KR100795676B1 - 플라즈마 표시 패널 및 그 제조방법 - Google Patents

플라즈마 표시 패널 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

플라즈마 표시 패널 및 그 제조방법이 개시된다.
본 발명에 따른 플라즈마 표시 패널은 제 2 전극간 방전경로 내에 형광층이 존재하지 않도록 함으로써 유지방전에 대한 장애요소를 제거하였고, 제 2 전극을 외부회로와 연결하는 전극단자를 형성하고 제 2 전극 형성시 이 전극단자와 제 2 전극이 연결될 수 있도록 함으로써 제 2 전극과 외부회로와의 전기적 연결을 용이하게 하였으며, 아울러 제 1 전극 형성시 제 2 전극의 전극단자를 동시에 형성할 수도 있어 제조공법의 편의를 도모할 수 있다.

Description

플라즈마 표시 패널 및 그 제조방법{Plasma display panel and the fabrication methode thereof}
도 1 은 종래의 플라즈마 표시 패널의 분해 사시도,
도 2 는 종래의 플라즈마 표시 패널의 x-z 단면도,
도 3 은 종래의 다른 플라즈마 표시 패널의 y-z 단면도,
도 4 는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 표시 패널의 y-z 단면도,
도 5a 는 도 4 의 플라즈마 표시 패널 제 1 기판의 x-y 단면도,
도 5b 는 도 4 의 플라즈마 표시 패널 제 1 기판 위에서 본 x-y 평면도,
도 6 은 도 4 의 플라즈마 표시 패널의 x-z 단면도,
도 7a 내지 7k 는 본 발명에 의한 플라즈마 표시 패널의 제조방법을 나타낸 y-z 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
110: 제 1 기판 120: 제 1 전극
130: 유전층 140: 격벽
142: 1차 격벽 144: 2차 격벽
150: 제 2 전극 152: 전극단자
160: 형광층 170: 제 2 기판
본 발명은 플라즈마 표시 패널 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 제 2 전극간 유지방전 효율을 높이고, 아울러 외부회로와 제 2 전극간 연결을 용이하게 한 플라즈마 표시 패널 및 그 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로 플라즈마 표시 패널(PDP; Plasma Display Panel, 이하 편의상 'PDP'라 칭한다)은 기체 방전으로 생성된 진공 자외선을 형광체 발광에 이용하여 소정의 영상을 구현하는 표시장치로서, 고해상도의 대화면 구성이 가능하여 차세대 박형 표시장치로 각광받고 있다.
도 1 은 종래의 플라즈마 표시 패널의 분해 사시도이고, 도 2 는 종래의 플라즈마 표시 패널의 x-z 단면도이다.
도시한 바와 같이, PDP의 제 1 기판(1)에는 다수의 제 1 전극(3)이 스트라이프 패턴으로 정렬되고, 다수의 격벽(5)이 각 제 1 전극(3)에 대응하는 라인 형태의 방전공간을 구획하며, 각각의 격벽(5) 사이로 R, G, B 형광층(7)이 선택적으로 위치한다. 그리고, 제 2 기판(9)에는 제 1 전극(3)과 수직으로 교차하는 다수의 투명한 제 2 전극(11), 즉 표시전극(13)과 주사전극(15)이 위치하며, 각 제 2 전극(11)에는 버스전극(17)이 형성된다.
이로써 각 화소마다 하나의 제 1 전극(3)과 한쌍의 제 2 전극(11)이 위치하여 이 화소의 발광을 독립적으로 제어하는데, 공지된 바와 같이 각 화소의 구동은 제 1 전극(3)과 주사전극(15) 사이에 어드레스 전압(Va)을 인가하여 화소를 선택하고, 표시전극(13)과 주사전극(15) 사이에 방전유지 전압(Vs)을 인가하여, 유지방전에 의한 진공 자외선으로 형광층(7)을 여기시키는 과정으로 이루어진다.
여기서, 각 화소의 실제 발광에 관여하는 제 2 전극(11), 즉 표시전극(13)과 주사전극(15)은 전극 면적 확대에 의한 방전효율 향상을 위하여 제 2 기판(9)에 투명전극으로 제공되며, 소정의 간격을 두고 제 2 기판(9)에 나란히 위치하는 관계로 유지방전 구간에서 플라즈마의 방전경로는 점선으로 도시한 바와 같이 반원형으로 이루어진다.
그러나, 상기한 면방전 구조는 제 2 전극(11)의 넓은 면적부가 서로 평행한 방향으로 향하게 되어 있어 전극간 길이에 비해 방전전압이 상승하게 되어 있고 전극 끝단부 및 제 2 기판부에 방전이 집중하게 되어 있어 방전효율이 매우 낮다.
또한, 통상의 ITO(Indium Tin Oxide)로 형성되는 제 2 전극(11)은 패터닝 과정이 복잡하고, 대화면 적용시 도전성이 떨어지므로 버스전극(17)과 함께 형성되는 것이 일반적이다.
더욱이 상기한 면방전 구조는 각 화소마다 하나의 표시전극(13)과 주사전극(15)이 필요하므로 구비되는 전극 수가 많아 구동이 복잡할 뿐만 아니라 제조가 복잡해지며, 각 화소 사이에서는 유지방전이 일어나지 않기 때문에, 전체 PDP 화면에서 빛이 발생되는 화소의 면적이 매우 좁아지는 단점이 있다.
따라서, 해상도를 증가시키기 위해 화소 수를 늘이면, 표시전극(13)과 주사전극(15)이 차지하는 면적이 더욱 증가하여, 전체 화면에서 각 화소가 차지하는 면 적이 더욱 감소하고, 어드레스 시간이 증가되어 계조 표시에 걸리는 시간이 감소함에 따라 화면의 휘도가 떨어지게 된다.
이러한 문제점을 극복하기 위한 일 방안으로, 도 3 에서 나타낸 바와 같이, 대향방전형 플라즈마 표시 패널을 고려할 수 있다.
도시한 바와 같이, PDP는 제 1 기판(2)의 일면에 다수의 제 1 전극(4)이 y축 방향을 따라 스트라이프 패턴으로 형성되고, 제 1 전극(4)들을 덮으면서 제 1 기판(2) 상면에 유전층(6)이 형성되며, 유전층(6) 위에 소정의 간격을 두고 다수의 제 2 전극(8)이 x축 방향을 따라 스트라이프 패턴으로 정렬되어 상기 제 1 전극(4)과 수직으로 교차한다.
유전층(6) 위에는 소정의 높이를 갖는 격벽(12)이 위치하는데, 이 격벽(12)은 각 제 1 전극(4) 사이에서 제 1 전극(4)과 평행하게 정렬되는 다수의 제 1 라인과, 각 제 2 전극(8)을 덮는 다수의 제 2 라인이 조합되어 사각의 방전공간(S)을 구획하며, 각 방전공간(S)의 내부, 즉 제 1 및 제 2 라인의 측면과 유전층(6) 표면으로 다수의 R, G, B 형광층(10)이 순차적으로 위치한다.
그리고, 투명한 제 2 기판(14)이 제 1 기판(2) 위에 대향 배치되는데, 제 2 기판(14)의 일면에는 MgO 보호층(18)이 형성될 수도 있으며, 다른 실시예로서 투명 유전층(16)과 이 투명 유전층(16)을 덮는 MgO 보호층(18)이 위치할 수도 있다.
이러한 대향방전형 PDP는, 면방전 구조와 달리, 표시전극과 주사전극이 서로 마주보게 되어 있어 전극이 대향하는 면적이 넓어지고 이 두 전극 사이에 직선의 방전경로를 그리므로 방전전압을 낮출 수 있고, 방전이 셀 공간 내에 넓게 형성됨 으로써 방전효율을 높일 수가 있다.
그러나, 종래의 대향방전형 PDP는 다음과 같은 문제점이 있다.
먼저, 제 2 전극(8)의 끝단과 외부회로와 전기적으로 연결하는 인터-커넥션(inter-connnection)부를 제조하는 공정이 어렵다.
또한, 도 3 에서 나타낸 바와 같이, 이웃한 두 제 2 전극(8) 사이에서 이루어지는 직선의 방전경로상에 형광층(10)이 존재하여 방전에 대한 장애요소로 작용하는 문제점이 있다.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 제 2 전극간 유지방전 효율을 높이고, 아울러 외부회로와 제 2 전극간 연결을 용이하게 하는 데 그 목적이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 플라즈마 표시 패널은, 서로 대향 배치되는 제 1 기판 및 제 2 기판과, 제 1 기판에 형성된 제 1 전극과, 상기 두 기판 사이의 공간을 구획하되 제 1 전극에 수직인 방향의 열을 포함하는 격벽과, 이 격벽에 의해 구획된 공간 내에 형성된 형광층을 포함하는 플라즈마 표시 패널에 있어서, 제 1 전극에 수직방향으로 형성된 격벽의 높이방향 상면에 개구부 및 상기 개구부를 통한 격벽 내부 충진부가 형성되며, 이 격벽 내부 충진부에 제 2 전극이 형성되는 것을 특징으로 한다.
이때, 제 1 기판에 상기 제 1 전극 중 최외곽에 있는 전극과 일정 거리 이격 된 채 제 1 전극에 수직방향으로 다수의 전극단자가 형성되며, 각각의 제 2 전극과 각각의 전극단자가 단차지며 연결될 수도 있다.
여기서, 제 1 전극에 수직방향으로 형성된 각 격벽은, 상기 제 2 전극의 하면을 받쳐주는 1차 격벽과, 상기 1차 격벽의 상면에 형성되며 제 2 전극의 장변 양 측면을 감싸는 2차 격벽을 포함하여 이루어질 수도 있다.
또한, 형광층은 이웃하는 두 개의 1차 격벽 사이에 형성될 수도 있다.
또한, 형광층은 이웃하는 두 개의 1차 격벽 사이에 상기 1차 격벽의 높이와 같거나 낮은 높이로 형성될 수도 있다.
한편, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 플라즈마 표시 패널은, 서로 대향 배치되는 제 1 기판 및 제 2 기판과, 제 1 기판에 형성된 제 1 전극과, 이 제 1 전극을 덮는 유전층과, 상기 두 기판 사이의 공간을 구획하되 제 1 전극에 수직인 방향의 열을 포함하는 격벽과, 이 격벽에 의해 구획된 공간 내에 형성된 형광층을 포함하는 플라즈마 표시 패널에 있어서,
상기 제 1 전극에 수직방향으로 형성된 격벽의 높이방향 하면에 개구부 및 상기 개구부를 통한 격벽 내부 충진부가 형성되고, 이 격벽 내부 충진부에 제 2 전극이 형성되며, 상기 제 1 기판에 제 1 전극 중 최외곽에 있는 전극과 일정 거리 이격된 채 제 1 전극에 수직방향으로 다수의 전극단자가 형성되고, 상기 각 제 2 전극과 상기 각 전극단자가 단차지며 연결되는 것을 특징으로 한다.
이때, 형광층은 이웃하는 두 개의 제 2 전극 사이의 방전 경로 외의 위치에 존재하도록 상부 격벽 사이에 형성되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플라즈마 표시 패널 제조방법은, 기판에 제 1 전극 및 상기 제 1 전극과는 별개인 제 2 전극의 전극단자를 형성하는 단계; 제 1 전극은 덮으면서 전극단자는 노출시킨 상태로 제 1 기판 위에 유전층을 형성하는 단계; 유전층 위에 상기 제 1 전극에 수직인 방향의 열을 포함하는 1차 격벽을 형성하는 단계; 제 1 전극에 수직방향의 1차 격벽 위에 2차 격벽을 형성하는 단계; 각각의 1차 격벽 위 및 2차 격벽 사이에 제 2 전극을 형성하되, 제 2 전극과 전극단자를 연결하는 단계; 1차 격벽 및 상기 2차 격벽에 의해 구획된 공간 내에 형광층을 형성하는 단계; 및 상기 기판에 대향하는 다른 기판을 조립 및 봉착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때, 1차 격벽 사이에 형광층을 형성하는 것이 바람직하다.
여기서, 제 2 전극은 디스펜서 공법 또는 패턴인쇄법을 이용하여 형성할 수도 있다.
이하, 도면을 참조하면서 실시예를 통해 본 발명을 보다 상세히 설명하기로 한다.
도 4 는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 표시 패널의 y-z 단면도이고, 도 5a 는 도 4 의 플라즈마 표시 패널 제 1 기판의 x-y 단면도이며, 도 5b 는 도 4 의 플라즈마 표시 패널 제 1 기판 위에서 본 x-y 평면도이고, 도 6 은 도 4 의 플라즈마 표시 패널의 x-z 단면도이다.
도면을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 PDP는, 서로 대향 배치되는 제 1 기판(110) 및 제 2 기판(170)과, 제 1 기판(110)에 형성된 제 1 전극(120)과, 상기 두 기판(110, 170) 사이의 공간을 구획하되 제 1 전극(120)에 수직인 방향의 열을 포함하는 격벽(140)과, 이 격벽(140)에 의해 구획된 공간 내에 형성된 형광층(160)을 포함한다. 또한, 제 1 전극(120)에 수직방향으로 형성된 격벽(140)의 높이방향 상면에 개구부 및 상기 개구부를 통한 격벽 내부 충진부가 형성되며, 이 격벽 내부 충진부에 제 2 전극(150)이 형성되어 있다.
여기서, 제 1 기판(110)은 발광되는 가시광이 나오는 전면에 위치하는 기판일 수도 있고, 혹은 배면에 위치하는 기판일 수도 있다.
이때, 제 1 기판(110)에 상기 제 1 전극(120) 중 최외곽에 있는 전극과 일정 거리 이격된 채 제 1 전극(120)에 수직방향으로 다수의 전극단자(152)가 형성되며, 각각의 제 2 전극(150)과 각각의 전극단자(152)가 단차지며 연결되어 있다.
제 1 기판(110)의 일면에 다수의 제 1 전극(120)이 도면상 y축 방향을 따라 일정 패턴으로 형성되고, 이 제 1 전극(120) 패턴 중 최외곽에 있는 양쪽의 전극과 일정 거리 이격된 채 이 제 1 전극(120) 패턴과 수직한 방향으로, 즉 도면상 x축 방향으로, 다수의 전극단자(152)가 형성되어 있다. 여기서, 전극단자(152)는 제 2 전극(150)과 외부회로(미도시)를 연결해 주는 단자이다. 제 1 전극(120) 패턴과 전극단자(152)는 별도로 형성될 수도 있으나, 공정의 편의상 동시에 형성하는 것이 바람직하다.
그리고, 제 1 전극(120)은 덮으면서 전극단자(152)는 노출시킨 상태로 제 1 기판(110) 위에 유전층(130)이 형성된다. 전극단자(152)가 전부 노출되어 유전층(130)으로부터 너무 멀리 이격되어 있으면 제2전극(150)과의 연결이 어려워지고 불필요한 공간으로 낭비하게 되므로, 도 5a 및 5b 에 도시한 바와 같이, 전극단자(152)의 일단을 덮도록 유전층(130)을 형성하는 것이 바람직하다.
한편, 제 1 전극(120)에 수직방향으로 형성된 각 격벽(140)은, 상기 제 2 전극(150)의 하면을 받쳐주는 1차 격벽(142)과, 상기 1차 격벽(142)의 상면에 형성되며 제 2 전극(150)의 장변 양 측면을 감싸는 2차 격벽(144)을 포함하여 이루어질 수도 있다.
유전층(130) 위에 격벽이 형성되는데, 이러한 격벽의 구조는 스트라이프형일 수도 있고, 매트릭스형일 수도 있으며, 본 발명의 내용은 상기 구조에 한하지 않는다. 다만, 본 발명에서의 격벽은 이보다 하층에 위치한 제 1 전극(120) 패턴에 수직방향(도면상 x축 방향)의 열을 포함하며, 일정 패턴을 가지도록 형성된다.
각 격벽은, 제 1 전극(120)에 수직방향으로 형성된 격벽(140)의 높이방향(도면상 z축 방향) 상면에 개구부 및 상기 개구부를 통한 격벽 내부 충진부가 형성되며, 이 격벽 내부 충진부에 제 2 전극(150)이 형성되어 있다. 다시 말해, 제 1 전극(120)에 수직방향으로 형성된 각 격벽(140)은 격벽(140) 상면의 중앙을 따라 상기 격벽(140) 하방으로 일정 깊이의 공간이 형성되도록 이루어진다. 이를 위해, 기다란 직육면체의 격벽(140)을 형성한 후 격벽(140) 상면의 중앙을 따라 상기 격벽(140) 하방으로 일정 깊이의 공간을 파내는 방법이 적용될 수도 있으나, 이는 원하는 격벽의 두께를 제어하기가 쉽지 않다.
따라서, 도 4 에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따라, 각 격벽(140)은 제 2 전극(150)의 하면을 받쳐주는 1차 격벽(142)과, 1차 격벽(142)의 상 면에 제 2 전극(150)의 장변 양 측면을 감싸는 2차 격벽(144)으로 이루어지는 것이 바람직하다. 여기서, 2차 격벽(144)은 본 발명에 따라 제 2 전극(150)을 형성하는 공정보다 먼저 형성되고, 이후 제 2 전극(150)이 상기 2차 격벽(144) 사이에 형성된다. 1차 격벽(142)은 소성 후 50㎛ 이내의 두께로 단단하게 형성하고, 2차 격벽(144)의 폭은 30∼50㎛로 한다.
상기 2차 격벽(144)은 유전성을 띄고 소성 전·후 형상 변화가 적은 재질로 이루어지는 것이 바람직한데, 이는 유지방전시 유전성을 충분히 발휘하여 벽전하 유지를 용이하게 하고 소성 전·후에 구조적으로 충분히 큰 기계적 강도를 가질 수 있도록 하기 위함이다.
그리고, 도시되지는 않았지만, 2차 격벽(144)의 양 외측벽면 상에 보호층이 더 형성될 수도 있는데, 보호층으로서 MgO를 사용하여 2차 격벽재인 유전체를 보호하고 높은 2차 전자 방출계수에 의해 방전 개시전압을 낮출 수 있게 된다.
2차 격벽(144)이 형성되면, 이 2차 격벽(144) 사이에 형성된 공간에 제 2 전극(150)이 형성된다. 2차 격벽(144) 사이의 공간이 이루는 패턴은 제 1 전극(120) 패턴과 수직하므로, 제 2 전극(150) 패턴과 제 1 전극(120) 패턴은 존재하는 평면을 달리한 채 서로 수직을 이루게 된다.
제 2 전극(150) 형성시에는, 도 6 에 나타낸 바와 같이, 이 제 2 전극(150) 패턴보다 하층에 위치하는 상기 전극단자(152)와 단차를 이루며 연결되어야 함을 유의해야 한다. 이 과정에서, 액상 제 2 전극(150) 재료가 원하지 않는 위치로 흘러 나가는 것을 막아주고, 또한 1차 격벽의 끝단 상면에서의 제 2 전극(150)이 다 른 부위에 비해 특별히 얇아지는 것을 방지하며, 제 2 전극(150)과 전극단자(152) 간 연결부위의 형태를 유지하기 위해 가이드벽(155)이 사용되는 것이 바람직하다. 이 가이드벽(155)은 다양한 형태로 존재할 수 있다. 본 발명에서는 일 실시예로서, 제 1 기판 및 전극단자 위에, 제 2 전극 중 전극단자와 단차지며 연결되는 부위의 측면을 감싸며, 제 1 전극에 수직방향으로 형성된 각 격벽 끝단의 측벽과 이어지도록 설치된다.
제 2 전극(150)의 높이는 2차 격벽(144)의 높이보다 낮은 것이 바람직한데, 소성 후 격벽(144)의 높이보다 대략 10㎛ 이상 낮게 형성되는 것이 바람직하다. 이는 2차 격벽(144) 위에 제 1 기판(110)과 대향하는 제 2 기판(170)이 접촉되도록 하여 방전공간을 확실히 구획하기 위함이다. 또한, 제 2 전극(150)이 2차 격벽(144)보다 위로 돌출된다면, 유지방전시 직선인 방전경로에 보호막 없이 직접 노출되는 제 2 전극(150)이 닳게 되어 패널의 안정성에 심각한 문제가 생기기 때문이다.
한편, 형광층(160)은 이웃하는 두 개의 제 2 전극(150) 사이의 유지방전시 방전경로 외의 위치에 존재하도록, 유전층(130) 위에, 그리고 이웃하는 두 개의 1차 격벽(142) 사이에 형성되는 것이 바람직하고, 보다 구체적으로 형광층(160)은 이웃하는 두 개의 1차 격벽 사이(142)에 상기 1차 격벽(142)의 높이와 같거나 낮은 높이로 형성되는 것이 바람직하다. 이에 따라, 이웃한 두 개의 제 2 전극(150) 사이의 직선인 방전경로 상에 형광층(160)이 존재하지 않게 되어, 유지방전의 효율을 높일 수 있게 된다.
2차 격벽(144) 위에는 제 1 기판(110)과 대향하도록 제 2 기판(170)이 배치된다. 도시되지는 않았지만, 제 2 기판(170)의 하면에는 MgO 보호층이 더 형성되거나, 다른 실시예로서 제 2 기판(170)의 하면에 유전층이, 그리고 유전층 하면에 보호층이 더 형성될 수도 있다.
한편, 본 발명의 다른 측면에 따른 PDP는, 서로 대향 배치되는 제 1 기판 및 제 2 기판과, 제 1 기판에 형성된 제 1 전극과, 이 제 1 전극을 덮는 유전층과, 상기 두 기판 사이의 공간을 구획하되 제 1 전극에 수직인 방향의 열을 포함하는 격벽과, 이 격벽에 의해 구획된 공간 내에 형성된 형광층을 포함하며,
제 1 전극에 수직방향으로 형성된 격벽의 높이방향 하면에 개구부 및 상기 개구부를 통한 격벽 내부 충진부가 형성되고, 이 격벽 내부 충진부에 제 2 전극이 형성되며, 제 1 기판에 상기 제 1 전극 중 최외곽에 있는 전극과 일정 거리 이격된 채 제 1 전극에 수직방향으로 다수의 전극단자가 형성되고, 각각의 제 2 전극과 각각의 전극단자가 단차지며 연결된다.
따라서, 제 2 전극을 외부회로와 연결하는 전극단자를 형성하고 제 2 전극 형성시 이 전극단자와 제 2 전극이 연결될 수 있도록 함으로써 제 2 전극과 외부회로와의 전기적 연결을 용이하게 하였으며, 아울러 제 1 전극 형성시 제 2 전극의 전극단자를 동시에 형성할 수도 있어 제조공법의 편의를 도모할 수 있다.
이때, 형광층은 이웃하는 두 개의 제 2 전극 사이의 방전 경로 외의 위치에 존재하도록 상부 격벽 사이에 형성되는 것이 바람직하다. 이에 따라, 제 2 전극간 방전경로 내에 형광층이 존재하지 않도록 함으로써 유지방전에 대한 장애요소를 제 거할 수 있다.
도 7a 내지 7k 는 본 발명에 의한 플라즈마 표시 패널의 제조방법을 나타낸 y-z 단면도인데, 이하 본 발명에 의한 PDP의 제조방법을 간단히 설명한다.
먼저, 제 1 기판에 제 1 전극과, 이 제 1 전극과는 별개인 제 2 전극을 외부와 연결하는 전극단자를 형성한다(도 7a 참조). 제 1 전극과 전극단자는 주로 은(Ag) 페이스트를 패턴 인쇄하거나 감광성 은(Ag) 페이스트를 인쇄한 다음 이를 노광 및 현상하여 형성한다. 이 밖에, 스퍼터링(sputtering)을 이용한 방법 등 기존의 다양한 성막방법과, 포토에칭(photoehching)법 등 기존의 다양한 형성공법이 사용될 수도 있다.
그 다음, 상기 제 1 기판 위에 유전층을 형성한다(도 7a 참조). 상기 제 1 전극은 덮으면서 상기 전극단자는 노출시킨 상태로 제 1 기판 위에 유전층을 코팅한 후, 건조 및 소성을 통해 형성한다. 이러한 유전체 형성에는 기존의 인쇄법과 드라이 필름법이 사용될 수 있다.
그 다음, 상기 유전층 위에 1차 격벽을 형성한다(도 7b 내지 7d 참조). 상기 유전층 위에 격벽재를 2∼3회 전면 인쇄한 후(도 7b), 드라이 필름 레지스트(dry film resist)를 라미네이팅(laminating)한 다음 이를 노광 및 현상한다(도 7c). 그리고, 샌드블래스팅을 하고 상기 레지스트를 박리한 후 소성과정을 거치면 1차 격벽 형성이 완료된다(도 7d). 이러한 1차 격벽 사이 공간에는 이후에 형광층이 도포된다. 이 밖에, 스크린 인쇄(screen printing)법, 스퀴징(squeezing)법, 포토리소그라피(photolithograpy)법, 디렉트 에칭(direct etching)법 등이 사용될 수 있다.
그 다음, 상기 1차 격벽 위에 2차 격벽을 형성한다(도 7e 내지 7h 참조). 1차 격벽 위 및 1차 격벽 사이 공간에 2차 격벽재를 7∼8회 전면 인쇄한 후(도 7e), 드라이 필름 레지스트를 라미네이팅한 다음 이를 노광 및 현상한다(도 7f). 그리고, 샌드블래스팅을 하되, 1차로 1차 격벽이 드러날 때까지는 2차 격벽 내 제 2 전극이 위치할 공간과 1차 격벽 사이 공간 모두를 샌드블래스팅하고, 1차 격벽이 드러나면 2차 격벽 내 공간은 더 이상 샌드블래스팅을 하지 않고 1차 격벽 사이 공간에만 샌드블래스팅을 실시한다. 또는, 샌드블래스팅하는 공정을 2단계로 나누지 않고, 2차 격벽 내 공간과 1차 격벽 사이 공간을 샌드블래스팅하는 속도에 차이를 두어 동시에 진행할 수도 있다. 그리고, 상기 레지스트를 박리한 후 소성과정을 거치면 2차 격벽 형성이 완료된다(도 7g 및 7h). 이 밖에, 2차 격벽의 다른 형성공법은 상술한 1차 격벽의 형성공법 중 하나를 택할 수 있다.
그 다음, 상기 2차 격벽 사이에 제 2 전극을 형성하되, 상기 제 2 전극과 상기 전극단자를 연결한다(도 7i 및 도 6 참조). 상기 2차 격벽 내에 형성된 공간을 따라 디스펜서 공법 또는 패턴인쇄법을 이용하여 제 2 전극을 형성하고, 그 결과 제 2 전극과 전극단자는 단차를 이루며 연결된다. 이 과정에서, 상기 연결부위의 외형을 유지시켜 줄 수 있도록 가이드벽을 형성하여 사용하는 것이 바람직한데, 이 가이드벽은 제 2 전극 형성 이전인 2차 격벽 형성시에 함께 형성되는 것이 공정상 편리하다.
그 다음, 2차 격벽 형성 후 상기 2차 격벽의 양 외측벽면 상에 보호층을 더 형성할 수도 있다. 보호층으로서 MgO를 사용하여 2차 격벽재인 유전체를 보호하고 높은 2차 전자 방출계수에 의해 방전 개시전압을 낮출 수 있게 된다. 보호층 형성은 스퍼터링법, 이온 플래팅(ion plating)법 등 기존의 형성공법이 사용된다.
그 다음, 상기 1차 격벽 사이에 형광층을 형성한다(도 7j 참조). 형광층을 형성하는 방법은 RGB 각 컬러에 해당하는 셀에 해당 형광층를 도포하고 패터닝(patterning)하는 등 기존에 개발된 방법이 다양하게 사용될 수 있다.
그 다음, 상기 제 1 기판과 이에 대향하는 제 2 기판을 조립 및 봉착한다(도 7k 참조). 제 2 기판과 제 1 기판을 정렬하여 전극 및 격벽이 내측에 오도록 실링 공정을 실시한다. 실링 공정을 위해 두 기판 가운데 적어도 하나의 내측면 주변부에는 연속된 형태의 프릿 글래스(frit glass)를 도포한다. 이어서, 두 기판을 정렬하여 밀착시킨다. 따라서, 두 기판에 의해 상·하면이 제한되고, 프릿 그래스에 의해 4방향의 측면이 차단된 밀봉 공간이 형성되고, 각 화소에는 셀 구조가 형성된다. 또한, 기판의 일부에 미리 배기구를 형성하여 배기구를 통해 내부 공기를 제거하며, 방전가스를 넣고 배기구를 다시 봉지하는 공정이 이루어진다.
상술한 실시예에서는 전극의 구동이 ALiS(Alaternative Lighting of Surface) 방식으로 이루어짐을 나타낸 것이지만, 본 발명은 이에 한정되지는 않는다. 교류 3전극 면방전 구조에서 이전에는 한 셀마다 하나의 표시전극, 하나의 주사전극, 하나의 제 1 전극이 설치되는 형태를 가진다. 그러나, 이러한 전극구조 및 방전형태는 화면 전체에서 유효방전 영역이 제한되어 전체 휘도 및 방전 효율이 떨어지고, 따라서 소비전력이 크다. ALiS 구동방식에서는 제 2 전극을 이루는 표시전극, 주사전극이 번갈아 가면서 한 번은 주사선 가운데 홀수행(odd Line)의 방전에 이용되고, 한 번은 주사선 가운데 짝수행(even Line)의 방전에 이용된다. 따라서, 제 2 전극의 형성 개수를 거의 바꾸지 않은 상태에서 주사선의 숫자를 배로 늘릴 수 있고, 방전영역도 넓어져 방전효율도 높아진다.
본 발명에 따른 플라즈마 표시 패널 및 그 제조방법은 제 2 전극간 방전경로 내에 형광층이 존재하지 않도록 함으로써 유지방전에 대한 장애요소를 제거하였고, 제 2 전극을 외부회로와 연결하는 전극단자를 형성하고 제 2 전극 형성시 이 전극단자와 제 2 전극이 연결될 수 있도록 함으로써 제 2 전극과 외부회로와의 전기적 연결을 용이하게 하였으며, 아울러 제 1 전극 형성시 제 2 전극의 전극단자를 동시에 형성할 수도 있어 제조공법의 편의를 도모할 수 있다.
본 발명은 도시된 실시예를 중심으로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 할 수 있는 다양한 변형 및 균등한 타 실시예를 포괄할 수 있음을 이해할 것이다.

Claims (12)

  1. 서로 대향 배치되는 제 1 기판 및 제 2 기판;
    상기 제 1 기판에 형성되는 제 1 전극;
    상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판 사이의 공간을 구획하기 위해, 상기 제 1 전극에 수직인 방향으로 상기 제 1 기판 상에 형성되는 1차 격벽, 유전체로 형성되고 상기 1 차 격벽의 상면에 상기 1 차 격벽에 평행한 동시에 상기 1 차 격벽과 함께 충진부를 구비하도록 하는 2차 격벽으로 이루어진 격벽;
    상기 1 차 격벽과 상기 2 차 격벽에 의해 구비된 상기 충진부에 충진되어 형성된 제 2 전극; 및
    상기 격벽에 의해 구획된 공간 내에 형성되는 형광층을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시패널.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 기판에 상기 제 1 전극 중 최외곽에 있는 전극과 일정 거리 이격된 채 상기 제 1 전극에 수직방향으로 다수의 전극단자가 형성되며, 상기 각 제 2 전극과 상기 각 전극단자가 단차지며 연결되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 형광층은 이웃하는 두 개의 1차 격벽 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 형광층은 이웃하는 두 개의 1차 격벽 사이에 상기 1차 격벽의 높이와 같거나 낮은 높이로 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 기판 및 상기 전극단자 위에, 상기 제 2 전극 중 상기 전극단자와 단차지며 연결되는 부위의 측면을 감싸며, 상기 제 1 전극에 수직방향으로 형성된 각 격벽 끝단의 측벽과 이어지는 가이드벽을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널.
  7. 서로 대향 배치되는 제 1 기판 및 제 2 기판;
    상기 제 1 기판에 형성되는 제 1 전극;
    상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판 사이의 공간을 구획하기 위해, 상기 제 1 전극에 수직인 방향으로 상기 제 1 기판 상에 형성되는 1차 격벽, 유전체로 형성되고 상기 1 차 격벽의 상면에 상기 1 차 격벽에 평행한 동시에 상기 1 차 격벽과 함께 충진부를 구비하도록 하는 2차 격벽으로 이루어진 격벽;
    상기 1 차 격벽과 상기 2 차 격벽에 의해 구비된 상기 충진부에 충진되어 형성된 제 2 전극;
    상기 격벽에 의해 구획된 공간 내에 형성되는 형광층; 및,
    상기 제 1 기판의 상기 제 1 전극 중 최외곽에 형성되는 상기 제 1 전극과 일정 거리 이격되고, 상기 제 1 전극에 수직방향으로 형성되는 다수의 전극단자를 포함하고,
    상기 전극단자는 상기 제 2 전극과 단차지며 연결되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시패널.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 형광층은 이웃하는 두 개의 제 2 전극 사이의 방전 경로 외의 위치에 존재하도록 상부 격벽 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널.
  9. 기판에 제 1 전극 및 상기 제 1 전극과는 별개인 제 2 전극의 전극단자를 형성하는 단계;
    상기 제 1 전극은 덮으면서 상기 전극단자는 노출시킨 상태로 상기 기판 위에 유전층을 형성하는 단계;
    상기 유전층 위에 상기 제 1 전극에 수직인 방향의 열을 포함하는 1차 격벽을 형성하는 단계;
    상기 제 1 전극에 수직방향의 1차 격벽 위에 2차 격벽을 형성하는 단계;
    상기 각 1차 격벽 위 및 상기 2차 격벽 사이에 상기 제 2 전극을 형성하되, 상기 제 2 전극과 상기 전극단자를 연결하는 단계;
    상기 1차 격벽 및 상기 2차 격벽에 의해 구획된 공간 내에 형광층을 형성하는 단계; 및
    상기 기판에 대향하는 다른 기판을 조립 및 봉착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널 제조방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 1차 격벽 사이에 상기 형광층을 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널 제조방법.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 2 전극은 디스펜서 공법 또는 패턴인쇄법을 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널 제조방법.
  12. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 2 전극과 상기 전극단자를 연결하는 단계는 상기 제 2 전극과 상기 전극 단자 사이의 연결 부위 형태가 유지되도록, 상기 전극 단자 위에 가이드벽을 구비한 후 수행함을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널 제조방법.
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