドブラスト用マスク６を剥離剤によ
り除去し、（ｆ）に示す如く基板１上にガラスペースト
からなる障壁７のパターンを得た後、焼成工程を経て障
壁７を基板に密着させた。これにより電極１の表面のダ
メージが極めて少なく、障壁７の下部のエッジライン形
状が良好となったパターンが得られた。
【００１１】なお、上記の実施例ではガラスペースト層
を２層としたが、本発明ではガラスペースト層のガラス
基板側を研削速度の速いガラスペーストで形成しさえす
れば、３種類以上のガラスペーストで構成してもよい。
また、上記の実施例では電極を形成した基板に障壁を形
成する場合の例について説明したが、本発明は電極を設
けない基板に障壁を形成する場合についても同様に適用
することができるものである。
を２層としたが、本発明ではガラスペースト層のガラス
基板側を研削速度の速いガラスペーストで形成しさえす
れば、３種類以上のガラスペーストで構成してもよい。
また、上記の実施例では電極を形成した基板に障壁を形
成する場合の例について説明したが、本発明は電極を設
けない基板に障壁を形成する場合についても同様に適用
することができるものである。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るＰＤ
Ｐの障壁形成方法によれば、障壁を形成するガラスペー
スト層を研削速度の異なる２種類以上のガラスペースト
で構成するとともに、そのガラス基板側のガラスペース
トに研削速度の速いガラスペーストを使用したことによ
り、ガラス基板側のガラスペーストがサンドブラスト加
工により容易に研削されるので、サンドブラスト加工時
に下部面に対するダメージが少なくて済み、しかも形状
の良好な障壁を形成することができる。また、電極等を
覆う保護膜などを使用する必要がないという利点もあ
る。
Ｐの障壁形成方法によれば、障壁を形成するガラスペー
スト層を研削速度の異なる２種類以上のガラスペースト
で構成するとともに、そのガラス基板側のガラスペース
トに研削速度の速いガラスペーストを使用したことによ
り、ガラス基板側のガラスペーストがサンドブラスト加
工により容易に研削されるので、サンドブラスト加工時
に下部面に対するダメージが少なくて済み、しかも形状
の良好な障壁を形成することができる。また、電極等を
覆う保護膜などを使用する必要がないという利点もあ
る。
【図１】本発明に係るプラズマディスプレイパネルの障
壁形成方法の実施例を示す前半の工程図である。
壁形成方法の実施例を示す前半の工程図である。
【図２】図１に続く後半の工程図である。
２ ガラス基板 ３ ガラスペースト層 ３ａ ガラスペースト ３ｂ ガラスペースト ６ サンドブラスト用マスク
Claims (1)
- 【請求項１】 ガラス基板上に障壁用のガラスペースト
層を形成し、その上にパターン状のサンドブラスト用マ
スクを形成した後、該サンドブラスト用マスクを介して
のサンドブラスト加工により障壁を形成するプラズマデ
ィスプレイパネルの障壁形成方法において、前記ガラス
ペースト層を研削速度の異なる２種類以上のガラスペー
ストで構成するとともに、そのガラス基板側のガラスペ
ーストに研削速度の速いガラスペーストを使用したこと
特徴とするプラズマディスプレイパネルの障壁形成方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20695993A JP3229722B2 (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20695993A JP3229722B2 (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0745190A JPH0745190A (ja) | 1995-02-14 |
| JP3229722B2 true JP3229722B2 (ja) | 2001-11-19 |
Family
ID=16531848
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20695993A Expired - Fee Related JP3229722B2 (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3229722B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW320732B (ja) * | 1995-04-20 | 1997-11-21 | Matsushita Electron Co Ltd | |
| KR19980084258A (ko) * | 1997-05-22 | 1998-12-05 | 손욱 | 플라즈마 표시소자의 격벽 제조방법 |
| KR100464301B1 (ko) * | 1998-04-13 | 2005-04-06 | 삼성에스디아이 주식회사 | 가스방전 표시소자 격벽 제조방법 |
| KR20050072915A (ko) * | 2004-01-08 | 2005-07-13 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법 |
-
1993
- 1993-07-30 JP JP20695993A patent/JP3229722B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0745190A (ja) | 1995-02-14 |
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Legal Events
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