JP2814557B2 - ガス放電パネルの製造方法 - Google Patents
ガス放電パネルの製造方法Info
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- Japan
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Description
【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 本発明はガス放電パネルの製造方法、特に表示用ガス
放電パネルの外囲器を構成する基板上に所定パターンの
絶縁性隔壁を形成する方法に関し 例えばメッシュ状の絶縁性隔壁を容易に、かつ高精度
に形成することを目的とし、 パネル外囲器となる基板の上に放電分離用の隔壁を形
成するに際し、基板上にサンドブラストによる研削を緩
衝する緩衝層を設けた状態で緩衝層上に隔壁材料層を形
成する工程と、隔壁材料層上に隔壁のパターンに対応し
たマスクを形成する工程と、マスクパターンより露出す
る隔壁材料層部分をサンドブラスト処理により研削除去
する工程とを含み、緩衝層は、サンドブラスト処理に際
して研削除去する隔壁材料層よりも研削速度の小さい部
材とし、平面形状がマスクのパターンに対応した隔壁を
緩衝層上に形成する。
放電パネルの外囲器を構成する基板上に所定パターンの
絶縁性隔壁を形成する方法に関し 例えばメッシュ状の絶縁性隔壁を容易に、かつ高精度
に形成することを目的とし、 パネル外囲器となる基板の上に放電分離用の隔壁を形
成するに際し、基板上にサンドブラストによる研削を緩
衝する緩衝層を設けた状態で緩衝層上に隔壁材料層を形
成する工程と、隔壁材料層上に隔壁のパターンに対応し
たマスクを形成する工程と、マスクパターンより露出す
る隔壁材料層部分をサンドブラスト処理により研削除去
する工程とを含み、緩衝層は、サンドブラスト処理に際
して研削除去する隔壁材料層よりも研削速度の小さい部
材とし、平面形状がマスクのパターンに対応した隔壁を
緩衝層上に形成する。
本発明はガス放電パネルの製造方法に係り、特に表示
用ガス放電パネルの外囲器を構成する基板上に所定パタ
ーンの隔壁を形成する方法に関するものである。
用ガス放電パネルの外囲器を構成する基板上に所定パタ
ーンの隔壁を形成する方法に関するものである。
ガス放電光を利用して文字や図形を表示するガス放電
パネルとして、DC、或いはAC駆動形の対向電極放電タイ
プや面放電タイプ等の種々のものが実用化されている。
これらのガス放電パネルでは、全面が一様な特性を持
ち、しかも解像度のよい鮮明な表示像を得るために放電
用のガスを封入した対向基板間のギャップ寸法の均一化
を図るスペーサの役目や、そのガス封入空間を複数の放
電セルに分離する役目の絶縁性隔壁が必要とされる。特
に蛍光体を利用して放電による紫外域の発光を多色カラ
ー発光に変換する機能を付加したカラー表示用のガス放
電パネルにおいては、異なるカラー相互間でのクロスト
ークを防止する隔壁が必要不可欠である。このため、所
定パターンの隔壁を位置精度良く、かつ均一な厚さに形
成する方法が要求される。
パネルとして、DC、或いはAC駆動形の対向電極放電タイ
プや面放電タイプ等の種々のものが実用化されている。
これらのガス放電パネルでは、全面が一様な特性を持
ち、しかも解像度のよい鮮明な表示像を得るために放電
用のガスを封入した対向基板間のギャップ寸法の均一化
を図るスペーサの役目や、そのガス封入空間を複数の放
電セルに分離する役目の絶縁性隔壁が必要とされる。特
に蛍光体を利用して放電による紫外域の発光を多色カラ
ー発光に変換する機能を付加したカラー表示用のガス放
電パネルにおいては、異なるカラー相互間でのクロスト
ークを防止する隔壁が必要不可欠である。このため、所
定パターンの隔壁を位置精度良く、かつ均一な厚さに形
成する方法が要求される。
ここで、従来のガス放電パネルにおける上記のような
絶縁性隔壁の形成方法の１例について説明すると、例え
ば代表的な面放電型ガス放電パネルの場合では、以下の
ような手法が採られていた。
絶縁性隔壁の形成方法の１例について説明すると、例え
ば代表的な面放電型ガス放電パネルの場合では、以下の
ような手法が採られていた。
即ち、第２図（ａ）および（ｂ）は代表的な面放電型
ガス放電パネルのパネル外囲器を構成する一対の基板構
体を別々に分解して示している。
ガス放電パネルのパネル外囲器を構成する一対の基板構
体を別々に分解して示している。
第２図（ａ）は、表示側基板構体を示す斜視図であ
り、ガラス基板２を主体としてその下面側にこの場合メ
ッシュ状の絶縁性隔壁７を具えている。この絶縁性隔壁
７は第２図（ｂ）に斜視図として示したもう一方の基板
構体と対向し、その基板構体の主体となるガラス基板１
上に形成された対をなす平行な走査用電極3a,3b群と、
該走査用電極3a,3b群と直交する方向に誘電体層４を介
して配列されたアドレス用電極５群とにより構成される
放電セル６に対応して、それらの放電セル６を画定する
形となっている。この形式の面放電型ガス放電パネルで
は電極側基板構体上の平行な走査用電極対3aと3bの間で
生じる面放電が表示を与えるものであり、この面放電を
当該電極対の長手方向に沿って複数の放電セル６に分離
する役目を該電極対と直交する方向の隔壁部分が担って
いる。そしてこの絶縁性隔壁は、例えば低融点ガラスペ
ーストを用いたスクリーン印刷法等によりパターン形成
し、これを所定温度で焼成することによって設けてい
た。
り、ガラス基板２を主体としてその下面側にこの場合メ
ッシュ状の絶縁性隔壁７を具えている。この絶縁性隔壁
７は第２図（ｂ）に斜視図として示したもう一方の基板
構体と対向し、その基板構体の主体となるガラス基板１
上に形成された対をなす平行な走査用電極3a,3b群と、
該走査用電極3a,3b群と直交する方向に誘電体層４を介
して配列されたアドレス用電極５群とにより構成される
放電セル６に対応して、それらの放電セル６を画定する
形となっている。この形式の面放電型ガス放電パネルで
は電極側基板構体上の平行な走査用電極対3aと3bの間で
生じる面放電が表示を与えるものであり、この面放電を
当該電極対の長手方向に沿って複数の放電セル６に分離
する役目を該電極対と直交する方向の隔壁部分が担って
いる。そしてこの絶縁性隔壁は、例えば低融点ガラスペ
ーストを用いたスクリーン印刷法等によりパターン形成
し、これを所定温度で焼成することによって設けてい
た。
しかしながら、上記したような従来の低融点ガラスペ
ーストを用いたスクリーン印刷法等による絶縁性隔壁７
の形成方法にあっては、一回のスクリーン印刷により塗
着して得られる絶縁膜の膜厚が数μｍ〜７μｍ程度であ
るため、各種のガス放電パネルを構成する一方の基板構
体で必要となる例えば20〜100μｍの膜厚の絶縁性隔壁
７を形成する場合には、前記スクリーン印刷を数回〜十
数回繰り返し、同一パターンを重ねて形成する必要があ
るが、重ね印刷の都度パターンエッジで塗着ペーストの
ダレが生じ、膜厚が厚くなるに従ってパターン精度が低
下する欠点があった。
ーストを用いたスクリーン印刷法等による絶縁性隔壁７
の形成方法にあっては、一回のスクリーン印刷により塗
着して得られる絶縁膜の膜厚が数μｍ〜７μｍ程度であ
るため、各種のガス放電パネルを構成する一方の基板構
体で必要となる例えば20〜100μｍの膜厚の絶縁性隔壁
７を形成する場合には、前記スクリーン印刷を数回〜十
数回繰り返し、同一パターンを重ねて形成する必要があ
るが、重ね印刷の都度パターンエッジで塗着ペーストの
ダレが生じ、膜厚が厚くなるに従ってパターン精度が低
下する欠点があった。
特に放電表示の高密度化、高解像度化のために、例え
ば0.2mm以下のファインピッチパターンの絶縁性隔壁７
を従来のスクリーン印刷法で形成することは前記塗着ペ
ーストのダレの問題により実際上極めて困難であった。
ば0.2mm以下のファインピッチパターンの絶縁性隔壁７
を従来のスクリーン印刷法で形成することは前記塗着ペ
ーストのダレの問題により実際上極めて困難であった。
また、前記表示パネルの大型化に伴ってメッシュ状の
絶縁性隔壁７を形成すべき表示領域が、50cm□以上と広
範囲ともなるとスクリーンパターンの僅かな伸びにより
パターンズレが生じ、位置精度及び均一性が低下する問
題があった。
絶縁性隔壁７を形成すべき表示領域が、50cm□以上と広
範囲ともなるとスクリーンパターンの僅かな伸びにより
パターンズレが生じ、位置精度及び均一性が低下する問
題があった。
そこでかかる問題を解決するために、例えば特願昭61
−248338号「ガス放電パネルの製造方法」に示されるよ
うにガラス基板上の表示領域全面にガラスからなる絶縁
層をスクリーン印刷法による塗布工程とその焼成工程に
より形成した後、該絶縁層をレジストマスクパターンを
用いたケミカルエッチング法により、所定のパターンに
パターニングして所要の絶縁性隔壁を形成する方法も試
みている。しかしながらこの方法では第３図に示すよう
にガラス基板２上に形成された絶縁性隔壁11の側面がテ
ーパー状となり、例えば100μｍ程度の膜厚の絶縁層を
0.3mm程度のファインピッチによるパターンで精度良く
形成するのは困難であった。
−248338号「ガス放電パネルの製造方法」に示されるよ
うにガラス基板上の表示領域全面にガラスからなる絶縁
層をスクリーン印刷法による塗布工程とその焼成工程に
より形成した後、該絶縁層をレジストマスクパターンを
用いたケミカルエッチング法により、所定のパターンに
パターニングして所要の絶縁性隔壁を形成する方法も試
みている。しかしながらこの方法では第３図に示すよう
にガラス基板２上に形成された絶縁性隔壁11の側面がテ
ーパー状となり、例えば100μｍ程度の膜厚の絶縁層を
0.3mm程度のファインピッチによるパターンで精度良く
形成するのは困難であった。
本発明は、上記した従来の欠点に鑑み、パネル外囲器
となる一方のガラス基板上に例えばメッシュ状等の微細
なパターンを持った比較的分厚い（高さの高い）絶縁性
隔壁を容易に、かつ高精度に形成し得る新規なガス放電
パネルの製造方法を提供することを目的とするものであ
る。
となる一方のガラス基板上に例えばメッシュ状等の微細
なパターンを持った比較的分厚い（高さの高い）絶縁性
隔壁を容易に、かつ高精度に形成し得る新規なガス放電
パネルの製造方法を提供することを目的とするものであ
る。
本発明は上記した目的を達成するため、予め基板上に
緩衝層を配設し、その上に形成した隔壁材料層にマスク
パターンを介してサンドブラスト処理を施すことによ
り、所定パターンの隔壁を形成することを骨子とするも
のである。
緩衝層を配設し、その上に形成した隔壁材料層にマスク
パターンを介してサンドブラスト処理を施すことによ
り、所定パターンの隔壁を形成することを骨子とするも
のである。
さらに具体的には、パネル外囲器となる基板の上に放
電分離用の隔壁を形成するに際し、基板上にサンドブラ
ストによる研削を緩衝する緩衝層を設けた状態で緩衝層
上に隔壁材料層を形成する工程と、隔壁材料層上に隔壁
のパターンに対応したマスクを形成する工程と、マスク
パターンより露出する隔壁材料層部分をサンドブラスト
処理により研削除去する工程とを含み、緩衝層はサンド
ブラスト処理に際して研削除去する隔壁材料層よりも研
削速度の小さい部材とし、平面形状がマスクのパターン
に対応した隔壁を緩衝層上に形成する。
電分離用の隔壁を形成するに際し、基板上にサンドブラ
ストによる研削を緩衝する緩衝層を設けた状態で緩衝層
上に隔壁材料層を形成する工程と、隔壁材料層上に隔壁
のパターンに対応したマスクを形成する工程と、マスク
パターンより露出する隔壁材料層部分をサンドブラスト
処理により研削除去する工程とを含み、緩衝層はサンド
ブラスト処理に際して研削除去する隔壁材料層よりも研
削速度の小さい部材とし、平面形状がマスクのパターン
に対応した隔壁を緩衝層上に形成する。
本発明により得られる隔壁は、サンドブラスト処理に
よって基板面に対してほぼ垂直に加工された側壁面を持
ち、特に対向する基板構体上の平行な電極対間で生じる
面放電をその長手方向で分離するための高精細隔壁を必
要とする面放電型パネルに適用して大きな特徴がある。
よって基板面に対してほぼ垂直に加工された側壁面を持
ち、特に対向する基板構体上の平行な電極対間で生じる
面放電をその長手方向で分離するための高精細隔壁を必
要とする面放電型パネルに適用して大きな特徴がある。
本発明では基板上に例えばメッシュ状のような所定パ
ターンの隔壁を形成するに際してサンドブラスト処理を
採用するとともに、予め、隔壁材料層の下側に当該隔壁
材料層よりもサンドブラスト処理による研削速度が格段
に小さい緩衝層を配設するようにしているので、所定パ
ターンのマスクより露出する部分がその緩衝層表面まで
完全に研削除去される加工条件によりサンドブラスト処
理を行うことによって隔壁材料層の当初の厚み寸法に対
応した高さで、かつ側壁面がほぼ垂直な精度の良い隔壁
を容易にパターニングすることができる。
ターンの隔壁を形成するに際してサンドブラスト処理を
採用するとともに、予め、隔壁材料層の下側に当該隔壁
材料層よりもサンドブラスト処理による研削速度が格段
に小さい緩衝層を配設するようにしているので、所定パ
ターンのマスクより露出する部分がその緩衝層表面まで
完全に研削除去される加工条件によりサンドブラスト処
理を行うことによって隔壁材料層の当初の厚み寸法に対
応した高さで、かつ側壁面がほぼ垂直な精度の良い隔壁
を容易にパターニングすることができる。
以下図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明
する。
する。
第１図（ａ）〜（ｄ）は上述の面放電型ガス放電パネ
ルにおける一方の基板構体として本発明により構成する
放電セル画定用の絶縁性隔壁の形成方法を工程順に示す
要部断面図である。
ルにおける一方の基板構体として本発明により構成する
放電セル画定用の絶縁性隔壁の形成方法を工程順に示す
要部断面図である。
先ず第１図（ａ）に示すように例えばガス放電パネル
を構成する一対のガラス基板の内の一方のガラス基板21
上にSiO2・Al2O3を主成分とする絶縁材料、例えば住友
化学製のスミセラム（商品名）のようなペースト状の絶
縁材料を表示予定領域全面に亘って塗布し、乾燥後、60
0℃程度で熱処理を行って、隔壁を形成すべき低融点ガ
ラスよりも約1.5〜2.0倍程度の硬度（モース硬度が６程
度）を有する10μｍの膜厚を有する硬質な絶縁性透明緩
衝層22を設けて隔壁形成面を形成する。次いでその表面
に隔壁材料層を形成すべく低融点ガラスペーストを所定
厚みに塗布する。
を構成する一対のガラス基板の内の一方のガラス基板21
上にSiO2・Al2O3を主成分とする絶縁材料、例えば住友
化学製のスミセラム（商品名）のようなペースト状の絶
縁材料を表示予定領域全面に亘って塗布し、乾燥後、60
0℃程度で熱処理を行って、隔壁を形成すべき低融点ガ
ラスよりも約1.5〜2.0倍程度の硬度（モース硬度が６程
度）を有する10μｍの膜厚を有する硬質な絶縁性透明緩
衝層22を設けて隔壁形成面を形成する。次いでその表面
に隔壁材料層を形成すべく低融点ガラスペーストを所定
厚みに塗布する。
そしてその塗布層の乾燥及び600℃程度の焼成温度で
熱処理を行って、20〜100μｍの膜厚、例えば本実施例
では100μｍの膜厚の隔壁材料層としての絶縁層23を形
成する。
熱処理を行って、20〜100μｍの膜厚、例えば本実施例
では100μｍの膜厚の隔壁材料層としての絶縁層23を形
成する。
次に第１図（ｂ）に示すように前記隔壁材料層として
の絶縁層23上に、レジスト膜を塗布し、該レジスト膜を
露光・現像工程によってパターニングを行って放電セル
画定用のメッシュ状マスクパターン24を形成する。
の絶縁層23上に、レジスト膜を塗布し、該レジスト膜を
露光・現像工程によってパターニングを行って放電セル
画定用のメッシュ状マスクパターン24を形成する。
次に第１図（ｃ）に示すように該メッシュ状マスクパ
ターン24を介して露出する各部分23aにサンドブラスト
処理を施してその部分を選択的に研削除去する。
ターン24を介して露出する各部分23aにサンドブラスト
処理を施してその部分を選択的に研削除去する。
このサンドブラスト処理に際しては、前記硬質な絶縁
性透明緩衝層22のサンドブラストによる研削速度が低融
点ガラスからなる絶縁層23のそれよりも格段に小さいの
で、噴射砥粒の大きさ、噴射圧、噴射ノズルとの距離等
により前記マスクからの露出部分23aが効率よく完全に
削除されるように予め処理条件を定めて実施する。
性透明緩衝層22のサンドブラストによる研削速度が低融
点ガラスからなる絶縁層23のそれよりも格段に小さいの
で、噴射砥粒の大きさ、噴射圧、噴射ノズルとの距離等
により前記マスクからの露出部分23aが効率よく完全に
削除されるように予め処理条件を定めて実施する。
サンドブラスト処理が終了した後、前記マスクパター
ン24を剥離材により除去することによって、第１図
（ｄ）に示すようなメッシュ状隔壁25を得ることができ
る。このようにサンドブラスト処理で加工した隔壁25
は、第１図（ｄ）の断面図から明らかなように基板面に
対してほぼ垂直な研削壁面を持った形となり、また上記
のような処理条件の設定によってサンドブラストの研削
を実質上隔壁材料層部分のみに止め、前記透明緩衝層22
の研削は極めて微少であるので、パターン精度の良好な
放電セル画定用のメッシュ状隔壁25を容易に形成するこ
とが可能となる。
ン24を剥離材により除去することによって、第１図
（ｄ）に示すようなメッシュ状隔壁25を得ることができ
る。このようにサンドブラスト処理で加工した隔壁25
は、第１図（ｄ）の断面図から明らかなように基板面に
対してほぼ垂直な研削壁面を持った形となり、また上記
のような処理条件の設定によってサンドブラストの研削
を実質上隔壁材料層部分のみに止め、前記透明緩衝層22
の研削は極めて微少であるので、パターン精度の良好な
放電セル画定用のメッシュ状隔壁25を容易に形成するこ
とが可能となる。
なお、以上の実施例では第２図（ａ），（ｂ）に示し
たような画放電型のガス放電パネルにおける表示側のガ
ラス基板面に、対向する電極構成ガラス基板側の放電セ
ルと対応する放電セル画定用のメッシュ状隔壁を形成す
る場合の例について説明した。この種の面放電型ガス放
電パネルでは、面放電用の平行な電極対を有する電極側
基板構体よりも上記実施例のように対向側の基板構体に
隔壁を設ける方が精度やプロセス上有利であるが、本発
明はそのような例に限定されるものではない。例えば隔
壁内に蛍光体を塗布するカラー表示用の面放電型ガス放
電パネルや、DC駆動タイプ、或いはAC駆動タイプの対向
電極型ガス放電パネル等における一方のガラス基板面に
放電セル画定用のメッシュ状隔壁を形成する場合にも適
用可能であり、しかも同様な効果が得られる。
たような画放電型のガス放電パネルにおける表示側のガ
ラス基板面に、対向する電極構成ガラス基板側の放電セ
ルと対応する放電セル画定用のメッシュ状隔壁を形成す
る場合の例について説明した。この種の面放電型ガス放
電パネルでは、面放電用の平行な電極対を有する電極側
基板構体よりも上記実施例のように対向側の基板構体に
隔壁を設ける方が精度やプロセス上有利であるが、本発
明はそのような例に限定されるものではない。例えば隔
壁内に蛍光体を塗布するカラー表示用の面放電型ガス放
電パネルや、DC駆動タイプ、或いはAC駆動タイプの対向
電極型ガス放電パネル等における一方のガラス基板面に
放電セル画定用のメッシュ状隔壁を形成する場合にも適
用可能であり、しかも同様な効果が得られる。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ガ
ラス基板上に予め配設した緩衝層の上に隔壁材料層を形
成し、さらにその上に所定パターンのマスクを形成して
選択的なサンドブラストを施すようにしているので、10
0μｍ程度の高さの隔壁でも高精度に、かつ容易に形成
することが可能となる優れた効果を奏する。従って、隔
壁を必要とする各種ガス放電パネルの製造方法並びに面
放電用の平行電極対群を有する形式の面放電パネルに適
用して極めて有利である。
ラス基板上に予め配設した緩衝層の上に隔壁材料層を形
成し、さらにその上に所定パターンのマスクを形成して
選択的なサンドブラストを施すようにしているので、10
0μｍ程度の高さの隔壁でも高精度に、かつ容易に形成
することが可能となる優れた効果を奏する。従って、隔
壁を必要とする各種ガス放電パネルの製造方法並びに面
放電用の平行電極対群を有する形式の面放電パネルに適
用して極めて有利である。
第１図（ａ）〜（ｄ）は本発明に係わるガス放電パネル
における一方の基板面に構成する放電セル画定用の絶縁
性隔壁の形成方法の一実施例を工程順に示す要部断面
図、 第２図（ａ）は面放電型ガス放電パネルにおける表示面
側の基板構体を示す斜視図、 第２図（ｂ）は面放電型ガス放電パネルにおける電極構
成側の基板構体を示す斜視図、 第３図は従来の放電セル画定用の絶縁性隔壁の形成上の
問題点を説明する要部断面図である。 第１図（ａ）〜（ｄ）において、 21は一方のガラス基板、22は透明緩衝層、23は絶縁層、 23aは絶縁層部分、24はメッシュ状マスクパターン、 25はメッシュ状隔壁をそれぞれ示す。
における一方の基板面に構成する放電セル画定用の絶縁
性隔壁の形成方法の一実施例を工程順に示す要部断面
図、 第２図（ａ）は面放電型ガス放電パネルにおける表示面
側の基板構体を示す斜視図、 第２図（ｂ）は面放電型ガス放電パネルにおける電極構
成側の基板構体を示す斜視図、 第３図は従来の放電セル画定用の絶縁性隔壁の形成上の
問題点を説明する要部断面図である。 第１図（ａ）〜（ｄ）において、 21は一方のガラス基板、22は透明緩衝層、23は絶縁層、 23aは絶縁層部分、24はメッシュ状マスクパターン、 25はメッシュ状隔壁をそれぞれ示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−155528（ＪＰ，Ａ) 可児康之、外１名，「厚膜によるファ インパターン技術と応用」，電子材料, 株式会社工業調査会，昭和58年11月１ 日，第22巻，第11号，ｐ．138−142 (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01J 9/02
Claims (2)
- 【請求項１】パネル外囲器となる基板の上に、放電分離
用の隔壁を形成するに際し、 該基板上に、サンドブラストによる研削を緩衝する緩衝
層を設けた状態で、該緩衝層上に隔壁材料層を形成する
工程と、 該隔壁材料層上に前記隔壁のパターンに対応したマスク
を形成する工程と、 該マスクパターンより露出する隔壁材料層部分をサンド
ブラスト処理により研削除去する工程とを含み、 前記緩衝層は、サンドブラスト処理に際して研削除去す
る前記隔壁材料層よりも研削速度の小さい部材とし、平
面形状が前記マスクのパターンに対応した隔壁を前記緩
衝層上に形成する ことを特徴とするガス放電パネルの製造方法。 - 【請求項２】一対の基板構体を対向配置し、それらの間
に放電用のガスを封入して成るガス放電パネルの前記基
板構体の一方を製造する方法であって、 当該一方の基板構体に、所定パターンの隔壁を設けるに
際し、 基板上の表示領域となる全面に予め当該隔壁材料よりも
サンドブラスト処理に対する研削速度の小さい材料から
成る緩衝層を設け、 該緩衝層上に所定厚さの隔壁材料層を形成した後、 該隔壁材料層の表面に所定の隔壁パターンに対応した耐
サンドブラストマスクを設け、 砥粒噴射によるサンドブラスト処理を加えて基板面にほ
ぼ垂直な研削壁面を有する隔壁パターンを形成するよう
にした ことを特徴とするガス放電パネル用基板構体の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12308789A JP2814557B2 (ja) | 1989-05-16 | 1989-05-16 | ガス放電パネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12308789A JP2814557B2 (ja) | 1989-05-16 | 1989-05-16 | ガス放電パネルの製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10116509A Division JPH10321127A (ja) | 1998-04-27 | 1998-04-27 | ガス放電パネルおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02301934A JPH02301934A (ja) | 1990-12-14 |
| JP2814557B2 true JP2814557B2 (ja) | 1998-10-22 |
Family
ID=14851886
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12308789A Expired - Lifetime JP2814557B2 (ja) | 1989-05-16 | 1989-05-16 | ガス放電パネルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2814557B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6638129B2 (en) | 1998-01-27 | 2003-10-28 | Mitsubishi Denki Kabushiki | Surface discharge type plasma display panel with intersecting barrier ribs |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2999526B2 (ja) * | 1990-08-22 | 2000-01-17 | 沖電気工業株式会社 | バリアリブ形成方法 |
| DE69325123T2 (de) * | 1992-03-23 | 1999-11-18 | Koninkl Philips Electronics Nv | Verfahren zum Herstellen einer Platte aus einem elektrisch isolierenden Material mit einem Muster von Löchern oder Hohlräumen zum Gebrauch in Wiedergabeanordungen |
| EP0700752B1 (en) * | 1994-09-06 | 1998-08-19 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method of patterning a coating on a substrate |
| TW320732B (ja) * | 1995-04-20 | 1997-11-21 | Matsushita Electron Co Ltd | |
| US5906527A (en) * | 1996-10-30 | 1999-05-25 | Ferro Corporation | Method of making plasma display panels |
| US20080238319A1 (en) * | 2005-08-31 | 2008-10-02 | Tatsutoshi Kanae | Method for Forming Barrier Ribs of Plasma Display Panel |
-
1989
- 1989-05-16 JP JP12308789A patent/JP2814557B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 可児康之、外１名，「厚膜によるファインパターン技術と応用」，電子材料，株式会社工業調査会，昭和５８年１１月１日，第２２巻，第１１号，ｐ．１３８−１４２ |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6638129B2 (en) | 1998-01-27 | 2003-10-28 | Mitsubishi Denki Kabushiki | Surface discharge type plasma display panel with intersecting barrier ribs |
| US6683589B2 (en) | 1998-01-27 | 2004-01-27 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Surface discharge type plasma display panel with intersecting barrier ribs |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02301934A (ja) | 1990-12-14 |
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