KR100739948B1 - 플라즈마 표시 패널 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

플라즈마 표시 패널 및 그 제조방법이 개시된다.
제 1 전극을 덮는 유전층 및 격벽이 형성된 기판 전면(全面)에 제 2 전극층을 일정 두께로 입힌 후 격벽 사이의 유전층 위에 형성된 제 2 전극층을 레이저를 이용하여 제거함으로써 고른 두께의 제 2 전극을 원하는 위치에 쉽게 얻을 수 있다. 또한, 격벽 측면에 넓은 전극형성이 가능하여 대향방전형 구조의 특징인 방전되는 진공 자외선의 볼륨을 크게 할 수 있고 방전전압을 크게 낮출 수 있다.

Description

플라즈마 표시 패널 및 그 제조방법{Plasma display panel and the fabrication methode thereof}
도 1 은 종래의 플라즈마 표시 패널의 분해 사시도,
도 2 는 종래의 플라즈마 표시 패널의 x-z 단면도,
도 3 은 종래의 다른 플라즈마 표시 패널의 y-z 단면도,
도 4a 내지 4d 는 도 3 의 플라즈마 표시 패널의 제조방법을 나타낸 y-z 단면도,
도 5 는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 표시 패널의 y-z 단면도,
도 6 은 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 표시 패널의 y-z 단면도,
도 7a 내지 7i 는 본 발명에 의한 플라즈마 표시 패널의 제조방법을 나타낸 y-z 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
110: 제 1 기판 120: 제 1 전극
130: 유전층 140: 격벽
150: 제 2 전극 155: 연결부
160: 유전층 170: 형광층
180: 제 2 기판
본 발명은 플라즈마 표시 패널 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 제 1 전극을 덮는 유전층 및 격벽이 형성된 기판 전면(全面)에 제 2 전극층을 일정 두께로 입힌 후 유전층 위에 형성된 제 2 전극층을 레이저를 이용하여 컷팅함으로써 고른 두께의 제 2 전극을 원하는 위치에 쉽게 얻을 수 있는 플라즈마 표시 패널 및 그 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로 플라즈마 표시 패널(PDP; Plasma Display Panel, 이하 편의상 'PDP'라 칭한다)은 기체 방전으로 생성된 진공 자외선을 형광체 발광에 이용하여 소정의 영상을 구현하는 표시장치로서, 고해상도의 대화면 구성이 가능하여 차세대 박형 표시장치로 각광받고 있다.
도 1 은 종래의 플라즈마 표시 패널의 분해 사시도이고, 도 2 는 종래의 플라즈마 표시 패널의 x-z 단면도이다.
도시한 바와 같이, PDP의 제 1 기판(1)에는 다수의 제 1 전극(3)이 스트라이프 패턴으로 정렬되고, 다수의 격벽(5)이 각 제 1 전극(3)에 대응하는 라인 형태의 방전공간을 구획하며, 각각의 격벽(5) 사이로 R, G, B 형광층(7)이 선택적으로 위치한다. 그리고, 제 2 기판(9)에는 제 1 전극(3)과 수직으로 교차하는 다수의 투명한 제 2 전극(11), 즉 표시전극(13)과 주사전극(15)이 위치하며, 각 제 2 전극(11)에는 버스전극(17)이 형성된다.
이로써 각 화소마다 하나의 제 1 전극(3)과 한쌍의 제 2 전극(11)이 위치하여 이 화소의 발광을 독립적으로 제어하는데, 공지된 바와 같이 각 화소의 구동은 제 1 전극(3)과 주사전극(15) 사이에 어드레스 전압(Va)을 인가하여 화소를 선택하고, 표시전극(13)과 주사전극(15) 사이에 방전유지 전압(Vs)을 인가하여, 유지방전에 의한 진공 자외선으로 형광층(7)을 여기시키는 과정으로 이루어진다.
여기서, 각 화소의 실제 발광에 관여하는 제 2 전극(11), 즉 표시전극(13)과 주사전극(15)은 전극 면적 확대에 의한 방전효율 향상을 위하여 제 2 기판(9)에 투명전극으로 제공되며, 소정의 간격을 두고 제 2 기판(9)에 나란히 위치하는 관계로 유지방전 구간에서 플라즈마의 방전경로는 점선으로 도시한 바와 같이 반원형으로 이루어진다.
그러나, 상기한 면방전 구조는 제 2 전극(11)의 넓은 면적부가 서로 평행한 방향으로 향하게 되어 있어 전극간 길이에 비해 방전전압이 상승하게 되어 있고 전극 끝단부 및 제 2 기판부에 방전이 집중하게 되어 있어 방전효율이 매우 낮다.
이러한 문제점을 극복하기 위한 일 방안으로 대향방전 구조가 고안되었고, 그 일례로서 일본 공개특허공보 제 2000-133144 호에서 개시한 플라즈마 표시 패널용 기판 및 그 제조방법에 관해 각각 도 3 및 도 4 에 나타내었다.
도 3 을 참조하면, 제 1 기판(2)의 일면에 다수의 제 1 전극(4)이 y축 방향을 따라 스트라이프 패턴으로 형성되고, 제 1 기판(2) 상면에 제 1 전극(4)들을 덮으면서 방전공간을 구획하는 격벽(12)이 위치하는데, 이 격벽(12)은 제 1 전극(4)에 수직인 스트라이프 패턴으로 형성된다.
각 격벽의 양 측면의 중간부분에 제 2 전극(8)이 x축 방향을 따라 스트라이프 패턴으로 정렬되어 상기 제 1 전극(4)과 수직으로 교차한다. 이 제 2 전극(8) 중 하나는 주사전극이 되고, 다른 하나는 표시전극이 된다.
각 방전공간의 내부에는 다수의 R, G, B 형광층(10)이 순차적으로 위치하고, 투명한 제 2 기판(14)이 제 1 기판(2) 위에 대향 배치된다.
이러한 대향방전형 PDP는, 면방전 구조와 달리, 표시전극과 주사전극이 서로 마주보게 되어 있어 전극이 대향하는 면적이 넓어지고 이 두 전극 사이에 직선의 방전경로를 그리므로 방전전압을 낮출 수 있고, 방전이 셀 공간 내에 넓게 형성됨으로써 방전효율을 높일 수가 있다.
도 4a 내지 4d 를 참조하면, 제 1 기판(2)의 일면에 다수의 제 1 전극(4)이 y축 방향을 따라 스트라이프 패턴으로 형성되고, 제 1 기판(2) 상면에 제 1 전극(4)들을 덮는 격벽재(12')를 적층시키는데, 이 격벽재(12')는 제 1 전극(4)에 수직인 스트라이프 패턴으로 형성한다. 그리고, 격벽재(12') 위에 제 2 전극(8)을 x축 방향을 따라 스트라이프 패턴으로 형성한다. 이 제 2 전극(8) 중 하나는 주사전극이 되고, 다른 하나는 표시전극이 된다.
이어서, 방전공간 형상의 방전공간 형성용 볼록부(22)와 격벽 형상의 격벽 형성용 홈부바닥(24)을 갖는 성형틀(20)을 이용하여, 상기 격벽재(12')를 그 상면에서 하방으로 압박한다. 이때, 상기 홈부바닥(24)이 형성하는 공간의 중앙에 제 2 전극(8)을 위치시킨 채 압박하여야 한다. 그러면, 도 4c 의 과정을 거쳐 도 4d 에 나타낸 바와 같이, 격벽재(12')가 성형틀(20)의 홈부바닥(24) 안으로 압출된다. 이 과정에서, 주사전극과 표시전극은 홈부바닥(24)에 의해 가압되어 격벽(12)의 양 측면 안에 매설된다.
그러나, 종래의 대향방전형 PDP는 다음과 같은 문제점이 있다.
면방전 PDP에 있어서 전극형성은 인쇄 후 노광 및 현상하는 방법을 주로 사용하고 있는데, 이 방법은 전극이 형성될 면이 평평한 경우에는 적합하지만, 대향방전형 PDP에서와 같이 격벽 측면에 전극을 형성하는 데에는 부적합하다. 다시 말해, 일반적인 인쇄 후 노광 및 현상하는 방법으로는 격벽 측면에 전극을 고른 두께로 형성하기가 어렵다.
상술한 바와 같이, 일본 공개특허공보 제 2000-133144 호에서 개시한 제조방법에 의하면 전극형성이 평평한 면 상에서 이루어지므로 종래의 인쇄 후 노광 및 현상하는 방법에 의해서도 제조하는 데 어려운 점이 없지만, 문제는 전극형성 후 성형틀에 의해 압박하는 공정의 불안정성에 있다. 다시 말해, 성형틀의 홈부바닥이 형성하는 공간의 정중앙에 제 2 전극을 정위치시킨 상태에서 압박하기가 쉽지 않고, 그것도 하나의 열이 아닌 다수의 열을 가진 격벽을 한 번의 압박공정으로 형성하는 데에는 고도의 정확성이 요구된다. 또한, 제 2 전극의 형성으로 인해 또는 그 자체로 격벽재 내에 배열된 원자들은 국지적으로 밀집해 있거나 혹은 그 반대의 경우가 생길 수 있다. 더욱이, 제 2 전극이 성형틀의 홈부바닥에 의해 눌려질 때 유동적으로 움직이기 때문에 압박공정 후 전극의 위치가 항상 일정하게 나타날 수는 없다.
이에 따라, 어느 한 격벽의 일 측면 안에 매설된 주사전극의 높이와 이웃한 격벽의 다른 측면 안에 매설된 표시전극의 높이가 달라 유지방전시 대향방전형 구조의 이점을 충분히 살리지 못하는 문제가 있다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 제 1 전극을 덮는 유전층 및 격벽이 형성된 기판 전면(全面)에 제 2 전극층을 일정 두께로 입힌 후 유전층 위에 형성된 제 2 전극층을 레이저를 이용하여 컷팅함으로써 고른 두께의 제 2 전극을 원하는 위치에 쉽게 얻는 데 그 목적이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플라즈마 표시 패널은, 일정 간격을 가지고 이격되어 주변의 실링재와 함께 밀봉된 공간을 형성하는 제 1 기판 및 제 2 기판; 이 두 기판 사이에서 상기 공간을 구획하도록 설치되는 격벽; 제 1 기판 또는 제 2 기판에 형성되는 제 1 전극; 이 제 1 전극에 수직방향으로 형성된 격벽 양 측면에 일정 두께로 형성되는 제 2 전극; 및 격벽에 의해 구획된 공간 내에 형성되는 형광층을 포함하여 이루어진다.
여기서, 제 2 전극은 격벽 양 측면을 덮도록 이루어질 수도 있다.
이를 위해, 제 2 전극은 격벽 양 측면에 일정 두께로 증착 또는 도금되어 형성될 수도 있다.
또한, 격벽 양 측면에 형성되는 별개의 제 2 전극이 격벽 상·하면 중 제 1 전극이 형성된 기판에서 거리가 먼 면에 형성되는 연결부를 통해 서로 연결되어 하나의 제 2 전극을 이룰 수도 있고, 이 경우 격벽 양 측면에 형성되는 제 2 전극과 연결부는 일체로 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 제 2 전극은 상기 격벽 양 측면 전체에 일정 두께로 형성되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플라즈마 표시 패널 제조방법은, 기판에 제 1 전극을 형성하는 단계; 제 1 전극을 덮는 유전층을 형성하는 단계; 이 유전층 위에 제 1 전극에 수직방향의 격벽을 형성하는 단계; 유전층 및 격벽이 형성된 기판 전면에 제 2 전극층을 일정 두께로 형성하는 단계; 격벽 사이에 형성된 제 2 전극층을 제거하는 단계; 격벽에 의해 구획된 공간 내에 형광층을 형성하는 단계; 및 상기 기판에 대향하는 다른 기판을 조립 및 봉착하는 단계를 포함한다.
여기서, 제 2 전극층은 증착 또는 도금을 통해 형성할 수도 있다.
또한, 상기 격벽 사이에 형성된 제 2 전극층을 제거할 때에, 상기 격벽 전체에 형성된 제 2 전극층 중 상기 격벽 상면에 형성된 제 2 전극층을 함께 제거할 수도 있다.
이러한 제 2 전극층 일부의 제거는 레이저를 이용하여 이루어질 수도 있다.
이하, 도면을 참조하면서 실시예를 통해 본 발명을 보다 상세히 설명하기로 한다.
도 5 는 본 발명의 일 실시예에 따른 PDP의 y-z 단면도이다.
도면을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 PDP는 제 1 기판(110)의 일면에 다수의 제 1 전극(120)이 도면상 y축 방향을 따라 일정 패턴으로 형성되고, 제 1 기판(110) 위에 제 1 전극(120)을 덮는 유전층(130)이 형성된다.
유전층(130) 위에 방전공간을 구획하는 격벽(140)이 형성되는데, 격벽(140)은 이보다 하층에 위치한 제 1 전극(120) 패턴에 수직한 방향으로, 즉 도면상 x축 방향으로, 일정 패턴을 가지도록 형성된다. 그러나, 본 발명의 내용은 이에 한하지 않고 제 2 기판 상에 격벽이 형성될 수도 있다.
격벽(140)의 양 측면에는 일정하고 고른 두께의 제 2 전극(150)이 형성되는데, 제 2 전극이 격벽 내로 침투(도 4d 참조)하는 것이 아니라 격벽(140)의 양 측면의 외곽에 씌워져 있다. 즉, 제 2 전극(150)은 격벽(140) 양 측면을 덮도록 이루어져 있다. 이를 위해, 제 2 전극(150)은 제 2 전극 재료를 증착시키거나 혹은 도금시켜 제 2 전극층을 형성한 다음, 불필요한 부분을 컷팅하여 제거하는 방법으로 형성하는 것이 바람직하다. 이에 대해서는 후술하기로 한다. 격벽(140)의 한 측면에 형성된 제 2 전극(150)이 주사전극이라면, 다른 측면에 형성된 제 2 전극(150)은 표시전극이 되고, 이 제 2 전극(150)은 제 1 전극(120)과 층을 달리하여 교차하게 된다.
이러한 제 2 전극(150)은 격벽(140) 양 측면 전체에 형성되는 것이 바람직하다. 제 2 전극(150)이 도면상 x축 방향을 따라 격벽 양 측면 중 일부에만 형성된다면, 제 2 전극(150)이 격벽(140)의 측면으로부터 돌출한 형상이 되어, 전하가 제 2 전극(150)의 에지(edge)부에 집중하게 된다. 이에 따라, 에지부에 과잉전류가 흐르게 되고, 제 2 전극 전면(全面)을 사용하여 충분히 넓은 범위에서 균일하게 방전하는 것이 곤란해지는 문제가 생기기 된다. 따라서, 제 2 전극(150)의 일부가 플라즈 마에 의해 떨어져 나가거나 자외선량이 저하되어 휘도가 저하된다. 물론, 제 2 전극(150)을 유전층 내지 보호층으로 피복함으로써 제 2 전극(150)의 손실을 어느 정도 방지할 수는 있지만, 휘도가 저하되는 문제는 여전히 남게 된다. 따라서, 격벽(140) 양 측면 전체에 제 2 전극(150)을 형성할 필요가 있다.
제 2 전극(150) 상에 제 2 전극을 덮는 유전층(160)이 형성된다. 유전층(160)은 벽전하를 유지시켜 유지방전 전압을 낮추는 메모리 기능이 있다. 이러한 유전층(160)은 적어도 격벽(140) 측면에 형성된 제 2 전극(150) 전체를 감싸도록 형성되고, 공정의 편의상 격벽(140) 전체 및 격벽(140) 사이 공간 모두에 형성될 수도 있다.
유전층(160) 상에 보호층(미도시)이 더 형성될 수도 있는데, 보호층으로서 MgO를 사용하여 2차 격벽재인 유전체를 보호하고 높은 2차 전자 방출계수에 의해 방전 개시전압을 낮출 수 있게 된다.
한편, 형광층(170)이 유전층(130) 위에, 그리고 이웃하는 두 격벽(140) 사이에 형성되어 있는데, 본 발명의 내용은 이에 한하지 않고 제 2 기판 상에 형성될 수도 있다.
격벽(140) 또는 격벽 상에 도포된 유전체(160) 위에는 제 1 기판(110)과 대향하도록 제 2 기판(180)이 배치된다. 도시되지는 않았지만, 제 2 기판(180)의 하면에는 MgO 보호층이 더 형성되거나, 다른 실시예로서 제 2 기판(180)의 하면에 유전층이, 그리고 유전층 하면에 보호층이 더 형성될 수도 있다.
도 6 은 본 발명의 다른 실시예에 따른 PDP의 y-z 단면도인데, 도 5 에서 나 타낸 PDP의 구성과 상이한 점에 대해서만 설명하기로 한다.
도시한 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따라, 격벽(140) 양 측면에 형성되는 제 2 전극(150)은 격벽(140) 상면에 형성되는 연결부(155)를 통해 서로 연결되어 있다. 격벽(140) 상면은 격벽을 이루는 면 중에서 제 1 전극(120)이 형성된 기판으로부터 가장 멀리 떨어져 있는 면을 일컫는다.
여기서, 연결부(155)는 도전재로서, 연결부(155)와 제 2 전극(150)은 일체로 형성되는 것이 바람직한데, 이는 연결부(155)를 공정상 별도로 형성할 필요는 없고, 제 2 전극층을 형성할 때 격벽(140) 상면에 위치한 제 2 전극층을 연결부(155)로서 사용가능하기 때문이다. 또한, 연결부(155)는 격벽(140) 상면 전체에 형성되는 것이 바람직하다. 이는 연결부(155)의 전기저항 저감 및 공정상의 편의를 위함이다.
격벽(140)의 양 측면 및 상면에는 일정하고 고른 두께의 제 2 전극층이 형성되는데, 이러한 제 2 전극층은 제 2 전극 재료를 증착시키거나 혹은 도금시켜 형성한 다음, 불필요한 부분을 제거하여 연결부(155)를 포함하는 제 2 전극(150)을 형성하는 것이 바람직하다. 이에 대해서는 후술하기로 한다.
격벽(140) 양 측면 전체에 제 2 전극(150)을 형성하는 것이 바람직하고, 연결부(155)를 포함하는 제 2 전극(150) 상에 제 2 전극을 덮는 유전층(160)이 형성되는 것이 바람직한데, 그 이유는 도 5 에서 설명한 바와 같다.
이와 같이, 격벽(140) 양 측면에 형성되는 제 2 전극이 서로 연결되는 구조로 인해, 전극의 구동이 ALiS(Alaternative Lighting of Surface) 방식으로 이루어 진다. 기존의 교류 3전극 면방전 구조나 도 5 의 PDP 구조에서는 한 셀마다 하나의 표시전극, 하나의 주사전극, 하나의 제 1 전극이 설치되는 형태를 가진다. 그러나, 이러한 전극구조 및 방전형태는 화면 전체에서 유효방전 영역이 제한되어 전체 휘도 및 방전 효율이 떨어지고, 따라서 소비전력이 크다. ALiS 구동방식에서는 제 2 전극을 이루는 표시전극, 주사전극이 번갈아 가면서 한 번은 주사선 가운데 홀수행(odd Line)의 방전에 이용되고, 한 번은 주사선 가운데 짝수행(even Line)의 방전에 이용된다. 따라서, 제 2 전극의 형성 개수를 거의 바꾸지 않은 상태에서 주사선의 숫자를 배로 늘릴 수 있고, 방전영역도 넓어져 방전효율도 높아진다.
도 7a 내지 7i 는 본 발명에 의한 PDP의 제조방법을 나타낸 y-z 단면도인데, 이하 본 발명에 의한 PDP의 제조방법을 간단히 설명한다.
먼저, 기판에 일정 패턴의 제 1 전극을 형성한다(도 7a 참조). 제 1 전극은 주로 은(Ag) 페이스트를 패턴 인쇄하거나 감광성 은(Ag) 페이스트를 인쇄한 다음 이를 노광 및 현상하여 형성한다. 이 밖에, 스퍼터링(sputtering)을 이용한 방법 등 기존의 다양한 성막방법과, 포토에칭(photoehching)법 등 기존의 다양한 형성공법이 사용될 수도 있다.
그 다음, 상기 제 1 기판 위에 유전층을 형성한다(도 7a 참조). 제 1 기판 전면(全面)에 상기 제 1 전극을 덮는 유전층을 코팅한 후, 건조 및 소성을 통해 형성한다. 이러한 유전체 형성에는 기존의 인쇄법과 드라이 필름법이 사용될 수 있다.
그 다음, 상기 유전층 위에 제 1 전극에 수직방향의 격벽을 형성한다(도 7b 내지 7d 참조). 상기 유전층 위에 격벽재를 수 회 전면 인쇄한 후(도 7b), 드라이 필름 레지스트(dry film resist)를 라미네이팅(laminating)한 다음 이를 노광 및 현상한다(도 7c). 그리고, 샌드블래스팅을 하고 상기 레지스트를 박리한 후 소성과정을 거치면 격벽 형성이 완료된다(도 7d). 이러한 격벽 사이 공간에는 이후에 형광층이 도포된다. 이 밖에, 스크린 인쇄(screen printing)법, 스퀴징(squeezing)법, 포토리소그라피(photolithograpy)법, 디렉트 에칭(direct etching)법 등이 사용될 수 있다.
그 다음, 상기 유전층 및 격벽이 형성된 기판 전면에 제 2 전극층을 일정 두께로 형성한다(도 7e 및 7f 참조). 이를 위해, 격벽의 측면과 상면 전체 및 격벽 사이 공간 전면(全面)에 Al이나 Ag 같은 전극물질을 증착시키거나 도금시켜 일정하고 고른 두께의 전극층을 형성한다(도 7e). 이 후, 격벽의 측면과 상면 전체를 제외하고 격벽 사이에 형성된 제 2 전극층을 레이저 등을 이용하여 제거하면 도 6 의 PDP가 제조된다. 또는, 격벽의 측면을 제외하고 격벽의 상면과 격벽 사이에 형성된 제 2 전극층을 레이저 컷팅하면 도 5 의 PDP가 제조된다(도 7f).
이에 따라, 대향방전형 PDP의 제 2 전극 형성에는 부적합한 종래의 인쇄 후 노광 및 현상하는 방법을 대신하여, 본 제조방법을 적용함으로써 고른 두께의 제 2 전극층을 원하는 위치에 쉽게 형성할 수 있게 된다. 또한, 격벽 측면에 넓은 전극형성이 가능하여 대향방전형 구조의 특징인 방전되는 진공 자외선의 볼륨을 크게 할 수 있고 방전전압을 크게 낮출 수 있게 된다.
그 다음, 상기 제 2 전극 상에 제 2 전극을 덮는 유전층을 형성한다(도 7g). 유전층은 벽전하를 유지시켜 유지방전 전압을 낮추는 메모리 기능이 있다. 이러한 유전층은 적어도 격벽 측면에 형성된 제 2 전극 전체를 감싸도록 형성되고, 공정의 편의상 격벽 전체 및 격벽 사이 공간 모두에 형성될 수도 있다.
그 다음, 유전층 상에 보호층(미도시)이 더 형성될 수도 있는데, 보호층으로서 MgO를 사용하여 2차 격벽재인 유전체를 보호하고 높은 2차 전자 방출계수에 의해 방전 개시전압을 낮출 수 있게 된다. 보호층 형성은 스퍼터링법, 이온 플래팅(ion plating)법 등 기존의 형성공법이 사용된다.
그 다음, 상기 유전층 위에, 그리고 이웃하는 두 격벽 사이에 형광층을 형성한다(도 7h 참조). 형광층을 형성하는 방법은 RGB 각 컬러에 해당하는 셀에 해당 형광층를 도포하고 패터닝(patterning)하는 등 기존에 개발된 방법이 다양하게 사용될 수 있다. 그러나, 본 발명의 내용은 이에 한하지 않고 제 2 기판 상에 형광층을 형성할 수도 있다.
그 다음, 상기 제 1 기판과 이에 대향하는 제 2 기판을 조립 및 봉착한다(도 7i 참조). 제 2 기판과 제 1 기판을 정렬하여 전극 및 격벽이 내측에 오도록 실링 공정을 실시한다. 실링 공정을 위해 두 기판 가운데 적어도 하나의 내측면 주변부에는 연속된 형태의 프릿 글래스(frit glass)를 도포한다. 이어서, 두 기판을 정렬하여 밀착시킨다. 따라서, 두 기판에 의해 상·하면이 제한되고, 프릿 그래스에 의해 4방향의 측면이 차단된 밀봉 공간이 형성되고, 각 화소에는 셀 구조가 형성된다. 또한, 기판의 일부에 미리 배기구를 형성하여 배기구를 통해 내부 공기를 제거하며, 방전가스를 넣고 배기구를 다시 봉지하는 공정이 이루어진다. 그리고, 도시 되지는 않았지만, 제 2 기판의 하면에는 MgO 보호층을 더 형성하거나, 다른 실시예로서 제 2 기판의 하면에 유전층을, 그리고 유전층 하면에 보호층을 더 형성할 수도 있다.
본 발명에 따른 플라즈마 표시 패널 및 그 제조방법은 제 1 전극을 덮는 유전층 및 격벽이 형성된 기판 전면(全面)에 제 2 전극층을 입힌 후 격벽 사이의 유전층 위에 형성된 제 2 전극층을 레이저를 이용하여 제거함으로써 고른 두께의 제 2 전극을 원하는 위치에 쉽게 얻을 수 있다. 또한, 격벽 측면에 넓은 전극형성이 가능하여 대향방전형 구조의 특징인 방전되는 진공 자외선의 볼륨을 크게 할 수 있고 방전전압을 크게 낮출 수 있다.
본 발명은 도시된 실시예를 중심으로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 할 수 있는 다양한 변형 및 균등한 타 실시예를 포괄할 수 있음을 이해할 것이다.

Claims (10)

  1. 일정 간격을 가지고 이격되어 주변의 실링재와 함께 밀봉된 공간을 형성하는 제 1 기판 및 제 2 기판;
    상기 제 1 기판 또는 제 2 기판에 형성되는 제 1 전극;
    상기 두 기판 사이에서 상기 공간을 구획하고, 상기 제 1 전극과 수직 방향으로 형성되는 격벽;
    상기 격벽 양 측면 전체에 일정두께로 넓게 형성되는 제 2 전극; 및
    상기 격벽에 의해 구획된 공간 내에 형성되고, 상기 제 2 전극층 상에 형성되는 형광층을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 전극은 상기 격벽 양 측면에 일정 두께로 증착 또는 도금되어 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 격벽 양 측면에 형성되는 별개의 제 2 전극이, 상기 격벽 상·하면 중 상기 제 1 전극이 형성된 기판에서 거리가 먼 면에 형성되는 연결부를 통해 서로 연결되어 하나의 제 2 전극을 이루는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 연결부는 상기 격벽 상·하면 중 상기 제 1 전극이 형성된 기판에서 거리가 먼 면 전체에 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널.
  6. 제 1 항 및 제 3 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 격벽 양 측면에 형성된 제 2 전극은 상기 격벽 양 측면 전체에 일정 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
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