KR100925093B1 - 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

교차하고 있는 격벽의 높이의 편차를 간단한 방법으로 억제하여, 방전 셀간의 크로스토크를 생기게 하지 않는 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 및 그 제조 방법을 제공한다. 오목부(122)는 소성 전의 제 1 격벽(120a)과 소성 전의 제 1 격벽(120a)에 직교하는 소성 전의 제 2 격벽(120b)과의 교차부(121)의 접하는 위치에 마련되어 있다. 이러한 오목부(122)를 형성하면, 교차부(121)의 체적당 표면적과, 교차부(121)와 그 교차부(12l)와 이웃하는 교차부와의 사이의 소성 전의 제 1 격벽(120a)과 소성 전의 제 2 격벽(120b)과의 체적당 표면적의 값이 거의 동일하게 된다. 그 결과, 소성 후에 교차부(115)의 높이가 높아지는 일은 없고, 높이가 가지런한 격벽으로 되어 방전 셀간에 크로스토크를 발생하는 일은 없어진다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법{PLASMA DISPLAY PANEL MANUFACTURING METHOD}

도 1은 본 발명의 제 1 실시예의 PDP의 주요부를 나타내는 단면 사시도,

도 2(a)는 본 발명의 제 1 실시예의 PDP의 소성 전의 격벽의 형상을 나타내는 부분 평면도, 도 2(b)는 도 2(a)의 A-A선 단면도, 도 2(c)는 도 2(b)의 격벽을 소성한 후의 단면도,

도 3(a)는 본 발명의 제 1 실시예의 PDP의 소성 전의 격벽의 형성을 설명하는 샌드블라스트 가공 전의 모식 단면도, 도 3(b)는 본 발명의 제 1 실시예의 PDP의 소성 전의 격벽의 형성을 설명하는 샌드블라스트 가공 후의 모식 단면도,

도 4는 본 발명의 제 1 실시예의 PDP의 격벽을 형성하는 연마재의 입자 직경 분포를 도시하는 도면,

도 5(a)는 본 발명의 제 1 실시예의 PDP의 소성 전의 격벽에 마련한 오목부의 변형예를 나타내는 부분 평면도, 도 5(b)는 도 5(a)의 B-B선 단면도,

도 6은 본 발명의 제 2 실시예의 PDP의 소성 전의 격벽의 형상을 나타내는 부분 평면도,

도 7은 본 발명의 제 2 실시예의 PDP의 소성 전의 격벽의 변형예의 형상을 나타내는 부분 평면도.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

101 : PDP 102 : 전면판

103 : 유리 기판 104 : 주사 전극

104a : 투명 전극 104b : 버스 전극

105 : 유지 전극 105a : 투명 전극

105b : 버스 전극 106 : 표시 전극

107 : 유전체층 108 : 보호막

109 : 배면판 110 : 유리 기판

111 : 어드레스 전극 112 : 하지 유전체층

113 : 격벽 113a : 제 1 격벽

113b : 제 2 격벽 114 : 형광체층

114R : 적색 형광체층 114G : 녹색 형광체층

114B : 청색 형광체층 115 : 교차부

117 : 오목한 영역

본 발명은 교차부가 있는 격벽을 구비한 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

플라즈마 디스플레이 패널(이하, 「PDP」라고 기재함)은, 대향 배치된 전면 기판과 배면 기판의 주연부를 밀봉 부재에 의해서 밀봉한 구조로서, 전면 기판과 배면 기판 사이에 형성된 방전 공간에는, 네온(Ne) 및 크세논(Xe) 등의 방전 가스가 봉입되어 있다.

전면 기판은, 유리 기판의 한 면에 스트라이프 형상으로 형성된 주사 전극과 유지 전극으로 이루어지는 복수의 표시 전극과, 이들 표시 전극을 덮는 유전체층 및 보호막을 구비하고 있다. 표시 전극은, 각각 투명 전극과, 그 투명 전극 상에 형성한 금속 재료로 이루어지는 버스 전극에 의해서 구성되어 있다.

배면 기판은, 유리 기판의 한 면에 표시 전극과 직교하는 방향으로 스트라이프 형상으로 형성된 복수의 어드레스 전극과, 이들 어드레스 전극을 덮는 하지 유전체층과, 방전 공간을 구획하는 격자 형상의 격벽(리브(rib))과, 격벽 사이의 홈에 순차적으로 도포된 적색, 녹색 및 청색의 형광체층을 구비하고 있다.

표시 전극과 어드레스 전극은 직교하고 있어, 그 직교 부분이 방전 셀로 된다. 이들 방전 셀은 매트릭스 형상으로 배열되며, 표시 전극의 연신(延伸) 방향으로 나열되는 적색, 녹색 및 청색의 형광체층을 갖는 3개의 방전 셀이 컬러 표시를 위한 화소로 된다. PDP는 순차적으로, 주사 전극과 어드레스 전극 사이, 및 주사 전극과 유지 전극 사이에 소정의 전압을 인가하여 가스 방전을 발생시키고, 그 가스 방전으로 발생하는 자외선으로 형광체층을 여기하여 발광시킴으로써 컬러 화상을 표시하고 있다.

여기서 격벽으로서, 형광체의 도포 면적이 증가함으로써 휘도와 발광 효율을 향상시킬 수 있는 격자 형상의 구조가 이용되어 오고 있다. 그리고 이러한 격자 형상의 격벽은, 어드레스 전극에 평행한 세로 리브와, 세로 리브에 직교하는 가로 리브로 구성되며, 저융점 유리 페이스트를 소성하여 형성하고 있다.

그러나 세로 리브와 가로 리브가 직교하는 교차부는, 교차부와 교차부 사이의 비(非)교차부에 비해 소성 후의 격벽 높이가 높아져 전면 기판에 간극을 발생시켜, 방전 후의 잔류 하전 입자가 인접하는 방전 셀로 이동해 크로스토크를 발생시키는 경우가 있었다.

이러한 문제에 대하여, 격벽의 비교차부를 사이에 두는 단차 패턴을 마련하여 격벽의 비교차부의 공기와의 접촉 면적을 감소시켜, 격벽의 교차부와 비교차부와의 자유 표면을 가지런히 하여 격벽 각부(各部)에 작용하는 표면 장력을 평준화해서, 격벽의 높이를 가지런히 하는 방법이 제안되어 있다. 이 예로서, 일본 특허 공개 제2006-85917호 공보가 알려져 있다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은, 제 1 유리 기판 상에 제 1 전극 및 유전체층이 형성된 제 1 기판과, 제 2 유리 기판 상에 제 2 전극, 격벽 및 형광체층이 형성된 제 2 기판을 대향 배치시키는 PDP의 제조 방법으로서, 격벽은, 제 2 전극이 형성된 제 2 유리 기판 상에 유리 페이스트를 제 1 격벽 및 제 1 격벽에 교 차하는 제 2 격벽으로 되는 형상으로, 또한, 그들이 교차하는 교차부 및 교차부에 접하는 위치의 적어도 한쪽에 오목부를 구비한 형상으로 패터닝한 후, 소성하여 형성하는 방법이다.

유리 페이스트를 소성하면, 유리 페이스트 중에 포함되는 유기 바인더가 제거되어 수축된다. 그래서 이러한 방법으로 격벽을 형성하면, 오목부가 격벽의 교차부의 표면적을 증가시키기 때문에, 유리 페이스트를 소성로 등에서 소성할 때, 교차부도 충분히 열을 받아 소성되어 수축된다. 그 결과, 교차부의 유리 페이스트중의 유기 바인더도 충분히 제거되기 때문에, 교차부가 높아지는 일은 없어, 방전 셀 사이에 크로스토크를 발생시키는 일도 없다. 또한, 이러한 오목부는 격벽 형성시에 일괄적으로 패터닝되기 때문에, 공정을 증가시키는 일도 없다. 또 본 특허 출원에 관해 첨부된 서류에서의 「교차」란, 격벽끼리가 직각에 교차하는 경우뿐만 아니라, 그 이외의 각도로 교차하는 경우도 포함시키기로 한다. 또한, 격벽의 교차부란, 교차하는 격벽이 겹쳐 있는 부분을 의미한다.

또한, 본 발명의 PDP의 제조 방법의 오목부의 크기는, 교차부의 체적당 표면적과, 교차부와 그 교차부와 이웃하는 교차부와의 사이의 소성 전의 제 1 격벽과 소성 전의 제 2 격벽의 체적당 표면적이 동일하게 되는 크기로 하여도 좋다.

격벽 소성시의 수열(受熱)은 대류 열전도에 의존하기 때문에, 격벽으로 되는 각부의 수열량은 그 표면적에 비례한다. 또한, 열 수축은, 각부로부터 제거되는 유기 바인더의 양, 즉 체적에 비례하기 때문에, 교차부와 교차부 사이의 소성 전의 제 1 격벽과 소성 전의 제 2 격벽의 체적당 표면적의 값을 동일하게 하면, 교차부 의 높이가 높아지는 일이 없이 격벽의 높이를 가지런히 할 수 있다. 여기서, 체적당 표면적의 값을 동일하게 하면은, 이 값이 완전히 동일할 때에만 격벽의 높이가 가지런해진다는 것이 아니라, 동일한 값에 근접시킴으로써 본 발명의 효과가 발휘되는 것을 의미한다.

또한, 본 발명의 PDP의 제조 방법의 오목부의 격벽과 직교하는 방향의 폭이, 소성 전의 격벽의 정부(頂部)의 폭보다도 작게 하여도 좋다.

소성 전의 격벽에 이러한 오목부를 마련하면, 교차부의 표면적을 크게 할 수 있음과 아울러, 오목부의 폭은 격벽의 폭보다 작게 하기 때문에 오목부에 의한 간극이 방전 셀 사이에 발생하는 일은 없다.

또한, 본 발명의 PDP의 제조 방법의 오목부의 격벽과 직교하는 방향의 폭을, 소성 전의 격벽의 정부의 폭의 60% 이상 80% 이하, 오목부의 깊이를 소성 전의 격벽의 높이의 30% 이상 60% 이하, 오목부의 격벽과 평행한 방향의 폭을 5㎛ 이상 10㎛ 이하로 하여도 좋다.

이러한 범위의 크기의 오목부를 소성 전의 격벽에 마련하면, 교차부의 높이가 높아지지 않고 격벽의 높이를 특히 매우 가지런히 할 수 있다.

또한, 본 발명의 PDP의 제조 방법의 오목부의 형성은, 제 2 유리 기판 상에 유리 페이스트를 도포하여 건조시키는 공정과, 유리 페이스트 상에 드라이 필름을 라미네이트(laminate)하는 공정과, 라미네이트된 드라이 필름을 노광, 현상하여 소정의 개구 패턴을 형성하는 공정과, 개구 패턴으로부터 유리 페이스트 상에 연마재를 분사하여 유리 페이스트를 제거해서 형성하는 공정을 포함하되, 드라이 필름에 형성하는 개구 패턴을, 연마재의 평균 입자 직경보다도 작은 개구부를 갖도록 형성하여도 좋다.

이러한 오목부의 형성 방법으로 하면, 연마재의 평균 입자 직경보다도 작은 개구부에는, 그 크기보다 작은 입자 직경의 연마재밖에 들어가지 않기 때문에, 평균 입자 직경보다도 큰 연마재도 들어가는 개구부보다 얕게 밖에 연삭되지 않는다. 그 때문에, 연마재의 평균 입자 직경을 적절히 선택함으로써, 소망하는 깊이의 개구부를 형성할 수 있다.

또한, 본 발명의 PDP의 제조 방법의 오목부의 깊이는 소성 전의 격벽의 높이와 동일하게 하여도 좋다.

이러한 오목부는, 교차부의 높이에 단차를 발생시키는 일이 없기 때문에, 연마재로 연삭하는 샌드블라스트 가공이더라도, 스크린 인쇄이더라도 용이하게 형성할 수 있다.

또한, 본 발명의 PDP는, 제 1 유리 기판 상에 제 1 전극 및 유전체층이 형성된 제 1 기판과, 제 2 유리 기판 상에 제 2 전극, 제 1 격벽, 제 1 격벽과 교차하는 제 2 격벽 및 형광체층이 형성된 제 2 기판을 대향 배치한 PDP로서, 제 1 격벽과 제 2 격벽의 적어도 한쪽에 그들의 정부의 폭보다 작고, 또한 제 1 격벽과 제 2 격벽의 교차부 근방에 오목한 영역을 구비하고 있는 구성이다.

이러한 PDP은, 격벽의 교차부 근방에 정부의 폭보다 작은 오목한 영역이 있을 뿐이기 때문에, 방전 셀 사이가 간극으로 이어지는 일이 없어, 방전 셀 사이에 크로스토크를 발생시키는 일은 없다.

(발명의 실시예)

이하, 본 발명의 실시예에 따른 PDP 및 그 제조 방법에 대하여 도면을 이용해서 설명한다.

(제 1 실시예)

도 1은 본 발명의 제 1 실시예의 PDP의 주요부를 나타내는 단면 사시도이다.

PDP(101)의 제 1 기판인 전면판(102)은, 예컨대 유리와 같은 투명하고 또한 절연성의 제 1 유리 기판인 유리 기판(103)의 한 주면 상에 형성한 주사 전극(104)과 유지 전극(105)으로 이루어지는 제 1 전극인 표시 전극(106)과, 그 표시 전극(106)을 덮는 유전체층(107)과, 또한 그 유전체층(107)을 덮는, 예컨대 MgO에 의한 보호막(108)을 갖는 구조이다. 주사 전극(104)과 유지 전극(105)은, 전기 저항의 저감을 목적으로 하여, 투명 전극(104a, 105a)에 금속 재료, 예컨대 은(Ag) 등으로 이루어지는 버스 전극(104b, 105b)을 적층한 구조로 하고 있다.

또한, 제 2 기판인 배면판(109)은, 예컨대 유리와 같은 절연성의 제 2 유리 기판인 유리 기판(110)의 한 주면 상에 형성한 제 2 전극인 어드레스 전극(111)과, 그 어드레스 전극(111)을 덮는 하지 유전체층(112)과, 하지 유전체층(112) 상에 형성한 제 1 격벽(113a) 및 제 1 격벽(113a)에 교차하는 제 2 격벽(113b)으로 이루어지는 격벽(113)과, 격벽(113) 사이를 덮는 형광체층(114R, 114G, 114B)을 갖는 구조이다.

여기서 제 1 격벽(113a)과 제 2 격벽(113b)이 교차한 교차부(115) 근방의 제 1 격벽(113a) 및 제 2 격벽(113b)에는, 그들의 정부(頂部)의 폭보다 작게 오목한 영역(117)이 있다.

그리고, 전면판(102)과 배면판(109)은, 격벽(113)을 사이에 두고, 표시 전극(106)과 어드레스 전극(111)이 직교하도록 대향 배치되고, 화상 표시 영역 이외의 주위가 도시하지 않은 밀봉 부재에 의해 밀봉되어 있다. 전면판(102)과 배면판(109) 사이에 형성된 방전 공간(118)에는, 예컨대 Ne-Xe 10%의 방전 가스를 66.5㎪(500Torr)의 압력으로 봉입하고 있다. 그리고, 방전 공간(118)의 표시 전극(106)과 어드레스 전극(111)이 직교하고, 격벽(113)으로 둘러싸인 영역이 방전 셀(단위 발광 영역)(119)로서 동작한다.

다음에, 상술한 PDP(101)에 대하여, 그 제조 방법을 마찬가지로 도 1을 참조하면서 설명한다.

전면판(102)은 유리 기판(103) 상에 먼저 주사 전극(104) 및 유지 전극(105)을 형성한다. 구체적으로는, 유리 기판(103) 상에, 예컨대 ITO에 의한 막을 증착이나 스퍼터 등의 성막 프로세스에 의해 형성하고, 그 후, 포토리소그래피법 등에 의해서 패터닝하여 투명 전극(104a, 105a)을 형성한다. 또한 그 위로부터, 예컨대 Ag에 의한 막을 증착이나 스퍼터 등의 성막 프로세스에 의해 형성하고, 그 후, 포토리소그래피법 등에 의해서 패터닝함으로써 버스 전극(104b, 105b)을 형성한다. 이상에 의해, 주사 전극(104) 및 유지 전극(105)으로 이루어지는 표시 전극(106)을 얻을 수 있다.

다음에, 이상과 같이 하여 형성한 표시 전극(106)을 유전체층(107)으로 피복 한다. 유전체층(107)은 유리 재료를 포함하는 페이스트를, 예컨대 스크린 인쇄로 도포한 후, 소성함으로써 형성한다. 다음에, 이상과 같이 하여 형성한 유전체층(107)을 금속 산화막, 예컨대 MgO에 의한 보호막(108)으로 피복한다.

배면판(109)은 유리 기판(110) 상에 어드레스 전극(111)을 형성한다. 구체적으로는, 유리 기판(110) 상에, 예컨대 Ag 재료 등에 의한 막을 증착이나 스퍼터 등의 성막 프로세스에 의해 형성하고, 그 후, 포토리소그래피법 등에 의해서 패터닝하여 어드레스 전극(111)을 형성한다. 또한, 어드레스 전극(111)을 하지 유전체층(112)에 의해 피복한 후, 격벽(113)을 형성한다.

그리고, 격벽(113) 사이의 홈에, 적색, 녹색, 청색의 형광체 입자에 의해 구성되는 형광체층(114R, 114G, 114B)을 형성한다. 구체적으로는, 각 색의 형광체 입자와 유기 바인더로 이루어지는 페이스트 형상의 형광체 잉크를 도포하고, 소성해서 유기 바인더를 소실시킴으로써 각 형광체 입자가 결착되게 되는 형광체층(114R, 114G, 114B)을 형성한다.

이상과 같이 하여 제작한 전면판(102)과 배면판(109)을, 전면판(102)의 표시 전극(106)과 배면판(109)의 어드레스 전극(111)이 직교하도록 중첩시킴과 아울러, 주연(周緣)에 밀봉용 유리에 의한 밀봉 부재를 삽입시켜, 이것을 소성한 기밀 밀봉층(도시하지 않음)으로 밀봉한다. 그리고, 일단, 방전 공간(118) 내를 고(高)진공으로 배기한 후, 방전 가스(예컨대, He-Xe계, Ne-Xe계의 불활성 가스)를 소정의 압력으로 봉입함으로써 PDP(101)를 제작한다.

다음에, 상술한 PDP(101)의 격벽(113)의 구성 및 제조 방법에 대하여 더욱 상세히 설명한다. 도 2(a)는 본 발명의 제 1 실시예의 PDP의 소성 전의 격벽의 형상을 나타내는 부분 평면도, 도 2(b)는 도 2(a)의 A-A선 단면도, 도 2(c)는 도 2(b)의 격벽을 소성한 후의 단면도이다.

도 2(a), 도 2(b)에 도시하는 바와 같이, 오목부(122)는, 소성 전의 제 1 격벽(120a)과 소성 전의 제 1 격벽(120a)에 직교하는 소성 전의 제 2 격벽(120b)과의 교차부(121)가 접하는 위치에 마련되고, 교차부(121)의 표면적을 늘리고 있다. 또한, 오목부(122)는 사각뿔의 선단부를 제거한 형상이다.

여기서, 격벽과 직교하는 방향의 오목부의 폭(122a)은 소성 전의 제 1 격벽(120a)의 정부의 폭(120c)보다 작게 하고 있다. 오목부의 폭(122a)이 소성 전의 제 1 격벽의 정부의 폭(120c)과 동일하면, 이 오목부(122)로부터 크로스토크가 발생하는 경우도 있다. 그러나, 이와 같이 오목부의 폭(122a)을 소성 전의 제 1 격벽의 정부의 폭(120c)보다 작게 하고 있으면, 소성 후의 제 1 격벽(113a)에 간극이 발생하는 일이 없기 때문에, 크로스토크가 발생하는 일도 없다. 마찬가지로, 소성 전의 제 2 격벽(120b)에 마련하는 오목부(122)의 격벽과 직교하는 방향의 오목부의 폭(122b)은 소성 전의 제 2 격벽(120b)의 정부의 폭(120d)보다 작게 한다.

특히 이러한 격자 형상 구조의 격벽(113)에서는, 오목부의 폭(122a), 격벽과 직교하는 방향의 오목부의 폭(122b)을 각각 소성 전의 제 1 격벽(120a)의 정부의 폭(120c), 소성 전의 제 2 격벽(120b)의 정부의 폭(120d)의 60% 이상 80% 이하로 한다. 또한, 오목부의 깊이(122c)를 소성 전의 제 1 격벽(120a) 및 소성 전의 제 2 격벽(120b)의 높이인 소성 전의 격벽 높이(120e)의 30% 이상 60% 이하로 한다. 또한, 오목부(122)의 격벽과 평행한 방향의 폭인 오목부의 길이(122d)를 5㎛ 이상 10㎛ 이하로 하는 것이 좋다.

예컨대, 소성 전의 제 1 격벽의 정부의 폭(120c)이 50㎛, 소성 전의 격벽 높이(120e)가 100㎛, 교차부(121)와 그 교차부(121)와 이웃하는 교차부와의 사이의 길이가 200㎛인 경우, 오목부의 폭(122a)을 30㎛ 이상 40㎛ 이하, 오목부의 길이(122d)를 5㎛ 이상 10㎛ 이하, 오목부의 깊이(122c)를 30㎛ 이상 60㎛ 이하로 형성하면 좋다.

이러한 오목부(122)를 형성하면, 교차부(121)의 체적당의 표면적과, 교차부(121)와 그 교차부(121)와 이웃하는 교차부와의 사이의 소성 전의 제 1 격벽(120a)과 소성 전의 제 2 격벽(120b)과의 체적당의 표면적의 값이 거의 동일하게 된다. 그리고 체적당의 표면적의 값을 동일하게 하면, 교차부(121)와 그 교차부(121)와 이웃하는 교차부와의 사이의 소성 전의 제 1 격벽(120a)과 소성 전의 제 2 격벽(120b)은 소성시의 수열량, 및 유리 페이스트 중에 포함되는 유기 바인더가 제거되는 양도 거의 동일하게 된다.

그 결과, 도 2(c)에 도시하는 바와 같이, 교차부(115) 근방에 오목한 영역(117)이 있지만, 제 2 격벽(113b)은 교차부(115)의 높이가 높아지는 일은 없고, 높이가 가지런한 격벽으로 된다. 또한, 제 1 격벽(113a)도 제 2 격벽(113b)과 마찬가지로 해서, 교차부(115)를 포함한 높이를 가지런히 할 수 있어, 방전 셀 사이에 크로스토크를 발생하는 일은 없어진다.

또, 오목부(122)는 격벽의 소성시의 열 수축에 따라 형상이 변형하여, 소성 후에 오목한 영역(117)으로 된다.

다음에, 오목부(122)를 마련한 소성 전의 제 1 격벽(120a) 및 소성 전의 제 2 격벽(120b)이, 샌드블라스트 가공에 의해 형성되는 과정을, 도 3을 이용하여 설명한다. 도 3은 본 발명의 제 1 실시예의 PDP의 소성 전의 격벽의 형성을 설명하는 모식 단면도로서, 도 3(a)는 샌드블라스트 가공 전, 도 3(b)는 샌드블라스트 가공 후의 상태를 나타낸다.

우선, 격벽재인 유리 플리트에 산화규소(SiO₂) 등의 골재, 유기 바인더 성분으로서 에틸 셀룰로오스 수지, 용제로서 타피네올, 가소제로서 디부틸프탈레이트로 이루어지는 유리 페이스트를 준비한다. 그리고 그 유리 페이스트를 다이코트법에 의해, 도 3(a)에 도시하는 바와 같이 제 2 전극인 어드레스 전극(111)과 하지 유전체층(112)이 형성된 제 2 유리 기판인 유리 기판(110)에, 100㎛∼250㎛의 막 두께로 도포하여, 70℃~150℃로 가열, 건조시켜, 유리 페이스트층(123)을 형성한다.

그리고, 건조시킨 유리 페이스트층(123) 위로, 막 두께 20㎛~50㎛의 드라이 필름(124)을, 70℃~120℃로 가열하면서 라미네이트한다. 이 때 라이네이트 전에, 유리 기판(110)을 80℃~100℃에서 5분~10분간 예비 가열해 놓으면, 유리 페이스트층(123)과 드라이 필름(124)의 밀착성이 향상된다.

이 드라이 필름(124)을, 포토마스크를 거쳐서 노광(노광량 : 100mJ/㎠~500mJ㎠) 후, 알칼리성의 수용액(예컨대 탄산나트륨(Na₂CO₃)의 0.5%∼5%)으로 현상해서 소정의 개구 패턴(125)을 형성한다. 여기서 개구 패턴(125)은 방전 셀(119)로 되 는 개구부(126), 오목부(122)의 형상의 개구부(127)가 마련되어 있다. 여기서, 개구부(127)의 폭은 다음 공정에서 사용되는 연마재의 평균 입자 직경보다도 작게 하고 있다.

이 상태로 유리 페이스트층(123)에 연마재를 분사하는 샌드블라스트 가공에 의해, 도 3(b)에 도시하는 바와 같이 방전 셀(119)로 되는 개구부(126), 및 개구부(127)의 드라이 필름(124)에 피복되어 있지 않은 부분의 유리 페이스트층(123)을 깎아내어 제거한다. 그 후, 드라이 필름(124)을 박리하고, 마지막으로 450℃~600℃에서 소성하여 격벽(113)을 완성시킨다.

여기서, 연삭하는 깊이가 다른 방전 셀(119)의 부분과, 오목부(122)가 동시에 형성되는 이유를 설명한다. 도 4는 본 발명의 제 1 실시예의 PDP의 격벽을 형성하는 연마재의 입자 직경 분포를 도시하는 도면이다.

샌드블라스트 가공에서 이용하는 탄산칼슘(CaCO₃), 스테인리스강 등의 연마재의 입자 직경은 제거하는 100㎛×200㎛ 전후의 크기의 방전 셀(119)의 부분보다 작은 직경(평균 입자 직경 φ2㎛∼20㎛)이다. 그리고, 연마재는 일반적으로 입자 직경 분포가 있어, 도 4에 나타내는 평균 입자 직경 10㎛의 연마재를 사용한 경우에는, 10㎛ 이하의 입자 직경을 갖는 연마재가 50% 존재한다. 그 때문에, 드라이 필름(124)에 오목부(122)로 되는 개구부(127)의 폭이 10㎛이면, 그 부분은 방전 셀(119)로 되는 개구부(126)에 비해, 절반의 깊이밖에 연삭할 수 없다. 이것은, 방전 셀(119)로 되는 개구부(126)는 모든 입자 직경의 연마재로 연삭할 수 있지만, 오목부(122)로 되는 개구부(127)는 입자 직경 분포 상, 절반의 연마재로밖에 연삭할 수 없기 때문이다. 이것들로부터, 입자 직경 분포가 적당한 연마재를 선택함으로써, 필요한 오목부(122)의 크기와 연삭하는 깊이를 설정할 수 있다.

도 5는 본 발명의 제 1 실시예의 PDP의 소성 전의 격벽에 마련한 오목부의 변형예로서, 도 5(a)는 소성 전의 격벽의 형상을 나타내는 부분 평면도, 도 5(b)는 도 5(a)의 B-B선 단면도이다. 소성 전의 제 1 격벽(128a)와 그것에 직교하는 소성 전의 제 2 격벽(128b)과의 교차부(129)에, 원 형상의 오목부(130)를 마련하고 있다. 이와 같이, 교차부(129)에 원 형상의 오목부(130)를 마련함으로써, 교차부(129)의 표면적을 증가시킨다. 그리고, 교차부(129)와, 그 교차부(129)와 이웃하는 교차부와의 사이의 소성 전의 제 1 격벽(128a)과 소성 전의 제 2 격벽(128b)의 수열량을 거의 일치시킬 수 있다. 그 결과, 소성 후의 교차부의 높이도 높아지지 않고, 높이가 가지런한 격벽을 형성할 수 있다.

또, 도 5에서는 원 형상의 오목부(130)의 예를 나타내었지만, 형상은 원 형상에 한정되는 일은 없고, 또한 교차부(129)에 마련하는 오목부를 다수개 마련하도록 하더라도 좋다.

또한, 도 2의 오목부(122)는 교차부(121)의 4개소에 마련했지만, 교차하고 있는 소성 전의 제 1 격벽(120a)과 소성 전의 제 2 격벽(120b)의 폭이 크게 다른 경우 등은 큰 폭의 소성 전의 격벽에만 오목부를 마련하도록 하여도 좋다. 이 경우도, 큰 폭의 소성 전의 격벽에만 오목부를 마련함으로써, 교차부(121)의 표면적을 충분히 크게 하여, 교차부(121)와 이웃하는 교차부와의 사이의 소성 전의 격벽 과의 체적당의 표면적을 동일하게 하면 좋다.

(제 2 실시예)

도 6은 본 발명의 제 2 실시예의 PDP의 소성 전의 격벽의 형상을 나타내는 부분 평면도이다. 본 발명의 제 2 실시예의 PDP는 본 발명의 제 1 실시예의 PDP와 소성 전의 격벽의 오목부의 형상이 다를 뿐이다.

도 6에 도시하는 바와 같이, 소성 전의 제 1 격벽(131a)과 그것에 직교하는 소성 전의 제 2 격벽(131b)과의 교차부(132)에 부분 원 형상의 오목부(133)가 마련되어 있다. 이 부분 원 형상의 오목부(133)의 깊이는 소성 전의 제 1 격벽(131a) 및 소성 전의 제 2 격벽(131b)의 높이와 동일하다. 즉, 본 발명의 제 2 실시예의 부분 원 형상의 오목부(133)는, 제 1 실시예와 같은 격벽과 단차를 마련한 홈이 아니라, 교차부(132)의 일부가 소성 전의 제 1 격벽(131a) 및 소성 전의 제 2 격벽(131b)보다 깎아내어져 있다. 또, 소성 전의 제 1 격벽(131a)과 소성 전의 제 2 격벽(131b)에 둘러싸인 영역이 방전 셀(119)이며, 그 하부에 어드레스 전극(111)이 배치되어 있는 것도 본 발명의 제 1 실시예의 PDP와 동일하다. 이와 같이, 교차부(132)의 일부를 깎아내는 것에 의해, 교차부(132)의 표면적을 늘릴 수 있다. 그리고, 이 깎아내는 크기는, 교차부(132)와, 이웃하는 교차부(132) 사이의 소성 전의 제 1 격벽(131a)과 소성 전의 제 2 격벽(131b)의 체적당의 표면적을 동일하게 되도록 하면 좋다.

또한, 교차부(132)의 일부를 깎아내는 형상으로 하는 제조 방법은, 상술한 샌드블라스트 가공 이외에도, 스크린 인쇄라도 가능하여, 제조 방법의 선택이 넓어진다.

도 7은 본 발명의 제 2 실시예의 PDP의 소성 전의 격벽의 변형예의 형상을 나타내는 부분 평면도이다. 도 7은 휘도 조정을 위해 적색, 녹색, 청색 각각의 형광체층을 형성하는 방전 셀(134, 135, 136)의 개구율을 변경한 예이다. 예컨대 화이트 밸런스 조정을 위해, 방전 셀(134, 135, 136)의 개구율을 방전 셀(135)<방전 셀(134)<방전 셀(136)로 하고 있다. 그리고, 이러한 개구율로 하기 위해서 방전 셀(134, 135, 136)의 각각 4구석에 마련하는 오목부(137, 138, 139)의 크기를 오목부(138)<오목부(137)<오목부(139)로 한다. 또, 하나의 방전 셀의 4구석에 마련되는 오목부의 크기는 동일하며, 오목부의 깊이는 소성 전의 제 1 격벽(140a) 및 소성 전의 제 2 격벽(140b)의 높이와 동일하다. 여기서, 교차부(141, 142, 143)는 각각 방전 셀(134)과 방전 셀(135), 방전 셀(135)과 방전 셀(136), 방전 셀(136)과 방전 셀(134)로 둘러싸인 영역으로 된다.

또한, 오목부(137, 138, 139)의 크기는, 교차부와 그 교차부에 이웃하는 교차부 사이의 소성 전의 제 1 격벽(140a)과 소성 전의 제 2 격벽(140b)의 체적당의 표면적을 동일하게 되도록 한다. 예컨대 오목부(137)의 크기는 교차부(141)와, 교차부(141) 및 교차부(142) 사이의 소성 전의 제 2 격벽(140b)과의 체적당의 표면적, 교차부(141) 사이의 소성 전의 제 1 격벽(140a)과의 체적당의 표면적을 동일하게 되도록 한다.

그 결과, 교차부(141, 142, 143)의 수열량도 증가하여, 교차부(141, 142, 143)만 격벽 높이가 높아지는 일은 없다. 그리고, 격벽 높이가 가지런하여 크로스토크를 발생하는 일도 없어, 휘도 조정도 가능한 방전 셀(134, 135, 136)을 구비한 PDP로 할 수 있다.

또, 본 발명의 제 2 실시예에서는, 방전 셀의 4구석(4개소)을 부분 원 형상으로 깎아내는 예를 나타내었지만, 체적당의 표면적이 동일하게 되는 범위이면, 2개소라도 3개소라도 무방하다. 또한, 형상도 원 형상에 한정되는 일없이, 직사각형 형상, 다각형 형상으로 깎아내도록 하여도 좋다.

또한, 본 발명의 실시예에서는, 격자 형상 구조의 교차부를 갖는 격벽으로 설명했지만, 격벽끼리가 열 십(十)자 모양으로 교차하는 구조의 경우에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 미앤더(meander) 리브와 같은 구조이더라도 좋고, 격벽끼리가 교차하고 있는 경우에 본 발명을 적용할 수 있다.

이와 같이 본 발명에 의하면, 교차하는 격벽을 구비한 PDP이더라도, 교차하는 부분의 격벽 높이가 높아지는 일도 없고, 크로스토크를 발생시키지 않는 PDP 및 그 제조 방법을 제공할 수 있어, 고선명의 플라즈마 디스플레이 장치 등을 실현할 수 있다.

Claims (9)

1. 제 1 유리 기판 상에 제 1 전극 및 유전체층이 형성된 제 1 기판과, 제 2 유리 기판 상에 제 2 전극, 격벽 및 형광체층이 형성된 제 2 기판을 대향 배치시키는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법으로서,

   상기 격벽은, 상기 제 2 전극이 형성된 상기 제 2 유리 기판 상에 유리 페이스트를 제 1 격벽 및 상기 제 1 격벽에 교차하는 제 2 격벽으로 되는 형상으로, 또한, 그들이 교차하는 교차부 및 상기 교차부에 접하는 위치의 적어도 한쪽에 오목부를 구비한 형상으로 패터닝한 후, 소성하여 형성되며,

   상기 오목부의 크기는 소성 전의 상기 교차부의 단위 체적당의 표면적과, 상기 교차부와 상기 교차부와 이웃하는 교차부 사이의 소성 전의 상기 제 1 격벽과 소성 전의 상기 제 2 격벽의 단위 체적당의 표면적이 동일하게 되는 크기인 것

   을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 격벽과 직교하는 방향의 상기 오목부의 폭은 소성 전의 상기 격벽의 정부(頂部)의 폭보다 작은 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
4. 삭제
5. 제 3 항에 있어서,

   상기 격벽과 직교하는 방향의 상기 오목부의 폭을 소성 전의 상기 격벽의 정부의 폭의 60% 이상 80% 이하, 상기 오목부의 깊이를 소성 전의 상기 격벽의 높이의 30% 이상 60% 이하, 상기 격벽과 평행한 방향의 상기 오목부의 폭을 5㎛ 이상 10㎛ 이하로 한 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
6. 삭제
7. 제 1 항, 제 3 항, 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 오목부의 형성은,

   상기 제 2 유리 기판 상에 상기 유리 페이스트를 도포하여 건조시키는 공정과,

   상기 유리 페이스트 상에 드라이 필름을 라미네이트(laminate)하는 공정과,

   라미네이트된 상기 드라이 필름을 노광, 현상하여 소정의 개구 패턴을 형성하는 공정과,

   상기 개구 패턴으로부터, 상기 유리 페이스트 상에 연마재를 분사하여 상기 유리 페이스트를 제거해서 형성하는 공정을 포함하며,

   상기 드라이 필름에 형성하는 상기 개구 패턴을, 상기 연마재의 평균 입자 직경보다 작은 개구부를 갖도록 형성하는 것

   을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
8. 삭제
9. 삭제

Images