CN101090053A - 等离子体显示器面板及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

一种用简单的方法来控制交叉的隔壁的高度的偏差，不产生放电单元间的串扰的等离子体显示器面板(PDP)及其制造方法。凹部(122)设置在与烧制前的第1隔壁(120a)和与烧制前的第1隔壁(120a)正交的烧制前的第2隔壁(120b)的交叉部(121)相接的位置。形成这样的凹部(122)的话，交叉部(121)的体积当量的表面积和在交叉部(121)与该交叉部(121)邻接的交叉部之间的烧制前的第1隔壁(120a)和烧制前的第2隔壁(120b)的体积当量的表面积的值就会大体上相等。结果，烧制后交叉部(115)的高度不会变高，成为高度统一的隔壁，在放电单元间不会产生串扰。

Description

等离子体显示器面板及其制造方法
技术领域
本发明涉及具备具有交叉部的隔壁的等离子体显示器面板及其制造方法。
背景技术
等离子体显示器面板(以下记作「PDP」)是由封接部件封接相对配置的前面基板和背面基板的周缘部而成的构造，在前面基板和背面基板之间形成的放电空间封入了氖(Ne)及氙(Xe)等放电气体。
前面基板具备：由在玻璃基板的单面上形成为条状的扫描电极和维持电极组成的多个显示电极；以及覆盖这些显示电极的电介质层及保护膜。显示电极都是由透明电极和由在该透明电极上形成的金属材料组成的总线电极构成的。
背面基板具备：在玻璃基板的单面上在与显示电极正交的方向形成为条状的多个地址电极；覆盖这些地址电极的基础电介质层；划分放电空间的格子状的隔壁(肋材)；以及在隔壁间的槽中依次涂布的红色、绿色及蓝色的荧光体层。
显示电极和地址电极是正交的，该正交地方成为放电单元。这些放电单元按矩阵状排列，在显示电极的延伸方向排列的具有红色、绿色及蓝色的荧光体层的3个放电单元成为用于彩色显示的像素。PDP是依次在扫描电极和地址电极间，以及扫描电极和维持电极间施加给定的电压，使之发生气体放电，以通过该气体放电而产生的紫外线来激励荧光体层，使之发光，从而显示彩色图像。
在这里，作为隔壁，使用了能通过增加荧光体的涂布面积来提高亮度和发光效率的格子状的构造。并且，这样的格子状的隔壁由与地址电极平行的纵肋材和与纵肋材正交的横肋材构成，是对低熔点玻璃浆进行烧制而形成的。
可是，有时，纵肋材和横肋材正交的交叉部，与交叉部和交叉部之间的非交叉部相比，烧制后的隔壁高度会变高，与前面基板产生间隙，放电后的残留荷电粒子向邻接的放电单元移动而产生串扰。
针对这样的问题，提出了设置把隔壁的非交叉部夹着的台阶图形，使隔壁的非交叉部的与空气的接触面积减少，统一隔壁的交叉部和非交叉部的自由表面，使对隔壁各部作用的表面张力平衡化，统一隔壁的高度的方法。作为这样的例子，公知的是特开2006-85917号公报。
发明内容
为了解决上述课题，本发明是使在第1玻璃基板上形成了第1电极及电介质层的第1基板和在第2玻璃基板上形成了第2电极、隔壁及荧光体层的第2基板相对配置而成的PDP的制造方法，其中，隔壁是在形成了第2电极的第2玻璃基板上使玻璃浆按成为第1隔壁及与第1隔壁交叉的第2隔壁的形状且在它们交叉的交叉部及与交叉部相接的位置中的至少一方上具备凹部的形状而形成图形之后，烧制而形成。
对玻璃浆进行烧制的话，玻璃浆中包含的有机粘合剂就被除去而收缩。因而用这样的方法形成隔壁的话，因为凹部增加了隔壁的交叉部的表面积，所以用烧制炉等对玻璃浆进行烧制时，交叉部也会充分受热被烧制而收缩。结果，交叉部的玻璃浆中的有机粘合剂也会被充分地除去，因而交叉部不会变高，放电单元间也不会产生串扰。还有，这样的凹部是在隔壁形成时一起形成图形，因而也不会增加工序。另外，与本专利申请有关而添加的文件中的「交叉」不仅是指隔壁们以直角相交的情况，也包含以此外的角度相交的情况。还有，隔壁的交叉部是指相交的隔壁的重叠的部分。
还有，本发明的PDP的制造方法的凹部的大小取为使得交叉部的体积当量的表面积和在交叉部和与该交叉部邻接的交叉部之间的烧制前的第1隔壁和烧制前的第2隔壁的体积当量的表面积变得相同的大小。
隔壁烧制时的受热取决于对流传热，因而成为隔壁的各部的受热量与其表面积成比例。还有，热收缩与从各部除去的有机粘合剂的量，即体积成比例，因而使交叉部和交叉部间的烧制前的第1隔壁和烧制前的第2隔壁的体积当量的表面积的值相同的话，交叉部的高度就不会变高，能统一隔壁的高度。在这里，使体积当量的表面积的值相同不是指只有该值完全相同时隔壁的高度才会统一，而是接近相同的值就能发挥本发明的效果。
还有，可以是，本发明的PDP的制造方法的凹部的与隔壁正交的方向的宽度比烧制前的隔壁的顶部的宽度小。
在烧制前的隔壁上设置这样的凹部的话，就能加大交叉部的表面积，并且使凹部的宽度比隔壁的宽度小，因而放电单元间不会产生凹部所造成的间隙。
还有，可以是，本发明的PDP的制造方法的凹部的与隔壁正交的方向的宽度设为烧制前的隔壁的顶部的宽度的60％以上80％以下，凹部的深度设为烧制前的隔壁的高度的30％以上60％以下，凹部的与隔壁平行的方向的宽度设为5μm以上10μm以下。
在烧制前的隔壁上设置这样范围的大小的凹部的话，交叉部的高度就不会变高，能特别好地统一隔壁的高度。
还有，本发明的PDP的制造方法的凹部的形成包含：在第2玻璃基板上涂布玻璃浆，使之干燥的工序；在玻璃浆上层叠干膜的工序；对层叠了的干膜进行曝光、显影，形成给定的开口图形的工序；以及通过开口图形向玻璃浆上吹付研磨材，除去玻璃浆而形成的工序，使干膜上形成的开口图形形成为具有比研磨材的平均粒径小的开口部。
采用这样的凹部的形成方法的话，对于比研磨材的平均粒径小的开口部，只有比其大小小的粒径的研磨材才能进入，因而与比平均粒径大的研磨材也进入的开口部相比，只进行浅的研削。因此，适宜地选择研磨材的平均粒径就能形成希望的深度的开口部。
还有，可以是，本发明的PDP的制造方法的凹部的深度与烧制前的隔壁的高度相同。
这样的凹部不会使交叉部的高度产生台阶，因而不论是用研磨材进行研削的喷沙加工，还是网版印刷，都能容易地形成。
再有，本发明的PDP是使在第1玻璃基板上形成了第1电极及电介质层的第1基板和在第2玻璃基板上形成了第2电极、第1隔壁、与第1隔壁交叉的第2隔壁及荧光体层的第2基板相对配置而成的PDP，是在第1隔壁和第2隔壁中的至少一方上具备比它们的顶部的宽度小，且在第1隔壁和第2隔壁的交叉部近旁凹陷的区域的构成。
这样的PDP，只是在隔壁的交叉部近旁有比顶部的宽度小的凹陷的区域，因而放电单元间不会以间隙连接，不会在放电单元间产生串扰。
附图说明
图1是表示本发明的第1实施方式的PDP的要部的断面斜视图。
图2A是表示本发明的第1实施方式的PDP的烧制前的隔壁的形状的部分平面图，图2B是图2A的A-A线断面图，图2C是烧制图2B的隔壁之后的断面图。
图3A是说明本发明的第1实施方式的PDP的烧制前的隔壁的形成的喷沙加工前的示意断面图，图3B是说明本发明的第1实施方式的PDP的烧制前的隔壁的形成的喷沙加工后的示意断面图。
图4是表示形成本发明的第1实施方式的PDP的隔壁的研磨材的粒径分布的图。
图5A是表示本发明的第1实施方式的PDP的烧制前的隔壁上设置的凹部的变形例的部分平面图，图5B图是5A的B-B线断面图。
图6是表示本发明的第2实施方式的PDP的烧制前的隔壁的形状的部分平面图。
图7是表示本发明的第2实施方式的PDP的烧制前的隔壁的变形例的形状的部分平面图。
具体实施方式
以下，采用附图来说明本发明的实施方式所涉及的PDP及其制造方法。
(第1实施方式)
图1是表示本发明的第1实施方式的PDP的要部的断面斜视图。
PDP101的第1基板即前面板102是具有以下部分的构造：由在例如玻璃那样的透明且绝缘性的第1玻璃基板即玻璃基板103的一主面上形成的扫描电极104和维持电极105组成的第1电极即显示电极106；覆盖该显示电极106的电介质层107；以及再覆盖该电介质层107的例如MgO制的保护膜108。扫描电极104和维持电极105，为了降低电阻，做成在透明电极104a、105a上积层了由金属材料，例如银(Ag)等组成的总线电极104b、105b的构造。
还有，第2基板即背面板109是具有以下部分的构造：在例如玻璃那样的绝缘性的第2玻璃基板即玻璃基板110的一主面上形成的第2电极即地址电极111；覆盖该地址电极111的基础电介质层112；以及由在基础电介质层112上面形成的第1隔壁113a及与第1隔壁113a交叉的第2隔壁113b组成的隔壁113；覆盖隔壁113间的荧光体层114R、114G、114B。
在这里在第1隔壁113a和第2隔壁113b交叉而成的交叉部115近旁的第1隔壁113a及第2隔壁113b上有比它们的顶部的宽度小地凹陷的区域117。
并且，前面板102和背面板109夹着隔壁113，使得显示电极106和地址电极111正交地相对配置，图像显示区域外的周围由未图示的封接部件密封。在前面板102和背面板109之间形成的放电空间118，例如以66.5kPa(500Torr)的压力封入了Ne-Xe10％的放电气体。并且，放电空间118的显示电极106和地址电极111正交，由隔壁113包围的区域作为放电单元(单位发光区域)119而动作。
其次，对于上述PDP101，同样参照图1来说明其制造方法。
对于前面板102，是在玻璃基板103上面首先形成扫描电极104及维持电极105。具体是在玻璃基板103上面，采用蒸镀、溅射等成膜工艺来形成例如ITO制的膜，此后，采用光刻法等形成图形从而形成透明电极104a、105a。再从其上开始，采用蒸镀、溅射等成膜工艺来形成例如Ag制的膜，此后，采用光刻法等形成图形，从而形成总线电极104b、105b。按以上方式就能获得由扫描电极104及维持电极105组成的显示电极106。
其次，用电介质层107被覆按以上方式形成的显示电极106。电介质层107是例如通过网版印刷而涂布含玻璃材料的浆之后，进行烧制而形成的。其次，用金属氧化膜，例如MgO制的保护膜108被覆按以上方式形成的电介质层107。
对于背面板109，是在玻璃基板110上面形成地址电极111。具体是在玻璃基板110上面，采用蒸镀、溅射等成膜工艺来形成例如Ag材料等制的膜，此后，采用光刻法等形成图形从而形成地址电极111。再用基础电介质层112被覆地址电极111之后，形成隔壁113。
然后，在隔壁113间的槽中形成由红色、绿色、蓝色荧光体粒子构成的荧光体层114R、114G、114B。具体是涂布由各色荧光体粒子和有机粘合剂组成的浆状的荧光体油墨，对其进行烧制，烧掉有机粘合剂，从而形成由各荧光体粒子结成的荧光体层114R、114G、114B。
使得前面板102的显示电极106和背面板109的地址电极111正交地叠合按以上方式制作的前面板102和背面板109，并且在周缘填上封接用玻璃制的封接部件，对其进行烧制，用所得的气密密封层(未图示)进行封接。然后，一旦对放电空间118内进行高真空排气之后，以给定的压力封入放电气体(例如，He-Xe系、Ne-Xe系的惰性气体)从而制作PDP101。
其次，更详细地说明上述PDP101的隔壁113的构成及制造方法。图2A是表示本发明的第1实施方式的PDP的烧制前的隔壁的形状的部分平面图，图2B是图2A的A-A线断面图，图2C是图2B的隔壁在烧制之后的断面图。
如图2A、图2B所示，凹部122设置在与烧制前的第1隔壁120a和与烧制前的第1隔壁120a正交的烧制前的第2隔壁120b的交叉部121相接的位置，增加了交叉部121的表面积。还有，凹部122是除去了四棱锥的前端部的形状。
在这里，使得与隔壁正交的方向的凹部的宽度122a比烧制前的第1隔壁120a的顶部的宽度120c小。凹部的宽度122a与烧制前的第1隔壁的顶部的宽度120c相同的话，有时就会从该凹部122产生串扰。而这样使凹部的宽度122a比烧制前的第1隔壁的顶部的宽度120c小的话，烧制后的第1隔壁113a就不会产生间隙，因而也不会产生串扰。同样，使得烧制前的第2隔壁120b上设置的凹部122的与隔壁正交的方向的凹部的宽度122b比烧制前的第2隔壁120b的顶部的宽度120d小。
特别是在这样的格子状构造的隔壁113中，把凹部的宽度122a、与隔壁正交的方向的凹部的宽度122b分别取为烧制前的第1隔壁120a的顶部的宽度120c、烧制前的第2隔壁120b的顶部的宽度120d的60％以上80％以下。还有，把凹部的深度122c取为烧制前的第1隔壁120a及烧制前的第2隔壁120b的高度即烧制前的隔壁高度120e的30％以上60％以下。再把凹部122的与隔壁平行的方向的宽度即凹部的长度122d取为5μm以上10μm以下即可。
例如，在烧制前的第1隔壁的顶部的宽度120c为50μm，烧制前的隔壁高度120e为100μm，交叉部121和与该交叉部121邻接的交叉部之间的长度为200μm的场合，按凹部的宽度122a为30μm以上40μm以下，凹部的长度122d为5μm以上10μm以下，凹部的深度122c为30μm以上60μm以下来形成即可。
形成这样的凹部122的话，交叉部121的体积当量的表面积和在交叉部121和与该交叉部121邻接的交叉部之间的烧制前的第1隔壁120a和烧制前的第2隔壁120b的体积当量的表面积的值就会大体上相等。并且，使体积当量的表面积的值相等的话，对于在交叉部121和与该交叉部121邻接的交叉部之间的烧制前的第1隔壁120a和烧制前的第2隔壁120b，烧制时的受热量以及玻璃浆中包含的有机粘合剂被除去的量也会大体上相等。
结果，如图2C所示，在交叉部115近旁有凹陷的区域117，不过，第2隔壁113b成为交叉部115的高度不变高而高度统一了的隔壁。还有，第1隔壁113a也与第2隔壁113b同样，能统一包含交叉部115在内的高度，在放电单元间不会产生串扰。
另外，凹部122随着隔壁的烧制时的热收缩，形状变形，烧制后成为凹陷的区域117。
其次，用图3来说明采用喷沙加工来形成设置了凹部122的烧制前的第1隔壁120a及烧制前的第2隔壁120b的过程。图3是说明本发明的第1实施方式的PDP的烧制前的隔壁的形成的示意断面图，图3A表示喷沙加工前的状态，图3B表示喷沙加工后的状态。
首先，准备由作为隔壁材的玻璃材料中有氧化硅(SiO2)等的骨材、作为有机粘合剂成分的乙基纤维素树脂、作为溶剂的萜品醇、作为可塑剂的酞酸二丁酯组成的玻璃浆。然后采用印模涂布法，把该玻璃浆如3A所示，在形成了作为第2电极的地址电极111和基础电介质层112的作为第2玻璃基板的玻璃基板110上，以100μm～250μm的膜厚进行涂布，以70℃～150℃进行加热，使之干燥，形成玻璃浆层123。
然后，在干燥了的玻璃浆层123上面，一边以70℃～120℃对膜厚20μm～50μm的干膜124进行加热，一边将其层叠。此时在层叠前，对玻璃基板110以80℃～100℃进行5分～10分的预加热的话，玻璃浆层123和干膜124的贴紧性就会提高。
对该干膜124通过光掩膜进行曝光(曝光量：100mJ/cm2～500mJ/cm2)后，用碱性水溶液(例如碳酸钠(Na2CO3)0.5％～5％)进行显影，形成给定的开口图形125。在这里开口图形125设有成为放电单元119的开口部126、凹部122的形状的开口部127。在这里使得开口部127的宽度比下工序使用的研磨材的平均粒径小。
在该状态下采用对玻璃浆层123吹付研磨材的喷沙加工，如图3B所示，削掉、除去成为放电单元119的开口部126以及开口部127的干膜124未被覆的部分的玻璃浆层123。此后，剥离干膜124，最后以450℃～600℃烧制完成隔壁113。
在这里说明同时形成要研削的深度不同的放电单元119的部分和凹部122的原因。图4是表示形成本发明的第1实施方式的PDP的隔壁的研磨材的粒径分布的图。
喷沙加工中采用的碳酸钙(CaCO3)、不锈钢等研磨材的粒径是比要除去的100μm×200μm左右的大小的放电单元119的部分小的直径(平均粒径φ2μm～20μm)。并且研磨材一般有粒径分布，在使用了4图所示的平均粒径10μm的研磨材的场合，有10μm以下的粒子径的研磨材存在50％。因此，在干膜124上成为凹部122的开口部127的宽度为10μm的话，该部分与成为放电单元119的开口部126相比，只能研削一半的深度。这是因为，成为放电单元119的开口部126能用所有粒径的研磨材进行研削，而成为凹部122的开口部127只能用粒径分布中一半的研磨材进行研削。根据这些情况，就能通过选择粒径分布适宜的研磨材来设定必要的凹部122的大小和要研削的深度。
图5是本发明的第1实施方式的PDP的烧制前的隔壁上设置的凹部的变形例，图5A是表示烧制前的隔壁的形状的部分平面图，图5B是图5A的B-B线断面图。在烧制前的第1隔壁128a和与其正交的烧制前的第2隔壁128b的交叉部129，设置了圆形的凹部130。这样在交叉部129设置圆形的凹部130，就能增加交叉部129的表面积。并且能使交叉部129和与该交叉部129邻接的交叉部之间的烧制前的第1隔壁128a和烧制前的第2隔壁128b的受热量大体上一致。结果，烧制后的交叉部的高度也不会变高，能形成高度统一的隔壁。
另外，图5表示了圆形的凹部130的例子，不过，形状不限于圆形，还有，也可以设置多个设置在交叉部129的凹部。
还有，图2的凹部122设置在交叉部121的4处，不过，在交叉的烧制前的第1隔壁120a和烧制前的第2隔壁120b的宽度有很大不同的场合等，也可以只在大的宽度的烧制前的隔壁上设置凹部。在该场合也是，只在大的宽度的烧制前的隔壁上设置凹部，从而充分加大交叉部121的表面积，使交叉部121和邻接的交叉部之间的烧制前的隔壁的体积当量的表面积相同即可。
(第2实施方式)
图6是表示本发明的第2实施方式的PDP的烧制前的隔壁的形状的部分平面图。本发明的第2实施方式的PDP与本发明的第1实施方式的PDP相比，只是烧制前的隔壁的凹部的形状不同。
如图6所示，在烧制前的第1隔壁131a和与其正交的烧制前的第2隔壁131b的交叉部132设置了部分圆形的凹部133。该部分圆形的凹部133的深度与烧制前的第1隔壁131a及烧制前的第2隔壁131b的高度相同。即，本发明的第2实施方式的部分圆形的凹部133不是第1实施方式那样的对隔壁设置了台阶的槽，交叉部132的一部分从烧制前的第1隔壁131a及烧制前的第2隔壁131b被削掉了。另外，烧制前的第1隔壁131a和烧制前的第2隔壁131b围着的区域是放电单元119，在其下部配置了地址电极111，这与本发明的第1实施方式的PDP也相同。这样削掉交叉部132的一部分就能增加交叉部132的表面积。并且该削掉的大小只要使得交叉部132和邻接的交叉部132间的烧制前的第1隔壁131a和烧制前的第2隔壁131b的体积当量的表面积相同即可。
还有，做成削掉交叉部132的一部分的形状的制造方法，除了上述喷沙加工以外，也可以是网版印刷，制造方法的选择余地大。
图7是表示本发明的第2实施方式的PDP的烧制前的隔壁的变形例的形状的部分平面图。图7是为了亮度调整而改变了形成红色、绿色、蓝色各个荧光体层的放电单元134、135、136的开口率的例子。例如为了白平衡调整，把放电单元134、135、136的开口率设为放电单元135＜放电单元134＜放电单元136。并且，为了设为这样的开口率，把在放电单元134、135、136各自的四角设置的凹部137、138、139的大小设为凹部138＜凹部137＜凹部139。另外，在1个放电单元的四角设置的凹部的大小相等，凹部的深度与烧制前的第1隔壁140a及烧制前的第2隔壁140b的高度相同。在这里，交叉部141、142、143分别是由放电单元134和放电单元135、放电单元135和放电单元136、放电单元136和放电单元134围着的区域。
再有，凹部137、138、139的大小要使得交叉部和与该交叉部邻接的交叉部间的烧制前的第1隔壁140a和烧制前的第2隔壁140b的体积当量的表面积相同。例如凹部137的大小要使得交叉部141和交叉部141及交叉部142之间的烧制前的第2隔壁140b的体积当量的表面积、交叉部141间的烧制前的第1隔壁140a的体积当量的表面积相同。
结果，交叉部141、142、143的受热量也会增加，隔壁高度不会只在交叉部141、142、143变高。并且，能实现具备隔壁高度统一，不会产生串扰，还可进行亮度调整的放电单元134、135、136的PDP。
另外，在本发明的第2实施方式中，表示了按部分圆形削掉放电单元四角(4处)的例子，不过，只要是在体积当量的表面积变得相同的范围，2处、3处都可以。还有，形状也不限于圆形，也可以按矩形、多边形削掉。
还有，在本发明的第2实施方式中，对于具有格子状构造的交叉部的隔壁进行了说明，不过，不限于隔壁们按十字状相交的构造的情况。例如也可以是密安大利萡(ミァンダリブ)那样的构造，在隔壁们相交的场合能适用本发明。
这样，根据本发明，能提供即使是具备交叉的隔壁的PDP，交叉的部分的隔壁高度也不会变高，不会产生串扰的PDP及其制造方法，能实现高精细的等离子体显示器装置等。

Claims (9)

1.一种等离子体显示器面板的制造方法，使在第1玻璃基板上形成了第1电极及电介质层的第1基板和在第2玻璃基板上形成了第2电极、隔壁及荧光体层的第2基板相对配置，其特征在于，上述隔壁是在形成了上述第2电极的上述第2玻璃基板上使玻璃浆按成为第1隔壁及与上述第1隔壁交叉的第2隔壁的形状且在它们交叉的交叉部及与上述交叉部相接的位置中的至少一方上具备凹部的形状而形成图形之后，烧制而形成。
2.根据权利要求1所述的离子体显示器面板的制造方法，其特征在于，上述凹部的大小是使得上述交叉部的体积当量的表面积和在上述交叉部和与上述该交叉部邻接的交叉部之间的烧制前的上述第1隔壁和烧制前的上述第2隔壁的体积当量的表面积变得相同的大小。
3.根据权利要求1所述的离子体显示器面板的制造方法，其特征在于，上述凹部的与隔壁正交的方向的宽度比烧制前的上述隔壁的顶部的宽度小。
4.根据权利要求2所述的离子体显示器面板的制造方法，其特征在于，上述凹部的与隔壁正交的方向的宽度比烧制前的上述隔壁的顶部的宽度小。
5.根据权利要求3所述的离子体显示器面板的制造方法，其特征在于，上述凹部的与隔壁正交的方向的宽度设为烧制前的上述隔壁的顶部的宽度的60％以上80％以下，上述凹部的深度设为烧制前的上述隔壁的高度的30％以上60％以下，上述凹部的与隔壁平行的方向的宽度设为5μm以上10μm以下。
6.根据权利要求4所述的离子体显示器面板的制造方法，其特征在于，上述凹部的与隔壁正交的方向的宽度设为烧制前的上述隔壁的顶部的宽度的60％以上80％以下，上述凹部的深度设为烧制前的上述隔壁的高度的30％以上60％以下，上述凹部的与隔壁平行的方向的宽度设为5μm以上10μm以下。
7.根据权利要求1至6中任意一项所述的离子体显示器面板的制造方法，其特征在于，上述凹部的形成包含：在上述第2玻璃基板上涂布上述玻璃浆，使之干燥的工序；在上述玻璃浆上层叠干膜的工序；对层叠了的上述干膜进行曝光、显影，形成给定的开口图形的工序；以及通过上述开口图形向上述玻璃浆上吹付研磨材，除去上述玻璃浆而形成的工序，使上述干膜上形成的上述开口图形形成为具有比上述研磨材的平均粒径小的开口部。
8.根据权利要求1至4中任意一项所述的离子体显示器面板的制造方法，其特征在于，上述凹部的深度与烧制前的上述隔壁的高度相同。
9.一种离子体显示器面板，使在第1玻璃基板上形成了第1电极及电介质层的第1基板和在第2玻璃基板上形成了第2电极、第1隔壁、与上述第1隔壁交叉的第2隔壁及荧光体层的第2基板相对配置，其特征在于，在上述第1隔壁和上述第2隔壁中的至少一方上具备比它们的顶部的宽度小，且在上述第1隔壁和上述第2隔壁的交叉部近旁凹陷的区域。
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