JP3444875B2

JP3444875B2 - 電極付きプレートとその製造方法、並びにこれらを用いたガス放電パネルとその製造方法

Info

Publication number: JP3444875B2
Application number: JP2002377176A
Authority: JP
Inventors: 秀明安井; 和彦杉本; 圭介住田; 博由田中; 伸也藤原; 英喜丸中; 和則平尾
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1999-12-09
Filing date: 2002-12-26
Publication date: 2003-09-08
Anticipated expiration: 2020-12-01
Also published as: JP2003178684A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電極付きプレート
とその製造方法、並びにこれらを用いたガス放電パネル
とその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ガラス板などのプレート表面に、インジ
ウム・スズ酸化物（ＩＴＯ）等の透明電極と、金属（Ａ
ｇまたはＣｒ/Ｃｕ/Ｃｒ）等のバスラインを積層して電
極を形成した電極付きプレートは、例えばガス放電パネ
ルの表示電極付きフロントパネルとして利用されてい
る。

【０００３】プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）に
代表されるガス放電パネルは、大画面化することが比較
的容易なフラットディスプレイパネル（ＦＤＰ）の一種
であり、すでに50インチクラスのものが商品化されてい
る。このＰＤＰは、2枚の薄いガラス板（フロントパネ
ルガラスとバックパネルガラス）を隔壁（リブ）を介し
て対向させ、隔壁の間に蛍光体層を形成し、両ガラス板
の間に放電ガスを封入して気密封着した構成を持つ。蛍
光体層に面するフロントパネルガラスの表面には複数対
の表示電極が形成されており、前記放電ガス中で放電し
て紫外線を発生するようになっている。

【０００４】ここで、図8（ａ）はフロントパネルガラ
ス21と、この表面に配設された表示電極22、23を示す電
極付きプレートの一例（斜視図）である。このように表
示電極は、22と23で一対をなすように形成される。次に
示す図8（ｂ）は、表示電極22、23を真上（ｚ方向）か
らの上面図である。一対の表示電極22、23は、隔壁30と
直交する方向に延伸して配設され、帯状のＩＴＯ膜であ
る透明電極220、230に導電性の高いＡｇからなるバスラ
イン（バス電極）221、231が重ねられた構成となってい
る。340は、隣接する2つの隔壁30で仕切られたセルであ
り、当該セル340の中にはＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ
（青）の蛍光体層（不図示）が形成されている。各セル
340において、表示電極22、23間で発生した紫外線は、
前記蛍光体層に衝突し、可視光に変換されて発光表示に
供される。一般的なＰＤＰでは、このようなセル340が
複数対の表示電極22、23に対応して、マトリックス状に
配列されている。

【０００５】ここにおいて、上記表示電極22、23は、例
えば導電性材料、有機材料、ガラス成分を含んでなるペ
ーストを、スクリーン印刷法（薄膜法または厚膜法）で
フロントパネルガラス21上（バスライン材料は透明電極
220、230上）に所定のパターンで塗布したのち、焼成工
程を経て形成される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記製造
方法では、フロントパネルガラス21に表示電極22、23を
形成すると、当該表示電極22、23が位置ずれを起こした
り、表示電極22、23の一部（例えばバスライン221、23
1）が剥離する問題などを生じることがある。これは主
に、次の理由によるものと考えられる。

【０００７】すなわち第一に、透明電極220、230やバス
ライン221、231と、それが接着される表面（フロントパ
ネルガラス21表面や透明電極220、230表面）との接着力
は、これらがそれぞれ有する互いの界面における親和性
に影響される。この親和性が優れないと接着力が十分に
確保されず、バスライン材料を焼成する工程もしくはそ
の後の誘電体層を形成するまでの製造工程中の搬送にか
かる振動などが表示電極22、23に伝わったときに上記問
題を生じる場合がある。

【０００８】また第二に、表示電極22、23は、導電性材
料および有機材料、ガラスなどを含むペーストを焼成し
て形成されるが、焼成工程において有機材料が焼失する
ことから、その体積が若干収縮する。有機材料の焼失は
ペースト表面より徐々に起こるので、透明電極220、230
およびバスライン221、231には、接着表面より反り返る
応力（変形応力）が作用し、剥離しやすくなる。特に、
バスライン221、231の延伸方向端部（図7ではｙ方向）
が、透明電極220、230表面より剥離しやすい。このよう
な問題は、前記バスライン221、231がＡｇを含んでなる
場合に多くみられることが、本願発明者らによって明ら
かにされている。

【０００９】また、このような問題は、上記のスクリー
ン印刷法以外でも、例えばバスライン221、231をスパッ
タ法で作製する場合においても見られる場合がある。ス
パッタ法では、スパッタリング成膜時における雰囲気の
圧力や、プレート温度（フロントパネルガラス温度）等
の要因により、例えば成膜されるバスライン材料の膜に
応力が発生する。この膜をのちにフォトリソ法等を用い
てエッチングし、バスラインとして形成するプロセス
で、前記応力によって、前記膜が透明電極220、230から
剥離したりずれたりする場合が生じる。

【００１０】同様の問題は、ガス放電パネル以外のＦＰ
Ｄの分野における電極付きプレート（例えばＬＣＤの表
示電極付きフロントパネルガラス）においても見られる
問題であり、早急に解決すべき課題である。本発明は、
上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、
比較的簡単な構成により、プレート表面側の電極の剥離
や位置ずれを防止することが可能な電極付きプレート
と、その製造方法、並びにこれらを用いたガス放電パネ
ルとその製造方法を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、プレート上に、厚膜法または薄膜法によ
り形成された一つ以上の電極が接着されてなる電極付き
プレートであって、前記電極の少なくとも給電方向下流
側の端部が、それ以外の電極領域よりも強い接着力で、
プレート上に接着されているものとした。

【００１２】これによって、前記電極の少なくとも給電
方向下流側の端部が、効果的にプレート表面に接着され
る。ゆえに、従来のように、この部分がプレート表面か
ら反り上がって剥離したり、プレート上の所定の位置か
ら位置ずれたりするのが防止される。また、前記電極の
少なくとも給電方向下流側の端部は、接着力を確保する
ために、ガラス部材などの接着部材を用いて接着しても
よい。さらに、前記電極の長手方向両端部の少なくとも
一方に対応するプレート表面に、サンドブラスト法、紫
外線照射法、プラズマ照射法などの表面処理を行って接
着力を高めるようにしてもよい。

【００１３】ここで、本発明の電極付きプレートのプレ
ートにはガラスプレートが最も入手しやすくて望まし
い。また、この他にガラス板にケイ素酸化物やケイ素窒
化物を被膜したものを用いても良い。このような本発明
の電極付きプレートは、具体的には複数対の表示電極を
形成するガス放電パネルの表示電極付きフロントパネル
ガラスに適用することができる。

【００１４】また、本発明は上記表示電極付きフロント
パネルガラスを備えるガス放電パネルとした。このよう
なガス放電パネルによれば、正確な位置に正しく配設さ
れた複数対の表示電極により、優れた表示性能を得るこ
とが可能である。また、本発明は、プレート上に、薄膜
法または厚膜法により、1つ以上の電極を接着して形成
する電極形成ステップを経る電極付きプレートの製造方
法として、前記電極形成ステップにおいて、前記電極の
少なくとも給電方向下流側の端部を、それ以外の電極の
領域よりも強い接着力でプレート上に接着するとするこ
ともできる。

【００１５】また本発明はさらに、以上の電極付きプレ
ートの製造方法を、複数対の表示電極をフロントパネル
ガラスに形成するガス放電パネルの製造方法に利用する
こともできる。

【００１６】

【発明の実施の形態】1.実施の形態1 1-1.ＰＤＰの構成図1は、本発明の実施の形態1に係る交流面放電型プラズ
マディスプレイパネル10（以下単に「ＰＤＰ10」とい
う）の主要構成を示す部分的な断面斜視図である。図
中、ｚ方向がＰＤＰ10の厚み方向、ｘｙ平面がＰＤＰ10
のパネル面に平行な平面に相当する。ＰＤＰ10は一例と
して42インチクラスのＶＧＡ仕様に合わせたサイズ設定
になっているが、本発明は勿論この他のサイズに適用さ
せてもよい。

【００１７】図1に示すように、ＰＤＰ10の構成は互い
に主面を対向させて配設されたフロントパネル20および
バックパネル26に大別される。フロントパネル20の基板
となるフロントパネルガラス21には、その片面に厚さ0.
1μｍ、幅150μｍの帯状の透明電極220（230）と、これ
に厚さ7μｍ、幅95μｍのバスライン221（231）が重ね
られてなる表示電極22（23）（Ｘ電極23、Ｙ電極22）
が、ｙ方向を長手方向としてｘ方向に複数対並設されて
いる。各対の表示電極22、23は、それぞれフロントパネ
ルガラス21の幅方向（Ｙ方向）端部付近でパネル駆動回
路（不図示）と電気的に接続されている。このとき、Ｙ
電極22は一括してパネル駆動回路に接続され、Ｘ電極23
はそれぞれ独立してパネル駆動回路に接続される。これ
により、前記パネル駆動回路からＹ電極22と特定のＸ電
極23に給電すると、当該表示電極22、23の間隙（約80μ
ｍ）で面放電（維持放電）が行われる。

【００１８】さらに、Ｘ電極23はスキャン電極としても
作動し、アドレス電極28と書き込み放電（アドレス放
電）をなすようになっている。複数対の表示電極22、23
を配設したフロントパネルガラス21の表面には、前記複
数対の表示電極22、23を覆うように厚さ約30μｍの誘電
体層24がコートされている。さらに、この誘電体層24の
上に厚さ約1.0μｍの保護層25が積層されている。

【００１９】バックパネル26の基板となるバックパネル
ガラス27には、その片面に厚さ5μｍ、幅60μｍの複数
のアドレス電極28が、ｘ方向を長手方向としてｙ方向に
複数並設されている。隣合う2つのアドレス電極28の並
設ピッチは一定間隔（約150μｍ）である。複数のアド
レス電極28は、それぞれ独立して前記パネル駆動回路に
接続され、個別に給電されるようになっており、特定の
アドレス電極28と、特定のＸ電極23との間でアドレス放
電がなされるようになっている。

【００２０】複数のアドレス電極28を並設したバックパ
ネルガラス27の表面には、前記複数のアドレス電極28を
覆うように厚さ30μｍの誘電体膜29がコートされてい
る。さらに誘電体膜29上には、隣接するアドレス電極28
のピッチに合わせて高さ約150μｍ、幅約40μｍの隔壁3
0が、ｘ方向を長手方向として配設されている。隣り合
う2つの隔壁30の側面とその間の誘電体膜29の面上に
は、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の何れかに対
応する蛍光体層31〜33が形成されている。これらのＲＧ
Ｂ各蛍光体層31〜33はｙ方向に繰り返し配列するように
なっている。

【００２１】フロントパネル20とバックパネル26は、ア
ドレス電極28と表示電極22、23が直交するように互いに
対向させられ、両パネル20、26の外周縁部で接着され
る。これにより、当該両パネル20、26の間が封止されて
いる。この両パネル20、26間には、Ｈｅ、Ｘｅ、Ｎｅか
ら選ばれた元素の希ガス成分からなる放電ガス（封入ガ
ス）が所定の圧力（従来は通常500〜760Ｔｏｒｒ程度）
で封入されている。隣接する2つの隔壁30の間に対応す
る空間が、放電空間38となる。また、一対の表示電極2
2、23と1本のアドレス電極28が放電空間38を挟んで交叉
する領域が、画像表示にかかるセル（図8のセル340を参
照）に対応する。なお、一例として、ｘ方向のセルピッ
チは約1080μｍ、ｙ方向のセルピッチは約360μｍに設
定されている。

【００２２】このような構成のＰＤＰ10の駆動時には、
まず前記パネル駆動回路によって、特定のアドレス電極
28と、特定のＸ電極23にパルス電圧を印加し、アドレス
放電させる。そして当該アドレス放電後に、一対の表示
電極22、23間にパルスを印加し、維持放電させることに
よって、短波長の紫外線（波長約147ｎｍを中心波長と
する共鳴線）を発生させる。この紫外線を受けて蛍光体
層31〜33が発光されると、画像表示がなされる。

【００２３】1-2.本実施の形態1の特徴と効果一般に従来では、フロントパネルガラス21上に表示電極
22、23を形成する途中の焼成工程、もしくはその後、誘
電体層24を形成し終わるまでの搬送時に、バスライン22
1、231と透明電極220、230との親和性が不足し、その接
着性が十分得られないことがある。

【００２４】すなわちフロントパネルガラス21に表示電
極22、23を形成するとき、当該表示電極22、23が位置ず
れを起こしたり、表示電極22、23の一部（例えばバスラ
イン221、231）が剥離する問題などを生じることがあ
る。このような問題は、透明電極220、230やバスライン
221、231と、それらが接着される界面（フロントパネル
ガラス21表面や透明電極220、230表面）との間に作用す
る接着力が、これらの互いの親和性に影響される性質が
あるために生じる。この親和性が優れないと接着力が十
分に確保されず、製造工程中の搬送にかかる振動などが
表示電極22、23に伝わったときに上記問題を生じる場合
がある。そして、このように位置ずれや剥離を起こした
表示電極22、23の上からフロントパネルガラス21表面に
誘電体層24および保護層25が形成されると、完成された
ＰＤＰにおいて正常な放電（アドレス放電および面放
電）が行えなくなるといった問題を誘引し、画像表示性
能を低下させてしまう。

【００２５】このような問題に対して、本実施の形態1
では、バスライン221、231の給電方向下流側端部（端部
221ａ、231ａ）を、透明電極220、230を超えるように延
伸し、30μｍの長さでフロントパネルガラス21上に接着
するものとした。一般に、バスライン221、231とフロン
トパネルガラス21との親和性は、透明電極220、230とフ
ロントパネルガラス21との親和性よりも優れており、ま
たバスライン221、231と透明電極220、230との親和性よ
りも高い。本実施の形態1では、この性質を利用して、
バスライン221、231の焼成前または焼成後のいずれにお
いても、ｙ方向端部221ａ、231ａとフロントパネルガラ
ス21とを強固に接着することにより、表示電極22、23が
フロントパネルガラス21表面から剥がれたり位置ずれす
るのを防止している。

【００２６】以上の構成を有するＰＤＰ10によれば、バ
スライン221、231がその端部221ａ、231ａにおいてフロ
ントパネルガラス21に接着されているため、バスライン
221、231が透明電極220、230から剥離して他の電極22、
23と短絡したり、複数の電極22、23の間隔がばらついて
表示ムラ（不良）を発生するいった危険性が回避されて
いる。これにより、良好な発光バランスの表示性能を得
ることが可能となる。

【００２７】なお、前記端部221ａ、231ａとフロントパ
ネルガラス21とをより強力に接着するために、前記端部
221ａ、231ａに対応するバスライン221、231中のガラス
成分量をこれ以外のバスライン221、231中のガラス成分
量より多くなるように設定してもよい。また、透明電極
220、230およびバスライン221、231は、それぞれ複数の
部分から構成してもよい（例えばスポット状に配列した
透明電極220、230に2本のバスライン221、231がそれぞ
れ電気的に接触するようにしてもよい）。

【００２８】なお、バスライン221、231の端部221ａ、2
31ａのｙ方向長さについては、本願発明者らが端部221
ａ、231ａのｙ方向長さを30μｍ、60μｍ、100μｍの各
値に設定してテストしたところ、いずれも剥離や位置ず
れを生じなかった。バスライン221、231のサイズを考慮
すると、バスライン221、231の幅は今の場合95μｍであ
ることから、前記端部221ａ、231ａのｙ方向長さはバス
ライン221、231の幅の1/3程度（ほぼ30μｍ程度）以上
確保すればよいと推察される。

【００２９】1-3.透明電極およびガラス板に対するバス
ラインの接着力についての補足ここでは、透明電極またはフロントパネルガラスに対す
るバスラインの接着力について述べる。一般に、異なる
2つの物体間に作用する接着力は、一方の物質の他方の
物質に対する接触角、言い換えると濡れ性に相関関係が
みられる。この相関関係は、2つの物体間のうち一方が
液体であって、その濡れ性が経時的に変化する（液体が
次第に乾く）場合にも大体において保たれる。

【００３０】このことを、例えば透明電極またはフロン
トパネルガラスに対するバスラインの接着力に適用する
と、バスライン材料のフロントパネルガラスに対する接
触角が小さい（濡れ性に優れる）ほど、バスライン材料
および形成されたバスラインが剥離や位置ずれを起こし
にくい接着面（すなわち親和性の高い接着面）であると
言うことができる。これは一般にも、スクリーン印刷法
（厚膜法または薄膜法）で塗布される電極材料と、それ
が接着されるプレートとの相関関係においても言えるこ
とである。

【００３１】ここで図7（ａ）はフロントパネルガラス
上、同図（ｂ）は透明電極上にそれぞれ滴下したバスラ
イン材料（Ａｇ、有機材料、可塑剤等を含んでなる）の
接触角と、その経時変化を示すグラフである。ここでは
成分の若干異なる複数のバスライン材料のサンプルにつ
いて実験を行い、その測定値を示している。前記接触角
は同図（ａ）（ｂ）ともに経時的に上昇するが、これは
バスライン材料の表面が次第に水分吸着や異物付着によ
り汚染されるためと推察される。両図に示すように、概
してバスライン材料の接触角は、透明電極上よりもフロ
ントパネルガラス上の方が小さい。これによってバスラ
イン材料は、フロントパネルガラスに対して比較的接着
力に優れることがわかる。

【００３２】1-4.バリエーションについて次に、本発明の実施の形態1のバリエーション1-1につい
て説明する。上記実施の形態1では、バスライン221、23
1の端部221ａ、231ａを透明電極220、230より延伸して
フロントパネルガラス21表面に接着する例を示したが
（図2）、ここでは図3の表示電極の上面図のように、透
明電極220、230の幅方向（ｘ方向）の一方の側端部（サ
イド）と、延伸方向（ｙ方向）下流側端部221ａ、231ａ
の両方でフロントパネルガラス21表面に接着する構成と
なっている。

【００３３】このような構成によれば、実施の形態1と
同様の効果が奏されるうえ、バスライン221、231の幅方
向端部をその延伸方向（ｙ方向）に沿って連続的に、フ
ロントパネルガラス21上で強固に固着させることができ
るので、透明電極220、230やバスライン221、231の剥離
または位置ずれをいっそう確実に防止できる。なお、上
記実施の形態1では、バスライン221、231を透明電極22
0、230より長く延伸しているが、バスライン221、231の
長さは透明電極220、230と同等もしくは短くても、剥離
や位置ずれを防止する効果が奏される。

【００３４】また、バスライン221、231の側端部の一部
のみをフロントパネルガラス21の表面に接着しても、そ
れなりの効果が期待できる。 1-5.その他のバリエーションについて次に挙げる図4は、実施の形態1のバリエーション1-2を
示す表示電極の部分上面図である。当図のように本バリ
エーション1-2では、透明電極220、230の周囲全体にわ
たって、バスライン221、231を透明電極220、230の全周
囲とフロントパネルガラス21の両方を覆うように形成し
ている。このような構成によれば、上記実施の形態2に
くらべて一層高い効果を得ることができる。

【００３５】ここで、上記バスライン221、231のフロン
トパネルガラス21と接着する幅方向端部は、そのｘ方向
幅を10μｍ、20μｍ、30μｍの各値に設定したところ、
いずれも剥離や位置ずれを生じなかった。このことから
上記バスライン221、231のサイズでは、その幅方向（ｘ
方向）で10μｍ以上の領域でフロントパネルガラス21と
接触させるのが望ましいと推察される。

【００３６】本実施の形態1のバリエーションとして
は、そのほかに図5の表示電極の部分上面図に示すバリ
エーション1-3〜1-7（図中では（a）〜（e））などが挙
げられる。当図では表示電極22についてのみ図示してい
るが、これららのバリエーションは、当然ながら表示電
極23に適用してもよい。バリエーション1-3（a）および
1-4（b）は、バスライン221の端部221ａを丸状または矩
形状とすることによって、その面積を広く確保し、フロ
ントパネルガラス21との接着性を向上させて、実施の形
態1の効果を向上させたものである。

【００３７】バリエーション1-5（c）は、バスライン22
1の端部221ａをフリットガラス221fgを用いてフロント
パネルガラス21と強力接着する構成を示している。同図
（d）は、表示電極22とフロントパネルガラス21の部分
断面図である。これに示されるバリエーション1-6は、
バスライン231の端部231ａに対応するフロントパネルガ
ラス21の表面をサンドブラスト処理し、これによって前
記端部231ａとフロントパネルガラス21の接着性を高め
ている。

【００３８】なお、バスライン221、231は、一般的に図
5（e）のバリエーション1-7に示すように、パネル駆動
回路と電気的に接続するための給電方向上流側の端部
（すなわち引き出し（接続）電極部221c、231c）を備え
た形状のものがあるが、この場合は引き出し電極部221
c、231cにおける剥離や位置ずれは生じにくい。したが
って、少なくとも給電方向下流側の端部（すなわち221
a、231a）をそれ以外の表示電極22、23の領域（透明電
極220、230上の領域）よりも強固に接着するように設定
すればよい。当該バリエーション1-7では、バスライン2
21、231の各両端部221a〜c、231a〜ｃをすべてフロント
パネルガラス21と直に接着することによって、十分な接
着力を確保している。

【００３９】2.実施の形態2 図6は、実施の形態2の表示電極22、23の部分上面図であ
る。本実施の形態2の特徴は、誘電体層24を形成する以
前の段階で、透明電極220、230上でバスライン221、231
の下流側端部221a、231aが接着部材221fg、231fgによっ
て、前記端部221a、231a以外のバスライン221、231領域
よりも強い接着力で透明電極220、230の表面に接着され
ていることである。この接着部材221fg、231fgは、誘電
体層24に使用されるガラス材料と同様のものである。

【００４０】このような構成によれば、バスライン22
1、231を作製する工程、およびそれ以後の誘電体層24を
製造する工程までにおいて、バスライン221、231が透明
電極220、230の表面から剥離したり、位置ずれを生じる
のが抑制される。したがって、ＰＤＰ10の完成時におい
ても表示電極22、23は良好な精度で正確に形成されるの
で、ＰＤＰ10は全体的にバランスの良い発光表示を行う
ことが可能となる。

【００４１】なお、接着部材221fg、231fgとしては誘電
体層24に使用するガラス材料に限らず、これ以外のもの
（他のガラス材料や有機材料）であってもよい。また接
着部材221fg、231fgは、あまり広い面積でバスライン22
1、231と透明電極220、230の間に塗布すると、電気抵抗
が増加するので注意すべきである。また、この実施の形
態2においても、接着部材221fg、231fgを用いる代わり
に、前記端部221a、231aに対応するバスライン221、231
のガラス成分量を部分的に増加させることにより、強い
接着力が得られるようにしてもよい。

【００４２】3.ＰＤＰの作製方法次に、上記した各実施の形態と各バリエーションのＰＤ
Ｐについて、作製方法の一例を説明する。 3-1.フロントパネルの作製フロート法によって厚さ約2.6ｍｍのソーダライムガラ
スからなるフロントパネルガラス21を作製し、当該ガラ
ス21の面上に表示電極22、23を作製する。これにはま
ず、透明電極220、230を次のスクリーン印刷法（厚膜法
または薄膜法）とフォトエッチング法により形成する。

【００４３】なお、表示電極22、23を形成する面に、予
めケイ素酸化物および窒素酸化物から選ばれた材料から
なる膜を形成しておくと、透明電極220、230の接着性が
増すので望ましい。 3-1-1.透明電極の作製フロントパネルガラス21の全面に、厚さ約2.0μｍでフ
ォトレジスト（例えば紫外線硬化型樹脂）をスクリーン
印刷法で塗布する。そして透明電極220、230のパターン
のフォトマスクを上に重ねて紫外線を照射し、現像液に
浸して未硬化の樹脂を洗い出す。

【００４４】次に透明電極220、230の材料としてＩＴ
Ｏ、有機材料、可塑剤等を含むペーストをフロントパネ
ルガラス21のフォトレジストのギャップに塗布する。こ
の後に乾燥工程→洗浄工程→焼成工程をこの順に行い、
透明電極220、230を完成する。 3-1-2.バスラインの作製その1 続いて、実施の形態1、およびそのバリエーション1-1、
1-2、1-3、1-4、1-7については以下のようにバスライン
221、231を作製することができる。

【００４５】バスライン材料には、例えばＡｇ、フォト
レジスト、可塑剤、ガラス材料等を含むペーストを作製
し、これをスクリーン印刷法により透明電極220、230を
形成したフロントパネルガラス21上に塗布して乾燥す
る。その後、所定の形状のマスクをかぶせ、フォトリソ
法により余分なペーストを洗い出す。これにより、端部
221a、231aを備えたバスライン221、231を形成する。そ
して、このとき本発明では、端部221a、231aに対応する
バスライン材料がフロントパネルガラス21と良好に接着
するため、従来のように位置ずれや剥離を生じることな
く、正確な位置にバスライン221、231が形成されるとい
った効果が奏される。

【００４６】なお、バスライン221、231の形成には、こ
のフォトリソ法のほかにスクリーン印刷法を用いること
もできる。 3-1-3.バスラインの作製その2 実施の形態1のバリエーション1-5および実施の形態2に
ついては、以下のようにバスライン221、231を作製する
ことができる。

【００４７】まず、端部221a、231aの形成位置に対応す
る透明電極220、230の延伸方向（ｙ方向）端部表面、も
しくはフロントパネルガラス21表面に、接着部材とし
て、例えば後述の誘電体層に用いるガラス材料などを予
め溶融し滴下しておく。このガラス材料を滴下するタイ
ミングは、バスライン材料を塗布した後に、バスライン
材料の上から行ってもよい。

【００４８】そしてＡｇ、フォトレジスト、可塑剤、ガ
ラス材料等を含むバスライン材料をスクリーン印刷法で
塗布する。そして、これを焼成する。当該焼成工程は、
最高温度約600℃程度の温度プロファイルに設定した焼
成炉にフロントパネルガラス21を投入して行う。なお焼
成工程に先だって、常温での乾燥工程を行ってもよい。

【００４９】ここにおいて、本発明では、バスライン材
料のパターン形成後から焼成工程を終え、誘電体層24を
形成するまでの間に、バスライン材料の接着性が前記滴
下したガラス材料によって、良好に確保される。このよ
うに接着性が確保される結果、バスライン材料と透明電
極の間にフォトレジストなどの夾雑物が存在していた
り、バスライン材料が乾燥時又は焼成時により体積収縮
を起こして変形応力の作用を受け、外部より振動を受け
ても、バスライン材料が透明電極の表面から剥離した
り、本来の位置よりずれるといった問題の発生が抑制さ
れる。以上の効果は、スパッタ法などの工程においても
同様に得ることができる。

【００５０】3-1-4.バスラインの作製その3 実施の形態1のバリエーション1-6については、以下のよ
うにバスライン221、231を作製することができる。バス
ライン材料の塗布工程に先立ち、バスライン221、231の
端部221a、231aに対応するフロントパネルガラス21の表
面にサンドブラスト処理をかける。この処理は、バスラ
イン221、231とフロントパネルガラス21との親和性を高
めるための処理の一例であって、このほかに紫外線照射
法、プラズマ処理法などを行ってもよい。また、親水処
理を行うと接着性が増すことが発明者らによって見いだ
されており、これに基づいて、バスライン221、231の端
部221a、231aに対応するフロントパネルガラス21の表面
を、少なくとも有機物を除去するための精密な洗浄処理
を行うようにしてもよい。

【００５１】このようなフロントパネルガラス21の表面
処理を行ったのち、スクリーン印刷法（厚膜法や薄膜
法）により、Ａｇ、フォトレジスト、可塑剤、ガラス材
料等を含むバスライン材料を透明電極220、230の上から
フロントパネルガラス21の表面に塗布する。これをフォ
トリソ法により処理して、表示電極22、23を完成する。 3-1-5.誘電体層の作製次に、表示電極22、23の上から粉末状ガラス成分（例え
ばＰｂＯ系ガラス成分）と、有機バインダー溶液（分散
剤のホモゲノールを0.2ｗｔ％と可塑剤のフタル酸ジブ
チルを2.5ｗｔ％、さらにエチルセルロースを45ｗｔ％
混合したもの）を、55：45の重量比で混合してペースト
を作り、これをフロントパネルガラス21の全面にわたっ
てコートし焼成（520℃で10分）して厚さ約30μｍの誘
電体層24を形成する。

【００５２】3-1-6.保護層の作製誘電体層24が形成できたら、その表面上に酸化マグネシ
ウム（ＭｇＯ）よりなる保護層25を厚さ約1.0μｍで形
成する。これでフロントパネル20が作製される。 3-2.バックパネルの作製 3-2-1.アドレス電極および誘電体層の作製フロート法で作製した厚さ約2.6ｍｍのソーダライムガ
ラスからなるバックパネルガラス27の表面上に、スクリ
ーン印刷法によりＡｇを主成分とする導電材料を一定間
隔でストライプ状に塗布し、厚さ約5μｍのアドレス電
極28を形成する。

【００５３】続いて、アドレス電極28を形成したバック
パネルガラス27の面全体にわたって前記誘電体層24と同
様のペーストを厚さ約20μｍで塗布して焼成し、誘電体
膜29を形成する。 3-2-2.隔壁および蛍光体層の作製次に、誘電体膜29と同じガラス材料により、誘電体膜29
の上に隣り合うアドレス電極28の間隙（約150μｍ）毎
に高さ約120μｍの隔壁30を形成する。この隔壁30は、
例えば上記ガラス材料を含むペーストを繰り返しスクリ
ーン印刷し、その後焼成すると形成できる。

【００５４】隔壁30の形成後、隔壁30の壁面と、隣接す
る隔壁30間で露出している誘電体膜29の表面に、赤色
（Ｒ）蛍光体、緑色（Ｇ）蛍光体、青色（Ｂ）蛍光体の
いずれかを含む蛍光インクを塗布し、これを乾燥・焼成
してそれぞれ蛍光体層31〜33とする。ここで一般的な蛍
光体材料の一例を以下に列挙する。

【００５５】赤色蛍光体；（Ｙ_ｘＧｄ_1-ｘ）ＢＯ₃：Ｅｕ³⁺ 緑色蛍光体；Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎ青色蛍光体；ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ³⁺（或いはＢ
ａＭｇＡｌ₁₄Ｏ₂₃：Ｅｕ³⁺）各蛍光体材料は、例えば平均粒径が約3μｍ程度の粉末
が使用できる。蛍光体インクの塗布法は幾つかの方法が
あるが、ここでは公知のメニスカス法と称される極細ノ
ズルからメニスカス（表面張力による架橋）を形成しな
がら蛍光体インクを吐出する方法を用いる。この方法は
蛍光体インクを目的の領域に均一に塗布するのに好都合
である。なお、本発明は当然ながらこの方法に限定する
ものではなく、スクリーン印刷法など他の方法も使用可
能である。

【００５６】以上でバックパネル26が完成される。なお
フロントパネルガラス21およびバックパネルガラス27を
ソーダライムガラスからなるものとしたが、これは材料
の一例として挙げたものであって、これ以外の材料でも
よい。 3-3.ＰＤＰの完成作製したフロントパネル20とバックパネル26を、封着用
ガラスを用いて貼り合わせる。その後、放電空間38の内
部を高真空（8×10^-7Ｔｏｒｒ）程度に排気し、これに
所定の圧力（500〜760Ｔｏｒｒ）でＮｅ-Ｘｅ系やＨｅ-
Ｎｅ-Ｘｅ系、Ｈｅ-Ｎｅ-Ｘｅ-Ａｒ系などの放電ガスを
封入する。

【００５７】以上でＰＤＰが完成される。 4.その他の事項各実施の形態では、一対の表示電極22、23の両方に本発
明を適用する例を示したが、22と23のいずれか一方だけ
に適用してもよい。しかしながら本発明の効果を良好に
得るためには、やはり一対の表示電極22、23の両方に適
用するのが望ましい。

【００５８】また実施の形態では、ＰＤＰの表示電極に
ついて説明したが、本発明の電極付きプレートはこの適
用例に限定されるものではない。ＰＤＰなどのガス放電
パネルではこの他、アドレス（走査）電極を形成するバ
ックパネルガラスに適用することもできる。また、他の
ＦＰＤなどにも適用可能である。具体的には、タッチパ
ネルや、ＬＣＤなどの表示電極付きフロントパネルガラ
スに適用することができる。

【００５９】さらに、実施の形態ではＶＧＡ方式のＰＤ
Ｐを作製する例について示したが、当然ながらこれ以外
の規格のＰＤＰやガス放電パネルに適用してもよい。ま
た、各実施の形態では、透明電極とバスラインの両方を
備える表示電極に本発明を適用する例を示したが、透明
電極またはバスラインのいずれかのみで表示電極を構成
する場合に適用してもそれなりの効果が期待できる。

【００６０】また、電極を形成するプレートは、ガラス
以外の材料から構成してもよい。しかし、本発明の効果
は、ガラスプレート表面に、Ａｇを含んでなる電極を接
着するときに最大の効果が発揮されることが本願発明者
らによって明らかにされている。さらに、本発明の効果
を得るためには、プレート表面に形成する電極の少なく
とも給電方向下流側端部を、これ以外の電極領域よりも
強力にプレートと接着すればよい。

【００６１】また、電極は帯状（長尺状）に限らず、こ
れ以外の形状であってもよい。この場合も、当該電極の
少なくとも給電方向下流側端部を、これ以外の電極領域
よりも強力にプレート表面に接着すればよい。また、各
実施の形態では、第一の電極部として透明電極、第二の
電極部としてバスラインを備える電極（表示電極）を形
成する例を示したが、本発明はこれに限定せず、スクリ
ーン印刷法（厚膜法や薄膜法）などを適用して、他の2
種類の材料からなる電極部から電極を構成してもよい。

【００６２】

【発明の効果】以上のことから明らかなように、本発明
は、プレート上に、厚膜法または薄膜法により形成され
た一つ以上の電極が接着されてなる電極付きプレートで
あって、前記電極の少なくとも給電方向下流側の端部
が、それ以外の電極領域よりも強い接着力で、プレート
上に接着されているものであるため、前記電極の少なく
とも給電方向下流側の端部が、効果的にプレート表面に
接着される。ゆえに、従来のように、この部分がプレー
ト表面から反り上がって剥離したり、プレート上の所定
の位置から位置ずれたりするのが防止される。

【図面の簡単な説明】

【図1】実施の形態1に係るＰＤＰの主要構成を示す部分
的な断面斜視図である。

【図2】実施の形態1の表示電極の部分上面図である。

【図3】バリエーション1-1の表示電極の部分上面図であ
る。

【図4】バリエーション1-2の表示電極の部分上面図であ
る。

【図5】その他のバリエーション1-3〜1-7の表示電極の
部分上面図である。

【図6】実施の形態2の表示電極の部分上面図である。

【図7】透明電極またはガラス板の濡れ性の経時変化を
示す特性図である。（ａ）はガラス板の濡れ性の経時変
化を示す特性図である。（ｂ）は透明電極の濡れ性の経
時変化を示す特性図である。

【図8】従来のＰＤＰの表示電極の構成を示す図であ
る。（ａ）は表示電極の部分斜視図である。（ｂ）は表
示電極の部分上面図である。

【符号の説明】

21 フロントパネルガラス 21a 表面処理したフロントパネルガラスの領域 220、230 透明電極 221、231 バスライン 221a、231a バスライン端部（給電方向下流側） 221b、231b バスライン端部（給電方向上流側） 221c、231c 引き出し電極部 221fg、231fg 接着部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者田中博由大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者藤原伸也大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者丸中英喜大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者平尾和則大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (56)参考文献特開平９−245653（ＪＰ，Ａ) 特開2001−23529（ＪＰ，Ａ) 国際公開00／070643（ＷＯ，Ａ１) 国際公開00／070644（ＷＯ，Ａ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01J 11/02 H01J 9/02

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】プレート上に、銀を含むペーストを塗布
した後焼成して形成された一つ以上の電極が接着されて
なるフラットパネルディスプレイ用電極付きプレートで
あって、前記電極は帯状であり、当該帯状電極の両端部のうち、
少なくとも当該電極の給電方向上流側端部と反対に位置
する端部の幅が、給電方向上流側端部及び、給電方向上
流側端部と反対に位置する端部以外の電極部分の幅より
も広いことを特徴とするフラットパネルディスプレイ用
電極付きプレート。
【請求項２】プレート上に、導電性材料を含むペース
トを塗布した後焼成して形成された一つ以上の電極が接
着されてなるフラットパネルディスプレイ用電極付きプ
レートであって、前記電極の少なくとも給電方向上流側端部と反対に位置
する端部が、接着部材により前記プレートと接着される
ことにより、当該端部が、給電方向上流側端部及び、給
電方向上流側端部と反対に位置する端部以外の電極領域
よりも強い接着力で、プレート上に接着されていること
を特徴とするフラットパネルディスプレイ用電極付きプ
レート。
【請求項３】プレート上に、導電性材料を含むペース
トを塗布した後焼成して形成された一つ以上の電極が接
着されてなるフラットパネルディスプレイ用電極付きプ
レートであって、前記電極の少なくとも給電方向上流側端部と反対に位置
する端部が、この端部に対応して部分的に表面処理され
た前記プレート上に接着されることにより、当該端部
が、給電方向上流側端部及び、給電方向上流側端部と反
対に位置する端部以外の電極領域よりも強い接着力で、
プレート上に接着されていることを特徴とするフラット
パネルディスプレイ用電極付きプレート。
【請求項４】前記表面処理は、紫外線照射法またはプ
ラズマ照射法、サンドブラスト法、精密洗浄処理の中か
ら選ばれたものであることを特徴とする請求項3に記載
のフラットパネルディスプレイ用電極付きプレート。
【請求項５】プレート上に、銀を含むペーストを塗布
した後焼成して、一つ以上の電極を接着して形成する電
極形成ステップを有するフラットパネルディスプレイ用
電極付きプレートの製造方法であって、前記電極形成ステップにおいて、電極の両端部のうち、
少なくとも当該電極の給電方向上流側端部と反対に位置
する端部の幅が、給電方向上流側端部及び、給電方向上
流側端部と反対に位置する端部以外の電極部分の幅より
も広く形成することを特徴とするフラットパネルディス
プレイ用電極付きプレートの製造方法。
【請求項６】プレート上に、導電性材料を含むペース
トを塗布した後焼成して、一以上の電極を接着して形成
する電極形成ステップを有するフラットパネルディスプ
レイ用電極付きプレートの製造方法であって、前記電極形成ステップにおいて、前記電極の少なくとも
給電方向上流側端部と反対に位置する端部を、これに対
応して表面処理したプレート上に接着し、前記電極の少なくとも給電方向上流側端部と反対に位置
する端部を、給電方向上流側端部及び、給電方向上流側
端部と反対に位置する端部以外の電極の領域よりも強い
接着力でプレートに接着することを特徴とするフラット
パネルディスプレイ用電極付きプレートの製造方法。
【請求項７】前記電極形成ステップにおいて、前記表
面処理を、紫外線照射法、プラズマ照射法、サンドブラ
スト法、精密洗浄処理の中から選んだ方法で行うことを
特徴とする請求項6に記載のフラットパネルディスプレ
イ用電極付きプレートの製造方法。
【請求項８】プレート上に、導電性材料を含むペース
トを塗布した後焼成して、一以上の電極を接着して形成
する電極形成ステップを有するフラットパネルディスプ
レイ用電極付きプレートの製造方法であって、前記電極形成ステップにおいて、前記電極の少なくとも
給電方向上流側端部と反対に位置する端部を、接着部材
を用いて前記プレートと接着することで、前記電極の少なくとも給電方向上流側端部と反対に位置
する端部を、給電方向上流側端部及び、給電方向上流側
端部と反対に位置する端部以外の電極の領域よりも強い
接着力でプレートに接着することを特徴とするフラット
パネルディスプレイ用電極付きプレートの製造方法。
【請求項９】プレート上に、導電性材料を含むペース
トを塗布した後焼成して、一以上の電極を接着して形成
する電極形成ステップを有するフラットパネルディスプ
レイ用電極付きプレートの製造方法であって、前記電極形成ステップは、ガラス成分を含む電極材料を
用い、前記電極の少なくとも給電方向上流側端部と反対
に位置する端部に含まれるガラス成分量が、給電方向上
流側端部及び、給電方向上流側端部と反対に位置する端
部以外の電極領域よりも多くなるように、前記電極材料
をプレート上に塗布する電極材料塗布ステップを有し、前記電極の少なくとも給電方向上流側端部と反対に位置
する端部を、給電方向上流側端部及び、給電方向上流側
端部と反対に位置する端部以外の電極の領域よりも強い
接着力でプレートに接着することを特徴とするフラット
パネルディスプレイ用電極付きプレートの製造方法。
【請求項１０】前記フラットパネルディスプレイ用電
極付きプレートの製造方法により、ガス放電パネルの複
数対の表示電極付きフロントパネルガラスを作製するこ
とを特徴とする請求項5〜9のいずれかに記載のフラット
パネルディスプレイ用電極付きプレートの製造方法。