JP2001229839A - 電極付きプレートとその製造方法、並びにこれらを用いたガス放電パネルとその製造方法 - Google Patents
電極付きプレートとその製造方法、並びにこれらを用いたガス放電パネルとその製造方法Info
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Abstract
剥離や位置ずれを防止することが可能な電極付きプレー
トと、その製造方法、並びにこれらを用いたガス放電パ
ネルとその製造方法を提供する。 【解決手段】 バスライン221,231を形成する
際、その給電方向下流側の端部221a,231aが、透
明電極220,230の端部を超えるようにフロントパ
ネルガラス21の表面に直接接着する。これにより端部
221a,231aを、それ以外の電極領域よりも強い接
着力でフロントパネルガラス21上に接着させ、透明電
極からバスラインが剥離したり、本来の配設位置よりず
れるといった問題の発生を抑制する。
Description
とその製造方法、並びにこれらを用いたガス放電パネル
とその製造方法に関する。
ウム・スズ酸化物(ITO)等の透明電極と、金属(A
gまたはCr/Cu/Cr)等のバスラインを積層して電
極を形成した電極付きプレートは、例えばガス放電パネ
ルの表示電極付きフロントパネルとして利用されてい
る。
代表されるガス放電パネルは、大画面化することが比較
的容易なフラットディスプレイパネル(FDP)の一種
であり、すでに50インチクラスのものが商品化されてい
る。このPDPは、2枚の薄いガラス板(フロントパネ
ルガラスとバックパネルガラス)を隔壁(リブ)を介し
て対向させ、隔壁の間に蛍光体層を形成し、両ガラス板
の間に放電ガスを封入して気密封着した構成を持つ。蛍
光体層に面するフロントパネルガラスの表面には複数対
の表示電極が形成されており、前記放電ガス中で放電し
て紫外線を発生するようになっている。
ス21と、この表面に配設された表示電極22、23を示す電
極付きプレートの一例(斜視図)である。このように表
示電極は、22と23で一対をなすように形成される。次に
示す図8(b)は、表示電極22、23を真上(z方向)か
らの上面図である。一対の表示電極22、23は、隔壁30と
直交する方向に延伸して配設され、帯状のITO膜であ
る透明電極220、230に導電性の高いAgからなるバスラ
イン(バス電極)221、231が重ねられた構成となってい
る。340は、隣接する2つの隔壁30で仕切られたセルであ
り、当該セル340の中にはR(赤)、G(緑)、B
(青)の蛍光体層(不図示)が形成されている。各セル
340において、表示電極22、23間で発生した紫外線は、
前記蛍光体層に衝突し、可視光に変換されて発光表示に
供される。一般的なPDPでは、このようなセル340が
複数対の表示電極22、23に対応して、マトリックス状に
配列されている。
えば導電性材料、有機材料、ガラス成分を含んでなるペ
ーストを、スクリーン印刷法(薄膜法または厚膜法)で
フロントパネルガラス21上(バスライン材料は透明電極
220、230上)に所定のパターンで塗布したのち、焼成工
程を経て形成される。
方法では、フロントパネルガラス21に表示電極22、23を
形成すると、当該表示電極22、23が位置ずれを起こした
り、表示電極22、23の一部(例えばバスライン221、23
1)が剥離する問題などを生じることがある。これは主
に、次の理由によるものと考えられる。
ライン221、231と、それが接着される表面(フロントパ
ネルガラス21表面や透明電極220、230表面)との接着力
は、これらがそれぞれ有する互いの界面における親和性
に影響される。この親和性が優れないと接着力が十分に
確保されず、バスライン材料を焼成する工程もしくはそ
の後の誘電体層を形成するまでの製造工程中の搬送にか
かる振動などが表示電極22、23に伝わったときに上記問
題を生じる場合がある。
料および有機材料、ガラスなどを含むペーストを焼成し
て形成されるが、焼成工程において有機材料が焼失する
ことから、その体積が若干収縮する。有機材料の焼失は
ペースト表面より徐々に起こるので、透明電極220、230
およびバスライン221、231には、接着表面より反り返る
応力(変形応力)が作用し、剥離しやすくなる。特に、
バスライン221、231の延伸方向端部(図7ではy方向)
が、透明電極220、230表面より剥離しやすい。このよう
な問題は、前記バスライン221、231がAgを含んでなる
場合に多くみられることが、本願発明者らによって明ら
かにされている。
ン印刷法以外でも、例えばバスライン221、231をスパッ
タ法で作製する場合においても見られる場合がある。ス
パッタ法では、スパッタリング成膜時における雰囲気の
圧力や、プレート温度(フロントパネルガラス温度)等
の要因により、例えば成膜されるバスライン材料の膜に
応力が発生する。この膜をのちにフォトリソ法等を用い
てエッチングし、バスラインとして形成するプロセス
で、前記応力によって、前記膜が透明電極220、230から
剥離したりずれたりする場合が生じる。
Dの分野における電極付きプレート(例えばLCDの表
示電極付きフロントパネルガラス)においても見られる
問題であり、早急に解決すべき課題である。本発明は、
上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、
比較的簡単な構成により、プレート表面側の電極の剥離
や位置ずれを防止することが可能な電極付きプレート
と、その製造方法、並びにこれらを用いたガス放電パネ
ルとその製造方法を提供することにある。
に、本発明は、プレート上に、厚膜法または薄膜法によ
り形成された一つ以上の電極が接着されてなる電極付き
プレートであって、前記電極の少なくとも給電方向下流
側の端部が、それ以外の電極領域よりも強い接着力で、
プレート上に接着されているものとした。
方向下流側の端部が、効果的にプレート表面に接着され
る。ゆえに、従来のように、この部分がプレート表面か
ら反り上がって剥離したり、プレート上の所定の位置か
ら位置ずれたりするのが防止される。また、前記電極の
少なくとも給電方向下流側の端部は、接着力を確保する
ために、ガラス部材などの接着部材を用いて接着しても
よい。さらに、前記電極の長手方向両端部の少なくとも
一方に対応するプレート表面に、サンドブラスト法、紫
外線照射法、プラズマ照射法などの表面処理を行って接
着力を高めるようにしてもよい。
ートにはガラスプレートが最も入手しやすくて望まし
い。また、この他にガラス板にケイ素酸化物やケイ素窒
化物を被膜したものを用いても良い。このような本発明
の電極付きプレートは、具体的には複数対の表示電極を
形成するガス放電パネルの表示電極付きフロントパネル
ガラスに適用することができる。
パネルガラスを備えるガス放電パネルとした。このよう
なガス放電パネルによれば、正確な位置に正しく配設さ
れた複数対の表示電極により、優れた表示性能を得るこ
とが可能である。また、本発明は、プレート上に、薄膜
法または厚膜法により、1つ以上の電極を接着して形成
する電極形成ステップを経る電極付きプレートの製造方
法として、前記電極形成ステップにおいて、前記電極の
少なくとも給電方向下流側の端部を、それ以外の電極の
領域よりも強い接着力でプレート上に接着するとするこ
ともできる。
ートの製造方法を、複数対の表示電極をフロントパネル
ガラスに形成するガス放電パネルの製造方法に利用する
こともできる。
マディスプレイパネル10(以下単に「PDP10」とい
う)の主要構成を示す部分的な断面斜視図である。図
中、z方向がPDP10の厚み方向、xy平面がPDP10
のパネル面に平行な平面に相当する。PDP10は一例と
して42インチクラスのVGA仕様に合わせたサイズ設定
になっているが、本発明は勿論この他のサイズに適用さ
せてもよい。
に主面を対向させて配設されたフロントパネル20および
バックパネル26に大別される。フロントパネル20の基板
となるフロントパネルガラス21には、その片面に厚さ0.
1μm、幅150μmの帯状の透明電極220(230)と、これ
に厚さ7μm、幅95μmのバスライン221(231)が重ね
られてなる表示電極22(23)(X電極23、Y電極22)
が、y方向を長手方向としてx方向に複数対並設されて
いる。各対の表示電極22、23は、それぞれフロントパネ
ルガラス21の幅方向(Y方向)端部付近でパネル駆動回
路(不図示)と電気的に接続されている。このとき、Y
電極22は一括してパネル駆動回路に接続され、X電極23
はそれぞれ独立してパネル駆動回路に接続される。これ
により、前記パネル駆動回路からY電極22と特定のX電
極23に給電すると、当該表示電極22、23の間隙(約80μ
m)で面放電(維持放電)が行われる。
作動し、アドレス電極28と書き込み放電(アドレス放
電)をなすようになっている。複数対の表示電極22、23
を配設したフロントパネルガラス21の表面には、前記複
数対の表示電極22、23を覆うように厚さ約30μmの誘電
体層24がコートされている。さらに、この誘電体層24の
上に厚さ約1.0μmの保護層25が積層されている。
ガラス27には、その片面に厚さ5μm、幅60μmの複数
のアドレス電極28が、x方向を長手方向としてy方向に
複数並設されている。隣合う2つのアドレス電極28の並
設ピッチは一定間隔(約150μm)である。複数のアド
レス電極28は、それぞれ独立して前記パネル駆動回路に
接続され、個別に給電されるようになっており、特定の
アドレス電極28と、特定のX電極23との間でアドレス放
電がなされるようになっている。
ネルガラス27の表面には、前記複数のアドレス電極28を
覆うように厚さ30μmの誘電体膜29がコートされてい
る。さらに誘電体膜29上には、隣接するアドレス電極28
のピッチに合わせて高さ約150μm、幅約40μmの隔壁3
0が、x方向を長手方向として配設されている。隣り合
う2つの隔壁30の側面とその間の誘電体膜29の面上に
は、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の何れかに対
応する蛍光体層31〜33が形成されている。これらのRG
B各蛍光体層31〜33はy方向に繰り返し配列するように
なっている。
ドレス電極28と表示電極22、23が直交するように互いに
対向させられ、両パネル20、26の外周縁部で接着され
る。これにより、当該両パネル20、26の間が封止されて
いる。この両パネル20、26間には、He、Xe、Neか
ら選ばれた元素の希ガス成分からなる放電ガス(封入ガ
ス)が所定の圧力(従来は通常500〜760Torr程度)
で封入されている。隣接する2つの隔壁30の間に対応す
る空間が、放電空間38となる。また、一対の表示電極2
2、23と1本のアドレス電極28が放電空間38を挟んで交叉
する領域が、画像表示にかかるセル(図8のセル340を参
照)に対応する。なお、一例として、x方向のセルピッ
チは約1080μm、y方向のセルピッチは約360μmに設
定されている。
まず前記パネル駆動回路によって、特定のアドレス電極
28と、特定のX電極23にパルス電圧を印加し、アドレス
放電させる。そして当該アドレス放電後に、一対の表示
電極22、23間にパルスを印加し、維持放電させることに
よって、短波長の紫外線(波長約147nmを中心波長と
する共鳴線)を発生させる。この紫外線を受けて蛍光体
層31〜33が発光されると、画像表示がなされる。
22、23を形成する途中の焼成工程、もしくはその後、誘
電体層24を形成し終わるまでの搬送時に、バスライン22
1、231と透明電極220、230との親和性が不足し、その接
着性が十分得られないことがある。
極22、23を形成するとき、当該表示電極22、23が位置ず
れを起こしたり、表示電極22、23の一部(例えばバスラ
イン221、231)が剥離する問題などを生じることがあ
る。このような問題は、透明電極220、230やバスライン
221、231と、それらが接着される界面(フロントパネル
ガラス21表面や透明電極220、230表面)との間に作用す
る接着力が、これらの互いの親和性に影響される性質が
あるために生じる。この親和性が優れないと接着力が十
分に確保されず、製造工程中の搬送にかかる振動などが
表示電極22、23に伝わったときに上記問題を生じる場合
がある。そして、このように位置ずれや剥離を起こした
表示電極22、23の上からフロントパネルガラス21表面に
誘電体層24および保護層25が形成されると、完成された
PDPにおいて正常な放電(アドレス放電および面放
電)が行えなくなるといった問題を誘引し、画像表示性
能を低下させてしまう。
では、バスライン221、231の給電方向下流側端部(端部
221a、231a)を、透明電極220、230を超えるように延
伸し、30μmの長さでフロントパネルガラス21上に接着
するものとした。一般に、バスライン221、231とフロン
トパネルガラス21との親和性は、透明電極220、230とフ
ロントパネルガラス21との親和性よりも優れており、ま
たバスライン221、231と透明電極220、230との親和性よ
りも高い。本実施の形態1では、この性質を利用して、
バスライン221、231の焼成前または焼成後のいずれにお
いても、y方向端部221a、231aとフロントパネルガラ
ス21とを強固に接着することにより、表示電極22、23が
フロントパネルガラス21表面から剥がれたり位置ずれす
るのを防止している。
スライン221、231がその端部221a、231aにおいてフロ
ントパネルガラス21に接着されているため、バスライン
221、231が透明電極220、230から剥離して他の電極22、
23と短絡したり、複数の電極22、23の間隔がばらついて
表示ムラ(不良)を発生するいった危険性が回避されて
いる。これにより、良好な発光バランスの表示性能を得
ることが可能となる。
ネルガラス21とをより強力に接着するために、前記端部
221a、231aに対応するバスライン221、231中のガラス
成分量をこれ以外のバスライン221、231中のガラス成分
量より多くなるように設定してもよい。また、透明電極
220、230およびバスライン221、231は、それぞれ複数の
部分から構成してもよい(例えばスポット状に配列した
透明電極220、230に2本のバスライン221、231がそれぞ
れ電気的に接触するようにしてもよい)。
31aのy方向長さについては、本願発明者らが端部221
a、231aのy方向長さを30μm、60μm、100μmの各
値に設定してテストしたところ、いずれも剥離や位置ず
れを生じなかった。バスライン221、231のサイズを考慮
すると、バスライン221、231の幅は今の場合95μmであ
ることから、前記端部221a、231aのy方向長さはバス
ライン221、231の幅の1/3程度(ほぼ30μm程度)以上
確保すればよいと推察される。
ラインの接着力についての補足 ここでは、透明電極またはフロントパネルガラスに対す
るバスラインの接着力について述べる。一般に、異なる
2つの物体間に作用する接着力は、一方の物質の他方の
物質に対する接触角、言い換えると濡れ性に相関関係が
みられる。この相関関係は、2つの物体間のうち一方が
液体であって、その濡れ性が経時的に変化する(液体が
次第に乾く)場合にも大体において保たれる。
トパネルガラスに対するバスラインの接着力に適用する
と、バスライン材料のフロントパネルガラスに対する接
触角が小さい(濡れ性に優れる)ほど、バスライン材料
および形成されたバスラインが剥離や位置ずれを起こし
にくい接着面(すなわち親和性の高い接着面)であると
言うことができる。これは一般にも、スクリーン印刷法
(厚膜法または薄膜法)で塗布される電極材料と、それ
が接着されるプレートとの相関関係においても言えるこ
とである。
上、同図(b)は透明電極上にそれぞれ滴下したバスラ
イン材料(Ag、有機材料、可塑剤等を含んでなる)の
接触角と、その経時変化を示すグラフである。ここでは
成分の若干異なる複数のバスライン材料のサンプルにつ
いて実験を行い、その測定値を示している。前記接触角
は同図(a)(b)ともに経時的に上昇するが、これは
バスライン材料の表面が次第に水分吸着や異物付着によ
り汚染されるためと推察される。両図に示すように、概
してバスライン材料の接触角は、透明電極上よりもフロ
ントパネルガラス上の方が小さい。これによってバスラ
イン材料は、フロントパネルガラスに対して比較的接着
力に優れることがわかる。
て説明する。上記実施の形態1では、バスライン221、23
1の端部221a、231aを透明電極220、230より延伸して
フロントパネルガラス21表面に接着する例を示したが
(図2)、ここでは図3の表示電極の上面図のように、透
明電極220、230の幅方向(x方向)の一方の側端部(サ
イド)と、延伸方向(y方向)下流側端部221a、231a
の両方でフロントパネルガラス21表面に接着する構成と
なっている。
同様の効果が奏されるうえ、バスライン221、231の幅方
向端部をその延伸方向(y方向)に沿って連続的に、フ
ロントパネルガラス21上で強固に固着させることができ
るので、透明電極220、230やバスライン221、231の剥離
または位置ずれをいっそう確実に防止できる。なお、上
記実施の形態1では、バスライン221、231を透明電極22
0、230より長く延伸しているが、バスライン221、231の
長さは透明電極220、230と同等もしくは短くても、剥離
や位置ずれを防止する効果が奏される。
のみをフロントパネルガラス21の表面に接着しても、そ
れなりの効果が期待できる。 1-5.その他のバリエーションについて 次に挙げる図4は、実施の形態1のバリエーション1-2を
示す表示電極の部分上面図である。当図のように本バリ
エーション1-2では、透明電極220、230の周囲全体にわ
たって、バスライン221、231を透明電極220、230の全周
囲とフロントパネルガラス21の両方を覆うように形成し
ている。このような構成によれば、上記実施の形態2に
くらべて一層高い効果を得ることができる。
トパネルガラス21と接着する幅方向端部は、そのx方向
幅を10μm、20μm、30μmの各値に設定したところ、
いずれも剥離や位置ずれを生じなかった。このことから
上記バスライン221、231のサイズでは、その幅方向(x
方向)で10μm以上の領域でフロントパネルガラス21と
接触させるのが望ましいと推察される。
は、そのほかに図5の表示電極の部分上面図に示すバリ
エーション1-3〜1-7(図中では(a)〜(e))などが挙
げられる。当図では表示電極22についてのみ図示してい
るが、これららのバリエーションは、当然ながら表示電
極23に適用してもよい。バリエーション1-3(a)および
1-4(b)は、バスライン221の端部221aを丸状または矩
形状とすることによって、その面積を広く確保し、フロ
ントパネルガラス21との接着性を向上させて、実施の形
態1の効果を向上させたものである。
1の端部221aをフリットガラス221fgを用いてフロント
パネルガラス21と強力接着する構成を示している。同図
(d)は、表示電極22とフロントパネルガラス21の部分
断面図である。これに示されるバリエーション1-6は、
バスライン231の端部231aに対応するフロントパネルガ
ラス21の表面をサンドブラスト処理し、これによって前
記端部231aとフロントパネルガラス21の接着性を高め
ている。
5(e)のバリエーション1-7に示すように、パネル駆動
回路と電気的に接続するための給電方向上流側の端部
(すなわち引き出し(接続)電極部221c、231c)を備え
た形状のものがあるが、この場合は引き出し電極部221
c、231cにおける剥離や位置ずれは生じにくい。したが
って、少なくとも給電方向下流側の端部(すなわち221
a、231a)をそれ以外の表示電極22、23の領域(透明電
極220、230上の領域)よりも強固に接着するように設定
すればよい。当該バリエーション1-7では、バスライン2
21、231の各両端部221a〜c、231a〜cをすべてフロント
パネルガラス21と直に接着することによって、十分な接
着力を確保している。
る。本実施の形態2の特徴は、誘電体層24を形成する以
前の段階で、透明電極220、230上でバスライン221、231
の下流側端部221a、231aが接着部材221fg、231fgによっ
て、前記端部221a、231a以外のバスライン221、231領域
よりも強い接着力で透明電極220、230の表面に接着され
ていることである。この接着部材221fg、231fgは、誘電
体層24に使用されるガラス材料と同様のものである。
1、231を作製する工程、およびそれ以後の誘電体層24を
製造する工程までにおいて、バスライン221、231が透明
電極220、230の表面から剥離したり、位置ずれを生じる
のが抑制される。したがって、PDP10の完成時におい
ても表示電極22、23は良好な精度で正確に形成されるの
で、PDP10は全体的にバランスの良い発光表示を行う
ことが可能となる。
体層24に使用するガラス材料に限らず、これ以外のもの
(他のガラス材料や有機材料)であってもよい。また接
着部材221fg、231fgは、あまり広い面積でバスライン22
1、231と透明電極220、230の間に塗布すると、電気抵抗
が増加するので注意すべきである。また、この実施の形
態2においても、接着部材221fg、231fgを用いる代わり
に、前記端部221a、231aに対応するバスライン221、231
のガラス成分量を部分的に増加させることにより、強い
接着力が得られるようにしてもよい。
Pについて、作製方法の一例を説明する。 3-1.フロントパネルの作製 フロート法によって厚さ約2.6mmのソーダライムガラ
スからなるフロントパネルガラス21を作製し、当該ガラ
ス21の面上に表示電極22、23を作製する。これにはま
ず、透明電極220、230を次のスクリーン印刷法(厚膜法
または薄膜法)とフォトエッチング法により形成する。
めケイ素酸化物および窒素酸化物から選ばれた材料から
なる膜を形成しておくと、透明電極220、230の接着性が
増すので望ましい。 3-1-1.透明電極の作製 フロントパネルガラス21の全面に、厚さ約2.0μmでフ
ォトレジスト(例えば紫外線硬化型樹脂)をスクリーン
印刷法で塗布する。そして透明電極220、230のパターン
のフォトマスクを上に重ねて紫外線を照射し、現像液に
浸して未硬化の樹脂を洗い出す。
O、有機材料、可塑剤等を含むペーストをフロントパネ
ルガラス21のフォトレジストのギャップに塗布する。こ
の後に乾燥工程→洗浄工程→焼成工程をこの順に行い、
透明電極220、230を完成する。 3-1-2.バスラインの作製その1 続いて、実施の形態1、およびそのバリエーション1-1、
1-2、1-3、1-4、1-7については以下のようにバスライン
221、231を作製することができる。
レジスト、可塑剤、ガラス材料等を含むペーストを作製
し、これをスクリーン印刷法により透明電極220、230を
形成したフロントパネルガラス21上に塗布して乾燥す
る。その後、所定の形状のマスクをかぶせ、フォトリソ
法により余分なペーストを洗い出す。これにより、端部
221a、231aを備えたバスライン221、231を形成する。そ
して、このとき本発明では、端部221a、231aに対応する
バスライン材料がフロントパネルガラス21と良好に接着
するため、従来のように位置ずれや剥離を生じることな
く、正確な位置にバスライン221、231が形成されるとい
った効果が奏される。
のフォトリソ法のほかにスクリーン印刷法を用いること
もできる。 3-1-3.バスラインの作製その2 実施の形態1のバリエーション1-5および実施の形態2に
ついては、以下のようにバスライン221、231を作製する
ことができる。
る透明電極220、230の延伸方向(y方向)端部表面、も
しくはフロントパネルガラス21表面に、接着部材とし
て、例えば後述の誘電体層に用いるガラス材料などを予
め溶融し滴下しておく。このガラス材料を滴下するタイ
ミングは、バスライン材料を塗布した後に、バスライン
材料の上から行ってもよい。
ラス材料等を含むバスライン材料をスクリーン印刷法で
塗布する。そして、これを焼成する。当該焼成工程は、
最高温度約600℃程度の温度プロファイルに設定した焼
成炉にフロントパネルガラス21を投入して行う。なお焼
成工程に先だって、常温での乾燥工程を行ってもよい。
料のパターン形成後から焼成工程を終え、誘電体層24を
形成するまでの間に、バスライン材料の接着性が前記滴
下したガラス材料によって、良好に確保される。このよ
うに接着性が確保される結果、バスライン材料と透明電
極の間にフォトレジストなどの夾雑物が存在していた
り、バスライン材料が乾燥時又は焼成時により体積収縮
を起こして変形応力の作用を受け、外部より振動を受け
ても、バスライン材料が透明電極の表面から剥離した
り、本来の位置よりずれるといった問題の発生が抑制さ
れる。以上の効果は、スパッタ法などの工程においても
同様に得ることができる。
うにバスライン221、231を作製することができる。バス
ライン材料の塗布工程に先立ち、バスライン221、231の
端部221a、231aに対応するフロントパネルガラス21の表
面にサンドブラスト処理をかける。この処理は、バスラ
イン221、231とフロントパネルガラス21との親和性を高
めるための処理の一例であって、このほかに紫外線照射
法、プラズマ処理法などを行ってもよい。また、親水処
理を行うと接着性が増すことが発明者らによって見いだ
されており、これに基づいて、バスライン221、231の端
部221a、231aに対応するフロントパネルガラス21の表面
を、少なくとも有機物を除去するための精密な洗浄処理
を行うようにしてもよい。
処理を行ったのち、スクリーン印刷法(厚膜法や薄膜
法)により、Ag、フォトレジスト、可塑剤、ガラス材
料等を含むバスライン材料を透明電極220、230の上から
フロントパネルガラス21の表面に塗布する。これをフォ
トリソ法により処理して、表示電極22、23を完成する。 3-1-5.誘電体層の作製 次に、表示電極22、23の上から粉末状ガラス成分(例え
ばPbO系ガラス成分)と、有機バインダー溶液(分散
剤のホモゲノールを0.2wt%と可塑剤のフタル酸ジブ
チルを2.5wt%、さらにエチルセルロースを45wt%
混合したもの)を、55:45の重量比で混合してペースト
を作り、これをフロントパネルガラス21の全面にわたっ
てコートし焼成(520℃で10分)して厚さ約30μmの誘
電体層24を形成する。
ウム(MgO)よりなる保護層25を厚さ約1.0μmで形
成する。これでフロントパネル20が作製される。 3-2.バックパネルの作製 3-2-1.アドレス電極および誘電体層の作製 フロート法で作製した厚さ約2.6mmのソーダライムガ
ラスからなるバックパネルガラス27の表面上に、スクリ
ーン印刷法によりAgを主成分とする導電材料を一定間
隔でストライプ状に塗布し、厚さ約5μmのアドレス電
極28を形成する。
パネルガラス27の面全体にわたって前記誘電体層24と同
様のペーストを厚さ約20μmで塗布して焼成し、誘電体
膜29を形成する。 3-2-2.隔壁および蛍光体層の作製 次に、誘電体膜29と同じガラス材料により、誘電体膜29
の上に隣り合うアドレス電極28の間隙(約150μm)毎
に高さ約120μmの隔壁30を形成する。この隔壁30は、
例えば上記ガラス材料を含むペーストを繰り返しスクリ
ーン印刷し、その後焼成すると形成できる。
る隔壁30間で露出している誘電体膜29の表面に、赤色
(R)蛍光体、緑色(G)蛍光体、青色(B)蛍光体の
いずれかを含む蛍光インクを塗布し、これを乾燥・焼成
してそれぞれ蛍光体層31〜33とする。ここで一般的な蛍
光体材料の一例を以下に列挙する。
aMgAl14O23:Eu3+) 各蛍光体材料は、例えば平均粒径が約3μm程度の粉末
が使用できる。蛍光体インクの塗布法は幾つかの方法が
あるが、ここでは公知のメニスカス法と称される極細ノ
ズルからメニスカス(表面張力による架橋)を形成しな
がら蛍光体インクを吐出する方法を用いる。この方法は
蛍光体インクを目的の領域に均一に塗布するのに好都合
である。なお、本発明は当然ながらこの方法に限定する
ものではなく、スクリーン印刷法など他の方法も使用可
能である。
フロントパネルガラス21およびバックパネルガラス27を
ソーダライムガラスからなるものとしたが、これは材料
の一例として挙げたものであって、これ以外の材料でも
よい。 3-3.PDPの完成 作製したフロントパネル20とバックパネル26を、封着用
ガラスを用いて貼り合わせる。その後、放電空間38の内
部を高真空(8×10-7Torr)程度に排気し、これに
所定の圧力(500〜760Torr)でNe-Xe系やHe-
Ne-Xe系、He-Ne-Xe-Ar系などの放電ガスを
封入する。
明を適用する例を示したが、22と23のいずれか一方だけ
に適用してもよい。しかしながら本発明の効果を良好に
得るためには、やはり一対の表示電極22、23の両方に適
用するのが望ましい。
ついて説明したが、本発明の電極付きプレートはこの適
用例に限定されるものではない。PDPなどのガス放電
パネルではこの他、アドレス(走査)電極を形成するバ
ックパネルガラスに適用することもできる。また、他の
FPDなどにも適用可能である。具体的には、タッチパ
ネルや、LCDなどの表示電極付きフロントパネルガラ
スに適用することができる。
Pを作製する例について示したが、当然ながらこれ以外
の規格のPDPやガス放電パネルに適用してもよい。ま
た、各実施の形態では、透明電極とバスラインの両方を
備える表示電極に本発明を適用する例を示したが、透明
電極またはバスラインのいずれかのみで表示電極を構成
する場合に適用してもそれなりの効果が期待できる。
以外の材料から構成してもよい。しかし、本発明の効果
は、ガラスプレート表面に、Agを含んでなる電極を接
着するときに最大の効果が発揮されることが本願発明者
らによって明らかにされている。さらに、本発明の効果
を得るためには、プレート表面に形成する電極の少なく
とも給電方向下流側端部を、これ以外の電極領域よりも
強力にプレートと接着すればよい。
れ以外の形状であってもよい。この場合も、当該電極の
少なくとも給電方向下流側端部を、これ以外の電極領域
よりも強力にプレート表面に接着すればよい。また、各
実施の形態では、第一の電極部として透明電極、第二の
電極部としてバスラインを備える電極(表示電極)を形
成する例を示したが、本発明はこれに限定せず、スクリ
ーン印刷法(厚膜法や薄膜法)などを適用して、他の2
種類の材料からなる電極部から電極を構成してもよい。
は、プレート上に、厚膜法または薄膜法により形成され
た一つ以上の電極が接着されてなる電極付きプレートで
あって、前記電極の少なくとも給電方向下流側の端部
が、それ以外の電極領域よりも強い接着力で、プレート
上に接着されているものであるため、前記電極の少なく
とも給電方向下流側の端部が、効果的にプレート表面に
接着される。ゆえに、従来のように、この部分がプレー
ト表面から反り上がって剥離したり、プレート上の所定
の位置から位置ずれたりするのが防止される。
的な断面斜視図である。
る。
る。
部分上面図である。
示す特性図である。(a)はガラス板の濡れ性の経時変
化を示す特性図である。(b)は透明電極の濡れ性の経
時変化を示す特性図である。
る。(a)は表示電極の部分斜視図である。(b)は表
示電極の部分上面図である。
Claims (45)
- 【請求項1】 プレート上に、厚膜法または薄膜法によ
り形成された一つ以上の電極が接着されてなるフラット
パネルディスプレイ用の電極付きプレートであって、 前記電極は長尺状であり、当該電極の少なくとも給電方
向上流側端部と反対に位置する端部が、それ以外の電極
領域よりも強い接着力で、プレート上に接着されている
ことを特徴とする電極付きプレート。 - 【請求項2】 前記電極は帯状であって、当該帯状電極
の両端部のうち、少なくとも当該電極の給電方向上流側
端部と反対に位置する端部の幅が、それ以外の電極部分
の幅よりも広いことにより、当該端部が、それ以外の電
極領域よりも強い接着力で、プレート上に接着されてい
ることを特徴とする請求項1に記載の電極付きプレー
ト。 - 【請求項3】 前記電極の少なくとも給電方向上流側端
部と反対に位置する端部が、接着部材により前記プレー
トと接着されることにより、当該端部が、それ以外の電
極領域よりも強い接着力で、プレート上に接着されてい
ることを特徴とする請求項1に記載の電極付きプレー
ト。 - 【請求項4】 前該電極の少なくとも給電方向上流側端
部と反対に位置する端部が、この端部に対応して部分的
に一度以上表面処理された前記プレート上に接着される
ことにより、当該端部が、それ以外の電極領域よりも強
い接着力で、プレート上に接着されていることを特徴と
する請求項1に記載の電極付きプレート。 - 【請求項5】 前記表面処理は、紫外線照射法またはプ
ラズマ照射法、サンドブラスト法、精密洗浄処理の中か
ら選ばれたものであることを特徴とする請求項4に記載
の電極付きプレート。 - 【請求項6】 プレート上に一つ以上の電極が接着され
てなるフラットパネルディスプレイ用の電極付きプレー
トであって、 前記電極は、前記プレート上に延伸して接着された第一
電極部と、この上に電気的に接触するように延伸して接
着された第二電極部からなり、 前記第二電極部の少なくとも給電方向下流側の端部が、
当該第二電極部と重なる第一電極部の端部を越えて延長
され、当該延長端部がプレート上に直に接していること
を特徴とする電極付きプレート。 - 【請求項7】 前記プレートはガラスプレートであり、
前記第二電極部はAgを含んでなることを特徴とする請
求項6に記載の電極付きプレート。 - 【請求項8】 前記電極が形成される前記プレート表面
には、ケイ素酸化物および窒素酸化物から選ばれた材料
からなる膜が形成されていることを特徴とする請求項7
に記載の電極付きプレート。 - 【請求項9】 前記第二電極部の少なくとも給電方向上
流側端部と反対に位置する端部が、それ以外の第二電極
部の領域の幅よりも大きいことを特徴とする請求項6に
記載の電極付きプレート。 - 【請求項10】 前記第二電極部の少なくとも給電方向上
流側端部と反対に位置する端部が、接着部材により前記
プレートと接着されていることを特徴とする請求項6に
記載の電極付きプレート。 - 【請求項11】 前記接着部材はガラスを含んでなること
を特徴とする請求項10に記載の電極付きプレート。 - 【請求項12】 前記第二電極部はガラス成分を含んでお
り、少なくとも前記給電方向上流側端部と反対に位置す
る第二電極部の端部は、それ以外の第二電極部の領域よ
りもガラス成分を多く含んでなることを特徴とする請求
項6に記載の電極付きプレート。 - 【請求項13】 前記第二電極部の少なくとも給電方向上
流側端部と反対に位置する端部が、この端部に対応して
部分的に表面処理された前記プレート上に接着されてい
ることを特徴とする請求項6に記載の電極付きプレー
ト。 - 【請求項14】 前記表面処理は、紫外線照射法、プラズ
マ照射法、サンドブラスト法、または少なくとも有機物
を除去する洗浄処理、の中から選ばれたものであること
を特徴とする請求項13に記載の電極付きプレート。 - 【請求項15】 前記電極は、透明電極からなる第一電極
部と、バスラインからなる第二電極部で構成される表示
電極であり、前記電極付きプレートは、前記表示電極が
複数対形成されたガス放電パネルの表示電極付きフロン
トパネルガラスであることを特徴とする請求項6に電極
付きプレート。 - 【請求項16】 請求項15に記載の表示電極付きフロント
パネルガラスを備えることを特徴とするガス放電パネ
ル。 - 【請求項17】 プレート上に1つ以上の電極が接着され
てなる電極付きプレートであって、 前記電極は、前記プレート上に延伸された第一電極部
と、これに電気的に接触するように延伸して接着された
第二電極部からなり、 前記第二電極部の少なくとも給電方向上流側端部と反対
に位置する端部が、それ以外の電極領域よりも強い接着
力で第一電極部上に接着されていることを特徴とするフ
ラットパネルディスプレイ用の電極付きプレート。 - 【請求項18】 前記プレートはガラスプレートであり、
前記第二電極部はAgを含んでなることを特徴とする請
求項17に記載の電極付きプレート。 - 【請求項19】 前記電極が接着される前記プレート表面
には、ケイ素酸化物およびケイ素窒化物から選ばれた材
料からなる膜が形成されていることを特徴とする請求項
18に記載の電極付きプレート。 - 【請求項20】 前記第二電極部の少なくとも給電方向上
流側端部と反対に位置する端部の幅が、それ以外の第二
電極部の幅よりも広いことにより、当該端部が、それ以
外の電極領域よりも強い接着力で、プレート上に接着さ
れていることを特徴とする請求項17に記載の電極付きプ
レート。 - 【請求項21】 前記第二電極部の少なくとも給電方向上
流側端部と反対に位置する端部が、接着部材により前記
プレートと接着されることにより、当該端部が、それ以
外の電極領域よりも強い接着力で、プレート上に接着さ
れていることを特徴とする請求項17に記載の電極付きプ
レート。 - 【請求項22】 前記接着部材はガラスを含んでなること
を特徴とする請求項21に記載の電極付きプレート。 - 【請求項23】 前記第二電極部はガラス成分を含んでお
り、前記第二電極部の少なくとも給電方向上流側端部と
反対に位置する端部が、それ以外の第二電極部の領域よ
りもガラス成分を多く含んでなることを特徴とする請求
項17に記載の電極付きプレート。 - 【請求項24】 前記電極は、透明電極からなる第一電極
部と、バスラインからなる第二電極部で構成される表示
電極であり、前記電極付きプレートは、前記表示電極が
複数対形成されたガス放電パネルの表示電極付きフロン
トパネルガラスであることを特徴とする請求項17に記載
の電極付きプレート。 - 【請求項25】 請求項24に記載の表示電極付きフロント
パネルガラスを備えることを特徴とするガス放電パネ
ル。 - 【請求項26】 プレート上に1つ以上の電極が接着され
てなるフラットパネルディスプレイ用の電極付きプレー
トであって、 前記電極は、前記プレート上に延伸して接着された第一
電極部と、これに電気的に接触するように延伸して接着
された第二電極部からなり、 第二電極部の幅方向の少なくとも一側部が、プレート上
に部分的に接着されており、且つ、当該接着部分がそれ
以外の電極領域よりも強い接着力で接着されていること
を特徴とする電極付きプレート。 - 【請求項27】 前記電極は、透明電極からなる第一電極
部と、バスラインからなる第二電極部で構成される表示
電極であり、前記電極付きプレートは、前記表示電極が
複数対形成されたガス放電パネルの表示電極付きフロン
トパネルガラスであることを特徴とする請求項26に記載
の電極付きプレート。 - 【請求項28】 請求項27に記載の表示電極付きフロント
パネルガラスを備えることを特徴とするガス放電パネ
ル。 - 【請求項29】 プレート上に、薄膜法または厚膜法によ
り、1つ以上の電極を接着して形成する電極形成ステッ
プを経るフラットパネルディスプレイ用の電極付きプレ
ートの製造方法であって、 前記電極形成ステップにおいて、前記電極の少なくとも
給電方向上流側端部と反対に位置する端部を、それ以外
の電極の領域よりも強い接着力でプレート上に接着する
ことを特徴とする電極付きプレートの製造方法。 - 【請求項30】 前記電極形成ステップにおいて、前記電
極の少なくとも給電方向上流側端部と反対に位置する端
部を、これに対応して表面処理したプレート上に接着す
ることを特徴とする請求項29に記載の電極付きプレート
の製造方法。 - 【請求項31】 前記電極形成ステップにおいて、前記表
面処理を、紫外線照射法、プラズマ照射法、サンドブラ
スト法の中から選んだ方法で行うことを特徴とする請求
項30に記載の電極付きプレートの製造方法。 - 【請求項32】 前記電極形成ステップにおいて、前記電
極の少なくとも給電方向上流側端部と反対に位置する端
部を、接着部材を用いて前記プレートと接着することを
特徴とする請求項29に記載の電極付きプレートの製造方
法。 - 【請求項33】 前記電極形成ステップは、プレート上
に、1つ以上の第一電極部を延伸して接着する第一電極
部形成ステップと、前記第一電極部の上に電気的に接触
するように、第二電極部を重ねつつ延伸して接着する第
二電極部形成ステップを有し、 前記第二電極部形成ステップでは、前記少なくとも第一
電極部の給電方向上流側端部と反対に位置する端部に対
応して、第二電極部の端部を、当該第二電極部と重なる
第一電極部の端部を越えてプレート上に直に接触させ、
この第二電極部の接触領域を、これ以外の電極領域より
も強い接着力でプレート上に接着させることを特徴とす
る請求項29に記載の電極付きプレートの製造方法。 - 【請求項34】 前記電極形成ステップは、ガラス成分を
含む電極材料を用い、前記電極の少なくとも給電方向上
流側端部と反対に位置する端部に含まれるガラス成分量
が、それ以外の電極領域よりも多くなるように、前記電
極材料をプレート上に塗布する電極材料塗布ステップを
有することを特徴とする請求項29に記載の電極付きプレ
ートの製造方法。 - 【請求項35】 ガラス材料からなるプレート上に、前記
第一電極部として透明電極、前記第二電極部としてAg
を含むバスラインをそれぞれ作製することを特徴とする
請求項33に記載の電極付きプレートの製造方法。 - 【請求項36】 前記電極付きプレートの製造方法によ
り、ガス放電パネル用の複数対の表示電極付きフロント
パネルガラスを作製することを特徴とする請求項29に記
載の電極付きプレートの製造方法。 - 【請求項37】 請求項36に記載の前記電極付きプレート
の製造方法によりフロントパネルを作製し、これとバッ
クパネルを合わせてガス放電パネルを作製することを特
徴とするガス放電パネルの製造方法。 - 【請求項38】 プレート上に、1つ以上の第一電極部を
延伸して接着する第一電極部形成ステップと、前記第一
電極部の上に電気的に接触するように、第二電極部を重
ねつつ延伸して接着する第二電極部形成ステップを有す
るフラットパネルディスプレイ用の電極付きプレートの
製造方法であって、 前記第二電極部形成ステップでは、第二電極部の少なく
とも給電方向上流側端部と反対に位置する端部を、それ
以外の電極領域よりも強い接着力で第一電極部上に接着
することを特徴とする電極付きプレートの製造方法。 - 【請求項39】 前記電極形成ステップにおいて、第二電
極部の少なくとも給電方向上流側端部と反対に位置する
端部を、接着部材を用いて第一電極部と接着することを
特徴とする請求項38に記載の電極付きプレートの製造方
法 - 【請求項40】 前記電極形成ステップでは、ガラス成分
を含む電極材料を用い、前記電極の少なくとも給電方向
上流側端部と反対に位置する端部に含まれるガラス成分
量を、それ以外の電極領域よりも多くなるように、前記
電極材料をプレート上に塗布することを特徴とする請求
項38に記載の電極付きプレートの製造方法。 - 【請求項41】 ガラス材料からなるプレート上に、前記
第一電極部として透明電極、前記第二電極部としてAg
を含むバスラインをそれぞれ作製することを特徴とする
請求項38に記載の電極付きプレートの製造方法。 - 【請求項42】 前記電極付きプレートの製造方法によ
り、ガス放電パネル用の複数対の表示電極付きフロント
パネルガラスを作製することを特徴とする請求項38に記
載の電極付きプレートの製造方法。 - 【請求項43】 請求項42に記載の前記電極付きプレート
の製造方法によりフロントパネルを作製し、これとバッ
クパネルを合わせてガス放電パネルを作製することを特
徴とするガス放電パネルの製造方法。 - 【請求項44】 プレート上に、1つ以上の電極を接着し
て形成する電極形成ステップを経るフラットパネルディ
スプレイ用の電極付きプレートの製造方法であって、 前記電極形成ステップは、ガラス成分を含む電極材料を
プレート上に塗布する塗布ステップと、塗布した電極材
料を焼成する焼成ステップを有し、 前記焼成ステップでは、前記電極の長手方向両端部の少
なくとも一方を、それ以外の電極領域よりも強い接着力
でプレート上に接着させつつ焼成することを特徴とする
電極付きプレートの製造方法。 - 【請求項45】 プレート上に、1つ以上の第一電極部を
延伸して接着する第一電極部形成ステップと、前記第一
電極部の上に電気的に接触するように、第二電極部を重
ねつつ延伸して接着する第二電極部形成ステップを有す
る電極付きプレートの製造方法であって、 前記第二電極部形成ステップは、ガラス成分を含む電極
材料をプレート上に塗布する塗布ステップと、塗布した
電極材料を焼成する焼成ステップを有し、 前記焼成ステップでは、第二電極部の少なくとも給電方
向上流側端部と反対に位置する端部を、それ以外の電極
領域よりも強い接着力でプレート上に接着させつつ焼成
することを特徴とする電極付きプレートの製造方法。
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