KR100287498B1 - 기체방전형 표시장치와 그 제조방법 - Google Patents

기체방전형 표시장치와 그 제조방법 Download PDF

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모리 가즈히로
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Abstract

본 발명은, 가스방전을 이용해서 문자나 화상을 표시하는 기체방전형 표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 고정밀도의 컬러화상의 표시에 적합한 방전셀의 형성에 필요한 격벽구조를 구비한 기체방전형 표시장치를 제공하는 것을 과제로 한 것이며, 그 해결수단으로서, 앞면판(1)에 복수의 음극선(2)을 형성하고, 배면판(3)에 복수의 양극모선(4a), 애노드전극(4b), 보조전극(11) 및 저항체(8)를 형성하고, 양극모선(4a), 애노드전극(4b) 및 저항체(8)가 형성된 배면판(3) 위에, 표시전극체(7)의 부분을 제외하고 층간절연막(10)을 형성하고, 애노드전극(4b)의 상부면에 표시전극체(7)를 형성하고, 다음에, 층간절연막(10) 위에 수지바인더의 함유량이 다른 3층의 절연층을 형성하고, 샌드블러스트공법에 의해 불필요한 부분을 제거해서 격벽층(5a),(5b),(5c)으로 이루어진 격벽(5)을 형성하고, 방전셀(6)내의 층간절연막(10) 위에, 표시전극체(7)의 부분을 제외하여 형광체(9)를 도포하고, 앞면판(1)과 배면판(3)을, 음극선(2)과 양극모선(4a)이 서로 직교하는 상태에서 격벽(5)을 사이에 끼워 접합하는 것을 특징으로 한 것이다.

Description

기체방전형 표시장치와 그 제조방법
제1도는 본 발명의 제1실시형태에 있어서의 기체방전형 표시장치의 부분단면도.
제2도는 본 발명의 제1실시형태에 있어서의 기체방전형 표시장치의 제조방법을 표시한 공정도.
제3도는 본 발명의 제1실시형태에 있어서의 격벽재료에 함유되는 셀룰로스계 고분자바인더의 양과 샌드블러스트절삭레이트 및 접착성과의 관계를 표시한 특성도.
제4도는 본 발명의 제2실시형태에 있어서의 기체방전형 표시장치의 부분단면도.
제5도는 본 발명의 제3실시형태로 사용한 샌드블러스트장치를 표시한 개략 사시도.
제6도는 본 발명의 제3실시형태에 있어서의 격벽형성방법을 표시한 단면도.
제7도는 본 발명의 제3실시형태에 의해 얻게 된 기체방전형 표시장치의 시스템 효율과 격벽의 사이드에칭량과의 관계를 표시한 특성도.
제8도는 종래기술에 있어서의 기체방전형 표시장치의 부분단면도.
제9도는 종래기술에 있어서의 기체방전형 표시장치의 제조방법을 표시한 공정도.
제10도는 종래기술에 있어서의 샌드블러스트공정을 표시한 개략도.
제11도는 종래기술에 있어서의 1개의 분사총을 구비한 샌드블러스트장치의 분사압력과 리브페이스트의 절삭레이트 및 격벽의 사이드에칭량과의 관계를 표시한 특성도.
제12도는 종래기술에 있어서의 1개의 분사층을 구비한 샌드블러스트장치의 분사거리와 리브페이스트의 절삭레이트 및 격벽의 사이드에칭량과의 관계를 표시한 특성도.
제13도는 종래기술에 있어서의 격벽의 사이드에칭상태를 표시한 단면도.
(1) ... 앞면관 (2) ... 음극선
(3) ... 배면판 (4a) ... 양극모선
(4b) ... 애노드전극 (5) ... 격벽
(5a) ... 제1격벽층 (5b) ... 제2격벽층
(5c) ... 제3격벽층 (6) ... 방전셀
(7) ... 표시전극체 (8) ... 저항체
(9) ... 형광체 (10) ... 층간절연막
(11) ... 보조양극 (12) ... 리브페이스트
(14) ... 마스크패턴 (16) ... 분사총
본 발명은, 가스방전을 이용해서 문자나 화상을 표시하는 기체방전형 표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다. 더 상세하게는, 방전셀을 구성하는 격벽의 구조 및 그 제조방법에 관한 것이다.
최근, 기체방전형 표시장치(플라즈마 디스플레이패널)는 평면형의 표시장치로서 휴대형 컴퓨터 등의 정보단말기에 이용되고 있다. 그리고, 이 기체방전형 표시장치는, 표시가 선명하며, 액정패널에 비해 시야각도가 넓기 때문에, 그 응용분야는 확대되고 있다.
또, TV 수상기의 대형화가 진행되고, 그것에 대응해서 투사음극선관 또는 액정패널에 의한 투사형TV 등도 상품화되어가고 있다. 그러나, 어느것이나 화면의 휘도나 장치의 크기에 과제가 남아있다.
한편, 기체방전형 표시장치는, 최근 그 컬러화기술이 현저하게 진보되고, 음극선관에 비해서 안길이를 대폭으로 얇게 할 수 있기 때문에, 하이비젼용의 벽걸이 TV의 가장 유력한 후보로서 주목되고, 또, 충실한 색재현과 휘도 및 수명의 향상이 기대되고 있다.
이하, 종래의 메모리구동방식의 직류형 기체방전형 표시장치의 일례에 대해서, 제8도를 참조하면서 설명한다. 제8도에 표시한 바와 같이, 투명유리 등으로 이루어진 앞면판(21)에는, 복수의 스트라이프형상의 음극선(22)이 형성되어 있다. 또 투명유리 등으로 이루어진 배면판(23)에는 복수의 스트라이프형상의 양극모선(24a)이 형성되어 있다. 앞면판(21)과 배면판(23)은, 음극선(22)과 양극모선(24a)이 서로 직교하는 배치로 복수의 격벽(25)을 사이에 두고 대향하고 있다. 이에 의해, 격벽(25)으로 둘러쌓인 다수의 방전셀(26)이 매트릭스형상으로 형성되어 있다. 조합된 앞면판(21)과 배면판(23)의 주위는, 저융점유리 등으로 밀봉되어, 방전셀(26)의 내부에는 희가스를 주체로 한 방전가스가 봉입되어 있다.
배면판(23)의 위에는, 애노드전극(24b)이 각각의 방전셀(26)에 대응해서 개별적으로 형성되어 있다. 각 애노드전극(24b)의 위에는, 방전셀(26)내에 위치해서 표시전극체(27)가 형성되어 있다. 표시전극체(27)는 저항체(28)에 의해서 양극모선(24a)에 접속되어 있다. 이와 같이, 음극선(22)과 표시전극체(양극)(27)에 의해, 방전셀(26)내에 1쌍의 방전전극이 형성되어 있다. 또한, 제8도중, (31)은 방전셀(26)내의 방전이 용이하게 개시하도록 보조방전을 발생시키기 위한 보조전극이다.
양극모선(24a), 애노드전극(24b) 및 저항체(28)가 형성되어 있는 배면판(23)의 위에는, 표시전극체(27)의 부분을 제외하고 층간절연막(30)이 형성되어 있다. 이에 의해, 방전셀(26)내의 플라즈마와 양극모선(24a) 또는 저항체(28)와의 사이의 방전이 방지된다. 또, 방전셀(26)내의 층간절연막(30)의 위에는, 표시전극체(27)의 부분을 제외하고 형광체(29)가 도포되어 있다.
앞면판(21)은, 음극선(22)의 부분을 제외하고 투명하며, 방전셀(26)을 통해서 형광체(29)의 표면을 직접 관찰할 수 있는 상태에 있다.
음극선(22), 양극모선(24a), 애노드전극(24b), 표시전극체(27), 저항체(28), 층간절연막(30), 형광체(29) 및 격벽(25) 등은 후막인쇄기술을 사용해서 유리판 등으로 이루어진 앞면판(21) 또는 배면판(23) 위에 형성되어 있다.
상기 구성에 있어서, 상기한 하이비젼TV와 같이 화소밀도를 높이고, 고정밀화한 영상을 재생하기 위해서는, 방전셀을 구성하는 격벽을 초미세하게 형성할 필요가 있다. 구체적으로는, 높이 160~200㎛, 폭 50~60㎛의 형상수치를 가진 미세한 격벽을 형성하지 않으면 안된다. 특히 컬러화상을 표시하기 위해서는 1도트를 R.G.B의 3개의 방전셀로 구성하지 않으면 안되므로, 고정밀도의 표시화상을 얻고자 하면, 매우 미세하고 또한 고정밀도로 형성된 형상치수를 가진 격벽이 필요하게 된다.
다음에, 종래의 기체방전형 표시장치에 있어서의 격벽의 형성방법에 대해서, 도면을 참조하면서 설명한다. 제9도는 종래의 기체방전형 표시장치에 있어서의 격벽의 형성방법을 표시한 공정도, 제10도는 그 샌드블러스트공정을 표시한 개략도이다. 또한, 제9도, 제10도에 있어서는, 격벽의 형성과 관계가 없는 구성요소는 생략되어 있다.
먼저, 제9도(a)에 표시한 바와 같이, 애노드전극(24b)이 형성된 투명유리 등으로 이루어진 배면판(23) 위에, 격벽(25)을 형성하기 위한 리브페이스트(32)를 나이프코트법에 의해서 도포한다. 이어서, 리브페이스트(32)를 건조해서 고화시킨 후, 제9도(b)에 표시한 바와 같이, 리브페이스트(32) 위에, 감광성필름(33)을 도포한다. 이어서, 제9도(c)에 표시한 바와 같이, 격벽 패턴이 형성된 노광마스크를 개재해서 감광성필름(33)에 자외선을 조사하고, 감광된 부분을 현상제거해서 마스크패턴(34)을 형성한다. 이어서, 제9도(d)에 표시한 바와 같이, 분사층(35)을 구비한 샌드블러스트장치를 사용해서, 유리비즈 등으로 이루어진 연마사를 리브페이스트(32) 위에 불어붙인다. 이에 의해, 마스크패턴(34)이 형성되어 있는 부분을 제외하고 리브페이스트(32)가 절삭된다. 마지막으로, 제9도(e)에 표시된 바와 같이, 박리제를 사용해서 마스크패턴(34)을 제거한다. 이상의 공정에 의해, 배면판(23) 위에 격벽(25)이 형성된다.
제10도에 표시한 바와 같이, 상기 공정(d)에 있어서, 배면판(23)은 일방향으로 이동되고, 샌드블러스트장치(분사총(35))는, 배면판(23) 위의 마스크패턴(34)의 상부쪽을 배면판(23)의 이동방향에 대해서 직각방향으로 왕복운동한다. 그리고, 이 상태에서, 분사총(35)의 노즐로부터 유리비즈 등의 연마사가 분사되고, 마스크패턴(34)이 형성되어 있지 않는 부분의 리브페이스트(32)가 절삭제거된다.
상기한 바와 같이, 종래의 기체방전형 표시장치를 제작할 때에는, 후막인쇄기술을 사용해서 격벽이 되는 재료를 유리기판위의 전체면에 도포한 후, 샌드블러스트공법에 의해서 불필요한 부분을 제거함으로써, 격벽이 형성되고 있었다. 이 경우, 격벽재료로서는 일반적으로 1종류의 재료가 사용되고 있으므로, 샌드블러스트를 행할 때 하기와 같은 문제점이 있었다. 즉, 격벽재료가 구비되어 있지 않으면 안될 특성으로서는, ① 유리기판에 대한 밀착성, ② 샌드블러스트공법에 대한 절삭성, ③ 샌드블러스트를 행할 때의 마스크를 위한 레지스트에 대한 밀착성, ④ 리브페이스트를 절삭한 후에 레지스트를 박리제거할 때의 박리제에 대한 내구성 등이 있다. 그러나, 종래의 1종류로 이루어진 격벽재료에서는, 이들의 이질적인 특성을 동시에 만족시키는 것은 매우 곤란하였다.
또, 상기 종래의 구성을 가진 격벽 또는 그 제조방법에서는, 격벽의 형상치수에 있어서 격벽의 폭이(100±10)㎛, 높이가(200±5)㎛, 방전셀의 피치가 (650±10)㎛ 정도가 한계이며, 고정밀한 화상을 재생할 수 있는 화소를 구성하기 위한 미세하고 또한 고밀도의 격벽 및 방전셀을 형성하는 것은 곤란하였다.
또, 종래의 기체방전형 표시장치의 제조방법에 있어서는, 리브페이스트의 샌드블러스트에 의한 절삭제거는 1개의 분사총을 가진 샌드블러스트장치에 의해서 행하여지는 것이 일반적이었다. 제11도에, 1개의 분사총에 의한 샌드블러스트에 있어서의 연마사의 분사압력이 리브페이스트의 절삭레이트 및 격벽의 사이드에칭량에 미치는 영향을 표시한다. 또, 제12도에, 1개의 분사총에 의한 샌드블러스트에 있어서의 분사거리, 즉 리브페이스트와 분사총과의 거리가 리브페이스트의 절삭레이트 및 격벽의 사이드에칭량에 미치는 영향을 표시한다. 제11도에 표시한 바와 같이, 분사압력 P를 올림으로써 리브페이스트의 절삭레이트 Rs는 상승하나, 동시에 격벽의 사이드에칭량 Es는 절삭레이트 Rs보다 큰 비율로 증가해 버린다. 또, 분사압력 P의 상대치를 사이드에칭량 Es가 적은 3이하로 내리고, 저하된 절삭레이트 Rs를 올리기 위해 분사거리를 짧게 할려고 하면, 제12도에 표시한 바와 같이, 다시 사이드에칭량이 상승되어 버린다. 제13도(a)에 표시한 바와 같이, 격벽(25)은 본래 그 단면이 장방형이라야만 되나, 이 경우에는, 제13도(b)에 표시한 바와 같이, 격벽(25)의 벽면이 오목곡면으로 되어, 격벽중앙부의 단면의 폭이 좁게 되어 버린다. 이 때문에 격벽의 정밀도, 강도가 다같이 열화해버린다고 하는 문제점이 있었다.
본 발명은, 종래기술에 있어서의 상기 과제를 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 고정밀도의 컬러화상의 표시에 적합한 방전셀의 형성에 필요한 격벽구조를 구비한 기체방전형 표시장치 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 관한 기체방전형 표시장치의 구성은, 제1기판과, 상기 제1기판 위에 형성된 제1전극과, 상기 제1기판에 대향해서 배치된 제2기판과, 상기 제2기판에 형성된 제2전극과, 방전셀을 구성하기 위하여 상기 제1기판과 상기 제2기판과의 사이에 형성된 격벽과, 상기 방전셀내에 봉입된 방전가스를 구비한 기체방전형 표시장치에 있어서, 상기 격벽이 상기 제2기판 쪽으로부터 순서대로 적층된 제1격벽층, 제2격벽층 및 제3격벽층의 3층적층구조체로 이루어진 것을 특징으로 한다. 이 기체방전형 표시장치의 구성에 의하면, 제1격벽층에 의해서, 제2기판에 대한 격벽의 밀착성을 향상시키는 동시에, 레지스트박리제에 대한 격벽의 내구성을 향상시키는 것이 가능해진다. 또, 제2격벽층에 의해서, 샌드블러스트공법에 대한 절삭성을 양호하게 하는 것이 가능해진다. 또, 제3격벽층에 의해서, 샌드블러스트시의 마스크가 되는 레지스트에 대한 격벽의 밀착성을 향상시키는 일이 가능해진다.
또, 상기 본 발명의 기체방전형 표시장치의 구성에 있어서는, 격벽이 1.0~3.0중량%의 수지바인더와 유리프릿을 주성분으로 하는 제1격벽층과, 0.5~1.5중량%의 수지바인더와 유리프릿을 주성분으로 하는 제2격벽층과, 2.0~5.0중량%의 수지바인더와 유리프릿을 주성분으로 하는 제3격벽층을 순서대로 적층하고, 소정의 온도에서 소성해서 형성한 것이 바람직하다. 이 바람직한 예에 의하면, 이하와 같은 작용을 나타낼 수 있다. 즉, 제3격벽층의 수지바인더의 함유량을 충분히 크게 하고 있으므로, 격벽은 마스크패턴용의 레지스트와의 밀착성에 뛰어나고, 또 절삭레이트도 비교적 완만하게 개시되므로 샌드블러스트초기에 있어서 방전셀 개구부를 정확히 절삭하는 것이 가능해진다. 또, 제2격벽층의 수지바인더의 함유량을 가능한 한 적게 설정하고 있으므로, 그 절삭레이트는 매우 빠르고, 제조장치의 시스템효율이 향상된다. 또, 제1격벽층에 대해서는, 제2격벽층에 비해서 수지바인더의 함유량을 약간 증가시키고 있으므로, 격벽의 제2기판에 대한 접착성이 향상된다. 그 결과, 샌드블러스트공정 종료후에 격벽 위의 레지스트를 제거하는 공정에 있어서, 박리제가 격벽과 제2기판과의 사이에 침입해서 장해를 미친다고 하는 염려는 없다. 또, 이 경우에는, 수지바인더가 셀룰로스계 고분자바인더일 것이 바람직하다. 이 바람직한 예에 의하면, 격벽을 소성했을 때 격벽내에 수지바인더가 남지 않으므로, 기체방전형 표시장치를 완성시킨 후에 수지바인더에 의한 불순물가스를 발생하는 일은 없다.
또, 상기 본 발명의 기체방전형 표시장치의 구성에 있어서는, 제1격벽층의 두께가 5~15㎛, 제2격벽층의 두께가 100~250㎛, 제3격벽층의 두께가 5~30㎛인 것이 바람직하다. 이 바람직한 예에 의하면, 절삭레이트를 올린 경우에 있어서도, 사이드에칭량이 충분히 작은 격벽을 얻을 수 있다.
또, 상기 본 발명의 기체방전형 표시장치의 구성에 있어서는, 제2기판 위에 절연막이 형성되고, 제1기판과 상기 절연막과의 사이에 격벽이 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이 바람직한 예에 의하면, 방전셀내에 봉입된 방전가스와 제2전극과의 사이의 방전을 방지할 수 있다.
또, 상기 본 발명의 기체방전형 표시장치의 구성에 있어서는, 제1전극이 음극선으로 이루어지고, 제2전극이, 양극모선과, 상기 양극모선에 저항을 개재해서 접속된 양극전극과, 상기 양극전극 위에 형성된 표시전극체로 이루어지고, 제2기판 위에 상기 표시전극체의 부분을 제외하고 절연막이 형성되어, 제1기판과 상기 절연막과의 사이에 격벽이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또, 상기 본 발명의 기체방전형 표시장치의 구성에 있어서는, 제2격벽층이, 복수의 격벽막의 적층구조체로 이루어진 것이 바람직하다. 이 바람직한 예에 의하면, 이하와 같은 작용을 나타낼 수 있다. 즉, 복수의 격벽막의 재료구성(구체적으로는, 수지바인더의 함유량)을 바꾸고, 제2격벽층의 중앙부근에서 절삭레이트가 작아지고, 중앙으로부터 떨어지는데 따라서 절삭레이트가 크게 되도록 하면, 미세한 형상치수를 가진 격벽을 사이드에칭을 가능한 한 방지하면서 정밀하게 가공가능하게 된다.
또, 상기 본 발명의 기체방전형 표시장치의 구성에 있어서는, 제3격벽층이, 흑색재료로 이루어진 것이 바람직하다. 이 바람직한 예에 의하면, 샌드블러스트용의 마스크패턴을 형성할 때에 있어서의 레지스트노광시의 헐레이션(halation)을 방지할 수 있다. 그 결과, 정확한 마스크패턴을 형성할 수 있으므로, 고정밀도의 화상을 표시하기 위한 방전셀 형성에 필요한 초미세하고 또한 고정밀도의 격벽을 형성할 수 있다. 또, 이 흑색페이스트는, 완성된 기체방전형 표시장치로 영상을 재생할 때 블랙매트릭스로서 기능하므로, 표시화상의 콘트라스트 향상에도 효과를 발휘한다.
또, 본 발명에 관한 기체방전형 표시장치의 제조방법은, 제1기판과, 상기 제1기판 위에 형성된 제1전극과, 상기 제1기판에 대향해서 배치된 제2기판과, 상기 제2기판에 형성된 제2전극과, 방전셀을 구성하기 위해 상기 제1기판과 상기 제2기판과의 사이에 형성된 격벽과, 상기 방전셀내에 봉입된 방전가스를 구비한 기체방전형 표시장치의 제조방법으로서, 상기 제2기판 위에 상기 제2전극을 형성하는 공정과, 상기 제2전극이 형성된 상기 제2기판 위에 절연층을 형성하는 공정과, 상기 절연층의 상부면에 내(耐)샌드블러스트성의 마스크패턴을 형성하는 공정과, 복수의 분사층을 구비한 샌드블러스트장치를 사용해서, 상기 복수의 분사총의 절삭레이트를 제어하면서 상기 마스크패턴이 형성되어 있지 않는 부분의 상기 절연층을 제거함으로써 격벽을 형성하는 공정을 구비한 것을 특징으로 한다. 이 기체방전형 표시장치의 제조방법에 의하면, 복수의 분사총을, 제2기판의 이동방향을 따라서 배치하고, 각 분사총의 절삭레이트가 제2기판의 이동방향을 향해서 순번으로 작게 되도록 각 분사총의 절삭레이트를 조정함으로써, 격벽의 샌드에칭량을 작게 억제하고, 동시에 제조장치의 시스템효율을 올릴 수 있다. 즉, 어떤 특정의 개소의 절연층에 주목한 경우, 이 특정의 개소의 절연층은 서서히 작게 되는 절삭레이트로 절삭제거되므로, 격벽의 사이드에칭량은 작게 억제된다. 또, 복수의 분사총을 구비한 샌드블러스트장치를 사용하고 있으므로, 제조장치의 시스템효율이 저하되는 일도 없다.
또, 상기 본 발명의 기체방전형 표시장치의 제조방법의 구성에 있어서는, 절연층을 형성하기 전에 제2기판 위에 절연막을 형성하는 공정이 더 구비되고, 상기 절연층을 상기 절연막 위에 형성하는 것이 바람직하다.
또, 상기 본 발명의 기체방전형 표시장치의 제조방법의 구성에 있어서는, 제2전극이, 양극모선과 상기 양극모선에 저항을 개재해서 접속된 양극전극과, 상기 양극전극 위에 형성된 표시전극체로 이루어지고, 상기 표시전극체의 부분을 제외하고, 제2기판 위에 절연막을 형성하는 공정이 부가하여 구비되어, 절연층을 상기 절연막의 위에 형성하는 것이 바람직하다.
또, 상기 본 발명의 기체방전형 표시장치의 제조방법의 구성에 있어서는, 절연층을 제2기판 쪽으로부터 제1절연층, 제2절연층, 제3절연층의 순으로 적층해서 형성하는 것이 바람직하다. 또, 이 경우에는 1.0~3.0중량%의 수지바인더와 유리프릿을 주성분으로 하는 재료로 이루어진 제1절연층과, 0.5~1.5중량%의 수지바인더와 유리프릿을 주성분으로 하는 제2절연층과, 2.0~5.0중량%의 수지바인더와 유리프릿을 주성분으로 하는 제3절연층을 적층하고, 소정의 온도로 소성하는 것이 바람직하다. 또, 이 경우에는, 제1절연층을 5~15㎛의 두께로 형성하고, 제2절연층을 100~250㎛의 두께로 형성하고, 제3절연층을 5~30㎛의 두께로 형성하는 것이 바람직하다. 또, 이 경우에는, 제2절연층은 복수의 절연층을 적층해서 형성하는 것이 바람직하다. 또, 이 경우에는, 제3절연층이 흑색재료로 이루어지는 것이 바람직하다.
또, 상기 본 발명의 기체방전형 표시장치의 제조방법의 구성에 있어서는, 복수의 분사층의 분사압력이 각각 다른 것이 바람직하다. 이 바람직한 예에 의하면, 복수의 분사총의 절삭레이트를 제어하면서 마스크패턴이 형성되어 있지 않는 부분의 절연층을 제거할 수 있다.
또, 상기 본 발명의 기체방전형 표시장치의 제조방법의 구성에 있어서는, 복수의 분사총의 노즐구경이 각각 다른 것이 바람직하다. 이 바람직한 예에 의하면, 복수의 분사총의 절삭레이트를 제어하면서 마스크패턴이 형성되어 있지 않는 부분의 절연층을 제거할 수 있다.
또, 상기 본 발명의 기체방전형 표시장치의 제조방법의 구성에 있어서는, 복수의 분사총의 노즐선단과 기판위의 표면물질과의 거리가 각각 다른 것이 바람직하다. 이 바람직한 예에 의하면, 복수의 분사총의 절삭레이트를 제어하면서 마스크패턴이 형성되지 않은 부분의 절연층을 제거할 수 있다.
또, 상기 본 발명의 기체방전형 표시장치의 제조방법의 구성에 있어서는, 복수의 분사총으로부터 분사되는 연마사의 평균입자직경이 각각 다른 것이 바람직하다. 이 바람직한 예에 의하면, 복수의 분사총의 절삭레이트를 제어하면서 마스크패턴이 형성되지 않은 부분의 절연층을 제거할 수 있다.
이하, 실시의 형태를 사용해서 본 발명을 더 상세히 설명한다.
[제1실시형태]
제1도는 본 발명의 제1실시형태에 있어서의 기체방전형 표시장치의 부분단면도이다.
제1도에 표시한 바와 같이, 투명유리 등으로 이루어진 앞면판(1)에는, 복수의 스트라이프형상의 음극선(2)이 형성되어 있다. 또, 투명유리 등으로 이루어진 배면판(3)에는, 복수의 스트라이프형상의 양극모선(4a)이 형성되어 있다. 앞면판(1)과 배면판(3)은, 음극선(2)과 양극모선(4a)이 서로 직교하는 배치로 복수의 격벽(5)을 사이에 두고 대향하고 있다. 이에 의해, 격벽(5)으로 둘러싸인 다수의 방전셀(6)이 매트릭스형상으로 형성되어 있다. 조합된 앞면판(1)과 배면판(3)과의 주위는, 저융점유리 등으로 밀봉되고, 방전셀(6)의 내부에는, 희가스를 주체로 한 방전가스가 봉입되어 있다.
배면판(3) 위에는, 애노드전극(4b)이 각각의 방전셀(6)에 대응해서 개별적으로 형성되어 있다. 각 애노드전극(4b) 위에는, 방전셀(6)내에 위치해서 표시전극체(7)가 형성되어 있다. 표시전극체(7)는 저항체(8)에 의해서 양극모선(4a)에 접속되어 있다. 이와 같이, 음극선(2)과 표시전극체(양극)(7)에 의해, 방전셀(6)내에 1쌍의 방전전극이 형성되어 있다. 또한, 제1도중, (11)은 방전셀(6)내의 방전이 용이하게 개시하도록 보조방전을 발생시키기 위한 보조양극이다.
양극모선(4a), 애노드전극(4b) 및 저항체(8)가 형성되어 있는 배면판(3) 위에는, 표시전극체(7)의 부분을 제외하고 층간절연막(10)이 형성되어 있다. 이에 의해 방전셀(6)내의 플라즈마와 양극모선(4a) 또는 저항체(8)와의 사이의 방전이 방지된다. 또, 방전셀(6)내의 층간절연막(10) 위에는, 표시전극체(7)의 부분을 제외하고 형광체(9)가 도포되어 있다.
격벽(5)은, 배면판(3) 쪽으로부터 순서로 적층된 제1, 제2 및 제3격벽층 (5a), (5b) 및 (5c)의 3층적층구조로 되어 있다. 이 때문에, 제1격벽층(5a)에 의해서, 층간절연막(10)에 대한 격벽(5)의 밀착성을 향상시키는 동시에, 레지스트박리제에 대한 격벽(5)의 내구성을 향상시키는 것이 가능해진다. 또, 제2격벽층(5b)에 의해서, 샌드블러스트공법에 대한 절삭성을 양호하게 하는 것이 가능해진다. 또, 제3격벽층(5c)에 의해서, 샌드블러스트시의 마스크가 되는 레지스트에 대한 격벽(5)의 밀착성을 향상시키는 일이 가능해진다.
다음에, 본 발명의 제1실시의 형태에 있어서의 기체방전형 표시장치의 제조방법에 대해서 설명한다.
제2도는 본 발명의 제1실시형태에 있어서의 기체방전형 표시장치의 제조방법을 표시한 공정도이다. 먼저, 제2도(a)에 표시한 바와 같이, 투명유리 등으로 이루어진 두께 3mm의 배면판(3) 위에, 스크린인쇄법 및 사진석판법에 의해서 복수의 스트라이프형상의 양극모선(4a), 애노드전극(4b) 및 보조양극(11)을 형성하였다. 여기서, 양극모선(4a), 애노드전극(4b) 및 보조양극(11)의 두께는 5㎛, 폭은 80㎛이다. 이어서, 제2도(b)에 표시한 바와 같이, 양극모선(4a)과 애노드전극(4b)과의 사이에 RuO2페이스트를 20㎛의 두께로 도포하고, 이 RuO2페이스트를 약 520~600℃의 온도로 소성해서 저항체(8)를 형성하였다. 이어서, 제2도(c)에 표시한 바와 같이, 배면판(3) 위에, 표시전극체(7)를 위한 개구부를 제외하고 유리페이스트를 35㎛의 두께로 도포하고, 이 유리페이스트를 약 520~600℃의 온도로 소성해서 층간절연막(10)을 형성하였다. 이어서, 애노드전극(4b)의 상부면에, 표시전극체(7)를 형성하였다. 이어서 제2도(d)에 표시한 바와 같이, 층간절연막(10)의 위에, 1.0~3.0중량%의 셀룰로스계 고분자바인더와 유리프릿을 주성분으로 하는 재료를 10㎛의 두께로 성막하고, 제1절연층을 형성하였다. 이어서, 제1절연층 위에 0.5~1.5중량%의 셀룰로스계 고분자바인더와 유리프릿을 주성분으로 하는 재료를 200~210㎛의 두께로 성막하고, 제2절연층을 형성하였다. 또, 제2절연층 위에 2.0~5.0중량%의 셀룰로스계 고분자바인더와 유리프릿을 주성분으로 하는 재료를 10~20㎛의 두께로 성막하고, 제3절연층을 형성하였다. 또한, 셀룰로스계 고분자로서는, 예를들면, 메틸셀룰로스, 에틸셀룰로스, 프로필셀룰로스, 히드록시메틸셀룰로스, 히드록시에틸셀룰로스, 히드록시프로필셀룰로스, 히드록시메틸프로필셀룰로스, 히드록시에틸프로필셀룰로스 등을 사용할 수 있다. 이상과 같이 해서 3층적층체를 구성한 후, 마스크패턴을 개재해서 샌드블러스트공법에 의해 3층적층체의 불필요한 부분을 에칭제거하고, 약 500~550℃의 온도에서 소성해서 제1, 제2 및 제3격벽층(5a), (5b) 및 5(c)으로 이루어진 격벽(5)을 층간절연막(10) 위에 형성하였다. 이어서, 표시전극체(7)의 부분을 제외한 격벽(5), (5) 사이의 층간절연막(10) 위에 형광체(9)를 20㎛의 두께로 도포하였다. 한편, 투명유리 등으로 이루어진 앞면판(1)의 위에, 스크린인쇄법 및 사진석판법에 의해서 복수의 스트라이프형상의 음극선(2)을 형성하였다. 여기서, 음극선(2)의 두께는 35㎛, 폭은 170㎛이다(이상, 제2도(d)). 이어서, 제2도(e)에 표시한 바와 같이, 앞면판(1)의 음극선(2)쪽과 배면판(3)의 양극모선(4a)쪽을 대향시키고 음극선(2)과 양극모선(4a)이 직교하도록, 앞면판(1)과 배면판(3)을 격벽(5)을 개재해서 접합하였다. 이에 의해, 격벽(5)으로 둘러싸인 다수의 방전셀(6)이 매트릭스형상으로 형성되어 있다. 이어서, 앞면판(1)과 배면판(3)의 주위를, 저융점유리 등으로 밀봉하고, 진공배기한 후, 방전셀(6)의 내부에 희가스를 주체로 하는 방전가스를 봉입하였다. 이상의 공정에 의해, 기체방전형 표시장치를 얻게 되었다.
제3도에 표시한 바와 같이, 격벽(5)을 형성하기 위한 유리프릿페이스트속의 셀룰로스계 고분자바인더의 함유량은, 배면판(3) 등에 대한 밀착성이나 샌드블러스트시의 절삭레이트에 영향을 미친다. 따라서, 격벽(5)속의 셀룰로스계 고분자바인더의 함유량 또는 그 분포상태는, 정밀하고 또한 초미세한 격벽(5)의 형성에 큰 영향을 미친다.
즉, 제1격벽층(5a)의 셀룰로스계 고분자바인더의 함유량이 1.0중량% 미만이 되면 배면판(3)이나 층간절연막(10)과의 접착강도가 저하되고, 3.0중량%를 초과하면 샌드블러스트시의 절삭레이트가 느리게 되어 제조장치의 시스템효율이 저하된다. 또, 제2격벽층(5b)의 셀룰로스계 고분자바인더의 함유량이 0.5중량% 미만이 되면 샌드블러스트시의 절삭레이트가 너무 빨라져서 격벽(5)의 사이드에칭량이 증대되는 동시에, 제2격벽층(5b)과 제1 및 제3의 격벽층(5a), (5c)과의 밀착성이 나빠진다. 또, 제2격벽층(5b)의 셀룰로스계 고분자바인더의 함유량이 1.5중량%를 초과하면 샌드블러스트시의 절삭레이트가 느리게 되어 제조장치의 시스템효율이 저하된다. 또, 제3격벽층(5c)의 셀룰로스계 고분자바인더의 함유량이 2.0중량% 미만이 되면 샌드블러스트용의 레지스트에 대한 밀착성이 나빠져서 격벽(5)의 미세가공이 곤란해지고, 5.0중량%를 초과하면 샌드블러스트시의 절삭레이트가 느리게 되어 제조장치의 시스템효율이 저하된다. 본 발명자등의 실험에 의하면, 제1 및 제3격벽층(5a), (5c)의 두께가 어느것이나 얇고, 또한 제1 및 제3격벽층(5a), (5c)의 셀룰로스계 고분자바인더의 함유량이 많은 경우에, 양호한 결과를 얻게 되는 것이 확인되었다.
이상과 같이 본 실시의 형태에 의하면, 제3격벽층(5c)의 셀룰로스계 고분자바인더의 함유량을 충분히 크게 하고 있으므로, 격벽(5)은 마스크패턴용의 레지스트와의 밀착성에 뛰어나고, 절삭레이트도 비교적 완만하게 개시되므로 샌드블러스트 초기에 있어서 방전셀 개구부를 정확히 절삭하는 것이 가능해진다. 또, 제2격벽층(5b)의 셀룰로스계 고분자바인더의 함유량을 가능한 한 적게 설정하고 있으므로, 그 절삭레이트는 매우 빠르고, 제조장치의 시스템효율이 향상된다. 또, 제1격벽층(5a)에 대해서는, 제2격벽층(5b)에 비해서 셀룰로스계 고분자바인더의 함유량을 약간 증가시키고 있으므로, 격벽(5)의 층간절연막(10)에 대한 접착성이 향상된다. 그 결과, 샌드블러스트공정 종료후에 격벽(5) 위의 레지스트를 제거하는 공정에 있어서, 박리제가 격벽(5)과 층간절연막(10)과의 사이에 침입해서 장해를 끼친다고 하는 염려는 없다.
샌드블러스트공법에 의한 격벽(5)의 형성은, 샌드블러스트의 초기, 중간기, 종료기에 있어서 샌드블러스트장치의 절삭조건 및 절삭되는 격벽재료에 다른 특성을 요구하는 것이나, 본 실시의 형태에 있어서는 각각 다른 재료특성을 가진 3종류의 격벽층을 적층하고 있으므로, 제조장치의 시스템효율을 저하시키는 일없이 이상적인 샌드블러스트를 실시하는 것이 가능해진다.
제1 및 제2격벽층(5a), (5b)에는, 휘도를 향상시키기 위해 백색재료가 사용된다. 한편 제3격벽층(5c)에는 흑색으로 착색된 페이스트를 사용하는 것이 바람직하다. 제3격벽층(5c)에 흑색페이스트를 사용하면, 샌드블러스트용의 마스크패턴을 형성할 때에 있어서의 레지스트노광시의 헐레이션(halation)을 방지할 수 있다. 그 결과, 정확한 마스크패턴을 형성할 수 있으므로, 고정밀도의 화상을 표시하기 위한 방전셀 형성에 필요한 초미세하고 또한 고정밀도의 격벽을 형성할 수 있다. 또, 이 흑색페이스트는, 완성된 기체방전형 표시장치로 영상을 재생할 때 블랙매트릭스로서 기능하므로, 표시화상의 콘트라스트의 향상에도 효과를 발휘한다.
또한, 본 실시의 형태에 있어서는, 제1격벽층(5a)의 두께를 10㎛, 제2격벽층(5b)의 두께를 200~210㎛, 제3격벽층(5c)의 두께를 10~20㎛로 했으나, 각 격벽층의 두께는 반드시 이값에 한정되는 것은 아니다. 제1절연층(5a)의 두께를 5~15㎛의 범위에서, 제2절연층(5b)의 두께를 100~250㎛의 범위에서, 제3절연층(5c)의 두께를 5~30㎛의 범위에서 설정하면, 마찬가지의 효과를 얻게 된다.
[제2실시형태]
제4도는 본 발명의 제2실시형태에 있어서의 기체방전형 표시장치의 부분단면도이다. 제4도에 표시한 바와 같이, 본 실시의 형태에 있어서의 제2격벽층(5b)은, 또 복수의 격벽막(5b1),(5b2),(5b3),...,(5bn)을 적층함으로써 형성되어 있다. 즉, 제1격벽층(5a)의 상부면에는, 셀룰로스계 고분자바인더의 함유량을 각각 0.5~1.5중량%의 범위내에서 변화시켜서 조합한 유리프릿페이스트를 도포해서 적층함으로써, 복수의 격벽막(5b1),(5b2),(5b3),...,(5bn)으로 이루어진 제2격벽층(5b)이 형성되어 있다. 이 경우, 각 격벽막(5b1),(5b2),(5b3),...,(5bn)의 재료조성 및 격벽막의 수 n은, 목적으로 하는 방전셀의 크기, 형상 및 기체방전형 표시장치의 용도 등에 의해서 적당히 선택된다. 또한, 기타의 구성은 상기 제1실시형태와 마찬가지이므로, 그 설명은 생략한다.
이와 같이, 제2격벽층(5b)을 복수의 격벽막(5b1),(5b2),(5b3),...,(5bn)의 적층구조로 함으로써, 더욱 미세한 형상치수를 가진 격벽(5)을 사이드에칭을 가능한 한 방지하면서 정밀하게 가공하는 것이 가능해진다.
또한, 상기 제1 및 제2실시형태에 있어서는, 격벽(5)을 형성할 때에 셀룰로스계 고분자바인더를 사용했으나, 반드시 셀룰로스계 고분자바인더에 한정되는 것은 아니고, 수지바인더이면 된다. 또, 이 경우, 동일한 효과를 얻게 되는 중합체 물질을 사용해도 지장없다. 중합체물질로서는, 예를들면, 규소계중합체, 폴리스티렌, 부타디엔/스티렌공중합체, 폴리아미드, 고분자량 폴리에스테르, 에틸렌옥사이드와 프로필렌옥사이드와의 공중합체 및 여러가지의 아크릴계 중합체 등을 사용할 수 있다.
또, 상기 제1 및 제2실시형태에 있어서는, 인쇄법에 의해서 격벽을 형성했으나, 반드시 이 방법에 한정되는 것은 아니고, 예를들면, 「그린테이프」로 호칭되는 절연체조성테이프재료를 사용하는 방법을 채용해도 된다.
[제3실시의 형태]
다음에, 샌드블러스트공법에 사용하는 샌드블러스트장치에 대해서 설명한다.
제5도는 본 발명의 제3실시형태에서 사용한 샌드블러스트장치를 표시한 개략사시도이다. 제5도에 표시한 바와 같이, 본 실시의 형태에 있어서의 샌드블러스트장치의 분사총(16)은, 4개의 분사총(16a),(16b),(16c),(16d)에 의해 구성되어 있다. 배면판(3)은 한방향으로 이동되고, 샌드블러스트장치(분사총(16))는, 배면판(3) 위의 마스크패턴(14)의 위쪽을 배면판(3)의 이동방향에 대해서 직각방향으로 왕복운동한다. 그리고, 이 상태에서, 분사총(16a),(16b),(16c),(16d)의 노즐로부터 유리비즈 등의 연마사가 분사되어, 마스크패턴(14)이 형성되지 않은 부분의 리브페이스트(12)가 절삭 제거된다. 여기서, 분사총(16a),(16b),(16c),(16d)은, 배면판(3)의 이동방향을 따라서 순번으로 배치되어 있다.
제6도에, 상기와 같이 구성된 샌드블러스트장치를 사용한 때의 절삭상태를 표시한다. 제6도에 표시한 바와 같이, 각각의 분사총(16a),(16b),(16c),(16d)의 아래쪽에 있는 리브페이스트(12)는 각각 다른 절삭조건에 의해서 절삭되어 있다. 제6도는, 분사총(16a),(16b),(16c),(16d)의 분사거리를 각각 다르게 해서, 각 분사총의 절삭레이트를 조정하고 있는 경우를 표시하고 있으나, 분사총(16a),(16b),(16c),(16d)의 분사압력, 분사총의 노즐구경 또는 연마사의 평균입자직경 등을 각각 다르게 해서, 각 분사총의 절삭레이트를 조정하는 것도 가능하다.
상기와 같이 샌드블러스트장치를 구성하고, 분사총(16a),(16b),(16c),(16d)의 절삭레이트를 이 순번으로 작게 되도록 조정하면, 격벽(5)의 샌드에칭량을 작게 억제하고, 동시에 제조장치의 시스템효율을 올릴 수 있다. 즉, 어떤 특정의 개소의 리브페이스트(12)에 주목한 경우, 이 특정의 개소의 리브페이스트(12)는 서서히 작게 되는 절삭레이트로 제거되므로, 격벽(5)의 사이드에칭량은 작게 억제된다. 또, 복수의 분사총(16a),(16b),(16c),(16d)을 구비한 샌드블러스트장치를 사용하고 있으므로, 제조장치의 시스템효율이 저하되는 일도 없다.
이하에, 본 실시예의 형태에 있어서의 각 분사총의 분사조건을 표시한다.
[실시예 1]
분사총의 노즐 구경을 9mm로 고정하고, 연마사의 평균입자직경을 20㎛로 했을 때의 각 분사총의 분사압력을 상대치로 표시한다.
분사총(16a):4.0
분사총(16b):2.5
분사총(16c):1.0
분사총(16d):0.5
[실시예2]
분사압력을 일정(2kg/㎠)하게 하고, 연마사의 평균입자직경을 20㎛로 했을 때의 각 분사총의 노즐 구경을 표시한다.
분사총(16a):6mm
분사총(16b):9mm
분사총(16c):12mm
분사총(16d):15mm
[실시예3]
분사압력을 일정(2kg/㎠)하게 하고, 연마사의 평균입자직경을 20㎛, 노즐구경을 9mm로 했을 때의 분사거리를 표시한다.
분사총(16a):50mm
분사총(16b):100mm
분사총(16c):150mm
분사총(16d):200mm
[실시예4]
분사압력을 일정(2kg/㎠)하게 하고, 노즐구경을 9mm로, 분사거리를 100mm로 했을 때의 연마사의 평균입자직경을 표시한다.
분사총(16a):15㎛
분사총(16b):35㎛
분사총(16c):60㎛
분사총(16d):100㎛
또한, 연마사의 평균입자직경에 관해서는, 격벽형성용의 마스크패턴이 형성되어 있지 않는 부분에서는 절삭레이트에 영향은 보이지 않으나, 마스크패턴으로 둘러싸인 부분에서는 일반적으로 평균입자직경이 작은쪽이 절삭레이트가 크다.
상기 실시예 1 내지 4는 어느것이나 기체방전형 표시장치의 방전셀의 개구부 치수가 550㎛×450㎛, 격벽의 높이 200㎛인 것에 대해서 실험한 것이다. 제7도에 본 실시의 형태에 있어서 얻게 된 기체방전형 표시장치의 시스템효율과 격벽의 사이드에칭량과의 관계를, 종래예와 비교해서 표시한다. 제7도에 표시한 바와 같이, 종래의 격벽형성방식에 있어서 제조장치의 시스템효율을 올리고자 하면 격벽의 사이드에칭량이 증가한데 대하여, 본 실시의 형태에 있어서 얻게 된 기체방전형 표시장치의 격벽은 제조장치의 시스템효율에 관계없이 그 치수정밀도는 매우 높고, 또한, 제조장치의 시스템효율을 올려도 격벽의 사이드에칭량은 매우 작게 억제된다.
그 결과, 기체방전형 표시장치의 양산성이 향상된다.
상기 실시예 1 내지 4에 있어서는, 각 분사총의 1개의 분사조건을 바꾸어 각 분사총의 절삭레이트를 다르게 하고 있으나, 각 분사총에 대한 복수의 분사조건을 바꾸어 각 분사총의 절삭레이트를 다르게 해도 된다. 이 경우, 분사총(16a),(16b),(16c),(16d)의 절삭레이트가 이 순번으로 작게 되도록 조정되어 있으면 된다.
또한, 본 실시예의 형태에 있어서는, 4개의 분사총(16a),(16b),(16c),(16d)을 구비한 샌드블러스트장치를 사용한 경우를 예로 들어서 설명하였으나, 분사총의 수는 반드시 4개로 한정되는 것은 아니고, 예를들면 2~10개 사용하는 것도 가능하다. 분사총의 수는, 기체방전형 표시장치의 크기, 사용목적, 방전셀의 형상 등에 따라서 적당히 변형될 수 있다.
또, 상기 제1 내지 제3실시형태에 있어서는, 직류형 기체방전형 표시장치를 예로 들어 설명했으나, 본 발명은 반드시 직류형 기체방전형 표시장치에 한정되는 것은 아니고, 교류형 기체방전형 표시장치에 적용해도 마찬가지의 효과를 얻게 된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 관한 기체방전형 표시장치에 의하면, 제1격벽층에 의해서, 제2기판에 대한 격벽의 밀착성을 향상시키는 동시에, 레지스트박리제에 대한 격벽의 내구성을 향상시키는 것이 가능해진다. 또, 제2격벽층에 의해서, 샌드블러스트공법에 대한 절삭성을 양호하게 하는 것이 가능해진다. 또, 제3격벽층에 의해서 샌드블러스트시의 마스크로 되는 레지스트에 대한 격벽의 밀착성을 향상시키는 것이 가능해진다.
또, 본 발명에 관한 기체방전형 표시장치의 제조방법에 의하면, 제조장치의 시스템효율을 저하시키는 일없이 매우 초미세하고 또한 정확한 형상치수를 가진 격벽을 사이드에칭을 발생시키는 일없이 용이하게 형성할 수 있다.

Claims (20)

  1. 제1기판과, 상기 제1기판 위에 형성된 제1전극과, 상기 제1기판에 대향해서 배치된 제2기판과, 상기 제2기판에 형성된 제2전극과, 방전셀을 구성하기 위하여 상기 제1기판과 상기 제2기판의 사이에 형성된 격벽과, 상기 방전셀내에 봉입된 방전가스를 구비한 기체방전형 표시장치에 있어서,
    상기 격벽이 1.0~3.0중량%의 수지바인더와 유리프릿을 주성분으로 하는 제1격벽층과, 0.5~1.5중량%의 수지바인더와 유리프릿을 주성분으로 하는 제2격벽층과, 2.0~5.0중량%의 수지바인더와 유리프릿을 주성분으로 하는 제3격벽층을 상기 제2기판 위에 순서대로 적층하고, 소정의 온도로 소성해서 형성한 것임을 특징으로 하는 기체방전형 표시장치.
  2. 제1항에 있어서,
    수지바인더가 셀룰로스계 고분자바인더인 것을 특징으로 하는 기체방전형 표시장치.
  3. 제1항에 있어서,
    제1격벽층의 두께가 5~15㎛, 제2격벽층의 두께가 100~250㎛, 제3격벽층의 두께가 5~30㎛인 것을 특징으로 하는 기체방전형 표시장치.
  4. 제1항에 있어서,
    제2기판 위에 절연막이 형성되고, 제1기판과 상기 절연막과의 사이에 격벽이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기체방전형 표시장치.
  5. 제1항에 있어서,
    제1전극이 음극선으로 이루어지고, 제2전극이, 양극모선과, 상기 양극모선에 저항을 개재해서 접속된 양극전극과, 상기 양극전극위에 형성된 표시전극체로 이루어지고, 제2기판 위에 상기 표시전극체의 부분을 제외하고 절연막이 형성되고, 제1기판과 상기 절연막과의 사이에 격벽이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기체방전형 표시장치.
  6. 제1항에 있어서,
    제2격벽층이, 복수의 격벽막의 적층구조체로부터 이루어진 것을 특징으로 하는 기체방전형 표시장치.
  7. 제1항에 있어서,
    제3격벽층이, 흑색재료로 이루어진 것을 특징으로 하는 기체방전형 표시장치.
  8. 제1기판과, 상기 제1기판 위에 형성된 제1전극과, 상기 제1기판에 대향해서 배치된 제2기판과, 상기 제2기판에 형성된 제2전극과, 방전셀을 구성하기 위해 상기 제1기판과 상기 제2기판과의 사이에 형성된 격벽과, 상기 방전셀내에 봉입된 방전가스를 구비한 기체방전형 표시장치의 제조방법으로서, 상기 제2기판 위에 상기 제2전극을 형성하는 공정과, 상기 제2전극이 형성된 상기 제2기판 위에 절연층을 형성하는 공정과, 상기 제2전극이 형성된 상기 제2기판 위에 절연층을 형성하는 공정과, 상기 절연층의 상부면에 내샌드블러스트성의 마스크패턴을 형성하는 공정과 복수의 분사총을 구비한 샌드블러스트장치를 사용해서, 상기 마스크패턴이 형성되어 있지 않는 부분의 상기 절연층을 절삭함으로써 격벽을 형성하는 공정을 구비하고, 상기 격벽을 형성하는 공정에 있어서, 상기 절연층에 대한 상기 복수의 분사총의 절삭속도를 각각 조정해서 상기 절연층을 절삭하는 것을 특징으로 하는 기체방전형 표시장치의 제조방법.
  9. 제8항에 있어서,
    절연층을 형성하기 전에 제2기판 위에 절연막을 형성하는 공정이 부가하여 구비되고, 상기 절연층을 상기 절연막 위에 형성하도록 한 것을 특징으로 하는 기체방전형 표시장치의 제조방법.
  10. 제8항에 있어서,
    제2전극이, 양극모선과, 상기 양극모선에 저항을 개재해서 접속된 양극전극과, 상기 양극전극위에 형성된 표시전극체로 이루어지고, 상기 표시전극체의 부분을 제외하고 제2기판 위에 절연막을 형성하는 공정이 부가하여 구비되어, 절연층을 상기 절연막의 위에 형성하도록 한 것을 특징으로 하는 기체방전형 표시장치의 제조방법.
  11. 제8항에 있어서,
    절연층을, 제2기판 쪽으로부터 제1절연층, 제2절연층, 제3절연층의 순서대로 적층해서 형성하도록 한 것을 특징으로 하는 기체방전형 표시장치의 제조방법.
  12. 제11항에 있어서,
    1.0~3.0중량%의 수지바인더와 유리프릿을 주성분으로 하는 재료로 이루어진 제1의 절연층과, 0.5~1.5중량%의 수지바인더와 유리프릿을 주성분으로 하는 제2절연층과, 2.0~5.0중량%의 수지바인더와 유리프릿을 주성분으로 하는 제3절연층을 적층하고, 소정의 온도에서 소성하도록 한 것을 특징으로 하는 기체방전형 표시장치의 제조방법.
  13. 제11항에 있어서,
    제1절연층을 5~15㎛의 두께로 형성하고, 제2절연층을 100~250㎛의 두께로 형성하고, 제3절연층을 5~30㎛의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 기체방전형 표시장치의 제조방법.
  14. 제11항에 있어서,
    제2의 절연층은, 복수의 절연층을 적층해서 형성하는 것을 특징으로 하는 기체방전형 표시장치의 제조방법.
  15. 제11항에 있어서,
    제3절연층은 흑색재료로 이루어진 것을 특징으로 하는 기체방전형 표시장치의 제조방법.
  16. 제8항에 있어서,
    복수의 분사총의 분사압력이 각각 다른 것을 특징으로 하는 기체방전형 표시장치의 제조방법.
  17. 제8항에 있어서,
    복수의 분사총의 노즐구경이 각각 다른 것을 특징으로 하는 기체방전형 표시장치의 제조방법.
  18. 제8항에 있어서,
    복수이 분사총의 노즐선단과 기판위의 표면물질과의 거리가 각각 다른 것을 특징으로 하는 기체방전형 표시장치의 제조방법.
  19. 제8항에 있어서,
    복수의 분사총으로부터 분사되는 연마사의 평균입자직경이 각각 다른 것을 특징으로 하는 기체방전형 표시장치의 제조방법.
  20. 제8항에 있어서,
    제2기판은 샌드블러스트장치에 대해서 일방향으로 이동하고, 상기 샌드블러스트장치의 복수의 분사총은 상기 제2기판의 이동방향을 따라서 배치되고, 상기 복수의 분사총의 절삭레이트는 상기 제2기판의 이동방향을 따라서 순번대로 작아지도록 조정된 것을 특징으로 하는 기체방전형 표시장치의 제조방법.
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