JPH0950767A - 薄型平面表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は薄膜平面表示装置に関し、一方の基
板面と、対向する他方の基板上に設けた放電空間を分
離、または仕切る隔壁の頂上部との隙間を無くし、隣接
放電部からの放電による空間電荷、或いは紫外線の侵入
を完全に阻止してクロストークや誤放電を確実に防止す
ることを目的とする。 【解決手段】 放電空間25を分離、または仕切る隔壁23
を有する一方のガラス基板21と、表示電極12を被覆した
誘電体層33に該隔壁23が嵌合する溝34を設けた他方のガ
ラス基板11とを有し、両ガラス基板11、21を重ね合わせ
た際に、溝34に隔壁23の頂上部を嵌合させて該隔壁23と
対向する他方のガラス基板11の表面との隙間を無くする
ように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、放電空間を分離、
または仕切る隔壁が設けられた薄型平面表示装置（ＰＤ
Ｐ：プラズマディスプレイパネル）に関するものであ
る。

【０００２】ＰＤＰは簡易なプロセスのため対角線が４
０インチ以上の大画面化が可能であり、高輝度、高速応
答性、拡視野角を有する等の利点により、直視型大画面
の高品位ＴＶ用表示デバイスとして有望視されている。

【０００３】カラーＰＤＰの一画素（ピクセル）は複
数、例えば３つの絵素（サブピクセル）から構成され、
３つのサブピクセルには、赤(R),緑(G),青(B) の螢光体
が割当られると共に、隔壁によって分離されている。こ
の隔壁は、隣接のサブピクセル(隣接放電空間) からの
放電による空間電荷や紫外線の侵入を阻止することによ
って、クロストークや誤放電を防止している。

【０００４】しかし、前記した隔壁と対向配置する基板
側との間に僅かな隙間があると、放電による空間電荷や
紫外線の隣接サブピクセル間への侵入を阻止できないこ
とがあり、そのような空間電荷や紫外線の隣接サブピク
セル間への侵入を完全に阻止する構成が必要とされてい
る。

【０００５】

【従来の技術】図７は一般的なＡＣ駆動型の薄型平面表
示装置、例えばカラー表示用の面放電型プラズマディス
プレイパネル（ＰＤＰ）の一例を示す要部分解斜視図で
あり、１つの画素ＥＧに対応する部分の基本的な構造を
示している。

【０００６】ＰＤＰ１は、マトリクス表示の単位発光領
域（サブピクセル）ＥＵに一対のＸ，Ｙからなる表示電
極12とアドレス電極Ａとが対応する３電極構造を有して
おり、カラー表示用の蛍光体24の配置形態による分類の
上では反射タイプの面放電型ＰＤＰと呼ばれている。

【０００７】そして、面放電のための一対のＸ，Ｙから
なる表示電極12は、放電空間25に対して表示面Ｈ側のガ
ラス基板11上に設けられており、面放電を広範囲とし、
かつ表示光の遮光を最小限にするためにネサ膜 (SnO₂膜
等) などからなる幅広い透明導電膜12a とその導電性を
補う (低抵抗化) ための幅狭いバス金属膜12b とを積層
した構成からなっている。

【０００８】また、その表示電極12上は壁電荷を利用し
てガス放電を維持するＡＣ駆動のための誘電体層13によ
って放電空間25に対して絶縁状態に一様に被覆されてお
り、該誘電体層13の表面には更に５０００Å程度の厚さ
の MgO膜からなる保護膜14が同様に被覆されている。

【０００９】一方、単位発光領域（サブピクセル）ＥＵ
を選択的に発光させるためのアドレス電極Ａは、背面側
のガラス基板21上に、前記一対のＸ、Ｙからなる表示電
極12と直交するように一定ピッチで配列され、各アドレ
ス電極Ａの間には２００μｍ程度の高さを有するストラ
イプ状の隔壁23が設けられ、これによって放電空間25が
ライン方向 (表示電極12の延長方向) に単位発光領域
（サブピクセル）ＥＵ毎に区画され、かつ放電空間25の
間隔寸法が規定されている。

【００１０】更に、前記ガラス基板21には、アドレス電
極Ａを覆っている誘電体層 (図示省略) の上面及び隔壁
23の側面を含めた背面側の内面を被覆するように、Ｒ
（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の３原色の蛍光体24が設け
られている。そしてこのような構成のＰＤＰ１では各色
の蛍光体24は面放電時に放電空間25内のガス放電より放
射される紫外線により励起されて発光し、Ｒ，Ｇ，Ｂの
組合せによるフルカラー表示が可能であり、その表示に
際して隔壁23により単位発光領域（サブピクセル）ＥＵ
間のクロストークが防止されている。

【００１１】以上の構成のＰＤＰ１は、各ガラス基板11
と21に対して別個に所定の構成要素を設けた後、そのガ
ラス基板11と21とを対向配置して隔壁23の高さによって
規定されるその間隙の周囲を低融点ガラスにより気密に
封止し、内部を真空に排気すると共に、放電ガスを封入
する一連の工程によって製造されている。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記したよ
うに背面側のガラス基板21上に設けたストライプ状の隔
壁23は、厚膜印刷法によりストライプ状の低融点ガラス
層を複数層積層した後、或いは厚膜印刷法等により厚い
低融点ガラス層を形成し、これを例えば耐サンドブラス
ト性のレジストマスクを介してサンドブラスト法により
切削してストライプ状にパターニングした後、これらの
低融点ガラス層を５００〜６００℃程度の温度で焼成す
る熱処理によって形成している。

【００１３】ところが形成された隔壁23は、膜厚精度や
熱処理時の収縮等のバラツキに起因して、その長さ方向
の高さのバラツキや各隔壁の高さのバラツキにより、最
終的に形成された各隔壁23の高さには約１０％のバラツ
キが生じる。このバラツキがあるためその背面側のガラ
ス基板21と表示面Ｈ側のガラス基板11とを対向させて組
み合わせた際に、図８の要部断面図に示すように該隔壁
23の頂上部と該表示面側のガラス基板11上の保護膜14が
被覆された誘電体層13との間に僅かな隙間が生じる。こ
のような問題は隔壁23の頂上部にカケ等の欠陥がある場
合にも同様な現象が生じる。

【００１４】従って、そのような隙間が生じた場合、隣
接放電部からの放電による空間電荷、または紫外線が侵
入し、それによってクロストークや誤放電が生じ、表示
品質が悪くなることから、製品歩留りが低下するという
問題があった。

【００１５】本発明は上記した従来の問題点に鑑み、表
示面側の基板と隔壁が形成された基板とを組み合わせた
ときに、隔壁の高さのバラツキやカケ欠陥に起因する隔
壁と対向する誘電体層との隙間を無くし、隣接放電部か
らの放電による空間電荷、または紫外線の侵入によるク
ロストークや誤放電を防止して表示品質の向上を図った
新規な薄型平面表示装置を提供することを目的とするも
のである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ため、２枚の基板が放電空間を介して互いに平行に対向
するように配設され、その一方の基板上に放電空間を分
離、または仕切る隔壁を有する薄型平面表示装置におい
て、前記一方の基板上に設けた隔壁と対応する他方の基
板上の電極を放電空間から絶縁する絶縁層（誘電体層）
に、該一方の基板上の隔壁の頂上部と嵌合する溝を設
け、その両基板を重ね合わせる際に、その溝に前記隔壁
の頂上部を嵌合した構成とする。

【００１７】その結果、両基板間の放電空間の間隙寸法
が隔壁によって所定に規定されると共に、放電空間が隔
壁によりサブピクセル毎に仕切られ、隔壁の高さに多少
のバラツキや欠け欠陥があっても、該隔壁の頂上部が対
向側基板上の絶縁層（誘電体層）に設けられた溝内に嵌
め込まれているので、隔壁と対向する基板との間の隙間
が溝内にしか生じず、しかもその隙間は溝の深さ方向で
屈折された迷路状となっている。

【００１８】従って、そのような隙間に対して隣接放電
部からの放電による空間電荷、或いは紫外線の通過が不
可能になり、それらの侵入が阻止されるのでクロストー
クや誤放電を防止することができる。

【００１９】また、前記溝を設けた基板上の絶縁層（誘
電体層）としては、電極を被うように基板上に形成され
た第１の低融点ガラス層上に、第１の低融点ガラス層よ
りも軟化点の低い第２の低融点ガラス層を、前記溝に対
応する空所を有するように選択的に積層することにより
容易に得ることができる。

【００２０】更に、上記した構成に加えて、他方の基板
上に設けた溝と溝とで挟まれた部分が放電空間内に断面
かまぼこ形状に膨出させた構成とし、両基板を重ね合わ
せる際に、その溝に前記隔壁の頂上部を嵌合した構成と
することにより、隔壁と対向する基板との間の隙間は溝
内のみに生じ、しかもその隙間は溝の深さ方向で屈折さ
れた迷路状となる。

【００２１】そのため、前記した隙間に対して隣接放電
部からの放電による空間電荷、或いは紫外線の通過が不
可能になり、それらの侵入がより効果的に阻止されてク
ロストークや誤放電を良好に防止することができ、その
上、隔壁内の膨出面に設けた蛍光体に対して放電により
生じる紫外線の励起作用効率も高められ、表示輝度が増
加する。

【００２２】更に、他方の基板上に設けた溝内に基板封
着用の低融点ガラスと同等の軟化点、或いはそれより低
い軟化点の低融点ガラスからなる接着層を設け、両基板
を重ね合わせて封着したときに、その溝に嵌入した隔壁
の頂上部が接着層と融着した嵌合状態になって溝との隙
間は実質的に完全に無くなるので、クロストークや誤放
電を確実に防止することができる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明の実施例
について詳細に説明する。図１は本発明に係る薄型平面
表示装置の第１実施例を示す要部拡大断面図である。

【００２４】この図において、薄型平面表示装置は従来
と同様な例えば３電極構造のカラー表示用の面放電型プ
ラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）を対象とした場合
であり、背面側のガラス基板21上には、Al薄膜、或いは
Ag厚膜からなるアドレス電極Ａが一定のピッチで配列さ
れ、各アドレス電極Ａの間には数十μｍ程度の膜厚の低
融点ガラスからなる誘電体層22を介してその低融点ガラ
スよりも軟化点の低い低融点ガラスからなる高さが２０
０μｍ程度で、幅が８０μｍを有し、放電空間を単位発
光領域毎に区画して複数のサブピクセルを構成するスト
ライプ状の隔壁23が設けられている。

【００２５】また、隔壁23内の底面及び側面を含む内面
には、Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の３原色の蛍光体
24がアドレス電極などを被覆するように設けられてい
る。一方、表示面側のガラス基板11上には、前記背面側
のガラス基板21上のアドレス電極Ａと交差するようにネ
サ膜 (SnO₂膜等) からなる透明導電膜と低抵抗化のため
のバス金属膜とを積層した構成の面放電のための一対の
Ｘ，Ｙからなる表示電極12と、該表示電極12上に数十μ
ｍ程度の膜厚の低融点ガラスからなる誘電体層33が放電
空間25に対して表示電極12を絶縁するように被覆されて
いる。

【００２６】更に、前記誘電体層33上には、本発明の特
徴に従って背面側のガラス基板21上に設けたストライプ
状の隔壁23と対向する領域に、幅が１００μｍ程度で、
深さが２０〜３０μｍ、本実施例では幅が１００μｍ
で、深さが３０μｍの溝34が設けられている。またこの
溝34を含む誘電体層33上に更に５０００Å程度の厚さの
MgO膜からなる保護膜35が被覆されている。

【００２７】そして表示面側のガラス基板11と背面側の
ガラス基板21とを重ね合わせる際に、前記した溝34に隔
壁23の頂上部を嵌合させる。この結果、従来例と同様に
両ガラス基板11, 21間の放電空間25の間隙寸法が隔壁23
により所定に規定されると共に、該放電空間25が隔壁23
によってサブピクセル毎に仕切られる。

【００２８】このとき隔壁23の高さに多少のバラツキや
欠け欠陥があっても、隔壁23の頂上部が対向側のガラス
基板11上の誘電体層33側に設けられた溝34内に嵌め込ま
れているために、隔壁23と対向側ガラス基板11との間の
隙間は溝34内にしか生じず、しかもそれは深さ方向に屈
折された迷路状となり、放電空間には通じ難くなる。

【００２９】従って、そのような隙間では隣接のサブピ
クセルからの放電による空間電荷、或いは紫外線が通過
しなくなり、それらの侵入を阻止することが可能となる
ので、クロストークや誤放電を防止することができる。

【００３０】なお、上記のように溝34を含む誘電体層33
上に MgO膜からなる保護膜35を被着した場合、溝34の段
差により誘電体層33の表面から溝34の底面にかけて被着
する保護膜35のステップカバレッジは当然悪くなるが、
この現象によって隔壁23で区画された各放電空間25毎の
保護膜35は孤立するため、放電が保護膜35表面を伝わっ
て隣接する放電空間25に漏洩する不良モードもなくなる
といった副次的な効果も得られる。

【００３１】図２は本発明に係る薄型平面表示装置の第
２実施例を示す要部拡大断面図であり、図１と同等の部
分には同一符号を付している。この図で示す本実施例が
図１で示す実施例と異なる点は、表示面側のガラス基板
11上の誘電体層33に設けた溝34の中に、前記両ガラス基
板11, 21の周辺をシールするための低融点ガラスと同等
の軟化点、若しくはそれよりも低い軟化点の低融点ガラ
スからなる１０μｍ程度の厚さの接着層36を設けてい
る。

【００３２】この接着層36は、前記両ガラス基板11, 21
の周辺をシールする低融点ガラスの加熱工程時において
溶融し、その後の固化によって誘電体層33側と隔壁23の
頂上部とを接着する。この接着によって、当該溝34内は
完全に密閉された状態になる。

【００３３】従って、隣接サブピクセルからの放電によ
る空間電荷、或いは紫外線の侵入を完全に阻止すること
が可能となるので、クロストークや誤放電を確実に防止
することができる。

【００３４】なお、前記隔壁23の頂上部が嵌入された溝
34内に接着層36の融解で固着されることで、溝34を設け
た誘電体層33上に被覆された MgO膜からなる保護膜35は
隔壁23で区画された各放電空間25毎に確実に孤立化さ
れ、放電が保護膜35表面を伝わって隣接する放電空間25
に漏洩する不良モードが解消するといった副次的な効果
が得られる。

【００３５】また、この接着層36だけを黒色化しておけ
ば、隔壁23の材料の色調に関係なくブラックマトリクス
としての効果が得られ、隔壁材料の選択範囲も拡がると
いう利点がある。

【００３６】次に上記した第１実施例及び第２実施例に
おける表示面側のガラス基板11上の誘電体層33に溝34を
形成する方法についての一実施例を図３(a) 〜(c) 及び
図４(a) 〜(c) を用いて工程順に説明する。

【００３７】先ず前記第１実施例については、図３(a)
に示すように、表示面側のガラス基板11上に薄膜形成法
によりＩＴＯ(Indium Tin Oxide)、またはSnO₂等の透明
導電膜を形成し、フォトリソグラフィ工程によってスト
ライプ状にパターニングし、そのストライプ状の透明導
電膜上に薄膜形成法とフォトリソグラフィ工程により該
透明導電膜の低抵抗化のために、例えばCr-Cu-Crの３層
膜等からなるバス金属膜を積層した積層状の表示電極12
を形成する。

【００３８】次に、該表示電極12を含むガラス基板11上
に低融点ガラスを例えばスクリーン印刷法によって一様
に塗布し乾燥させた後、５５０〜６００℃で数十分間加
熱焼成して２０〜４０μｍ、本実施例では３０μｍの厚
さの第１の低融点ガラス層33a を形成し、引き続きその
第１の低融点ガラス層33a 上の、例えば前記背面側のガ
ラス基板上に設けた隔壁と対応する領域以外の放電空間
となる部分のみに、該第１の低融点ガラス層33a よりも
軟化点の低い低融点ガラスを、スクリーン印刷法によっ
て選択的に塗布し乾燥させた後、５００〜５５０℃で数
十分間加熱焼成して２０〜４０μｍ、本実施例では３０
μｍの厚さの第２の低融点ガラス層33bを形成し、前記
隔壁と対応する領域に該隔壁を嵌め込むための溝34を設
けた第１，第２の低融点ガラス層33a, 33bからなる積層
状の誘電体層を形成する。

【００３９】次に、図３(b) に示すように、前記溝34を
含む第１，第２の低融点ガラス層33a, 33bからなる誘電
体層33の表面に、例えば薄膜形成法等により５０００Å
の厚さのMgO 膜からなる保護膜35を一様に被覆すること
により、表示面側のガラス基板11の誘電体層33に所望の
隔壁を嵌め込むための溝34を容易に形成することが可能
となる。

【００４０】また、第２実施例について、前記誘電体層
33に設けた溝34内に基板封着用の低融点ガラスと同等の
軟化点、或いはそれより低い軟化点の低融点ガラスから
なる接着層36を設ける場合には、図３(c) に示すよう
に、MgO 膜からなる保護膜35を被覆する工程に先立って
該誘電体層33に設けた溝34に対して前記低軟化点の低融
点ガラスを、例えばスクリーン印刷法によって選択的に
塗布し乾燥させた後、４５０〜５００℃で数十分間仮熱
焼成することで、５〜１０μｍの膜厚、本実施例では７
μｍの厚さの接着層36を容易に形成することが可能とな
る。

【００４１】更に、前記表示面側のガラス基板11の誘電
体層33に隔壁を嵌め込むための溝34を形成する他の方法
としては、図４(a) に示すように、表示面側のガラス基
板11上に薄膜形成法とフォトリソグラフィ工程によって
ストライプ状の透明導電膜とCr-Cu-Crの３層膜等からな
るバス金属膜とを積層した積層状の表示電極12を形成す
る。

【００４２】次に、その表示電極12を含むガラス基板11
上に低融点ガラスをスクリーン印刷法等によって一様に
塗布し乾燥させた後、５５０〜６００℃で数十分間加熱
焼成して２０〜４０μｍ、本実施例では３０μｍ厚さの
第１の低融点ガラス層33a を形成し、引き続きその第１
の低融点ガラス層33a 上に、該第１の低融点ガラス層33
a よりも軟化点の低い低融点ガラスを、スクリーン印刷
法により塗布し乾燥させて未焼成の２０〜４０μｍの膜
厚、本実施例では３０μｍの厚さの第２の低融点ガラス
層33b を形成する。

【００４３】次に、その第２の低融点ガラス層33b 上の
全面に、耐サンドブラスト性のネガ型感光性レジスト材
としてドライフィルム51をラミネータにより圧着する。
次に、図４(b) に示すように、前記ドライフィルム51を
例えば前記背面側のガラス基板上に設けた隔壁と対応す
る領域以外の放電空間となる部分のみをマスクするよう
に露光・現像によりパターニングしてフィルムマスク52
を形成した後、該フィルムマスク52を介してサンドブラ
スト法により前記第２の低融点ガラス層33b を切削パタ
ーニングする。

【００４４】この時、第２の低融点ガラス層33b のパタ
ーニングはその下側の既に溶解焼成した第１の低融点ガ
ラス層33a がその硬さの差異によりストップ層として働
くので、均一な深さに切削された溝パターンが得られ
る。

【００４５】その後、図４(c) に示すように、フィルム
マスク52を剥離し、第２の低融点ガラス層33b を５００
〜５５０℃で数十分間加熱焼成することにより、図３
(a) の実施例と同様に表示面側のガラス基板11上に設け
た第１, 第２の低融点ガラス層33a, 33bからなる積層状
の誘電体層33に隔壁を嵌め込むための溝34を容易に形成
することが可能となる。

【００４６】図５は本発明に係る薄型平面表示装置の第
３実施例を示す要部拡大断面図である。この図で示す本
実施例が図１及び図２で示す実施例と異なる点は、表示
面側のガラス基板11上の誘電体層43に設けた溝44と溝44
とで挟まれた基板表面を、断面かまぼこ形状に膨出させ
た構成としていることである。

【００４７】このような構成を形成する方法としては、
図６(a) に示すように、表示面側のガラス基板11上の前
記背面側のガラス基板の隔壁により構成される放電空間
と対応する表面に、低融点ガラスを幅が１００〜２００
μｍで、高さを２０〜３０μｍにスクリーン印刷法等に
よりライン状に塗布し、乾燥後、５５０〜６００℃で数
十分間溶解焼成してかまぼこ形状の膨出層41を形成す
る。

【００４８】次に、そのライン状の膨出層41を含むガラ
ス基板11上に、該ライン状の膨出層41と交差する方向に
薄膜形成法とフォトリソグラフィ工程によってストライ
プ状の透明導電膜とCr-Cu-Crの３層膜等からなるバス金
属膜とを積層した積層状の表示電極42を形成する。

【００４９】次に、その表示電極42を含むガラス基板11
上に低融点ガラスをスクリーン印刷法等によって一様に
塗布し乾燥させた後、５５０〜６００℃で数十分間加熱
焼成して２０〜４０μｍ、本実施例では３０μｍの厚さ
の第１の低融点ガラス層43aを形成し、引き続きその第
１の低融点ガラス層43a 上に、該第１の低融点ガラス層
43a よりも軟化点の低い低融点ガラスを、スクリーン印
刷法により塗布し乾燥させて未焼成の２０〜４０μｍの
膜厚、本実施例では３０μｍの厚さの第２の低融点ガラ
ス層43b を形成する。

【００５０】次に、前記第２の低融点ガラス層43b 上の
全面に、耐サンドブラスト性のネガ型感光性レジスト材
として、例えばドライフィルムをラミネータにより圧着
し、該ドライフィルムを例えば前記背面側のガラス基板
上に設けた隔壁と対応する領域以外の放電空間となる部
分のみをマスクするように露光・現像によりパターニン
グして図６(b) に示すように、フィルムマスク52を形成
する。

【００５１】次に、そのフィルムマスク52を介してサン
ドブラスト法により前記第２の低融点ガラス層43b を切
削パターニングすることにより、第２の低融点ガラス層
43bはその下側の既に溶解焼成した第１の低融点ガラス
層43a がその硬さの差異によりストップ層として働き、
均一な深さに切削された溝パターンが得られる。

【００５２】その後、フィルムマスク52を剥離し、第２
の低融点ガラス層43b を５００〜５５０℃で数十分間加
熱焼成することにより、図６(c) に示すように表示面側
のガラス基板11に設けた第１, 第２の低融点ガラス層43
a, 43bからなる積層状の誘電体層43に隔壁を嵌め込むた
めの溝44を容易に形成することが可能となる。

【００５３】従って、図５に示すように、その溝44を含
む誘電体層43の表面に、例えば薄膜形成法等により５０
００Åの厚さのMgO 膜からなる保護膜45を一様に被覆
し、該溝44を設けた表示面側のガラス基板11と別途に用
意された隔壁23を設けた背面側のガラス基板21とを、そ
の溝44に隔壁23の頂上部を嵌合させた状態に重ね合わ
せ、その両ガラス基板11と21との隔壁23の高さによって
規定されるその間隙の周囲を低融点ガラスにより気密に
封止した構成とする。

【００５４】このような構成によっても前記第１実施例
と同様に、両ガラス基板11, 21間の放電空間46の間隙寸
法が隔壁23により所定に規定されると共に、放電空間46
が隔壁23によってサブピクセル毎に仕切られて、該隔壁
23の高さに多少のバラツキや欠け欠陥があっても、隔壁
23の頂上部が対向側ガラス基板11上の誘電体層43側に設
けられた溝44内に嵌め込まれるので、隔壁23と対向側ガ
ラス基板11との間の隙間は溝44内にしか生じず、しかも
深さ方向に屈折された迷路状となり、放電空間46には通
じ難くなる。

【００５５】よって、そのような隙間では隣接サブピク
セルからの放電による空間電荷、或いは紫外線が通過し
なくなり、また、溝44と溝44との間の誘電体層43を断面
かまぼこ形状に膨出した構成により隙間に対して隣接サ
ブピクセルからの放電による空間電荷、或いは紫外線の
侵入をより効果的に阻止することが可能となるので、ク
ロストークや誤放電を防止することができる。

【００５６】更に、必要に応じて前記溝44内に、基板封
着用の低融点ガラスと同等の軟化点、或いはそれより低
い軟化点の低融点ガラスからなる５〜１０μｍの厚さの
接着層を設けることにより、その溝44を設けた表示面側
のガラス基板11と別途に用意された隔壁23を設けた背面
側のガラス基板21とを、その溝44に隔壁23の頂上部を嵌
合させた状態に重ね合わせ、その両ガラス基板11と21と
の隔壁23の高さによって規定されるその間隙の周囲を低
融点ガラスにより気密に封止した構成とすれば、図２の
実施例と同様に該隔壁23と対向する誘電体層33側との隙
間は該隔壁23の頂上部が嵌入された溝44内に、封止時の
接着層の融着で完全に密閉された状態になる。

【００５７】従って、隣接サブピクセルからの放電によ
る空間電荷、或いは紫外線の侵入を完全に阻止すること
が可能となるので、クロストークや誤放電を確実に防止
することが可能となる。

【００５８】なお、以上の実施例では隔壁を有するカラ
ー表示用の面放電型プラズマディスプレイパネルを対象
とした場合の例について説明したが、本発明はそのよう
な実施例のみに限定されるものではなく、例えば隔壁を
有するモノクローム表示の面放電型プラズマディスプレ
イパネルにも適用できるもので、その場合においても上
記実施例と同様な効果が得られる。

【００５９】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る薄型平面表示装置によれば、一方のガラス基板状
の隔壁と対応する他方の基板上に溝を設け、その両基板
を組み合わせたときに、該隔壁を溝内に嵌合させて隔壁
と対向する誘電体層との隙間を無くするように構成して
いるので、隔壁の高さのバラツキやカケ欠陥に起因する
隣接放電部からの放電による空間電荷、または紫外線の
侵入が阻止され、クロストークや誤放電を防止すること
ができ、表示品質を高めることが可能となる等、実用上
優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係る薄型平面表示装置の第１実施例
を示す要部拡大断面図である。

【図２】 本発明に係る薄型平面表示装置の第２実施例
を示す要部拡大断面図である。

【図３】 本発明に係る薄型平面表示装置における表示
面側ガラス基板上の誘電体層に溝を形成する方法の第１
実施例を工程順に説明する要部断面図である。

【図４】 本発明に係る薄型平面表示装置における表示
面側ガラス基板上の誘電体層に溝を形成する方法の第２
実施例を工程順に説明する要部断面図である。

【図５】 本発明に係る薄型平面表示装置の第３実施例
を示す要部拡大断面図である。

【図６】 本発明に係る薄型平面表示装置における表示
面側ガラス基板上の誘電体層に溝を形成する方法の第３
実施例を工程順に説明する要部断面図である。

【図７】 一般的なＡＣ駆動型の薄型平面表示装置の一
例を示す要部分解斜視図である。

【図８】 従来の薄膜平面表示装置における問題点を説
明するための要部断面図である。

【符号の説明】

１１，２１ ガラス基板 １２，４２ 表示電極 ２２，３３，４３ 誘電体層 ２３ 隔壁 ２４ 蛍光体 ２５，４６ 放電空間 ３３ａ，４３ａ 第１の低融点ガラス層 ３３ｂ，４３ｂ 第２の低融点ガラス層 ３４，４４ 溝 ３５，４５ 保護膜 ３６ 接着層 ４１ 膨出層 ５１ ドライフィルム ５２ フィルムマスク Ａ アドレス電極

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２枚の基板が放電空間を介して互いに平
   行、かつ対向するように配設され、その一方の基板上に
   放電空間を分離、または仕切る隔壁を有する薄型平面表
   示装置であって、 前記一方の基板上の隔壁と対向する溝が他方の基板上に
   設けられ、該溝に前記隔壁の頂上部を嵌合してなること
   を特徴とする薄型平面表示装置。
2. 【請求項２】 前記他方の基板上には電極とそれを放電
   空間から絶縁するための絶縁層とが少なくとも設けら
   れ、該絶縁層に、前記一方の基板上に設けた隔壁の頂上
   部と嵌合する溝が形成されていることを特徴とする請求
   項１記載の薄型平面表示装置。
3. 【請求項３】 前記絶縁層が、電極を被うように基板上
   に形成された第１の低融点ガラス層と、該第１の低融点
   ガラス層上に積層され、前記溝に対応する空所を有す
   る、第１の低融点ガラス層よりも軟化点の低い第２の低
   融点ガラス層とからなることを特徴とする請求項２記載
   の薄型平面表示装置。
4. 【請求項４】 前記他方の基板の溝内に、基板封着用の
   低融点ガラスと同等の軟化点、若しくはそれより低い軟
   化点の低融点ガラスからなる接着層を設けてなることを
   特徴とする請求項１乃至３記載の薄型平面表示装置。
5. 【請求項５】 前記他方の基板上における溝と溝とで挟
   まれた部分が放電空間内に膨出していることを特徴とす
   る請求項１乃至４記載の薄型平面表示装置。