JP3438641B2 - プラズマディスプレイパネル - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はプラズマディスプレ
イパネル、及びその製造方法に係り、特に面放電型のプ
ラズマディスプレイパネル、及びその製造方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】プラズマディスプレイパネルはネオンや
キセノンなどの不活性ガス中での放電発光を利用した表
示装置であり、初期のプラズマディスプレイパネルで
は、一方の基板に形成した行電極と、もう一方の基板に
形成した列電極とを対向配置して、両電極の交差部で選
択的に対向放電を発生させ画像表示を行う、いわゆる２
電極対向放電型の構造のものが使用されていた。その様
な従来の２電極型のプラズマディスプレイパネルの構造
としては図１２に示すものが一般的である。同図におい
て２枚のガラスからなる前面基板１００と、後面基板１
０２とが対向して配置され、前面基板１００には行放電
電極１０４が、また後面基板１０２には行放電電極１０
４と直交する方向に列放電電極１０８が形成されてい
る。そして行放電電極１０４の表面には誘電体層１０６
が積層されている。

【０００３】また後面基板１０２側の誘電体層１０７上
には隣接する列放電電極１０８を仕切るように行放電電
極１０８方向に沿って隔壁１１０が形成されており、隔
壁１１０の側面及び列放電電極１０８上を被覆するよう
に蛍光体１１２が形成されている。更に放電空間１１４
にはネオンガス等の放電ガスが封入されている。上記構
成において、行放電電極１０４と列放電電極１０８とを
選択的に放電させることにより行放電電極１０４と列放
電極１０８との交点をプラズマ発光させることにより所
望の表示を行う。

【０００４】上述した２電極型プラズマディスプレイパ
ネルは主に単色表示のディスプレイとして実用に供され
てきた。しかし、近年のディスプレイではカラー表示を
行うことはほぼ必須の要件になっており、前記の様なプ
ラズマディスプレイパネルをカラー化する為には、放電
により生じた紫外線を三色の可視光に変換することが必
要であり、放電セル内に蛍光膜を形成することが必要に
なっている。その際に対向放電型では蛍光膜を挟んで放
電が行われるので、プラズマ化された荷電粒子による衝
撃を受け易く、劣化を生じやすいため長寿命化が困難で
あった。

【０００５】その解決策として蛍光膜から離れた所で放
電を行うことのできる面放電型のものが提案され、現在
の主流の形式になっている。その様な面放電型のパネル
を構成するためには、平行に配設される走査電極と維持
電極の対電極と、それらと直交する方向のデータ電極を
用いるため、一般に３電極面放電型と呼ばれている。そ
の様な従来の３電極型カラープラズマディスプレイパネ
ルの例として、図１３に概略断面構造を示す。同図に示
すようにプラズマディスプレイパネルは前面及び後面に
それぞれ配置されるガラスからなる絶縁基板である前面
基板６０と後面基板６２とを放電空間８０を介して対向
させるように構成されている。

【０００６】また前面基板６０上には透明電極であるＩ
ＴＯやネサ膜からなる走査電極７２ａと維持電極７２ｂ
とで構成された面放電電極対が形成されている。更に走
査電極７２ａ、維持電極７２ｂ上には、これらの電極の
抵抗値を下げるために金属電極からなるトレース電極７
４が形成さている。このトレース電極７４は通常Ｃｒ／
Ｃｕ／Ｃｒ積層薄膜電極やＡｇの厚膜電極が利用され
る。

【０００７】更に、これらの電極は誘電体層６４で被覆
されている。誘電体層６４は、低融点ガラスが通常用い
られる。更に、この誘電体層６４上には、放電で発生す
るイオンや電子に依るダメージを防ぐこと及び放電電圧
を低下させることを目的に図示しないＭｇＯ膜が保護膜
として形成されている。

【０００８】一方、後面基板６２には、前記走査電極７
２ａ、維持電極７２ｂと直交する方向にＡｇ等の厚膜で
データ電極７８が形成されている。続いて、データ電極
７８の上に白色の酸化物（アルミナや酸化チタン等）粉
末と低融点のガラス粉末等を混合してなるガラスペース
トを印刷焼成することにより白色誘電体層６８を形成す
る。この白色誘電体層６８は、蛍光体からの可視発光を
反射して前面側に導き可視発光の効率を高める目的があ
る。更に、この白色誘電体層６８上には、ガス放電から
の紫外光を赤、緑、青の３色の可視光に変換する３種類
の蛍光体７０が厚膜印刷技術で塗り分けられている。

【０００９】前記前面基板６０と後面基板６２とは、格
子状あるいはストライプ状の絶縁体からなる図示しない
隔壁を介して間隙を有して対向させ放電セル７６を構成
し、放電空間８０内部にへリウム、ネオン、キセノン及
びそれらの混合ガス等から成る放電ガスが充填されてい
る。前記隔壁は、アルミナ、酸化マグネシウム、酸化チ
タン等と低融点ガラスの混合物を用いて厚膜技術で形成
されている。

【００１０】以下に選択された放電セル７６の放電動作
について図１４を用いて説明する。まず予備放電期間に
おいて表示画面全体にわたって前記走査電極７２ａに予
備放電パルスＰＰを印加し、維持電極７２ｂとの間で面
放電を起こす。次いで、消去期間において、前記走査電
極７２ａ及び前記維持電極７２ｂに発生した壁電荷を消
去する消去パルス列ＰＥ１，ＰＥ２，ＰＥ３を走査電極
７２ａ、維持電極７２ｂそれぞれに印加する。続いて、
書き込み期間において、画面全ての走査電極７２ａを順
に走査するように書き込みパルスＰＷを印加し、これと
同期して所望の表示データに従ったデータパルスＰＤを
データ電極７８に印加して走査電極７２ａとデータ電極
７８との間に放電を生じさせる。

【００１１】更にこれに続いて、維持期間において、前
記書き込み期間に生じた放電を前記維持電極７２ａと維
持電極７２ｂに電圧パルスＰＳＵＳを印加して両電極間
で面放電として維持させて表示する。この予備放電期間
と消去期間は、これらの期間に続く書き込み期間に表示
データに対応して発生させる走査電極７２ａとデータ電
極７８との間の放電を確実に起こさせる働きを有する。
このために、画面全体で強い面放電を起こした後、弱い
面放電を起こすことで、放電セル７６を形成する電極上
の壁電荷を消去し、且つ放電セル７６に荷電粒子からな
る空間電荷を残留させるものである。

【００１２】また書き込み期間は、走査電極７２ａとデ
ータ電極７８との間で放電を起こさせ、走査電極７２ａ
上には正の壁電荷、データ電極７８上には負の壁電荷を
形成する。この壁電荷があると、次の維持期間に走査電
極７２ａ、及び維持電極７２ｂに印加されるパルスＰＳ
ＵＳに重畳されるので、印加電圧が面放電開始電圧を越
えるため表示データに対応した放電セル７６で面放電を
発生させ維持することが出来る。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】従来のＡＣメモリー型
カラープラズマディスプレイパネルは、上述の如く表示
データの書き込みに走査電極７２ａとデータ電極７８の
対向する電極間の放電を利用している。走査電極７２ａ
は、良好な耐放電物質である酸化マグネシューム膜で被
覆保護されているが、データ電極７８は、蛍光体層７０
で被覆されている。このため、書き込み放電に際し走査
電極７２ａの電位をデータ電極７８の電位より負になる
ように印加している。これは、質量が大きくスパッタ劣
化を生じやすい正の荷電粒子が蛍光体層へ衝突するのを
抑制して蛍光体表面の損傷による輝度劣化を防止するこ
とを目的としている。更に、スパッタされた蛍光体層７
０の飛散付着による、輝度劣化や放電電圧の変化の防止
を目的としている。

【００１４】しかしながら、上述の工夫を行っても、予
備放電期間や消去期間及び書き込み期間に、データ電極
７８の電位が走査電極７２ａの電位より負になるタイミ
ングで弱い放電が発生すること、更に蛍光体層７０が電
子の衝突でも損傷を受けることから輝度劣化や、放電電
圧の変化が起こっている。このため、固定文字表示の
際、常時点灯している部分の輝度が他の部分に比較して
速く劣化したり、発光色の輝度劣化に差が生じたりして
発光輝度に斑が出来るいわゆる焼き付きが生じている。
更に、放電寿命特性も充分ではない。

【００１５】また、特開昭５７−１５３４０号公報に
は、後面基板に誘電体層を介して直交するマトリクス構
成の電極を有し、この交点で放電を起こして表示するＡ
Ｃ型のプラズマディスプレイパネルが記載されている。
このプラズマディスプレイパネルは、交点を面放電させ
て発光表示するものであり、電極が直交する部分で充分
な絶縁性を得るのが困難であり、もし絶縁層を厚くして
絶縁性を得ようとすると、更に放電電圧が上昇するとい
う問題が有り実用的ではない。

【００１６】更に、特開平５−１０１７８１号公報に
は、後面基板の隔壁上に一方の電極を立体的に設けてこ
の交点で発光表示させ、更に、他の一方の基板にトリガ
電極（第三の電極）を設けて放電を制御するプラズマデ
ィスプレイパネルが記載されている。このプラズマディ
スプレイパネルでは、前面基板に蛍光体層で被覆された
トリガ電極を設けているので駆動に際して、トリガ電極
上の蛍光体層が放電による劣化を受けるという問題が有
った。

【００１７】上述したように、電極を直交させる電極構
造を有する点、また隔壁上に電極を形成する点で本願発
明と類似の構造を有する技術も有るが、何れも蛍光体層
の放電により劣化を抑制するには充分ではないという問
題が有った。もし、２電極型の駆動回路構成で、面放電
発光を実現できれば、簡易な駆動シーケンスで良く、か
つ長寿命のプラズマディスプレイを構成できる利点があ
る。

【００１８】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
ものであり、蛍光体層の放電による劣化を抑制し、長寿
命化を図ったプラズマディスプレイパネル及びその製造
方法を提供することを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１に記載の発明は、透光性導電材料により形成
される複数の面放電電極対がマトリクス状になるように
設けられた第１の透光性絶縁基板と、隔壁及び蛍光体層
が前記面放電電極対に対応する位置に設けられた第２の
絶縁性基板とが、前記隔壁により規制される間隔で対向
配置して気密封止されてなるプラズマディスプレイパネ
ルにおいて、前記複数の面放電電極対の各面放電電極対
の一方の面放電電極が前記第１の透光性絶縁基板上に行
方向に延設された複数の行バス配線によりそれぞれ行毎
に接続され、他方の面放電電極が前記第２の絶縁性基板
上に列方向に延設された複数の列バス配線によりそれぞ
れ列毎に接続されていることを特徴とする。

【００２０】また請求項２に記載の発明は、請求項１に
記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、前記隔壁
が少なくとも列方向に延設された隔壁部分を有し、かつ
前記複数の面放電電極対のうち前記他方の面放電電極と
前記列バス配線との接続が、前記隔壁の中に形成された
複数のトランスファ電極を含む接続手段により、個々に
行われていることを特徴とする。

【００２１】また請求項３に記載の発明は、請求項２に
記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、前記各面
放電電極対を構成する2個の面放電電極の対向する辺の
両端が前記隔壁と間隔を有するように配設されているこ
とを特徴とする。

【００２２】また請求項４に記載の発明は、請求項２ま
たは３のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル
において、前記複数の面放電電極対の各々が前記第１の
透光性絶縁基板の行方向または列方向の少なくとも一方
の方向において前記隔壁上部と前記第第１の透光性絶縁
基板との間に介在するように形成されたブラックマスク
で仕切られていることを特徴とする。

【００２３】また請求項５に記載の発明は、請求項４に
記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、前記各面
放電電極対を構成する2個の面放電電極の対向する辺の
両端が前記ブラックマスクと間隔を有するように形成さ
れていることを特徴とする。また請求項６に記載の発明
は、請求項３または５のいずれかに記載のプラズマディ
スプレイパネルにおいて、請求項３または請求項５に記
載の間隔が２０μｍ〜１５０μｍであることを特徴とす
る。

【００２４】また請求項７に記載の発明は、請求項２乃
至６のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルに
おいて、前記第２の絶縁性基板上に、垂直方向にストラ
イプ状の隔壁が形成され、前記ストライプ状の隔壁の間
における第２の絶縁性基板部分と隔壁側面に蛍光体層が
形成されたことを特徴とする。

【００２５】また請求項８に記載の発明は、請求項２乃
至７のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルに
おいて、前記接続手段は前記第１の透光性絶縁基板側に
形成された接続電極と、前記隔壁内に埋設されかつ前記
第２の絶縁性基板側に形成されたトランスファ電極とを
有し、前記面放電電極対の一方の面放電電極は前記接続
電極と接続され、該接続電極と前記トランスファ電極と
が電気的に接続されたことを特徴とする。

【００２６】また請求項９に記載の発明は、請求項２に
記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、前記第２
の絶縁性基板側に形成される前記各トランスファ電極上
に、ないしは前記第１の透光性絶縁基板の接続電極上に
パッド電極層パターンを設け、該パッド電極層が前記第
１の透光性絶縁基板と前記第２の絶縁性基板とを気密封
止するシールと同時に焼成可能な材料よりなることを特
徴とする。

【００２７】また請求項１０に記載の発明は、請求項８
に記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、前記接
続電極とトランスファ電極とを誘電体層を介して容量結
合したことを特徴とする。

【００２８】また請求項１１に記載の発明は、請求項１
０に記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、前記
誘電体層は前記面放電電極の一方の面放電電極と他方の
面放電電極との間の容量の１００倍以上の容量を有する
ことを特徴とする。

【００２９】

【００３０】

【００３１】

【００３２】

【００３３】

【００３４】

【００３５】

【００３６】

【００３７】

【００３８】本発明のプラズマディスプレイパネルによ
ると、面放電電極対のうち一方の面放電電極を走査し
て、他方の面放電電極に表示データと対応する電圧を印
加して、表示データに従って面放電電極対を形成する各
面放電電極に所定の電荷を蓄積させて、この壁電荷を利
用して放電を維持発光させて所望のパターンを得ること
が出来る。

【００３９】

【００４０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。本発明の第１の実施の形態に係る
プラズマディスプレイパネルの構造を図１、図２、図
３、図４に示す。図１は本発明の第１の実施の形態に係
るプラズマディスプレイパネルの平面図、図２は図１に
おけるＡ−Ａ'線による断面図、図３は図１におけるＢ
−Ｂ'線による断面図、図４は図１におけるＣ−Ｃ'線に
よる断面図である。これらの図において、本発明の第１
の実施の形態に係るプラズマディスプレイパネルは、第
１の透光性絶縁性基板としての前面基板１０と、第２の
絶縁性基板としての後面基板２０とが放電空間３２を介
して隔壁２４により規制される間隔で対向配置して気密
封止されている。

【００４１】前面基板１０の放電空間３２が形成される
側の面にはデータの書き込み及び表示を行うための放電
電圧が印加される面放電電極対を構成する、透光性導電
材料により形成された行放電電極１２ａと列放電電極１
２ｂとが一放電セル３０として、複数対、マトリクス状
に形成されている。行放電電極１２ａと列放電電極１２
ｂとは所定の放電ギャップ３４を介して形成されてい
る。後面基板２０の放電空間３２が形成される側の面に
蛍光体層２２及び隔壁２４が形成さると共に、複数対の
各対の行放電電極１２ａ，列放電電極１２ｂは選択的に
放電可能に形成されている。

【００４２】また前記複数の面放電電極対の一方の面放
電電極を構成する行放電電極１２ａは、前面基板１０の
各行方向に形成された複数の行バス配線１４によりそれ
ぞれ行毎に接続され、前記前記複数の面放電電極対の他
方の面放電電極を構成する各列放電電極１２ｂは、後面
基板２０上に列方向に延設された複数の列バス配線１６
ｃによりそれぞれ列毎に接続されている。

【００４３】さらに前記複数の面放電電極対を構成する
各列放電電極１２ｂは、前記隔壁２４の中に形成された
複数のトランスファ電極１６ｂを含む接続手段により列
バス配線１６ｃと個々に接続されている。前記接続手段
は、前面基板１０側に形成された接続電極１６ａと、隔
壁２４内に埋設され、かつ後面基板２０側に形成された
トランスファ電極１６ｂとを有し、列放電電極１２ｂは
接続電極１６ａと接続され、この接続電極１６ａとトラ
ンスファ電極１６ｂとが電気的に接続され，さらにトラ
ンスファ電極１６ｂと列バス配線とが電気的に接続され
ている。

【００４４】本発明の第１の実施の形態では、上記接続
手段は、接続電極１６ａ及びトランスファ電極１６ｂの
他に更に、パッド電極１６ｄを有し、接続電極１６ａと
トランスファ電極１６ｂとがパッド電極１６ｄを介して
導通接続されている。

【００４５】本発明の第２の実施の形態に係るプラズマ
ディスプレイパネルの構造を図５に示す。図５は図１に
おけるＢ−Ｂ'線による断面図に相当する図である。本
実施の形態に係るプラズマディスプレイパネルが第１の
実施の形態に係るプラズマディスプレイパネルと構成
上、異なるのは、接続電極１６ａとトランスファ電極１
６ｂとを誘電体層を介して容量結合したことにある。す
なわち、接続電極１６ａとトランスファ電極１６ｂとの
間に透明誘電体層５０を形成し、接続電極１６ａとトラ
ンスファ電極１６ｂとを容量を介して接続したことにあ
る。その他の構成は第１の実施の形態と同様であるの
で、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は
省略する。

【００４６】本発明の第３の実施の形態に係るプラズマ
ディスプレイパネルの構造を図６及び図７に示す。図６
はプラズマディスプレイパネルの平面図であり、図７は
図６におけるＣ−Ｃ'線による断面図である。本発明の
第３の実施の形態に係るプラズマディスプレイパネルが
第１の実施の形態に係るプラズマディスプレイパネルと
構成上、異なるのは、列放電電極１２ｂを、前面基板１
０の放電空間３２が形成される側の面における隔壁２４
が形成される領域まで延設し、接続電極を無くした点に
ある。このため第１の実施の形態に係るプラズマディス
プレイパネルでは透明電極である列放電電極１２ｂに接
続電極を兼用させるようにしたので、接続電極部分のブ
ラックマスクを形成しないことにより、レーザリペア等
の方法により接続電極部分の修理を可能にすることがで
きる。上記の説明では、表示パネルの水平方向を行方向
として説明したが、行方向と列方向とを入れ替えても同
様の効果が得られる。

【００４７】また不透明な接続電極部分を透明電極であ
る列放電電極１２ｂにより兼用するようにしたので、プ
ラズマディスプレイパネルの表示面の輝度の向上が図れ
る。本発明の第４の実施の形態に係るプラズマディスプ
レイパネルの構造を図８に示す。図８は第４の実施の形
態に係るプラズマディスプレイパネルの平面図である。
本発明の実施の形態に係るプラズマディスプレイパネル
が構成上、第１実施の形態と異なる点は、第１の実施の
形態に係るプラズマディスプレイパネルの行バス配線１
４と接続電極１６ａとを略同一平面上に形成したことで
あり、その他の構成は同一であるので、同一の要素には
同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

【００４８】本実施の形態に係るプラズマディスプレイ
パネルでは、行バス配線１４と接続電極１６ａとを略同
一平面上に形成したので、行バス配線１４と接続電極１
６ａとを同一プロセスで形成でき、第１乃至第３の実施
の形態に係るプラズマディスプレイパネルに比して製造
工程を減らすことができる。次に本発明に係るプラズマ
ディスプレイパネルの構造について図１〜図８を参照し
て具体的に説明する。これらの図において、前面基板１
０上には、面放電ギャップ３４を介して行放電電極１２
ａと列放電電極１２ｂとが酸化錫（ＳnＯ2）あるいはイ
ンジウム錫酸化物（ＩＴＯ）等の透明電極材料で形成さ
れる。上記行放電電極１２ａ、列放電電極１２ｂは、表
示画素（放電セル）毎に独立して形成され、金属等の低
抵抗材料から成る行バス配線１４、接続電極１６ａ、ト
ランスファ電極１６ｂ、列バス配線１６ｃでそれぞれの
電極が接続される。

【００４９】第１〜第４の実施の形態においては、行バ
ス配線１４は水平方向、列バス配線１６ｃは垂直方向に
形成されている。但し、列バス配線１６ｃは、隔壁２４
を形成する前段階で、この隔壁２４の下に形成され、行
バス配線１４と絶縁交差するように形成されている。行
バス配線１４は、クロム／銅／クロムの多層薄膜やアル
ミニウム薄膜等を材料とし１μｍ程度の膜厚で形成され
ている。列放電電極１２ｂは、金属導体（例えぱ銀）ペ
ーストを用いた接続電極１６ａと接続されている。この
接続電極１６ａは、トランスファ電極１６ｂと電気的に
接続させるために互いに対向する位置に形成する。

【００５０】更に、表示コントラストを向上させる目的
で隔壁２４と対向する位置に低融点ガラスと黒色顔料を
主成分とするストライプ状のブラックマスク４２が５〜
１０μｍ程度の膜厚で形成されている。このブラックマ
スク４２の形状を他の形状である格子状にすると輝度の
低下はあるがコントラストの向上が認められる。また、
上述の電極やブラックマスク４２の上には透明誘電体層
４０が形成されている。この透明誘電体層４０は、低融
点ガラスを主成分とするペーストを、低融点ガラスの軟
化点以上の温度で充分にリフローさせ気泡の無い緻密な
層に２０〜４０μｍの厚さで形成して放電の際の絶縁破
壊を防止した。

【００５１】更に、透明誘電体層４０の上に保護膜４４
として酸化マグネシューム（ＭｇＯ）が０．５〜１μｍ
程度、形成されている。この酸化マグネシュームは、耐
放電材料及び二次電子放出係数の高い材料であるので、
放電電圧の安定化、放電電圧の低電圧化のために施して
いる。

【００５２】以上のようにして、一対の面放電電極１２
ａ，１２ｂを一放電セル３０毎に形成し、且つ行放電電
極１２ａと列放電電極１２ｂとを、水平方向、垂直方向
にそれぞれ、電極を取り出してマトリクスを形成する。
この隔壁２４とブラックマスク４２で囲まれる放電セル
３０に形成される矩形の行放電電極１２ａと列放電電極
１２ｂの端部と隔壁２４及びブラックマスク４２との間
隙が２０μｍ〜１５０μｍとなるように放電セル３０よ
りも一回り小さい寸法とした。

【００５３】また、後面基板２０には、銀ペーストで成
るストライプ状の列バス配線１６ｃを垂直方向に例え
ば、膜厚５〜１０μｍに形成されている。更に、隔壁２
４下部には、白色誘電体層１８が形成されている。この
白色誘電体層１８は蛍光体層２２から射出される可視光
を前面に反射するので発生させた可視光を効率良く利用
できる。

【００５４】後面基板２０には、前面基板１０と後面基
板２０とを対向させて放電空間３２を形成し、かつ行バ
ス配線１４と列バス配線１６ｃの絶縁耐圧を確保するた
めに、隔壁２４を、表示画素間を分離するように垂直方
向に形成する。トランスファ電極１６ｂは、ドライフィ
ルムをストライプ状に露光現像してパターンニングした
後、接続電極１６ａと対向する部分をマスクしたパター
ンで隔壁ペーストを埋め込み乾燥した後、この部分に金
属導体（例えば銀）ペーストを埋め込み、隔壁２４と共
に形成する。更にパッド電極１６ｄを厚膜技術でドット
状のパターンでトランスファ電極１６ｂの上部に形成す
る。

【００５５】また隔壁２４は、隣接する放電セル（表示
画素）３０間の誤放電や光学的なクロストークを防ぐ効
果がある。また、通常は、蛍光体層２２から射出される
可視光を効率良く利用するために白色の隔壁２４を用い
る。この隔壁２４間の白色誘電体層１８上に、赤色、緑
色、青色の発光色に対応する蛍光体層２２をストライプ
状に塗布する。これらの蛍光体層２２は、いずれもガス
放電で発生する紫外線により励起され、可視光を発光す
る特性を有している。各蛍光体層２２は、高輝度を得る
ために隔壁２４の側面にも形成される。

【００５６】この後、前面基板１０と後面基板２０とを
隔壁２４を介して対向させ１００〜１９０μｍの放電空
間（放電セル）３０を形成し、例えばＨｅ，Ｎｅ，Ｘｅ
の混合ガスを０．５〜０．７気圧程度充填する。周囲は
低融点ガラスから成る気密封止材料で気密封止する。
（図では省略した。）気密封止材は、前面基板１０また
は後面基板２０のどちらかまたは片方にスクリーン印刷
やディスペンサーを用いて形成する。この低融点ガラス
を溶融して気密封止する工程で同時に、パッド電極１６
ｄを軟化または溶融させて接続電極１６ａと接続導通さ
せる。

【００５７】図４に示す第２の実施の形態では、前述の
接続電極１６ａとトランスファ電極１６ｂとの間に透明
誘電体層５０を形成している。この構成で、行放電電極
１２ａと列放電電極１２ｂとの間で形成される放電ギャ
ップ３４が６０〜１００μｍである場合においてこの放
電ギャップ３４間で形成される静電容量より１００倍程
度の静電容量で結合させることができた。このため、駆
動電圧は、この透明誘電体層５０部分と放電ギャップ３
４との静電容量比で配分され放電ギャップ３４に駆動制
御可能な波形で印加される。

【００５８】以上に示した第１乃至第4の実施の形態に
係るプラズマディスプレイパネルによると、放電セル３
０の各々に独立した一対の面放電電極１２ａ，１２ｂが
形成され、且つ異なる基板上に形成された行バス配線１
４と列バス配線１６ｃでマトリクスを形成することがで
き、放電セル３０を構成する一対の面放電電極を１２
ａ，１２ｂ独立に選択することができる。また、行バス
配線１４と列バス配線１６ｃが隔壁２４を介して交差す
るので絶縁耐圧が充分とれる。

【００５９】次に本発明に係るプラズマディスプレイパ
ネルの製造方法を図１乃至図１１を参照して説明する。
尚、図９は後面基板における電極形成方法のフローを示
し、図１０は後面基板における電極形成工程の模式図で
あり、図１１は前面基板における電極の形成方法をそれ
ぞれ、示している。尚、図１０は、トランスファ電極が
形成される部分、すなわち図１のＢ−Ｂ'断面を示して
いる。

【００６０】図９において、後面基板２０上に、金属電
極から成るストライプ状の列バス配線１６ｃを薄膜技術
あるいは厚膜技術で形成する。薄膜技術では、Ｃｒ−Ｃ
ｕ−ＣｒまたはＡｌ薄膜を蒸着またはスパッタで０．２
μｍ〜１μｍ程度の膜厚で形成した後、ドライフィルム
または感光性レジストを用いたフォトリソグラフ技術で
エッチングにより図１０（Ａ）に示すようにパターンニ
ングする。厚膜技術においても同様なエッチング方法あ
るいはリフトオフ方法、更には感光性の銀ペーストを印
刷乾燥の後、所望のパターンで露光現像する方法で形成
する（Ｓ１００）。

【００６１】次に、白色誘電体層１８を白色無機顔料と
低融点ガラスを主成分とするペーストを印刷して、トラ
ンスファ電極１６ｂの形成位置を除くパターンで形成し
焼成する（Ｓ１０２）。

【００６２】次に１００μｍ〜１５０μｍの厚さのドラ
イフィルムに、隔壁２４の形状を形成するために最適化
された寸法のストライプ状の間隙をパターンニングす
る。このストライプ状の間隙に５００〜１５００センチ
ポイズの粘度の隔壁ペーストをストライプ状のパターン
のスクリーンを用いて押し込み印刷する。隔壁２４の所
望の高さと幅に応じて適当な粘度の隔壁ペーストを選択
して埋め込み印刷すると、図１０（Ｂ）に示すように、
ドライフィルムの側壁に隔壁ペーストを選択的に付着さ
せることができる。別の方法として隔壁ペーストをディ
スペンサにより埋め込むこともできる。これを乾燥させ
た後、図１０（Ｃ）に示すようにドットパターンのスク
リーンを用いてトランスファ電極１６ｂが形成されるべ
き位置に銀ペーストを印刷し乾燥する。他の方法として
は、ディスベンサで塗布することもできる。

【００６３】次に、上述の乾燥した銀ペーストにより形
成されたトランスファ電極１６ｂの上面への隔壁ペース
トの付着を避ける破線状のパターンのスクリーンを用い
て２０００〜４０００センチポイズの隔壁ペーストを押
し込み乾燥させる。この後、上述のドライフィルムを剥
離して、上に、トランスファ電極１６ｂとトランスファ
電極１６ｂを取り囲んだ形状の隔壁２４が乾燥し、形成
される。

【００６４】更に図１０（Ｄ）に示すように、このトラ
ンスファ電極１６ｂ上にドット状の銀ペーストを印刷ま
たはディスペンサで塗布乾燥してパッド電極１６ｄを形
成する。この後、列バス配線１６ｃ、トランスファ電極
１６ｂ及びパッド電極１６ｄを同時に焼成する（Ｓ１０
４）。ここで使用した銀ペーストの融点温度はトランス
ファ電極１６ｂよりパッド電極１６ｄの方が５℃〜３０
℃低い材料を選択した。

【００６５】次に図１１を参照して前面基板１０におけ
る電極の形成方法を説明する。図１１において、前面基
板１０上にＩＴＯまたはネサ膜からなる透明電極をエッ
チングまたはリフトオフ法により略矩形にパターニング
し，行放電電極１２ａと列放電電極１２ｂを形成する。
ＩＴＯまたは酸化銀膜は、蒸着またはスパッタ法により
成膜する（Ｓ２００）。続いて、行バス配線１４を薄膜
技術または厚膜技術で形成する。この形成方法は、前述
の後面基板２０上に形成した列バス配線１６ｃと同様な
薄膜技術及び厚膜技術で形成した（Ｓ２０２）。

【００６６】次に、ブラックマスク４２を厚膜技術で形
成する。この形成方法は、アディティブ法または感光性
ペーストを用いたフォトリソグラフィ法を利用してい
る。アディティブ法は、低融点ガラスと黒色無機顔料と
無機絶縁体を混合したペーストをパターニングしたドラ
イフィルムの間隙に埋め込んだ後、ドライフィルムを剥
離して焼結形成する。

【００６７】またフォトリソグラフィ法では、低融点ガ
ラスと黒色無機顔料と無機絶縁体とを混合した感光性の
ペーストを印刷等にて膜を形成した後、露光、現像し、
パターニングして焼結形成する（Ｓ２０４）。次いで接
続電極１６ａは厚膜技術にて金属ペーストを印刷また
は、感光性金属ペーストを用いたフォトリソグラフィ法
にて形成する（Ｓ２０６）。更に、透明誘電体層４０を
低融点ガラスを主成分とするペーストを印刷法にて形成
する。印刷パターンは前記接続電極の一部を露出させる
ようなパターンのスクリーンを用いる（Ｓ２０８）。

【００６８】最後に、保護膜４４として酸化マグネシウ
ム（ＭｇＯ）を蒸着またはスパッタにて成膜して前記行
放電電極１２ａと列放電電極１２ｂ上を被覆する（Ｓ２
１０）。 以上のようにして製造した後面基板２０と前
面基板１０とを隔壁２４を介して対向させて周囲を溶融
再焼結した低融点ガラスにて気密封止する。この際、対
向している前面基板１０側に形成された接続電極１６ａ
とパッド電極１６ｄとを導通接続するためにパッド電極
１６ｄを軟化または、溶融させている。このために、本
発明の実施の形態では、気密封止のための低融点ガラス
ペーストの軟化点温度よりも５〜５０℃軟化点温度の低
い銀ペーストをパッド電極ペーストとして用いた。

【００６９】以上説明した本発明の実施の形態に係るプ
ラズマディスプレイパネルの製造方法によれば、異なる
基板上に形成された行バス配線１４と列バス配線１６ｃ
とでマトリクスを形成することが従来の厚膜技術及び薄
膜技術の組み合わせで可能となった。そのため、特別な
設備が不要で且つ、歩留まり良くプラズマディスプレイ
パネルを製造することが可能となった。

【００７０】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明に係るプ
ラズマディスプレイパネルによれば、透光性導電材料に
より形成される複数の面放電電極対がマトリクス状にな
るように設けられた第１の透光性絶縁基板と、隔壁及び
蛍光体層が前記面放電電極対に対応する位置に設けられ
た第２の絶縁性基板とが、前記隔壁により規制される間
隔で対向配置して気密封止されてなるプラズマディスプ
レイパネルにおいて、前記複数の面放電電極対の各面放
電電極対の一方の面放電電極を前記第１の透光性絶縁基
板上に行方向に延設された複数の行バス配線によりそれ
ぞれ行毎に接続し、他方の面放電電極を前記第２の絶縁
性基板上に列方向に延設された複数の列バス配線により
それぞれ列毎に接続するようにしたので、蛍光体層の放
電による劣化を抑制し、長寿命化が図れる。

【００７１】すなわち、本発明に係るプラズマディスプ
レイパネルによれば、マトリックス構成した面放電電極
を有しているので、表示データの書き込み期間や、予備
放電期間消去期間に、蛍光体層を介した放電の発生が全
くない。更に蛍光体層の下層に電極が無いので、電子や
荷電粒子による衝突が抑制される。また、書き込み放電
を、耐放電性と高γ特性（高二次電子放出係数）を有す
る酸化マグネシューム膜で被覆された面放電電極対の間
でのみ放電が行なわれるため、長期に渡り安定な放電が
得られ、且つ、発光色に依る蛍光体材料差の影響も無
い。このため蛍光体の劣化を防止することが出来る。し
たがって、プラズマディスプレイパネルの長寿命化が図
れる。

【００７２】更に、本発明に係るプラズマディスプレイ
パネルによれば、書き込み放電が安定性になるため、書
き込み時の壁電荷の形成が確実になり、動作マージンが
広がる。加えて、書き込み動作の長時間安定性を改善で
きる。また、書き込み動作の表示色特性差が無くなる。
また、後面基板構造の制約が少ないため、蛍光体の塗布
形状、蛍光体材料、蛍光体下地層材料等の選択の幅が広
がる。

【００７３】また、本発明に係るプラズマディスプレイ
パネルによれば、列放電電極の取り出し電極を形成する
不透明な列バス配線が隔壁下に位置するように形成され
るので、プラズマディスプレイパネルの開口率が改善さ
れ、発光ロスが減少し、発光効率及び輝度の向上が図れ
る。

【００７４】また、本発明に係るプラズマディスプレイ
パネルによれば、透明電極を、隔壁で囲まれるセル内に
一回り小さいディメンジョンで形成するため、隔壁上で
の荷電粒子の再結合等が減少し放電ロスが抑えられて、
発光効率及び輝度の向上が図れる。

【００７５】また、本発明に係るプラズマディスプレイ
パネルでは、２電極型のプラズマディスプレイパネルで
ありながら面放電を利用するため２電極対向型のプラズ
マディスプレイパネルよりも広いメモリーマージンを得
ることができる。

【００７６】また、本発明に係るプラズマディスプレイ
パネルによれば、行バス配線と列バス配線とを隔壁を介
して交差させたので交差点での絶縁不良の発生を抑える
ことができる。このことから、輝度劣化や放電特性変化
が抑制でき、焼き付きの少ない長寿命のプラズマディス
プレイパネルを実現することができる。

【００７７】

【００７８】

【００７９】

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施の形態に係るプラズマデ
ィスプレイパネルの構造を示す平面図。

【図２】 図１におけるＡ−Ａ'線による断面図。

【図３】 図1におけるＢ−Ｂ'線による断面図。

【図４】 図１におけるＣ−Ｃ'線による断面図。

【図５】 本発明の第２の実施の形態に係るプラズマデ
ィスプレイパネルの構造を示す断面図。

【図６】 本発明の第３の実施の形態に係るプラズマデ
ィスプレイパネルの構造を示す平面図。

【図７】 図６におけるＣ−Ｃ'線による断面図。

【図８】 本発明の第４の実施の形態に係るプラズマデ
ィスプレイパネルの構造を示す平面図。

【図９】 後面基板における電極形成方法のフローを示
す説明図。

【図１０】 後面基板における電極形成工程を示す模式
図。

【図１１】 前面基板における電極の形成方法のフロー
を示す説明図。

【図１２】 従来の２電極型プラズマディスプレイパネ
ルの概略構造を示す断面図。

【図１３】 従来のプラズマディスプレイパネルの概略
構造を示す断面図。

【図１４】 図１２に示すプラズマディスプレイパネル
の各部の駆動電圧を示す波形図。

【符号の説明】

１０ 前面基板（第１の透光性絶縁性基板） １２ａ 行放電電極（面放電電極） １２ｂ 列放電電極（面放電電極） １４ 行バス配線 １６ａ 接続電極 １６ｂ トランスファ電極 １６ｃ 列バス配線 １６ｄ パッド電極 １８ 白色誘電体層 ２０ 後面基板（第２の絶縁性基板） ２２ 蛍光体層 ２４ 隔壁 ３０ 放電セル ３２ 放電空間 ３４ 放電ギャップ ４０ 透明誘電体層 ４２ ブラックマスク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01J 11/02 H01J 9/02

Claims (11)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透光性導電材料により形成される複数の
   面放電電極対がマトリクス状になるように設けられた第
   １の透光性絶縁基板と、隔壁及び蛍光体層が前記面放電
   電極対に対応する位置に設けられた第２の絶縁性基板と
   が、前記隔壁により規制される間隔で対向配置して気密
   封止されてなるプラズマディスプレイパネルにおいて、 前記複数の面放電電極対の各面放電電極対の一方の面放
   電電極が前記第１の透光性絶縁基板上に行方向に延設さ
   れた複数の行バス配線によりそれぞれ行毎に接続され、
   他方の面放電電極が前記第２の絶縁性基板上に列方向に
   延設された複数の列バス配線によりそれぞれ列毎に接続
   されていることを特徴とするプラズマディスプレイパネ
   ル。
2. 【請求項２】 前記隔壁が少なくとも列方向に延設され
   た隔壁部分を有し、かつ前記複数の面放電電極対のうち
   前記他方の面放電電極と前記列バス配線との接続が、前
   記隔壁の中に形成された複数のトランスファ電極を含む
   接続手段により、個々に行われていることを特徴とする
   請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
3. 【請求項３】 前記各面放電電極対を構成する2個の面
   放電電極の対向する辺の両端が前記隔壁と間隔を有する
   ように配設されていることを特徴とする請求項２に記載
   のプラズマディスプレイパネル。
4. 【請求項４】 前記複数の面放電電極対の各々が前記第
   １の透光性絶縁基板の行方向または列方向の少なくとも
   一方の方向において前記隔壁上部と前記第１の透光性絶
   縁基板との間に介在するように形成されたブラックマス
   クで仕切られていることを特徴とする請求項２または３
   のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル。
5. 【請求項５】 前記各面放電電極対を構成する2個の面
   放電電極の対向する辺の両端が前記ブラックマスクと間
   隔を有するように形成されていることを特徴とする請求
   項４に記載のプラズマディスプレイパネル。
6. 【請求項６】 請求項３または請求項５に記載の間隔が
   ２０μｍ〜１５０μｍであることを特徴とする請求項３
   または５のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネ
   ル。
7. 【請求項７】 前記第２の絶縁性基板上に、垂直方向に
   ストライプ状の隔壁が形成され、前記ストライプ状の隔
   壁の間における第２の絶縁性基板部分と隔壁側面に蛍光
   体層が形成されたことを特徴とする請求項２乃至６のい
   ずれかに記載のプラズマディスプレイパネル。
8. 【請求項８】 前記接続手段は前記第１の透光性絶縁基
   板側に形成された接続電極と、前記隔壁内に埋設されか
   つ前記第２の絶縁性基板側に形成されたトランスファ電
   極とを有し、前記面放電電極対の一方の面放電電極は前
   記接続電極と接続され、該接続電極と前記トランスファ
   電極とが電気的に接続されたことを特徴とする請求項２
   乃至７のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネ
   ル。
9. 【請求項９】 前記第２の絶縁性基板側に形成される前
   記各トランスファ電極上に、ないしは前記第１の透光性
   絶縁基板の接続電極上にパッド電極層パターンを設け、
   該パッド電極層が前記第１の透光性絶縁基板と前記第２
   の絶縁性基板とを気密封止するシールと同時に焼成可能
   な材料よりなることを特徴とする請求項２に記載のプラ
   ズマディスプレイパネル。
10. 【請求項１０】 前記接続電極とトランスファ電極とを
    誘電体層を介して容量結合したことを特徴とする請求項
    ８に記載のプラズマディスプレイパネル。
11. 【請求項１１】 前記誘電体層は前記面放電電極の一方
    の面放電電極と他方の面放電電極との間の容量の１００
    倍以上の容量を有することを特徴とする請求項１０に記
    載のプラズマディスプレイパネル。