JPH08293245A - 気体放電型表示装置とその製造方法 - Google Patents
気体放電型表示装置とその製造方法Info
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- JPH08293245A JPH08293245A JP7094853A JP9485395A JPH08293245A JP H08293245 A JPH08293245 A JP H08293245A JP 7094853 A JP7094853 A JP 7094853A JP 9485395 A JP9485395 A JP 9485395A JP H08293245 A JPH08293245 A JP H08293245A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 超微細な開口部を備えた放電セルを構成でき
る隔壁を高い寸法精度で得る。 【構成】 背面板３上に設けられた陽極母線４ａ、アノ
ード電極４ｂ、抵抗体８および層間絶縁膜１０上に印刷
法により第１の隔壁層５ａを形成し、さらにその上に第
２の隔壁層５ｂを形成し、さらにその上に第３の隔壁層
５ｃを形成して隔壁５を構成し、表示電極体を除く全面
に蛍光体９を形成して陰極線２の群が配置された前面板
１と隔壁５を介して対向させる。
る隔壁を高い寸法精度で得る。 【構成】 背面板３上に設けられた陽極母線４ａ、アノ
ード電極４ｂ、抵抗体８および層間絶縁膜１０上に印刷
法により第１の隔壁層５ａを形成し、さらにその上に第
２の隔壁層５ｂを形成し、さらにその上に第３の隔壁層
５ｃを形成して隔壁５を構成し、表示電極体を除く全面
に蛍光体９を形成して陰極線２の群が配置された前面板
１と隔壁５を介して対向させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はガス放電を利用して文字
や画像を表示する気体放電型表示装置、特に放電セル構
成のための隔壁の構造およびその製造方法に関する。
や画像を表示する気体放電型表示装置、特に放電セル構
成のための隔壁の構造およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、気体放電型表示装置（プラズマデ
ィスプレイパネル、以下ＰＤＰという）は平面型の表示
装置として携帯型コンピュータなどの情報端末機に利用
され、その鮮明な表示と液晶パネルに比べて視野角の広
さによってその応用分野が拡大してきている。
ィスプレイパネル、以下ＰＤＰという）は平面型の表示
装置として携帯型コンピュータなどの情報端末機に利用
され、その鮮明な表示と液晶パネルに比べて視野角の広
さによってその応用分野が拡大してきている。
【０００３】さらにテレビ受像機の大型化が進み、その
対応として投射ブラウン管または液晶パネルによる投射
型テレビ等も商品化されてきているが、いずれも画面の
輝度や装置の大きさに課題が残っている。
対応として投射ブラウン管または液晶パネルによる投射
型テレビ等も商品化されてきているが、いずれも画面の
輝度や装置の大きさに課題が残っている。
【０００４】一方ＰＤＰは最近そのカラー化技術が著し
く進歩し、ブラウン管に代わって奥行きを大幅に薄型化
できる表示装置として脚光を浴びつつあり、ハイビジョ
ン用の壁掛けテレビの最右翼として注目され、忠実な色
再現と輝度および寿命の向上が期待されている。
く進歩し、ブラウン管に代わって奥行きを大幅に薄型化
できる表示装置として脚光を浴びつつあり、ハイビジョ
ン用の壁掛けテレビの最右翼として注目され、忠実な色
再現と輝度および寿命の向上が期待されている。
【０００５】次に従来のメモリ駆動方式の直流形ＰＤＰ
の一例について図５を参照しながら説明する。図５に示
すように従来の直流形ＰＤＰは、透明ガラス等よりなる
前面板１に形成された陰極線２の群と、背面板３に形成
された陽極母線４ａの群とが互いに直交する配置で隔壁
５を挟んで対向し、その交点には多数の放電セル６がマ
トリックス状に形成されている。組み合わされた前面板
１と背面板３とはその周囲を低融点ガラスなどで封止さ
れ、内部には希ガスを主体とした放電ガスが封入されて
いる。
の一例について図５を参照しながら説明する。図５に示
すように従来の直流形ＰＤＰは、透明ガラス等よりなる
前面板１に形成された陰極線２の群と、背面板３に形成
された陽極母線４ａの群とが互いに直交する配置で隔壁
５を挟んで対向し、その交点には多数の放電セル６がマ
トリックス状に形成されている。組み合わされた前面板
１と背面板３とはその周囲を低融点ガラスなどで封止さ
れ、内部には希ガスを主体とした放電ガスが封入されて
いる。
【０００６】それぞれの放電セル６の背面板側のアノー
ド電極４ｂの上には表示電極体７が設置され、抵抗体８
によって陽極母線４ａに接続されており、表示電極体７
と陰極線２とによって一対の放電電極を構成している。
したがって陰極線２が放電セル６における放電電極の陰
極、表示電極体７が陽極となる。背面板３上には表示電
極体７の部分を除いて蛍光体９が塗布されている。
ド電極４ｂの上には表示電極体７が設置され、抵抗体８
によって陽極母線４ａに接続されており、表示電極体７
と陰極線２とによって一対の放電電極を構成している。
したがって陰極線２が放電セル６における放電電極の陰
極、表示電極体７が陽極となる。背面板３上には表示電
極体７の部分を除いて蛍光体９が塗布されている。
【０００７】前面板１において陰極線２以外の部分は透
明であり、放電セル６を通して蛍光体９の表面を直接観
察できる状態にある。また陽極母線４ａ、アノード電極
４ｂおよび抵抗体８が形成されている背面板３と蛍光体
９との間には層間絶縁膜１０が設けられており、放電セ
ル６内にあるプラズマと陽極母線４ａや抵抗体８との間
の放電を防止している。
明であり、放電セル６を通して蛍光体９の表面を直接観
察できる状態にある。また陽極母線４ａ、アノード電極
４ｂおよび抵抗体８が形成されている背面板３と蛍光体
９との間には層間絶縁膜１０が設けられており、放電セ
ル６内にあるプラズマと陽極母線４ａや抵抗体８との間
の放電を防止している。
【０００８】陰極線２、陽極母線４ａ、アノード電極４
ｂ、表示電極体７、抵抗体８、層間絶縁膜１０、蛍光体
９および隔壁５などは厚膜印刷技術を用いてガラス板等
よりなる前面板１または背面板３上に形成されており、
極めて安価に製造することができる。
ｂ、表示電極体７、抵抗体８、層間絶縁膜１０、蛍光体
９および隔壁５などは厚膜印刷技術を用いてガラス板等
よりなる前面板１または背面板３上に形成されており、
極めて安価に製造することができる。
【０００９】上記構成において、前記したハイビジョン
テレビ画像のように画素密度を高め、高精細化した映像
を再生するためには各画素を構成する放電セル形成のた
めの隔壁を超微細に形成する必要があり、高さ１６０〜
２００μｍ、幅５０〜６０μｍの形状寸法を有する微細
な隔壁を形成しなければならない。特にカラー画像を表
示するためには１ドットをＲ，Ｇ，Ｂの３個の放電セル
で構成しなければならないので高精細度の表示画像を得
ようとすれば極めて微細かつ高精度に形成された形状寸
法を有する隔壁が必要となる。
テレビ画像のように画素密度を高め、高精細化した映像
を再生するためには各画素を構成する放電セル形成のた
めの隔壁を超微細に形成する必要があり、高さ１６０〜
２００μｍ、幅５０〜６０μｍの形状寸法を有する微細
な隔壁を形成しなければならない。特にカラー画像を表
示するためには１ドットをＲ，Ｇ，Ｂの３個の放電セル
で構成しなければならないので高精細度の表示画像を得
ようとすれば極めて微細かつ高精度に形成された形状寸
法を有する隔壁が必要となる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来のＰ
ＤＰは上記したように、厚膜印刷技術を用いて一旦隔壁
となる材料を基板上の全面に塗布したのち、サンドブラ
ストにより不要部分を除去し、隔壁を形成していた。こ
の場合厚膜印刷による隔壁材料の塗布は一般的に１つの
材料を用いており、したがってサンドブラストを行うと
きに下記のような課題を包含していた。すなわち隔壁材
料が備えていなければならない特性としてガラス基板に
対する密着性、サンドブラスト工法に対する切削性およ
びサンドブラストを行うときのマスクのためのレジスト
に対する密着性とこのレジストをエッチング後剥離除去
するときの剥離剤に対する耐久性等があるが、従来の１
種類よりなる隔壁材料ではこれらの異質な特性を同時に
満足することは極めて困難であった。
ＤＰは上記したように、厚膜印刷技術を用いて一旦隔壁
となる材料を基板上の全面に塗布したのち、サンドブラ
ストにより不要部分を除去し、隔壁を形成していた。こ
の場合厚膜印刷による隔壁材料の塗布は一般的に１つの
材料を用いており、したがってサンドブラストを行うと
きに下記のような課題を包含していた。すなわち隔壁材
料が備えていなければならない特性としてガラス基板に
対する密着性、サンドブラスト工法に対する切削性およ
びサンドブラストを行うときのマスクのためのレジスト
に対する密着性とこのレジストをエッチング後剥離除去
するときの剥離剤に対する耐久性等があるが、従来の１
種類よりなる隔壁材料ではこれらの異質な特性を同時に
満足することは極めて困難であった。
【００１１】また上記従来の構成を有する隔壁またはそ
の製造方法ではその隔壁の形状寸法において隔壁の幅が
（１００±１０）μｍ、高さが（２００±５）μｍ、放
電セルのピッチが（６５０±１０）μｍ程度が限界であ
り、したがって高精細な画像を再生できる画素を構成す
るための微細、かつ高密度の隔壁および放電セルを形成
することは困難であった。
の製造方法ではその隔壁の形状寸法において隔壁の幅が
（１００±１０）μｍ、高さが（２００±５）μｍ、放
電セルのピッチが（６５０±１０）μｍ程度が限界であ
り、したがって高精細な画像を再生できる画素を構成す
るための微細、かつ高密度の隔壁および放電セルを形成
することは困難であった。
【００１２】本発明は上記従来の課題を解決するもので
あり、高精細度のカラー画像を表示することができる放
電セルの形成に必要な隔壁構造を備えた気体放電型表示
装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
あり、高精細度のカラー画像を表示することができる放
電セルの形成に必要な隔壁構造を備えた気体放電型表示
装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、陰極線の群を備えた前面板と、陽極母線の
群およびその陽極母線にそれぞれ抵抗体を介して接続さ
れたアノード電極と表示電極体と蛍光体とを備えた背面
板とを隔壁によって対向保持し、その内部に希ガスを封
入してなる気体放電型表示装置において、その隔壁が第
１の隔壁層、第２の隔壁層および第３の隔壁層の３層積
層体を処理して得られる隔壁よりなるものであり、その
第１の隔壁層が１.０〜３.０重量％、第２の隔壁層が
０.５〜１.５重量％および第３の隔壁層が２.０〜５.０
重量％のそれぞれセルロース系高分子バインダーと、ガ
ラスフリットとを主成分とする材料からなるものであ
る。また第２の隔壁層が複数の膜より形成され、さらに
第３の隔壁層が黒色材料よりなるものである。
するために、陰極線の群を備えた前面板と、陽極母線の
群およびその陽極母線にそれぞれ抵抗体を介して接続さ
れたアノード電極と表示電極体と蛍光体とを備えた背面
板とを隔壁によって対向保持し、その内部に希ガスを封
入してなる気体放電型表示装置において、その隔壁が第
１の隔壁層、第２の隔壁層および第３の隔壁層の３層積
層体を処理して得られる隔壁よりなるものであり、その
第１の隔壁層が１.０〜３.０重量％、第２の隔壁層が
０.５〜１.５重量％および第３の隔壁層が２.０〜５.０
重量％のそれぞれセルロース系高分子バインダーと、ガ
ラスフリットとを主成分とする材料からなるものであ
る。また第２の隔壁層が複数の膜より形成され、さらに
第３の隔壁層が黒色材料よりなるものである。
【００１４】さらに本発明は背面板上に陽極母線の群お
よびその陽極母線にそれぞれ抵抗体を介して接続された
アノード電極を形成する工程と、そのアノード電極上の
表示電極体のための開口部を除いた背面板の全面に層間
絶縁膜を形成する工程と、その層間絶縁膜上に１.０〜
３.０重量％のセルロース系高分子バインダーとガラス
フリットとを主成分とする材料からなる第１の隔壁層を
形成する工程と、つぎに０.５〜１.５重量％のセルロー
ス系高分子バインダーとガラスフリットとを主成分とす
る材料からなる第２の隔壁層を形成する工程と、さらに
２.０〜５.０重量％のセルロース系高分子バインダーと
ガラスフリットとを主成分とする材料からなる第３の隔
壁層を形成して３層積層体を構成する工程と、つぎにマ
スクパターンを介してサンドブラストによりその３層積
層体の不要部分を除去して３層構造よりなる隔壁を層間
絶縁膜上に形成する工程と、表示電極体を除く層間絶縁
膜および隔壁側面に蛍光体を塗布する工程と、この背面
板と陰極線の群を備えた透明基板よりなる前面板とを隔
壁を介して対向接合する工程と、放電セル内に希ガスを
封入する工程とを有する製造方法によって得られるもの
である。
よびその陽極母線にそれぞれ抵抗体を介して接続された
アノード電極を形成する工程と、そのアノード電極上の
表示電極体のための開口部を除いた背面板の全面に層間
絶縁膜を形成する工程と、その層間絶縁膜上に１.０〜
３.０重量％のセルロース系高分子バインダーとガラス
フリットとを主成分とする材料からなる第１の隔壁層を
形成する工程と、つぎに０.５〜１.５重量％のセルロー
ス系高分子バインダーとガラスフリットとを主成分とす
る材料からなる第２の隔壁層を形成する工程と、さらに
２.０〜５.０重量％のセルロース系高分子バインダーと
ガラスフリットとを主成分とする材料からなる第３の隔
壁層を形成して３層積層体を構成する工程と、つぎにマ
スクパターンを介してサンドブラストによりその３層積
層体の不要部分を除去して３層構造よりなる隔壁を層間
絶縁膜上に形成する工程と、表示電極体を除く層間絶縁
膜および隔壁側面に蛍光体を塗布する工程と、この背面
板と陰極線の群を備えた透明基板よりなる前面板とを隔
壁を介して対向接合する工程と、放電セル内に希ガスを
封入する工程とを有する製造方法によって得られるもの
である。
【００１５】
【作用】したがって本発明によれば、隔壁を第１の隔壁
層、第２の隔壁層および第３の隔壁層の３層積層体を処
理して形成しているために第１の隔壁層は基板に対する
密着性とレジスト剥離剤に対する耐久性に優れており、
第２の隔壁層はサンドブラスト工法において切削性が良
好であり、さらに第３の隔壁層はサンドブラスト時のマ
スクとなるレジストに対する密着性が優れており、かつ
黒色材料を用いているためにレジスト露光時のハレーシ
ョンを防止することができ、したがって高精細度の画像
を表示するための放電セル形成に必要な超微細でかつ高
精度の隔壁を形成することができる。また黒色材料より
なる第３の隔壁層はテレビ画面上におけるブラックマト
リックスとしての作用を有するために表示画像のコント
ラスト向上にも効果を発揮することができる。
層、第２の隔壁層および第３の隔壁層の３層積層体を処
理して形成しているために第１の隔壁層は基板に対する
密着性とレジスト剥離剤に対する耐久性に優れており、
第２の隔壁層はサンドブラスト工法において切削性が良
好であり、さらに第３の隔壁層はサンドブラスト時のマ
スクとなるレジストに対する密着性が優れており、かつ
黒色材料を用いているためにレジスト露光時のハレーシ
ョンを防止することができ、したがって高精細度の画像
を表示するための放電セル形成に必要な超微細でかつ高
精度の隔壁を形成することができる。また黒色材料より
なる第３の隔壁層はテレビ画面上におけるブラックマト
リックスとしての作用を有するために表示画像のコント
ラスト向上にも効果を発揮することができる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図１〜図４
を用い、従来と同一部分には同一番号を付して説明す
る。
を用い、従来と同一部分には同一番号を付して説明す
る。
【００１７】図１は本発明の第１の実施例における気体
放電型表示装置の部分断面図であり、図において５ａ，
５ｂおよび５ｃは本発明の特徴とする３層積層構造より
なる隔壁５であり、本実施例における気体放電型表示装
置の構成はこの隔壁５の構成を除いては図５に示す従来
の構造と同じであるため詳しい説明を省略する。なお説
明を容易とするために図１には隔壁５の構成を第１の隔
壁層５ａ、第２の隔壁層５ｂおよび第３の隔壁層５ｃを
それぞれ明示したが隔壁形成の最終工程では高温焼成に
よって有機材料を除去しているので完成した表示装置で
は隔壁の構成は一体となっている。
放電型表示装置の部分断面図であり、図において５ａ，
５ｂおよび５ｃは本発明の特徴とする３層積層構造より
なる隔壁５であり、本実施例における気体放電型表示装
置の構成はこの隔壁５の構成を除いては図５に示す従来
の構造と同じであるため詳しい説明を省略する。なお説
明を容易とするために図１には隔壁５の構成を第１の隔
壁層５ａ、第２の隔壁層５ｂおよび第３の隔壁層５ｃを
それぞれ明示したが隔壁形成の最終工程では高温焼成に
よって有機材料を除去しているので完成した表示装置で
は隔壁の構成は一体となっている。
【００１８】このように本発明の気体放電型表示装置の
隔壁５は第１の隔壁層５ａの上面に第２の隔壁層５ｂを
設け、さらに第２の隔壁層５ｂの上面に第３の隔壁層５
ｃを設けた３層積層体より形成されている。
隔壁５は第１の隔壁層５ａの上面に第２の隔壁層５ｂを
設け、さらに第２の隔壁層５ｂの上面に第３の隔壁層５
ｃを設けた３層積層体より形成されている。
【００１９】つぎに第１の実施例の気体放電型表示装置
の製造方法について図２（ａ）〜（ｅ）を用いて説明す
る。
の製造方法について図２（ａ）〜（ｅ）を用いて説明す
る。
【００２０】まずガラス基板等よりなる背面板３上にス
クリーン印刷法、およびフォトリソ法によって複数のス
トライプ状の陽極母線４ａ、アノード電極４ｂおよび補
助陽極１１の群を形成した（ａ）後、ＲｕＯ2ペースト
を陽極母線４ａとアノード電極４ｂとの間に塗布、焼成
して抵抗体８を形成する（ｂ）。つぎに陽極母線４ａの
上面の表示電極体のための開口部を除いて背面板３の全
面にガラスペーストを塗布、印刷して焼成し、層間絶縁
膜１０を形成して、つぎにアノード電極４ｂの上面に表
示電極体７を設ける（ｃ）。
クリーン印刷法、およびフォトリソ法によって複数のス
トライプ状の陽極母線４ａ、アノード電極４ｂおよび補
助陽極１１の群を形成した（ａ）後、ＲｕＯ2ペースト
を陽極母線４ａとアノード電極４ｂとの間に塗布、焼成
して抵抗体８を形成する（ｂ）。つぎに陽極母線４ａの
上面の表示電極体のための開口部を除いて背面板３の全
面にガラスペーストを塗布、印刷して焼成し、層間絶縁
膜１０を形成して、つぎにアノード電極４ｂの上面に表
示電極体７を設ける（ｃ）。
【００２１】つぎにその層間絶縁膜１０の上に１.０〜
３.０重量％のセルロース系高分子バインダーとガラス
フリットとを主成分とする材料からなる第１の隔壁層５
ａを１０μｍの厚さに形成し、つぎに０.５〜１.５重量
％のセルロース系高分子バインダーとガラスフリットと
を主成分とする材料からなる第２の隔壁層５ｂを２００
〜２１０μｍの厚さに形成する。さらに２.０〜５.０重
量％のセルロース系高分子バインダーとガラスフリット
とを主成分とする材料からなる第３の隔壁層５ｃを１０
〜２０μｍの厚さに形成して３層積層体を構成し、マス
クパターンを介してサンドブラストにより３層積層体の
不要部分をエッチング除去したのち約５００〜５５０℃
の温度で焼成して３層構造５ａ，５ｂ，５ｃよりなる隔
壁５を層間絶縁膜１０上に形成した後、表示電極体７を
除く層間絶縁膜１０および隔壁５の側面に蛍光体９を塗
布して背面板が完成する（ｄ）。
３.０重量％のセルロース系高分子バインダーとガラス
フリットとを主成分とする材料からなる第１の隔壁層５
ａを１０μｍの厚さに形成し、つぎに０.５〜１.５重量
％のセルロース系高分子バインダーとガラスフリットと
を主成分とする材料からなる第２の隔壁層５ｂを２００
〜２１０μｍの厚さに形成する。さらに２.０〜５.０重
量％のセルロース系高分子バインダーとガラスフリット
とを主成分とする材料からなる第３の隔壁層５ｃを１０
〜２０μｍの厚さに形成して３層積層体を構成し、マス
クパターンを介してサンドブラストにより３層積層体の
不要部分をエッチング除去したのち約５００〜５５０℃
の温度で焼成して３層構造５ａ，５ｂ，５ｃよりなる隔
壁５を層間絶縁膜１０上に形成した後、表示電極体７を
除く層間絶縁膜１０および隔壁５の側面に蛍光体９を塗
布して背面板が完成する（ｄ）。
【００２２】一方、ガラス等の透明基板よりなる前面板
１上に陰極線２の群を、前面板１と背面板３が組み合わ
されたとき背面板上に設けられている陽極母線４ａと交
差するようにストライプ状に設けたのち背面板３と隔壁
５を介して陰極線２と陽極母線４ａが直交するように組
み合わせて接合封着し（ｄ）、真空排気後、放電セル６
内に希ガスを封入する（ｅ）。
１上に陰極線２の群を、前面板１と背面板３が組み合わ
されたとき背面板上に設けられている陽極母線４ａと交
差するようにストライプ状に設けたのち背面板３と隔壁
５を介して陰極線２と陽極母線４ａが直交するように組
み合わせて接合封着し（ｄ）、真空排気後、放電セル６
内に希ガスを封入する（ｅ）。
【００２３】上記実施例において、隔壁５を形成するた
めのガラスフリットペースト中のセルロース系高分子バ
インダの含有量は図３に示すようにガラス基板等のパネ
ルに対する密着性やサンドブラスト法による切削速度に
影響を与え、したがって隔壁５中の高分子バインダの含
有量またはその分布状態が精密かつ超微細な隔壁形成に
大きな影響を与えることになる。
めのガラスフリットペースト中のセルロース系高分子バ
インダの含有量は図３に示すようにガラス基板等のパネ
ルに対する密着性やサンドブラスト法による切削速度に
影響を与え、したがって隔壁５中の高分子バインダの含
有量またはその分布状態が精密かつ超微細な隔壁形成に
大きな影響を与えることになる。
【００２４】すなわち第１の隔壁層５ａのセルロース系
高分子バインダの含有量が１.０重量％未満になると背
面板３や層間絶縁膜１０との接着強度が低下し、３.０
重量％を越えるとサンドブラスト時の切削速度が遅くな
る。つぎに第２の隔壁層５ｂのセルロース系高分子バイ
ンダの含有量が０.５重量％未満になるとサンドブラス
トによる切削速度が速くなり過ぎて隔壁のサイドエッチ
量が増大し、また第１の隔壁層５ａと第３の隔壁層５ｃ
との密着性が悪くなる。１.５重量％を越えると切削速
度が下がり、製造装置のスループットが低下する。
高分子バインダの含有量が１.０重量％未満になると背
面板３や層間絶縁膜１０との接着強度が低下し、３.０
重量％を越えるとサンドブラスト時の切削速度が遅くな
る。つぎに第２の隔壁層５ｂのセルロース系高分子バイ
ンダの含有量が０.５重量％未満になるとサンドブラス
トによる切削速度が速くなり過ぎて隔壁のサイドエッチ
量が増大し、また第１の隔壁層５ａと第３の隔壁層５ｃ
との密着性が悪くなる。１.５重量％を越えると切削速
度が下がり、製造装置のスループットが低下する。
【００２５】第３の隔壁層５ｃのセルロース系高分子バ
インダの含有量が２.０重量％未満になるとサンドブラ
スト用のレジストに対する密着性が悪くなり、隔壁の微
細加工ができなくなり、５.０重量％を越えると切削速
度が下がり、製造装置のスループットが悪くなる。発明
者らの実験によると第１の隔壁層５ａおよび第３の隔壁
層５ｃはその厚さがいずれも薄く、かつ高分子系セルロ
ースの含有量が多い場合良好な結果を得ることができ
た。
インダの含有量が２.０重量％未満になるとサンドブラ
スト用のレジストに対する密着性が悪くなり、隔壁の微
細加工ができなくなり、５.０重量％を越えると切削速
度が下がり、製造装置のスループットが悪くなる。発明
者らの実験によると第１の隔壁層５ａおよび第３の隔壁
層５ｃはその厚さがいずれも薄く、かつ高分子系セルロ
ースの含有量が多い場合良好な結果を得ることができ
た。
【００２６】このように上記実施例によれば、サンドブ
ラストによる切削工程において第３の隔壁層５ｃはその
セルロース系高分子バインダの含有量を充分大きくして
いるためにレジストパターンとの密着力に優れ、切削速
度も比較的緩く開始されるためサンドブラスト初期の正
確な放電セル開口部の切削が可能となる。つぎに第２の
隔壁層５ｂはセルロース系高分子バインダの含有量を極
力少なく設定しているためにその切削速度は極めて速
く、装置のスループットを向上させることができる。ま
た、第１の隔壁層５ａについては、第２の隔壁層５ｂに
比べてセルロース系高分子バインダの含有量を若干増加
させてガラス基板等の背面板３や層間絶縁膜１０との密
着性を確保しているために、隔壁５の背面板３に対する
接着性を向上させるとともに、サンドブラスト工程終了
後の隔壁５上のレジスト除去工程において剥離剤が隔壁
５と背面板３との間に侵入して障害を与えるというおそ
れもなくなる。
ラストによる切削工程において第３の隔壁層５ｃはその
セルロース系高分子バインダの含有量を充分大きくして
いるためにレジストパターンとの密着力に優れ、切削速
度も比較的緩く開始されるためサンドブラスト初期の正
確な放電セル開口部の切削が可能となる。つぎに第２の
隔壁層５ｂはセルロース系高分子バインダの含有量を極
力少なく設定しているためにその切削速度は極めて速
く、装置のスループットを向上させることができる。ま
た、第１の隔壁層５ａについては、第２の隔壁層５ｂに
比べてセルロース系高分子バインダの含有量を若干増加
させてガラス基板等の背面板３や層間絶縁膜１０との密
着性を確保しているために、隔壁５の背面板３に対する
接着性を向上させるとともに、サンドブラスト工程終了
後の隔壁５上のレジスト除去工程において剥離剤が隔壁
５と背面板３との間に侵入して障害を与えるというおそ
れもなくなる。
【００２７】つぎに本発明の第２の実施例について説明
する。図４は第２の実施例における気体放電型表示装置
の構造、特に隔壁の部分を拡大して示したものである
が、隔壁の部分を除いてその構造及び製造方法は第１の
実施例と同様であるので、第１の実施例と異なる点につ
いて説明する。
する。図４は第２の実施例における気体放電型表示装置
の構造、特に隔壁の部分を拡大して示したものである
が、隔壁の部分を除いてその構造及び製造方法は第１の
実施例と同様であるので、第１の実施例と異なる点につ
いて説明する。
【００２８】図４に示すように、本実施例の隔壁５が第
１の隔壁層５ａ、第２の隔壁層５ｂおよび第３の隔壁層
５ｃより形成されることは第１の実施例と同様である
が、本実施例における第２の隔壁層５ｂはさらに複数の
隔壁膜５ｂ1，５ｂ2，５ｂ3，……，５ｂnを積層するこ
とにより形成されている。すなわち第１の隔壁層５ａの
上面に複数の隔壁膜５ｂ1，５ｂ2，５ｂ3，……，５ｂn
をそのセルロース系高分子バインダーの含有量をそれぞ
れ０.５〜１.５重量％の範囲内において変化させて調合
したガラスフリットペーストを塗布、積層する。このと
きの各隔壁膜の材料組成および５ｂnのｎ数は目的とす
る放電セルの大きさ、形状およびＰＤＰの用途等によっ
て設計上選択できる条件となる。
１の隔壁層５ａ、第２の隔壁層５ｂおよび第３の隔壁層
５ｃより形成されることは第１の実施例と同様である
が、本実施例における第２の隔壁層５ｂはさらに複数の
隔壁膜５ｂ1，５ｂ2，５ｂ3，……，５ｂnを積層するこ
とにより形成されている。すなわち第１の隔壁層５ａの
上面に複数の隔壁膜５ｂ1，５ｂ2，５ｂ3，……，５ｂn
をそのセルロース系高分子バインダーの含有量をそれぞ
れ０.５〜１.５重量％の範囲内において変化させて調合
したガラスフリットペーストを塗布、積層する。このと
きの各隔壁膜の材料組成および５ｂnのｎ数は目的とす
る放電セルの大きさ、形状およびＰＤＰの用途等によっ
て設計上選択できる条件となる。
【００２９】このように第２の隔壁層５ｂを複数の隔壁
膜５ｂ1，５ｂ2，５ｂ3，……，５ｂnより積層形成する
ことにより、より微細な形状寸法を有する隔壁５をサイ
ドエッチングを極力防止しながら精密に加工することが
可能となる。
膜５ｂ1，５ｂ2，５ｂ3，……，５ｂnより積層形成する
ことにより、より微細な形状寸法を有する隔壁５をサイ
ドエッチングを極力防止しながら精密に加工することが
可能となる。
【００３０】すなわちサンドブラスト法による隔壁の形
成はサンドブラストの初期、中間期、終期においてサン
ドブラスト装置の切削条件および切削される隔壁材料に
異なった特性を要求するものであるが、上記本発明の実
施例においてはそれぞれ異なった材料特性を有する３層
の隔壁層を積層して設けているために、製造装置のスル
ープットを低下させることなく理想的なサンドブラスト
を実施することが可能となる。
成はサンドブラストの初期、中間期、終期においてサン
ドブラスト装置の切削条件および切削される隔壁材料に
異なった特性を要求するものであるが、上記本発明の実
施例においてはそれぞれ異なった材料特性を有する３層
の隔壁層を積層して設けているために、製造装置のスル
ープットを低下させることなく理想的なサンドブラスト
を実施することが可能となる。
【００３１】なお、第１の隔壁層５ａおよび第２の隔壁
層５ｂには輝度向上のため白色材料が使用され、第３の
隔壁層５ｃには黒色に着色されたペーストが用いられ
る。この黒色ペーストによりサンドブラスト用レジスト
の形成に際して露光時、紫外線の透過、散乱によるハレ
ーションを防止して正確なレジストパターンを形成する
ことができ、さらに完成した気体放電型表示装置として
映像を再生するときにブラックマトリックスとして作用
し、コントラスト向上に効果を発揮することができる。
層５ｂには輝度向上のため白色材料が使用され、第３の
隔壁層５ｃには黒色に着色されたペーストが用いられ
る。この黒色ペーストによりサンドブラスト用レジスト
の形成に際して露光時、紫外線の透過、散乱によるハレ
ーションを防止して正確なレジストパターンを形成する
ことができ、さらに完成した気体放電型表示装置として
映像を再生するときにブラックマトリックスとして作用
し、コントラスト向上に効果を発揮することができる。
【００３２】また、今回の実施例ではセルロース系高分
子材料のバインダーを用いたが、同じ効果が得られる重
合体物質を使用してもさしつかえない。
子材料のバインダーを用いたが、同じ効果が得られる重
合体物質を使用してもさしつかえない。
【００３３】例えば、ケイ素系重合体、ポリスチレン、
ブタジエン／スチレン共重合体、ポリアミド、高分子量
ポリエーテル、エチレンオキサイドとプロピレンオキサ
イドとの共重合体、および種々のアクリル系重合体など
である。また、今回の実施例では隔壁の形成を印刷法に
より形成したが、グリーンテープと呼ばれる絶縁体組成
テープ材料を用いたときも、本発明の手法を用いること
が可能である。
ブタジエン／スチレン共重合体、ポリアミド、高分子量
ポリエーテル、エチレンオキサイドとプロピレンオキサ
イドとの共重合体、および種々のアクリル系重合体など
である。また、今回の実施例では隔壁の形成を印刷法に
より形成したが、グリーンテープと呼ばれる絶縁体組成
テープ材料を用いたときも、本発明の手法を用いること
が可能である。
【００３４】
【発明の効果】本発明は、陰極線の群を備えた前面板
と、陽極母線の群およびその陽極母線にそれぞれ抵抗体
を介して接続されたアノード電極と表示電極体と蛍光体
とを備えた背面板とを隔壁によって対向保持し、その内
部に希ガスを封入してなる気体放電型表示装置におい
て、その隔壁を第１の隔壁層、第２の隔壁層および第３
の隔壁層を３層積層して形成し、それぞれの隔壁層中の
セルロース系高分子バインダの含有量を変化させている
ために製造装置のスループットを低下させることなく極
めて超微細な放電セルの構成を容易に行うことができ、
高精細度テレビ画像の再生に適した気体放電型表示装置
を提供することができる。
と、陽極母線の群およびその陽極母線にそれぞれ抵抗体
を介して接続されたアノード電極と表示電極体と蛍光体
とを備えた背面板とを隔壁によって対向保持し、その内
部に希ガスを封入してなる気体放電型表示装置におい
て、その隔壁を第１の隔壁層、第２の隔壁層および第３
の隔壁層を３層積層して形成し、それぞれの隔壁層中の
セルロース系高分子バインダの含有量を変化させている
ために製造装置のスループットを低下させることなく極
めて超微細な放電セルの構成を容易に行うことができ、
高精細度テレビ画像の再生に適した気体放電型表示装置
を提供することができる。
【図１】本発明の第１の実施例における気体放電型表示
装置の部分断面図
装置の部分断面図
【図２】（ａ）〜（ｅ）は同気体放電型表示装置の製造
方法を示す工程図
方法を示す工程図
【図３】隔壁材料に含まれるセルロース系高分子バイン
ダの量とサンドブラスト切削速度または接着性との関係
を示す特性図
ダの量とサンドブラスト切削速度または接着性との関係
を示す特性図
【図４】本発明の第２の実施例における気体放電型表示
装置の部分拡大断面図
装置の部分拡大断面図
【図５】従来の気体放電型表示装置の部分断面図
１ 前面板 ２ 陰極線 ３ 背面板 ４ａ 陽極母線 ４ｂ アノード電極 ５ 隔壁 ５ａ 第１の隔壁層 ５ｂ 第２の隔壁層 ５ｃ 第３の隔壁層 ７ 表示電極体 ８ 抵抗体 ９ 蛍光体 １０ 層間絶縁膜
Claims (6)
- 【請求項１】 陰極線の群を備えた前面板と、陽極母線
の群およびその陽極母線にそれぞれ抵抗体を介して接続
されたアノード電極と表示電極体と蛍光体とを備えた背
面板とを隔壁によって対向保持し、その内部に希ガスを
封入してなる気体放電型表示装置であって、前記隔壁が
第１の隔壁層、第２の隔壁層および第３の隔壁層の３層
積層体を処理して得られるものである気体放電型表示装
置。 - 【請求項２】 第１の隔壁層が１.０〜３.０重量％、第
２の隔壁層が０.５〜１.５重量％および第３の隔壁層が
２.０〜５.０重量％のそれぞれセルロース系高分子バイ
ンダーと、ガラスフリットとを主成分とする材料からな
る請求項１記載の気体放電型表示装置。 - 【請求項３】 第２の隔壁層が複数の隔壁膜より形成さ
れている請求項１または２記載の気体放電型表示装置。 - 【請求項４】 第３の隔壁層が黒色材料よりなる請求項
１または２記載の気体放電型表示装置。 - 【請求項５】 背面板上に陽極母線の群およびその陽極
母線にそれぞれ抵抗体を介して接続されたアノード電極
を形成する工程と、そのアノード電極上の表示電極体の
ための開口部を除いた前記背面板の全面に層間絶縁膜を
形成する工程と、その層間絶縁膜上に１.０〜３.０重量
％のセルロース系高分子バインダーとガラスフリットと
を主成分とする材料からなる第１の隔壁層を形成する工
程と、つぎに０.５〜１.５重量％のセルロース系高分子
バインダーとガラスフリットとを主成分とする材料から
なる第２の隔壁層を形成する工程と、さらに２.０〜５.
０重量％のセルロース系高分子バインダーとガラスフリ
ットとを主成分とする材料からなる第３の隔壁層を形成
して３層積層体を構成する工程と、つぎにマスクパター
ンを介してサンドブラストにより前記３層積層体の不要
部分を除去して３層構造よりなる隔壁を層間絶縁膜上に
形成する工程と、前記表示電極体を除く層間絶縁層およ
び隔壁側面に蛍光体を塗布する工程と、この背面板と陰
極線の群を備えた透明基板よりなる前面板とを前記隔壁
を介して対向接合する工程と、放電セル内に希ガスを封
入する工程とを有する気体放電型表示装置の製造方法。 - 【請求項６】 層間絶縁膜上に第１の隔壁層を５〜１５
μｍの厚さで、第２の隔壁層を１００〜２５０μｍの厚
さで、および第３の隔壁層を５〜３０μｍの厚さでそれ
ぞれ形成する請求項５記載の気体放電型表示装置の製造
方法。
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7094853A JPH08293245A (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | 気体放電型表示装置とその製造方法 |
| TW085104600A TW320732B (ja) | 1995-04-20 | 1996-04-16 | |
| EP96106081A EP0739026B1 (en) | 1995-04-20 | 1996-04-18 | Method of fabrication of a gas discharge display panel |
| DE69632762T DE69632762T2 (de) | 1995-04-20 | 1996-04-18 | Herstellungsverfahren für eine Gasentladungsanzeigetafel |
| US08/634,375 US5876542A (en) | 1995-04-20 | 1996-04-18 | Gas discharge display panel and its fabrication method |
| KR1019960011849A KR100287498B1 (ko) | 1995-04-20 | 1996-04-19 | 기체방전형 표시장치와 그 제조방법 |
| CA002174613A CA2174613C (en) | 1995-04-20 | 1996-04-19 | Gas discharge display panel and its fabrication method |
| CNB001306650A CN1196162C (zh) | 1995-04-20 | 1996-04-20 | 气体放电型显示装置的制造方法 |
| CN96110362A CN1073273C (zh) | 1995-04-20 | 1996-04-20 | 气体放电型显示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7094853A JPH08293245A (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | 気体放電型表示装置とその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08293245A true JPH08293245A (ja) | 1996-11-05 |
Family
ID=14121598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7094853A Pending JPH08293245A (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | 気体放電型表示装置とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08293245A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100459909B1 (ko) * | 1998-01-13 | 2005-04-20 | 삼성에스디아이 주식회사 | 전계방출소자및그제조방법 |
| US7431628B2 (en) * | 2005-11-18 | 2008-10-07 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Method of manufacturing flat panel display device, flat panel display device, and panel of flat panel display device |
-
1995
- 1995-04-20 JP JP7094853A patent/JPH08293245A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100459909B1 (ko) * | 1998-01-13 | 2005-04-20 | 삼성에스디아이 주식회사 | 전계방출소자및그제조방법 |
| US7431628B2 (en) * | 2005-11-18 | 2008-10-07 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Method of manufacturing flat panel display device, flat panel display device, and panel of flat panel display device |
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