JPH08167373A - 気体放電表示パネルにおける電極の形成方法 - Google Patents
気体放電表示パネルにおける電極の形成方法Info
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- JPH08167373A JPH08167373A JP31211594A JP31211594A JPH08167373A JP H08167373 A JPH08167373 A JP H08167373A JP 31211594 A JP31211594 A JP 31211594A JP 31211594 A JP31211594 A JP 31211594A JP H08167373 A JPH08167373 A JP H08167373A
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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- H05K1/02—Details
- H05K1/09—Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
- H05K1/092—Dispersed materials, e.g. conductive pastes or inks
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- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
Abstract
(57)【要約】
【目的】 フォトリソ法の高い加工精度を維持しつつ、
生産性および環境対応性に優れた電極形成方法を提供す
る。 【構成】 基板２上に感光性樹脂２２の層を形成し、電
極パターンを配置した遮光マスク２３を介してこの感光
性樹脂２２を露光してから現像して凹部２２ａを形成し
た後、この凹部２２ａに導電性ペースト２４を埋め込
み、導電性ペースト２４の乾燥を行ってから感光性樹脂
２２を基板より剥離することで導電性ペースト２４を所
定の形状にパターニングし、さらに導電性ペースト２４
を焼成して電極を形成する。この方法ではフォトリソ法
で形成した凹部２２ａに導電性ペースト２４を埋め込ん
で電極を形成するため高い加工精度が維持でき、しかも
エッチング工程を必要としないため生産性および環境対
応性に優れる。
生産性および環境対応性に優れた電極形成方法を提供す
る。 【構成】 基板２上に感光性樹脂２２の層を形成し、電
極パターンを配置した遮光マスク２３を介してこの感光
性樹脂２２を露光してから現像して凹部２２ａを形成し
た後、この凹部２２ａに導電性ペースト２４を埋め込
み、導電性ペースト２４の乾燥を行ってから感光性樹脂
２２を基板より剥離することで導電性ペースト２４を所
定の形状にパターニングし、さらに導電性ペースト２４
を焼成して電極を形成する。この方法ではフォトリソ法
で形成した凹部２２ａに導電性ペースト２４を埋め込ん
で電極を形成するため高い加工精度が維持でき、しかも
エッチング工程を必要としないため生産性および環境対
応性に優れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、気体放電表示パネルの
製造方法に係わるものであり、詳しくは気体放電表示パ
ネルを構成する２枚の基板上に配置される電極の形成方
法に関するものである。
製造方法に係わるものであり、詳しくは気体放電表示パ
ネルを構成する２枚の基板上に配置される電極の形成方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】気体放電表示パネルには各種の型があ
り、大型化、高効率化および高精細化を目指して開発が
進められている。その中で最も代表的なものとして、２
枚の透明絶縁性基板の上にそれぞれ陰極群および陽極群
を配置し、これら２枚の基板を一定の間隔をおいてシー
ルし、その間隙内で気体放電を発生させて発光する方式
のパネルが知られている。さらに、放電電流を制御する
ために、各放電セル毎に抵抗素子を設置したパネルが提
案されており、この例として、高野他「抵抗付放電表示
パネルのパルスメモリー駆動」（１９９０年、テレビジ
ョン学会年次大会、ｐ７７〜７８）に示されたものがあ
る。
り、大型化、高効率化および高精細化を目指して開発が
進められている。その中で最も代表的なものとして、２
枚の透明絶縁性基板の上にそれぞれ陰極群および陽極群
を配置し、これら２枚の基板を一定の間隔をおいてシー
ルし、その間隙内で気体放電を発生させて発光する方式
のパネルが知られている。さらに、放電電流を制御する
ために、各放電セル毎に抵抗素子を設置したパネルが提
案されており、この例として、高野他「抵抗付放電表示
パネルのパルスメモリー駆動」（１９９０年、テレビジ
ョン学会年次大会、ｐ７７〜７８）に示されたものがあ
る。
【０００３】図１はこの報告に示されている気体放電表
示パネルの構造の概略図を表わしており、（ａ）はパネ
ル前面からの透視図、（ｂ）はパネルの横断面図であ
る。
示パネルの構造の概略図を表わしており、（ａ）はパネ
ル前面からの透視図、（ｂ）はパネルの横断面図であ
る。
【０００４】この気体放電表示パネルは前面板１と背面
板２の２枚の基板で構成され、前面板１に設置された陰
極３と、背面板２に設置された陽極母線４と補助陽極５
が、互いに直交するように形成されている。放電セル６
は障壁７で規定され、各放電セル６内に陽極端子８を含
み、かつ、陰極３が各放電セル６の中心付近を横切って
いる。さらに陽極端子８は抵抗素子９を介して陽極母線
４と電気的に接続されている。そして、陰極３と陽極母
線４との間に所定の電圧を印加すると、抵抗素子９を介
して陽極端子８に電流が流れ、放電セル６内に放電が発
生し、この放電で発生する紫外線でＲＧＢ三色の蛍光体
１０を発光させるようになっている。この発光は前面板
１を通して外部に放射されフルカラーの画像表示が行わ
れる。この場合、補助陽極５は放電セル６に放電の種火
となる荷電粒子をプライミングスリット１１を通して供
給する役目をもつ。なお、１２は白バック層で、カラー
表示を鮮明にするものである。このタイプの気体放電表
示パネルでは、抵抗素子９の働きで電流制御を行うた
め、電流効率が向上し、さらに陰極３のスパッタリング
による輝度劣化を防ぎパネル寿命を長くできる利点があ
る。
板２の２枚の基板で構成され、前面板１に設置された陰
極３と、背面板２に設置された陽極母線４と補助陽極５
が、互いに直交するように形成されている。放電セル６
は障壁７で規定され、各放電セル６内に陽極端子８を含
み、かつ、陰極３が各放電セル６の中心付近を横切って
いる。さらに陽極端子８は抵抗素子９を介して陽極母線
４と電気的に接続されている。そして、陰極３と陽極母
線４との間に所定の電圧を印加すると、抵抗素子９を介
して陽極端子８に電流が流れ、放電セル６内に放電が発
生し、この放電で発生する紫外線でＲＧＢ三色の蛍光体
１０を発光させるようになっている。この発光は前面板
１を通して外部に放射されフルカラーの画像表示が行わ
れる。この場合、補助陽極５は放電セル６に放電の種火
となる荷電粒子をプライミングスリット１１を通して供
給する役目をもつ。なお、１２は白バック層で、カラー
表示を鮮明にするものである。このタイプの気体放電表
示パネルでは、抵抗素子９の働きで電流制御を行うた
め、電流効率が向上し、さらに陰極３のスパッタリング
による輝度劣化を防ぎパネル寿命を長くできる利点があ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、大型の気体
放電表示パネルでは、前面板及び背面板上の各構成要素
の形成をスクリーン印刷法に代表される厚膜印刷法で行
っているが、この方法では製造上の精度によって各構成
要素の寸法や厚さにバラツキが発生してしまう欠点があ
った。特に、上記の如き抵抗付表示パネルにおいては、
電極の位置関係および寸法や抵抗素子の寸法および厚さ
の精度不良により、各表示セルの抵抗値は大きくばらつ
いていた。この抵抗値のバラツキは各放電セルの放電電
流のバラツキ、すなわち、発光強度のバラツキに直接つ
ながり、表示画面上に明るさムラを生じるという問題点
があった。
放電表示パネルでは、前面板及び背面板上の各構成要素
の形成をスクリーン印刷法に代表される厚膜印刷法で行
っているが、この方法では製造上の精度によって各構成
要素の寸法や厚さにバラツキが発生してしまう欠点があ
った。特に、上記の如き抵抗付表示パネルにおいては、
電極の位置関係および寸法や抵抗素子の寸法および厚さ
の精度不良により、各表示セルの抵抗値は大きくばらつ
いていた。この抵抗値のバラツキは各放電セルの放電電
流のバラツキ、すなわち、発光強度のバラツキに直接つ
ながり、表示画面上に明るさムラを生じるという問題点
があった。
【０００６】上述した抵抗値のバラツキを抑制するため
に、本出願人は電極形成方法について先に出願した（特
願平６−２５０２６１号）。しかしながら、これに開示
した方法ではフォトリソ法を利用して電極を形成するた
めに高い精度で電極加工が行える反面、煩雑な導電性膜
のエッチング工程を含んでいるので生産性が悪いのみな
らず、金属イオンを含んだエッチング液の処理が環境に
与える影響も無視できないと言った問題点がある。
に、本出願人は電極形成方法について先に出願した（特
願平６−２５０２６１号）。しかしながら、これに開示
した方法ではフォトリソ法を利用して電極を形成するた
めに高い精度で電極加工が行える反面、煩雑な導電性膜
のエッチング工程を含んでいるので生産性が悪いのみな
らず、金属イオンを含んだエッチング液の処理が環境に
与える影響も無視できないと言った問題点がある。
【０００７】本発明は、上記の問題点に鑑みてなされた
ものであり、その目的とするところは、フォトリソ法の
高い加工精度を維持しつつ、生産性および環境対応性に
優れた電極の形成方法を提供することにある。
ものであり、その目的とするところは、フォトリソ法の
高い加工精度を維持しつつ、生産性および環境対応性に
優れた電極の形成方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、複数の電極群が前面板と背面板の対向
する板面上に配置されてなる気体放電表示パネルにおけ
る少なくとも一方の板面上に配置された電極群を形成す
る方法であって、 （１）基板上に感光性樹脂の層を形成する第１工程 （２）電極群のパターンを所定の位置に配置した遮光マ
スクを介して前記感光性樹脂の露光を行った後、パター
ン現像を行って所定の位置に凹部を形成する第２工程 （３）前記感光性樹脂の凹部に導電性ペーストを埋め込
んだ後、該導電性ペーストの乾燥を行う第３工程 （４）前記感光性樹脂を剥離する第４工程 （５）前記導電性ペーストを焼成する第５工程 の各工程を少なくとも含むことを特徴とする。
めに、本発明は、複数の電極群が前面板と背面板の対向
する板面上に配置されてなる気体放電表示パネルにおけ
る少なくとも一方の板面上に配置された電極群を形成す
る方法であって、 （１）基板上に感光性樹脂の層を形成する第１工程 （２）電極群のパターンを所定の位置に配置した遮光マ
スクを介して前記感光性樹脂の露光を行った後、パター
ン現像を行って所定の位置に凹部を形成する第２工程 （３）前記感光性樹脂の凹部に導電性ペーストを埋め込
んだ後、該導電性ペーストの乾燥を行う第３工程 （４）前記感光性樹脂を剥離する第４工程 （５）前記導電性ペーストを焼成する第５工程 の各工程を少なくとも含むことを特徴とする。
【０００９】あるいは、同様の目的を達成するため、本
発明は、複数の電極群が前面板と背面板の対向する板面
上に配置されてなる気体放電表示パネルにおける少なく
とも一方の板面上に配置された電極群を形成する方法で
あって、 （１）基板上に感光性樹脂の層を形成する第１工程 （２）電極群のパターンを所定の位置に配置した遮光マ
スクを介して前記感光性樹脂の露光を行った後、パター
ン現像を行って所定の位置に凹部を形成する第２工程 （３）前記感光性樹脂の凹部に導電性ペーストを埋め込
んだ後、該導電性ペーストの乾燥を行う第３工程 （４）前記感光性樹脂上に残留した余剰な前記導電性ペ
ーストを除去する第４工程 （５）前記導電性ペーストの焼成を行うと同時に前記感
光性樹脂を焼失させる第５工程 の各工程を少なくとも含むことを特徴とする。
発明は、複数の電極群が前面板と背面板の対向する板面
上に配置されてなる気体放電表示パネルにおける少なく
とも一方の板面上に配置された電極群を形成する方法で
あって、 （１）基板上に感光性樹脂の層を形成する第１工程 （２）電極群のパターンを所定の位置に配置した遮光マ
スクを介して前記感光性樹脂の露光を行った後、パター
ン現像を行って所定の位置に凹部を形成する第２工程 （３）前記感光性樹脂の凹部に導電性ペーストを埋め込
んだ後、該導電性ペーストの乾燥を行う第３工程 （４）前記感光性樹脂上に残留した余剰な前記導電性ペ
ーストを除去する第４工程 （５）前記導電性ペーストの焼成を行うと同時に前記感
光性樹脂を焼失させる第５工程 の各工程を少なくとも含むことを特徴とする。
【００１０】
【作用】上述の構成からなる本発明の電極の形成方法で
は、フォトリソ法で形成した凹部に導電性ペーストを埋
め込むことによって電極を形成するため、高い加工精度
が実現されるばかりでなく、生産性を悪くしたり環境問
題を起こす原因となるエッチング工程が必要なくなる。
は、フォトリソ法で形成した凹部に導電性ペーストを埋
め込むことによって電極を形成するため、高い加工精度
が実現されるばかりでなく、生産性を悪くしたり環境問
題を起こす原因となるエッチング工程が必要なくなる。
【００１１】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。
する。
【００１２】図２は本発明により形成された電極群を有
する気体放電表示パネルの一構成例を示すもので、
（ａ）はパネル前面からの透視図、（ｂ）はパネルの横
断面図である。
する気体放電表示パネルの一構成例を示すもので、
（ａ）はパネル前面からの透視図、（ｂ）はパネルの横
断面図である。
【００１３】同図に示されるように、本実施例の気体放
電表示パネルは前面板１および背面板２の２枚の基板で
構成され、前面板１上に直線状の陰極３が、また背面板
２上に陽極母線４、陽極端子８および補助陽極５が配置
されている。陽極母線４は線状陽極４ａと、この線状陽
極４ａから垂直横方向に伸びた陽極分岐部４ｂで構成さ
れる。補助陽極５は隣接する２本の陽極母線４の間に位
置する。放電セル６は障壁７で規定され、各放電セル６
の中心に陽極端子８が設置されている。この陽極端子８
と前記陽極分岐部４ｂとは抵抗素子９で電気的に接続さ
れている。
電表示パネルは前面板１および背面板２の２枚の基板で
構成され、前面板１上に直線状の陰極３が、また背面板
２上に陽極母線４、陽極端子８および補助陽極５が配置
されている。陽極母線４は線状陽極４ａと、この線状陽
極４ａから垂直横方向に伸びた陽極分岐部４ｂで構成さ
れる。補助陽極５は隣接する２本の陽極母線４の間に位
置する。放電セル６は障壁７で規定され、各放電セル６
の中心に陽極端子８が設置されている。この陽極端子８
と前記陽極分岐部４ｂとは抵抗素子９で電気的に接続さ
れている。
【００１４】上記の構成からなる本実施例のパネルと従
来の技術で述べたパネルを比較すると、陽極母線４、陽
極端子８および抵抗素子９の形状は異なるが、各構成要
素は従来の技術のパネルと同一の働きをし、動作も同様
であるので説明を省略し、本発明の係わる電極の形成方
法およびそれに使用する材料に関して、図３に示す工程
図に沿って説明する。
来の技術で述べたパネルを比較すると、陽極母線４、陽
極端子８および抵抗素子９の形状は異なるが、各構成要
素は従来の技術のパネルと同一の働きをし、動作も同様
であるので説明を省略し、本発明の係わる電極の形成方
法およびそれに使用する材料に関して、図３に示す工程
図に沿って説明する。
【００１５】図３において、電極を形成する基板は背面
板２となるものである。この背面板２は平面あるいは曲
面で化学的に安定なものであればよく、ガラス基板や樹
脂基板等が考えられるが、本実施例ではガラス基板を使
用し、使用前に洗浄およびアニール処理を施した。ま
た、後述の導電性ペーストの基板に対する密着性を良く
する目的で、図３（ａ）に示すようにガラス基板上に下
地層２１としてガラスペーストをスクリーン印刷法で塗
布し、乾燥させた後に焼成を行ったものを背面板２とし
て使用した。
板２となるものである。この背面板２は平面あるいは曲
面で化学的に安定なものであればよく、ガラス基板や樹
脂基板等が考えられるが、本実施例ではガラス基板を使
用し、使用前に洗浄およびアニール処理を施した。ま
た、後述の導電性ペーストの基板に対する密着性を良く
する目的で、図３（ａ）に示すようにガラス基板上に下
地層２１としてガラスペーストをスクリーン印刷法で塗
布し、乾燥させた後に焼成を行ったものを背面板２とし
て使用した。
【００１６】まず、図３（ｂ）に示す如く背面板２上に
感光性樹脂２２の層を形成する（なお、図３（ｂ）以下
では前記下地層２１の図示を省略している）。液体状の
感光性樹脂２２を使用する場合には塗布した後で乾燥さ
せる。塗布方法としては、スピンコート、ロールコー
ト、ブレードコート、リバースコート、スプレー、ディ
ッピング等、液体状の材料をコーティングする方法であ
れば何れの方法であっても構わない。また、感光性樹脂
２２は液体状である必要はなく、フィルム状レジストも
使用可能である。本実施例では、フィルム状レジストを
ラミネーターを使用して背面板２に直接貼り付ける方法
を採った。この方法により簡便且つ良好に感光性樹脂２
２の層を形成できた。
感光性樹脂２２の層を形成する（なお、図３（ｂ）以下
では前記下地層２１の図示を省略している）。液体状の
感光性樹脂２２を使用する場合には塗布した後で乾燥さ
せる。塗布方法としては、スピンコート、ロールコー
ト、ブレードコート、リバースコート、スプレー、ディ
ッピング等、液体状の材料をコーティングする方法であ
れば何れの方法であっても構わない。また、感光性樹脂
２２は液体状である必要はなく、フィルム状レジストも
使用可能である。本実施例では、フィルム状レジストを
ラミネーターを使用して背面板２に直接貼り付ける方法
を採った。この方法により簡便且つ良好に感光性樹脂２
２の層を形成できた。
【００１７】その後、図３（ｃ）に示すように、電極群
（本実施例では陽極母線４、補助陽極５および陽極端子
８を含む）のパターンを所定の位置に配置した遮光マス
ク２３を介して感光性樹脂２２を露光した。感光性樹脂
２２がフィルム状レジストである場合には、露光後、７
０〜９０℃で５〜１５分程度熱処理を行い、露光部の硬
化を促進した方がパターン解像度は良好であった。
（本実施例では陽極母線４、補助陽極５および陽極端子
８を含む）のパターンを所定の位置に配置した遮光マス
ク２３を介して感光性樹脂２２を露光した。感光性樹脂
２２がフィルム状レジストである場合には、露光後、７
０〜９０℃で５〜１５分程度熱処理を行い、露光部の硬
化を促進した方がパターン解像度は良好であった。
【００１８】次いで、図３（ｄ）に示すように、感光性
樹脂２２の層のパターン現像を行い、後工程で導電性ペ
ーストを充填するための凹部２２ａを形成した。具体的
には、感光性樹脂２２としてポジ型のものを使用した場
合には露光部を、ネガ型のものを使用した場合には未露
光部を専用の現像液で化学的に溶解することで感光性樹
脂２２をパターン現像する。そして、現像工程を終了
後、感光性樹脂２２を熱処理により硬化させる。このよ
うに感光性樹脂２２を充分に硬化させることにより後工
程でも安定な樹脂膜となる。
樹脂２２の層のパターン現像を行い、後工程で導電性ペ
ーストを充填するための凹部２２ａを形成した。具体的
には、感光性樹脂２２としてポジ型のものを使用した場
合には露光部を、ネガ型のものを使用した場合には未露
光部を専用の現像液で化学的に溶解することで感光性樹
脂２２をパターン現像する。そして、現像工程を終了
後、感光性樹脂２２を熱処理により硬化させる。このよ
うに感光性樹脂２２を充分に硬化させることにより後工
程でも安定な樹脂膜となる。
【００１９】続いて、図３（ｅ）に示すように、感光性
樹脂２２に形成された凹部２２ａに導電性ペースト２４
を埋め込んで乾燥させた。導電性ペースト２４の材料と
しては厚膜印刷用の導電性ペーストが使用可能である。
具体的には、Ａｕ、Ａｇ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｃｕペーストが
導電性に優れており良好であった。ＩＴＯペーストも使
用可能であるが、電極の抵抗値が高くなる傾向があっ
た。導電性ペースト２４の充填は、まず基板の一端にペ
ーストを載せ、樹脂製、金属製あるいはセラミック製の
へら、ブレードあるいはドクターを走査して掻き入れれ
ばよい。
樹脂２２に形成された凹部２２ａに導電性ペースト２４
を埋め込んで乾燥させた。導電性ペースト２４の材料と
しては厚膜印刷用の導電性ペーストが使用可能である。
具体的には、Ａｕ、Ａｇ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｃｕペーストが
導電性に優れており良好であった。ＩＴＯペーストも使
用可能であるが、電極の抵抗値が高くなる傾向があっ
た。導電性ペースト２４の充填は、まず基板の一端にペ
ーストを載せ、樹脂製、金属製あるいはセラミック製の
へら、ブレードあるいはドクターを走査して掻き入れれ
ばよい。
【００２０】導電性ペースト２４の乾燥は、１２０〜２
００℃で１０〜６０分程度行った。また、導電性ペース
ト２４の埋め込みは１回の手順で完了する必要はなく、
何回か繰り返してもよい。これは、導電性ペースト２４
の乾燥に伴い体積収縮が起こるためである。
００℃で１０〜６０分程度行った。また、導電性ペース
ト２４の埋め込みは１回の手順で完了する必要はなく、
何回か繰り返してもよい。これは、導電性ペースト２４
の乾燥に伴い体積収縮が起こるためである。
【００２１】導電性ペースト２４を乾燥させた後、図３
（ｆ）に示すように、感光性樹脂２２を専用の剥離液を
使用して基板より剥離した。感光性樹脂２２がフィルム
状レジストの場合は、アルカリ性の剥離液、すなわち水
酸化ナトリウムや水酸化カリウムの水溶液やアンモニア
水を使用した。
（ｆ）に示すように、感光性樹脂２２を専用の剥離液を
使用して基板より剥離した。感光性樹脂２２がフィルム
状レジストの場合は、アルカリ性の剥離液、すなわち水
酸化ナトリウムや水酸化カリウムの水溶液やアンモニア
水を使用した。
【００２２】上記感光性樹脂２２の剥離工程において、
使用する導電性ペースト２４の種類によっては、充填し
た導電性ペースト２４も感光性樹脂２２とともに剥離し
てしまう不都合が生じた。そこで、この種の導電性ペー
ストに対しては感光性樹脂２２の剥離工程を省略した。
しかしこの場合、導電性ペースト２４を充填する際に感
光性樹脂２２の層の上面に掻き残した余剰な導電性ペー
ストを、アセトンのような有機性の溶剤を染み込ませた
布で拭き取るか、あるいは感光性樹脂２２の上面を研磨
することにより除去する必要があった。
使用する導電性ペースト２４の種類によっては、充填し
た導電性ペースト２４も感光性樹脂２２とともに剥離し
てしまう不都合が生じた。そこで、この種の導電性ペー
ストに対しては感光性樹脂２２の剥離工程を省略した。
しかしこの場合、導電性ペースト２４を充填する際に感
光性樹脂２２の層の上面に掻き残した余剰な導電性ペー
ストを、アセトンのような有機性の溶剤を染み込ませた
布で拭き取るか、あるいは感光性樹脂２２の上面を研磨
することにより除去する必要があった。
【００２３】このように感光性樹脂２２の層の上面を清
浄にすることは、感光性樹脂２２の層の剥離工程を省略
したときだけでなく、前述のように感光性樹脂２２の層
を剥離するときでも有効な場合がある。すなわち、凹部
２２ａの境界面付近に余剰な導電性ペースト２４が残
り、この余剰な導電性ペースト２４が感光性樹脂２２の
層の剥離を妨げる場合である。したがって、余剰な導電
性ペースト２４を除去して凹部２２ａの境界面を清浄に
すれば、感光性樹脂２２の層の剥離工程は滞りなく行う
ことが可能となる。
浄にすることは、感光性樹脂２２の層の剥離工程を省略
したときだけでなく、前述のように感光性樹脂２２の層
を剥離するときでも有効な場合がある。すなわち、凹部
２２ａの境界面付近に余剰な導電性ペースト２４が残
り、この余剰な導電性ペースト２４が感光性樹脂２２の
層の剥離を妨げる場合である。したがって、余剰な導電
性ペースト２４を除去して凹部２２ａの境界面を清浄に
すれば、感光性樹脂２２の層の剥離工程は滞りなく行う
ことが可能となる。
【００２４】上記のように導電性ペースト２４を充填し
た後、感光性樹脂２２を剥離するかあるいは感光性樹脂
２２の層の上面を清浄にしたものを焼成炉に入れ、導電
性ペースト２４の焼成を行って目的とする電極群を形成
した。焼成温度は５８０℃とし、処理時間は約１０分間
とした。上記のように感光性樹脂２２の剥離工程を省略
した場合でも、導電性ペースト２４の焼成段階で感光性
樹脂２２を焼失させることができた。
た後、感光性樹脂２２を剥離するかあるいは感光性樹脂
２２の層の上面を清浄にしたものを焼成炉に入れ、導電
性ペースト２４の焼成を行って目的とする電極群を形成
した。焼成温度は５８０℃とし、処理時間は約１０分間
とした。上記のように感光性樹脂２２の剥離工程を省略
した場合でも、導電性ペースト２４の焼成段階で感光性
樹脂２２を焼失させることができた。
【００２５】以上のような工程で形成した電極パターン
の加工精度は、本出願人が先に出願した電極形成方法
（特願平６−２５０２６１号）で形成した電極パターン
と同等であった。しかも、本発明の方法ではエッチング
工程を必要としないため、本発明の方が生産性に優れ、
さらに環境や作業員の健康への問題が懸念されるエッチ
ング廃液の問題も生じない。
の加工精度は、本出願人が先に出願した電極形成方法
（特願平６−２５０２６１号）で形成した電極パターン
と同等であった。しかも、本発明の方法ではエッチング
工程を必要としないため、本発明の方が生産性に優れ、
さらに環境や作業員の健康への問題が懸念されるエッチ
ング廃液の問題も生じない。
【００２６】以下の工程は従来の技術と同様であるので
概略的に説明するが、抵抗素子９、絶縁性を備えた白バ
ック層１２、蛍光体１０をスクリーン印刷法で、また障
壁７をスクリーン印刷法あるいはサンドブラスト法で形
成した。さらに、前面板１上に陰極３をスクリーン印刷
法で形成し、上記の工程で作製を終えた背面板２と合わ
せてガス（Ｎｅ−ＸｅあるいはＨｅ−Ｘｅ）の封止を行
い、目的とする気体放電表示パネルを作製した。
概略的に説明するが、抵抗素子９、絶縁性を備えた白バ
ック層１２、蛍光体１０をスクリーン印刷法で、また障
壁７をスクリーン印刷法あるいはサンドブラスト法で形
成した。さらに、前面板１上に陰極３をスクリーン印刷
法で形成し、上記の工程で作製を終えた背面板２と合わ
せてガス（Ｎｅ−ＸｅあるいはＨｅ−Ｘｅ）の封止を行
い、目的とする気体放電表示パネルを作製した。
【００２７】以上説明してきた実施例は、放電セル６の
陽極側に抵抗素子９を形成するタイプであったが、抵抗
素子９は陰極側に設置してもよく、したがって上記の説
明の陽極群をすべて陰極群に置き換えてもよい。あるい
は、陽極群および陰極群の両側に抵抗素子９を設置する
ことも、さらに抵抗素子９のないものも可能である。ま
た、電極の配線パターンに関して言えば、図２に示した
構造だけでなく、例えば補助陽極５のないものや補助陽
極５が立体的に配置されたものや、陽極母線４、陽極端
子８および抵抗素子９の位置、形状および寸法が異なる
構造でも応用可能である。
陽極側に抵抗素子９を形成するタイプであったが、抵抗
素子９は陰極側に設置してもよく、したがって上記の説
明の陽極群をすべて陰極群に置き換えてもよい。あるい
は、陽極群および陰極群の両側に抵抗素子９を設置する
ことも、さらに抵抗素子９のないものも可能である。ま
た、電極の配線パターンに関して言えば、図２に示した
構造だけでなく、例えば補助陽極５のないものや補助陽
極５が立体的に配置されたものや、陽極母線４、陽極端
子８および抵抗素子９の位置、形状および寸法が異なる
構造でも応用可能である。
【００２８】さらに、前記陽極群および陰極群の代わり
に、表示に係わる電極群が前面板１および背面板２の対
向するそれぞれの板面上に直交するように形成される構
造や、表示に係わる平行に配置された一対の電極群が前
面板１あるいは背面板２のどちらか一方に形成され、か
つ前記電極群が設置されていない基板上にこれら電極群
と直交するようにアドレス電極が配置された構造であっ
ても構わない。
に、表示に係わる電極群が前面板１および背面板２の対
向するそれぞれの板面上に直交するように形成される構
造や、表示に係わる平行に配置された一対の電極群が前
面板１あるいは背面板２のどちらか一方に形成され、か
つ前記電極群が設置されていない基板上にこれら電極群
と直交するようにアドレス電極が配置された構造であっ
ても構わない。
【００２９】また、本発明は図２に示した構造の気体放
電表示パネルだけでなく、例えば、蛍光体発光を利用せ
ずに、Ｎｅ系のガスを放電ガスとした気体放電の発色光
をそのまま外部に取り出すパネルにも応用可能である。
電表示パネルだけでなく、例えば、蛍光体発光を利用せ
ずに、Ｎｅ系のガスを放電ガスとした気体放電の発色光
をそのまま外部に取り出すパネルにも応用可能である。
【００３０】
【発明の効果】大型の気体放電表示パネルでは、前面板
および背面板上の各構成要素の形成をスクリーン印刷法
に代表される厚膜印刷法で行っているが、この方法では
製造上の精度によって各構成要素の寸法や厚さにバラツ
キが発生してしまう欠点があった。これに対し、本出願
人が先に出願した電極形成方法（特願平６−２５０２６
１号）ではフォトリソ法を利用して電極を形成するが、
高い精度で電極加工が行える反面、煩雑な導電性膜のエ
ッチング工程を含んでいるので生産性が悪いのみなら
ず、金属イオンを含んだエッチング液の処理が環境に与
える影響も無視できなかった。しかし、本発明によれ
ば、フォトリソ法で形成した凹部に導電性ペーストを埋
め込んで電極を形成するようにしたので、フォトリソ法
の高い加工精度を維持することができ、しかもエッチン
グ工程を含まないために生産性および環境対応性に優れ
た電極加工を行うことができる。
および背面板上の各構成要素の形成をスクリーン印刷法
に代表される厚膜印刷法で行っているが、この方法では
製造上の精度によって各構成要素の寸法や厚さにバラツ
キが発生してしまう欠点があった。これに対し、本出願
人が先に出願した電極形成方法（特願平６−２５０２６
１号）ではフォトリソ法を利用して電極を形成するが、
高い精度で電極加工が行える反面、煩雑な導電性膜のエ
ッチング工程を含んでいるので生産性が悪いのみなら
ず、金属イオンを含んだエッチング液の処理が環境に与
える影響も無視できなかった。しかし、本発明によれ
ば、フォトリソ法で形成した凹部に導電性ペーストを埋
め込んで電極を形成するようにしたので、フォトリソ法
の高い加工精度を維持することができ、しかもエッチン
グ工程を含まないために生産性および環境対応性に優れ
た電極加工を行うことができる。
【図１】従来の気体放電表示パネルの構造の概略図を表
すもので、同図（ａ）はパネル前面からの透視図、同図
（ｂ）はパネルの横断面図である。
すもので、同図（ａ）はパネル前面からの透視図、同図
（ｂ）はパネルの横断面図である。
【図２】本発明により形成された電極を有する気体放電
表示パネルの一構成例を示すもので、同図（ａ）はパネ
ル前面からの透視図、同図（ｂ）はパネルの横断面図で
ある。
表示パネルの一構成例を示すもので、同図（ａ）はパネ
ル前面からの透視図、同図（ｂ）はパネルの横断面図で
ある。
【図３】本発明の電極形成方法に係わるパネルの製造工
程を示す説明図である。
程を示す説明図である。
１ 前面板 ２ 背面板 ３ 陰極 ４ 陽極母線 ５ 補助陽極 ６ 放電セル ７ 障壁 ８ 陽極端子 ９ 抵抗素子 １０ 蛍光体 １１ プライミングスリット １２ 白バック層 ２１ 下地層 ２２ 感光性樹脂 ２３ 遮光マスク ２４ 導電性ペースト
Claims (2)
- 【請求項１】 複数の電極群が前面板と背面板の対向す
る板面上に配置されてなる気体放電表示パネルにおける
少なくとも一方の板面上に配置された電極群を形成する
方法であって、 （１）基板上に感光性樹脂の層を形成する第１工程 （２）電極群のパターンを所定の位置に配置した遮光マ
スクを介して前記感光性樹脂の露光を行った後、パター
ン現像を行って所定の位置に凹部を形成する第２工程 （３）前記感光性樹脂の凹部に導電性ペーストを埋め込
んだ後、該導電性ペーストの乾燥を行う第３工程 （４）前記感光性樹脂を剥離する第４工程 （５）前記導電性ペーストを焼成する第５工程 の各工程を少なくとも含むことを特徴とする気体放電表
示パネルにおける電極の形成方法。 - 【請求項２】 複数の電極群が前面板と背面板の対向す
る板面上に配置されてなる気体放電表示パネルにおける
少なくとも一方の板面上に配置された電極群を形成する
方法であって、 （１）基板上に感光性樹脂の層を形成する第１工程 （２）電極群のパターンを所定の位置に配置した遮光マ
スクを介して前記感光性樹脂の露光を行った後、パター
ン現像を行って所定の位置に凹部を形成する第２工程 （３）前記感光性樹脂の凹部に導電性ペーストを埋め込
んだ後、該導電性ペーストの乾燥を行う第３工程 （４）前記感光性樹脂上に残留した余剰な前記導電性ペ
ーストを除去する第４工程 （５）前記導電性ペーストの焼成を行うと同時に前記感
光性樹脂を焼失させる第５工程 の各工程を少なくとも含むことを特徴とする気体放電表
示パネルにおける電極の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31211594A JPH08167373A (ja) | 1994-12-15 | 1994-12-15 | 気体放電表示パネルにおける電極の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31211594A JPH08167373A (ja) | 1994-12-15 | 1994-12-15 | 気体放電表示パネルにおける電極の形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08167373A true JPH08167373A (ja) | 1996-06-25 |
Family
ID=18025428
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31211594A Pending JPH08167373A (ja) | 1994-12-15 | 1994-12-15 | 気体放電表示パネルにおける電極の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08167373A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100385139B1 (ko) * | 1998-12-30 | 2003-08-21 | 현대 프라즈마 주식회사 | 포토법을이용한평판디스플레이의전극형성방법 |
| KR100500117B1 (ko) * | 2001-08-03 | 2005-07-11 | 캐논 가부시끼가이샤 | 부재 패턴의 제조방법과, 배선, 회로기판, 전자원 및화상형성장치 의 제조방법 |
| US7060152B2 (en) * | 2002-09-12 | 2006-06-13 | Lg Electronics Inc. | Method of fabricating electrode of plasma display panel using photo-peeling method |
-
1994
- 1994-12-15 JP JP31211594A patent/JPH08167373A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100385139B1 (ko) * | 1998-12-30 | 2003-08-21 | 현대 프라즈마 주식회사 | 포토법을이용한평판디스플레이의전극형성방법 |
| KR100500117B1 (ko) * | 2001-08-03 | 2005-07-11 | 캐논 가부시끼가이샤 | 부재 패턴의 제조방법과, 배선, 회로기판, 전자원 및화상형성장치 의 제조방법 |
| US7060152B2 (en) * | 2002-09-12 | 2006-06-13 | Lg Electronics Inc. | Method of fabricating electrode of plasma display panel using photo-peeling method |
| CN100440416C (zh) * | 2002-09-12 | 2008-12-03 | Lg电子株式会社 | 利用光剥落方法制造等离子显示板的电极的方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20040128 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |