JPH07272632A - ガス放電パネル及びその製造方法 - Google Patents
ガス放電パネル及びその製造方法Info
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- JPH07272632A JPH07272632A JP6082679A JP8267994A JPH07272632A JP H07272632 A JPH07272632 A JP H07272632A JP 6082679 A JP6082679 A JP 6082679A JP 8267994 A JP8267994 A JP 8267994A JP H07272632 A JPH07272632 A JP H07272632A
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- JP
- Japan
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- electrode
- cell barrier
- electrodes
- discharge panel
- gas discharge
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 電極に使用する材料や、セル障壁パターンに
対応する保護マスクを形成するための感光性材料の如何
に拘らずサンドブラスト加工法により正確且つ安定的に
セル障壁が形成できるようにする。 【構成】 前面板１１と背面板１２の少なくとも一方の
内面にセル障壁１３を備えてなるガス放電パネルにおい
て、サンドブラスト加工法によりセル障壁１３を形成す
る工程の前にセル障壁１３を形成する面上の電極１７を
耐水性の導電性物質で覆い且つ含浸させる工程を行う。
電極表面及び電極構成粒子が耐水性の導電性物質で被覆
した状態になるので、サンドブラスト加工工程で電極が
研削されにくくなる。
対応する保護マスクを形成するための感光性材料の如何
に拘らずサンドブラスト加工法により正確且つ安定的に
セル障壁が形成できるようにする。 【構成】 前面板１１と背面板１２の少なくとも一方の
内面にセル障壁１３を備えてなるガス放電パネルにおい
て、サンドブラスト加工法によりセル障壁１３を形成す
る工程の前にセル障壁１３を形成する面上の電極１７を
耐水性の導電性物質で覆い且つ含浸させる工程を行う。
電極表面及び電極構成粒子が耐水性の導電性物質で被覆
した状態になるので、サンドブラスト加工工程で電極が
研削されにくくなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、自発光形式の平板ディ
スプレイとしてのガス放電パネル及びその製造方法に関
するものである。
スプレイとしてのガス放電パネル及びその製造方法に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、この種のガス放電パネルにお
いて、前面板或いは背面板の少なくともどちらか一方に
表示セル間の干渉を抑えることを目的としてセル障壁を
形成した構造のものが知られている。
いて、前面板或いは背面板の少なくともどちらか一方に
表示セル間の干渉を抑えることを目的としてセル障壁を
形成した構造のものが知られている。
【０００３】図１にこのようなセル障壁を形成したガス
放電パネルであるＤＣ型のプラズマディスプレイパネル
（以下、ＰＤＰと記す）の一構成例を示す。このＤＣ型
ＰＤＰでは、ガラス等の絶縁性材料からなる平板状の前
面板１と背面板２とが互いに並行かつ対向して配設さ
れ、背面板２の内面側にはこの背面板２に直交する方向
にセル障壁３が固着されており、このセル障壁３により
前面板１と背面板２との間隙は一定の間隔に保持されて
いる。また、前面板１の内面側には陽極電極４が形成さ
れているとともに、背面板２の内面側にはこの陽極電極
４と直交して陰極電極５が形成されており、さらに陽極
電極４の両側には蛍光層６が隣接して形成されている。
そして、陽極電極４及び陰極電極５は厚膜印刷法を用い
て形成され、材料としてはニッケル等の卑金属がよく用
いられている。
放電パネルであるＤＣ型のプラズマディスプレイパネル
（以下、ＰＤＰと記す）の一構成例を示す。このＤＣ型
ＰＤＰでは、ガラス等の絶縁性材料からなる平板状の前
面板１と背面板２とが互いに並行かつ対向して配設さ
れ、背面板２の内面側にはこの背面板２に直交する方向
にセル障壁３が固着されており、このセル障壁３により
前面板１と背面板２との間隙は一定の間隔に保持されて
いる。また、前面板１の内面側には陽極電極４が形成さ
れているとともに、背面板２の内面側にはこの陽極電極
４と直交して陰極電極５が形成されており、さらに陽極
電極４の両側には蛍光層６が隣接して形成されている。
そして、陽極電極４及び陰極電極５は厚膜印刷法を用い
て形成され、材料としてはニッケル等の卑金属がよく用
いられている。
【０００４】上記ＤＣ型ＰＤＰにおいては、陽極電極４
と陰極電極５の間に直流電源から所定の電圧を印加して
電場を形成することにより、前面板１と背面板２とセル
障壁３との間の各セル内で放電が行われる。そして、こ
の放電により生じる紫外線によって蛍光層６が発光させ
られ、前面板１を透過してくるこの光を観察者が視認す
るようになっている。
と陰極電極５の間に直流電源から所定の電圧を印加して
電場を形成することにより、前面板１と背面板２とセル
障壁３との間の各セル内で放電が行われる。そして、こ
の放電により生じる紫外線によって蛍光層６が発光させ
られ、前面板１を透過してくるこの光を観察者が視認す
るようになっている。
【０００５】また、図２に示すように、背面板２上に形
成されるセル障壁３の壁面に蛍光層６を形成することに
より、紫外線による蛍光層６の発光を直接視認するよう
にしたものも提案されている。
成されるセル障壁３の壁面に蛍光層６を形成することに
より、紫外線による蛍光層６の発光を直接視認するよう
にしたものも提案されている。
【０００６】さて、このような構造をしたＰＤＰにおけ
るセル障壁の形成方法の一つとして所謂サンドブラスト
加工法が知られている。すなわち、前面板若しくは背面
板のセル障壁を形成する面に障壁用ガラスペーストを塗
布し、さらにその上に感光性レジストを塗布した後、セ
ル障壁パターンに対応したフォトマスクを介して感光性
レジストを露光し、さらに感光性レジストを現像して未
露光部分を除去し、このパターン化された感光性レジス
トを保護マスクとして障壁用ガラスペーストをサンドブ
ラストにより研削した後、感光性レジストを剥離し、次
いで焼成をすることによってセル障壁を形成する方法で
ある。なお、この感光性レジストとしては、例えばポリ
ビニルアルコール（ＰＶＡ）及びジアゾニウム塩を含む
混合物が主に用いられ、場合によっては、消泡剤や界面
活性剤が添加される。
るセル障壁の形成方法の一つとして所謂サンドブラスト
加工法が知られている。すなわち、前面板若しくは背面
板のセル障壁を形成する面に障壁用ガラスペーストを塗
布し、さらにその上に感光性レジストを塗布した後、セ
ル障壁パターンに対応したフォトマスクを介して感光性
レジストを露光し、さらに感光性レジストを現像して未
露光部分を除去し、このパターン化された感光性レジス
トを保護マスクとして障壁用ガラスペーストをサンドブ
ラストにより研削した後、感光性レジストを剥離し、次
いで焼成をすることによってセル障壁を形成する方法で
ある。なお、この感光性レジストとしては、例えばポリ
ビニルアルコール（ＰＶＡ）及びジアゾニウム塩を含む
混合物が主に用いられ、場合によっては、消泡剤や界面
活性剤が添加される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たサンドブラスト加工法によりセル障壁を形成する場
合、例えば厚膜印刷で形成されたニッケル電極がガラス
基板に形成されていると、ニッケル電極を構成している
ニッケル粒子どうしの結合が衝撃に対してもろいために
ニッケル電極が研削されやすいという問題点があった。
また、上述したフォトリソ工程において水溶性の感光性
レジスト、例えばＰＶＡ系の感光性レジストで保護マス
クを形成する場合、ニッケル電極の結合剤として作用し
ているホウ酸分のために感光性レジスト液が塗布直後に
ゲル状に凝固してしまい、正確にパターニングができな
いという問題点があった。また、現像や基板の洗浄など
の水処理の際にこのホウ酸分が溶出するので、ニッケル
粒子どうしの結合力がさらに低下し、その後のサンドブ
ラスト加工工程においてニッケル電極がさらに研削され
やすくなるという問題点もあった。
たサンドブラスト加工法によりセル障壁を形成する場
合、例えば厚膜印刷で形成されたニッケル電極がガラス
基板に形成されていると、ニッケル電極を構成している
ニッケル粒子どうしの結合が衝撃に対してもろいために
ニッケル電極が研削されやすいという問題点があった。
また、上述したフォトリソ工程において水溶性の感光性
レジスト、例えばＰＶＡ系の感光性レジストで保護マス
クを形成する場合、ニッケル電極の結合剤として作用し
ているホウ酸分のために感光性レジスト液が塗布直後に
ゲル状に凝固してしまい、正確にパターニングができな
いという問題点があった。また、現像や基板の洗浄など
の水処理の際にこのホウ酸分が溶出するので、ニッケル
粒子どうしの結合力がさらに低下し、その後のサンドブ
ラスト加工工程においてニッケル電極がさらに研削され
やすくなるという問題点もあった。
【０００８】また、電極を形成する材料にアルミニウ
ム、チタニウム、ジルコニウム、錫、バナジウム、クロ
ム等が含まれていたり、或いは、アルデヒド類、メチロ
ール化合物、活性化ビニル基、エポキシ化合物、エステ
ル、ジイソシアネート等が残留する場合にも同様な問題
点がある。
ム、チタニウム、ジルコニウム、錫、バナジウム、クロ
ム等が含まれていたり、或いは、アルデヒド類、メチロ
ール化合物、活性化ビニル基、エポキシ化合物、エステ
ル、ジイソシアネート等が残留する場合にも同様な問題
点がある。
【０００９】本発明は、上記の問題点を解消するために
なされたものであり、その目的とするところは、電極を
形成する材料や、セル障壁パターンに対応する保護マス
クを形成するための感光性レジスト材料の如何に拘わら
ずサンドブラスト加工法により正確かつ安定的にセル障
壁を形成できる構造のガス放電パネル及びその製造方法
を提供することにある。
なされたものであり、その目的とするところは、電極を
形成する材料や、セル障壁パターンに対応する保護マス
クを形成するための感光性レジスト材料の如何に拘わら
ずサンドブラスト加工法により正確かつ安定的にセル障
壁を形成できる構造のガス放電パネル及びその製造方法
を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明のガス放電パネルは、平行配列された複数
のストライプ状の第１の電極を内面側に有する前面板
と、第１の電極と対向しかつ直交する方向に平行配列さ
れた複数のストライプ状の第２の電極を内面側に有する
背面板とが、前面板と背面板の少なくとも一方の内面に
設けられたセル障壁により一定間隔に保持され、表示要
素としての複数のセルが形成されているガス放電パネル
において、前記セル障壁を備えた面上の電極が耐水性の
導電性物質で覆われ且つ含浸していることを特徴として
いる。
めに、本発明のガス放電パネルは、平行配列された複数
のストライプ状の第１の電極を内面側に有する前面板
と、第１の電極と対向しかつ直交する方向に平行配列さ
れた複数のストライプ状の第２の電極を内面側に有する
背面板とが、前面板と背面板の少なくとも一方の内面に
設けられたセル障壁により一定間隔に保持され、表示要
素としての複数のセルが形成されているガス放電パネル
において、前記セル障壁を備えた面上の電極が耐水性の
導電性物質で覆われ且つ含浸していることを特徴として
いる。
【００１１】そして、前記導電性物質としては、ＳｎＯ
2 、ＩＴＯ、Ａｕの材料群から選ばれた少なくとも１種
以上の材料を使用する。
2 、ＩＴＯ、Ａｕの材料群から選ばれた少なくとも１種
以上の材料を使用する。
【００１２】また、本発明のガス放電パネルの製造方法
は、前面板に複数の平行なストライプ状の第１の電極
を、背面板に複数の平行なストライプ状の第２の電極を
厚膜印刷法によりそれぞれ形成する工程、電極の形成さ
れた前面板と背面板をそれぞれ焼成する工程、さらに前
面板と背面板の少なくとも一方の内面にサンドブラスト
加工法によりセル障壁を形成する工程とを備えるガス放
電パネルの製造方法において、前記セル障壁を形成する
工程の前にセル障壁を形成する面上の電極を耐水性の導
電性物質で覆い且つ含浸させる工程を行うことを特徴と
している。
は、前面板に複数の平行なストライプ状の第１の電極
を、背面板に複数の平行なストライプ状の第２の電極を
厚膜印刷法によりそれぞれ形成する工程、電極の形成さ
れた前面板と背面板をそれぞれ焼成する工程、さらに前
面板と背面板の少なくとも一方の内面にサンドブラスト
加工法によりセル障壁を形成する工程とを備えるガス放
電パネルの製造方法において、前記セル障壁を形成する
工程の前にセル障壁を形成する面上の電極を耐水性の導
電性物質で覆い且つ含浸させる工程を行うことを特徴と
している。
【００１３】そして、上記製造方法で行われるサンドブ
ラスト加工において、障壁用ガラスペーストの上に形成
する保護マスクの材料としての感光性レジストに、水溶
性感光レジスト、特にＰＶＡ系レジスト材料を使用する
場合には、セル障壁を形成する面上の電極を耐水性の導
電性物質で覆い且つ含浸させる工程の後に、水処理する
工程を行うようにするものである。
ラスト加工において、障壁用ガラスペーストの上に形成
する保護マスクの材料としての感光性レジストに、水溶
性感光レジスト、特にＰＶＡ系レジスト材料を使用する
場合には、セル障壁を形成する面上の電極を耐水性の導
電性物質で覆い且つ含浸させる工程の後に、水処理する
工程を行うようにするものである。
【００１４】
【実施例】図３に本発明に係るガス放電パネルとしての
ＤＣ型ＰＤＰの一例を示す。このＤＣ型ＰＤＰは、同図
に示すように、前面板１１と背面板１２が互いに平行に
かつ対向するように配設され、両者はその間に設けられ
たセル障壁１３により一定の間隔に保持されているとと
もに、前面板１１の内面側には複数の陽極電極１４がス
トライプ状に設けられ、背面板１２には前記陽極電極１
４と直交する方向に複数の陰極電極１７がストライプ状
に設けられている。ここで、両電極１４，１７はニッケ
ルで構成されており、このうち陰極電極１７の方は耐水
性の導電性物質であるＩＴＯ膜で覆われ且つ含浸してい
る。また、陽極電極１４の両側には蛍光層１６が隣接し
て前面板１１上に形成されている。なお、陽極電極１４
もＩＴＯで覆われ且つ含浸していても構わない。
ＤＣ型ＰＤＰの一例を示す。このＤＣ型ＰＤＰは、同図
に示すように、前面板１１と背面板１２が互いに平行に
かつ対向するように配設され、両者はその間に設けられ
たセル障壁１３により一定の間隔に保持されているとと
もに、前面板１１の内面側には複数の陽極電極１４がス
トライプ状に設けられ、背面板１２には前記陽極電極１
４と直交する方向に複数の陰極電極１７がストライプ状
に設けられている。ここで、両電極１４，１７はニッケ
ルで構成されており、このうち陰極電極１７の方は耐水
性の導電性物質であるＩＴＯ膜で覆われ且つ含浸してい
る。また、陽極電極１４の両側には蛍光層１６が隣接し
て前面板１１上に形成されている。なお、陽極電極１４
もＩＴＯで覆われ且つ含浸していても構わない。
【００１５】このようなＤＣ型ＰＤＰは、内面側に陽極
電極１４及び蛍光層１６が形成された前面板１１と、内
面側にＩＴＯで覆われ且つ含浸している陰極電極１７及
びセル障壁１３が形成された背面板１２を組み合わせる
ことで作成される。
電極１４及び蛍光層１６が形成された前面板１１と、内
面側にＩＴＯで覆われ且つ含浸している陰極電極１７及
びセル障壁１３が形成された背面板１２を組み合わせる
ことで作成される。
【００１６】上記構成からなるＤＣ型ＰＤＰにおける背
面板１２上のセル障壁１３の形成手順について、以下に
実施例を挙げて説明する。
面板１２上のセル障壁１３の形成手順について、以下に
実施例を挙げて説明する。
【００１７】まず、図４の（ａ）に示すように、ガラス
からなる背面板１２上に厚膜印刷法により複数の平行な
ストライプ状パターンの陰極電極１５を幅２５０μｍ、
膜厚３５μｍ、ピッチ０．５ｍｍにて形成する。本実施
例では、コスト、安定性及び抵抗値の面からニッケルペ
ースト（Ｄｕｐｏｎｔ社、品番９５３５）を使用した。
その後、オーブンにて１７０℃で３０分間乾燥させ、焼
成炉にてピーク温度５８０℃で３０分間焼成を行って陰
極電極１５を背面板１２に固着させた。
からなる背面板１２上に厚膜印刷法により複数の平行な
ストライプ状パターンの陰極電極１５を幅２５０μｍ、
膜厚３５μｍ、ピッチ０．５ｍｍにて形成する。本実施
例では、コスト、安定性及び抵抗値の面からニッケルペ
ースト（Ｄｕｐｏｎｔ社、品番９５３５）を使用した。
その後、オーブンにて１７０℃で３０分間乾燥させ、焼
成炉にてピーク温度５８０℃で３０分間焼成を行って陰
極電極１５を背面板１２に固着させた。
【００１８】次に、陰極電極１５を覆うように厚膜印刷
法によりＩＴＯペースト（ＥＳＬ：Electro-Science La
boratories、品番３０５０）を印刷する。陰極電極１５
はニッケル等の粒子により構成されていて多孔性なので
ＩＴＯペーストは陰極電極１５の内部に浸透する。その
後、オーブンにてＩＴＯペーストを１７０℃で３０分間
乾燥させた後、焼成炉にてピーク温度５８０℃で３０分
間焼成した。これにより、図４の（ｂ）に示すように、
ＩＴＯで覆われ且つ含浸した陰極電極１７が形成され
た。ここで、陰極電極１７の電極構成粒子を被覆してい
るＩＴＯの厚さは電極表層付近では６０００Å程度であ
った。なお、陰極電極１７の抵抗値はさほど変わらな
い。
法によりＩＴＯペースト（ＥＳＬ：Electro-Science La
boratories、品番３０５０）を印刷する。陰極電極１５
はニッケル等の粒子により構成されていて多孔性なので
ＩＴＯペーストは陰極電極１５の内部に浸透する。その
後、オーブンにてＩＴＯペーストを１７０℃で３０分間
乾燥させた後、焼成炉にてピーク温度５８０℃で３０分
間焼成した。これにより、図４の（ｂ）に示すように、
ＩＴＯで覆われ且つ含浸した陰極電極１７が形成され
た。ここで、陰極電極１７の電極構成粒子を被覆してい
るＩＴＯの厚さは電極表層付近では６０００Å程度であ
った。なお、陰極電極１７の抵抗値はさほど変わらな
い。
【００１９】続いて、背面板１２上にサンドブラスト加
工法によりセル障壁を形成する。具体的には、背面板１
２を水処理して洗浄してから、図５の（ａ）に示すよう
に背面板１２の陰極電極１７を形成した面の上に障壁用
ガラスペースト１３’をブレードコーターにより塗布し
た後、１７０℃で３０分間乾燥を行い、（ｂ）に示すよ
うにこの障壁用ガラスペースト１３’の上に感光性レジ
スト１８をブレードコーターにて塗布し、常温で乾燥さ
せてから、（ｃ）に示すように所定のマスクパターン１
９を介して３５０ｎｍ付近に最大波長をもつ紫外線によ
りセル障壁パターンの露光を行って硬化部分２０を形成
し、次いでスプレー現像を行うことにより（ｄ）に示す
ように未露光部分を除去して感光性レジストの硬化部分
２０を残した。
工法によりセル障壁を形成する。具体的には、背面板１
２を水処理して洗浄してから、図５の（ａ）に示すよう
に背面板１２の陰極電極１７を形成した面の上に障壁用
ガラスペースト１３’をブレードコーターにより塗布し
た後、１７０℃で３０分間乾燥を行い、（ｂ）に示すよ
うにこの障壁用ガラスペースト１３’の上に感光性レジ
スト１８をブレードコーターにて塗布し、常温で乾燥さ
せてから、（ｃ）に示すように所定のマスクパターン１
９を介して３５０ｎｍ付近に最大波長をもつ紫外線によ
りセル障壁パターンの露光を行って硬化部分２０を形成
し、次いでスプレー現像を行うことにより（ｄ）に示す
ように未露光部分を除去して感光性レジストの硬化部分
２０を残した。
【００２０】そして、図６の（ａ）に示すように、背面
板１２上の障壁用ガラスペースト１３’に対し、パター
ニングされた感光性レジストの硬化部分２０を保護マス
クとしてサンドブラストを施して研削することにより、
（ｂ）に示すように障壁用ガラスペースト１３’の不要
部分を除去した。その後、感光性レジストの硬化部分２
０を剥離液にて除去し、背面板１２をピーク温度５８０
℃にて焼成することにより、陰極電極１７を有する面上
に障壁用ガラスペースト１３’を固着させた。これによ
り（ｃ）に示すように正確かつ安定したセル障壁１３を
形成することができた。
板１２上の障壁用ガラスペースト１３’に対し、パター
ニングされた感光性レジストの硬化部分２０を保護マス
クとしてサンドブラストを施して研削することにより、
（ｂ）に示すように障壁用ガラスペースト１３’の不要
部分を除去した。その後、感光性レジストの硬化部分２
０を剥離液にて除去し、背面板１２をピーク温度５８０
℃にて焼成することにより、陰極電極１７を有する面上
に障壁用ガラスペースト１３’を固着させた。これによ
り（ｃ）に示すように正確かつ安定したセル障壁１３を
形成することができた。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のガス放電
用パネル及びその製造方法は、耐水性の導電性物質で電
極表面を覆い且つ電極内部に浸透させることにより、電
極表面及び電極内に含まれる電極構成粒子を耐水性の導
電性物質で被覆した状態になるので、サンドブラスト加
工工程で電極が研削されにくくなり、正確かつ安定した
セル障壁を形成することができる。
用パネル及びその製造方法は、耐水性の導電性物質で電
極表面を覆い且つ電極内部に浸透させることにより、電
極表面及び電極内に含まれる電極構成粒子を耐水性の導
電性物質で被覆した状態になるので、サンドブラスト加
工工程で電極が研削されにくくなり、正確かつ安定した
セル障壁を形成することができる。
【図１】ガス放電パネルである従来のＤＣ型プラズマデ
ィスプレイパネルの一構成例を示す一部断面図である。
ィスプレイパネルの一構成例を示す一部断面図である。
【図２】同じく別の構成例を示す一部断面図である。
【図３】本発明に係るガス放電パネルとしてのＤＣ型プ
ラズマディスプレイパネルの一例を示す一部断面図であ
る。
ラズマディスプレイパネルの一例を示す一部断面図であ
る。
【図４】背面板上に陰極電極を形成してこれを焼成する
工程を示す説明図である。
工程を示す説明図である。
【図５】背面板上に障壁用ガラスペーストを設けてその
上にサンドブラスト用の保護マスクを形成する工程を示
す説明図である。
上にサンドブラスト用の保護マスクを形成する工程を示
す説明図である。
【図６】サンドブラスト加工法によりセル障壁を形成す
る工程を示す説明図である。
る工程を示す説明図である。
１１ 前面板 １２ 背面板 １３ セル障壁 １３’ 障壁用ガラスペースト １４ 陽極電極（第１の電極） １５ 陰極電極（第２の電極） １６ 蛍光層 １７ 陰極電極（第２の電極） １８ 感光性レジスト １９ マスクパターン ２０ 硬化部分
Claims (4)
- 【請求項１】 平行配列された複数のストライプ状の第
１の電極を内面側に有する前面板と、第１の電極と対向
しかつ直交する方向に平行配列された複数のストライプ
状の第２の電極を内面側に有する背面板とが、前面板と
背面板の少なくとも一方の内面に設けられたセル障壁に
より一定間隔に保持され、表示要素としての複数のセル
が形成されているガス放電パネルにおいて、前記セル障
壁を備えた面上の電極が耐水性の導電性物質で覆われ且
つ含浸していることを特徴とするガス放電パネル。 - 【請求項２】 前記導電性物質がＳｎＯ2 、ＩＴＯ、Ａ
ｕの材料群から選ばれた少なくとも１種以上の材料を含
むことを特徴とする請求項１記載のガス放電パネル。 - 【請求項３】 前面板に複数の平行なストライプ状の第
１の電極を、背面板に複数の平行なストライプ状の第２
の電極を厚膜印刷法によりそれぞれ形成する工程、電極
の形成された前面板と背面板をそれぞれ焼成する工程、
さらに前面板と背面板の少なくとも一方の内面にサンド
ブラスト加工法によりセル障壁を形成する工程とを備え
るガス放電パネルの製造方法において、前記セル障壁を
形成する工程の前にセル障壁を形成する面上の電極を耐
水性の導電性物質で覆い且つ含浸させる工程を行うこと
を特徴とするガス放電パネルの製造方法。 - 【請求項４】 セル障壁を形成する面上の電極を耐水性
の導電性物質で覆い且つ含浸させる工程の後に、水処理
する工程を行うことを特徴とする請求項３記載のガス放
電パネルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6082679A JPH07272632A (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | ガス放電パネル及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6082679A JPH07272632A (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | ガス放電パネル及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07272632A true JPH07272632A (ja) | 1995-10-20 |
Family
ID=13781114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6082679A Pending JPH07272632A (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | ガス放電パネル及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07272632A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2754634A1 (fr) * | 1996-10-15 | 1998-04-17 | Fujitsu Ltd | Panneau d'affichage plasma et son procede de fabrication |
| WO1999059179A1 (fr) * | 1998-05-11 | 1999-11-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Structure a revetement phosphorique et dispositif lumineux presentant ladite structure |
| JP2007073513A (ja) * | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Samsung Sdi Co Ltd | マイクロ放電型プラズマ表示装置 |
-
1994
- 1994-03-30 JP JP6082679A patent/JPH07272632A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2754634A1 (fr) * | 1996-10-15 | 1998-04-17 | Fujitsu Ltd | Panneau d'affichage plasma et son procede de fabrication |
| WO1999059179A1 (fr) * | 1998-05-11 | 1999-11-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Structure a revetement phosphorique et dispositif lumineux presentant ladite structure |
| JP2007073513A (ja) * | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Samsung Sdi Co Ltd | マイクロ放電型プラズマ表示装置 |
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