KR100254003B1 - 가스방전형 표시패널 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

플라즈마 디스플레이 등의 가스방전형 표시패널에 관한 것으로서, 콘트라스트를 높이고 버스전극의 저항을 저감시키기 위해서, 표시를 실행하기 위한 주방전용 전극군을 구비하는 앞면기판, 앞면기판에 간격을 유지해서 대향하여 배치되고 발광시키는 표시셀을 선택하기 위한 보조방전용 전극군을 구비하는 배면기판, 앞면 기판과 배면기판의 간극을 표시셀로 분획하는 배리어 리브 및 주방전이 실행되는 공간의 내벽에 형성된 형광체층을 구비하고, 주방전용 전극군은 서로 연장방향이 동일한 여러개의 주방전용 전극으로 이루어지고, 주방전용 전극은 투명재료로 이루어지고 앞면기판의 주표면에 대해서 평행하게 연장된 띠형상전극인 표시전극과 표시전극마다 마련되고 표리 중 한쪽면이 그 표시전극에 접하는 버스전극을 구비하고, 버스전극은 불투명한 도전재료로 이루어지고 또한 앞면기판의 외측에서 보아 표시셀의 각각을 구분하도록 마련하였다.

이렇게 하는 것에 의해서, 흑색표시상태의 품위를 높일 수 있고 또한 콘트라스트를 향상시킬 수 있다는 효과가 얻어진다.

Description

가스방전형 표시패널 및 그 제조방법

본 발명은 플라즈마 디스플레이 등의 가스방전형 표시패널에 관한 것으로서, 특히 콘트라스트가 높은 교류구동형의 가스방전형 표시패널 및 그 제조방법에 관한 것이고 또 가스방전형 표시패널을 사용한 모니터와 같은 디스플레이유닛에 관한 것이다.

플라즈마 디스플레이 등의 가스방전형 표시패널은 자기발광에 의해 표시를 실행하므로, 시야각이 넓고 표시가 보기 쉽다. 또, 박형인 것을 제작할 수 있는 것이나 대화면을 실현할 수 있는 등의 특징으로 갖고 있고, 정보단말기기의 표시장치나 고품위 탤레비젼수상기 등으로의 응용이 기대되고 있다.

가스방전형 표시패널은 직류구동형과 교류구동형으로 크게 구별된다. 이 중 교류구동형의 플라즈마 디스플레이는 전극을 피복하고 있는 유전체의 작용에 의한 메모리기능을 갖고 있고 휘도가 높다. 근래, 보호막의 적용 등에 의해 실용화할 수 있는 수명이 얻어지게 되어 다용도의 비디오 및 모니터로서 교류구동형이 실용화되고 있다.

도 9에 실용화된 플라즈마 디스플레이패널의 구조를 도시한 부분사시도를 도시한다. 이 가스방전형 칼라표시패널은 서로 대향해서 배치된 배면기판(2) 및 앞면기판(1)을 구비한다. 배면기판(2)는 앞면기판(1)과의 간극을 일정하게 유지하기 위한 배리어 리브(3a)를 구비하고 앞면 기판(1)과 배면기판(2)는 이 배리어 리브(3a)를 거쳐서 접속되어 있다. 또한, 도 9는 도면을 보기 쉽게 하기 위해 앞면기판(1)과 배면기판(2)의 배리어 리브(3a)를 분리해서 도시하였다.

앞면기판(1)은 앞면유리판(4)상에 표시전극(투명전극)(61), (71), 버스전극(62), (72), 유전체층(8) 및 MgO막(보호막)(9)가 형성된 구조로 되어 있다. 배면기판(2)는 배면유리판(5)상에 어드레스전극(14), 배리어 리브(3a) 및 형광체층(12)가 형성된 구조로 되어 있다. 그리고, 앞면기판(1)과 배면기판(2)를 각각 전극이 형성된 면이 대향하도록 서로 평행하게 배치해서 맞붙이는 것에 의해 앞면기판(1)과 배면기판(2)의 사이에 방전공간(3f)를 형성하고 있다. 또, 표시전극(6), (7)과 어드레스전극(14)는 방전공간(3f)를 사이에 두고 직교하도록 한다.

이 가스방전형 표시패널의 단면도를 도 10a∼10c 및 도 22에 도시한다. 도 10a는 어드레스전극(14)에 평행이고 기판(1),(2) 표면에 수직인 평면으로 본 실시예의 표시패널의 일부를 절단한 경우의 단면도이다, 또, 도 10b는 도 10a의 A의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 어드레스전극(14)에 수직이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면이다. 도 10c는 도 10a의 B의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 어드레스전극(14)에 수직이고 기판(1),(2)표면에 수직인 평면이다. 또한, 도 10a∼10c에서는 도면을 보기 쉽게 하기 위해 단면만을 도시하고 화면 안쪽에 보이는 구성의 도시는 생략하였다. 또, 도 10a에 있어서 C로 도시한 평면에서의 단면도를 도 22에 도시한다.

도 10b, 도 10c에 도시한 바와 같이 양기판(1), (2) 사이는 표시전극(61), (71)의 조마다 표시셀(방전셀이라고도 한다)이 형성되고, 양기판(1), (2)와 배리어 리브(3a)에 의해 방전공간(3f)가 형성된다. 이 방전셀의 내부에는 형광체층(12)가 형성되어 있다. 또, 셀내의 공간(3f)에는 방전가스가 봉입되어 있다. 이 종래의 표시패널에서는 도 22에 도시한 바와 같이 배리어 리브(3a)는 평행한 막대기형상을 하고 있고, 가로(또는 세로)로 연속한 셀의 방전공간(3f)는 배리어 리브(3a)에 의해 구획되어 있지 않다. 도 22는 방전공간의 평행단면도이다.

이 앞면기판(1)의 전극(6), (7)과 배면기판(2)에 형성된 어드레스전극(14)사이에 펄스전압을 인가하면, 앞면기판(1), 배면기판(2) 및 배리어 리브(3a)에 의해 형성되는 각 셀내(3f)에 보조방전이 발생한다. 이 보조방전을 이용해서 각 셀마다 앞면기판(1)에 형성되어 있는 평행한 전극(6)과 (7)을 피복하고 있는 보호층(9)의 표면에 벽전하를 형성한다. 그리고, 이 벽전하가 형성되어 있는 전극(6)과 전극(7) 사이에 펄스전압을 인가하면 주방전이 발생한다. 이 주방전에 의해 발생하는 자외선은 셀 내부에 도포되어 있는 형광체(12)를 발광시킨다. 이 표시패널의 표시는 앞면기판(1)을 통해서 관찰되는 이 형광체(12)로부터의 광에 의한 것이다.

여기에서 도시한 가스방전형 표시장치의 종래예는 플랫패널 디스플레이 l994(닛케이 마이크로디바이스 편, 1993년)의 제 198페이지∼제 201페이지에 기재되어 있다.

그러나, 상기 종래기술에서는 어드레스전극(14)가 연장한 방향으로 배열되는 표시셀의 분리를 표시전극(6), (7)의 위치관계만으로 실행하고 있고, 인접하는 표시셀 사이에서의 오방전을 방지하기 위해서는 인접하는 표시셀 사이의 표시전극간의 거리를 크게 할 필요가 있다. 이 표시셀 사이의 공간은 표시에 기여하지 않지만, 존재하는 형광체(12)의 발광에 의해 광의 번짐이나 혼색 등이 발생한다, 또, 표시전극(6), (7)에는 전극저항을 낮게 하기 위한 버스전극(62), (72)가 마련되어 있고, 표시전극이 연장하는 방향으로 배열된 표시셀 사이에는 많은 배리어 리브(3a)가 존재하고 있다. 버스전극(6), (7)은 불투명재료로 형성되므로 표시에는 기여하지 않는다. 이 버스전극 존재의 악영향은 전극폭을 넓혀서 전극저항을 낮게 하는 경우에 커진다. 이와 같이 표시셀 주변의 표시에 기여하지 않는 부분의 존재는 패널의 개구율을 낮게 하므로 휘도저하의 원인으로 된다. 또, 표시셀간의 발광이나 흑색이 아닌 배리어 리브(3a)의 존재는 흑색표시상태의 품위를 저하시키는 원인으로 되고 있다. 이와 같이, 상기 종래기술에서는 암(暗)상태에서의 휘도저하와 명(明)상태에서의 휘도향상이 곤란하여 높은 콘트라스트를 실현할 수 없었다.

본 발명의 목적은 상기 종래기술의 난점을 해소해서 콘트라스트가 높은 가스방전형 표시패널을 제공하고 또 그 제조방법 및 이것을 사용한 모니터를 제공하는 것이다. 또, 이 가스방전형 표시패널은 버스전극의 저항이 낮다.

제1a, 1b, 1c도는 실시예1의 가스방전형 표시패널의 부분확대 단면도,

제2a, 2b, 2c도는 실시예2의 가스방전형 표시패널의 부분확대 단면도,

제3a, 3b, 3c도는 실시예3의 가스방전형 표시패널의 부분확대 단면도,

제4a, 4b, 4c도는 실시예4의 가스방전형 표시패널의 부분확대 단면도,

제5a, 5b, 5c도는 실시예5의 가스방전형 표시패널의 부분확대 단면도,

제6a, 6b, 6c도는 실시예6의 가스방전형 표시패널의 부분확대 단면도,

제7a, 7b, 7c도는 실시예7의 가스방전형 표시패널의 부분확대 단면도,

제8a, 8b, 8c도는 실시예8의 가스방전형 표시패널의 부분확대 단면도,

제9도는 가스방전형 표시패널의 종래예를 도시한 부분사시도(약도),

제10a, 10b, 10c도는 가스방전형 표시패널의 종래예를 도시한 부분확대 단면도,

제11a, 11b, 11c도는 실시예9의 가스방전형 표시패널의 부분확대 단면도,

제12a, 12b, 12c도는 실시예10의 가스방전형 표시패널의 부분확대 단면도,

제13a, 13b, 13c도는 실시예11의 가스방전형 표시패널의 부분확대 단면도,

제14a, 14b, 14c도는 실시예12의 가스방전형 표시패널의 부분확대 단면도,

제15a, 15b, 15c도는 실시예13의 가스방전형 표시패널의 부분확대 단면도,

제16a, 16b, 16c도는 실시예14의 가스방전형 표시패널의 부분확대 단면도,

제17a, 17b, 17c도는 실시예15의 가스방전형 표시패널의 부분확대 단면도,

제18a, 18b, 18c도는 실시예16의 가스방전형 표시패널의 부분확대 단면도,

제19a, 19b, 19c도는 실시예17의 가스방전형 표시패널의 부분확대 단면도,

제20a, 20b도는 실시예17의 앞면기판 및 그 응용예의 부분확대 단면도,

제21a, 21b, 21c, 21d도는 실시예17의 주방전용 전극의 제조프로세스를 도시한 설명도,

제22도는 가스방전형 표시패널의 종래예에 있어서의 배리어 리브의 구조를 도시한 부분확대 단면도,

제23a∼23o도는 실시예1의 가스방전형 표시패널의 제조프로세스를 도시한 설명도,

제24a∼24h도는 실시예4의 가스방전형 표시패널의 제조프로세스를 도시한 설명도,

제25a, 25b도는 본 발명의 1실시예에 있어서의 가스방전형 표시패널의 버스전극의 형상을 도시한 평면도,

제26도는 본 발명의 모니터 또는 디스플레이유닛의 블럭구성을 도시한 도면.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 앞면기판 2 : 배면기판

3 : 격벽기판 3a : 배리어 리브

3f : 방전공간 4 : 앞면유리판

5 : 배면유리판 6 : 주방전용 비공통전극

7 : 앞면기판의 전극 8 : 유전체층

9 : 보호층(MgO) 1 : 앞면기판측 배리어 리브

12 : 형광체층 13 : 격벽

14 : 보조방전용 전극 15 : 프라이밍패스

16 : 배면기판측 배리어 리브 17 : 차폐부재

18a : 버스전극의 띠형상부재 18b : 버스전극의 가지형상부재

19 : 주방전용 공통전극 21 : 버스전극용 적층막

2 : 표시전극용 ITO막 61, 7l, 191 : 표시전극,

62, 72, 192 : 버스전극 10 : 주방전공간

141, 142 : 비공통어드레스전극 143 : 공통어드레스전극

14 : 트리거전극 200 : 보조방전공간

300 : 표시셀면

상기 본 발명의 목적을 달성하기 위해 본 발명의 가스방전형 표시패널은 다음과 같이 구성되어 있다.

일반적으로, 가스방전형 표시패널에서는 앞면기판에 구비하는 주방전용 전극으로서 투명한 표시전극에 부가해서 표시전극의 저항을 저하시키기 위해 불투명한 도체(대부분 경우 금속)로 이루어지는 버스전극을 마련한다. 그래서, 본 발명에서는 상기 목적을 달성하기 위해 이 불투명한 버스전극을 개개의 표시셀을 구분하는 바와 같은 형상 즉 띠형상부재와 이 부재에서 연장한 가지형상부재에 의해 구성되는 형상으로 한다. 또, 본 발명에서는 버스전극을 표시셀을 둘러싸는 배치로 하는 것이 바람직하다.

그래서, 본 발명에서는 표시를 실행하기 위한 주방전용 전극군을 구비하는 앞면기판, 이 앞면기판에 간격을 유지해서 대향하여 배치되고 또한 발광시키는 표시셀을 선택하기 위한 보조방전용 전극군을 구비하는 배면기판 및 주방전이 실행되는 공간의 내벽에 형성된 형광체층을 구비하는 가스방전형 표시패널로서, 주방전용 전극이 불투명재료로 이루어지는 버스전극을 구비하고, 버스전극이 가스방전형 표시패널의 적층방향을 따라서 상기 앞면기판측에서 보면, 개개의 표시셀의 주위를 적어도 부분적으로 둘러싸는 틀을 구성하고 있는 가스방전형 표시패널이 제공된다.

구체적으로는, 버스전극에 표시전극의 연장방향으로 연장한 띠형상부재와 이 띠형상부재에서 연장한 여러개의 가지형상부재를 마련하고, 띠형상부재는 앞면기판측에서 보아 인접하는 표시셀열(표시전극의 연장방향에 따른 표시셀의 열)의 사이를 구획하도록 마련하고, 각 가지형상부재가 각 셀열에 있어서의 인접하는 표시셀의 사이를 구획하도록 마련하면 좋다. 이와 같이 하면, 앞면기판측에서 보아 개개의 표시셀 주위의 4변 중 평행한 2변을 따라서 2개의 버스전극의 띠형상부재가 배치되고, 나머지 2변의 각각을 따라서 인접하는 2개의 버스전극의 띠형상부재에서 각각 연장한 2개의 가지형상부재(합계 4개의 가지형상부재)가 배치되고, 전체로는 개개의 표시셀의 주위(가지형상부재간의 단락을 방지하기 위한 간극을 제외한다)가 2개의 버스전극으로 둘러싸이게 되므로, 표시셀의 광의 번짐이나 혼색을 방지할 수 있다. 즉, 버스전극이 블랙스트라이프 또는 블랙매트릭스로서의 역할을 하게 된다.

또, 본 발명의 구성에 의하면 버스전극(62), (72)는 가지형상부분(18b)를 갖고 있으므로, 가지형상부분을 갖고 있지 않은 종래예의 버스전극에 비해서 저항이 낮아진다. 이것을 도 25a, 25b를 사용해서 설명한다. 이 도면은 버스전극패턴의 형상을 모식적으로 도시한 것이다. 도 25a는 본 발명에 의한 전극패턴형상을, 도 25b는 종래예의 전극패턴의 형상을 도시한 것이다. 도면에 있어서, L은 표시셀의 표시전극(6), (7)이 연장하는 방향의 길이를, L1은 버스전극의 가지형상부분(18b)의 폭을, W는 표시전극(6), (7)의 폭을, W1은 버스전극(62), (72) (도 25a에서는 버스전극의 띠형상부분(18a))의 폭을 나타내고 있다. 이 도면의 경우, 도 25a에 도시한 버스전극의 가지형상부분(18b)의 길이는 "W-W1''로 된다. l개의 표시셀의 영역을 점선으로 둘러싸서 도시하였다. 방전공간을 구획하는 배리어 리브는 표시전극(6), (7)이 연장하는 방향에 대해서 직교하고 있는 점선부와 겹쳐서 존재하고 있지만, 표시전극이 연장하는 방향과 평행한 점선부와 겹쳐서 존재한다고는 할 수 없다,

도 25a와 같이 버스전극이 본 발명에 의한 전극패턴 형상인 경우, 표시전극이 연장하는 방향의 단일표시셀당의 버스전극의 저항R1은 다음식으로 나타낼 수 있다.

R1 = Rs × L/W1 -Rs × Ll ( 1/W1 -1/W)

여기에서, Rs는 버스전극(62), (72)를 구성하는 전극층의 시트저항을 나타내고 있다.

또, 도 25b에 도시한 종래예의 버스전극의 표시전극이 연장하는 방향의 단일표시셀당의 저항R0은 다음식에 의해 나타낼 수 있다.

R0 = Rs × L/W1

상술한 두 식을 비교하는 것에 의해서, 버스전극에 가지형상부분(18b)를 마련하는 것에 의해 버스전극의 저항은 종래예에 비해

( L1/L ) × ( 1 - W1/W ) × 100%

의 크기만큼 낮아지는 것을 알 수 있다.

이것은 버스전극(6), (7)의 전극폭이 가지형상부분(l8b)에서 크게 하는 것에 의해 저항을 낮게 하고 있는 것을 나타내고 있지만, 거꾸로 보면 버스전극의 띠형상부분(18a)의 폭을 작게 할 수 있는 것을 나타내고 있다. 이 때문에 본 발명의 구성에 의하면 불투명한 버스전극의 띠형상부분의 점유면적을 작게 하는 것에 의해 개구율을 높일 수 있다. 따라서, 표시패널의 휘도가 높아져 콘트라스트를 높게 할 수 있다.

또한, 상술한 종래예에서는 앞면기판 (1)측에서 보면 표시셀간에는 많은 배리어 리브(3a)가 존재하고 있다, 이와 같이, 표시셀 주변의 표시를 제어할 수 없는 부분의 존재는 흑색표시상태의 품위를 저하시키고 결과적으로 콘트라스트를 저하시키는 원인으로 되고 있다. 그래서, 버스전극의 띠형상부재 및 가지형상부재는 각각 앞면측에서 보아 배리어 리브를 피복하도록 마련되는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 배리어 리브로서 백색의 세라믹을 사용해도 고품위의 흑색표시상태를 확보할 수 있고 결과로서 콘트라스트를 높게 할 수 있기 때문이다. 또, 버스전극을 이와 같이 마련하면 표시화면의 개구율이 높아져 표시에 유효한 형광체에서 발사된 광이 효율좋게 앞면기판을 통해서 외부로 방사되게 되어 휘도를 높게 할 수 있다.

또, 버스전극 이외에 불투명재료로 이루어지는 띠형상의 차폐부재를 마련하고, 이 차폐부재에 의해 버스전극으로 피복되지 않은 부분의 배리어 리브나 표시셀 간의 형광체가 존재하는 부분을 피복하도록 하면, 표시셀 주변의 표시에 기여하지 않는 부분의 표시화질에 대한 영향을 작게 할 수 있으므로 더욱 바람직하다.

[발명의 실시형태]

본 발명의 가스방전형 표시패널은 표시를 실행하기 위한 주방전용 전극군을 구비하는 앞면기판, 이 앞면기판에 간격을 유지해서 대향하여 배치되고 또한 발광시키는 표시셀을 선택하기 위한 보조방전용 전극군을 구비하는 배면기판, 앞면기판 및 배면기판의 간극을 표시셀로 분획하는 배리어 리브(절연재료로 이루어진다) 및 주방전이 실행되는 공간의 내벽에 형성된 형광체층을 구비한다. 여기에서, 주방전용 전극군은 서로 연장방향이 동일한 여러개의 주방전용 전극으로 이루어지고, 각 주방전용 전극은 투명재료로 이루어지고 또한 상기 앞면기판의 주표면에 대해서 평행한 띠형상전극인 표시전극 및 이 표시전극마다 마련되고 표리 중 한쪽 면이 상기 표시전극에 접하며 불투명재료로 이루어지는 버스전극을 구비한다. 또, 상기 보조방전용 전극군의 버스전극은 표시전극의 연장방향으로 연장한 띠형상부재와 이 띠형상부재에서 연장한 여러개의 가지형상부재를 구비한다.

버스전극은 가스방전형 표시패널의 적층방향을 따라서 앞면기판측에서 보면 흑색으로 보이도록 구성하는 것이 바람직하다. 제어할 수 없는 미광을 억제하는 것에 의해 흑색표시상태의 품위를 높일 수 있기 때문이다.

또, 가스방전형 표시패널의 적층방향을 따라서 앞면기판측에서 보면 띠형상부재는 상기 표시전극의 연장방향에 따른 표시셀열 사이를 구획하고, 가지형상부재는 상기 표시셀열의 상기 표시전극의 연장방향으로 인접하는 표시셀의 사이를 구획하도록 마련되어 있는 것이 바람직하다. 상기한 바와 같이, 이와 같은 배치로 하면 개개의 표시셀을 불투명한 버스전극으로 분획할 수 있기 때문이다.

또, 상기한 바와 같이 흑색표시상태의 품위향상을 위해서는 배리어 리브를 피복하는 것이 바람직하다. 일반적으로, 표시셀은 매트릭스형상으로 배치된다. 따라서, 표시셀을 구획하기 위해 마련되는 배리어 리브는 표시전극의 연장방향에 따른 표시셀열에 속하는 각 표시셀을 분획하는 제1 부재 및 상기 표시셀열과 인접하는 표시셀열을 구획하는 제2 부재를 갖는다. 그래서, 가스방전형 표시패널의 적층방향을 따라서 앞면기판측에서 보면 버스전극의 가지형상부재는 배리어 리브의 제1 부재의 앞면기판측의 바닥면과 적어도 일부가 겹쳐 보이도록 배치되는 것이 바람직하고, 버스전극의 띠형상부재는 배리어 리브의 제2 부재의 앞면기판측의 바닥면과 적어도 일부가 겹쳐서 보이도록 배치되는 것이 바람직하다.

즉, 가지형상부재는 배리어 리브의 제1 부재의 상기 바닥면을 상기 적층방향을 따라서 배면기판측에서 버스전극이 마련된 면에 투영해서 얻어지는 상과 적어도 일부가 겹치도록 배치되어 있는 것이 바람직하고, 띠형상부재는 배리어 리브의 제2 부재의 상기 바닥면을 상기 적층방향을 따라서 배면기판측에서 버스전극이 마련된 면에 투영해서 얻어지는 상과 적어도 일부가 겹치도록 배치되어 있는 것이 바람직하다.

또, 가스방전형 표시패널의 적층방향을 따라서 앞면기판측에서 보면, 배리어 리브의 제2 부재의 상기 앞면기판측의 바닥면과 적어도 일부가 겹치도록 상술한 차페부재를 마련해도 좋다.

본 발명에서는 버스전극은 불투명한 도체로 이루어지고 통상 전극으로서 사용되는 금속을 사용할 수 있다. 버스전극 및 보조방전용 전극의 재료로서는 Cu, Cr, Al, Ti, Ni, W 또는 Mo 등의 금속이나 이들의 합금 등을 사용할 수 있다. 이들의 전극 형성방법으로서는 스퍼터링법, 전자선증착법, 도금법 또는 저항가열증착법, 후막인쇄법 등을 적용할 수 있다. 또, 버스전극을 제1 고융점금속, 구리 또는 알루미늄 및 제2 고융점금속을 이러한 순서로 적층한 복합막으로 해도 좋다. 여기에서 제1 고융점금속 및 제2 고융점금속은 각각 크롬, 티타늄, 니켈, 텅스텐 및 몰리브덴 중의 1종류의 금속 또는 이 금속의 합금이다. 또한, 버스전극의 표리 중 앞면기판의 외부에 면한 측의 표면은 상기 고융점금속의 산화막을 구비하는 것이 바람직하다.

표시전극에는 산화주석이나 ITO 등의 도전성을 갖는 투명한 재료를 사용한다. 이 표시전극의 형성방법으로서는 스퍼터링법, 전자선증착법, 화학기상반응법, 졸-겔(sol-gel)법 등을 사용할 수 있다.

또, 본 발명에서는 주방전용 전극은 투명한 절연재료로 이루어지는 기재(棋才)의 표면에 형성되지만, 이 기재의 주방전용 전극을 형성하는 표면은 조면화(組面化)되어 있는 것이 바람직하다. 이것은 버스전극의 패널앞면측 표면의 반사율을 저하시키기 위한 것이다. 이 조면화처리는 예를 들면 샌드 블러스트법등에 의해 실행할 수 있다.

또한, 앞면기판의 제작시에 투명재료로 이루어지는 기재 표면에 우선 버스전극을 형성한 후 표시전극을 형성하도록 하면, 버스전극과 투명기재(유리판 등)의 계면에 금속표면보다도 반사율이 낮은 금속산화막을 용이하게 형성할 수 있다. 따라서, 앞면 기판의 적층순서는 투명재료로 이루어기는 기재, 버스전극, 표시전극, 유전체층의 순서로 하는 것이 바람직하다.

상술한 종래기술에서는 보조방전이 주방전과 마찬가지로 형광체층(l2)를 구비하는 공간에서 실행되므로 보조방전에 의해서도 형광체층(12)가 발광한다. 따라서, 이와 같은 표시패널에서는 충분한 콘트라스트를 얻는 것은 곤란하였다. 그 점에서 본 발명의 표시패널은 방전셀내의 공간을 앞면기판측의 주방전용 공간과 배면기판측의 보조방전용 공간으로 분리하는 방전공간분리용 격벽을 더욱 구비하는 것이 바람직하다. 다만, 이 방전공간분리용 격벽은 주방전공간과 보조방전공간을 연통시키기 위한 관통구멍을 갖는다. 이 경우, 형광체층(12)는 주방전공간의 내벽을 구성하는 배리어 리브 측면 및 격벽 표면에 형성된다. 이와 같이 하면, 주방전용 공간과 보조방전용 공간이 분리되고 격벽에 의해 보조방전의 광도 차폐되므로 높은 콘트라스트를 얻을 수 있다. 이 분리용 격벽은 대부분의 경우는 구비되어 있는 것이 바람직하지만 반드시 필요하지는 않다.

이와 같이 격벽을 마련하는 경우, 버스전극을 가스방전형 표시패널의 적층방향을 따라서 상기 앞면기판측에서 보면 격벽의 관통구멍의 앞면기판측 개구부를 피복하도록 배치하는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 관통구멍을 거쳐서 새어나오는 보조방전의 광을 차폐할 수 있으므로 더욱 높은 콘트라스트를 얻을수 있다.

다음에, 본 발명에 있어서의 버스전극의 형상 및 배치의 구체적 형태예에 대해서 설명한다. 또한, 「표시셀열」 이라는 것은 표시전극의 연장방향에 따른 표시셀의 열을 의미하는 것으로 한다.

본 발명의 제1 형태에 의하면, 도 1에 도시한 바와 같이 주방전용 전극(6), (7)은 표시셀열마다 2개 구비되고(주방전용 전극(6)은 표시셀열마다 1개 구비되고 주방전용 전극(7)은 표시셀마다 1개 구비되어 있으므로, 주방전용 전극은 표시셀열마다 합계 2개 구비되어 있게 된다), 버스전극(62)의 가지형상부재(18b)는 버스전극(62), (72)의 띠형상부재(18a)의 한쪽측에 마련되고, 하나의 표시셀열에 대응하는 2개의 주방전용 전극의 버스전극(62), (72)는 가지형상부재(18b)가 마련된 측을 내측으로 대향해서 마련되어 있다. 또, 가지형상부재(18b)는 가스방전형 표시패널의 적층방향을 따라서 앞면기판측에서 보면, 배리어 리브의 제1 부재의 앞면기판측의 바닥면과 겹치도록 배치된다.

이 제1 형태에서는 도 2에 도시한 바와 같이 버스전극(62), (72)의 한쪽(도 2에서는 (62)의 띠형상부재가 가스방전형 표시패널의 적층방향을 따라서 앞면기판측에서 보면 격벽(13)의 관통구멍(프라이밍패스(priming path))(15)의 앞면기판측 개구부를 피복하도록 배치하는 것이 바람직하다.

또, 이 제1 형태에서는 도 5에 도시한 바와 같이 주방전용 전극(6) 또는 (7)과, 인접하는 표시셀열에 구비된 주방전용 전극(7) 또는 (6) 사이에 띠형상의 불투명재료로 이루어지는 차폐부재(17)을 마련해서 표시셀열간의 배리어 리브(11)의 상면을 피복하는 것이 바람직하다.

본 발명의 제2 형태에 의하면 도 6에 도시한 바와 같이 주방전용 전극(6), (19)는 표시셀열 2개마다 3개 마련되고, 이 3개의 주방전용 전극(6), (19) 중 중앙의 1개 (7)은 2열의 표시셀열에 걸쳐서 구비되어 있다. 이 형태에서는 3개의 주방전용 전극(6), (19) 중 중앙의 주방전용 전극(19)의 버스전극(192)는 양측에 가지형상부재(18b)를 구비하고 다른 주방전용 전극(6)의 버스전극(62)는 한쪽측에 가지형상부재(18b)를 구비하며, 상기 다른 주방전용 전극(6)의 버스전극(62)는 가지형상부재(18b)가 마련된 측을 중앙의 주방전용 전극(7)을 향해서 배치하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하는 것에 의해 개개의 표시셀의 주위를 버스전극으로 둘러쌀 수 있기 때문이다.

본 발명의 제3 형태에 의하면 주방전용 전극은 표시전극의 연장방향에 따른 표시셀열마다 구비되고 각 주방전용 전극은 2열의 표시셀열에 걸쳐서 구비되어 있다. 이 경우, 버스전극의 가지형상부재는 그 버스전극의 띠형상부재의 양측에 마련되는 것이 바람직하다.

이 제3 형태에서는 도 7에 도시한 바와 같이 3개의 주방전용 전극(6), (19) 중의 양측의 2개 (6)과 인접하는 표시셀열에 구비된 주방전용 전극(6) 사이에 띠형상의 불투명재료로 이루어지는 차폐부재(17)을 마련해서 표시셀열간의 배리어 리브(11)의 상면을 피복하는 것이 바람직하다.

상술한 제2 형태 또는 제3 형태에서는 가스방전형 표시패널의 적층방향에을 따라서 앞면기판측에서 보면 2열의 표시셀열에 걸쳐서 구비되어 있는 주방전용 공통전극(19)의 버스전극(192)의 띠형상부재(18a)를 배리어 리브의 제2 부재의 앞면기판측의 바닥면과 중첩하도록 배치하는 것이 바람직하다. 또, 제1 형태와 마찬가지로 가지형상부재(18b)는 가스방전형 표시패널의 적층방향을 따라서 앞면기판측에서 보면 배리어 리브의 제1 부재의 앞면기판측의 바닥면과 겹치도록 배치되는 것이 바람직하다.

본 발명의 제4 형태에서는 도 8에 도시한 바와 같이 각 주방전용 전극(6), (19)는 표시셀열마다 3개 마련되고, 3개의 주방전용 전극(6), (19) 중 양측의 2개(19)는 인접하는 표시셀열의 주방전용 전극(19)와 공통의 전극이다. 이 경우, 버스전극(62), (192)의 가지형상부재(18b)는 상기 버스전극(62), (192)의 띠형상부재(18a)의 양측에 마련하는 것이 바람직하다.

또, 이 제4 형태의 경우 상술한 방전공간분리용 격벽(13)을 더욱 구비하는 구성에서는 적층방향을 따라서 앞면기판측에서 보면, 각 표시셀마다의 3개의 주방전용 전극(6), (19) 중 양측의 주방전용 공통전극(19)의 버스전극(192)의 띠형상부재(18a)는 배리어 리브의 제2 부재의 앞면기판측의 바닥면과 겹치도록 배치되고, 중앙의 주방전용 비공통전극(6)의 버스전극(62)의 띠형상부재(18a)는 관통구멍(프라이밍패스)(15)의 앞면기판측 개구부를 피복하도록 배치되는 것이 바람직하다. 또, 공통전극(19)의 버스전극(l92)의 띠 형상부재(18a)는 가스방전형 표시 패널의 적층방향을 따라서 앞면 기판측에서 보면 배리어 리브의 제2 부재의 앞면기판측의 바닥면과 겹치도록 배치되는 것이 바람직하다.

다음에, 본 발명의 실시예를 도면을 사용해서 설명한다. 또한, 「상」 은 적층방향의 배면기판에서 앞면기판으로의 방향을 나타내고, 「하」 는 적층방향의 앞면기판에서 배면기판으로의 방향을 나타내는 것으로 한다. 또, 「보조방전셀열」 이라는 것은 보조방전 전극의 연장방향에 따른 표시셀의 열을 의미하는 것으로 한다. 이하의 설명에서 기술하는 재질이나 크기, 제조조건, 제조장치 등은 실시의 1형태를 도시하고 있는 것에 지나지 않는다. 따라서, 본 발명이 이들조건에 의해서만 한정되는 것이 아니다.

[실시예 1]

본 실시예의 가스방전형 칼라표시패널의 단면을 도 1에 도시한다. 또한, 도 1a는 어드레스전극(14)에 평행이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면으로서 표시패널을 절단한 단면도이다. 또, 도 1b는 도 1a의 A 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 버스전극(62), (72)의 연장방향을 따라서 유리판(4) 표면과 평행한 평면이다. 또한, 도 1b에 있어서 표시전극(61), (71)은 단면는 아니지만 도면을 보기 쉽게 하기 위해서 표면이 울퉁불퉁한 모양(aventurine pattern)을 사용해서 표현하였다. 도 1c는 도 1a의 B-B'의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 어드레스전극(14)에 수직이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면이다.

본 실시예의 가스방전형 표시패널은 도 1a∼c에 도시한 바와 같이 앞면기판(1), 배면기판(2) 및 그들의 간극을 구획해서 화소로 되는 셀을 형성하는 격벽기판(3)을 구비한다. 앞면기판(1)과 배면기판(2) 사이의 공극에는 He와 Xe의 혼합가스(본 실시예에서는 Xe함유량 5체적%)가 봉입되어 있다.

앞면기판(l)은 소오다유리판(4), 그의 표면에 형성된 제 1의 지면에 수직방향의 셀열의 전체 셀에 공통인 2개가 1조인 주방전용 전극(6), (7), 이 전극(6), (7)을 피복하도륵 소오다유리판(4)의 표면에 형성된 유전체층(8) 및 유전체층(8)의 표면에 형성된 보호막(MgO막)(9)를 구비한다. 주방전용 전극은 투명한 표시전극인 ITO(Indium Tin Oxide)전극(6l), (71)과 ITO전극(61), (71)의 표면에 형성된 버스전극(62), (72)로 이루어진다.

표시전극(61), (71)의 전극패턴은 매트릭스형상으로 배열된 셀 중 한쪽 방향에 배열되는 셀열의 각 셀에 대해서 평행한 2개의 전극이 마련되도록 다수의 평행한 직선형상의 패턴으로서 패터닝된다.

또, 버스전극(62), (72)는 표시전극(61), (7l)마다 각각 구비되고, 도 1b에 도시한 바와 같이 띠형상부재(18a)와 가지형상부재(l8b)로 이루어진다. 버스전극(62)의 가지형상부재(18b)는 버스전극(62), (72)의 띠형상부재(18a)의 한쪽측에 마련되고, 하나의 표시셀열에 대응하는 2개의 주방전용 전극의 버스전극(62), (72)는 가지형상부재(18b)가 마련된 측을 내측으로 대향해서 마련되어 있다. 또, 도 1c에 도시한 바와 같이 가시형상부재(18b)는 단락을 방지하기 위한 간극을 제외하고 가스방전형 표시패널의 적층방향을 따라서 앞면기판측에서 보면 배리어 리브의 제1 부재(11)의 앞면기판측의 바닥면과 겹쳐 있다.

도 1b에서 알 수 있는 바와 같이, 버스전극(62), (72)의 형상 및 배치를 상술한 바와 같이 하는 것에 의해 앞면측에서 보았을 때 각 표시셀(300)의 주위(전극의 단락을 방지하기 위한 간극을 제외한다)가 각각 불투명한 버스전극(62), (72)에 의해 둘러싸이므로 표시셀의 발색의 번짐이나 혼색이 방지된다.

또, 버스전극(62), (72)의 저항은 가지형상부분(18b)의 존재에 의해 낮아지고 있으므로, 가지형상부분을 마련하지 않는 종래예에 비해서 띠형상부분(18a)의 폭을 작게 할 수 있다. 도 25를 참조로 해서 설명하면 다음과 같이 된다. 예를 들면, 표시셀의 표시전극(6), (7)이 연장하는 방향의 길이(L)을 0.4mm, 버스전극의 가지형상부분(18b)의 폭(L1)을 0.1mm, 버스전극(62), (72)의 띠형상부분(18a)의 폭(W1)을 0.08mm, 가지형상부분(18b)의 길이(W-W1)를 0.42mm로 하면, 도 25b와 같이 가지형상부분을 갖지 않는 종래예의 버스전극에 있어서 본 실시예와 동일한 저항으로 하기 위해서는 버스전극의 폭을 0.1mm이상으로 할 필요가 있다. 이 효과는 버스전극의 폭W1을 작게 해서 개구율을 높이는 경우나 버스전극의 띠형상부분(18a)의 폭을 크게 하지 않고 버스전극의 저항값을 낮게 하는 경우에 크다. 즉, 본 실시예에 의하면 개구율 향상에 의한 휘도와 콘트라스트의 향상, 버스전극의 저저항화에 의한 고속구동화에 효과가 있다.

배면기판(2)는 소다유리판(5), 그의 표면에 형성된 보조방전용 전극(14), 보조방전용 전극(14)표면에 형성된 유전체층(8) 및 유전체층(8)의 표면을 피복하도록 형성된 보호막(MgO막)(9)를 구비한다. 보조방전용 전극(14)는 표시전극의 연장방향과 직각으로 배열된 표시셀의 열(보조방전셀열)마다 2개의 띠형상의 어드레스전극(141), (142)로 이루어진다. 어드레스전극(141), (142)는 기판표면에 평행이고 또한 서로 평행한 표시전극(61), (71)의 연장방향과 직각인 방향으로 연장된 다수의 직선형상패턴으로서 패터닝된다.

앞면기판(1) 및 배면기판(2)에 형성되는 MgO막(9)는 스퍼터링율이 낮고 내스퍼터링(耐spattering)성이 우수하므로, 방전에 있어서의 스퍼터링에 의한 손상을 억제할 수 있어 유전체층(8)이 보호막으로서 작용한다. MgO막(9)는 방전에 의한 스퍼터링을 억제하기 때문에 표시패널의 장수명화에 유효하고, 2차 전자방전계수가 높기 때문에 방전전압의 저하와 방전의 안정화에 유효하다. 또, MgO막(9)는 투명하므로, 형광체(12)에서 발광한 광을 통과하기 쉽고 표시패널에 사용하는 데 적합하다.

격벽기판(3)은 앞면기판(1)의 MgO막 (9)와 배면기판(2)의 MgO막 (9)에 접속한 배리어 리브(3a), 배리어 리브(3a)에 접속된 앞면기판(1) 및 배면기판(2)에 평행한 격벽(13) 및 배리어 리브(3a)와 격벽(13)의 앞면기판측에 형성된 형광체층(12)를 구비한다. 형광체층(12)는 방전에 의한 발생한 자외선에 의해 녹색, 청색 또는 적색을 발광하는 형광체로 이루어진다. 또한, 어떤 색을 발색하는 형광체를 사용할 것인지는 셀마다 기판전체의 배색이 소정 패턴으로 되도록 정해지고 있다.

배리어 리브(3a)는 앞면기판측의 배리어 리브(11)과 배면기판측의 배리어 리브(16)으로 이루어진다. 배리어 리브(11), (16)은 격벽(13)과 일체로 성형되어 있고 이들은 유리 또는 세라믹으로 이루어진다. 표시셀내에서 발광한 광이 인접하는 표시셀로 새어들어가는 것에 의해 혼색이 발생하지 않도록 하기 위해서, 배리어 리브(11)이나 격벽(13)은 불투명한 백색 또는 유색으로 하여 차광하도록 하는 것이 바람직하다.

앞면기판(1), 배면기판(2) 및 격벽기판(3)에 의해 형성되는 셀은 배리어 리브(3a)에 의해 인접하는 셀과 격리된다. 이 셀내의 공간은 격벽(13)에 의해 주방전공간(100)과 보조방전공간(200)으로 분리되어 있다. 격벽(13)은 관통구멍(15)를 구비하고 있고, 이 관통구멍(15)는 주방전공간(100)과 보조방전공간(200)을 연통시키는 도통로(프라이밍패스)로서 작용한다. 또한, 본 실시예에서는 격벽(13)은 유리판(4), (5)에 대해서 평행하게 마련되어 있지만, 하전입자 등의 이동을 방해하지 않는 한 반드시 수평이 아니어도 좋다.

도 1a에 도시한 바와 같이 주방전공간(100)은 배리어 리브(11) 및 격벽(l3)에 의해 둘러싸여 있고 개개의 방전셀이 각각 분리되어 있다. 그것에 대해 보조방전공간(200)은 도 1a 및 도 1c에 도시한 바와 같이 보조방전용 전극(14)와 평행한 배리어 리브(16)에 의해서 스트라이프형상으로 형성되어 있고, 보조방전용 전극(l4)를 따라서 배치되는 방전셀의 보조방전 공간(200)은 구획되어 있지 않다. 즉, 보조방전용 전극(14)를 따라서 배치되는 방전셀은 스트라이프형상의 보조방전 공간을 공유하게 된다.

배리어 리브(11)은 격자형상으로 형성되고 표시전극(61), (71)의 연장방향의 두께는 0.10mm이고, 상기 방향의 피치는 1.2mm, 보조방전용 전극(14)의 연장방향의 두께는 0.07mm이며, 상기 방향의 피치는 0.4mm이다. 배리어 리브(16)은 보조방전용 전극(14)의 연장방향으로 연장된 스트라이프형상으로 형성되고 두께는 0.07mm, 피치는 0.4mm이다

격벽(13)의 두께는 0.lmm이고 표시전극(61), (71)의 연장방향에 따른 배리어 리브(3a)에 접하며, 보조방전용 전극(14)의 연장방향에 따른 배리어 리브(3a)에서 0.lmm떨어진 위치에 관통구멍(15)를 구비한다. 주방전공간(100)의 사이즈는 높이 0.3mm, 표시전극(61), (71)의 연장방향의 깊이방향(depth)0.33mm, 보조방전용 전극(14)의 연장방향의 깊이방향 1.1mm이다. 보조방전셀의 열에 공통인 보조방전공간의 사이즈는 높이 0.1mm, 표시전극(61),(71)의 연장방향의 깊이방향 0.33mm이다. 또한, 여기에서 말한 배리어 리브(11)이나 배리어 리브(16), 격벽(13), 주방전공간(100), 보조방전공간(200)의 각 치수는 40인치 이상의 크기를 갖는 표시화면에 있어서의 대표적인 값이고, 표시화면의 사이즈나 요구되는 해상도에 따라서 적절하게 정하는 것이 바람직하다.

본 실시예에서는 표시셀 열마다 연장방향이 동일한 주방전용 전극(6), (7)이 주방전용 전극쌍으로서 마련되고, 또 보조방전셀 열마다 연장방향이 동일한 어드레스전극(141), (142)가 보조방전용 전극쌍으로서 마련되어 있다.

또한, 어드레스전극(141), (142)는 인접하는 보조방전셀 열에 대응하는 어드레스전극(141), (142)와 단락하지 않는 한 그의 일부가 보조방전공간(200) 아래에서 돌출해서 배리어 리브(16)의 아래로 되어도 지장이 없다. 이것은 표시전극(61), (71)의 연장방향으로 배열되는 각 방전셀의 보조방전공간(200)이 배면기판측 배리어 리브(16)에 의해서 분리되어 있기 때문이다.

본 실시예의 가스방전형 칼라표시패널에서는 주방전용 전극쌍의 한쪽(주전극)(6)과 보조방전용 전극쌍의 한쪽(141) 사이에 전압을 인가하는 것에 의해 발광하는 표시셀이 선택된다. 이것에 대해서 이하에 설명한다.

임의의 표시셀을 발광시키기 위해서는 우선 이 발광시키는 표시셀의 아래를 통과하는 보조방전용 전극쌍(141) 및 (142)에 펄스전압을 인가해서 보조방전을 발생시킨다. 이 보조방전의 형광체(12)로의 영향은 격벽(13)에 의해 차단되므로 이 때 형광체(12)는 발광하지 않는다. 이 상태에서 발광시키는 표시셀의 위를 통과하는 주전극(6)과 발광시키는 표시셀의 아래를 통과하는 보조방전용 전극(141) 사이에 전압을 인가하고, 또한 발광시키는 표시셀의 위를 통과하는 주방전용 전극쌍(6), (7)에 펄스전압을 인가한다. 그렇게 하면, 보조방전공간(200)에 있어서의 방전에 의해 발생한 하전입자 등이 프라이밍패스(15)를 통과해서 주방전공간(100)으로 확산해서 앞면기판측 보호막(9)의 표면에 유전체층(8)을 거쳐서 벽전하패턴이 형성되고 이 벽전하에 의한 전압이 주방전용 전극쌍(6), (7)에 인가된 전압에 중첩되어 주방전이 발생한다. 즉, 발광시키는 소정의 표시셀에 있어서 주방전이 발생하게 된다.

이 주방전에 의해서 봉지가스(본 실시예에서는 5%의 Xe를 함유하는 Ne가스)가 여기되어 자외선을 발생하고, 이 자외선에 의해 형광체(12)가 발광한다. 이 발광된 광이 앞면기판(1)을 통과해서 외부에 방출된다.

이상 기술해 온 바와 같이, 지정된 방전셀의 아래를 통과하는 보조방전 전극쌍(141), (142)으로 펄스전압을 인가하는 것에 의해서 보조방전을 발생시키고, 지정된 표시셀의 위를 통과하는 주전극(6)과 보조방전용 전극(141) 사이에 전압을 인가해서 주방전을 일으키는 표시셀을 지정하고, 지정된 셀의 위를 통과하는 주방전용 전극쌍(6), (7)에 펄스전압을 인가하는 것에 의해 소정의 표시셀에 주방전을 일으키고, 이 주방전에 의해 가시광을 발생시키고, 이 가시광이 앞면기판(1)을 통과해서 외부로 방사되는 것에 의해 본 표시패널에 화상이 형성된다.

이와 같이, 이 실시예에서는 각 셀을 배리어 리브(3a)에 의해 구획하는 것 이외에 앞면기판(1)과 배면기판(2) 사이의 공간을 격벽(13)으로 구획하는 것에 의해, 보조방전에 의해 발생하는 방사선이 형광체(12)에 닿지 않도록 보조방전을 형광체(12)로부터 차폐한다. 이 때문에, 본 실시예의 표시패널에서는 배면기판(2)측의 보조방전용 전극(14)에 의해 보조방전을 발생시켜도 이 보조방전에 의한 발광이 격벽(13)에 의해 저지되게 되고 주방전에 의해서만 형광체(12)가 발광하게 되므로, 보조방전만이 발생하고 주방전이 발생하지 않는 셀에서는 형광체(12)가 발광하지 않고 주방전에 의한 발광만을 앞면기판(1)측에서 관찰할 수 있으므로 충분한 콘트라스트를 얻을 수 있다.

본 실시예에서는 도 1b 및 1c에서 알 수 있는 바와 같이 버스전극(62), (72)의 가지형상부재(18b)가 배리어 리브(11) 상에서 대향전극을 향해서 연장하고 있다. 즉, 주방전공간(100)을 구획하는 배리어 리브(1l) 상에서 주전극(6)의 버스전극(62)의 가지형상부재(18b)가 전극쌍을 구성하는 다른 한쪽의 주방전용 전극(7)을 향해서 연장하고 있고, 이 주방전용 전극(7)의 버스전극(72)의 가지형상부재(18b)는 전극쌍을 구성하는 주전극(6)을 향해서 연장하고 있다. 도 1b에서 알수 있는 바와 같이, 앞면기판의 전극(6), (7)이 연장하는 방향으로 배열된 표시셀간에 불투명재료로 이루어지는 버스전극이 존재하고 있어, 종래의 표시패널에 비해서 제어할 수 없는 미광이 적어 흑색표시상태의 품위가 높다.

또, 본 실시예에서는 도 1a에서 알 수 있는 바와 같이 주전극(6)의 버스전극(62)와 프라이밍패스(15)의 앞면기판측 개구부가 위에서 보아 겹치도록 위치하고 있다. 이것에 의해, 보조방전에 의한 광이 앞면기판을 통과해서 외부로 새어나가지 않게 되어 콘트라스트를 높일 수 있다.

또한, 본 실시예에서는 표시전극(61), (71)은 띠형상으로 연장되어 있다. 그러나, 버스전극(62), (72)에 의해 전원으로부터의 도통은 확보되어 있으므로, 표시전극(61), (71)을 표시셀열을 따라서 연속시킬 필요는 없고 각 방전셀마다 독립한 전극으로서 형성하고 각각의 표시전극을 버스전극(62), (72)에 의해 접속해도 좋다.

다음에, 본 실시예의 가스방전형 표시패널의 제조방법을 도 23a∼도 23o를 사용해서 설명한다. 도 23은 본 실시예의 표시패널의 제조방법을 모식적으로 도시한 설명도이다.

A. 앞면기판의 제작

[1] 주방전용 전극의 형성

우선, 앞면기판(1)을 제작하였다, 중성세제 등을 사용해서 세정한 소다라임 유리판(4)(폭 : 약 85cm, 깊이방향 : 약 70cm, 두께 : 약 2.8mm)의 표리 중 한쪽면에 스퍼터링법(전자선증착법 등 다른 성막법이라도 좋다)에 의해 ITO막(산화주석(SnO₂)막 등 다른 투명도전막이라도 좋다)(5c)를 형성하였다(도 23a).

실온 15∼25℃, 습도 60%의 방진실(防塵室)내에서 이 ITO막 (5c)표면에 감광성수지 조성물을 도포하고 이 감광성수지 조성물도포막을 소정패턴의 마스크를 거쳐서 3kW(출력 8kW)의 초고압수은 등에 의해 노출량을 200∼250mJ/㎠로해서 노출시키고, 0.7∼1.0%의 탄산나트륨수용액을 사용해서 현상온도 25℃, 압력 1.2kg/㎠구의 조건에서 105초간 스프레이 현상한 후 물로 씻어내고 건조시켜서 소정패턴의 레지스트막을 형성하였다. 다음에, 에칭액에 의해 ITO막 (5c)의 노출부분을 에칭한 후 박리액에 의해 레지스트막을 박리하였다. 이것에 의해, ITO막(5c)가 패턴화되고 소정의 위치에 ITO전극(61),(71)이 형성되었다(도 23b). 또한, 표시전극(61), (71)의 패턴치수는 제조하는 표시셀의 크기에 맞게 결정하면 좋다.

다음에, 표시 전극(61), (71)을 형성 한 앞면유리 기판(4)상에 스퍼터링법이나 전자선증착법 등의 성막수법을 사용해서 크롬막, 구리막 및 크롬막을 이 순서로 성막하였다. 이것에 의해, Cr/Cu/Cr적층막이 형성되었다. 이 적층막을 상술한 바와 마찬가지의 포토에칭법에 의해 패턴화하고 표시전극(61), (71)의 표면에 버스전극(62), (72)를 형성하였다(도23c). 또한, Cu막의 막두께와 버스전극의 패턴치수는 버스전극에 요구되는 저항값에 의해 정하면 좋다.

[2] 유전체층의 형성

얻어진 전극(61),(62),(72)를 피복하도록 유리판(4)의 표면에 Al, Si,O를 주성분으로 하는 주지의 가수분해형 코팅제를 블레이드(blade)법으로 도포하고, 100∼400℃의 온도에서 1∼60분간 가열하는 것에 의해 두께 : 0.005∼0.03mm의 유전체층(8)을 형성하였다(도 23d).

또한, Al, Si, O를 주성분으로 하는 가수분해형 코팅제로서 여기에서는 트리(n-부톡시)알루미늄과 테트라(n-부틸)실리케이트를 산화물로 환산하였을 때의 37 : 63의 중량비로 포함하는 n-부탄올용액을 상온에서 가수분해해서 얻어진 겔을 사용하였다.

[3] 보호막의 형성

얻어진 유전체층(8)의 표면에 스퍼터링법(전자선증착법 등이라도 좋다)에 의해 두께 0.0001∼0.005mm의 MgO막 (9)를 형성하였다(도 23e). 이상의 공정 [1]∼[3]에 의해 앞면기판(1)이 제작되었다.

B. 배면기판의 제작

[4] 어드레스전극의 형성

다음에, 배면기판(2)를 제작하였다, 우선, 중성세제 등을 사용해서 세정한 폭 : 약 90cm, 깊이방향 : 약 65cm, 두께 : 약 2.8mm의 소다라임 유리판(5)(도 23f)에 스퍼터링법이나 전자선증착법 등의 성막수법을 사용해서 크롬막, 구리막 및 크롬막을 이러한 순서로 성막하였다. 이것에 의해, Cr/Cu/Cr적층막이 형성되었다. 이 적층막을 상술한 바와 마찬가지의 포토에칭법에 의해 패턴화하고 어드레스전극(141), (142)를 형성하였다(도 23g). 또한, Cu막의 막두께와 어드레스전극의 패턴치수는 보조방전용 전극에 요구되는 저항값에 의해 정하면 좋다.

[5] 유전체층의 형성

얻어진 어드레스전극(14)를 피복하도록 유리판(5)상에 공정[2]와 마찬가지로 Al, Si, O를 주성분으로 하는 가수분해형 코팅제를 블레이드법으로 도포하고 상술한 공정[2]와 마찬가지로 해서 두께 0.005∼0.03mm의 유전체층(8)을 형성하였다(도 23h).

[6] 보호막의 형성

이상에 의해 유전체층(8)이 형성되었으므로, 그 표면에 상기 공정[3]과 마찬가지로 해서 두께 0.001∼0.005mm의 MgO막(9)를 형성하였다(도 23i). 이상의 공정[4]∼[6]에 의해 배면기판(2)가 제작되었다. 또한, 본 실시예에 있어서의 표시패널의 구조의 설명에서 기술한 바와 마찬가지로 배면기판(2)에는 패널조립 후에 배기 및 가스도입을 위한 칩관(도시하지 않음)을 부착하였다.

C. 격벽기판의 제작

[7] 레지스트막의 형성

다음에, 격벽기판(3)을 제작하였다. 우선, 폭 : 약 85cm, 깊이방향 : 약 65cm, 두께 : 0.5mm의 알루미나를 주성분으로 하는 세라믹판(30)(또는, 붕규산(boro-silicate)유리판이라도 좋다)을 마련하고, 그의 표리 중 한쪽면에 감광성수지 조성물을 도포하고 각 셀에 있어서의 앞면기판측과 배면기판측의 방전의 도통경로를 작성하기 위한 소정패턴을 갖는 마스크를 거쳐서 3kW(출력 8mW)의 초고압수은등을 사용해서 200mJ/㎠∼250mJ/㎠의 감광량으로 감광성수지 조성물막을 노출시켰다. 다음에, 0.2%∼0.5%의 탄산나트륨수용액을 사용해서 현상온도 : 25℃, 압력 : 1.2kg/㎠, 시간 : 105초간의 조건에서 스프레이현상을 실행한 후 0.l%정도의 묽은산으로 중화하고 물로 씻어내고 건조를 실행해서 소정 패턴의 레지스트막(31)을 형성하였다(도 23j).

[8] 도통경로의 형성

다음에, 샌드 블러스트법에 의해 레지스트막(31)로 피복되어 있지 않는 부분의 세라믹판(30)에 관통구멍을 뚫고, 앞면기판(1)측의 공간(100)과 배면기판(2)측의 공간(200)의 방전의 도통경로(15)를 형성하고, 레지스트막(31)을 박리액으로 박리하였다(도 23k). 도통경로(15)는 바닥면이 0.lmm×0.15mm인 관통구멍 이다.

[9] 레지스트막의 형성

얻어진 도통경로(15)를 구비하는 세라믹판(30)의 양면에 상기 공정[7]과 마찬가지로 해서 소정패턴의 레지스트막(32)를 얻었다(도 231).

[10] 배리어 리브 및 격벽의 형성

다음에, 양면 샌드 블러스트법에 의해 레지스트막(32)로 피복되어 있지 않은 부분의 세라믹판(30)을 깎아내어 셀의 주방전용의 공간(100) 및 보조방전용의 공간(200)을 형성하고, 박리액에 의해 레지스트막(32)를 박리하였다. 이것에 의해 앞면기판측의 배리어 리브(11)과 배면기판측의 배리어 리브(16)을 일체로 구성한 배리어 리브(3a) 및 주방전과 보조방전을 격리하는 격벽(13)로 이루어지는 부품이 형성되었다(도 23m).

[11] 형광체층의 형성

이 부품의 앞면기판측에 녹색용, 청색용, 적색용의 소정 패턴의 마스크를 각각 거쳐서 스프레이법(블레이드법 등이라도 좋다)에 의해 녹색, 청색, 적색의 각 형광체를 도포한 후 150℃∼300℃의 온도에서 5분∼60분간 건조시켜서 형광체층(12)를 형성하였다(도 23n). 또한, 칼라표시가 불필요한 경우에는 전체 셀에 동일한 색의 형광체층을 형성하면 좋다.

이상의 [7]∼[11]의 공정에 의해 배리어 리브(3a), 격벽(13) 및 형광체층(12)를 갖는 부품인 격벽기판(3)이 얻어졌다.

D. 조립

[12] 기판 1∼3의 조립

이상과 같이 해서 얻어진 기판(1)∼(3)을 위치맞춤하고 그 주위를 봉지재(프릿유리)를 디스펜서로 도포해서 피복한 후 300℃∼400℃로 열처리해서 봉지재(33)을 고정시켰다(도 23o). 이 때, 앞면기판(1)에 마련한 주방전용 전극(6), (7)의 연장방향과 배면유리판(5)에 마련한 보조방전용 전극(14)의 연장방향이 직교하도록 한다.

[13] 가스의 주입

또한, 배면기판(2)에 마련되어 있는 칩관을 거쳐서 앞면기판(1)과 배면기판(2) 사이의 공기를 흡인해서 진공한 후 5%의 Xe를 포함하는 Ne가스를 35∼70kPa의 내압으로 될 때까지 도입하였다. 그 후, 국부가열에 의해서 칩관을 가열하고 칩오프해서 도 1에 도시한 가스방전형 칼라표시패널을 작성하였다.

E. 결과

이상의 공정[1]∼[13]에 의해 제작한 가스방전형 표시패널에서는 버스전극(62), (72)가 도 1b에 도시한 바와 같은 형상 및 배치로 되어 있으므로, 앞면측에서 볼 때 버스전극(62), (72)가 표시셀(300)을 종횡으로 구획하는 매트릭스로 보이고, 이것에 의해 제어할 수 없는 미광이 방지되어 암상태에서의 휘도를 저하시킬수 있었다. 또, 보조방전의 발광은 격벽(13)에 의해 차광되고 주방전에 의한 발광만이 관찰되게 되므로, 주방전이 발생한 셀과 주방전이 발생하지 않은 셀 사이에 충분한 콘트라스트(100 : 1이상)를 얻을 수 있었다.

또한, 본 실시예에서는 버스전극(62), (72) 및 보조방전용 전극(14)의 재료로서 Cr/Cu/Cr적층막을 사용하고 있지만 Ag, Cu, Cr, Al, Ti, Ni, W, Mo 등 또는 이들 금속의 합금 또는 이들 금속 또는 합금의 적층막을 사용해도 지장은 없다. 또, 버스전극(62), (72) 및 보조방전용 전극(14)는 후막인쇄법이나 진공증착법(전자선증착법, 저항가열증착법), 또는 도금법(무전해도금법, 전해도금법) 등으로 형성해도 좋다. 표시전극(71), (72)를 구성하는 재료도 ITO에 한정되는 것은 아니고 산화주석 등 충분한 도전성을 갖는 투명한 재료이면 좋다. 또 그 형성방법으로서도 스퍼터링법에 한정되지 않고 진공증착법(전자선증착법, 저항가열증착법), 화학기상반응법 또는 졸-겔법 등 적절하게 선택해도 지장은 없다.

유전체층(8)의 형성방법에도 특별한 제한은 없고 스퍼터링법, 화학기상반응법, 졸-겔법, 후막인쇄법 등 적절하게 선택해도 지장은 없다. 또, 본 실시예에서는 보호층으로서 MgO를 사용하고 있지만, 방전가스에 대한 스퍼터링율이 낮고 2차전자방출능이 높은 재료이면 좋으며, MgO 이외에 CaO나 SrO 또는 이들의 혼합물을 사용해도 좋다.

또, 본 실시예에서는 격벽기판(3)의 형성에 샌드블러스트법을 사용하고 있지만, 다른 방법을 사용해도 지장은 없다. 다만, 샌드블러스트법이나 에칭법등은 위치정밀도가 좋으므로 세라믹의 슬러리를 성형해서 소결하는 방법 등보다도 본 발명에 적합하다. 또한, 특히 배면기판측 배리어 리브(16)의 형성시에는 필름패턴을 형성한 후, 유리재료나 세라믹재료를 매립하는 리프트오프법이나 후막인쇄기술도 유효한 형성방법이다.

또한, 본 실시예에서는 방전가스로서 Ne와 Xe의 혼합기체를 사용하고 있지만 이들에 한정되는 것이 아니라 예를 들면 He와 Xe의 혼합기체 등 방선에 의해 형광체를 발광시키는 데에 필요하거나 방사선을 발생시키는 것이면 좋다.

또, 본 실시예에서는 기판(1), (2)의 기재로서 소다유리판(4), (5)를 사용했지만 다른 기재를 사용해도 좋다. 다만, 앞면기판(1)의 기재로서는 투명한 재료를 사용한다.

또한, 본 실시예의 가스방전형 표시장치는 400℃이하의 저온프로세스로 제조할 수 있으므로, 왜곡점이 저렴한 소다유리 등의 유리를 기판으로서 사용할 수 있다. 그러나, 제조프로세스의 온도를 400℃이하로 하는 것을 요구하고 있는 것이 아니라, 제조프로세스의 온도를 400℃이상으로 한 경우에도 본 실시예의 가스방전형 표시장치는 제조할 수 있다.

본 실시예와 같이 버스전극(62), (72)의 구성재료로서 Cr/Cu/Cr과 같은 박막재료를 사용하는 경우에는 앞면유리기판(4)의 Cr/Cu/Cr패턴을 형성하는 장소에 대해서 샌드블러스트 등에 의한 조면화처리를 실시하고, Cr/Cu/Cr의 반사율을 저하시키는 것이 유효하다. 이것은 Cr의 반사율이 높기 때문이다. 반사율이 높은 재료를 버스전극(62)7 (72)에 사용하면 앞면기판(1)측에서 입사하는 광의 반사광이 강해진다. 그래서, 흑색표시상태의 품위를 높일 수 있으므로, 버스전극의 앞면측표면을 조면화하고 입사광을 난반사시키는 것이 바람직하다.

[실시예 2]

본 실시예의 가스방전형 칼라표시패널의 단면을 도 2에 도시한다. 또한, 도 2a는 어드레스전극(14)에 평행이고 기판(1), (2)에 수직인 평면으로 표시패널을 절단한 단면도이다. 또, 도 2b는 도 2a의 A의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 버스전극(62), (72)의 연장방향을 따라서 유리판(4)의 표면에 평행한 평면이다. 또한, 도 2b에 있어서 표시전극(61), (71)은 단면은 아니지만 도면을 보기 쉽게 하기 위해 표면이 울통불통한 모양을 사용해서 표현하였다. 도 2c는 도 2a의 B-B'의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 어드레스전극(14)에 수직으이고 기판(1),(2) 표면에 수직인 평면이다.

도 2c에서 알 수 있는 바와 같이 본 실시예와 실시예1의 상위점은 보조방전용 전극(14)의 한쪽의 전극을 인접하는 표시셀과의 공통전극(143)으로 한 점에 있다. 본 실시예의 표시패널에는 인접하는 2개의 표시셀을 단위로 해서 표시셀의 어드레스선택을 위한 2개의 보조방전용 전극(141)과 보조방전셀열에 걸친 1개의 공통전극(143)이 구비되어 있다. 보조방전용 공통전극(143)의 중앙부 상에는 유전체층(8)과 보호층(9)를 거쳐서 배리어 리브(16)이 마련되고, 인접하는 보조방전셀열의 보조방전공간(200)의 사이를 분리하고 있다.

이 표시패널에서는 보조방전용 비공통전극(141)과 주전극(6)의 사이에 전압을 인가하는 것에 의해 주방전을 일으키는 표시셀이 선택된다.

이와 같이 보조방전용 전극(14)를 구성하는 것에 의해 보조방전용 전극의 수를 현저하게 저감할 수 있다. 이것은 보조방전공간을 작게 할 수 있는 것을 의미하고 있고, 고선명도(高精細)의 표시화면을 실현하는 데 있어서는 유효하게 된다. 또, 공통화된 보조방전용 전극(l43)의 크기를 작게 하는 것에 의해, 공통화되어 있지 않은 보조방전용 전극(14l)의 프라이밍패스(15)와 서로 겹치는 면적을 크게 할 수 있고 위치맞춤이 용이하게 된다. 그 때문에, 본 실시예의 제조 프로세스는 실시예1에 비해서 안정하게 되고 프라이밍패스(15)의 크기도 작게 할수 있으며 콘트라스트를 더욱 높게 할 수 있다.

본 발명은 보조방전용 전극의 구조에 관계없이 적용할 수 있다. 따라서, 실시예1과 보조방전용 전극(14)의 구성만이 다른 본 실시예에 있어서도 실시예1과 마찬가지의 고품위, 고콘트라스트인 표시패널을 얻을 수 있었다.

[실시예 3]

본 실시예의 가스방전형 칼라표시패널의 단면을 도 3에 도시한다. 또한, 도 3a는 어드레스전극(14)에 평행이고 기판(l), (2)에 수직인 평면으로 표시패널을 절단한 단면도이다. 또, 도 3b는 도 3a의 A의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 버스전극(62), (72)의 연장방향에 따라서 유리판(4)의 표면에 평행한 평면이다. 또한, 도 3b에 있어서 표시전극(61), (71)은 단면은 아니지만 도면을 보기 쉽게 하기 위해 표면이 울퉁불퉁한 모양을 사용해서 표현하였다. 도 3c는 3a의 B-B'의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 어드레스전극(14)에 수직이고 기판(1), (2)표면에 수직인 평면이다.

도 3c에서 알 수 있는 바와 같이 본 실시예와 실시예1의 상위점은 보조방전셀열마다 3개의 어드레스전극(143), (141), (l43)을 마련하고 이들 중 양측의 2개 (143)을 인접하는 보조방전셀열과의 공통의 전극으로 한 점이다, 공통전극(143)의 중앙부상에는 유전체층(8)과 MgO로 이루어지는 보호층(9)를 거쳐서 배리어 리브(16)이 마련되고 보조방전셀열의 보조방전 공간(200) 사이를 분리하고 있다.

본 실시예의 표시패널에서는 보조방전은 보조방전용 비공통전극(l41)과 2개의 보조방전용 공통전극(l43) 사이에서 발생하고, 각 표시셀의 선택은 보조방전용 비공통전극(141)과 주방전용 주전극(6) 사이에 전압을 인가하는 것에 의해 실행된다.

본 실시예에서는 각 표시셀에 있어서의 보조방전을 1개의 비공통 어드레스전극(141)과 2개의 공통 어드레스전극(143) 사이의 2개의 전극사이에서 발생시키므로 보조방전공간이 넓어진다. 그 때문에, 하전입자 등을 프라이밍패스(15)를 통과해서 주방전공간(100)으로 확산시키는 것이 용이하게 된다. 또, 보조방전이 2개의 전극 사이에서 발생하므로, 보조방전공간(200)을 형성하는 격벽기판(3)과 배면기판(2) 사이에 약간의 위치어긋남이 발생한 경우에도 각 표시셀에 대응한 보조방전을 발생시킬 수 있고 격벽기판과 배면기판의 조립이 용이하게 된다.

상술한 바와 같이 본 발명은 보조방전용 전극의 구조에 관계없이 적용할수 있다, 따라서, 실시예l과 보조방전용 전극(14)의 구성만이 다른 본 실시예에 있어서도 실시예1과 마찬가지의 고품위, 고콘트라스트인 표시패널을 얻을 수 있었다.

[실시예 4]

본 실시예의 가스방전형 칼라표시패널의 단면을 도 4에 도시한다, 또한, 도 4a는 어드레스전극(141)에 평행이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면으로 표시패널을 절단한 단면도이다. 또, 도 4b는 도 4a의 A의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 버스전극(62), (72)의 연장방향을 따라서 유리판(4)의 표면에 평행한 평면이다. 또한, 도 4b에 있어서 표시전극(61), (71)은 단면은 아니지만 도면을 보기 쉽게 하기 위해 표면이 울퉁불퉁한 모양을 사용해서 표현하였다. 도 4c는 도 4a의 B-B'의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 어드레스전극(141)에 수직이고 기판(1),(2)표면에 수직인 평면이다.

도 4a 및 4c에서 알 수 있는 바와 같이 본 실시예와 실시예1의 상위점은 배면기판(2)의 구조에 있다. 이 이외의 구성이나 제조방법은 실시예1의 경우와 마찬가지이다. 본 실시예의 보조방전용 전극(14)는 어드레스전극(141) 및 이 어드레스전극(141)의 연장방향과 직각인 방향으로 연장된 트리거전극(144)로 이루어진다. 어드레스전극(141)과 트리거전극(144)는 유전체층(8)을 사이에 두고 배치되어 있다.

본 실시예의 표시셀에서는 방전이 발생하는 보조방전공간(200)을 2개의 보조방전용 전극(141), (144)로 전압을 인가하는 것에 의해서 지정하는 것에 의해, 주방전을 발생시키는 표시셀이 선택된다. 보조방전에 의한 하전입자 등을 주방전공간(100)으로 확산시키기 위해서는 주전극(6)과 어드레스전극(141) 사이에 전압을 인가하면 좋다.

상술한 각 실시예1과 보조방전용 전극(14)의 구성만이 다른 본 실시예에 있어서도 버스전극(62), (72)의 블랙스트라이프로서의 작용에 의해 고품위, 고콘트라스트인 표시패널을 얻을 수 있었다.

또한, 실시예1∼3의 표시패널에서는 보조방전에 의한 하전입자를 이동시키기 위한 전압의 인가에 의해 주방전을 발생시키는 표시셀이 선택된다. 그러나, 본 실시예에서는 보조방전용 전극쌍이 연장방향의 교차하는 2개의 보조방전용 전극(141), (144)로 이루어지므로, 전압을 인가하는 보조방전용 전극쌍을 선택하는 것에 의해 보조방전을 발생시키는 보조방전공간(200) 그 자체를 선택할 수 있다. 따라서, 본 실시예의 표시패널에서는 주방전을 발생시키지 않는 표시셀에서는 보조방전이 발생하지 않는다. 또, 본 실시예에서는 어드레스전극(141)과 트리거전극(144)를 다른 층에 형성하고 있으므로, 보조방전용 전극(14)의 존재밀도가 실시예1에 비해서 낮다. 이 때문에 주전극(6)과 대향시키는 어드레스전극(141)의 배치에 대한 자유도가 커지고 어드레스전극(141)과 프라이밍패스(15)의 서로 겹치는 면적을 크게 할 수 있다. 이것에 의해 본 실시예에서는 보조방전에 의한 발광의 표시화질에 대한 영향을 거의 없앨 수 있고 또 보조방전에 의한 하전입자등을 주방전공간(100)으로 확산시키기 위한 전압을 낮게 할 수 있다는 효과가 얻어 진다.

또한, 본 실시예의 표시패널의 제조방법은 배면기판(2)의 제작방법 이외에는 실시 예l과 마찬가지이다. 그러므로, 여기에서는 배면기판(2)의 제작방법만을 도 24를 사용해서 설명한다.

(i) 트리거전극의 형성

우선, 중성세제 등으로 세정한 폭 : 약 90cm, 깊이방향 : 약 65cm, 두께 : 2.8mm의 소다유리판(5)의 표면에 상술한 공정[1]과 마찬가지로 해서 Cr/Cu/Cr적층막을 형성하고, 이 적층막을 공정[1]과 마찬가지의 포토에칭법에 의해 패턴화해서 폭 0.1mm, 두께 0.002mm의 트리거전극(144)를 형성하였다(도 24b). 또한, 트리거 전극(144)의 두께 및 패턴치수는 필요로 되는 저항값에 따라서 정하면 좋다.

(ⅱ) 유전체층의 형성

얻어진 트리거전극(144)를 피복하도록 유리판(5)상에 공정[2]와 마찬가지로 해서 유전체층(8)의 일부 (8c)(두께 : 0.005~0.03mm)를 형성하였다(도 24c).

(ⅲ) 어드레스전극 및 유전체층의 형성

또, 얻어진 유전체층의 일부(8c)의표면에 상술한 공정(ⅰ)과 마찬가지의 방법에 의해 Cr/Cu/Cr적층막으로 이루어지는 어드레스전극(141)을 형성하고(도 24d), 얻어진 어드레스전극(141)을 피복하도록 유전체층(8c)상에 공정(ⅱ)와 마찬가지로 해서 배면기판측 유전체층(8)의 나머지(두께 : 0.005~0.03mm)를 형성하였다(도 24e).

(ⅳ) 보호막의 형성

이상에 의해 유전체층(8)이 형성되었으므로, 그 표면에 공정[3]과 마찬가지로 해서 두께 0.0001~0.005mm의 MgO막(9)를 형성하였다. 또한, 배면기판(2)에는 패널조립 후 실행하는 배기와 가스도입을 위해 칩관(도시하지 않음)을 부착하였다.

이상과 같이 해서 얻어지는 배면기판(2), 실시예1과 마찬가지로 해서 제작한 앞면기판(1)(도 24a) 및 격벽기판(3)(도 24g)를 실시예와 마찬가지로 해서 조립하고(도 24h) 가스를 봉입해서 본 실시예의 표시패널이 얻어졌다.

트리거전극(144)의 재료로서 본 실시예에서는 Cr/Cu/Cr적층막을 사용하고 있지만, 어드레스전극(141)과 마찬가지로 Cr, Cu, Al, Ti, Ni, W 또는 Mo나 이들의 합금 또는 이들의 적층막 등에서 적절하게 선택할 수 있다. 또, 이 트리거전극(144)의 형성방법으로서도 어드레스전극(144)와 마찬가지로 전자선증착법, 도금법, 저항가열증착법, 인쇄법 등을 적절하게 사용할 수 있다.

[실시예 5]

본 실시예의 방전형 칼라표시패널의 단면을 도 5에 도시한다. 또한, 도 5a는 어드레스전극(14)에 평행이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면으로 표시패널을 절단한 단면도이다. 또, 도 5b는 도 5a의 A의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 버스전극(62), (72)의 연장방향을 따라서 유리판(4)의 표면과 평행한 평면이다. 또한, 도 5b에 있어서 표시전극(61), (71) 및 차폐부재(17)은 단면은 아니지만 도면을 보기 쉽게 하기 위해 표면이 울퉁불퉁한 모양을 사용해서 표현하였다. 도 5c는 도 5a의 B-B'의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 어드레스전극(141)에 수직이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면이다.

도 5a 및 5b에서 알 수 있는 바와 같이 본 실시예와 실시예1의 상위점은 주방전용 전극쌍과 주방전용 전극쌍 사이에 차폐부재(17)이 마련되어 있는 점이다. 차폐부재(17)은 표시전극(6), (71)의 연장방향과 동일한 방향으로 연장한 띠형상의 불투명재료로 이루어지는 패턴이다. 이 차폐부재(17)은 격자형상으로 형성된 배리어 리브(11)의 표시전극(61), (71)의 연장방향과 동일한 방향으로 연장된 부재의 상면의 적어도 일부를 앞면기판 상부에서 보아 피복하도록 마련되어있다.

또한, 차폐부재(17)은 본 실시예에서는 버스전극(62), (72)와 동일한 재료로 이루어진다. 이 차폐부재(17)은 상술한 공정[1]에 있어서, Cr/Cu/Cr적층막을 포토에칭할 때에 사용하는 마스크를 변경하는 것에 의해 버스전극(62), (72)의 형성과 동시에 형성할 수 있다. 따라서, 차폐부재(17)을 마련해도 제조공정이 길어지는 일은 없다. 이 이외의 구성이나 제조방법은 실시예1의 경우와 마찬가지이다.

본 실시예에서는 실시예1과 비해서 앞면기판(1)내에서의 불투명재료로 이루어지는 패턴의 점유면적이 넓어져 있고, 앞면기판(1)의 위에서 보아 투명재료를 통해서 보이는 배리어 리브(1l)(본 실시예에서는 백색)의 상면이 거의 차폐부재(17) 및 버스전극(62), (72)로 피복되어 차폐되어 있다. 이 때문에, 본 실시예이 흑색표시상태의 품위는 실시예1에 비해서 높다. 또한, 차폐부재(17)은 표시에 기여하지 않는 배리어 리브(11)과 겹치도록 형성되므로, 이 차폐부재(17)을 마련해도 휘도를 저하시키는 것으로는 되지 않는다. 따라서, 본 실시예에 의한 가스방전형 표시장치의 콘트라스트는 실시예1에 비해서 높아진다.

[실시예 6]

본 실시예의 가스방전형 칼라표시패널의 단면을 도 6에 도시한다. 또한, 도 6a는 어드레스전극(14)에 평행이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면으로 표시패널을 절단한 단면도이다. 또, 도 6b는 도 6a의 A의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 버스전극(62), (l92)의 연장방향을 따라서 유리판(4)의 표면과 평행한 평면이다. 또한, 도 6b에 있어서 표시전극(61), (191)은 단면은 아니지만 도면을 보기 쉽게 하기 위해 표면을 울퉁불퉁한 모양을 사용해서 표현하였다, 도 6c는 도 6a의 B-B'의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 어드레스전극(14)에 수직이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면이다.

도 6에서 알 수 있는 바와 같이 본 실시예와 실시예l의 상위점은 주방전용 전극(6), (19)가 표시셀열 2개마다 3개 구비되고, 이 3개의 주방전용 전극(6), (19) 중 중앙의 1개열 (19)가 2열의 표시셀열에 걸쳐서 구비되어 있는 점이다. 주방선용 공통전극(19)의 버스전극(192)는 양측에 가지형상부재(18b)를 구비한다, 또, 주방전용 비공통전극(6)의 버스전극(62)는 한쪽측에 가지형상부재(18b)를 구비하고 이 가지형상부재(18b)가 마련된 측을 주방전용 공통전극(19)를 향해서 배치하고 있다. 또, 각 공통전극(19)의 버스전극(192)의 띠형상부재(18a)는 배리어 리브(11)의 표시셀열 사이를 구획하는 부재상에 형성되고, 각 버스전극(62), (192)의 가지형상부재(18b)는 표시셀열 내의 각 표시셀을 구획하는 배리어 리브(11)의 부재상에 형성되어 있다.

본 실시예에서는 앞면에서 봤을 때의 불투명재료로 이루어지는 패턴의 점유면적이 실시예1에 비해서 넓음에도 불구하고 표시셀(300)의 면적은 변하지 않았다. 이것은 배리어 리브(11)의 표시셀열에 따른 부재의 상면이 하나 걸러 공통전극(19)의 버스전극(192)의 띠형상전극(18a)에 의해서 피복되어 있기 때문이다. 따라서, 본 실시예의 표시패널에서는 흑색표시상태의 품위가 실시예1에 비해서 높다.

또, 실시예1은 주방전공간(100)의 앞면에서 본 개구부가 버스전극(72)에 의해서 일부 피복되어 있는 데 비해, 본 실시에에서는 주방전용 공통전극(l9)의 버스전극(192)가 배리어 리브(11)상에 위치하고 있으므로, 주방전공간(100)의 앞면에서 본 개구면적이 넓다. 따라서, 본 실시예의 가스방전형 표시패널은 실시예 1보다 휘도가 높다.

이것에 의해 본 실시예의 가스방전형 표시패널 쪽이 실시예1에 비해서 높은 콘트라스트가 얻어진다. 또, 본 실시예의 경우 앞면기판(1)의 전극의 수가 실시예1에 비해서 적고 제조하기 쉽다는 효과도 있다.

또한, 본 실시예에서는 표시전극(191)은 표시셀열에 걸친 공통전극으로 되어 있지만, 표시전극(191)은 반드시 공통전극인 필요는 없고 버스전극(192)가 공통전극이면 충분하다. 또, 본 실시예의 패널에서는 배면기판의 전극구조는 실시예1과 동일하게 되어 있지만, 본 실시예의 효과는 배면기판의 전극구조에 관계없이 얻을 수 있고 실시예2∼4의 구조로 해도 지장은 없다.

또한, 본 실시예의 표시패널은 실시예5의 표시패널에 비해서 흑색표시상태의 품위가 떨어지지만 휘도가 우수하다.

[실시예 7]

본 실시예의 가스방전형 칼라표시패널의 단면을 도 7에 도시한다. 또한, 도 7a는 어드레스전극(14)에 평행이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면으로 표시패널을 절단한 단면도이다. 또, 도 7b는 도 7a의 A의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 버스전극(62), (192)의 연장방향을 따라서 유리판(4)의 표면과 평행한 평면이다. 또한, 도 7b에 있어서 표시전극(61), (191) 및 차페부재(17)은 단면은 아니지만 도면을 보기 쉽게 하기 위해 표면이 울퉁불퉁한 모양을 사용해서 표현하였다. 도 7c는 도 7a의 B-B'의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 어드레스전극(14)에 수직이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면이다.

도 7a 및 7b에서 알 수 있는 바와 같이 본 실시예와 실시예6의 상위점은 주방전용 비공통전극(6)과 인접하는 표시셀의 비공통전극(6) 사이에 차폐부재(17)을 마련하는 것에 의해, 실시예6에서는 앞면에서 보이고 있던 배리어 리브(11)의 상면을 피복한 점에 있다. 그 이외의 구성이나 제조방멉은 실시예6과 마찬가지이다.

본 실시예에서는 앞면에서 보았을 때의 불투명재료로 이루어지는 패턴의 점유면적이 실시예6에 비해서 넓음에도 불구하고 표시셀(300)의 면적은 변화하지 않았다. 이것은 배리어 리브(11)의 표시셀열에 따른 부재의 상면이 모두 버스전극(192)의 띠형상전극(18a) 또는 차폐부재(17)에 의해서 피복되어 있지 때문이다. 따라서, 본 실시예의 표시패널에서는 흑색표시상태의 품위가 실시예6에 비해서 높다. 또, 차폐부재(17)은 주방전공간(100)의 앞면에서 본 개구면적을 좁히지 않으므로, 차폐부재(17)을 마련해도 휘도를 저하시키는 것으로는 되지 않는다. 따라서, 본 실시예의 가스방전형 표시패널의 콘트라스트는 실시예6의 경우에 비해서 높다.

본 실시예의 표시패널을 마찬가지로 차폐부재(17)을 구비하는 실시예5의 표시패널과 비교하면, 앞면에서 본 차폐부재의 점유면적은 동등하지만, 본 실시예에서는 주방전용 공통전극(19)의 버스전극(192)가 배리어 리브(11)상에 위치하고 있으므로, 주방전공간(100)의 앞면측의 개구면적은 본 실시예의 쪽이 넓다. 따라서, 본 실시예의 가스방전형 표시패널 쪽이 실시예5의 패널에 비해서 휘도가 높으므로 콘트라스트도 높다. 또한, 차폐부재(17)은 실시예5와 마찬가지로 버스전극(62), (192)의 형성공정으로 동시에 형성되므로, 본실시예의 제조공정수는 실시예6과 마찬가지이다.

[실시예 8]

본 실시예의 가스방전형 칼라표시패널의 단면을 도 8에 도시한다. 또한, 도 8a는 어드레스전극(14)에 평행이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면으로 표시패널을 절단한 단면도이다. 또, 도 8b는 도 8a의 A의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 버스전극(62), (192)의 연장방향을 따라서 유리판(4)의 표면과 평행한 평면이다. 또한, 도 8b에 있어서 표시전극(61),(191)은 단면은 아니지만 도면을 보기 쉽게 하기 위해 표면이 울퉁불퉁한 모양을 사용해서 표현하였다, 도 8c는 도 8a의 B-B'의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 어드레스전극(14)에 수직이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면이다,

본 실시예와 실시예1의 상위점은 도 8에서 알 수 있는 바와 같이 각 주방전용 전극(6), (19)가 표시셀열마다 3개 구비되고, 이 3개의 주방전용 전극(6), (19) 중 양측의 2개 (19)가 인접하는 표시셀열의 주방전용 전극(19)와 공통으로 되어 있는 점에 있다. 본 실시예에서는 버스전극(62), (192)는 각각 가지형상부재(18b)를 띠형상부재(18a)의 양측에 구비한다. 이 이외의 구성이나 제조방법은 실시예1의 경우와 마찬가지이다.

본 실시예에서는 각 공통전극(19)의 버스전극(192)의 띠형상부재(18a)는 배리어 리브(11)의 표시셀열 간을 구획하는 부재상에 형성되고 각 버스전극(62), (192)의 가지형상부재(18b)는 표시셀열내의 각 표시셀을 구획하는 배리어 리브(11)의 부재상에 형성되어 있다. 또, 각 비공통전극(6)의 전극(62)의 띠형상부재(18a)는 프라이밍패스(15)의 앞면기판측 개구부상을 통하도록 마련되어 있다. 따라서, 앞면에서 보면 배리어 리브(11)의 상면의 거의 전면이 버스전극(62), (192)에 의해서 피복되어 있고, 프라이밍패스(15)의 개구부는 버스전극(62)에 의해서 피복되어 있다.

따라서, 본 실시예의 표시패널은 실시예1∼7의 표시패널의 어떤 것에 비교해도 주방전공간(100)의 앞면기판(l)상에서 본 개구율이 가장 커지고, 주방전공간(100)의 주면의 표시에 기여하지 않는 부분의 거의 전면이 불투명재료에 의해 피복되어 있게 된다. 이 때문에 실시예1∼7에 비해서 본 실시예는 가장 높은 콘트라스트를 얻을 수 있다.

또, 본 실시예에서는 표시셀열을 특징짓는 주전극으로 해서 주방전용 공통전극(6)이 표시셀의 중앙에 배치되고 이 공통전극(6)의 양측에 형성되는 2개의 전극에 의해서 주방전을 실행하고 있다. 따라서, 본 실시예의 구성에 의하면 다음이 (a)∼(c)와 같은 효과도 얻어진다.

(a) 각 표시셀의 주방전공간(100)내에 2조의 전극쌍에 의해 2개의 주방전이 발생하므로, 주방전공간(100)내에 발생하는 자외선이 강해져 방전공간도 넓어진다. 이 때문에, 형광체로부터의 발광량이 많아져 실시예1에 비해서 더욱 휘도나 콘트라스트를 높일 수 있다. 본 실시예에서는 특히 배리어 리브(11)의 측벽에 도포된 형광체(12)로부터의 발광이 표시에 대해서 효과적으로 기여하게 된다.

(b) 본 실시예에서는 프라이밍패스(15)의 개구부가 버스전극(62)에 의해 피복되어 있으므로, 프라이밍패스(15)를 주방전공간(100)이 중앙부에 형성해도 지장은 없고 격벽기판(3)의 구조가 용이하게 된다.

(c) 각 표시셀의 주방전이 2개의 전극쌍 사이에서 발생하므로 주방전공간(100)을 형성하는 격벽기판(13)과 앞면기판(1) 사이에 약간의 위치어긋남이 존재해도 각 표시셀에 대응한 주방전을 발생시킬 수 있어 격벽기판(3)과 앞면기판(1)의 조립이 용이하게 된다.

또한, 실시예6과 마찬가지로 공통전극(19)의 표시전극(191)은 반드시 2개의 셀열에 걸쳐 있을 필요는 없고 버스전극(192)가 공통전극이면 좋다. 또, 실시예1과 마찬가지로 표시전극(61), (191)을 표시셀열을 따라서 연속시킬 필요는 없고, 각 방전셀마다 독립한 전극으로서 형성하고 각각의 표시전극을 버스전극(62), (192)에 의해 접속해도 좋다.

[실시예 9]

본 실시예의 가스방전형 칼라표시패널의 단면을 도 11에 도시한다. 또한, 도 11는 어드레스전극(14)에 평행이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면으로 표시패널을 절단한 단면도이다. 또, 도 11b는 도 1la의 A의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 버스전극(62), (192)의 연장방향을 따라서 유리판(4)의 표면과 평행한 평면이다. 또한, 도 1lb에 있어서 표시전극(61), (191)은 단면은 아니지만 도면을 보기 쉽게 하기 위해 표면이 울퉁불퉁한 모양을 사용해서 표현하였다. 도 11c는 도 1la의 B-B'의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 어드레스전극(l4)에 수직이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면이다.

도 11c에서 알 수 있는 바와 같이 본 실시예와 실시예8은 배면기판(2)에 형성된 보조방전용 전극(14)의 구성만이 다르다. 본 실시예에서는 보조방전용전극(14)가 보조방전셀열 2개마다 3개 구비되고, 이 3개의 보조방전용 전극(14)중 중앙의 1개 (143)이 2열의 보조방전셀열에 걸쳐서 구비되어 있다.

본 실시예의 표시패널에서는 표시셀의 선택은 보조방전용 비공통전극(141)가 주전극(6) 사이에 전압을 인가하는 것에 의해 실행된다. 보조방전용 비공통전극(143)은 표시셀열 중의 각 표시셀의 보조방전공간(200)을 분획하는 배리어 리브(16) 아래에 위치하도록 마련되어 있다,

본 실시예의 경우 보조방전용 전극쌍의 한쪽의 전극을 보조방전셀열 2개 사이에서 공유하고 있으므로, 보조방전용 전극의 수를 저감할 수 있다. 또, 공통화된 보조방전용 전극(143)의 크기를 작게 하는 것에 의해 공통화되어 않은 보조방전용 전극(141)의 프라이밍패스(15)와 서로 겹치는 면적을 크게 할 수 있다. 그 결과, 프라이밍패스(15)의 위치맞춤이 용이하게 된다. 이 때문에, 프라이밍패스(15)의 크기를 작게 할 수 있으므로, 콘트라스트를 더욱 높게 할 수 있고 또 본 실시예의 제조프로세스는 실시예8에 비해서 안정하다.

본 실시예에서 알 수 있는 바와 같이, 실시예8과 마찬가지의 주방전전극구조로 하는 것에 의해 배면기판(2)의 구조에 관계없이 실시예8과 마찬가지의 효과가 얻어진다.

[실시예 10]

본 실시예의 가스방전형 칼라표시패널의 단면을 도 12에 도시한다. 또한, 도 12a는 어드레스전극(14)에 평행이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면으로 표시패널을 절단한 단면도이다, 또, 도 l2b는 도 12a의 A의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 버스전극(62), (192)의 연장방향을 따라서 유리판(4) 표면과 평행한 평면이다. 또한, 도 12b에 있어서 표시전극(61), (191)은 단면은 아니지만 도면을 보기 쉽게 하기 위해 표면이 울퉁불퉁한 모양을 사용해서 표현하였다. 도 12c는 도 12a의 B-B'의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 어드레스전극(14)에 수직이고 기판(1), (2)표면에 수직인 평면이다.

도 12에서 알 수 있는 바와 같이 본 실시예의 표시패널은 실시예8과 마찬가지의 앞면기판(1), 실시예1과 동일한 격벽기판(3) 및 실시예3과 동일한 배면기판(2)가 적층된 구성을 갖고 있다. 본 실시예에 있어서는 실시예8과 동일한 고콘트라스트가 얻어지고 또 실시예3과 동일한 보조방전을 보조방전용 전극쌍 2조 사이에서 발생시키는 것에 따른 효과가 얻어진다.

[실시예 11]

본 실시예의 가스방전형 칼라표시패널의 단면을 도 13에 도시한다. 또한, 도 13a는 어드레스전극(141)에 평행이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면으로 표시패널을 절단한 단면도이다. 또, 도 13b는 도 13a의 A의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 버스전극(62), (192)의 연장방향을 따라서 유리판(4) 표면과 평행한 평면이다, 또한, 도 13b에 있어서 표시전극(61), (191)은 단면은 아니지만 도면을 보기 쉽게 하기 위해 표면이 울퉁불퉁한 모양을 사용해서 표현하였다. 도 13c는 도 13a의 B-B'의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 어드레스전극(141)에 수직이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면이다.

도 12에서 알 수 있는 바와 같이 본 실시예의 표시패널은 실시예8과 마찬가지의 앞면기판(1), 실시예1과 동일한 격벽기판(3) 및 실시예4와 동일한 배면기판(2)가 적층된 구성을 갖고 있다. 본 실시예에 있어서는 실시예8과 마찬가지의 고콘트라스트가 얻어지고, 실시예4와 마찬가지의 보조방전을 교차하는 보조방전용 전극(141), (144)쌍 사이에서 발생시키는 것에 따른 효과가 얻어진다.

[실시예 12]

이상의 실시예1∼11에서는 격벽(13)을 구비하는 가스방전형 표시패널에 본 발명을 적용한 예에 대해서 설명했지만, 본 발명은 본 실시예와 같이 격벽(13)을 구비하고 있지 않은 가스방전형 표시패널에도 적용할 수 있다.

본 실시예의 가스방전형 칼라표시패널의 단면도를 도 14a∼14c에 도시한다. 도 14a는 어드레스전극(14)에 평행이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면으로 표시패널을 절단한 단면도이다. 또, 도 14b는 도 14a의 A의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 어드레스전극(14)에 수직이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면이다. 도 14c는 도 14a의 B의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 어드레스전극(l4)에 수직이고 기판(1), (2)표면에 수직인 평면이다. 또한, 도 14a∼14c에서는 단면만을 도시하고 화면안쪽에 보이는 구성의 도시는 생략하였다.

도 14b 및 14c에 도시한 바와 같이 양기판(1), (2) 사이는 표시전극(61), (7l)의 조마다 표시셀(300)이 형성되고 양기판(1), (2)와 배리어 리브(3a)에 의해 방전공간(3f)가 형성된다. 이 표시셀의 내부에는 형광체층(12)가 형성되어 있다. 또, 셀내의 공간(3f)에는 방전가스가 봉입되어 있다. 본 실시예의 표시패널에서는 도 22에 도시한 것과 마찬가지로 배리어 리브(3a)는 평행한 막대기 형상을 하고 있고, 보조방전셀열의 각 표시셀의 방전공간(3f)는 배리어 리브(3a)에 의해 구획되어 있지 않다.

또, 본 실시예의 표시패널의 버스전극(62), (72)는 도 14b에서 알 수 있는 바와 같이 실시예1의 버스전극(62), (72)와 마찬가지의 형상을 하고 있고, 실시예1과 마찬가지로 표시셀(300)의 틀을 구성하고 있다. 따라서, 이 틀에 의해 표시의 번짐이나 혼색이 억제되어 도 10에 도시한 종래의 표시패널에 비해서 흑색표시상태의 품위가 높으므로, 높은 콘크라스트가 얻어졌다. 또, 저항이 낮은 버스전극(62), (72)의 가지형상부재(18b)를 배리어 리브(3a)상에서 대향전극을 향해서 연장시키는 것에 의해, 표시전극(6), (7) 전체의 저항값을 낮게 할 수 있다는 효과가 얻어진다.

또한, 본 실시예의 표시패널은 격벽기판(3)을 구비하고 있지 않다. 그리하여, 본 실시예의 표시패널의 제조방법을 다음에 설명한다.

우선, 중성세제 등을 사용해서 세정한 소다라임유리 등으로 이루어지는 배면유리기판(5)상에 후막인쇄법에 의해 은페이스트를 사용해서 소정 패턴을 인쇄하고, 100~150℃의 온도에서 건조시킨 후 500~600℃의 온도에서 소성하는 것에 의해 어드레스전극(14)를 형성하였다.

이 기판상에 후막인쇄법에 의해 배리어 리브형성용 페이스트를 소정 패턴에 인쇄하고, 100∼150℃의 온도에서 건조시켰다. 배리어 리브(3a)는 두꺼운 것이 요구되므로, 이 배리어 리브형성용 페이스트의 인쇄와 건조는 여러회 반복한 후 500∼600℃의 온도에서 소성하는 것에 의해 배리어 리브(3a)를형성하였다.

또, 배리어 리브(3a)에 의해 형성된 각 방전셀의 내벽을 구성하는 배리어 리브 측면, 유리판(5)의 표면 및 어드레스전극(14)의 표면에 적색, 청색 또는 녹색의 형광체용 페이스트를 후막인쇄법을 사용해서 인쇄하고, 100∼l50℃의 온도에서의 건조 후 500∼600℃에서 소성해서 형광체층(12)를 형성하였다,

마지막으로 이상에 의해 제작된 배리어 리브(3a)와 형광체층(12)를 마련한 배면기판(2) 및 실시예1과 마찬가지로 제작한 앞면기판을 위치맞춤해서 대향시키고, 실시예1의 조립공정과 마찬가지로 해서 가스를 봉입하였다.

또한, 본 실시예에서는 어드레스전극(14)를 후막인쇄법에 의해 형성하고 있지만1 실시예1∼11에 도시한 바와 같이 스퍼터링법이나 전자선증착법 등의 진공증착빕에 의해 형성해도 좋다. 어드레스전극(14)의 재료도 구리나 알루미늄 또는 이들을 크롬이나 티타늄, 니켈, 텅스텐, 몰리브덴 등의 고융점금속 사이에 위치시킨 것으로 해도 지장이 없다. 또, 배리어 리브(3a)를 후막페이스트의 인쇄와 건조, 소성의 반복에 의해 제작하고 있지만, 후막페이스트를 전면에 두껍게 도포하고 그 위에 감광성수지로 이루어지는 소정패턴의 레지스트막을 형성하고 샌드 블러스트 등에 의해 불필요한 영역을 제거해서 형성해도 좋으며 또 레지스트막을 형성한 후 배리어 리브용 페이스트를 매립해도 지장없다. 또, 형광체층(12)의 형성도 후막인쇄법에 한정되는 것이 아니라 스프레이법 등을 사용해도 지장없다.

[실시예 13]

본 실시예의 가스방전형 칼라표시패널의 단면도를 도 15a∼15c에 도시한다. 또한, 도 15a는 어드레스전극(14)에 평행이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면으로 본 실시예의 표시패널의 일부를 절단한 단면도이다. 또, 도 15b는 도 15a의 A의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 어드레스전극(14)에 수직이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면이다. 또한, 도 15b에 있어서 표시전극(61), (191) 및 차폐부재(17)은 단면은 아니지만, 도면을 보기 쉽게 하기 위해 표면이 울퉁불퉁한 모양을 사용해서 표현하였다. 도 l5c는 도 15a의 B의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 어드레스전극(14)에 수직이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면이다. 또한, 도 15a∼도 15c에서는 단면만을 도시하고 화면 안쪽에 보이는 구성의 도시는 생략하였다.

본 실시예의 표시패널은 실시예5와 마찬가지의 차폐부재(17)을 구비하는 점만이 실시예12와 다르다. 본 실시예에 있어서도 실시예5와 마찬가기로 차폐부재(17)을 구비하는 것에 의한 휘도를 저하시키는 일 없이 흑색표시상태의 품위를 향상시킨다는 효과가 얻어졌다.

[실시예 14]

본 실시예의 가스방전형 칼라표시패널의 단면도를 도 16a∼도 16c에 도시한다. 도 16a은 어드레스전극(14)에 평행이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면으로 본 실시예의 표시패널의 일부를 절단한 경우의 단면도이다. 또, 도 16b는 도 16a의 A의 위치에서 단면도로서, 그의 절단면은 어드레스전극(14)에 수직이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면이다. 또한, 도 16a∼도 16c에서는 단면만을 도시하고 양면안쪽에 보이는 구성의 도시는 생략하였다.

본 실시예의 표시패널은 주방전용 전극의 구성이 실시예6과 마찬가지로 되어 있는 점만이 실시예12와 다르다. 본 실시예에 있어서도 실시예6과 마찬가지로 공통전극(19)의 버스전극(192)가 배리어 리브(3a)상면을 피복하는 것에 의한 흑색표시상태의 품위 및 휘도의 향상이라는 효과가 얻어졌다.

[실시예 15]

본 실시예의 가스방전형 칼라표시패널의 단면도를 도 17a∼도 17c에 도시한다. 도 l7a는 어드레스전극(14)에 평행이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면으로 본 실시예의 표시패널의 일부를 절단한 경우의 단면도이다. 또, 도 17b는 도 l7a의 A의 위치에서 단면도로서, 그의 절단면은 어드레스전극(14)에 수직이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면이다. 또한, 도 17b에 있어서 표시전극(61), (191) 및 차폐부재(17)은 단면은 아니지만, 도면을 보기 쉽게 하기 위해 표면이 울퉁불퉁한 모양을 사용해서 표현하였다. 도 17c는 도 17a의 B의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 어드레스전극(14)에 수직이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면이다. 또한, 도 17a∼도 17c에서는 단면만을 도시하고 화면 안쪽에 보이는 구성의 도시는 생략하였다.

본 실시예의 표시패널은 앞면기판(1)이 실시예7과 마찬가지의 공통전극(19)와 차폐부재(17)을 구비하는 점이 실시예12의 표시패널과 다르다. 본 실시예에 있어서도 실시예7과 마찬가지로 차폐부재(17)을 구비하는 것에 의한 휘도를 저하시키는 일 없이 흑색표시장태의 품위를 향상시키는 효과 및 주방전전극쌍의 한쪽의 전극(19)를 공통전극으로 하고 이 전극(19)의 버스전극(19)에서 배리어 리브(3a)의 상면을 피복하는 것에 의한 흑색표시상태의 품위 및 휘도의 향상이라는 효과가 얻어졌다.

[실시예 16]

본 실시예의 가스방전형 칼라표시패널의 단면도를 도 18a∼도 18c에 도시한다. 도 18a은 어드레스전극(14)에 평행이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면으로 본 실시예의 표시패널의 일부를 절단한 경우의 단면도이다. 또, 도 18b는 도 l8a의 A의 위치에서 단면도로서, 그의 절단면은 어드레스전극(14)에 수직이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면이다. 도 18c는 도 18b의 B의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 어드레스전극(14)에 수직이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면이다. 또한, 도 18a∼도 18c에서는 단면만을 도시하고 양면안쪽에 보이는 구성의 도시는 생략하였다.

본 실시예의 표시패널은 앞면기판(1)이 실시예8과 마찬가지의 표시셀열마다 2개의 공통전극(19)와 1개의 비공통전극(6)을 구비하는 점이 실시예12의 표시패널과 다르다. 본 실시예에 있어서도 2조의 주방전전극쌍에 의해 주방전을 발생시키는 것에 의한 발광량의 증대, 방전공간(3f)의 개구율의 증대 및 제조프로세스의 안정, 공통전극(19)의 버스전극(192)에서 배리어 리브(3a)의 상면을 피복하는 것에 의한 흑색표시상태의 품위 및 휘도의 향상 등의 콘트라스트를 높이는 효과 이외에 하나의 방전셀열에 2조의 주방전전극쌍을 구비하는 것에 의한 제조프로세스의 안정이라는 효과도 얻어졌다.

[실시 예17]

본 실시예의 가스방전 칼라표시패널의 단면을 도 19에 도시한다. 또한, 도 19a는 어드레스전극(14)에 평행이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면으로 표시패널을 절단한 단면도이다. 또, 도 19b는 도 19a의 A의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 버스전극(6), (192)의 연장방향을 따라서 유리판(4)의 표면과 평행한 평면이다. 또한, 도 19b에 있어서 표시전극(61), (191)은 단면은 아니지만, 도면을 보기 쉽게 하기 위해 빗금을 쳐서 표현하였다. 도 19c는 도 19a의 B-B'의 위치에서의 단면도로서, 그의 절단면은 어드레스전극(14)에 수직이고 기판(1), (2) 표면에 수직인 평면이다.

도 19에서 알 수 있는 바와 같이 본 실시예와 실시예10의 상위점은 표시전극(투명전극)(61), (191)과 버스전극(62), (192)의 적층순서가 반대로 되어 있는점에 있다. 즉, 실시예10의 앞면기판(1)은 유리판(4), 표시전극(61), (191), 버스전극(62), (192), 유전체층(8), 보호막(9)의 순서로 적층되어 있는 것에 대해, 본 실시예의 앞면기판(l)은 유리판(4), 버스전극(62), (192), 표시전극(61), (191), 유전체층(8), 보호막(9)의 순서로 적층되어 있다.

본 실시예에 있어서의 앞면기판(1)의 단면을 도 20a에 도시한다. 다만, 도 20a에서는 유전체층(8) 및 보호막(9)의 도시는 생략하였다. 본 실시예의 버스전극(62), (192)는 유리판(4)의 표면에 직접 형성되고, 실시예10과 마찬가지로 제1 고융점금속층(621), (1921), 저저항금속층(622), (1922) 및 제2 고융점금속층(623), (1923)을 이 순서로 적층시킨 적층막으로 이루어진다. 또한, 본 실시예에서는 제1 고융점금속층(621), (1921) 및 제2 고융점금속층(623), (1923)은 Cr로 이루어지고, 저저항금속층(622), (1922)는 Cu로 이루어진다.

버스전극(62), (72)에 표시패널 앞면을 표시셀(300)으로 구획하는 블랙매트릭스(블랙마스크)로서의 작용을 갖게 하는 경우, 앞면기판(1)측으로부터의 입사광의 버스전극 표면에서의 반사를 작게 하는 것이 흑색표시상태에서의 고품위향상을 위해 바람직하다. 그래서, 본 실시예에서는 제1 고융점금속층(62l), (1921)의 유리판(4)측의 표면을 상기 고융점금속의 산화막으로 피복하고 있다. 이것에 의해 버스전극(62), (192) 표면의 금속광택이 손실하므로, 반사가 억제되어 표시화면의 품질이 향상한다.

또한, 표시전극(투명전극)(61), (71)을 구성하는 박막층에 비해서 버스전극(62), (72)를 구성하는 박막층의 막두께가 큰 경우, 버스전극 패턴(62), (72)에 대한 투명전극 패턴(61), (71)의 피복성이 양호하지 않아 단끊김이 발생하거나 큰저항이 발생하는 경우가 있다. 이와 같은 경우에는 유리판(4), 표시전극(61), (191), 버스전극(62), (192)를 실시예10과 마찬가지로 이러한 순서로 적층하지 않으면 안된다. 그래서, 도 20b에 도시한 바와 같이 유리판(4)와 표시전극(61), (191) 사이에 고융점 금속산화물로 이루어지는 차폐막(620), (720)을 형성하고 이차페막(620), (720)에 의해 버스전극(62), (192)의 앞면을 피복하도록 해도 좋다. 여기에서, 차페막(620), (720)의 막두께는 앞면용 유리판(4)의 굴절율과 판두께, ITO막(61), (l91)의 굴절율과 막두께, 고융점 금속의 굴절율, 고융점 금속 산화막의 굴절율에 따라서 반사율이 작아지도록 정하면 좋다.

본 실시예의 표시패널은 실시예1에서 설명한 제조공정과 전극의 패턴뿐만 아니라 앞면기판(1)의 전극형성공정(공정[1])의 프로세스가 다르다. 그래서, 다음에 앞면기판(1)의 전극형성공정을 도 21을 사용해서 설명한다.

우선, 중성세제 등을 사용해서 세정한 소다라임유리판(4)(폭 : 약 85cm, 깊이방향 : 약 70cm, 두께 : 약 2.8mm)의 표리 중 한쪽면에 스퍼터링법(전자선증착법 등 다른 성막법이라도 좋다)에 의해 산화크롬막 및 크롬막(7210), 구리막(7220), 크롬막(7230)을 이러한 순서로 성막하였다. 이것에 의해 유리판(4)와의 계면이 산화막으로 되어 있는 Cr/Cu/Cr적층막(21)이 형성되었다(도 21a). 또한, 최상층의 산화크롬막은 기판 앞면측에서 보아 반사율이 작아지도록 막두께를 정하는 것이 바람직하다. 이 적층막(2l)을 실시예1의 공정[1]에서 사용한 방법과 마찬가지의 포토에칭법에 의해 패턴화하고 유리판(4)의 표면에 버스전극(62), (192)를 형성하였다(도 21b).

다음에, 스퍼터링법(전자선증착법 등 다른 성막법아라도 좋다)에 의해 유리판(4)의 표면에 버스전극(62), (192)를 피복하도록 ITO막(산화주석SnO₂)막 등 다른 투명도전막이라도 좋다)(22)를 형성하였다(도 21c). 이 ITO막(22)를 실시예1의 공정[1]에서 사용한 방법과 마찬가지의 포토에칭법에 의해 패던화하고 유리판(4)의 표면에 버스전극(62), (192)를 피복하도록 표시전극(61), (191)을 형성하였다(도 21d).

이것에 의해, 유리판(4)의 표면에 주방전용 전극이 형성되었므로, 이 전극을 피복하도록 유리판(4)의 표면에 실시예1과 마찬가지로 해서 유전층(8) 및 보호막(9)를 형성해서 본 실시예의 앞면기판(1)을 제작하였다.

본 실시예에서는 버스전극(62), (192)를 표시전극(61), (191)을 형성하기 전에 형성하므로, 버스전극(62), (192)의 상면(기판 앞면측의 바닥면)에 고융점금속산화막을 용이하게 형성할 수 있다.

[실시예 18]

본 발명을 적용한 가스방전형 표시패널을 사용한 디스플레이유닛의 블럭구성도를 도 26에 도시한다. 도면에 있어서 (1100)은 어드레스드라이버를, (1200)은 스캔드라이버를, (1300)은 펄스발생기를, (1400)은 레벨시프터를, (l500)은 컨트롤유닛을, (1600)은 오토파워 제어회로를, (1700)은 DC/DC컨버터를 나타낸다. 본 실시예에서는 어드레스드라이버(1100)과 스캔드라이버(1200)에 의해 표시셀의 선택을 실행하고, 펄스발생기(1300)에서 발생한 전압에 의해 표시를 위한 주방전을 발생시킨다. 이들의 제어는 제어회로에 의해 실행된다. 제어회로(1500)에서 스캔드라이버(1200)으로의 제어신호의 전송은 레벨시프터(1400)을 거쳐서 실행된다. 오토파워 제어회로는 고압전원전류를 검출해서 규정값을 초과한 경우에 유지방전펄스의 수가 감소된 신호를 제어회로(1500)으로 송출하는 것이고, DC/DC컨버터(1700)은 외부회로에서 공급되는 전압에서 구동회로용의 내부전압을 발생시키는 것이다.

본 실시예에서 설명한 디스플레이유닛에서는 표시화질의 콘트라스트를 높일 수 있는 본 발명에 의한 가스방전형 표시패널(1000)을 사용하고 있으므로, 콘트라스트가 높은 선명한 화상이 얻어진다는 효과가 있다.

본 발명에 의한 가스방전형 표시패널에서는 표시셀 주면의 표시를 제어할수 없는 부분을 버스전극 등의 불투명재료로 이루어지는 패턴에 의해 피복할 수 있으므로, 흑색표시상태의 품위를 높일 수 있다. 또, 버스전극이나 불투명재료로 이루어지는 패턴을 앞면기판측에서 보아 배리어 리브와 겹치도록 배치하는 것에 의해, 표시화면의 개구율을 높일 수 있고 표시에 유효한 형광체에서 발사된 광을 효율좋게 앞면기판을 통해서 외부로 방출시킬 수 있으므로, 휘도를 높일수 있다. 이와 같이 본 발명에 의하면 콘트라스트가 높은 가스방전형 표시패널을 제공할 수 있다는 효과가 얻어진다.

이상 기술한 바와 같이, 가스방전형 표시패널에 있어서 종래의 버스전극은 본 발명에 있어서의 띠형상부분으로만 구성되어 있었지만, 본 발명에서는 가지형상부분을 갖고 있어 이 가지형상부분이 어드레스전극이 연장하는 방향으로 배열된 표시셀간의 셀분리영역에 마련되어 있다. 셀분리가 배리어 리브에 의해 실행되고 있으면 가지형상부분은 이 배리어 리브상에 존재하게 된다. 이것에 의해 각 표시셀이 불투명한 버스전극으로 둘러싸이는 것에 의해서, 색의 번짐이나 혼색의 방지가 가능하게 되고 또 버스전극의 저저항화가 가능하게 된다, 이결과, 개구율을 크게 할 수 있으므로 휘도가 높아지고 암상태에서의 휘도를 저하시킬 수 있으므로 콘트라스트가 높아진다.

Claims (26)

1. 주방전을 발생하기 위한 주방전 전극군을 갖는 앞면기판;

   상기 앞면기판과 일정 간격을 유지해서 배열되고 또한 상기 앞면기판에 대향해서 배치되고, 발광시키는 표시셀을 선택하기 위한 보조방전용 전극군을 갖는 배면기판;

   상기 앞면 기판과 상기 배면기판 사이의 간극을 표시셀로 분획하는 배리어 리브 및;

   상기 주방전이 실행되는 공간의 내벽상의 표시셀에 형성된 형광체층을 구비하고,

   상기 주방전용 전극군은 서로 동일방향으로 연장하는 여러개의 주방전용전극을 갖고,

   상기 주방전용 전극은 투명재료로 이루어지고 상기 앞면기판의 주표면과 평행하게 연장된 띠형상전극인 표시전극 및 상기 표시전극마다 마련되고 표리 중 한쪽면이 상기 표시전극과 접하는 버스전극을 포함하고,

   상기 버스전극은 불투명한 도전재료로 이루어지고, 상기 앞면기판의 앞면쪽 외측에서 보았을 때 상기 표시셀을 개별적으로 구분할 수 있고 또한 인접하는 상기 표시셀열이 상기 표시전극의 방향을 따라 연장하도록 배치되어 있고,

   상기 버스전극은 각각 상기 표시전극의 연장방향으로 연장하는 띠형상부재와 이 띠형상부재에서 연장하는 여러개의 가지형상부재를 갖는 것을 특징으로하는 가스방전형 표시패널.
2. 제1항에 있어서,

   상기 가스방전형 표시패널의 상기 앞면기판측에서 보았을 때, 상기 띠형상 부재는 상기표시전극의 연장방향에 따른 표시셀열 사이를 서로 구획하고 상기 가지형상부재는 상기 표시셀열의 상기 표시전극의 연장방향으로 서로 인접해 있는 표시셀 사이를 구획하도록 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시패널.
3. 제1항에 있어서,

   상기 배리어 리브는 상기 표시전극의 연장방향에 따른 표시셀열에 속하는 각 표시셀을 개별적으로 구분할 수 있는 제1 부재를 갖고,

   상기 버스전극의 가지형상부재는 상기 가스방전형 표시패널의 상기 앞면기판측에서 보았을 때, 상기 배리어 리브의 상기 제1 부재의 상기 앞면기판측의 바닥면과 적어도 일부가 중첩되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시패널.
4. 제1항에 있어서,

   상기 배리어 리브는 상기 표시전극의 연장방향에 따른 표시셀열과 인접하는 표시셀열을 개별적으로 구분할 수 있는 제1 부재를 갖고,

   상기 버스전극의 띠형상부재는 상기 가스방전형 표시패널의 상기 앞면기판측에서 보았을 때, 상기 배리어 리브의 상기 제1 부재의 상기 앞면기판측의 바닥면과 적어도 일부가 중첩되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시패널.
5. 제1항에 있어서,

   상기 배리어 리브는 상기 표시전극의 연장방향에 따른 표시셀열과 인접하는 표시셀열을 개별적으로 구분할 수 있는 제1 부재를 갖고,

   상기 앞면기판은 상기 주표면에 대해 평행하게 배치되고 불투명재료로 이루어지며 상기 표시전극의 연장방향으로 연장하는 여러개의 차폐부재를 더 갖고,

   상기 차폐부재는 상기 가스방전형 표시패널의 상기 앞면기판측에서 보았을 때, 상기 배리어 리브의 상기 제1 부재의 상기 앞면기판측의 바닥면과 적어도 일부가 중첩되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시패널.
6. 제6항에 있어서,

   상기 차폐부재는 상기 버스전극과 동일 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시패널.
7. 제1항에 있어서,

   상기 각 방전셀내의 공간을 상기 앞면기판측의 주방전용 공간과 상기 배면기판측의 보조방전용 공간으로 분리하는 방전공간 분리용 격벽을 더 구비하고,

   상기 방전공간 분리용 격벽은 상기 주방전용 공간과 상기 보조방전용 공간 사이를 연통시키기 위한 도통경로를 갖는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시패널,
8. 제8항에 있어서,

   상기 버스전극은 상기 가스방전형 표시패널의 상기 앞면기판측에서 보았을 때 상기 도통경로의 상기 앞면기판측의 개구부를 피복하는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시패널.
9. 제1항에 있어서,

   상기 주방전용 전극은 상기 표시전극의 연장방향에 따른 상기 표시셀의 각 열마다 2개 마련되고,

   상기 버스전극의 가지형상부재는 상기 버스전극의 띠형상부재의 한쪽측에 마련되고,

   1개의 표시셀열에 대응하는 상기 2개의 주방전용 전극의 버스전극은 상기 가지형상부재가 마련된 측이 서로 내측을 향해 마련되도록 서로 대향해서 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시패널.
10. 제1항에 있어서,

    상기 주방전용 전극은 상기 표시전극의 연장방향에 따른 상기 인접하는 표시셀열 2개마다 3개 마련되고,

    상기 3개의 주방전용 전극 중 중앙의 주방전용 전극은 상기 인접하는 2열의 표시셀열에 걸쳐서 연장하도록 마련되는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시패널.
11. 제11항에 있어서,

    상기 3개의 주방전용 전극 중 중앙의 주방전용 전극의 버스전극은 양측에 가지형상부재를 갖고, 다른 주방전용 전극의 버스전극은 한쪽측에 가지형상부재를 갖고,

    상기 다른 주방전용 전극의 버스전극은 상기 가지형상부재가 마련된 측이 상기 중앙의 주방전용 전극을 향하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시패널.
12. 제1항에 있어서,

    상기 주방전용 전극은 상기 표시전극의 연장방향에 따른 상기 표시셀열마다 마련되고,

    상기 각 주방전용 전극은 인접하는 2열의 상기 표시셀열에 걸쳐서 연장하도록 마련되는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시패널.
13. 제10항에 있어서,

    상기 배리어 리브는 상기 표시전극의 연장방향에 따른 표시셀열의 표시셀과 인접하는 표시셀열을 개별적으로 구분할 수 있는 제1 부재를 갖고,

    상기 인접하는 2열의 상기 표시셀열에 걸쳐서 연장하는 상기 주방전용 전극의 상기 버스전극의 띠형상부재는 상기 가스방전형 표시패널의 상기 앞면기판측에서 보았을 때 상기 배리어 리브의 상기 제1 부재의 상기 앞면기판측의 바닥면과 적어도 일부가 중첩되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시패널.
14. 제1항에 있어서,

    상기 주방전용 전극은 상기 표시셀열마다 3개 마련되고,

    상기 3개의 주방전용 전극 중 양측에 있는 2개의 전극은 상기 인접하는 표시셀열의 주방전용 전극과 공통전극으로서 배치되는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시패널.
15. 제11항에 있어서,

    상기 버스전극의 가지형상부재는 상기 버스전극의 띠형상부재의 양측에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시패널.
16. 제14항에 있어서,

    각 방전셀내의 공간을 상기 앞면기판측의 주방전용 공간과 상기 배면기판측의 보조방전용 공간으로 분리하는 방전공간 분리용 격벽을 더 구비하고,

    상기 방전공간 분리용 격벽은 상기 주방전용 공간과 상기 보조방전용 공간 사이를 연통시키기 위한 도통경로를 갖고,

    상기 배리어 리브는 상기 표시전극의 연장방향에 따른 표시셀열과 인접하는 표시셀열을 개별적으로 구분할 수 있는 제1 부재를 갖고,

    상기 3개의 주방전용 전극중 양측의 주방전용 전극의 버스전극의 상기 띠형상부재는 상기 가스방전형 표시패널의 상기 앞면기판측에서 보았을 때, 상기 배리어 리브의 상기 제1 부재의 상기 앞면기판측의 바닥면과 적어도 일부가 중첩되도록 배치되고,

    상기 3개의 주방전용 전극중 중앙의 주방전용 전극의 버스전극의 상기 띠형상부재는 상기 가스방전형 표시패널의 상기 앞면기판측에서 보았을 때, 상기 도통경로의 상기 앞면기판측의 개구부를 피복하는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시패널.
17. 제1항에 있어서,

    상기 버스전극은 제1 고융점금속막, 구리 또는 알루미늄막 및 제2 고융점 금속막을 이러한 순으로 적층하는 것에 의해 얻어지는 복합막을 포함하고,

    상기 제1 고융점금속 및 상기 제2 고융점금속은 각각 크롬, 티타늄, 니겔, 텅스텐 및 몰리브덴 중의 1종류의 금속 또는 상기 금속의 합금인 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시패널.
18. 제17항에 있어서,

    상기 버스전극의 표리중 상기 앞면기판의 외부에 면한 측의 표면은 상기 제1 또는 제2 고융점금속의 산화막을 갖는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시패널.
19. 제1항에 있어서,

    상기 버스전극은 표면이 조면화된 투명한 절연재료의 표면상에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시패널.
20. 제1항에 있어서,

    상기 앞면기판은 적어도 투명재료로 이루어지는 기재, 상기 버스전극, 상기 표시전극 및 유전체층이 이러한 순으로 적층되어 있는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시패널.
21. 주방전용 전극군을 갖는 앞면기판을 형성하는 공정;

    발광시키는 표시셀을 선택하기 위한 보조방전용 전극군을 갖는 배면기판을 형성하는 공정;

    상기 앞면기판과 상기 배면기판의 간극을 표시셀로 분획하는 배리어 리브를 형성하는 공정;

    상기 주방전이 실행되는 공간의 내벽에 형광체층을 형성하는 공정 및;

    상기 앞면기판과 상기 배면기판을 조립하는 공갗을 구비하는 가스방전형 표시패널의 제조방법에 있어서,

    상기 앞면기판을 형성하는 공정은 투명재료로 이루어지는 기재, 띠형상 부분과 가지형상 부분을 갖는 버스전극, 표시전극 및 유전체층을 이러한 순으로 적층하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시패널의 제조방법.
22. 주방전용 전극군을 갖는 앞면기판;

    상기 앞면기판과 일정 간격을 유지해서 배열됨과 동시에 상기 앞면기판에 대향하여 배치되고, 발광시키는 표시셀을 선택하기 위한 보조방전용 전극군을 갖는 배면기판 및;

    상기 주방전이 실행되는 공간의 내벽에 형성된 형광체층을 구비하는 가스방전형 표시패널에 있어서,

    상기 주방전용 전극은 불투명재료로 이루어지는 버스전극을 포함하고,

    상기 버스전극은 상가 가스방전형 표시패널의 상기 앞면기판측에서 보았을 때, 각 표시셀의 주위를 적어도 부분적으로 둘러싸는 틀을 구성하고 있는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시패널
23. 디스플레이패널, 어드레스드라이버, 스캔드라이버, X-서스테인/펄스발생기 및 Y-서스테인/펄스 발생기를 구비하는 디스플레이유닛에 있어서,

    상기 디스플레이패널은

    주방전을 발생하기 위한 주방전 전극군을 갖는 앞면기판; 상기 앞면기판과 일정 간격을 유지해서 배열되고 또한 상기 앞면기판에 대향해서 배치되고, 발광시키는 표시셀을 선택하기 위한 보조방전용 전극군을 갖는 배면기판; 상기 앞면 기판과 상기 배면기판 사이의 간극을 표시셀로 분획하는 배리어 리브 및; 상기 주방전이 실행되는 공간의 내벽상의 표시셀에 형성된 형광체층을 구비하고,

    상기 주방전용 전극군이 서로 동일방향으로 연장하는 여러개의 주방전용 전극을 갖고,

    상기 주방전용 전극이 투명재료로 이루어지고 상기 앞면기판의 주표면과 평행하게 연장된 띠형상전극인 표시전극 및 상기 표시전극마다 마련되고 표리중 한쪽면이 상기 표시전극과 접하는 버스전극을 포함하고,

    상기 버스전극이 불투명한 도전재료로 이루어지고 상기 앞면기판의 앞면쪽 외측에서 보았을 때 상기 표시셀을 개별적으로 구분할 수 있고 또한 인접하는 상기 표시셀열이 상기 표시전극의 방향을 따라 연장하도록 배치되어 있고,

    상기 버스전극이 각각 상기 표시전극의 연장방향으로 연장하는 띠형상 부재와 이 띠형상부재에서 연장하는 여러개의 가지형상부재를 갖는 가스방전형 표시패널인 것을 특징으로 하는 디스플레이유닛.
24. 제14항에 있어서,

    상기 방전셀열의 각 방전셀내의 공간을 상기 앞면기판측의 주방전용 공간과 상기 배면기판측의 보조방전용 공간으로 분리하는 방전공간 분리용 격벽을 더구비하고,

    상기 방전공간 분리용 격벽은 상기 주방전용 공간과 상기 보조방전용 공간 사이를 연통시키기 위한 도통경로를 갖는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시패널.
25. 주방전을 발생하기 위한 주방전용 전극군을 갖는 앞면기판;

    상기 앞면기판과 일정 간격을 유지해서 배열됨과 동시에 상기 앞면기판에 대향하여 배치되고, 발광시키는 표시셀을 선택하기 위한 보조방전용 전극군을 갖는 배면기판;

    상기 앞면기판과 상기 배면기판의 간극을 분획하는 배리어리브 및;

    상기 주방전이 실행되는 공간의 내벽에 있어서의 표시셀에 형성된 형광체층을 구비하는 가스방전형 표시패널에 있어서,

    상기 주방전용 전극군은 서로 동일방향으로 연장하는 여러개의 주방전용 전극을 갖고,

    상기 주방전용 전극은 투명재료로 이루어지고 상기 앞면기판의 주표면과 평행하게 연장하는 띠형상전극인 표시전극 및 상기 표시전극마다 마련되고 표리중 한쪽면이 상기 표시전극과 접하는 버스전극을 포함하고,

    상기 버스전극은 불투명한 도전재료로 이루어지고, 상기 앞면기판의 앞면쪽 외측에서 보았을 때 상기 표시셀을 개별적으로 구분할 수 있고 또한 인접하는 상기 표시셀열이 상기 표시전극의 방향을 따라 연장하도록 배치되어 있고,

    상기 버스전극은 각각 상기 표시전극의 연장방향으로 연장하는 띠형상부재와 이 띠형상부재에서 연장하는 여러개의 가지형상부재를 갖는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시패널.
26. 디스플레이패널, 어드레스드라이버, 스캔드라이버, X-서스테인/펄스 발생기 및 Y-서스테인/펄스 발생기를 구비하는 디스플레이유닛에 있어서,

    상기 디스플레이패널은

    주방전을 발생하기 위한 주방전용 전극군을 갖는 앞면기판; 상기 앞면기판과 일정 간격을 유지해서 배열됨과 동시에 상기 앞면기판에 대향하여 배치되고, 발광시키는 표시셀을 선택하기 위한 보조방전용 전극군을 갖는 배면기판; 상기 앞면기판과 상기 배면기판의 간극을 분획하는 배리어리브 및; 상기 주방전이 실행되는 공간의 내벽에 있어서의 표시셀에 형성된 형광체층을 구비하고,

    상기 주방전용 전극군이 서로 동일방향으로 연장하는 여러개의 주방전용 전극을 갖고,

    상기 주방전용 전극이 투명재료로 이루어지고 상기 앞면기판의 주표면과 평행하게 연장하는 띠형상전극인 표시전극 및 상기 표시전극마다 마련되고 표리 중 한쪽면이 상기 표시전극과 접하는 버스전극을 포함하고,

    상기 버스전극이 불투명한 도전재료로 이루어지고 상기 앞면기판의 앞면쪽 외측에서 보았을 때 상기 표시셀을 개별적으로 구분할 수 있고 또한 인접하는 상기 표시셀열이 상기 표시전극의 방향을 따라 연장하도록 배치되어 있고,

    상기 버스전극이 각각 상기 표시전극의 연장방향으로 연장하는 띠형상 부재와 이 띠형상부재에서 연장하는 여러개의 가지형상부재를 갖는 가스방전형 표시패널인 것을 특징으로 하는 디스플레이유닛.

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