JP2011108389A - プラズマディスプレイパネル - Google Patents

Abstract

【課題】放電特性のばらつきが少なく輝度が高く、かつ生産性が高いプラズマディスプレイパネルを提供する。
【解決手段】走査電極２２は走査バス電極２２ａと走査透明電極２２ｂとを有し、維持電極２３は維持バス電極２３ａと維持透明電極２３ｂとを有し、走査バス電極２２ａおよび維持バス電極２３ａのそれぞれは、複数の細線部２２１ａ、２２２ａ、２３１ａ、２３２ａと、細線部２２１ａ、２２２ａ、２３１ａ、２３２ａを電気的に接続するブリッジ部２２３ａ、２３３ａとを有する梯子状に形成され、走査透明電極２２ｂは走査バス電極２２ａの隙間に、維持透明電極２３ｂは維持バス電極２３ａの隙間に、それぞれ金属または金属酸化物の微粒子を含む分散液を塗布し焼成して形成され、赤、緑、青のいずれかの蛍光体層のうち、発光強度の最も高い蛍光体層が塗布された放電セルにブリッジ部２２３ａ、２３３ａが設けられている。
【選択図】図２Ａ

Description

本発明は、表示デバイス等に用いる交流面放電型プラズマディスプレイパネルに関する。

プラズマディスプレイパネル（以下、単に「パネル」と略記する）として代表的な交流面放電型パネルは、対向配置された前面板と背面板との間に多数の放電セルが形成されている。前面板は、ガラス製の前面基板上に形成された走査電極と維持電極とからなる表示電極対と、それらを覆う誘電体層および保護層を有する。背面板は、ガラス製の背面基板上に形成されたデータ電極と、それを覆う誘電体層と、隔壁と、赤、緑、青の蛍光体層とを有する。そして、表示電極対とデータ電極とが立体交差するように前面板と背面板とが対向配置されて密封され、内部の放電空間には放電ガスが封入されている。ここで表示電極対とデータ電極とが対向する部分に隔壁で仕切られた放電セルが形成される。そして赤の蛍光体層を有する放電セル（赤の放電セル）と緑の蛍光体層を有する放電セル（緑の放電セル）と青の蛍光体層を有する放電セル（青の放電セル）との１組で１画素を構成している。このように構成されたパネルの各放電セル内でガス放電を発生させ、赤の放電セル、緑の放電セル、青の放電セルを画像信号にもとづく明るさで発光させてカラー表示を行っている。

ここで赤の放電セルと緑の放電セルと青の放電セルとを同時に発光させることで白を表示することができる。しかし各色の放電セルの発光強度にアンバランスがあると、各色の放電セルを最大の輝度で発光させたときの白の色座標が望みの白色の色度（ホワイトバランス）からずれてしまう。例えば青の蛍光体はホワイトバランスに対する発光強度が低く、各色の放電セルを最大の輝度で発光させたとき黄色がかった色温度の低い白となる傾向がある。

この問題を解決するために、ホワイトバランスに対する発光強度の低い蛍光体層を有する放電セルのセル幅を、ホワイトバランスに対する発光強度の高い蛍光体層を有する放電セルのセル幅よりも広く設定することにより、各色の放電セルのホワイトバランスに対する発光強度を等しくして、各色の放電セルを最大の輝度で発光させたときの白の色座標が望みの白色の色度となるパネルが開示されている（例えば、特許文献１参照）。

パネルの走査電極および維持電極のそれぞれは、例えば幅の広いストライプ状の透明電極の上に幅の狭いストライプ状のバス電極を積層して形成されている。透明電極は、例えばスパッタ法等を用いて前面基板上に形成されたＩＴＯ薄膜を、フォトリソグラフ法等によりストライプ状にパターニングして形成する。またバス電極は、透明電極上に銀ペーストをストライプ状に印刷し焼成して形成する。しかしながらスパッタ法等でＩＴＯ薄膜を形成するためには真空装置や露光機等の設備が必要となり、生産設備が大型になるだけでなく、生産性が低いという問題点があった。

これらの課題を解決するために、インジウム、錫、アンチモン、アルミニウムおよび亜鉛から選ばれた金属の微粒子を含有する分散液を塗布、焼成して、透明電極を形成する方法が開示されている（例えば、特許文献２参照）。

また、インジウム、錫および亜鉛から選ばれた金属の酸化物微粒子を含有する分散液を塗布、焼成して、透明電極を形成する方法も開示されている（例えば、特許文献３参照）。

特開平１０−３０８１７９号公報 特開２００５−１８３０５４号公報 特開２００５−１６６３５０号公報

透明電極を形成するための分散液を塗布する方法として、厚膜印刷法、インクジェット法等を用いることができる。しかしながら、厚膜印刷法は印刷精度に限界があり、精度のよい透明電極を形成することが困難である。また、インクジェット法はエッジ形状の直線性のよい電極パターンを形成することが難しい。

特に放電セル内部の走査電極と維持電極との距離、すなわち放電ギャップの距離はその放電セルの放電特性を大きく左右する。そのため透明電極の印刷精度が悪く放電ギャップの距離のばらつきが大きいと放電セル毎の放電特性のばらつきも大きくなり、表示画面にむらが発生して画像表示品質が低下するという課題があった。

また、金属電極のみで梯子状のパターンを有する電極を形成すると、電極エッジの直線性とパターン精度は比較的良好であるが、電極による遮光面積が広くなり、輝度が低くなってしまうという課題があった。

本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、放電特性のばらつきが少なく輝度が高く、かつ生産性が高いパネルを提供することを目的とする。

上記目的を達成するために本発明は、１対の走査電極と維持電極とからなる表示電極対を複数形成した前面基板と表示電極対に対して交差する方向にデータ電極を複数形成した背面基板とを対向配置し、表示電極対とデータ電極とが対向する位置に赤、緑、青のいずれかの蛍光体層を塗布した放電セルを形成したパネルであって、走査電極は走査バス電極と走査透明電極とを有し、維持電極は維持バス電極と維持透明電極とを有し、走査バス電極および維持バス電極のそれぞれは、複数の細線部とその細線部を電気的に接続するブリッジ部とを有する梯子状に形成され、走査透明電極は、梯子状に形成された走査バス電極の隙間に金属または金属酸化物の微粒子を含む分散液を塗布し焼成して形成され、維持透明電極は、梯子状に形成された維持バス電極の隙間に金属または金属酸化物の微粒子を含む分散液を塗布し焼成して形成され、走査バス電極および維持バス電極のそれぞれのブリッジ部は、赤、緑、青のいずれかの蛍光体層のうち、発光強度の最も高い蛍光体層が塗布された放電セルに設けたことを特徴とする。この構成により、放電特性のばらつきが少なく輝度が高く、かつ生産性が高いパネルを提供することができる。

また本発明のパネルの上記微粒子は、インジウムおよび錫を含むことが望ましい。

また本発明のパネルは、分散液をインクジェット法で塗布してもよい。

また本発明のパネルは、ブリッジ部を設ける放電セルのセル幅は、ブリッジ部を設けない放電セルのセル幅よりも広く設定されていることが望ましい。

本発明によれば、放電特性のばらつきが少なく輝度が高く、かつ生産性が高いパネルを提供することが可能となる。

本発明の実施の形態１におけるパネルの分解斜視図である。 同パネルの表示電極対の詳細を示すパネルの正面図である。 同パネルの表示電極対の詳細を示す前面板の断面図である。 同パネルの前面板の製造方法を示す図である。 同パネルの前面板の製造方法を示す図である。 同パネルの前面板の製造方法を示す図である。 同パネルの前面板の製造方法を示す図である。 同パネルの前面板の製造方法を示す図である。 同パネルの背面板の製造方法を示す図である。 同パネルの背面板の製造方法を示す図である。 同パネルの背面板の製造方法を示す図である。 同パネルの背面板の製造方法を示す図である。 同パネルの背面板の製造方法を示す図である。 本発明の実施の形態２におけるパネルの前面板の製造方法を示す図である。 同パネルの前面板の製造方法を示す図である。 同パネルの前面板の製造方法を示す図である。 同パネルの前面板の製造方法を示す図である。 同パネルの前面板の製造方法を示す図である。

以下、本発明の実施の形態におけるパネルについて、図面を用いて説明する。

（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１におけるパネルの分解斜視図である。パネル１０は、前面板２０と背面板３０とを対向配置し、周辺部を封着部材（図示せず）を用いて封着することにより構成されており、内部に多数の放電セルが形成されている。

前面板２０は、ガラス製の前面基板２１と、走査電極２２と維持電極２３とからなる表示電極対２４と、ブラックストライプ２５と、誘電体層２６と、保護層２７とを有する。前面基板２１上には１対の走査電極２２と維持電極２３とからなる表示電極対２４が互いに平行に複数形成されている。そして隣り合う表示電極対２４の間にはブラックストライプ２５が形成されている。図１には表示電極対２４とブラックストライプ２５とが、走査電極２２、維持電極２３、ブラックストライプ２５、走査電極２２、維持電極２３、ブラックストライプ２５、・・・となるように形成されている図面を示した。しかし表示電極対２４とブラックストライプ２５とが、走査電極２２、維持電極２３、ブラックストライプ２５、維持電極２３、走査電極２２、ブラックストライプ２５、走査電極２２、維持電極２３、ブラックストライプ２５、維持電極２３、走査電極２２、ブラックストライプ２５、・・・となるように形成されていてもよい。

そしてそれら表示電極対２４およびブラックストライプ２５を覆うように誘電体層２６が形成され、誘電体層２６上に保護層２７が形成されている。

背面板３０は、ガラス製の背面基板３１と、データ電極３２と、誘電体層３３と、隔壁３４と、蛍光体層３５とを有する。背面基板３１上には、複数のデータ電極３２が互いに平行に形成されている。そしてデータ電極３２を覆うように誘電体層３３が形成され、さらにその上に縦隔壁３４ｖと横隔壁３４ｈとからなる井桁状の隔壁３４が形成され、誘電体層３３の表面と隔壁３４の側面とに赤の蛍光体層３５Ｒ、緑の蛍光体層３５Ｇ、青の蛍光体層３５Ｂが形成されている。

そして、表示電極対２４とデータ電極３２とが立体交差するように前面板２０と背面板３０とが対向配置され、表示電極対２４とデータ電極３２とが対向する位置に赤、緑、青のいずれかの蛍光体層を塗布した放電セルが形成される。放電セルが形成された画像表示領域の外側の位置で、低融点ガラスを用いて前面板２０と背面板３０とが封着され、内部の放電空間には放電ガスが封入されている。

図２Ａおよび図２Ｂは、本発明の実施の形態１におけるパネル１０の表示電極対２４の詳細を示す図であり、図２Ａはパネル１０を前面板２０側から見た正面図、図２Ｂは前面板２０の断面図である。

走査電極２２は走査バス電極２２ａと走査透明電極２２ｂとを有する。走査バス電極２２ａは、不透明な２本の細線部２２１ａ、２２２ａおよびこれら２本の細線部２２１ａ、２２２ａを電気的に接続するブリッジ部２２３ａとを有する梯子状の形状である。ブリッジ部２２３ａは、細線部２２１ａ、２２２ａの一部が断線した場合であっても電気的な接続を保障する構造であり、細線部２２１ａ、２２２ａの線幅を細くして光の透過率を高くしても断線を抑えることができる。走査透明電極２２ｂは、梯子状に形成されたバス電極２２ａの隙間に、金属または金属酸化物の微粒子を含む分散液を塗布し焼成して形成されている。

維持電極２３は維持バス電極２３ａと維持透明電極２３ｂとを有する。維持バス電極２３ａは、不透明な２本の細線部２３１ａ、２３２ａおよびこれら２本の細線部２３１ａ、２３２ａを電気的に接続するブリッジ部２３３ａとを有する梯子状の形状である。ブリッジ部２３３ａは、細線部２３１ａ、２３２ａの一部が断線した場合であっても電気的な接続を保障する構造であり、細線部２３１ａ、２３２ａの線幅を細くして光の透過率を高くしても断線の発生を抑えることができる。維持透明電極２３ｂは、梯子状に形成されたバス電極２３ａの隙間に、金属または金属酸化物の微粒子を含む分散液を塗布し焼成して形成されている。

そして細線部２２１ａと細線部２３１ａとの間に放電ギャップが形成される。

走査バス電極２２ａの細線部２２１ａ、２２２ａのそれぞれは黒色層２２１ｃ、２２２ｃと導電層２２１ｄ、２２２ｄとからなる。図示していないが、ブリッジ部２２３ａも同様に黒色層２２３ｃと導電層２２３ｄとからなる。維持バス電極２３ａの細線部２３１ａ、２３２ａのそれぞれも黒色層２３１ｃ、２３２ｃと導電層２３１ｄ、２３２ｄとからなり、ブリッジ部２３３ａも同様に黒色層２３３ｃ（図示せず）と導電層２３３ｄ（図示せず）とからなる。以下、走査バス電極２２ａ、および維持バス電極２３ａをそれぞれ単に「バス電極２２ａ」および「バス電極２３ａ」と称する。また走査透明電極２２ｂおよび維持透明電極２３ｂをそれぞれ単に「透明電極２２ｂ」および「透明電極２３ｂ」と称する。

黒色層２２１ｃ、２２２ｃ、２２３ｃ、２３１ｃ、２３２ｃ、２３３ｃは、パネルを画像表示面側から見たときにバス電極２２ａ、２３ａを黒く見せるために設けられており、例えば酸化ルテニウムを主成分とする黒色の材料を前面基板２１の上に梯子状に形成したものである。そして導電層２２１ｄ、２２２ｄ、２２３ｄ、２３１ｄ、２３２ｄ、２３３ｄは、バス電極２２ａ、２３ａの導電性を高めるために設けられており、黒色層２２１ｃ、２２２ｃ、２２３ｃ、２３１ｃ、２３２ｃ、２３３ｃの上に銀を含む導電性の材料を積層して形成したものである。

ブラックストライプ２５は、パネルを画像表示面側から見たときに画像表示面を黒く見せるために設けられており、例えば酸化ルテニウムを主成分とする黒色の材料を前面基板２１上に形成したものである。

本実施の形態では、黒色層として酸化ルテニウムを主成分とする黒色の材料を用いているが、本発明はこの材料に限定されるものではなく、黒色顔料を主成分とした材料等、黒色に見える他の材料を用いてもよい。

透明電極２２ｂ、２３ｂは、放電空間に強い電界を発生して放電を発生させるとともに、蛍光体層３５で発生した光をパネル外部へ取り出すために設けられている。

本実施の形態においては、ブリッジ部２２３ａ、２３３ａを形成する位置を、ホワイトバランスに対する発光強度の最も高い蛍光体層、本実施の形態においては赤の蛍光体層３５Ｒを有する放電セルのほぼ中心の位置に形成した。さらに、各色の放電セルのホワイトバランスに対する発光強度が等しくなるように放電セルのセル幅を設定している。その結果、ブリッジ部２２３ａ、２３３ａを設ける放電セルのセル幅はブリッジ部を設けない放電セルのセル幅よりも広く設定している。本実施の形態においては、緑の放電セルのセル幅Ｗｇと青の放電セルのセル幅Ｗｂとが等しく、赤の放電セルのセル幅Ｗｒが、緑の放電セルのセル幅Ｗｇおよび青の放電セルのセル幅Ｗｂの１．２倍となるように設定した。

このように、赤、緑、青のいずれかの蛍光体層のうち、ホワイトバランスに対する発光強度の最も高い蛍光体層が塗布された放電セルの位置にブリッジ部２２３ａ、２３３ａを設けた理由は以下のとおりである。

仮に、ブリッジ部２２３ａ、２３３ａを縦隔壁３４ｖと重なる位置に設定すると仮定すると、放電セルの発光が妨げられることがなく、輝度の高いパネルを実現することができる。しかしながら、ブリッジ部２２３ａ、２３３ａの位置が縦隔壁３４ｖから少しでもずれると、ずれ量に応じて放電セルの発光が妨げられ、その放電セルの輝度が低下する。そしてこのような放電セルの輝度低下は色むらや輝度むらとして視認され、画像表示品質を大きく損なう。

パネルの製造上、ブリッジ部２２３ａ、２３３ａと縦隔壁３４ｖとの位置ずれを表示画面全体にわたって「０」に抑えることは困難である。そのため本実施の形態においては、ブリッジ部２２３ａ、２３３ａを放電セルのほぼ中央となる位置に設定した。ブリッジ部２２３ａ、２３３ａをこの位置に設定すると、放電セルの発光を遮蔽するため輝度は低下するものの、ブリッジ部２２３ａ、２３３ａが縦隔壁３４ｖと重ならない限り輝度はほとんど変化しないため、色むら、輝度むらを抑制することができる。

ブリッジ部２２３ａ、２３３ａは、走査電極２２および維持電極２３の電気的な接続を保障する構造であるので、全ての放電セルに対して設ける必要はない。しかしブリッジ部２２３ａ、２３３ａが少なすぎると走査電極２２および維持電極２３の断線の確率が高くなることと、ブリッジ部２２３ａ、２３３ａを設けた放電セルが特異点として視認されやすくなるため、本実施の形態においては、１画素に１つのブリッジ部２２３ａ、２３３ａを設けている。

この場合、赤の放電セル、緑の放電セル、青の放電セルのいずれにブリッジ部２２３ａ、２３３ａを設けた場合であっても、各色の放電セルのホワイトバランスに対する発光強度が等しくなるように放電セルのセル幅を設定すると、パネルの輝度に大きな差はない。したがって、輝度の観点からは、いずれの色の放電セルにブリッジ部２２３ａ、２３３ａを設けてもよい。

しかしながら、ホワイトバランスに対する発光強度の最も高い蛍光体層を有する放電セルにブリッジ部２２３ａ、２３３ａを設けることにより、ホワイトバランスに対する発光強度が等しくなるように放電セルのセル幅を設定したときの各色の放電セルのセル幅の差を最も小さくすることができる。放電特性は放電セルのセル幅により大きく変化するので、各色の放電セルのセル幅の差を小さくすることにより赤の放電セル、緑の放電セル、青の放電セルの放電特性を揃えることができる。そのため、本実施の形態においては、ブリッジ部２２３ａ、２３３ａを、ホワイトバランスに対する発光強度の最も高い赤の蛍光体層３５Ｒを有する放電セルのほぼ中心の位置に形成した。

なお、ホワイトバランスに対する発光強度の最も高い蛍光体は、使用する赤、緑、青の蛍光体の組合せに依存する。したがって、使用する蛍光体の組合せにもとづき、ホワイトバランスに対する発光強度の最も高い蛍光体層を有する放電セルのほぼ中心の位置にブリッジ部２２３ａ、２３３ａを形成することが望ましい。

次に、本実施の形態におけるパネル１０の製造方法について説明する。図３Ａ〜図３Ｅは、本発明の実施の形態１におけるパネル１０の前面板２０の製造方法を示す図である。

まずガラス製の前面基板２１をアルカリ洗浄した後、透明電極２２ｂ、２３ｂを形成する。透明電極２２ｂ、２３ｂを形成するには、まず、平均粒径が５ｎｍ〜１００ｎｍであって、インジウム、錫、アンチモン、アルミニウムおよび亜鉛の中の少なくとも１つの金属の微粒子、またはこれら金属の中の少なくとも１つの金属の酸化物の微粒子（これら金属の中の２つ以上の元素を含む、いわゆる複合酸化物の微粒子を含む）、またはこれら金属の中の２つ以上の合金の微粒子、またはこれらの微粒子の混合物を含む分散液を作成する。本実施の形態においては、平均粒径が１０ｎｍのインジウム−錫の合金微粒子を１２ｗｔ％の濃度で分散剤とともに有機溶媒中に分散させ、分散液を作成した。なお、有機溶媒としては、デカヒドロナフタレンを用いたが、これ以外にも、例えば、トルエン、キシレン、ベンゼン、テトラデカンのような無極性溶媒、芳香族炭化水素類、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン、テトラデカン、ペンタデカン、ヘキサデカン、オクタデカン、ノナデカン、エイコサン、トリメチルペンタン等の長鎖アルカン、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン等の環状アルカン等を用いることができる。

次に、インクジェット法を用いて、ストライプ状に分散液を塗布して透明電極２２ｂ、２３ｂの前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘを形成する。本実施の形態においては、多数穴の微細ノズルを有するインクジェット塗布装置を用いて、透明電極２２ｂ、２３ｂの前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘを形成した。このとき、放電ギャップ側の前駆体２２ｂｘと前駆体２３ｂｘとの距離ｄ２は、放電ギャップの距離ｄ１よりも広くなるように塗布した（図３Ａ）。

その後、前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘが形成された前面基板２１を乾燥し、酸化性雰囲気中で４００℃〜６００℃で焼成して、８０ｎｍ〜１０００ｎｍの透明導電膜からなる透明電極２２ｂ、２３ｂを形成する。本実施の形態においては、まず前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘが形成された前面基板２１を１×１０^−３Ｐａの減圧下において２３０℃で１０ｍｉｎ保持して乾燥した。そしてその後、大気中で５００℃で６０ｍｉｎ保持して焼成し、厚さ約３００ｎｍのＩＴＯ膜からなる透明電極２２ｂ、２３ｂを形成した（図３Ｂ）。

その後、酸化ルテニウムや黒色顔料を主成分とする黒色層用ペーストを用いて、黒色層２２１ｃ、２２２ｃ、２２３ｃ（図示せず）、２３１ｃ、２３２ｃ、２３３ｃ（図示せず）の前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２２３ｃｘ（図示せず）、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２３３ｃｘ（図示せず）およびブラックストライプ２５の前駆体２５ｘを形成する。このとき、前駆体２２１ｃｘは透明電極２２ｂの放電ギャップ側の外縁部を覆うように形成し、前駆体２３１ｃｘは透明電極２３ｂの放電ギャップ側の外縁部を覆うように形成する。そして前駆体２２１ｃｘと前駆体２３１ｃｘとの距離は放電ギャップの距離ｄ１である。また前駆体２２２ｃｘは少なくとも透明電極２２ｂの一部と重なるように形成し、前駆体２３２ｃｘは少なくとも透明電極２３ｂの一部と重なるように形成する。そして、銀を含む導電層用ペーストを用いて前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２２３ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２３３ｃｘの上に導電層２２１ｄ、２２２ｄ、２２３ｄ（図示せず）、２３１ｄ、２３２ｄ、２３３ｄ（図示せず）の前駆体２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２２３ｄｘ（図示せず）、２３１ｄｘ、２３２ｄｘ、２３３ｄｘ（図示せず）を形成する。

バス電極２２ａの細線部２２１ａとバス電極２３ａの細線部２３１ａとは放電ギャップを形成するので、それらの前駆体である前駆体２２１ｃｘ、２３１ｃｘ、２２１ｄｘ、２３１ｄｘも精度よく形成する必要がある。本実施の形態においては、スクリーン印刷法を用いて感光性の黒色層用ペーストを前面基板２１の全面に塗布し露光マスクを用いて露光する。その後、感光性の導電層用ペーストを前面基板２１の全面に塗布し露光マスクを用いて露光する。そしてその後、現像を行って前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２２３ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２３３ｃｘ、２５ｘ、２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２２３ｄｘ、２３１ｄｘ、２３２ｄｘ、２３３ｄｘを形成した（図３Ｃ）。

次に、前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２２３ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２３３ｃｘ、２５ｘ、２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２２３ｄｘ、２３１ｄｘ、２３２ｄｘ、２３３ｄｘが形成された前面基板２１を焼成して、細線部２２１ａ、２２２ａ、２３１ａ、２３２ａ、ブリッジ部２２３ａ、２３３ａ、ブラックストライプ２５を形成する。このときの焼成のピーク温度は５５０℃〜６００℃が望ましく、本実施の形態においては５８０℃である。また細線部２２１ａ、２２２ａ、２３１ａ、２３２ａ、ブリッジ部２２３ａ、２３３ａの厚みは、１μｍ〜６μｍが望ましく、本実施の形態においては４μｍである（図３Ｄ）。

次に、走査電極２２、維持電極２３およびブラックストライプ２５が形成された前面基板２１上に、スクリーン印刷法等の公知技術により、誘電体層の前駆体を形成する。そして誘電体層の前駆体を焼成して、厚み２０μｍ〜５０μｍの誘電体層２６を形成する。

本実施の形態においては、酸化硼素３５ｗｔ％、酸化硅素１．４ｗｔ％、酸化亜鉛２７．６ｗｔ％、酸化物バリウム３．３ｗｔ％、酸化ビスマス２５ｗｔ％、酸化アルミニウム１．１ｗｔ％、酸化モリブデン４．０ｗｔ％、酸化タングステン３．０ｗｔ％を含んだ誘電体ガラスを含む誘電体ペーストを作成した。このようにして作成された誘電体ガラスの軟化点は約５７０℃である。そして走査電極２２、維持電極２３およびブラックストライプ２５が生成された前面基板２１上にダイコート法により誘電体ペーストを塗布して誘電体層の前駆体を形成した。そして誘電体層の前駆体を約５９０℃で焼成して誘電体層２６を形成した。このときの誘電体層２６の厚みは約４０μｍである。

なお、誘電体ペーストとしては、上記以外にも、例えば、酸化硼素、酸化硅素、酸化亜鉛、アルカリ土類酸化物、アルカリ金属酸化物、酸化ビスマス、酸化アルミニウム、酸化モリブデン、酸化タングステン、酸化セリウム等の中からいくつかを含んだ軟化点５２０℃〜５９０℃の誘電体ガラスを含む誘電体ペーストを用いることができる。

そして誘電体層２６の上に、酸化マグネシウムを主成分とする保護層２７を、真空蒸着法等の公知技術により形成する（図３Ｅ）。

なお本実施の形態においては、インジウム−錫の合金微粒子を用いてストライプ状にＩＴＯ膜からなる透明電極２２ｂ、２３ｂを形成したが、上記以外にも、例えば錫の微粒子を用いて酸化錫膜からなる透明電極を形成してもよく、また亜鉛の微粒子を用いて酸化亜鉛膜からなる透明電極を形成してもよい。また、インジウム−錫の複合酸化物微粒子（ＩＴＯ微粒子）を用いてＩＴＯ膜からなる透明電極を形成してもよく、酸化錫の微粒子を用いて酸化錫膜からなる透明電極を形成してもよく、また酸化亜鉛の微粒子を用いて酸化亜鉛膜からなる透明電極を形成してもよい。

また本実施の形態では、透明電極２２ｂ、２３ｂの前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘを焼成した後、黒色層２２１ｃ、２２２ｃ、２３１ｃ、２３２ｃおよび導電層２２１ｄ、２２２ｄ、２３１ｄ、２３２ｄの前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２３１ｄｘ、２３２ｄｘを形成し焼成した。しかし、例えば透明電極２２ｂ、２３ｂの前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘの上にさらに黒色層２２１ｃ、２２２ｃ、２３１ｃ、２３２ｃおよび導電層２２１ｄ、２２２ｄ、２３１ｄ、２３２ｄの前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２３１ｄｘ、２３２ｄｘを形成し、その後これらの前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘ、２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２３１ｄｘ、２３２ｄｘを同時に焼成して走査電極２２、維持電極２３を形成してもよい。

次に背面板３０の製造方法について説明する。図４Ａ〜図４Ｅは、本発明の実施の形態１における背面板３０の製造方法を示す図である。

まず、スクリーン印刷法、フォトリソグラフィー法等の公知技術を用いて、背面基板３１上に、銀を主成分とする導電層用ペーストを一定間隔でストライプ状に塗布し、データ電極３２の前駆体３２ｘを形成する（図４Ａ）。

次に、前駆体３２ｘが形成された背面基板３１を焼成して、データ電極３２を形成する。データ電極３２の厚みは、例えば２μｍ〜１０μｍであり、本実施の形態では３μｍである（図４Ｂ）。

続いて、データ電極３２を形成した背面基板３１上に誘電体ペーストを塗布し、この後焼成して誘電体層３３を形成する。誘電体層３３の厚みは、例えば約５μｍ〜１５μｍであり、本実施の形態では１０μｍである（図４Ｃ）。

続いて、誘電体層３３を形成した背面基板３１上に感光性の誘電体ペーストを塗布した後、焼成して隔壁３４の前駆体を形成する。その後、露光マスクを用いて感光し、エッチングして隔壁３４を形成する。隔壁３４の高さは、例えば１００μｍ〜１５０μｍであり、本実施の形態では１２０μｍである（図４Ｄ）。

そして、隔壁３４の壁面および誘電体層３３の表面に、赤色蛍光体、緑色蛍光体、青色蛍光体のいずれかを含む蛍光体インクを塗布する。その後乾燥、焼成して蛍光体層３５を形成する。

赤色蛍光体としては、例えば（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ_３：Ｅｕ、（Ｙ，Ｖ）ＰＯ_４：Ｅｕ等を、緑色蛍光体としては、例えばＺｎ_２ＳｉＯ_４：Ｍｎ、（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ_３：Ｔｂ、（Ｙ，Ｇｄ）Ａｌ_３（ＢＯ_３）_４：Ｔｂ等を、青色蛍光体としては、例えばＢａＭｇＡｌ_１０Ｏ_１７：Ｅｕ、Ｓｒ_３ＭｇＳｉ_２Ｏ_８：Ｅｕ等をそれぞれ用いることができる（図４Ｅ）。

そして上述した前面板２０と背面板３０とを、表示電極対２４とデータ電極３２とが立体交差するように対向配置し、放電セルが形成された画像表示領域の外側の位置で低融点ガラスを用いて封着する。その後、内部の放電空間にキセノンを含む放電ガスを封入して、パネル１０が完成する。

本実施の形態においては、上述したようにインクジェット法を用いて透明電極２２ｂ、２３ｂを形成した。インクジェット法によれば必要な部分にのみ分散液を塗布するので材料の無駄がなく、また複雑なパターンであっても容易に対応できるという利点がある。その反面、インクの液滴が着弾したときのスポット径で塗布形状精度が制限されるため、精度の高い塗布が難しいという欠点がある。本実施の形態においては、走査電極２２側の細線部２２１ａと維持電極２３側の細線部２３１ａで放電ギャップを形成しているので、放電ギャップを精度よく形成することができ、放電セル毎の放電特性のばらつきを抑えることができる。

なお、本実施の形態においては、最初に透明電極２２ｂ、２３ｂまたはその前駆体を形成し、その後にバス電極２２ａ、２３ａまたはその前駆体を形成したが、最初にバス電極２２ａ、２３ａまたはその前駆体を形成し、その後に透明電極２２ｂ、２３ｂまたはその前駆体を形成してもよい。次にその詳細について説明する。

（実施の形態２）
図５Ａ〜図５Ｅは、本発明の実施の形態２におけるパネル１０の前面板２０の製造方法を示す図である。

まずガラス製の前面基板２１をアルカリ洗浄した後、酸化ルテニウムや黒色顔料を主成分とする黒色層用ペーストを用いて、黒色層２２１ｃ、２２２ｃ、２２３ｃ（図示せず）、２３１ｃ、２３２ｃ、２３３ｃ（図示せず）の前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２２３ｃｘ（図示せず）、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２３３ｃｘ（図示せず）およびブラックストライプ２５の前駆体２５ｘを形成する。前駆体２２１ｃｘと前駆体２３１ｃｘとの距離は放電ギャップの距離ｄ１である。そして、銀を含む導電層用ペーストを用いて前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２２３ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２３３ｃｘの上に導電層２２１ｄ、２２２ｄ、２２３ｄ（図示せず）、２３１ｄ、２３２ｄ、２３３ｄ（図示せず）の前駆体２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２２３ｄｘ（図示せず）、２３１ｄｘ、２３２ｄｘ、２３３ｄｘ（図示せず）を形成する。

本実施の形態においては、スクリーン印刷法を用いて感光性の黒色層用ペーストを前面基板２１の全面に塗布し露光マスクを用いて露光する。その後、感光性の導電層用ペーストを前面基板２１の全面に塗布し露光マスクを用いて露光する。そしてその後、現像を行って前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２２３ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２３３ｃｘ、２５ｘ、２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２２３ｄｘ、２３１ｄｘ、２３２ｄｘ、２３３ｄｘを形成する（図５Ａ）。

次に、前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２２３ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２３３ｃｘ、２５ｘ、２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２２３ｄｘ、２３１ｄｘ、２３２ｄｘ、２３３ｄｘが形成された前面基板２１を焼成して、細線部２２１ａ、２２２ａ、２３１ａ、２３２ａ、ブリッジ部２２３ａ、２３３ａ、ブラックストライプ２５を形成する（図５Ｂ）。

次に透明電極２２ｂ、２３ｂを形成する。透明電極２２ｂ、２３ｂを形成するには、まず、平均粒径が５ｎｍ〜１００ｎｍであって、インジウム、錫、アンチモン、アルミニウムおよび亜鉛の中の少なくとも１つの金属の微粒子、またはこれら金属の中の少なくとも１つの金属の酸化物の微粒子（これら金属の中の２つ以上の元素を含む、いわゆる複合酸化物の微粒子を含む）、またはこれら金属の中の２つ以上の合金の微粒子、またはこれらの微粒子の混合物を含む分散液を作成する。

次に、インクジェット法を用いて、上記分散液を梯子状のバス電極２２ａ、２２ｂの隙間にストライプ状または短冊状に塗布して透明電極２２ｂ、２３ｂの前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘを形成する。本実施の形態においては、多数穴の微細ノズルを有するインクジェット塗布装置を用いて、透明電極２２ｂ、２３ｂの前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘを形成する（図５Ｃ）。

その後、前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘが形成された前面基板２１を非酸化性雰囲気中で乾燥し、酸化性雰囲気中で４００℃〜６００℃で焼成して、８０ｎｍ〜１０００ｎｍの透明導電膜からなる透明電極２２ｂ、２３ｂを形成する（図５Ｄ）。

次に、走査電極２２、維持電極２３およびブラックストライプ２５が形成された前面基板２１上に、スクリーン印刷法等の公知技術により、誘電体層の前駆体を形成する。そして誘電体層の前駆体を焼成して、厚み２０μｍ〜５０μｍの誘電体層２６を形成する。

そして誘電体層２６の上に、酸化マグネシウムを主成分とする保護層２７を、真空蒸着法等の公知技術により形成する（図５Ｅ）。

このようにしても本実施の形態におけるパネル１０の前面板２０を製造することができる。

なお、実施の形態１、２においては、ブリッジ部２２３ａ、２３３ａを１画素毎に１つずつ設けたパネル１０について説明した。しかし本発明はこれに限定されるものではなく、ブリッジ部２２３ａ、２３３ａを２画素毎に１つずつ設ける等、複数画素毎に１つずつ設けてもよい。

また、実施の形態１、２において用いた具体的な各数値は、単に一例を挙げたに過ぎず、パネルの仕様等に合わせて、適宜最適な値に設定することが望ましい。

本発明は、放電特性のばらつきが少なく輝度が高く、かつ生産性が高いパネルを提供でき、パネルとして有用である。

１０ パネル
２０ 前面板
２１ 前面基板
２２ 走査電極
２２ａ，２３ａ バス電極
２２ｂ，２３ｂ 透明電極
２２ｂｘ，２３ｂｘ （透明電極の）前駆体
２３ 維持電極
２４ 表示電極対
２５ ブラックストライプ
２５ｘ （ブラックストライプの）前駆体
２６，３３ 誘電体層
２７ 保護層
３０ 背面板
３１ 背面基板
３２ データ電極
３２ｘ （データ電極の）前駆体
３４ 隔壁
３４ｈ 横隔壁
３４ｖ 縦隔壁
３５，３５Ｒ，３５Ｇ，３５Ｂ 蛍光体層
２２１ａ，２２２ａ，２３１ａ，２３２ａ 細線部
２２３ａ，２３３ａ ブリッジ部
２２１ｃ，２２２ｃ，２３１ｃ，２３２ｃ 黒色層
２２１ｃｘ，２２２ｃｘ，２３１ｃｘ，２３２ｃｘ （黒色層の）前駆体
２２１ｄ，２２２ｄ，２３１ｄ，２３２ｄ 導電層
２２１ｄｘ，２２２ｄｘ，２３１ｄｘ，２３２ｄｘ （導電層の）前駆体

Claims (4)

1. １対の走査電極と維持電極とからなる表示電極対を複数形成した前面基板と、前記表示電極対に対して交差する方向にデータ電極を複数形成した背面基板と、を対向配置し、前記表示電極対と前記データ電極とが対向する位置に赤、緑、青のいずれかの蛍光体層を塗布した放電セルを形成したプラズマディスプレイパネルであって、
   前記走査電極は走査バス電極と走査透明電極とを有し、前記維持電極は維持バス電極と維持透明電極とを有し、
   前記走査バス電極および前記維持バス電極のそれぞれは、複数の細線部と、前記細線部を電気的に接続するブリッジ部とを有する梯子状に形成され、
   前記走査透明電極は、梯子状に形成された前記走査バス電極の隙間に、金属または金属酸化物の微粒子を含む分散液を塗布し焼成して形成され、
   前記維持透明電極は、梯子状に形成された前記維持バス電極の隙間に、金属または金属酸化物の微粒子を含む分散液を塗布し焼成して形成され、
   前記走査バス電極および前記維持バス電極のそれぞれのブリッジ部は、赤、緑、青のいずれかの蛍光体層のうち、発光強度の最も高い蛍光体層が塗布された放電セルに設けたことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
2. 前記微粒子は、インジウムおよび錫を含むことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
3. 前記分散液は、インクジェット法で塗布されたことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
4. 前記ブリッジ部を設ける放電セルのセル幅は、前記ブリッジ部を設けない放電セルのセル幅よりも広く設定されていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。

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