JPH117893A

JPH117893A - ガス放電表示パネル

Info

Publication number: JPH117893A
Application number: JP9156200A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Furukawa; 武史古川; Toshiyuki Nanto; 利之南都
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1997-06-13
Filing date: 1997-06-13
Publication date: 1999-01-12

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明はガス放電表示パネルに関し、各放電
セルでの放電の広がりによる隣接放電セルへの放電干渉
の制御と、基板面の凹凸の小さい放電電極の低抵抗化
と、放電電極の光反射率の低下により表示画面のコント
ラストを高め、表示パネルの大型化、高精細化での表示
品質を向上させることを目的とする。【解決手段】表示面側のガラス基板11の内面に、それ
ぞれ隣接して対となり、透明電極36a, 36bと金属バス電
極35a, 35bとからなる複数の放電電極対33が誘電体層13
で被覆されて配設されている表示パネルであって、前記
各放電電極対33の相互間に誘電体層13の厚さよりも低い
高さの帯状の凸部32と、前記放電電極対33を埋設する凹
部31a, 31bとが前記ガラス基板11と一体に設けられ、該
凹部31a, 31b内に金属バス電極35a, 35bが埋設され、そ
の電極上にそれぞれ透明電極36a, 36bが積層されて放電
電極対33を配設している構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はコンピュータの表示
端末や表示装置等に用いられるガス放電表示パネルに関
するものである。

【０００２】ガス放電表示パネルとして知られるプラズ
マディスプレイパネル（ＰＤＰ）は、一般に表示の輝度
及びコントラストの点で優れていることから、ＯＡ機器
の表示手段として広く用いられ、近年ではカラー表示化
に伴ってテレビジョン表示が可能で大型化が容易な薄型
のフルカラーフラットパネルディスプレイとして注目さ
れている。そのため、前記フラットパネルとしては更に
高精細でコントラストの良い鮮明な高表示品質の画面の
実現が要望されている。

【０００３】

【従来の技術】従来の例えばＡＣ駆動型のガス放電表示
パネルとして、カラー表示用面放電型のプラズマディス
プレイパネル（ＰＤＰ）の基本的な構造としては、図４
の要部分解斜視図に示すようにマトリクス表示の単位発
光領域ＥＵに一対のＸ，Ｙからなる放電電極対（表示電
極）12とアドレス電極Ａとが対向する３電極構造を有し
ている。

【０００４】この表示ラインを形成する面放電のための
Ｘ，Ｙからなる放電電極対12は、放電空間24に対して表
示面Ｈ側のガラス基板11上に設けられており、表示光の
遮光を最小限にするためにネサ膜やＩＴＯ（Indium Tin
Oxide) 膜などの透明導電膜からなる透明電極12a とそ
の導電性を補う (低抵抗化) ための金属膜からなる金属
バス電極12b とを積層した構成からなっている。

【０００５】またその放電電極対12上は壁電荷を利用し
てガス放電を維持するＡＣ駆動のための誘電体層13によ
って放電空間24に対して絶縁状態に被覆されており、該
誘電体層13の表面には更に数千Å程度の厚さのMgＯ膜か
らなる保護膜14が設けられている。

【０００６】一方、単位発光領域ＥＵを選択的に発光さ
せるためのアドレス電極Ａは、背面側のガラス基板21上
に、前記Ｘ，Ｙからなる放電電極対12と直交するように
一定のピッチで配列され、各アドレス電極Ａの間には 1
00〜150 μｍ程度の高さを有するストライプ状の隔壁22
が設けられ、これによって放電空間24がライン方向 (放
電電極対12の長さ方向) に単位発光領域ＥＵ毎に区画さ
れ、かつ放電空間24の間隔寸法が規定されている。

【０００７】更に、前記ガラス基板21には、アドレス電
極Ａの上面及び隔壁22の側面を含めた背面側の内面を被
覆するように、Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の３原色
の蛍光体23が設けられている。そしてこのような構成の
ＰＤＰ１では各色の蛍光体23は面放電時に放電空間24内
のガス放電より放射される紫外線により励起されて発光
し、Ｒ，Ｇ，Ｂの組合せによるフルカラー表示が可能で
あり、その表示に際して隔壁22により単位発光領域ＥＵ
間のクロストークが防止されている。

【０００８】以上の構成のＰＤＰ１は、上述のように各
ガラス基板11と21に対して個別に所定の構成要素を設け
た後、該ガラス基板11と21とを対向配置してその間隙の
周囲を気密に封止して内部を一旦真空に排気すると共
に、放電ガスを封入する一連の工程によって製造されて
いる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した従
来のＰＤＰ１におけるＸ，Ｙからなる放電電極対（表示
電極）12は、ガラス基板11の表面に対して透明電極12a
と、その透明電極12a 上にその導電性を補う（低抵抗
化）ための金属バス電極12b として電気的特性及びガラ
ス基板11や誘電体層などと密着性に優れたクロム(Cr)−
銅(Cu)−クロム(Cr)の三層構造の金属膜、または銀(Ag)
等の金属膜をスパッタ工程、或いは真空蒸着工程とフォ
トリソグラフィ工程等により重ねて形成している。

【００１０】ところが、該ＰＤＰ１の大型化、高精細化
に伴って各放電電極対（表示電極）12とアドレス電極Ａ
との交点で構成される各放電セル（放電ドット）間の間
隔が短くなり、特に該アドレス電極Ａの長さ方向に隣接
する放電セル間に空間を分離する構造物がないため、空
間電荷の移動により放電の制御が難しくなることから、
例えば選択されて放電する放電セルに隣接する非選択の
放電セルが放電してしまうといった問題が生じる。

【００１１】一方、前記放電電極対（表示電極）12の電
極長も長く、電極幅も細線化することになるので、その
ような放電電極対12の電気抵抗が大きくなる傾向にあ
り、所望の電気抵抗値を得るためには膜厚の厚い電極、
特に低抵抗化のために積層する厚い金属バス電極が必要
となる。

【００１２】従って、細くて長い放電電極パターンの形
成が難しく、また金属バス電極12bの膜厚増加により放
電電極形成後の基板面の凹凸も大きくなる。この基板面
の凹凸の大きさは１０μｍ程度の一定レベル以下であれ
ば放電パネルの特性上では特に問題はないが、しかし、
その後の基板面に誘電体層13や保護膜14を形成する際に
該基板面と段差の大きい放電電極対12に対する誘電体層
13や保護膜14の被覆性が悪くなり、それらの工程が煩雑
になるという問題がある。

【００１３】また、放電電極対（表示電極）12の膜厚が
厚くなるとその電極側面に露出する電極材料の例えば銅
膜と誘電体層13との接触する度合いが増加し、該誘電体
層13の電極材料との接触部分に泡が発生して光透過性や
電気的耐圧性が悪くなるといった問題も生じる。

【００１４】更に、そのような問題とは別に、前記金属
バス電極12b に電気抵抗値の低い銀(Ag)膜等を用いると
該金属バス電極12b は熱処理後に白色状となり、この白
色面に対する外部からの光の反射が強いためにコントラ
ストが低下して表示画像が見難いという問題が発生し、
表示品質を悪くする欠点があった。

【００１５】本発明は上記した従来の問題点に鑑み、各
隣接放電セル間の空間を電気的に分離して各放電セル
（放電ドット）での放電の広がりによる隣接放電セルへ
の放電干渉を抑制すると共に、基板面に対する放電電極
（表示電極）の配設構造を改良して、配設された放電電
極による基板面の凹凸を小さくし、かつ放電電極の低抵
抗化と光反射率の低下を図って発光効率と表示画面のコ
ントラストの低下を防止し、表示パネルの大型化、高精
細化に対しても表示品質の向上が実現できる新規なガス
放電表示パネルを提供することを目的とするものであ
る。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成するため、放電空間を挟んで対向配置した一対の基
板の表示面側の基板の内面に、面放電を発生する複数の
放電電極対が、誘電体層で被覆されて配設されているガ
ス放電表示パネルであって、前記各放電電極対の相互間
に、前記誘電体層の厚さより小さい厚さを有する帯状の
凸部が前記基板と一体に設けられた構成とする。

【００１７】また、前記各放電電極は、透明電極とそれ
よりも幅狭の金属バス電極とからなり、前記金属バス電
極は表示面側の基板に形成された凹部に埋め込まれ、前
記透明電極は前記金属バス電極と基板の表面とを覆うよ
うに配設された構成とする。

【００１８】更に、前記凹部の内壁面と前記金属バス電
極との間に、該金属バス電極よりも低反射率の暗色遮光
膜が配設された構成とする。即ち、本発明では図１(a)
に示すように、放電空間を挟んで対向配置した一対のガ
ラス基板の内の表示面側のガラス基板11の内面にそれぞ
れ隣接して対となり、複数の透明電極36a, 36bと金属バ
ス電極35a, 35bとからなる複数の放電電極対(表示電極)
が誘電体層13で被覆されて配列するガス放電表示パネ
ルにおける前記各放電電極対の相互間に隣接して、周囲
の誘電体層13の誘電率（ε＝13.0) よりも小さい誘電率
（ε＝7.5 〜8.0)を有し、かつ該誘電体層13の厚さより
も低い凸部32を前記ガラス基板11と一体に設けた構成と
しているので、各放電電極対と図示しないアドレス電極
との交点で構成される各放電セル（放電ドット）上の領
域と凸部32上の領域の電界強度が異なり、各放電セルで
の電界分布の広がりが一点鎖線で示されるように狭めら
れる方向に抑制される。

【００１９】従って、図１(b) に示すように従来の凸部
を配設していないガス放電表示パネルにおける各放電セ
ルで発生する一点鎖線で示す電界分布の広がりにより、
隣接する非選択の放電セルを放電させる放電干渉が抑止
され、誤放電のない良好な表示画面が得られる。

【００２０】なお、前記ガラス基板11上の凸部32がこの
ように電界分布の広がりを狭める作用を持つのは、誘電
率εの小さい凸部32が、隣接する放電電極対の直近部に
あるからである。

【００２１】また、以上の説明では、図１(a) に示すよ
うに前記ガラス基板11上の凸部32と放電電極対とを覆う
ように設けた誘電体層13の表面が平坦な場合の例である
が、この誘電体層13の平坦な表面が凸部32上の領域のみ
に、誘電体層13の形成材料の違いや形成条件等によって
鎖線で示すように５μｍ程度の盛り上がり部分37が生じ
ることがある。その盛り上がり部分37は前記電界分布を
逆に広げる作用を持つものではあるが、凸部32に比べて
放電電極対よりも遠い位置にあるため、その影響は凸部
32に比べて十分に小さいものである。

【００２２】更に、その盛り上がり部分37の高さは、通
常、凸部32の高さよりも小さいものとなるため、それに
よる影響は小さい。従って例えそのような盛り上がり部
分37があったとしても、凸部32の作用に悪影響を与える
ものではない。

【００２３】なお、ここでは電界分布のみの観点から説
明したが、これは主要な一観点からの説明であり、他
に、誘電体層13の表面に付着する電荷の影響等の要因も
ある。これらの副次的な要因による影響は複雑であるた
め言及しないが、上記の説明と同じ結論になる。

【００２４】更に、前記図１(a) に示すように前記ガラ
ス基板11の内面に前記各放電電極対の金属バス電極35a,
35bのパターンと厚さに対応する凹部31a, 31bを前記凸
部32と同時に前記ガラス基板と一体に設け、該凹部31a,
31b内に金属バス電極35a, 35bを埋設すると共に、その
各金属バス電極35a, 35b上にそれぞれ透明電極36a, 36b
を積層配置して放電電極対 (表示電極) とした構成とす
ることにより、その各放電電極対を細幅にすることで高
められる電気抵抗値を低減するための金属バス電極35a,
35bの膜厚を厚くすることができる。

【００２５】更に、前記凹部31a, 31b内に金属バス電極
35a, 35bを埋設した構成とすることにより、金属バス電
極35a, 35bの膜厚が厚くなってもその電極側面の電極材
料の例えば銅膜と誘電体層13とが接触する恐れがなくな
り、その結果、該誘電体層13の電極材料との接触部分に
泡が発生して光透過性や電気的耐圧性が悪くなるといっ
た問題も解消する。

【００２６】更に、前記凹部31a, 31b内の金属バス電極
35a, 35bの表示面側を図示しない暗色遮光膜で覆って置
くことによって、外部からの光の反射が抑止され表示画
面のコントラストが改善される。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明の実施例
について詳細に説明する。図２は本発明のガス放電表示
パネルの一実施例を示す要部断面図であり、図４と同等
の機能を有する部分には同一符号を付している。

【００２８】本実施例では図示のように表示面側のガラ
ス基板11面には、ストライプ状に設けられる一対のＸ放
電電極とＹ放電電極からなる放電電極対33を透明電極36
a, 36bと共に構成する該透明電極36a, 36bよりも幅狭の
金属バス電極35a, 35bのパターンと厚さに対応する凹部
31a および31b と、その凹部31a および31b の両側に平
行に沿って後述する誘電体層13の厚さよりも低い10μｍ
程度の高さの帯状の凸部32とが一体的に設けられてい
る。

【００２９】前記凹部31a および31b の内部には、その
各内壁面に沿って前記放電電極対33を構成する金属バス
電極35a と35b よりも反射率の低い、例えばクロム(Cr)
の酸化物、Cr-Cu 系の酸化物、マンガン(Mn)- 鉄(Fe)-
銅(Cu)系の酸化物等からなる暗色遮光膜34a および34b
が設けられ、その内部に例えば銀(Ag)膜、銅(Cu)膜、或
いはクロム(Cr)−銅(Cu)−クロム(Cr)の三層構造の金属
膜等からなる金属バス電極35a および35b が埋め込まれ
た状態に設けられている。

【００３０】また、前記凹部31a および31b とを挟んで
両側に平行に配列されている各凸部32との間の基板面に
は、ネサ(SnO₂)膜やＩＴＯ(Indium Tin Oxide)膜などの
透明導電膜からなる透明電極36a および36b が、それよ
りも幅狭の前記金属バス電極35a および35b とそれぞれ
重ね合わせて積層配置して放電電極対 (表示電極)33と
した構成としている。

【００３１】更に、前記した構成の一対のＸ放電電極と
Ｙ放電電極からなる放電電極対33と凸部32を有する表示
面側のガラス基板11上には、数十μｍ程度の厚さの誘電
体層13によって前記放電電極対 (表示電極)33 を放電空
間に対して絶縁状態となるように被覆され、該誘電体層
13の表面には更に数千Å程度の厚さのMgＯ膜からなる保
護膜14が設けられている。

【００３２】そして、このような構成の表示面側のガラ
ス基板11と、別途に従来例で説明したと同様なアドレス
電極及びアドレス電極上に設けた複数の隔壁の各隔壁間
に蛍光体を設けてなる構成の背面側のガラス基板とを所
定の放電間隙を介して重ね合わせると共に、その対向間
隙の周囲を気密封止し、内部の排気と放電ガスを封入し
て表示パネルを完成させる。

【００３３】このように構成した表示パネルでは、前記
各放電電極対33の相互間に隣接して周囲の誘電体層13の
誘電率（ε＝13.0) よりも小さい誘電率（ε＝7.5 〜8.
0)を有し、かつ誘電体層13の厚さよりも低い高さの凸部
32を前記ガラス基板11と一体に設けた構成としているの
で、各放電電極対33と図示しないアドレス電極との交点
で構成される各放電セル（放電ドット）上の領域と凸部
32上の領域の電界強度が異なり、各放電セルでの電界分
布の広がりが狭められる方向に抑制されて隣接放電セル
間の空間が電気的に分離される。

【００３４】従って、選択された放電セルで発生する放
電の広がりによる隣接した非選択の放電セルへの放電干
渉を抑制することが可能となる。一方、表示画面の高精
細化に伴って放電電極対 (表示電極)33 を細幅にするこ
とで高められる電気抵抗値を低下するために金属バス電
極35a および35b の膜厚を厚くする場合には、その厚さ
分だけ凹部31a および31b を深くして該凹部31aおよび3
1b 内に金属バス電極35a および35b を埋設し、その金
属バス電極35a および35b 上に透明電極36a および36b
を積層して放電電極対33を設けるようにすれば、配設さ
れた放電電極対33による基板面の凹凸を効果的に小さく
することが可能となり、その後の基板面への誘電体層13
や保護膜14を被覆性よく形成することが容易となる。

【００３５】また、膜厚の厚い金属バス電極35a, 35bの
側面の金属電極材料の例えば銅膜と誘電体層13との接触
もなくなるので、従来の解決すべき課題で説明したよう
に該誘電体層13の金属電極材料との接触部分に泡が発生
して光透過性や電気的耐圧性が悪くなるといった問題も
解消する。

【００３６】更に、前記凹部31a および31b 内の金属バ
ス電極35a および35b の表示面側は前記暗色遮光膜34a
および34b で覆われているので、例え金属バス電極とし
て低抵抗で、比較的外光の反射率の大きい銀(Ag)膜等を
用いたとしても、外来光の反射が容易に抑止され、表示
画面のコントラストが全面にわたって改善され、見やす
くなる。

【００３７】次に前記ガス放電表示パネルの製造方法に
ついて説明する。図３は本発明のガス放電表示パネルの
製造方法の一実施例を順に説明する要部断面図である。

【００３８】先ず、図３(a) に示すように、表示面側の
ガラス基板11の表面に40％含有の弗化水素酸（HF) ：水
（H₂O)＝ 3 : 97 のエッチング液を用いたフォトエッチ
ング工程を駆使して、後述するストライプ状に設けられ
る一対のＸ放電電極とＹ放電電極からなる放電電極対を
透明電極と共に構成する該透明電極よりも幅狭の金属バ
ス電極のパターンに対応する例えば数μｍ〜十数μｍの
深さの凹部31a および31b と、その凹部31a および31b
の両側に沿って平行に高さが１０μｍ程度の帯状の凸部
32とを一体に形成する。

【００３９】次に、図３(b) に示すように、前記凹部31
a および31b の内部の内壁面に沿ってスパッタリング法
とフォトリソグラフィ工程等により前記放電電極対33を
構成する金属バス電極35a および35b よりも反射率の低
い、クロム(Cr)の酸化膜、マンガン(Mn)−鉄(Fe)−銅(C
u)系の酸化膜、又はCr−Cu系の酸化膜等、例えば本実施
例では５００〜１０００Åの厚さの酸化クロム(CrO) 膜
からなる暗色遮光膜34a および34b を形成する。

【００４０】引き続き、前記内壁面に沿って暗色遮光膜
34a および34b が形成された凹部31a および31b の内部
に、Ag,Au,Ni等の金属ペーストを用いたスクリーン印刷
法とフォトエッチング工程、またはマスクメッキ法等に
より数μｍ〜数十μｍの厚さの金属膜、或いはスパッタ
リング法とフォトエッチング工程等により数μｍ〜数十
μｍの厚さのクロム(Cr)−銅(Cu)−クロム(Cr)の三層構
造の金属膜を充填して金属バス電極35a および35b を埋
め込んだ状態に形成する。

【００４１】次に、図３(c) に示すように、前記帯状の
凸部32の間の前記金属バス電極35aおよび35b が埋設さ
れた基板面に、スパッタリング法、真空蒸着法、または
スクリーン印刷法等により１０００〜２０００Åの膜厚
の酸化錫（SnO₂）膜、またはＩＴＯ (Indium Tin Oxid
e) 等の透明導電膜を形成し、該透明導電膜をフォトリ
ソグラフィ工程で前記金属バス電極35a および35b より
も幅広いストライプ状にパターニングして平行に隣接す
るＸ，Ｙからなる一対の透明電極36a および36bを所定
間隔をもって前記金属バス電極35a および35b とそれぞ
れ重ね合わせて形成し、放電電極対 (表示電極)33 を構
成する。

【００４２】引き続き図３(c) に示すように一対のＸ放
電電極とＹ放電電極からなる放電電極対33と帯状の凸部
32が配列された表示面側のガラス基板11上に、低融点ガ
ラス等の絶縁ペーストをスクリーン印刷法等によって一
様に塗布し、１００〜１５０℃程度の温度で乾燥させた
後、その低融点ガラス等からなる絶縁ペースト層を５０
０〜６００℃程度の温度で焼成処理を行って、図１に示
されるように１０〜２０μｍ程度の厚さの絶縁膜からな
る誘電体層13を形成する。

【００４３】その後、前記誘電体層13の全表面に更に数
千Å程度の厚さのMgＯからなる保護膜14をスパッタリン
グ法、真空蒸着法等により形成することにより基板表面
の凹凸を僅少にした所望の表示面側のガラス基板11を得
ることができる。

【００４４】従って、このような構成の表示面側のガラ
ス基板11と、別途に従来例と同様なアドレス電極及びア
ドレス電極上に設けた複数の隔壁の各隔壁間に蛍光体を
設けてなる構成の背面側のガラス基板とを前記隔壁によ
って形成される放電間隙を介して重ね合わせ、その対向
間隙の周囲を気密封止し、内部を一旦真空に排気し、放
電がスを封入してパネルを完成させることによって前記
金属バス電極35a および35b での外来光の反射が抑止さ
れ、表示画面のコントラストの良好なガス放電表示パネ
ルが得られる。

【００４５】なお、前記表示面側のガラス基板11の表面
に凹部31a と31b 、帯状の凸部32および各種電極のパタ
ーニング形成に用いるエッチング法としては、必要に応
じてウエットエッチングとドライエッチングのどちらか
を選択して適宜用いることができる。

【００４６】また、本実施例ではカラー表示用の面放電
型のプラズマディスプレイを対象としたガス放電表示パ
ネルに適用した場合の例について説明しているが、本発
明はそのようなカラー表示用の面放電型のガス放電表示
パネルに限定されるものではなく、例えばモノクロ表示
用の面放電型のガス放電表示パネルや金属バス電極と透
明電極とを積層した二層構造の放電電極 (表示電極) を
採用している各種のガス放電表示パネル等にも適用する
ことができる。

【００４７】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のガス放電表示パネルによれば、金属バス電極と透明電
極とからなる放電電極 (表示電極) を設ける表示面側の
基板面に、該金属バス電極のパターンと厚さに対応する
凹部とその凹部の両側に沿って平行な帯状の凸部とを前
記基板と一体に設けた構成とし、前記凹部内に金属バス
電極を埋設することにより、その電極の厚さを基板面よ
りはみ出さずに厚くすることができるので、結果的に放
電電極 (表示電極) の電気抵抗を容易に低減できる。

【００４８】また、各放電電極の相互間に隣接して誘電
体層よりも小さい誘電率で該誘電体層の厚さよりも低い
高さを有する凸部をガラス基板と一体に設けることによ
り、各放電電極対とアドレス電極との交点で構成される
放電セルでの電界分布の広がりが狭められる方向に抑制
されて隣接放電セル相互間の空間が電気的に分離され、
クロストークや放電干渉を背面のガラス基板側の隔壁の
みだけでなく表示面側でも十分に防止することが可能と
なる。

【００４９】更に、凹部内に埋設している金属バス電極
の表示面側を暗色遮光層により覆っているので、外来光
の反射が防止され、表示画面のコントラストが全面にわ
たって改善されて見やすくなり、表示パネルの大型化、
高精細化に対して表示品質の良好なガス放電表示パネル
を容易に得ることが可能となり、実用上優れた効果を奏
する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のガス放電表示パネルの凸部及び凹部
による作用効果を説明する要部断面図である。

【図２】本発明のガス放電表示パネルの一実施例を示
す要部断面図である。

【図３】本発明のガス放電表示パネルの製造方法の一
実施例を順に説明する要部断面図である。

【図４】ガス放電表示パネルの一例を示す要部分解斜
視図である。

【符号の説明】

１１ガラス基板１３誘電体層１４保護膜３１ａ，３１ｂ凹部３２凸部３３放電電極対３４ａ，３４ｂ暗色遮光膜３５ａ，３５ｂ金属バス電極３６ａ，３６ｂ透明電極Ｘ，Ｙ放電電極

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】放電空間を挟んで対向配置した一対の基
板の表示面側の基板の内面に、面放電を発生する複数の
放電電極対が、誘電体層で被覆されて配設されているガ
ス放電表示パネルであって、前記各放電電極対の相互間に、前記誘電体層の厚さより
小さい厚さを有する帯状の凸部が前記基板と一体に設け
られていることを特徴とするガス放電表示パネル。
【請求項２】前記各放電電極は、透明電極とそれより
も幅狭の金属バス電極とからなり、前記金属バス電極は
表示面側の基板に形成された凹部に埋め込まれ、前記透
明電極は前記金属バス電極と基板の表面とを覆うように
配設されていることを特徴とする請求項１に記載のガス
放電表示パネル。
【請求項３】前記凹部の内壁面と前記金属バス電極と
の間に、該金属バス電極よりも低反射率の暗色遮光膜が
配設されていることを特徴とする請求項２に記載のガス
放電表示パネル。