CN1395276A - 气体放电型显示装置的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明的气体放电型显示装置，在前面板1上形成若干个阴极线2。在后面板3上形成阳极母线4a、阳极电极4b和辅助电极11、电阻体8、层间绝缘膜10，在阳极电极4b的上面形成显示电极体7。在层间绝缘膜10上形成树脂粘合剂含量不同的三层绝缘层，利用喷砂加工法形成由隔壁层5a、5b、5c组成的隔壁5。在放电室6内的层间绝缘膜10上涂敷荧光体9。使前面板1和后面板3在阴极线2和阳极母线4a互相正交的状态下夹住隔壁5而进行接合。

Description

气体放电型显示装置的制造方法

本发明涉及利用气体放电显示文字和图象等的气体放电型显示装置及其制造方法，特别涉及构成放电室的隔壁结构及其制造方法。

近年来气体放电型显示装置(等离子显示面板)作为平面型显示装置用在便携式计算机等信息终端机上。由于这种气体放电型显示装置显示鲜明，并比液晶板的视野角宽，所以其应用范围正在扩大。

随着电视接收机的大型化，与此相应利用投射阴极射线管或液晶板的投射式电视等也正在商品化。可是在画面的亮度和装置大小上都存在着问题。

气体放电型显示装置随着最近其彩色化技术的显著进步，其进深可以做得比阴极射线管薄许多，所以其作为高清晰度用壁挂式电视机而引人注目，并且期待着再现真实颜色和亮度及寿命的提高。

以下就已有的存储驱动方式和直流形气体放电型显示装置的一个例子参照图8进行说明。如图8所示，在由透明玻璃等组成的前面板21上形成若干个条状阴极线22。而在由透明玻璃等组成的后面板23上形成若干条状的阳极母线24a。前面板21和后面板23按照阴极线22与阳极母线24a互相垂直地配置而夹着若干个隔壁25、并彼此相对。据此，由隔壁25包围的多个放电室26形成矩阵状。组合的前面板21和后面板23的周围被低融点玻璃等密封，在放电室26的内部封入以稀有气体为主体的放电气体。

在后面板23的上面与各自的放电室26相对应分别形成了阳极电极24b。在各阳极电极24b的上面位于放电室26内形成了显示电极体27。显示电极体27通过电阻28与阳极母线24a相连接。这样，通过阴极线22和显示电极体(阳极)27在放电室26内形成一对放电电极。另外，在图8中31是为了使放电室26的放电容易开始而用于产生辅助放电的辅助电极。

在形成阳极母线24a、阳极电极24b和电阻28的后面板23的上面除去显示电极体27之外的部分上形成层间绝缘膜30。借此防止放电室26内的等离子体与阳极母线24a或电阻体28之间的放电。另外，在放电室26内的层间绝缘膜30上除去显示电极体27之外的部分上涂敷荧光体29。

前面板21除去阴极线22之外的部分是透明的，并处在通过放电室26可直接观察荧光体29表面的状态。

阴极线22、阳极母线24a、阳极电极24b、显示电极体27、电阻28、层间绝缘膜30、荧光体29和隔壁25等是利用厚膜印刷技术而形成在由玻璃板等组成的前面板21或后面板23上。

在上述构成中，为了象上述高清晰度电视那样提高像素密度并再生出高精细的图象，有必要超精细地形成构成放电室的隔壁。具体地讲，必须形成具有高160-200μm、宽50-60μm形成尺寸的精细的隔壁。特别是为了显示彩色图象必须使一个点由R、G、B的三个放电室构成，如果要获得高精细度的显示图象，则必须具有非常微细和高精度地形成的形状尺寸的隔壁。

下面参照附图说明已有的气体放电型显示装置中的隔壁的形成方法。图9是表示已有的气体放电型显示装置中的隔壁形成方法的工艺图，图10是表示这种喷砂工艺的概略图。另外，在图9和10略去了与形成隔壁没有关系的构成要素。

首先如图9(a)所示，在由形成有阳极电极24b的透明玻璃等组成的后面板23的上面，利用刮涂法涂敷用于形成隔壁25的活性膏32。接着在使活性膏32干燥固化后，按图9(b)所示，在活性膏32上贴上感光膜33。接着按图9所示，通过形成有隔壁图形的曝光掩模向感光膜33上照射紫外线，使感光部分经显影除去后就形成掩膜图形34。接着按图9(d)所示，利用装有喷枪35的喷砂装置，把由玻璃丝等组成的研磨砂吹到活性膏32上。借此除去形成掩膜图形34之外的部分活性膏32被切削。最后按图9(e)所示，利用剥离剂除去掩膜图形34。通过以上的工艺在后面板23上形成隔壁25。

如图10所示，在上述工艺(d)中，后面板23向一个方向移动，而喷砂装置(喷枪35)对着后面板23的移动方向沿直角方向在后面板23上的掩膜图形34的上方往复运动。在这种状态下，玻璃丝等组成的研磨砂从喷枪35的喷嘴喷射出，对没有形成掩膜图形34的部分的活性膏32进行切削。

如上所述，在已有的气体放电型显示装置的制作过程中，是在利用厚膜印刷技术在玻璃基板的整个表面上涂敷形成隔壁的材料后，利用喷砂加工法除去不要部分来形成隔壁。在这种情况下，由于作为隔壁材料通常采用一种材料，所以在进行喷砂时存在下述的问题。即隔热材料作为必备的特性应具有：(1)对玻璃基板的密合性，(2)对喷砂加工法的切削性，(3)对用于进行喷砂时的掩膜的抗蚀剂的密合性，(4)对在切削活性膏后剥离除去抗蚀剂时的剥离剂的耐久性。可以，利用已有的由一种组成的隔壁材料同时满足这些不同的特性是非常困难的。

另外，具有上述已有构成的隔壁或其制造方法形成具有下述尺寸的用于构成可再生高精细图象的象素的微细并高密度的隔壁和放电室是困难的，在隔壁形状尺寸中，隔壁的宽为(100±10)μm左右，高为(200±5)μm左右，放电室的间距为(650±10)μm左右。

另外，在已有的气体放电型显示装置的制造方法中。利用喷砂加工切除活化膏通常是用具有一个喷枪的喷砂装置完成的。在图11中示出了采用一个喷枪的喷砂装置中的研磨砂的喷射压力对活化膏的切削速率和隔壁的侧冲蚀量的影响。在图12中示出了利用一个喷枪的喷砂装置中的喷射距离即活化膏与喷枪间的距离对活化膏的切削速率和隔壁的侧冲蚀量的影响。如图11所示，随着喷射压力P的上升，活化膏的切削速率Rs上升，同时隔壁的侧冲蚀量Es也以比切削速率Rs更大的比例增加。另外，当喷射压力P的相对值下降到侧冲蚀量Es小于3以下，为了使已下降的切削速率Rs上升，而使喷射距离变短时，则如图12所示，侧冲蚀量又上升。如图13(a)所示，隔壁25其截面本来应是长方形，但在这种情况下却如图13(b)所示，隔壁25的壁面变成凹曲面，隔壁中央截面的宽度变窄。因此存在使隔壁的精度、强度一起降低的问题。

本发明是为了解决已有技术中的上述课题而提出的，它提供装备有形成适合于显示高精度彩色图象的放电室所必要的隔壁结构的气体放电型显示装置及其制造方法。

为实现上述目的，本发明的气体放电型显示装置的构成包括：第一基板、在上述第一基板上形成的第一电极、与上述第一基板相对配置的第二基板、在上述第二基板上形成的第二电极、为构成放电室而在上述第一基板和上述第二基板之间形成的隔壁、封入在上述放电室内的放电气体；其特征在于，上述隔壁由从上述第二基板侧开始顺序重叠的第一隔壁层、第二隔壁层和第三隔壁层的三层叠层构造体所组成。按照该气体放电型显示装置的构成，借助第一壁层可以使相对第二基板的隔壁的密合性提高，同时可以使相对抗蚀剥离剂的隔壁的耐心性提高。另外借助第二隔壁层可以改善对喷砂加工法的切削性。另外，借助第三隔壁层可以使对成为喷砂时的掩模的抗蚀剂的隔壁的密合性得到提高。

另外在上述本发明的气体放电型显示装置的构成中，隔壁最好是把以1.0-3.0重量百分比的树脂粘合剂和玻璃料为主要成分的第一隔壁层、以0.5-1.5重量百分比的树脂粘合剂和玻璃料为主要成分的第二隔壁层、以2.0-5.0重量百分比的树脂粘合剂和玻璃料为主要成分的第三隔壁层顺序重叠、然后在所定温度下烧接而形成。如果采用这个最好的例子，可以产生如下的效果。即，由于第三隔壁层的树脂粘合剂的含量相当大，所以隔壁与掩膜图形用的抗蚀剂之间的密合性良好，而且由于切削速率开始也比较慢，所以在喷砂初期可以正确地切削放电室开口部。另外，由于第二隔壁层的树脂粘合剂的含量设定的很小，所以其切削速率很快，提高了制造装置的生产率。另外由于使第一隔壁层的树脂粘合剂的含量比第二隔壁层的树脂粘合剂的含量高一些，所以提高了第一隔壁层相对隔壁的第二基板的接合性。其结果是，在喷砂工艺结束后在除去隔壁上的抗蚀剂工艺中不会发生剥离剂侵入隔壁与第二基板之间的危害。另外，在这种情况下，树脂粘合剂最好是纤维素系高分子粘合剂。按照这个可取的例子，由于在烧结成隔壁时在隔壁内不残留树脂粘合剂，所以不会在气体放电型显示装置完成后由于树脂粘合剂产生不纯气体。

另外，在上述本发明的气体放电型显示装置的构成中，最好第一隔壁层的厚度为5-15μm，第二隔壁层的厚度为100-250μm，第三隔壁层的厚度为5-30μm。按照这个可取的例子，即使在提高切削速率的情况下，也可以得到侧冲蚀量是非常小的隔壁。

另外，在上述本发明的气体放电型显示装置的构成中，最好是在第二基板上形成绝缘膜，在第一基板与上述绝缘膜之间形成隔壁。按照这个可取的例子，可以防止封入在放电室内的放电气体和第二电极之间的放电。

另外，在上述本发明的气体放电型显示装置的构成中，最好是第一电极由阴极线组成，第二电极由阳极母线、通过电阻与上述阳极母线相连的阳极电极、在上述阳极电极上形成的显示电板体所组成，在第二基板上除去上述显示电极体部分形成绝缘膜，并在第一基板与上述绝缘膜之间形成隔壁。

另外，在上述本发明的气体放电型显示装置的构成中，第二隔壁层最好是由若干个隔壁膜的叠层构造体所组成。按照这个可取的例子，可产生如下的效果。即通过改变若干个隔壁膜的材料构成(具体的讲为树脂粘合剂的含量)，使切削速率在第二隔壁层中央附近变小，如果随着远离中心切削速率逐渐增加，则便可以在尽可能防止侧冲蚀的同时对具有微细形状尺寸的隔壁进行精密加工。

另外，在上述本发明的气体放电型显示装置的构成中，第三隔壁层最好是由黑色材料组成。按照这个可取的例子，可以防止在形成喷砂用的掩模图形时抗蚀剂曝光时的光晕。其结果是，由于可以形成正确的掩膜图形，因而可以形成用于显示高精细度的图象的放电室形成所必要的超微细和高精度的隔壁。另外，该黑色膏由于在作为完成的气体放电型显示装置再生图象时起黑底的作用，所以还具有使显示图象的对比度提高的效果。

另外，本发明的气体放电型显示装置的制造方法的特征在于，该显示装置包括：第一基板、形成在上述第一基板上的第一电极、与上述第一基板相对配置的第二基板、在上述第二基板上形成的第二电极、为构成放电室而在上述第一基板与第二基板之间形成的隔壁和封在上述放电室内的放电气体，它包括以下步骤：在上述第二基板上形成上述第二电极的步骤，在形成上述第二电极的第二基板上形成绝缘层的步骤，在上述绝缘层的上面形成耐喷砂性的掩膜图形的步骤，利用装备有若干个喷枪的喷砂装置、通过一边控制上述若干个喷枪的切削速率一边除去没有形成上述掩膜图形部分的上述绝缘层而形成隔壁的步骤。按照这种气体放电型显示装置的制造方法，通过使若干个喷枪沿第二基板移动方向配置、并调整各喷枪的切削速率以便使各喷枪的切削速率朝向第二基板移动方向按顺序变小，从而可以控制隔壁的侧冲蚀量为较小，同时使制造装置的生产率提高。即，在注意某个特定位置上的绝缘层的情况下，因为该特定位置的绝缘层是在逐渐变小的切削速率下被切除的，所以可以控制侧冲蚀量为较小。另外，由于使用装备有若干个喷枪的喷砂装置，所以也不会降低制造装置的生产率。

另外，在上述本发明的气体放电型显示装置的制造方法中还包括在形成绝缘层之前在第二基板上形成绝缘膜的步骤，最好使该绝缘层形成在上述绝缘膜上。

另外，在上述本发明的气体放电型显示装置的制造方法中，第二电极由阳极母线、通过电阻与上述阳极母线相连接的阳极电极和在上述阳极电极上形成的显示电板体所组成，最好还包括在除去上述显示电板体部分之外的第二基板上形成绝缘膜的步骤，以使绝缘层形成在上述绝缘膜上。

另外，在本发明的上述气体放电型显示装置的制造方法中，最好使绝缘层从第二基板侧开始按第一绝缘层，第二绝缘层，第三绝缘层的顺序重叠形成。另外，在这种情况下，最好是把由以1.0-3.0重量百分比的树脂粘合剂和玻璃料为主要成分的材料组成的第一绝缘层、以0.5-1.5重量百分比的树脂粘合剂和玻璃料为主要成分的第二绝缘层和以2.0-5.0重量百分比的树脂粘合剂和玻璃料为主要成分的第三绝缘层重叠、然后在所定的温度下烧结。另外，在这种情况下，最好使第一绝缘层的厚度为5-15μm，第二绝缘层的厚度为100-250μm，第三绝缘层的厚度为5-30μm。另外，在这种情况下，最好重叠若干绝缘层以形成第二绝缘层。另外，在这种情况下，最好是第三绝缘层由黑色材料组成。

另外，在本发明的气体放电型显示装置的制造方法中，最好是使若干个喷枪的喷射压力彼此不同。按照这个可取的例子，可以一边控制若干个喷枪的切削速率一边除去没有形成掩膜图形部分的绝缘层。

另外，在本发明的气体放电型显示装置的制造方法中，若干个喷枪喷嘴的孔径最好是彼此不同的，按照这个可取的例子可以一边控制若干个喷枪的切削速率一边除去没有形成掩模图形部分的绝缘层。

另外，在上述本发明的气体放电型显示装置的制造方法中，最好是使若干个喷枪的前端与基板上的表面物质之间的距离彼此不同。按照这个可取的例子，可以一边控制若干个喷枪的切削速率一边除去没有形成掩模图形部分的绝缘层。

另外在上述本发明的气体放电型显示装置的制造方法中，最好使从若干个喷枪喷射出的研磨砂的平均粒径彼此不同。按照这个可取的例子，可以一边控制若干个喷枪的切削速率，一边除去没有形成掩膜图形部分的绝缘层。

图1是本发明第一实施方式的气体放电型显示装置的部分剖视图。

图2是表示本发明第一实施方式的气体放电型显示装置的制造方法的工艺图。

图3是表示在本发明第一实施方式中的隔壁材料中的纤维素系高分子粘合剂的量与喷砂切削速率和粘着性之间关系的特性图。

图4是本发明第二实施方式中的气体放电型显示装置的部分剖视图。

图5表示在本发明第三实施方式中用的喷砂装置的概略斜视图。

图6是表示本发明第三实施方式中的隔壁形成方法的剖视图。

图7是表示在本发明第三实施方式中所获得的气体放电型显示装置的生产率与隔壁的侧冲蚀量之间的关系的特性图。

图8是已有技术的气体放电型显示装置的部分剖视图。

图9是表示已有技术中的气体放电型显示装置的制造方法的工艺图。

图10是表示已有技术的喷砂工艺的概略图。

图11是表示已有技术中装有一个喷枪的喷砂装置的喷射压力与活性膏的切削速率和侧冲蚀量之间关系的特性图。

图12是表示已有技术中装有一个喷枪的喷砂装置的喷射距离与活性膏的切削速率和隔壁的侧冲蚀量之间关系的特性图。

图13是表示已有技术中的隔壁的侧冲蚀状态的剖视图。

下面通过实施方式进一步详细说明本发明。

<第一实施方式>

图1是本发明第一实施方式的气体放电型显示装置的部分剖视图。如图1所示，在由透明玻璃等组成的前面板上形成多个条状的阴极线2。而在由透明玻璃等组成的后面板3上形成多个条状阳极母线4a。前面板1和后面板3按阴极线2和阳极母线4a互相垂直地配置而夹着若干个隔壁5并彼此相对。借此由隔壁5包围的若干个放电室6形成为矩阵状。将组装后的前面板1和后面板3的周围用低融点玻璃等密封，在放电室6的内部封入以稀有气体为主体的放电气体。

在后面板3上，阳极电极4b对应各自的放电室6而单独形成。在各阳极电极4b上位于放电室6内形成显示电极体7。显示电极体7通过电阻8与阳极母线4a相连。这样通过阴极线2和显示电极体(阳极)7在放电室6内形成一对放电电极。另外，11是为了使放电室6内的放电容易开始而用于产生辅助放电的辅助阳极。

在形成阳极母线4a，阳极电极4b和电阻8的后面板3上除去显示电极体7的部分形成层间绝缘膜10。借此可以防止放电室6内的等离子体和阳极母线4a或电阻8之间的放电。另外，在放电室6内的层间绝缘膜10的上面除了显示电极体7的部分涂敷荧光体9。

隔壁5形成从后面板3侧开始顺序重叠的第一、第二和第三隔壁层5a、5b和5c的三叠层结构。因此，通过第一隔壁层5a既可以提高隔壁5对层间绝缘膜10的密合性，又可以提高隔壁5对抗蚀剥离剂的耐久性。而通过第二隔壁层5b可以提高喷砂加工法的切削性。另外，通过第三隔壁层5c可以提高隔壁5对喷砂时变成掩膜的抗蚀剂的密合性。

下面说明本发明第一形态中的气体放电型显示装置的制造方法。

图2是表示本发明第一实施方式的气体放电型显示装置的制造方法的工艺图。首先按照图(2)所示，利用丝网印刷法和光刻法在由透明玻璃等组成的3毫米厚的后面板3上形成若干个条状阳极母线4a、阳极电极4b和辅助阳极1.1。这里阳极母线4a，阳极电极4b和辅助阳极11的厚度为5μm，而宽度为80μm。按照如图2(b)所示，在阳极母线4a和阳极电级4b之间涂敷一层厚20μm的RuO₂膏，将该RuO₂膏在约520-600℃温度下烧结形成电阻体8。再按图2(C)所示那样，在后面板3上除去用于显示电极体7的开口部的部分涂敷一层35μm厚的玻璃膏，然后在约520-600℃温度下烧结形成层间绝缘膜10。接着在阳极电极4b上面形成显示电极体7。再按图2(d)所示那样，在层间绝缘膜10上把以1.0-3.0重量百分比的纤维素系高分子粘合剂和玻璃料为主要成分的材料形成10μm厚的膜，以形成第一绝缘层。接着在第一绝缘层的上面使把以0.5-1.5重量百分比的纤维素系高分子粘接剂和玻璃料为主要成分的材料形成200-210μm厚度的膜，以形成第二绝缘层。再在第二绝缘层上把以2.0-5.0重量百分比的纤维素系高分子粘合剂和玻璃料为主要成分的材料形成10-20μm厚的膜，以形成第三绝缘层。作为纤维素系高分子可以采用例如：甲基纤维素、乙基纤维素、丙基纤维素、羟甲基纤维素、羟乙基纤维素、羟丙基纤维素、羟甲基丙基纤维素、羟乙基丙基纤维素等。按上述方式构成三层叠层体后，通过掩模图形利用喷砂加工法中蚀除去三层叠层体的不需要部分，在约500-550℃的温度下在层间绝缘膜10上烧结形成由第一、第二和第三隔壁层5a、5b和5c组成的隔壁5。接着在除去显示电极体7的部分的隔壁5、5之间层间绝缘膜10上涂敷一层20μm厚的荧光体9。在由透明玻璃等组成的前面板1的上面利用丝网印刷法和光刻法形成若干条状阴极线2。阴极线2的厚度为35μm，宽为170μm[以上为图2(d)]。接着如图2(e)所示，使前面板1的阴极线2侧和后面板3的阳极母线4a侧相对并使阴极线2和阳级母线4a正交，使前面板1和后面板3通过隔壁5接合。借此使由隔壁5包围的大多数放电室6形成矩阵状。再用低融点玻璃封住前面板1和后面板3的周围，在经真空排气后在放电室6的内部封入以稀有气体为主体的放电气体。通过以上的工艺便可获得气体放电型显示装置。

如图3所示，它表示了用于形成隔壁5的玻璃料膏中的纤维素系高分子粘合剂的含量对后面板3的密合性和喷砂时的切削速率的影响。因此，隔壁5中的纤维系高分子粘合剂的含量或其分布状态对形成精密和超微细的隔壁5有大的影响。

也就是说，如果第一隔壁层5a的纤维素系高分子粘合剂的含量低于1.0重量百分比时，则使后面板3和层间绝缘膜10的接合强度下降，如果超过3.0重量百分比则使喷砂时的切削速率变慢，从而降低装置的生产率。另外，如果第二隔壁层5b的纤维素系高分子粘合剂的含量小于0.5重量百分比则使喷砂时的切削速率过快，从而使隔壁5的侧冲蚀量增大，同时使第二隔壁层5b与第一和第三隔壁层5a、5c的密合性降低。此外，如果第二隔壁层5b的纤维素系高分子粘合剂的含量超过1.5重量百分比，则使喷砂时的切削速率变慢，从而降低制造装置的生产率。另外，如果第二隔壁层5c的纤维素系高分子粘合剂的含量小于2.0重量百分比，则使与喷砂用的抗蚀剂的密合性降低，从而使隔壁5的微细加工困难。如果超过5.0重量百分比则使喷砂时的切削速率变慢，从而使制造装置的生产率下降。根据本发明者的实验，可以确认在第一和第三隔壁层5a、5c的厚度都薄并且第一和第三隔壁层5a、5c的纤维素系高分子粘合剂的含量多的情况下可以获得良好的效果。

如上所述，如果采用本实施方式，由于第三隔壁层5c的纤维素系高分子粘合剂的含量相当大，所以可以提高隔壁5与掩膜图形用的抗蚀剂的密合性，并且由于使切削速率比较慢地开始而使喷砂初期可以正确地切削放电室开口部。另外，由于第二隔壁层5b的纤维素系高分子粘合剂的含量设定得很少，而使其切削速率很快，从而提高了制造装置的生产率。另外，由于第一隔壁层5a与第二隔壁层5b相比，其纤维素系高分子粘合剂的含量有所增加，因而提高了第一隔壁层5a对隔壁5的层间绝缘膜10的接合性。其结果是，在喷砂工艺结束后在除去隔壁5上的抗蚀剂的工艺中不会发生剥离剂侵入隔壁5与层间绝缘膜10之间的危险。

利用喷砂加工法的隔壁5形成工艺，虽然要求在喷砂的初期，中间期和终期具有不同的喷砂装置的切削条件和切削的隔壁材料的特性，  但是由于在本实施方式中是重叠分别具有不同材料特性的三种隔壁层，因而可以实现不会使制造装置的生产率降低并且理想的喷砂工艺。

在第一和第二隔壁层5a、5b中为了提高亮度而使用白色材料。最好在第三隔壁层5c中使用着色成黑色的膏。如果在第三隔壁层5c中使用黑色膏，则可以防止在形成喷砂用的掩膜图形时抗蚀剂曝光时的光晕。其结果是，由于可以形成正确的掩模图形，因而可以形成用于显示高精细度的图象的放电室形成所必要的超微细度高精度的隔壁。另外，该黑色膏由于在作为完成的气体放电型显示装置再现图象时起黑底的作用，所以可以促进显示图象的对比度提高。

另外，在本实施方式中，将第一隔壁层5a的厚度设定为10μm，将第二隔壁层5b的厚度设定为200-210μm，将第三隔壁层5c的厚度设定为10-20μm，但各隔壁层的厚度并不一定限定为这些值。如果将第一绝缘层5a的厚度设定在5-15μm的范围内，将第二绝缘层5b的厚度设定在100-250μm的范围内，将第三绝缘层5c的厚度设下在5-30μm的范围，则可以获得相同的效果。

<第二实施方式>

图4是本发明第二实施方式中的气体放电型显示装置的部分剖视图。如图4所示，本实施方式中的第二隔壁层5b通过使若干个隔壁膜5b₁、5b₂、5b₃···5b_n进行叠层而形成。即在第一隔壁层5a的上面通过涂敷纤维素系高分子粘合剂的含量分别在0.1-1.5重量百分比范围内变化而调合的玻璃料膏而叠层以形成由若干个隔壁膜5b₁、5b₂、···5b_n组成的第二隔壁层5b。在这种情况下，各隔壁膜5b₁、5b₂···5b_n的材料组成和隔壁膜的数目n根据作为目标的放电室的大小、形状和气体放电型显示装置的用途作适当选择。另外，由于其它的构成与第一实施方式相同，而省略其说明。

这样，通过使第二隔壁层5b形成若干个隔壁膜5b₁、5b₂、5b₃···5b_n的叠层结构，既可以尽可能防止侧冲蚀又能对具有微细形状尺寸的隔壁5进行精密加工。

另外，在上述第一和第二实施方式中，虽然在形成隔壁5时采用了纤维素系高分子粘合剂，但并不一定限定于纤维素系高分子粘合剂，也可以使用树脂粘合剂。这时即使用可以获得同样效果的聚合物也没有关系。作为聚合物可以采用例如硅系聚合物、聚乙烯、丁二烯/苯乙烯共聚物、聚酰胺、高分子量聚醚、环氧乙烷和环氧丙烷的共聚物和各种丙烯系聚合物等。

另外，在上述第一和第二实施方式中，虽然是用印刷法形成隔壁，但并不一定限于这种方法，例如也可以采用利用称为“绿带”的绝缘体组成带材料的方法。

<第三实施方式>

下面说明用在喷砂法中的喷砂装置。

图5是表示本发明第三实施方式中使用的喷砂装置的简要斜视图。如图5所示，在本实施方式中的喷砂装置的喷枪16由四个喷枪16a、16b、16c和16d构成。后面板3沿一个方向移动，而喷砂装置(喷枪16)在与后面板3移动方向相对成直角的方向沿后面板3上的掩模图形14的上方往复运动。在此状态下，玻璃材料等研磨砂等从喷枪16a、16b、16c、16d的喷咀中喷射出，从而切削除去没有形成掩模图形14部分的活性膏12。其中，喷枪16a、16b、16c、16d沿后面板3的移动方向按顺序配置。

图6表示了利用上述结构的喷砂装置时的切削状态。如图6所示，处在各个喷枪16a、16b、16c和16d下方的活性膏12按照彼此不同的切削条件被切削。图6虽然示出了通过使喷枪16a、16b、16c和16d的喷射距离彼此不同来调整各喷枪的切削速率的情况，但是也可以通过使喷枪16a、16b、16c和16d的喷射压力、喷枪的喷嘴孔径或研磨砂的平均粒径等分别不同来调整各喷射枪的切削速率。

如果按上述构成喷砂装置、并按序号渐小的方式喷调整喷枪16a、16b、16c和16d的切削速率，则可以控制隔壁5的侧冲蚀量为较小，同时可以提高制造装置的生产率。即在注视某个特定位置的活化膏12的情况下，因为这个特定的位置的活性膏12是以缓慢的切削速率被切除，因而可以控制隔壁5的侧冲蚀量为较小。另外，由于利用装备有若干个喷枪16a、16b、16c和16d的喷砂装置，所以不会降低制造装置的生产率。

本实施方式的各喷枪的喷射条件如下：

(实施例1)

喷枪的喷嘴孔径固定为9mm，研磨砂的平均粒径选取为20μm时的各个喷枪的喷射压力用相对值表示。

喷枪16a：4.0

喷枪16b：2.5

喷枪16c：1.0

喷枪16d：0.5

(实施例2)

设喷射压力为一定值(2kg/cm²)，研磨砂的平均粒径为20μm时的各喷枪的喷嘴孔径为：

喷枪16a：6mm

喷枪16b：9mm

喷枪16c：12mm

喷枪16d：15mm

(实施例3)

设喷射压力为一定值(2kg/cm²)，研磨砂的平均粒径为20μm、喷嘴孔径为9mm时的喷射距离为：

喷枪16a：50mm

喷枪16b：100mm

喷枪16c：150mm

喷枪16d：200mm

(实施例4)

设喷射压力为一定值(2kg/cm²)、喷嘴孔径为9mm、喷射距离为100mm时的研磨砂的平均粒径：

喷枪16a：15μm

喷枪16b：35μm

喷枪16c：60μm

喷枪16d：100μm

虽然关于研磨砂的平均粒径对在没有设置隔壁形成用的掩膜图形的部分上没有发现切削速率的影响，但是由掩膜图形所包围的部分通常平均粒径小的研磨砂的切削速率高。

上述实施例1-4都是对放电室开口部尺寸为550μm×450μm、隔壁的高度为200μm的气体放电装置进行实验的。图7表示了在本实施方式中获得的气体放电装置的生产率与隔壁的侧冲蚀量间的关系，并且与已有的例子进行了比较。如图7所示，如果想要在已有的隔壁形成方法中提高制造装置的生产率，相对于隔壁的侧冲蚀量增加，在本实施方式中获得的气体放电型显示装置的隔壁即使在与制造装置的生产率无关系、而其尺寸精度很高并且制造装置的生产率提高的情况下也能使隔壁的侧冲蚀量抑制到很小。其结果是使气体放电型显示装置的生产率提高。

在上述实施例1-4中虽然是通过改变各喷枪一个喷射条件使各喷枪的切削速率不同，但是也可通过改变各喷枪的若干个喷射条件使各喷枪的切削速率不同。这时，可以对喷枪16a、16b、16c和16d的切削速率按变小的顺序进行调整。

另外，在本实施方式中，虽然是以采用装有四个喷枪16a、16b、16c和16d的喷砂装置的情况为例进行说明，但是喷枪的数目不限于四个，可以使用例如2-10个。喷枪的数目可以根据气体放电型显示装置的大小、使用目的、放电室的形状等适当地变更。

另外，在上述第一至第三实施方式中，虽然是以直流式气体放电型显示装置为例进行说明，但是本发明不限于直流式气体放电型显示装置，即使用于交流式气体放电显示装置也可以获得同样的效果。

如上所述，按照本发明的气体放电型显示装置，利用第一隔壁层既可提高对第二基板的隔壁的密合性又可以提高对抗蚀剥离剂的隔壁的耐久性。另外，利用第二隔壁层还可以改善对喷砂加工法的切削性。通过第三隔壁层可以使对成为喷砂对的掩模的抗蚀剂的隔壁的密合性得到提高。

按照本发明的气体放电型显示装置的制造方法，可以容易地形成非常超细度和具有正确的形状尺寸的隔壁，并且不会使制造装置的生产率降低，而且不会产生侧冲蚀。

Claims (13)

1.一种气体放电型显示装置的制造方法，该气体放电显示装置包括：第一基板、在上述第一基板上形成的第一电极、与上述第一基板相对配置的第二基板、在上述第二基板上形成的第二电极、为构成放电室而在第一基板与第二基板之间形成的隔壁和封在上述放电室内的放电气体；其特征在于，包括以下步骤：在上述第二基板上形成上述第二电极的步骤，在形成上述第二电极的上述第二基板上形成绝缘层的步骤，在上述绝缘层的上面形成耐喷砂性的掩模图形的步骤，利用装有若干个喷枪的喷砂装置、通过有形成一边控制上述若干个喷枪的切削速率，一边除去没有形成上述掩模图形的部分的上述绝缘层而形成隔壁的步骤。

2.如权利要求1所述的气体放电型显示装置的制造方法，其特征在于，还包括在形成绝缘层之前，在第二基板上形成绝缘膜的步骤，以便在上述绝缘膜上形成上述绝缘层。

3.如权利要求1所述的气体放电型显示装置的制造方法，其特征在于，第二电极由阳极母线、通过电阻与上述阳极母线相连的阳极电极、在上述阳极电极上形成的显示电极体所组成；还包括在除去上述显示电极体部分之外的第二基板上形成绝缘膜的步骤，以便在上述绝缘膜上形成绝缘层。

4.如权利要求1所述的气体放电型显示装置的制造方法，其特征在于，从第二基板侧开始按第一绝缘层、第二绝缘层和第三绝缘层的顺序重叠以形成绝缘层。

5.如权利要求4所述的气体放电型显示装置的制造方法，其特征在于，把由以1.0-3.0重量百分比的树脂粘合剂和玻璃料为主要成分的材料组成的第一绝缘层、以0.5-1.5重量百分比的树脂粘合剂和玻璃料为主要成分的第二绝缘层和以2.0-5.0重量百分比的树脂粘合剂和玻璃料为主要成分的第三绝缘层重叠，以在所定温度下烧结。

6.如权利要求4所述的气体放电型显示装置的制造方法，其特征在于，第一绝缘层形成5-15μm的厚度，第二绝级层形成100-250μm的厚度，第三绝缘层形成5-30μm的厚度。

7.如权利要求4所述的气体放电型显示装置的制造方法，其特征在于，重叠若干个绝缘层以形成第二绝缘层。

8.如权利要求4所述的气体放电型显示装置的制造方法，其特征在于，第三绝缘层由黑色材料组成。

9.如权利要求1所述的气体放电型显示装置的制造方法，其特征在于，若干个喷枪的喷射压力彼此不同。

10.如权利要求1所述的气体放电型显示装置的制造方法，其特征在于，若干个喷枪的喷嘴孔径彼此不同。

11.如权利要求1所述的气体放电型显示装置的制造方法，其特征在于，若干个喷枪的喷嘴前端与基板上的表面物质间的距离彼此不同。

12.如权利要求1所述的气体放电型显示装置的制造方法，其特征在于，从若干个喷枪喷射出的研磨砂的平均粒径彼此不同。

13.如权利要求1所述的气体放电型显示装置的制造方法，其特征在于，第二基板相对喷砂装置沿一个方向移动，上述喷砂装置的若干个喷枪沿上述第二基板的移动方向配置，并且上述若干个喷枪的切削速率按照沿上述第二基板的移动方向顺序变小地被调整。

Images