KR100726912B1 - 전극 플레이트와 그 제조방법, 및 전극 플레이트를 사용한가스 방전 패널과 그 제조방법 - Google Patents

전극 플레이트와 그 제조방법, 및 전극 플레이트를 사용한가스 방전 패널과 그 제조방법 Download PDF

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마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤
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Abstract

전극 플레이트 및 그의 제조방법, 전극 플레이트를 사용한 가스 방전 패널 및 그의 제조방법은 비교적 간단한 구조로 결합하여 제공되며, 플레이트 상의 전극이 박리 또는 미스얼라인 되지 않도록 유지할 수 있다. 전극 플레이트에서, 적어도 하나의 전극이 박막 형성방법 또는 후막 형성방법에 의한 플레이트의 주면에 형성되고 밀착되며, 전극의 모든 단부 중에서 적어도 전원 공급점에서의 단부에 반대인 단부가 전극의 다른 부분보다 강한 밀착력으로 플레이트의 주면에 밀착된다. 가스 방전 패널에서 다수의 표시전극 쌍을 가진 프런트패널 유리로서 이 전극 플레이트가 사용될 경우, 전원 공급점의 단부에 반대인 각 버스 라인의 적어도 하나의 단부는 프런트패널 유리의 표면에 기밀하게 밀착되므로, 각각의 투명 전극상에 형성된 버스라인의 휘어짐과 박리 또는 미스얼라인이 방지된다. 이러한 가스 방전 패널은 우수한 표시성능을 나타낼 수 있다.
교류면방전형 플라즈마 디스플레이 패널, 프런트패널, 프런트패널 유리, 표시전극, 유전체 유리층, 백패널, 어드레스전극, 방전공간, 투명전극, 버스 라인, 단부, 유리부재

Description

전극 플레이트와 그 제조방법, 및 전극 플레이트를 사용한 가스 방전 패널과 그 제조방법{ELECTRODE PLATE AND MANUFACTURING METHOD FOR THE SAME, AND GAS DISCHARGE PANEL HAVING ELECTRODE PLATE AND MANUFACTURING METHOD FOR THE SAME}
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 PDP 의 주요구성의 부분 사시도
도 2는 제1 실시예에 따른 표시전극의 정면도
도 3은 변형예 1-1에서 표시전극의 정면도
도 4는 변형예 1-2에서 표시전극의 정면도
도 5a- 5e는 다른 변형예 1-3 내지 1- 7에서 표시전극의 정면도
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 표시전극의 정면도
도 7a는 시간에 따른 유리기판의 가용도 변형예를 나타낸 특성도
도 7b는 시간에 따른 투명전극의 가용도 변형예를 나타낸 특성도
도 8a는 종래의 표시전극의 부분 사시도
도 8b는 도 8a에 도시된 표시전극의 부분 정면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 교류면방전형 플라즈마 디스플레이패널
20 : 프런트패널 21 : 프런트패널 유리
22,23 : 표시전극 24 : 유전체 층
26 : 백패널 28 : 어드레스 전극
38 : 방전공간 220, 230 : 투명전극
221,132 : 버스라인 221a, 231a : 단부
본 발명은 전극 플레이트와 그 제조방법, 및 전극 플레이트를 갖는 가스방전 패널과 그 제조방법에 관한 것이다.
유리판 등의 플레이트 표면에 인듐주석산화물(ITO) 등으로 이루어진 투명전극과, 금속(Ag 또는 Cr/Cu/Cr) 등으로 이루어진 버스 라인을 적층하여 전극을 형성한 전극 플레이트는, 예컨대 가스방전 패널에서 표시전극을 가진 프런트 패널 같은 다수의 응용으로 이용되고 있다.
플라즈마 디스플레이 패널(PDP)로 대표되는 가스방전 패널은 대화면화 장치에 적합한 플랫 디스플레이 패널(FDP)의 한 종류이다. 이미 50 인치급의 장치가 PDP를 이용하여 상품화되어 있다.
이 PDP는 2장이 엷은 유리판(프런트패널 유리와 백패널 유리)을 격벽(rib)을 사이에 세워 대향시킨다. 인접한 격벽 사이의 갭에는 형광체 층이 형성된다. 양 유리판의 사이에 존재하는 방전 공간에 방전 가스를 봉입하고, 양 유리판이 기밀되도록 밀봉된다. 다수의 표시전극 쌍은 형광층에 대면하는 프런트패널 유리의 표면에 형성된다. 각각의 방전공간 내에서 가스 방전을 개시함으로써 자외선이 발생된다.
도 8a은 프런트패널 유리(21)와 이 위에 배치된 한 쌍의 표시전극(22,23)을 나타내는 전극 플레이트의 일례를 보여주는 사시도이다. 도 8b은 표시전극(22,23)을 z 방향에서 내려다보는 정면도이다. 도시된 바와 같이, 한 쌍의 표시전극(22,23)은 격벽(30)과 교차하도록 직각(즉 y 방향)으로 각각 연장한다. 이들 표시전극(22,23)은 띠 형상의 ITO 막인 투명전극(220,230)과, 투명전극(220,230)에 각각 배치된 도전성이 높은 은(Ag)으로 이루어지는 버스 라인(버스 전극)(221,231)을 가진다. 인접하는 격벽(30) 사이의 영역은 셀(340)로 되고, 이 셀 내에 R(빨강), G(초록), B(파랑)의 형광체층(도시 안됨)이 각각 형성되어 있다. 셀(340)에 있어서 표시전극(22,23) 사이에서 발생한 자외선은, 형광체층과 충돌하여 여기되고, 가시광이 방출되어 발광표시에 사용된다. 보통의 PDP에서는 셀(340)과 같은 다수의 셀들이 표시전극(22,23) 쌍과 같은 다수의 표시전극 쌍을 위해 정렬되어, 매트릭스(Matrix)를 형성한다.
여기서, 표시전극(22,23)은 도전물질, 유기물질, 및 유리물질을 포함한 페이스트(paste)를 프런트패널 유리(21)의 표면상에(버스 라인(221,231)의 경우는 투명전극(220,230)의 표면상에) 스크린인쇄법(박막 또는 후막 형성방법)에 의해 소망의 패턴으로 도포한 뒤, 소성한다.
그러나, 상기한 전극의 제조방법에 따라, 프런트패널 유리의 투명전극에 버스 라인(22,23)을 형성하면, 표시 전극(22,23)이 미스얼라인(misalign)되거나, 표시전극(22,23)의 일부(예컨대 버스 라인(221,231))가 밀착된 표면으로부터 박리될 수 있다. 이들 문제는 다음의 주요 이유에 기인하여 일어난다.
첫째로, 투명전극(220,230) 또는 버스 라인(22,23)과 밀착되는 표면(즉, 프런트패널 유리(21)의 표면 또는 투명전극(220,230)의 표면)사이의 밀착성은 양 부재간의 경계면에서의 친화력에 좌우된다. 친화력이 불충분하면, 이들 간에 밀착성이 강력하지 못하다. 따라서, 버스라인 재료를 소성하는 공정 또는 형성된 표시전극(22,23) 위에 유전층을 형성하는 후속 공정으로 운반 중에 표시전극(22,23)이 진동하면, 상기한 문제점이 발생한다.
둘째로, 표시전극(22,23)은 상술한 바와 같이, 도전재료, 유기재료, 및 유리물질을 포함한 페이스트를 소성하여 형성된다. 소성공정에서 유기 재료가 소실하며, 이에 따라, 표시전극(22,23)의 부피가 수축한다. 유기 재료는 페이스트의 표면으로부터 점차 소실되기 때문에, 투명전극(220,230) 또는 버스라인(221,231)은 뒤틀림을 일으키는 응력(변형응력)이 작용하여, 밀착표면으로부터 박리하기 쉽게 된다. 특히 연장하는 방향(도 8의 y 방향)에서 버스 라인(221, 231)의 최외각 단부는 투명 전극(220,230)의 표면으로부터 박리하기 쉽다. 본 출원의 발명자는 이러한 현상이 버스 라인(221,231)이 은(Ag)을 포함할 때 자주 관측된다는 것을 발견했다.
이러한 문제는 버스 라인(221,231)의 형성에 사용되는 상기 스크린인쇄법 이외에, 예컨대 스퍼터링법에 있어서도 일어날 수 있다. 스퍼터링법에서, 스퍼터링시의 내부 분위기 압력과 플레이트 온도(전면 패널 유리(21)의 온도) 등의 요인에 의해 현상될 버스 라인 물질의 막에 응력이 발생한다. 이어 현상된 막을 포토리소그래피법 등을 사용하여 에칭하고, 버스 라인(221,231)을 형성한다. 이 에칭 중에, 상기 응력으로 인하여 투명전극(220,230)으로부터 현상막이 박리되거나 미스얼라인된다.
유사한 문제가 다른 평판 패널 디스플레이(예컨대 액정표시장치의 표시전극을 가진 프런트패널 유리) 기술의 전극 플레이트에서 보인다. 이들 문제에 대한 해결책은 효과적인 FPD 의 개발에 중요하다.
본 발명은 이러한 과제에 비추어, 그 목적은 비교적 간단한 구성에 의해 플레이트 상에 형성된 전극의 박리나 미스얼라인을 방지할 수 있는 전극 플레이트와 그 제조방법, 및 이 전극 플레이트를 사용한 가스방전 패널과 그 제조방법을 제공하는 것에 있다.
삭제
상기한 목적은, 박막형성방법 또는 후막 형성방법을 사용하여 플레이트와 이 플레이트의 적어도 하나의 주면에 형성되고 밀착되는 적어도 하나의 전극을 포함하며, 전원 공급점에서의 전극의 단부영역과 전원 공급점에서의 전극의 단부영역에 반대인 전극의 단부영역 중에서, 적어도 전극의 반대 단부영역은 전극의 다른 영역보다 강한 밀착력으로 플레이트의 주면에 밀착되는, 플랫 패널 디스플레이에서의 사용을 위한 전극 플레이트로 달성될 수 있다.
이러한 구성으로, 전극의 2개 단부 중에서, 적어도 전원 공급점의 단부에 반대인 단부는 플레이트의 주면에 강력하게 밀착된다. 그 결과 플레이트의 뒤틀림과 박리가 억제되거나, 플레이트상의 소정의 위치로부터 변위되는 것이 억제된다.
여기서, 적어도 전극의 반대 단부와 플레이트의 주면 사이의 밀착력을 강화하기 위해 접착제가 사용될 수 있다. 또한, 샌드블라스팅, 자외선 조사, 또는 플라즈마 조사 같은 적어도 하나의 표면 처리가 적어도 전극의 반대 단부가 밀착될 플레이트의 주면의 일부에서 수행되어 밀착력을 강화시킨다.
여기서, 유리 플레이트는 구하기 쉬우므로, 플레이트로 사용하는 것이 바람직하다. 유리 플레이트는 실리콘 산화물 또는 질소 산화물로 코팅될 수 있다.
본 발명의 전극 플레이트는 가스방전 패널에서 프런트패널 유리 상에 다수의 표시전극 쌍이 형성된 것으로서 사용될 수 있다.
또한 상기 목적은 다수 의 표시전극 쌍을 가진 상기의 프런트패널 유리를 구비한 가스 방전 패널에 의해 달성될 수 있다. 이 가스 방전 패널에서 다수의 표시전극 쌍은 정확히 정렬되어 우수한 표시성능을 얻을 수 있다.
또 상기 목적은 박막 형성방법 또는 후막 형성방법을 사용하여 플레이트의 적어도 하나의 주면에 적어도 하나의 전극을 형성하고 밀착하는 전극형성단계를 포함하며, 상기 전극형성단계에 있어서 전원 공급점에서의 전극의 단부영역과 이 전원 공급점에서의 전극의 단부영역에 반대인 전극의 단부영역 중에서, 적어도 전극의 반대 단부영역이 전극의 다른 영역보다 강력한 밀착력으로 플레이트의 주면에 밀착되는, 플랫 패널 디스플레이에 사용하기 위한 전극 플레이트 제조방법으로 달성될 수 있다.
상기 목적은 또한 전극 플레이트 제조방법에 따라 다수의 표시 전극을 프런트패널 유리에 형성하는 가스방전 패널 제조방법으로 달성될 수 있다.
본 발명의 목적과 특징 및 장점은 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해질 것이다.
이하 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
1. 제 1 실시예
1.1 PDP의 구성
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표면방출 AC 플라즈마 디스플레이 패널( 이하 간략히 PDP(10)로 참조됨)의 주요구성의 부분 사시도이다. 도면에서, 방향 z는 PDP의 깊이, 평면 xy는 PDP의 패널 면과 평행한 평면에 해당된다. 일례로, PDP(10)는 42인치급 VGA 표준과 일치되는 사이즈로 만들어지며, 다른 사이즈도 역시 적용 가능하다.
도시된 바와 같이, PDP(10)의 구조는 상호 대향하여 설치된 프런트 패널(20)과 백패널(26)로 크게 구분될 수 있다.
프런트 패널(20)의 베이스를 형성하는 프런트패널 유리(21)의 내면 위에, 다수의 표시전극 쌍(22,23)(각각의 쌍은 X 전극(23)과 Y 전극(22)으로 구성된다)은 각 전극이 y 방향으로 연장하도록 x 방향으로 배열된다. 각 표시전극 쌍(22,23)은, 프런트 패널(20)의 표면상에 두께 0.1㎛, 폭 150㎛의 스트립형 투명 전극(220,230)을 배치하고, 각 투명 전극(220,230) 위에 두께 7㎛, 폭 95㎛의 버스라인(221,231)을 배치하여 형성된다. 또, 각 표시전극 쌍(22,23)은 폭 방향(방향 y)으로 프런트패널 유리(21)의 일 측면 근처에서 패널 구동회로(도시 안됨)에 전기적으로 접속된다. 여기서, Y 전극(22)은 패널 구동회로에 함께 접속되는 반면, X 전극(23)은 패널 구동회로에 별도로 접속된다. 따라서, 패널 구동회로로부터 Y 전극(22)과 특정한 X 전극(23)에 전원이 공급될 때, X 전극(23)과 이 X 전극(23)과 쌍을 이루는 Y 전극(22) 사이의 갭(약 80 ㎛ 폭)에서 면방전(유지 방전)이 일어난다.
각각의 x 전극(23)도 또한 스캔 전극으로 동작하고, 어드레스 전극(28)으로 기입방전(어드레스방전)을 생성한다.
두께 약 30㎛의 유전체층(24)은 다수의 표시전극 쌍(22,23)을 커버하기 위해 다수의 표시전극 쌍(22,23)을 배치한 프런트패널 유리(21) 위에 피복된다. 두께 약 30㎛의 유전체층(24)에는 두께 약 1.0㎛의 보호층(25)이 코팅되어 있다.
백패널(26)의 베이스를 형성하는 백패널 유리(27)의 내부면 위에, 두께 5㎛, 폭 60㎛을 갖는 다수의 어드레스전극(28)은 각 전극이 x 방향으로 연장하도록 y 방향으로 배열된다. 여기서, 인접하는 어드레스전극(28)은 일정한 피치간격(약 150㎛)을 갖는다. 이 다수의 어드레스전극(28)은 전원이 개별적으로 공급되도록 패널 구동회로에 별도로 연결된다. 따라서, 다수의 어드레스전극(28)에 전원이 공급될 때, 어드레스 전극(28)과 특정한 x 전극(23)사이에는 어드레스 방전이 발생한다.
다수의 어드레스전극(28)을 내포하여 백패널 유리(27)의 전면에 두께 30㎛의 유전체막(29)이 코팅되어 있다. 인접하는 어드레스전극(28) 사이의 피치에 따라서 x 방향으로 연장하도록 유전체막(29) 위에는 높이 약 150㎛, 폭 약 40㎛의 격벽(30)이 배치된다.
인접하는 격벽(30)의 측면과 그 사이의 유전체막(29)의 표면상에는 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 형광체층(31,32,33)이 y 방향으로 교대로 도포된다.
이러한 구성을 갖는 프런트패널(20)과 백패널(26)은 다수의 어드레스전극(28)과 다수의 표시전극(22,23)이 서로 교차하도록 위치된다. 그후, 프런트패널(20)과 백패널(26)은 그들의 외측 에지를 따라 상호간에 접착되고, 그에 따라 프런트패널 및 백패널(20,26)이 밀봉된다.
양 패널(20,26)사이에는 He, Xe, 및 Ne으로부터 선택된 하나 이상의 불활성가스로 이루어지는 방전 가스(봉입 가스)가 소정의 압력(종래는 통상 500∼760 Torr 정도)으로 봉입되어 있다.
인접하는 격벽(30) 사이의 공간은 방전공간(38)이다. 또한, 인접하는 다수의 표시전극 쌍(22,23)과 다수의 어드레스전극(28)이 교차하는 방전공간(38)내의 영역은 화상표시 셀(도 8b에 도시된 셀(340)에 해당)이 된다. 일 예로써, x 방향의 셀 피치는 약 1080㎛ , y 방향의 셀 피치는 약 360㎛이다.
이와 같이 구성된 PDP는 다음의 방법으로 구동된다. 첫째로, 어드레스 방전을 일으킬 일정한 어드레스전극(28)과 X 전극(23)에 패널구동부로부터 펄스 전압이 인가된다. 그후, 펄스 전압은 유지 방전을 일으킬 표시전극 쌍(22,23)에 인가되고, 그 결과 단파장의 자외선(파장 약 147㎚을 중심파장으로 하는 공명 라인)을 발생시킨다. 자외선은 각각의 컬러의 광을 방출하는 형광체층(31∼33)을 여기시켜 화상표시를 한다.
1-2. 제 1 실시예의 특성 및 효과
통상적으로, 프런트패널 유리(21)상에 표시전극(22,23)을 형성시 소성이 행해지는 동안, 또는 표시전극(22,23) 위에 유전체층(24)을 연속하여 형성시 표시전극(22,23)이 이동되는 동안, 표시전극(22,23)은 미스얼라인되거나 표시전극(22,23)의 일부(예컨대 버스 라인(221,231))이 박리되는 경향이 있다.
이들 문제는 투명전극(220,230) 또는 버스 라인(221,231)과 그 밀착표면(프런트패널 유리(21)의 표면 혹은 투명전극(220,230)의 표면) 사이의 밀착력이 양 부재간의 친화력에 좌우된다는 요인때문일 수 있다. 친화력이 불충분하면, 이들간에 강력한 밀착력이 보장될 수 없다. 다시 말해, 투명전극(220,230)과 프런트패널 유리(21) 사이의 친화력 또는 버스 라인(221,231)과 투명전극(220,230) 사이의 친화력의 부족은 이들간에 불충분한 밀착의 원인이 되고, 표시전극(22,23)이 제조공정 중에 이동에 의해 발생하는 진동을 받게 되는 경우 상술한 문제점을 일으키게 된다. 이러한 미스얼라인되거나 박리된 표시전극(22,23)에 걸쳐 프런트패널 유리(21) 상에 유전체층(24)과 보호층(25)이 형성된다면, 제조된 PDP 는 적절한 방전(어드레스 방전 및 유지 방전)을 수행할 수 없게 되고 화상표시 성능의 저하를 초래할 것이다.
이 문제를 극복하기 위해, 제 1 실시예에서 전원 공급 지점의 단부에 대향하는 버스라인(221,231)의 단부(즉, 도 2에 도시된 단부(221a,231a))는 투명 전극(220,230)을 넘어서 연장되고 프런트패널 유리(21)의 표면에 밀착된다. 여기서, 연장 단부(221a,231a)의 길이는 30㎛이다.
일반적으로, 버스 라인(221,231)과 프런트패널 유리(21) 사이의 친화력은 투명전극(220,230)과 프런트패널 유리(21) 사이의 친화력보다 크고, 또한, 버스 라인(221,231)과 투명전극(220,230) 사이에서의 친화력보다도 강력하다. 이 특성은, 버스 라인(221,231)의 소성 전후에 단부(221a,231a)가 프런트패널 유리(21)에 강력하게 밀착되는 본 실시예의 PDP(10)에서 활용된다. 이렇게 함으로써, 표시전극(22,23)이 미스얼라인되거나 프런트패널 유리(21)의 표면으로부터 박리되는 것을 방지한다.
다시 말해, 버스 라인(221,231)의 단부(221a,231a)가 프런트패널 유리(21)에 밀착할 경우에는, 버스 라인(221,231)이 투명전극(220,230)으로부터 박리되거나 다른 전극과 단락하는 위험성, 또는 인접하는 표시전극간의 거리가 불균일하게 되어 균일하지 않고 화질이 떨어지는 표시를 일으킬 위험성이 회피된다. 그러므로, 각 컬러의 균형된 발광으로 우수한 표시성능을 얻을 수 있다.
여기서, 버스 라인(221,231)의 단부(221a, 231a)의 밀착력을 강화하기 위해, 버스 라인(221,231)의 다른 부분보다 더 높은 유리 비율을 포함하도록 단부(221a,231a)가 형성될 수 있다.
또한, 투명 전극(220,230)과 버스 라인(221,231)은 각각 다수의 분리 부분으로 형성될 수 있다(예를 들면, 버스 라인(221,231)은 투명 전극(220,230)과 전기 접촉하도록, 스폿팅 패턴으로 배열된 다수의 분리 부분으로 구성된 투명전극(220,231)상에 배치될 수 있다).
본 출원의 발명자는 y 방향으로 버스 라인(221,231)의 단부(221a, 231a)의 길이를 각각 30㎛, 60㎛, 100㎛으로 설정하여 표시전극(22,23)의 상태에 대한 테스트를 하였다. 그 결과, 어떠한 경우에서도 박리나 미스얼라인이 생기지 않았다. 본 실시예에서 버스 라인(221,231)의 폭이 95㎛이라고 가정하면, y 방향으로 단부(221a, 231a)의 길이는 버스 라인(221,231)의 폭의 적어도 1/3(즉, 대략 30㎛ 정도)일 필요가 있다.
1.3 버스라인의 투명 전극 및 프런트패널 유리에의 밀착력에 대한 보충설명
버스라인의 투명 전극 또는 프런트패널 유리에의 밀착력에 대한 설명은 다음과 같다. 통상적으로, 2개의 상이한 물질의 밀착력은 한 물질과 다른 물질의 접촉각, 즉 습윤도(wettability)와 관계가 있다. 밀착력과 접촉각 사이의 관계는 물질중 하나가 액체이고 고체면 상의 액체의 습윤성이 시간에 따라 변화하는 경우(즉, 액체가 고체면 상에서 점차 건조)에도 대부분 유지된다.
이 관계가 버스라인을 투명전극 또는 프런트패널 유리에 밀착하는 것에 적용될 경우, 버스라인 물질의 프런트패널 유리에의 접촉각이 작아질수록(즉, 버스라인 물질에 대한 프런트패널 유리의 습윤도가 높아질수록), 프런트패널 유리에 밀착하는 투명 전극의 표면이 덜 박리되거나 미스얼라인된다(즉, 밀착표면을 프런트패널 유리에 대해 높은 친화력을 갖는다). 스크린 인쇄(후막 혹은 박막 형성방법)에 의해 도포되는 어떠한 전극 물질과 전극물질이 도포되는 플레이트 사이의 관계에 대해서도 동일한 것이 적용될 수 있다.
도 7a는 프런트패널 유리 위에 낙하되는 버스 라인 물질(Ag, 유기물질, 및 가소제를 포함)의 접촉각이 시간에 따라 어떻게 변화하는지를 나타내는 그래프이다. 도 7b는 투명 전극 위에 낙하되는 버스 라인 물질의 접촉각이 시간에 따라 어떻게 변화하는지를 나타내는 그래프이다. 이들 그래프는 약간 다른 성분을 갖는 다수의 샘플을 사용하여 수행된 실험결과를 보여준다. 도 7a 및 도 7b에서 접촉각은 모두 시간에 따라 증가한다. 이것은 버스 라인 물질의 표면이 수분흡착이나 이물질 부착에 의해 점차 오염되기 때문이라고 추측된다. 이들 도면은 대체로 버스 라인 물질의 접촉각이 투명전극 위에서보다 프런트패널 유리 위에서 더 작은 것을 나타낸다. 이는 버스 라인 물질이 프런트패널 유리에 대하여 상대적으로 비교적 우수한 밀착력을 갖는다는 것을 보여준다.
1.4 변형예 1-1
다음은 제 1 실시예의 변형예 1-1에 대한 설명이다. 제 1 실시예에서 전원 공급점의 단부에 대향하는 버스라인(221,231)의 단부(221a,231a)는 투명 전극(220,230)을 넘어서 연장되고 프런트패널 유리(21)의 표면에 밀착된다(도 2 참조). 변형예 1-1에서 버스라인(221,231)의 단부(221a,231a) 이외에, 버스라인(221,231)의 일측은, 도 3에 도시된 바와 같이, 프런트패널 유리(21)의 표면에 밀착된다.
이러한 구성에 의하면, 제 1 실시예와 동일한 효과를 얻을 수 있다. 또한, 버스라인(221,231)의 일측은 길이방향(y 방향)을 따라 프런트패널 유리(21)에 단단하게 고착되므로, 투명 전극(220a,230a)과 버스라인(221,231)의 박리 또는 미스얼라인은 보다 신뢰성있게 억제될 수 있다.
이 변형예에서 투명전극(220,221)보다 길게 버스라인(221,231)이 설정되었지만, 버스라인(221,231)이 투명전극(220,221) 보다 작거나 동일하여도, 박리 또는 미스얼라인이 억제될 수 있다.
또한, 버스라인(221,231)의 일측이 프런트패널 유리에 부분적으로 밀착되는 경우에도 어느 정도의 유효성이 기대될 수 있다.
1.5 다른 변형예
도 4는 제 1 실시예의 변형예 1-2의 표시전극을 보여주는 부분 평면도이다. 이 변형예 1-2에서, 투명전극(220,230)의 전체 에지에 걸쳐, 버스 라인(221,231)이 투명전극(220,230)과 프런트패널 유리(21)의 양쪽을 덮도록 형성된다. 이러한 구성에 의하면, 상기 변형예 1-1에서 얻을 수 있는 효과를 더욱 개선한다.
본 출원의 발명자는 프런트패널 유리(21)에 밀착된 버스 라인(221,231)의 x 방향 측부의 폭을 각각 10㎛, 20㎛, 30㎛으로 설정하여 표시전극(22,23)의 상태를 테스트하였다. 그 결과, 어느 것이나 박리나 미스얼라인이 생기지 않았다. 따라서, 프런트패널 유리(21)에 밀착된 버스 라인(221,231)의 측부의 폭은 바람직하게는 10㎛ 이상인 것으로 여겨진다.
도 5a 내지 도 5e는 제 1 실시예의 다른 변형예 1-3 내지 1-7의 표시전극을 나타낸다. 도 5a 내지 도 5c는 다른 변형예 1-3 내지 1-5의 표시전극(22)의 부분 평면도이다. 도 5d는 다른 변형예 1-6의 표시전극(22)의 부분 단면도이고, 도 5e는 다른 변형예 1-7의 표시전극(22)의 부분 평면도이다. 도 5a 내지 도 5e를 통해 단지 표시전극(22)만을 예시하지만, 각각의 다른 변형예들은 물론 표시전극(23)에도 적용될 수 있다.
도 5a 및 도 5b에 도시된 변형예 1-3과 1-4에서, 버스 라인(221)의 단부가 각각 원 및 사각형으로 형성되고 프런트패널 유리(21)의 표면에 밀착된 단부(221a)의 영역을 넓힌다. 그 결과 프런트패널 유리(21)의 표면에 밀착력이 강화되고 제 1 실시예의 효과를 증가시킬 수 있다.
도 5c에 도시된 변형예 1-5에서 버스 라인(221)의 단부(221a)가 프런트패널 유리(21)의 표면에 프릿 유리(221fg)를 사용하여 강력하게 밀착된다.
도 5d에 도시된 변형예 1-6에서 버스 라인(221)의 단부(221a)가 밀착되는 프런트패널 유리(21)의 표면의 일부(21a)는 샌드블라스트되어, 단부(221a)와 프런트패널 유리(21)사이의 밀착력을 강화시킨다.
도 5e는 변형예 1-7의 표시전극(22,23)의 부분 평면도이다. 보통, 버스 라인(221,231)의 전원공급점에서의 단부(221a,231a)는 패널 구동회로와 전기 접속을 위한 리드(커넥터) 전극부로서 작용한다. 이 리드 전극부(221c,231c)가 보다 덜 박리 혹은 미스얼라인되므로, 특히 박리 혹은 미스얼라인에 민감한 버스 라인(221,231)의 단부(221a,231a)가 프런트패널 유리(21)의 표면에 밀착된다면 충분할 것이다. 그러나, 변형예 1-7에서 버스 라인(221,231)의 모든 단부(221a-221c, 231a-231c)는 프런트패널 유리(21)의 표면에 직접 밀착되어, 표시전극(22,23)과 프런트패널 유리(21)사이의 밀착력을 더 강하게 한다.
2. 제 2 실시예
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 표시전극(22,23)의 부분 평면도이다. 이 실시예에서, 유전체층(24)의 형성 전에 버스 라인(221,231)의 단부(221a,231a)는 접착제(221fg, 231fg)를 사용하여 버스 라인(221,231)의 다른 부분보다 더 견고하게 투명전극(220,230)의 표면에 밀착된다. 이 접착제(221fg,231fg)는 유전체층(24)에 사용되는 동일한 유리 재료로 형성된다.
이러한 구성으로, 버스라인(221,231)의 형성 공정과 유전층(24)을 형성하는 후속 공정중에 버스라인(221,231)은 투명전극(220,230)의 표면으로부터 미스얼라인되거나 박리되는 것이 방지된다. 따라서, 표시전극(22,23)의 정확한 정렬과 구성이 완성된 PDP(10)에서 보증된다. PDP(10)는 각각의 컬러의 균형된 발광으로 우수한 화상표시를 만들 수 있다.
접착제(221fg,231fg)는 유전체층(24)에 사용되는 유리재료에 제한되지 않고, 다른 유리재료 또는 유기 재료가 사용될 수 있다. 여기서, 버스라인(221,231)과 투명전극(220,230) 사이에 접착제(221fg,231fg)가 도포되는 경우에는, 접착제(221fg,231fg)가 너무 넓은 영역에 도포되어 전기 저항을 증가시키기 때문에 주의를 요한다.
또한, 접착제(221fg,231fg)를 사용하는 대신, 버스 라인(221,231)의 단부(221a,231a)는 버스 라인(221,231)의 다른 부분보다 더 높은 유리 비율을 포함하도록 만들어질 수 있다. 이로써, 단부(221a,231a)와 투명전극(220,230) 사이의 밀착력은 제 1 실시예에서와 같이 강화된다.
3. PDP의 제조방법
다음에, 상기한 실시예 및 변형예의 PDP(10)를 제조하는 방법의 일례를 설명한다.
3-1. 프런트패널(20)의 제조
플로팅(floating)법에 의해서 두께 약 2.6mm의 소다 석회 유리로 이루어지는 프런트패널 유리(21)를 제조하고, 그 프런트패널 유리(21)의 한 면에 다수의 표시전극 쌍(22,23)을 형성한다. 다수의 표시전극 쌍(22,23)을 형성하기 위해, 우선 투명전극(220,230)을 스크린 인쇄(박막 또는 후막 형성방법)와 포토에칭(photoetching)을 이용하여 다음과 같이 형성한다.
여기서, 프런트패널 유리(21)의 표면에 다수의 표시전극 쌍(22,23)을 제조하기 전에 이 표면을 실리콘 산화물 또는 질소 산화막으로 도포하는 것이 바람직하다. 이로써, 프런트패널 유리(21)와 투명전극(22,23)의 밀착력이 증가된다.
3.1.1. 투명 전극(22,23)의 제조
프런트패널 유리(21)의 전면에 두께 약 2.0㎛의 포토레지스트(예컨대 자외선경화수지)를 스크린 인쇄를 이용하여 도포한다. 그리고 투명전극(220,230)의 패턴을 갖는 포토마스크를 프런트패널 유리(21)의 표면에 고정시키고, 자외선을 조사한다. 이어 결과물을 현상액에 담그어 경화되지 않은 포토레지스트의 부분을 씻어낸다.
다음에 투명전극 물질을 형성하는 페이스트로 ITO, 유지재료, 및 가소제를 포함한 페이스트를 프런트패널 유리(21)의 남아있는 포토레지스트 부분 사이의 갭에 도포하고, 건조, 세정 및 소성공정을 순차로 행한다. 이와 같이 하여, 투명전극(220,230)이 형성된다.
3.1.2. 버스라인(221,231)의 제조방법(케이스 1)
제 1 실시예 및 그 변형예 1-1, 1-2, 1-3, 1-4 및 1-7에서, 버스라인(221,231)은 다음과 같이 형성된다.
은(Ag), 포토레지스트, 가소제, 및 유리재료를 포함한 페이스트가 버스 라인 물질로 사용된다. 이 페이스트는 스크린 인쇄를 사용하여 투명전극(220,230)이 형성되어 있는 프런트패널 유리(21)의 표면에 도포되어 건조된다. 그후, 투명전극(220,230)의 패턴을 갖는 포토마스크를 프런트패널 유리(21)의 표면에 고정시키고, 페이스트의 과다 부분은 포토리소그래피법을 사용하여 세정한다. 그 결과 각 단부(221,231)를 갖는 버스 라인이 형성된다. 본 발명에서, 각 단부(221,231)에 대응하는 버스 라인 물질은 프런트패널 유리(21)에 충분한 밀착력으로 결합되므로 버스 라인(221,231)은 종래의 기술과 달리 박리 또는 미스얼라인이 없이 적절한 정렬을 유지한다.
버스 라인(221,231)의 형성방법으로 포토리소그래피법 대신에 스크린 인쇄법이 사용될 수 있다.
3.1.3. 버스 라인(221,231)의 제조방법(케이스 2)
제 1 실시예 및 그 변형예 1-5 및 제 2 실시예에서, 버스라인(221,231)은 다음과 같이 형성된다.
우선, 접착제의 일 예로서 유전체층(24)에 사용되는 유리 물질(후에 설명)은 단부(221a,231a)가 밀착될 투명전극(220,230)의 표면 일부 또는 프런트패널 유리(21)의 표면 일부에 용융하여 낙하된다. 선택적으로, 버스라인 물질이 투명전극(220,230)의 표면이나 프런트패널 유리(21)의 표면에 적용된 후, 버스 라인 물질 위에 유리 물질이 낙하될 수 있다.
Ag, 포토레지스트, 가소제 및 유리물질을 포함하는 버스 라인 물질은 표시전극(220,230)을 갖는 프런트패널 유리(21) 표면에 스크린 인쇄를 이용하여 도포되어 소성된다. 소성공정은 최고온도 약 600℃ 정도의 온도 프로파일(profile)로 설정한 소성로에 프런트패널 유리(21)를 투입하여 수행된다.
여기서, 소성공정에 앞서 상온의 건조공정이 수행될 수 있다.
본 발명에서, 버스 라인 물질의 패터닝, 소성으로부터 유전체층(24)의 형성까지의 동작중에 버스 라인 물질의 충분한 밀착력은 이전에 낙하된 유리 물질에 의해 유지된다. 이에 따라 버스라인 물질 및 투명전극 사이에 포토레지스트 같은 이물질이 존재하는 경우에도 혹은 건조 또는 소성공정 중에 버스라인 물질이 변형응력에 의해 축소될 때에도, 버스라인 물질은 외부의 진동이 있을 때 박리 또는 미스얼라인이 되지 않을 것이다. 동일한 효과를 스퍼터링 같은 방법을 사용하여 얻을 수 있다.
3.1.4. 버스 라인(221,231)의 제조방법(케이스 3)
제 1 실시예 및 그 변형예 1-6에서, 버스라인(221,231)은 다음과 같이 형성된다.
버스라인 물질이 도포되기 전에, 버스 라인(221,231)의 단부(221a,231a)가 밀착되는 프런트패널 유리의 일부에 샌드브라스팅(sandblasting)이 수행된다. 이 샌드브라스팅은 버스 라인(221,231)과 프런트패널 유리(21) 사이의 침화력을 증가시키는 공정의 단지 일 예이며, 자외선 조사 또는 플라즈마 처리 같은 또 다른 공정이 사용될 수 있다. 또한, 본 발명자는 친수성 처리가 버스 라인(221,231)과 프런트패널 유리(21) 사이에서 친화력을 증가시키는 효과를 갖는다는 것을 발견했다. 따라서, 적어도 유기 물질을 제거하는 철저한 세정 공정이 단부(221a, 231a)가 밀착될 프런트패널 유리(21)의 표면 부분에 수행될 수 있다.
프런트패널 유리(21)의 표면 처리후, Ag, 포토레지스트, 가소제, 및 유리물질을 포함한 버스라인 물질은 스크린 인쇄(박막 및 후막 형성방법)를 사용하여 투명 전극(220,230)이 형성된 프런트패널 유리(21)의 표면에 도포된다. 그후, 도포된 버스 라인 물질은 포토리소그래피되고, 그 결과 표시 전극(22,23)이 형성된다.
3.1.5. 유전체층(24)의 제조
다음에, 표시전극(22,23) 위에 분말상 유리성분(예컨대 PbO계 유리성분)과, 유기 바인더 용액(분산제로 호모게놀(homogenol) 0.2 wt%와 가소제로 프탈산 디부틸 2.5 wt%과, 에틸 셀룰로즈 45 wt% 혼합한 것)을 55 : 45의 중량비로 혼합하여 페이스트를 생성한다. 이 페이스트는 다수의 표시전극 쌍(22,23)이 배열된 프런트패널 유리(21)의 전면에 걸쳐 코팅되고 520℃에서 10분동안 소성된다. 그 결과 두께 약 30㎛의 유전체층(24)이 형성된다.
3.1.6. 보호층(25)의 제조
유전체층(24)이 형성되면, 그 표면상에 산화마그네슘(MgO)의 보호층(25)을 두께 약 1.0㎛로 형성한다. 이것으로서 프런트패널(20)이 제조된다.
3.2. 백패널(26)의 제조
3.2.1. 어드레스 전극(28)과 유전체막(29)의 제조
플로팅법으로 제조한 두께 약 2.6mm의 소다석회 유리로 이루어지는 백패널 유리(27)의 한 면에, 스크린 인쇄법에 의해 Ag를 주성분으로 하는 도전물질을 일정간격으로 띠형상 패턴으로 도포한다. 이는 두께 약 5㎛의 다수의 어드레스 전극(28)을 형성한다.
계속해서, 어드레스 전극(28)을 형성한 백패널 유리(27)의 전면에 유전체층(24)에 대해 사용한 동일한 페이스트를 두께 약 20㎛로 도포하고, 소성하여, 유전체막(29)을 형성한다.
3.2.2. 격벽(30)과 형광체층(31-33)의 제조
다음에, 유전체막(29)에 대해 사용된 동일한 유리물질을 사용하여, 유전체막(29)의 표면 위에 인접하는 어드레스 전극(28)간의 간격(약 150㎛)에 높이 약 120㎛의 격벽(30)이 형성된다. 이 격벽(30)은, 예컨대 상기한 유리물질을 포함한 페이스트를 스크린 인쇄로 반복하여 도포하고, 소성하여 형성될 수 있다.
격벽(30)이 형성된 후, 인접하는 격벽(30)의 측면과 인접하는 격벽(30) 사이에 노출된 유전체막(29)의 표면에 적색(R)형광체, 녹색(G)형광체, 청색(B)형광체 각각을 포함하는 형광 잉크를 도포하고, 건조, 소성하여 각각 형광체층(31∼33)을 형성한다.
일반적인 형광체 재료의 일례를 이하에 열거한다.
적색형광체: (YxGd1-x) BO3 : Eu3+
녹색형광체: Zn2SiO4 : Mn
청색형광체: BaMgAl10O17 : Eu3+(혹은 BaMgAl14O23 : Eu3+ )
여기서 각 형광체 재료는, 예컨대 평균 입경이 약 3㎛ 정도의 분말을 사용할 수있다. 형광체 잉크를 도포하는 여러 가지의 방법이 있지만, 본 발명에서는 공지의 메니스카스법(meniscus)이라 하는 극세 노즐로부터 메니스카스(표면장력에 의한 가교)를 형성하면서 형광체 잉크를 토출하는 방법을 사용한다. 이 방법은 형광체 잉크를 원하는 영역에 균일하게 도포하는 데 안성마춤이다. 그러나, 본 발명은 이 방법에 한정되는 것이 아니라, 스크린 인쇄법등 다른 방법도 사용가능하다.
이상으로 백패널(26)이 완성된다.
프런트패널 유리(21) 및 백패널 유리(27)가 소다 석회 유리로 이루어지는 것으로 설명하였지만, 이것은 재료의 일례로서 든 것이고, 이외의 재료라도 좋다.
3.3. PDP의 완성
제조한 프런트패널(20)과 백패널(26)은 봉착용 유리로 함께 합쳐진다. 그 후, 방전공간(38)의 내부는 고진공(대략 8× 10-7 Torr )을 형성하도록 배기된다. 이어 방전공간(38)은 소정의 압력(500∼760 Torr)으로 Ne-Xe, He-Ne-Xe, He-Ne-Xe-Ar 등의 방전 가스를 봉입한다.
이상으로 PDP가 완성된다.
4. 그 밖의 사항
본 발명의 실시예는 표시전극(22,23)의 모두에 발명을 적용하는 예를 설명하고 있지만, 본 발명은 표시전극(22,23)의 어느 하나에 한쪽에만 적용될 수 있다. 그러나 본 발명의 효과를 향상시키기 위하여는 표시전극(22,23)의 양쪽에 본 발명을 적용하는 것이 바람직하다.
또한 본 실시예는 PDP의 표시전극을 갖는 프런트패널 유리에 관해서 설명하였지만, 본 발명의 전극 플레이트는 이 적용예에 한정되는 것이 아니다. 전극 플레이트는, 예컨대 PDP 등의 가스방전 패널의 어드레스(주사) 전극을 갖는 백패널 유리에 적용하는 것도 가능하다. 또한, 본 발명의 전극 플레이트는 터치 패널이나 LCD 등 다른 타입의 FPD의 표시 전극을 갖는 프런트패널 유리에도 적용이 가능하다.
또한, 이 실시예에서는 VGA형 PDP를 제조하는 예에 관해서 설명하였지만, 물론 이외의 규격의 PDP나 가스방전 패널에 적용하더라도 좋다.
또한, 이 실시예에서는 표시전극이 투명 전극과 버스 라인상에 형성되는 것을 설명하였지만, 투명 전극과 버스 라인의 단 하나로 구성되는 표시전극에 본 발명을 적용하여도 어느 정도의 유용한 효과를 기대할 수 있다.
또한, 본 발명자는, Ag를 포함한 전극이 유리 플레이트의 표면에 밀착될 경우 본 발명이 최대 효과를 나타낸 것을 발견했으나, 플레이트 전극은 유리 이외의 물질로 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명의 효과를 보증하기 위해, 모든 전극 단부 중에서 전원 공급점의 단부에 대향하는 적어도 하나의 단부가 전극의 다른 부분보다 강한 밀착력을 가진 플레이트 표면에 밀착될 수 있다.
더욱이, 전극은 띠형상(길이가 긴)가 아닌 다른 형상도 가능하다. 이 경우, 전극단부 중에서 적어도 전원 공급점의 단부에 대향하는 단부는 전극의 다른 부분보다 강한 밀착력을 가진 플레이트 표면에 밀착될 수 있다.
또한, 본 실시예는 제 1 및 제 2 전극부로서 각각 투명 전극과 버스 라인을 갖는 전극(표시 전극)을 형성하는 예를 개시하지만, 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 예컨대, 스크린 인쇄법(박막 및 후막 형성방법)을 사용하여 다른 종류의 물질로 이루어진 2개의 전극부로 전극이 형성될 수 있다.
이상의 구성을 갖는 본 발명의 교류면방전형 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서 간단한 구성에 의해 플레이트 상에 형성된 전극의 박리나 미스얼라인을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 표시전극이 발광표시를 격차 없고 균일히 구성할 수 있기 때문에, 균형 잡힌 표시성능을 얻는 것이 가능하다.
본 발명의 바람직한 실시예들은 예시의 목적을 위해 개시된 것이며, 당업자라면 첨부된 청구범위에 개시된 본 발명의 사상과 범위를 통해 각종 수정, 변경, 대체 및 부가가 가능할 것이다.

Claims (45)

  1. 플레이트와, 박막 형성방법 또는 후막 형성방법을 사용하여 상기 플레이트의 적어도 하나의 주면상에 형성되고 밀착되는 적어도 하나의 전극을 포함하는, 플랫 패널 디스플레이에서의 사용을 위한 전극 플레이트로서,
    상기 전극의 전원 공급점측 단부영역과 상기 전원 공급점측 단부영역의 반대측 단부영역 중에, 적어도 상기 반대측 단부영역은 상기 전극의 다른 영역보다 강한 밀착력을 갖고 상기 플레이트의 주면에 밀착되는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 전극은 띠 형상이고,
    적어도 상기 반대측 단부영역은, 상기 전극의 다른 영역보다 강한 밀착력으로 상기 플레이트의 주면에 밀착되도록 상기 전극의 다른 영역보다 폭이 큰 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  3. 제1항에 있어서,
    적어도 상기 반대측 단부영역은, 상기 전극의 다른 영역보다 강한 밀착력으로 상기 플레이트 주면에 밀착되도록, 접착제를 사용하여 상기 플레이트의 주면에 밀착되는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  4. 제1항에 있어서,
    적어도 상기 반대측 단부영역은, 상기 전극의 다른 영역보다 강한 밀착력으로 상기 플레이트의 주면에 밀착되도록, 적어도 하나의 표면 처리가 수행된 상기 플레이트의 주면 일부에 밀착되는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 표면 처리는 자외선 조사, 플라즈마 조사, 샌드블라스팅, 및 유기물을 제거하는 세정으로 구성된 그룹으로부터 선택된 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  6. 플레이트와, 상기 플레이트의 적어도 하나의 주면에 밀착되는 적어도 하나의 전극을 포함하며, 상기 전극은 (a) 상기 플레이트의 주면의 상에 밀착되는 제1 전극부, (b) 상기 제1 전극부와 전기 접촉하도록 상기 제1 전극부에 밀착되는 제2 전극부로 구성되는, 플랫 패널 디스플레이에서의 사용을 위한 전극 플레이트로서,
    상기 제2 전극부의 전원 공급점측 단부영역과 상기 전원 공급점측 단부영역의 반대측 단부영역 중에서, 적어도 상기 제2 전극부의 반대측 단부영역은 상기 제1 전극부를 넘어 연장되고 상기 플레이트의 주면에 직접 밀착되는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 플레이트는 유리 플레이트이고, 상기 제 2 전극부는 은(Ag)을 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 전극이 밀착되는 상기 플레이트의 주면은 실리콘 산화물 또는 질소 산화물로 구성하는 그룹으로부터 선택되는 물질로 구성된 막으로 코팅된 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  9. 제6항에 있어서,
    적어도 상기 제2 전극부의 반대측 단부영역은 상기 제2 전극부의 다른 영역보다 폭이 큰 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  10. 제6항에 있어서,
    적어도 상기 제2 전극부의 반대측 단부영역은 접착제를 사용하여 상기 플레이트의 주면에 밀착되는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 접착제는 유리를 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  12. 제6항에 있어서,
    상기 제2 전극부는 유리를 포함하고,
    적어도 상기 제2 전극부의 반대측 단부영역은 상기 제2 전극부의 다른 영역보다 더 높은 유리 비율을 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  13. 제6항에 있어서,
    적어도 상기 제2 전극부의 반대측 단부영역은 적어도 하나의 표면 처리가 수행된 상기 플레이트의 주면의 일부에 밀착되는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 표면 처리는 자외선 조사, 플라즈마조사, 샌드블라스팅 및 유기 물질을 제거하는 세정으로 구성된 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  15. 제6항에 있어서,
    상기 전극은, 상기 제1 전극부와 제2 전극부로 투명 전극과 버스 전극으로 각각 구성된 표시전극이고,
    상기 플레이트는, 가스방전 패널에서 다수의 표시전극 쌍을 갖는 프런트패널 유리인 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  16. 제15항의 프런트패널 유리를 구비하는 것을 특징으로 하는 가스 방전 패널.
  17. 플레이트와, 상기 플레이트의 적어도 하나의 주면에 밀착되는 적어도 하나의 전극을 포함하며, 상기 전극은 (a) 상기 플레이트의 주면에 밀착되는 제1 전극부, (b) 상기 제1 전극부와 전기 접촉하도록 상기 제1 전극부에 밀착되는 제2 전극부로 구성되는, 플랫 패널 디스플레이에서의 사용을 위한 전극 플레이트로서,
    상기 제2 전극부의 전원 공급점측 단부영역과 상기 전원 공급점측 단부영역의 반대측 단부영역 중에서, 적어도 상기 제2 전극부의 반대측 단부영역은 상기 제2 전극부의 다른 영역보다 강한 밀착력으로 상기 제1 전극부에 밀착되는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 플레이트는 유리 플레이트이고, 상기 제 2 전극부는 은(Ag)을 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 전극이 밀착되는 상기 플레이트의 주면은 실리콘 산화물 또는 질소 산화물로 구성한 그룹으로부터 선택되는 물질로 구성된 막으로 코팅된 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  20. 제17항에 있어서,
    적어도 상기 제2 전극부의 반대측 단부영역은 상기 제2 전극부의 다른 영역보다 강한 밀착력으로 상기 제1 전극부에 밀착되도록, 상기 제2 전극부의 다른 영역보다 폭이 큰 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  21. 제17항에 있어서,
    적어도 상기 제2 전극부의 반대측 단부영역은 상기 제2 전극부의 다른 영역보다 강한 밀착력으로 상기 제1 전극부에 밀착되도록, 접착제를 사용하여 상기 제1 전극부에 밀착되는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 접착제는 유리를 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  23. 제17항에 있어서,
    상기 제2 전극부는 유리를 포함하고,
    적어도 상기 제2 전극부의 반대측 단부영역은 상기 제2 전극부의 다른 영역보다 더 높은 유리 비율을 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  24. 제17항에 있어서,
    상기 전극은, 상기 제1 전극부와 제2 전극부로 투명 전극과 버스 전극으로 각각 구성된 표시전극이고,
    상기 플레이트는, 가스방전 패널에서 다수의 표시전극 쌍을 갖는 프런트패널 유리인 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  25. 제24항의 프런트패널 유리를 구비하는 것을 특징으로 하는 가스 방전 패널.
  26. 플레이트와, 상기 플레이트의 적어도 하나의 주면에 밀착되는 적어도 하나의 전극을 포함하며, 상기 전극은 (a) 상기 플레이트의 주면에 밀착되는 제1 전극부, (b) 상기 제1 전극부와 전기 접촉하도록 상기 제1 전극부에 밀착되는 제2 전극부로 구성되는, 플랫 패널 디스플레이에서의 사용을 위한 전극 플레이트에 있어서,
    상기 제2 전극부의 일측 영역은 폭 방향으로 부분적으로 또는 전체적으로 상기 제1 전극부를 넘어서 연장되고, 상기 플레이트의 주면에 대한 상기 제1 전극부의 밀착력 및 상기 제1 전극부에 대한 상기 제2 전극부의 다른 부분의 밀착력보다 강한 밀착력으로 상기 플레이트의 주면에 밀착되는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  27. 제26항에 있어서,
    상기 전극은, 상기 제1 전극부와 제2 전극부로 투명 전극과 버스 전극으로 각각 구성된 표시전극이고,
    상기 플레이트는, 가스방전 패널에서 다수의 표시전극 쌍을 갖는 프런트패널 유리인 것을 특징으로 하는 전극 플레이트.
  28. 제27항의 프런트패널 유리를 구비하는 것을 특징으로 하는 가스 방전 패널.
  29. 적어도 하나의 전극을 형성하고 상기 전극을 박막 형성방법 또는 후막 형성방법을 사용하여 플레이트의 적어도 하나의 주면에 밀착하는 전극형성 단계를 포함하는, 플랫 패널 디스플레이에서의 사용을 위한 전극 플레이트 제조방법으로서,
    상기 전극형성 단계에서, 상기 전극의 전원 공급점측 단부영역과 상기 전원 공급점측 단부영역의 반대측 단부영역 중에서, 적어도 상기 반대측 단부영역은 상기 전극의 다른 영역보다 강한 밀착력으로 상기 플레이트의 주면에 밀착되는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트 제조방법.
  30. 제29항에 있어서,
    적어도 상기 전극의 반대측 단부영역은 적어도 하나의 표면 처리된 상기 플레이트의 주면의 일부에 밀착되는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트 제조방법.
  31. 제30항에 있어서,
    상기 표면 처리는 자외선 조사, 플라즈마조사, 샌드블라스팅 및 유기물을 제거하는 세정으로 구성된 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트 제조방법.
  32. 제29항에 있어서,
    적어도 상기 전극의 반대측 단부영역은 접착제를 사용하여 상기 플레이트의 주면에 밀착되는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트의 제조 방법.
  33. 제 29 항에 있어서,
    상기 전극은 제1 전극부와 제2 전극부로 구성되며,
    상기 전극형성 단계는,
    상기 플레이트의 주면에 상기 제1 전극부를 밀착하는 제1 전극부 형성단계; 및
    상기 제2 전극부가 상기 제1 전극부에 전기 접촉되도록 상기 제2 전극부를 상기 제1 전극부에 밀착하는 제2 전극부 형성단계로 구성되며,
    상기 제2 전극 형성단계에 있어서, 상기 제2 전극부의 전원 공급점측 단부영역과 상기 전원 공급점측 단부영역의 반대측 단부영역 중에서, 적어도 상기 제2 전극부의 반대측 단부영역은 상기 제1 전극부를 넘어서 연장되고, 상기 플레이트의 주면에 대한 상기 제1 전극부의 밀착력 및 상기 제1 전극부에 대한 상기 제2 전극부의 다른 영역의 밀착력보다 강한 밀착력으로 상기 플레이트의 주면에 밀착되는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트 제조방법.
  34. 제29항에 있어서,
    상기 전극형성 단계는 적어도 상기 전극의 반대측 단부영역이 상기 전극의 다른 영역보다 더 높은 유리 비율을 포함하도록 상기 플레이트의 주면에 유리를 포함한 전극물질을 도포하는 전극물질 도포단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트 제조방법.
  35. 제33항에 있어서,
    상기 플레이트는 유리 플레이트이고,
    상기 제1 전극부 및 제2 전극부는 각각 투명 전극과 은(Ag)을 포함한 버스 라인인 것을 특징으로 하는 전극 플레이트 제조방법.
  36. 제29항에 있어서,
    가스 방전 패널용 다수의 표시전극 쌍을 갖는 프런트패널 유리를 제조하기 위한 전극 플레이트 제조방법.
  37. 프런트패널 유리를 제조하기 위한 제36항의 전극 플레이트 제조방법을 포함하는, 프런트패널 유리 및 백패널 유리를 갖는 가스 방전 패널의 제조방법.
  38. 플레이트에 제1 전극부 및 제2 전극부로 구성된 적어도 하나의 전극을 형성하며, (a) 상기 플레이트의 적어도 하나의 주면에 상기 제1 전극부를 밀착하는 제1 전극부 형성단계, (b) 상기 제2 전극부가 상기 제1 전극부와 전기 접촉하도록 상기 제2 전극부를 상기 제1 전극부에 밀착하는 제2 전극부 형성단계를 포함하는, 플랫 패널 디스플레이에서의 사용을 위한 전극 플레이트 제조방법으로서,
    상기 제2 전극부 형성단계에 있어서, 상기 제2 전극부의 전원 공급점측 단부영역과 상기 전원 공급점측 단부영역의 반대측 단부영역 중에서, 적어도 상기 제2 전극부의 반대측 단부영역은 상기 제2 전극부의 다른 영역보다 강한 밀착력으로 상기 제1 전극부에 밀착되는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트 제조방법.
  39. 제38항에 있어서,
    적어도 상기 제2 전극부의 반대측 단부영역은 접착제를 사용하여 상기 제1 전극부에 밀착되는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트의 제조 방법.
  40. 제 38 항에 있어서,
    상기 제2 전극부는 유리를 포함하고,
    상기 제2 전극부 형성 단계에 있어서, 적어도 상기 제2 전극부의 반대측 단부영역은 상기 제2 전극부의 다른 영역보다 더 높은 유리 비율을 포함하도록 상기 제1 전극부에 유리를 포함한 전극물질이 도포되는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트 제조방법.
  41. 제 38 항에 있어서,
    상기 플레이트는 유리 플레이트이고,
    상기 제 1 전극부 및 제 2 전극부는 각각 투명 전극과 은(Ag)을 포함한 버스 라인인 것을 특징으로 하는 전극 플레이트 제조방법.
  42. 제38항에 있어서,
    가스 방전 패널용 다수의 표시전극 쌍을 갖는 프런트패널 유리를 제조하기 위한 전극 플레이트 제조방법.
  43. 프런트패널 유리를 제조하기 위한 제42항의 전극 플레이트 제조방법을 포함하는, 프런트패널 유리 및 백패널 유리를 갖는 가스 방전 패널의 제조방법.
  44. 적어도 하나의 전극을 형성하고 상기 전극을 플레이트의 적어도 하나의 주면에 밀착하는 전극형성 단계를 포함하는, 플랫 패널 디스플레이에서의 사용을 위한 전극 플레이트 제조방법으로서,
    상기 전극형성 단계는,
    상기 플레이트의 주면에 유리를 포함하는 전극물질을 도포하는 도포단계: 및
    상기 도포된 전극물질을 소성하는 소성단계를 포함하며,
    상기 전극의 전원 공급점측 단부영역과 상기 전원 공급점측 단부영역의 반대측 단부영역 중에서, 적어도 상기 전극의 반대측 단부영역은 상기 전극의 다른 영역보다 강한 밀착력으로 상기 플레이트의 주면에 밀착되도록 상기 소성단계가 수행되는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트 제조방법.
  45. 플레이트에 제1 전극부 및 제2 전극부로 구성된 적어도 하나의 전극을 형성하며, (a) 상기 플레이트의 적어도 하나의 주면에 상기 제1 전극부를 밀착하는 제1 전극부 형성단계, (b) 상기 제2 전극부가 상기 제1 전극부와 전기 접촉하도록 상기 제2 전극부를 상기 제1 전극부에 밀착하는 제2 전극부 형성단계를 포함하는, 플랫 패널 디스플레이에서의 사용을 위한 전극 플레이트 제조방법으로서,
    상기 제2 전극부 형성단계는,
    상기 제1 전극부에 유리를 포함하는 전극물질을 도포하는 도포단계: 및
    상기 도포된 전극물질을 소성하는 소성단계를 포함하며,
    상기 제2 전극부의 전원 공급점측 단부영역과 상기 전원 공급점측 단부영역의 반대측 단부영역 중에서, 적어도 상기 제2 전극부의 반대측 단부영역은 상기 제2 전극부의 다른 영역보다 강한 밀착력으로 상기 제1 전극부에 밀착되도록 상기 소성단계가 수행되는 것을 특징으로 하는 전극 플레이트 제조방법.
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