WO2010001615A1 - プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

放電セル毎の放電特性のばらつきが小さく品質の高い画像を表示することができるとともに、低コストの透明電極を有するプラズマディスプレイパネルを実現する。そのために、走査電極は前面基板上に金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を用いて設けられた走査透明電極と、前面基板上に設けられた走査バス電極とを有する。また、維持電極は前面基板上に金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を用いて設けられた維持透明電極と、前面基板上に設けられた維持バス電極とを有する。さらに、放電ギャップは走査バス電極と維持バス電極とで形成され、走査透明電極の放電ギャップ側の外縁部が走査バス電極と重なり、維持透明電極の放電ギャップ側の外縁部が維持バス電極と重なる。

Description

プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法

　本発明は、表示デバイスなどに用いる交流面放電型プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法に関する。

　プラズマディスプレイパネル（以下、単に「パネル」と称する。）として代表的な交流面放電型パネルは、対向配置された前面板と背面板との間に多数の放電セルが形成されている。前面板は、ガラス製の前面基板と、１対の走査電極と維持電極とからなる表示電極対と、それらを覆う誘電体層および保護層を有する。背面板は、ガラス製の背面基板と、データ電極と、それを覆う誘電体層と、隔壁と、蛍光体層とを有する。そして、表示電極対とデータ電極とが立体交差するように前面板と背面板とが対向配置されて密封され、内部の放電空間には放電ガスが封入されている。ここで表示電極対とデータ電極とが対向する部分に放電セルが形成される。このように構成されたパネルの各放電セル内でガス放電を発生させ、赤、緑、青各色の蛍光体を励起発光させてカラー表示を行っている。

　走査電極および維持電極のそれぞれは、例えば幅の広いストライプ状の透明電極の上に幅の狭いストライプ状のバス電極を積層して形成されている。透明電極は、例えばスパッタ法などを用いて前面基板上に形成されたインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）薄膜を、フォトリソグラフィー法などによりストライプ状にパターニングして形成する。またバス電極は、透明電極上に銀（Ａｇ）ペーストをストライプ状に印刷し焼成して形成する（例えば、特許文献１参照）。しかしながら、スパッタ法などでインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）薄膜を形成するためには真空装置や露光機などの設備が必要となる。そのため、生産設備が大型になるとともに、生産性が低く、コストが高いという問題点があった。

　これらの課題を解決するために、インジウム（Ｉｎ）、錫（Ｓｎ）、アンチモン（Ｓｂ）、アルミニウム（Ａｌ）および亜鉛（Ｚｎ）から選ばれた金属の微粒子を含む分散液を塗布、焼成して、透明電極を形成する方法が開示されている（例えば、特許文献２参照）。

　また、インジウム（Ｉｎ）と錫（Ｓｎ）とを必須成分とするインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）複合酸化物を３５０℃～８００℃で焼成して結晶粒界を成長させたインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）超微粒子粉末を有機溶媒に溶解してなる分散液を塗布、焼成して透明電極を形成する方法も開示されている（例えば、特許文献３参照）。

　分散液を塗布するには、スクリーン印刷法、インクジェット法などを用いることができる。しかしながらこのような厚膜印刷法によるパターニングは寸法精度に限界があり、パネルに使用可能な寸法精度の透明電極を形成することが困難であった。特に放電セル内部の走査電極と維持電極との距離、すなわち放電ギャップの距離は、その放電セルの放電特性を大きく左右する。そのため透明電極の寸法精度が悪く放電ギャップの距離のばらつきが大きいと、放電セル毎の放電特性のばらつきも大きくなり表示画面にむらが発生して画像表示品質が低下するという課題があった。

特開２０００－１５６１６８号公報 特開２００５－１８３０５４号公報 特開２００５－１６６３５０号公報

　本発明は、一対の走査電極と維持電極との間に放電ギャップを形成した表示電極対を前面基板上に複数備えたパネルであって、走査電極は前面基板上に金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を用いて設けられた走査透明電極と、前面基板上に設けられた走査バス電極とを有し、維持電極は前面基板上に金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を用いて設けられた維持透明電極と、前面基板上に設けられた維持バス電極とを有し、放電ギャップは走査バス電極と維持バス電極とで形成され、走査透明電極の放電ギャップ側の外縁部が走査バス電極と重なり、維持透明電極の放電ギャップ側の外縁部が維持バス電極と重なることを特徴とするものである。

　このような構成によれば、低コストかつ放電セル毎の放電特性のばらつきが小さく品質の高い画像を表示するパネルを実現することができる。

図１は本発明の実施の形態１におけるパネルの構造を示す分解斜視図である。 図２Ａは同パネルの表示電極対の詳細を示す前面板側から見た正面図である。 図２Ｂは同パネルの表示電極対の詳細を示す前面板の断面図である。 図３Ａは同パネルの前面板の製造方法を説明するための図である。 図３Ｂは同パネルの前面板の製造方法を説明するための図である。 図３Ｃは同パネルの前面板の製造方法を説明するための図である。 図３Ｄは同パネルの前面板の製造方法を説明するための図である。 図３Ｅは同パネルの前面板の製造方法を説明するための図である。 図４Ａは同パネルの背面板の製造方法を説明するための図である。 図４Ｂは同パネルの背面板の製造方法を説明するための図である。 図４Ｃは同パネルの背面板の製造方法を説明するための図である。 図４Ｄは同パネルの背面板の製造方法を説明するための図である。 図４Ｅは同パネルの背面板の製造方法を説明するための図である。 図５Ａは本発明の実施の形態２におけるパネルの前面板の製造方法を説明するための図である。 図５Ｂは同パネルの前面板の製造方法を説明するための図である。 図５Ｃは同パネルの前面板の製造方法を説明するための図である。 図５Ｄは同パネルの前面板の製造方法を説明するための図である。 図５Ｅは同パネルの前面板の製造方法を説明するための図である。 図６は本発明の実施の形態３におけるパネルの表示電極対の詳細を示す図である。

　以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。

　（実施の形態１）
　図１は、本発明の実施の形態１におけるパネルの構造を示す分解斜視図である。パネル１０は、前面板２０と背面板３０とを対向配置し、周辺部を封着部材（図示せず）を用いて封着することにより構成されており、内部に多数の放電セルが形成されている。

　前面板２０は、ガラス製の前面基板２１と、走査電極２２と維持電極２３とからなる表示電極対２４と、ブラックストライプ２５と、誘電体層２６と、保護層２７とを有する。前面基板２１上には１対の走査電極２２と維持電極２３とからなる表示電極対２４が互いに平行に複数形成されている。そして隣り合う表示電極対２４の間にはブラックストライプ２５が形成されている。

　図１には表示電極対２４とブラックストライプ２５とが、走査電極２２、維持電極２３、ブラックストライプ２５、走査電極２２、維持電極２３、ブラックストライプ２５、と繰り返されるように形成されている図を示した。しかし表示電極対２４とブラックストライプ２５とが、走査電極２２、維持電極２３、ブラックストライプ２５、維持電極２３、走査電極２２、ブラックストライプ２５、走査電極２２、維持電極２３、ブラックストライプ２５、維持電極２３、走査電極２２、ブラックストライプ２５、と繰り返されるように形成されていてもよい。

　そして表示電極対２４およびブラックストライプ２５を覆うように誘電体層２６が形成され、誘電体層２６上に保護層２７が形成されている。

　背面板３０は、ガラス製の背面基板３１と、データ電極３２と、下地誘電体層３３と、隔壁３４と、蛍光体層３５とを有する。背面基板３１上には、複数のデータ電極３２が互いに平行に形成されている。そしてデータ電極３２を覆うように下地誘電体層３３が形成され、さらにその上に井桁状の隔壁３４が形成され、下地誘電体層３３の表面と隔壁３４の側面とに赤、緑、青各色の蛍光体層３５が形成されている。

　図２Ａは本発明の実施の形態１におけるパネルの表示電極対の詳細を示す前面板側から見た正面図である。図２Ｂは本発明の実施の形態１におけるパネルの表示電極対の詳細を示す前面板の断面図である。

　走査電極２２は、不透明な２本の走査バス電極２２１ａ、２２２ａと、透明な走査透明電極２２ｂとを有する。維持電極２３も２本の維持バス電極２３１ａ、２３２ａと維持透明電極２３ｂとを有する。そして走査バス電極２２１ａと維持バス電極２３１ａとの間に距離ｄ１の放電ギャップが形成される。

　走査バス電極２２１ａは黒色層２２１ｃと導電層２２１ｄとからなり、走査バス電極２２２ａは黒色層２２２ｃと導電層２２２ｄとからなる。同様に、維持バス電極２３１ａは黒色層２３１ｃと導電層２３１ｄとからなり、維持バス電極２３２ａは黒色層２３２ｃと導電層２３２ｄとからなる。以下、走査バス電極２２１ａ、２２２ａをそれぞれ単に「バス電極２２１ａ、２２２ａ」と称し、維持バス電極２３１ａ、２３２ａをそれぞれ単に「バス電極２３１ａ、２３２ａ」と称する。また走査透明電極２２ｂを単に「透明電極２２ｂ」と称し、維持透明電極２３ｂを単に「透明電極２３ｂ」と称する。

　黒色層２２１ｃ、２２２ｃ、２３１ｃ、２３２ｃは、パネル１０を表示面側から見たときにバス電極２２１ａ、２２２ａ、２３１ａ、２３２ａを黒く見せるために設けられている。例えば酸化ルテニウム（ＲｕＯ_２）を主成分とする黒色の材料を用いて前面基板２１の上に幅の狭いストライプ状に形成したものである。そして黒色層２２１ｃ、２２２ｃ、２３１ｃ、２３２ｃの上に銀（Ａｇ）を含む導電性の材料を積層した導電層２２１ｄ、２２２ｄ、２３１ｄ、２３２ｄが設けられている。これによりバス電極２２１ａ、２２２ａ、２３１ａ、２３２ａの導電性が高まる。

　ブラックストライプ２５は、パネル１０を表示面側から見たときに表示面を黒く見せるために設けられている。本実施の形態では、酸化ルテニウム（ＲｕＯ_２）を主成分とする黒色の材料を用いて形成したが、黒色に見える他の材料、例えば黒色顔料を主成分とした材料を用いてもよい。なお、ブラックストライプ２５は必ずしも設ける必要はないが、表示面を黒くしてコントラストの高い画像を表示する上で有効である。

　透明電極２２ｂ、２３ｂは、放電空間に強い電界を発生して放電を発生させるとともに、蛍光体層３５で発生した光をパネル１０外部へ取り出すために設けられている。そして透明電極２２ｂ、２３ｂはそれぞれ、インジウム（Ｉｎ）、錫（Ｓｎ）、アンチモン（Ｓｂ）、アルミニウム（Ａｌ）および亜鉛（Ｚｎ）から選ばれた金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を幅の広いストライプ状に塗布し、非酸化性雰囲気中で乾燥した後、酸化性雰囲気中で焼成して形成したものである。

　次にパネル１０の製造方法について説明する。図３Ａと、図３Ｂと、図３Ｃと、図３Ｄと、図３Ｅとは、本発明の実施の形態１におけるパネルの前面板の製造方法を説明するための図である。

　前面板２０を製造するには、まずガラス製の前面基板２１をアルカリ洗浄する。

　次に、透明電極２２ｂ、２３ｂを形成する。まず、平均粒径が５ｎｍ～１００ｎｍのインジウム（Ｉｎ）、錫（Ｓｎ）、アンチモン（Ｓｂ）、アルミニウム（Ａｌ）および亜鉛（Ｚｎ）の中の少なくとも１つの金属の微粒子、若しくはこれらの少なくとも１つの金属酸化物の微粒子（これら金属の中の２つ以上の元素を含む、いわゆる複合酸化物の微粒子を含む）、若しくはこれら金属の中の２つ以上の合金の微粒子、またはこれらの微粒子の混合物を含む分散液を作成する。本実施の形態においては、平均粒径が１０ｎｍのインジウム（Ｉｎ）－錫（Ｓｎ）の合金微粒子を１２重量％の濃度で分散剤とともに有機溶媒中に分散させ、分散液を作成した。なお、有機溶媒としては、デカヒドロナフタレンを用いたが、これ以外にも、例えば、トルエン、キシレン、ベンゼン、テトラデカンのような無極性溶媒、芳香族炭化水素類、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン、テトラデカン、ペンタデカン、ヘキサデカン、オクタデカン、ノナデカン、エイコサン、トリメチルペンタンなどの長鎖アルカン、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタンなどの環状アルカンなどを用いることができる。

　次に、図３Ａに示すように、幅の広いストライプ状に分散液を塗布してウエット層２２ｂｘ、２３ｂｘを形成する。本実施の形態においては、多数穴の微細ノズルを有するインクジェット塗布装置を用いて、透明電極２２ｂ、２３ｂのウエット層２２ｂｘ、２３ｂｘを形成した。このとき、放電ギャップ側のウエット層２２ｂｘとウエット層２３ｂｘとの距離ｄ２は、放電ギャップの距離ｄ１よりも広くなるように塗布した。

　その後、図３Ｂに示すように、ウエット層２２ｂｘ、２３ｂｘが形成された前面基板２１を乾燥し、酸化性雰囲気中で４００℃～６００℃で焼成して、厚み８０ｎｍ～１０００ｎｍの透明導電膜からなる透明電極２２ｂ、２３ｂを形成する。本実施の形態においては、まずウエット層２２ｂｘ、２３ｂｘが形成された前面基板２１を１×１０^－３Ｐａの減圧下において２３０℃の温度条件で１０ｍｉｎ間保持して乾燥した。そしてその後、大気中で５００℃の温度条件で６０ｍｉｎ間焼成し、厚み約３００ｎｍのインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）膜からなる透明電極２２ｂ、２３ｂを形成した。

　その後、図３Ｃに示すように、酸化ルテニウム（ＲｕＯ_２）や黒色顔料を主成分とする黒色層用ペーストを用いて、黒色層２２１ｃ、２２２ｃ、２３１ｃ、２３２ｃの前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、およびブラックストライプ２５の前駆体２５ｘを形成する。続いて、銀（Ａｇ）を含む導電層用ペーストを用いて前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘの上に導電層２２１ｄ、２２２ｄ、２３１ｄ、２３２ｄの前駆体２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２３１ｄｘ、２３２ｄｘを形成する。

　本発明において「前駆体」とは、黒色層用ペーストなどの構成部材用ペーストを塗布し、含有する有機成分は除去されるが、無機成分が溶融されていない状態まで熱処理したものを称する。

　このとき、前駆体２２１ｃｘは透明電極２２ｂの放電ギャップ側の外縁部を覆うように形成し、前駆体２３１ｃｘは透明電極２３ｂの放電ギャップ側の外縁部を覆うように形成する。そして前駆体２２１ｃｘと前駆体２３１ｃｘとの距離は放電ギャップの距離ｄ１である。また前駆体２２２ｃｘは少なくとも透明電極２２ｂの一部と重なるように形成し、前駆体２３２ｃｘは少なくとも透明電極２３ｂの一部と重なるように形成する。

　バス電極２２１ａ、２３１ａは放電ギャップを形成するので、それらの前駆体２２１ｃｘ、２３１ｃｘ、２２１ｄｘ、２３１ｄｘも寸法精度よく形成する必要がある。本実施の形態においては、スクリーン印刷法を用いて感光性の黒色層用ペーストを前面基板２１の全面に塗布し露光マスクを用いて露光する。その後、感光性の導電層用ペーストを前面基板２１の全面に塗布し露光マスクを用いて露光する。そしてその後、現像を行って前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２５ｘ、２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２３１ｄｘ、２３２ｄｘを形成した。

　次に、図３Ｄに示すように、前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２５ｘ、２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２３１ｄｘ、２３２ｄｘが形成された前面基板２１を焼成して、バス電極２２１ａ、２２２ａ、２３１ａ、２３２ａ、ブラックストライプ２５を形成する。このときの焼成のピーク温度は５５０℃～６００℃が望ましく、本実施の形態においては５８０℃である。またバス電極２２１ａ、２２２ａ、２３１ａ、２３２ａの厚みは、１μｍ～６μｍが望ましく、本実施の形態においては４μｍである。

　次に、図３Ｅに示すように、走査電極２２、維持電極２３およびブラックストライプ２５が形成された前面基板２１上に、誘電体層２６と保護層２７とを形成する。

　まずスクリーン印刷法などの公知技術により、誘電体層２６の前駆体を形成する。そして誘電体層２６の前駆体を焼成して、厚み２０μｍ～５０μｍの誘電体層２６を形成する。

　本実施の形態においては、酸化硼素（Ｂ_２Ｏ_３）３４．６重量％、酸化硅素（ＳｉＯ_２）１．４重量％、酸化亜鉛（ＺｎＯ）２７．６重量％、酸化バリウム（ＢａＯ）３．３重量％、酸化ビスマス（Ｂｉ_２Ｏ_３）２５重量％、酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）１．１重量％、酸化モリブデン（ＭｏＯ_３）４．０重量％、酸化タングステン（ＷＯ_３）３．０重量％を含んだ誘電体ガラスを含む誘電体ペーストを作成した。この誘電体ガラスの軟化点は約５７０℃である。次に走査電極２２、維持電極２３およびブラックストライプ２５が生成された前面基板２１上にダイコート法により誘電体ペーストを塗布して誘電体層２６の前駆体（図示せず）を形成した。そして誘電体層２６の前駆体（図示せず）を約５９０℃で焼成して厚み約４０μｍの誘電体層２６を形成した。

　なお、誘電体ペーストとしては、上記以外にも、例えば、酸化硼素（Ｂ_２Ｏ_３）、酸化硅素（ＳｉＯ_２）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化ビスマス（Ｂｉ_２Ｏ_３）、酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）、酸化モリブデン（ＭｏＯ_３）、酸化タングステン（ＷＯ_３）、酸化セリウム（ＣｅＯ）、あるいはアルカリ土類金属酸化物、アルカリ金属酸化物などの中からいくつかを含んだ軟化点５２０℃～５９０℃の誘電体ガラスを含む誘電体ペーストを用いることができる。

　そして誘電体層２６の上に、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を主成分とする保護層２７を、真空蒸着法などの公知技術により形成する。

　なお本実施の形態においては、インジウム（Ｉｎ）と錫（Ｓｎ）の合金微粒子を用いてインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）膜からなる透明電極２２ｂ、２３ｂを形成した。しかし、例えばインジウム（Ｉｎ）および錫（Ｓｎ）を含む金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を用いて透明電極を形成してもよい。また錫（Ｓｎ）の微粒子を用いて酸化錫（ＳｎＯ_２）膜からなる透明電極を形成してもよい。さらに、亜鉛（Ｚｎ）の微粒子を用いて酸化亜鉛（ＺｎＯ）膜からなる透明電極を形成してもよい。また、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）微粒子若しくは酸化錫（ＳｎＯ_２）微粒子若しくは酸化亜鉛（ＺｎＯ）微粒子を用いてインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）若しくは酸化錫（ＳｎＯ_２）若しくは酸化亜鉛（ＺｎＯ）膜からなる透明電極を形成してもよい。

　また本実施の形態では、ウエット層２２ｂｘ、２３ｂｘを焼成した後、黒色層２２１ｃ、２２２ｃ、２３１ｃ、２３２ｃおよび導電層２２１ｄ、２２２ｄ、２３１ｄ、２３２ｄの前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２３１ｄｘ、２３２ｄｘを形成し焼成した。しかし、例えばウエット層２２ｂｘ、２３ｂｘの上にさらに黒色層２２１ｃ、２２２ｃ、２３１ｃ、２３２ｃおよび導電層２２１ｄ、２２２ｄ、２３１ｄ、２３２ｄの前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２３１ｄｘ、２３２ｄｘを形成し、その後ウエット層２２ｂｘ、２３ｂｘと前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２３１ｄｘ、２３２ｄｘを同時に焼成して走査電極２２、維持電極２３を形成してもよい。

　次に背面板３０の製造方法について説明する。図４Ａと、図４Ｂと、図４Ｃと、図４Ｄと、図４Ｅとは、本発明の実施の形態１におけるパネルの背面板の製造方法を説明するための図である。

　まず、図４Ａに示すように、スクリーン印刷法、フォトリソグラフィー法などの公知技術を用いて、背面基板３１上に、銀（Ａｇ）を主成分とする導電層用ペーストを一定間隔でストライプ状に塗布し、データ電極３２の前駆体３２ｘを形成する。

　次に、図４Ｂに示すように、前駆体３２ｘが形成された背面基板３１を焼成して、データ電極３２を形成する。データ電極３２の厚みは、例えば２μｍ～１０μｍであり、本実施の形態では３μｍである。

　続いて、図４Ｃに示すように、データ電極３２を形成した背面基板３１上に誘電体ペーストを塗布し、この後焼成して下地誘電体層３３を形成する。下地誘電体層３３の厚みは、例えば約５μｍ～１５μｍであり、本実施の形態では１０μｍである。

　続いて、図４Ｄに示すように、下地誘電体層３３を形成した背面基板３１上に感光性の誘電体ペーストを塗布した後、乾燥して隔壁３４の前駆体を形成する。その後、フォトリソグラフィー法などの公知技術を用いて隔壁３４を形成する。隔壁３４の高さは、例えば１００μｍ～１５０μｍであり、本実施の形態では１２０μｍである。

　そして、図４Ｅに示すように、隔壁３４の壁面および誘電体層３３の表面に、赤色蛍光体、緑色蛍光体、青色蛍光体のいずれかを含む蛍光体インクを塗布する。その後、乾燥、焼成して蛍光体層３５を形成する。

　赤色蛍光体としては、例えば（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ_３：Ｅｕ、（Ｙ，Ｖ）ＰＯ_４：Ｅｕなどを、緑色蛍光体としては、例えばＺｎ_２ＳｉＯ_４：Ｍｎ、（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ_３：Ｔｂ、（Ｙ，Ｇｄ）Ａｌ_３（ＢＯ_３）_４：Ｔｂなどを、青色蛍光体としては、例えばＢａＭｇＡｌ_１０Ｏ_１７：Ｅｕ、Ｓｒ_３ＭｇＳｉ_２Ｏ_８：Ｅｕなどをそれぞれ用いることができる。

　そして上述した前面板２０と背面板３０とを、表示電極対２４とデータ電極３２とが立体交差するように対向配置し、放電セルが形成された画像表示領域の外側の位置で低融点ガラスを用いて封着する。その後、内部の放電空間にキセノン（Ｘｅ）を含む放電ガスを封入して、パネル１０が完成する。

　本実施の形態においては、上述したようにインクジェット塗布装置を用いて透明電極２２ｂ、２３ｂを形成した。インクジェット法によれば必要な部分にのみ分散液を塗布するので材料の無駄がない。また、複雑なパターンであっても容易に塗布できるという利点がある。その反面、インクの液滴が着弾したときのスポット径で寸法精度が制限されるため、寸法精度の高い印刷が難しいという欠点がある。

　しかし本実施の形態においては、透明電極２２ｂの放電ギャップ側の外縁部を覆うようにバス電極２２１ａを形成し、透明電極２３ｂの放電ギャップ側の外縁部を覆うようにバス電極２３１ａを形成している。このように放電ギャップの距離ｄ１は透明電極２２ｂ、２３ｂの距離で決まるのではなく、寸法精度よく形成されたバス電極２２１ａとバス電極２３１ａとの距離で決定する。従って、放電ギャップを寸法精度よく形成することができ、放電セル毎の放電特性のばらつきを小さく抑えることができる。

　また本実施の形態において、平均粒径が１０ｎｍのインジウム（Ｉｎ）－錫（Ｓｎ）の合金微粒子を高濃度で分散させた分散液を塗布、乾燥後、５００℃の高温で焼成して形成した透明電極２２ｂ、２３ｂは、抵抗が低く、透過率が高く、かつ前面基板２１やバス電極２２１ａ、２２２ａ、２３１ａ、２３２ａとの密着性も良好であった。これは高温焼成することによりインジウム（Ｉｎ）が透明な酸化インジウム（Ｉｎ_２Ｏ_３）に変化するとともに、微粒子間の密着性や基板との密着性がより向上したためと考えられる。

　また本実施の形態において、平均粒径が５ｎｍ～１００ｎｍの金属の微粒子を用いて透明電極２２ｂ、２３ｂを形成するものとした。これは、平均粒径が５ｎｍ以下では、微粒子と誘電体ガラスとの反応が生じやすく、また、銀（Ａｇ）を含むバス電極２２１ａ、２２２ａ、２３１ａ、２３２ａとの段差部に亀裂が生じやすくなるためである。また、平均粒径が１００ｎｍ以上になると、インクジェット塗布装置の微細ノズルに目詰まりが起こりやすくなるためである。また平均粒径が大きすぎると、焼結後の粒子間の接触面積が減少しシート抵抗が大きくなるためである。

　なお、本実施の形態においては、まず透明電極２２ｂ、２３ｂまたはウエット層２２ｂｘ、２３ｂｘを形成し、その後に透明電極２２ｂ、２３ｂまたはウエット層２２ｂｘ、２３ｂｘの外縁部を覆うようにバス電極２２１ａ、２２２ａおよびバス電極２３１ａ、２３２ａを形成した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。まずバス電極２２１ａ、２２２ａ、２３１ａ、２３２ａを形成し、その後に透明電極２２ｂ、２３ｂを形成してもよい。以下に、このようにして形成した前面板の製造方法について説明する。

　（実施の形態２）
　図５Ａと、図５Ｂと、図５Ｃと、図５Ｄと、図５Ｅとは、本発明の実施の形態２におけるパネルの前面板の製造方法を説明するための図である。

　前面板５０を製造するには、まずガラス製の前面基板５１をアルカリ洗浄する。

　次に、図５Ａに示すように、酸化ルテニウム（ＲｕＯ_２）や黒色顔料を主成分とする黒色層用ペーストを用いて、黒色層５２１ｃ、５２２ｃ、５３１ｃ、５３２ｃの前駆体５２１ｃｘ、５２２ｃｘ、５３１ｃｘ、５３２ｃｘ、およびブラックストライプ５５の前駆体５５ｘを形成する。このとき前駆体５２１ｃｘと前駆体５３１ｃｘとの距離は放電ギャップの距離ｄ１である。そして、銀（Ａｇ）を含む導電層用ペーストを用いて前駆体５２１ｃｘ、５２２ｃｘ、５３１ｃｘ、５３２ｃｘの上に導電層５２１ｄ、５２２ｄ、５３１ｄ、５３２ｄの前駆体５２１ｄｘ、５２２ｄｘ、５３１ｄｘ、５３２ｄｘを形成する。

　次に、図５Ｂに示すように、前駆体５２１ｃｘ、５２２ｃｘ、５３１ｃｘ、５３２ｃｘ、５５ｘ、５２１ｄｘ、５２２ｄｘ、５３１ｄｘ、５３２ｄｘが形成された前面基板５１を焼成して、バス電極５２１ａ、５２２ａ、５３１ａ、５３２ａ、ブラックストライプ５５を形成する。このときの焼成のピーク温度は５５０℃～６００℃が望ましく、またバス電極５２１ａ、５２２ａ、５３１ａ、５３２ａの厚みは、１μｍ～６μｍが望ましい。

　次に、透明電極５２ｂ、５３ｂを形成する。まず、平均粒径が５ｎｍ～１００ｎｍであって、インジウム（Ｉｎ）、錫（Ｓｎ）、アンチモン（Ｓｂ）、アルミニウム（Ａｌ）および亜鉛（Ｚｎ）の中の少なくとも１つの金属の微粒子、またはこれらの少なくとも１つの金属酸化物の微粒子、またはこれら金属の中の２つ以上の合金の微粒子、またはこれらの微粒子の混合物を含む分散液を作成する。

　次に、図５Ｃに示すように、インクジェット塗布装置を用いて、幅の広いストライプ状に分散液を塗布してウエット層５２ｂｘ、５３ｂｘを形成する。このとき、ウエット層５２ｂｘの放電ギャップ側の外縁部がバス電極５２１ａ上に位置するように形成し、ウエット層５３ｂｘの放電ギャップ側の外縁部がバス電極５３１ａ上に位置するように形成する。またウエット層５２ｂｘの一部がバス電極５２２ａの少なくとも一部と重なるように形成し、ウエット層５３ｂｘの一部がバス電極５３２ａの少なくとも一部と重なるように形成する。

　その後、図５Ｄに示すように、ウエット層５２ｂｘ、５３ｂｘが形成された前面基板５１を乾燥し、酸化性雰囲気中で４００℃～６００℃の温度条件で焼成して、厚み８０ｎｍ～１０００ｎｍの透明導電膜からなる透明電極５２ｂ、５３ｂを形成する。

　次に、図５Ｅに示すように、走査電極５２、維持電極５３およびブラックストライプ５５が形成された前面基板５１上に誘電体層５６と保護層５７とを形成する。

　まず、スクリーン印刷法などの公知技術により、誘電体層５６の前駆体を形成する。そして誘電体層５６の前駆体を焼成して、厚み２０μｍ～５０μｍの誘電体層５６を形成する。そして誘電体層５６の上に、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を主成分とする保護層５７を、真空蒸着法などの公知技術により形成する。

　上述した方法により製造された前面板５０を用いたパネルであっても、放電ギャップの距離ｄ１は透明電極５２ｂ、５３ｂの距離で決まるのではなく、寸法精度よく形成されたバス電極５２１ａとバス電極５３１ａとの距離で決定する。従って、放電ギャップを寸法精度よく形成することができ、放電セル毎の放電特性のばらつきを小さく抑えることができる。

　なお、実施の形態２においては、黒色層５２１ｃ、５２２ｃ、５３１ｃ、５３２ｃおよび導電層５２１ｄ、５２２ｄ、５３１ｄ、５３２ｄの前駆体５２１ｃｘ、５２２ｃｘ、５３１ｃｘ、５３２ｃｘ、５２１ｄｘ、５２２ｄｘ、５３１ｄｘ、５３２ｄｘを焼成した後、ウエット層５２ｂｘ、５３ｂｘを形成し焼成した。しかし、例えば前駆体５２１ｃｘ、５２２ｃｘ、５３１ｃｘ、５３２ｃｘ、５２１ｄｘ、５２２ｄｘ、５３１ｄｘ、５３２ｄｘの上にさらにウエット層５２ｂｘ、５３ｂｘを形成し、その後これらの前駆体５２１ｃｘ、５２２ｃｘ、５３１ｃｘ、５３２ｃｘ、５２１ｄｘ、５２２ｄｘ、５３１ｄｘ、５３２ｄｘ、５２ｂｘ、５３ｂｘを同時に焼成して走査電極５２、維持電極５３を形成してもよい。

　また、本実施の形態において、走査バス電極は２本のバス電極５２１ａ、５２２ａで構成され、維持バス電極も２本のバス電極５３１ａ、５３２ａで構成されるものとして説明した。しかし本発明はこれに限定されるものではない。

　（実施の形態３）
　図６は本発明の実施の形態３におけるパネルの表示電極対の詳細を示す図である。走査電極８２は透明電極８２ｂと梯子形状の走査バス電極８２ａとを有し、維持電極８３は透明電極８３ｂと梯子形状の維持バス電極８３ａとを有する。

　走査バス電極８２ａは、梯子形状の長い縦木の一方に相当し放電ギャップを規定するバス電極８２１ａと、梯子形状の長い縦木の他方に相当し走査電極８２の導電性を高めるためのバス電極８２２ａと、梯子形状の横木に相当しバス電極８２１ａとバス電極８２２ａとの間の抵抗を下げるためのバス電極８２３ａとを有する。維持バス電極８３ａも同様に、梯子形状の長い縦木の一方に相当し放電ギャップを規定するバス電極８３１ａと、梯子形状の長い縦木の他方に相当し維持電極８３の導電性を高めるためのバス電極８３２ａと、梯子形状の横木に相当しバス電極８３１ａとバス電極８３２ａとの間の抵抗を下げるためのバス電極８３３ａとを有する。

　このような形状のバス電極８２ａ、８３ａであっても、放電ギャップの距離ｄ１は透明電極８２ｂ、８３ｂの距離で決まるのではなく、寸法精度よく形成されたバス電極８２１ａとバス電極８３１ａとの距離で決定する。従って、バス電極８２１ａとバス電極８３１ａとを寸法精度よく形成することで、放電ギャップを寸法精度よく形成することができ、放電セル毎の放電特性のばらつきを小さく抑えることができる。

　さらに、バス電極８２１ａとバス電極８２２ａとの間の抵抗、およびバス電極８３１ａとバス電極８３２ａとの間の抵抗を下げることができるので、より安定した放電を発生させることができる。なお、図６には、３つの放電セルに対してバス電極８２３ａ、８３３ａをそれぞれ１つずつ設けた例を示したが、バス電極８２３ａ、８３３ａは必要に応じて適宜設けることができる。

　なお、実施の形態１～３において用いた具体的な各数値は、単に一例を挙げたに過ぎず、パネルの仕様などに合わせて、適宜最適な値に設定することが望ましい。

　本発明は、金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を焼成して形成した低コストの透明電極を有し、放電セル毎の放電特性のばらつきが小さく品質の高い画像を表示することができるので、パネルおよびその製造方法として有用である。

１０　　パネル
２０，５０　　前面板
２１，５１　　前面基板
２２，５２，８２　　走査電極
２２ｂ，２３ｂ，５２ｂ，５３ｂ，８２ｂ，８３ｂ　　透明電極
２２ｂｘ，２３ｂｘ，５２ｂｘ，５３ｂｘ　　ウエット層
２３，５３，８３　　維持電極
２４　　表示電極対
２５，５５　　ブラックストライプ
２５ｘ，５５ｘ　　（ブラックストライプの）前駆体
２６，５６　　誘電体層
２７，５７　　保護層
３０　　背面板
３１　　背面基板
３２　　データ電極
３２ｘ　　（データ電極の）前駆体
３３　　下地誘電体層
３４　　隔壁
３５　　蛍光体層
８２ａ，８３ａ，２２１ａ，２２２ａ，２３１ａ，２３２ａ，５２１ａ，５２２ａ，５３１ａ，５３２ａ，８２１ａ，８２２ａ，８２３ａ，８３１ａ，８３２ａ，８３３ａ　　バス電極
２２１ｃ，２２２ｃ，２３１ｃ，２３２ｃ，５２１ｃ，５２２ｃ，５３１ｃ，５３２ｃ　　黒色層
２２１ｃｘ，２２２ｃｘ，２３１ｃｘ，２３２ｃｘ，５２１ｃｘ，５２２ｃｘ，５３１ｃｘ，５３２ｃｘ　　（黒色層の）前駆体
２２１ｄ，２２２ｄ，２３１ｄ，２３２ｄ，５２１ｄ，５２２ｄ，５３１ｄ，５３２ｄ　　導電層
２２１ｄｘ，２２２ｄｘ，２３１ｄｘ，２３２ｄｘ，５２１ｄｘ，５２２ｄｘ，５３１ｄｘ，５３２ｄｘ　　（導電層の）前駆体

Claims (4)

1. １対の走査電極と維持電極との間に放電ギャップを形成した表示電極対を前面基板上に複数備えたプラズマディスプレイパネルであって、
   前記走査電極は走査バス電極と走査透明電極とを有し、前記維持電極は維持バス電極と維持透明電極とを有し、
   前記走査バス電極および前記維持バス電極は、前記放電ギャップを形成するように、それぞれ前記前面基板上に形成され、
   前記走査透明電極は放電ギャップ側の外縁部が前記走査バス電極と重なるように、前記維持透明電極は放電ギャップ側の外縁部が前記維持バス電極と重なるように、それぞれ金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を用いて形成されたことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
2. 前記金属の微粒子または前記金属酸化物の微粒子は、インジウムおよび錫を含むことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
3. １対の走査電極と維持電極との間に放電ギャップを形成した表示電極対を前面基板上に複数備えたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
   前記走査電極は走査バス電極と走査透明電極とを有し、前記維持電極は維持バス電極と維持透明電極とを有し、
   前記走査バス電極および前記維持バス電極を、前記放電ギャップを形成するように、それぞれ前記前面基板上に形成し、
   前記走査透明電極を放電ギャップ側の外縁部が前記走査バス電極と重なるように、前記維持透明電極を放電ギャップ側の外縁部が前記維持バス電極と重なるように、それぞれ金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を用いて形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
4. 前記分散液をインクジェット法で塗布したことを特徴とする請求項３に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。

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