JP2001052622A - 平面型プラズマ放電表示装置 - Google Patents

平面型プラズマ放電表示装置

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JP2001052622A
JP2001052622A JP11229867A JP22986799A JP2001052622A JP 2001052622 A JP2001052622 A JP 2001052622A JP 11229867 A JP11229867 A JP 11229867A JP 22986799 A JP22986799 A JP 22986799A JP 2001052622 A JP2001052622 A JP 2001052622A
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sustaining
electrode
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浩信 安倍
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 明るい表示を行える平面型プラズマ放電表示
装置を提供する。 【解決手段】 第１、第２の基板１、２を対向して配置
し、複数のアドレス電極Ａを並置配列したアドレス電極
群１３と、複数の第１の放電維持電極Ｓ1 を並置配列し
た第１の放電維持電極群１１と、第１の放電維持電極と
の間で放電維持動作をする複数の第２の放電維持電極Ｓ
2 を並置配列した第２の放電維持電極群１２とを設け
る。第１の基板側には、第１の放電維持電極群を形成
し、第２の基板側にはアドレス電極群を形成し、第１の
基板又は第２の基板側には第２の放電維持電極群を形成
し、第１の放電維持電極と第２の放電維持電極とは、誘
電体層３を介して対向配置し、第１の放電維持電極と第
２の放電維持電極及びアドレス電極とは、主たる延長方
向が互いに交叉する第１及び第２の方向に選定する。こ
れによって開口率を大きくすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、交流プラズマ放電
を用いる平面型プラズマ放電表示装置に係わる。
【０００２】
【従来の技術】プラズマ放電を利用する平面型表示装置
は、例えば特開平７−２２００６４１号公報に開示され
た表示装置が挙げられる。この種の従来の平面型表示装
置は、例えば図６に一部を分断した概略斜視図を示し、
図７にその分解概略斜視図を示すように、例えばガラス
基板より成る第１および第２の基板１０１および１０２
が所要の間隔を保持して対向されて、その周囲が気密的
に封止された偏平容器が構成されて成る。
【０００３】第１の基板１０１の内面には、対となる例
えば透明導電層によって形成された第１および第２の放
電維持電極１０３および１０４が、複数対（図において
は１対のみが示されている）平行配列されて成る放電維
持電極群１０５が形成される。そして、これら透明導電
層によって形成される放電維持電極１０３および１０４
は、その抵抗率が高いことから、各対となる放電維持電
極１０３および１０４の互いの対向側とは反対側の側縁
に沿って導電率の高い金属層によるいわゆるバス電極１
０３ｂおよび１０４ｂが被着形成される。
【０００４】第２の基板１０２の内面には、放電維持電
極１０３および１０４の延長方向と直交する方向に延び
る隔壁１０６が所定の間隔をもって平行配列され、これ
ら隔壁１０６間にストライプ状にアドレス電極１０７が
形成されたアドレス電極群１０８が形成されると共に、
各隔壁１０６間に、プラズマ放電によって発生する紫外
線による励起によってそれぞれ各色例えば赤、緑および
青の各色光を発光する蛍光体Ｒ、ＢおよびＢが塗布され
て成る。
【０００５】図８は、第１および第２の放電維持電極１
０３および１０４と、アドレス電極１０７と、更に隔壁
１０６の平面的配置関係を示した図である。
【０００６】上述した構成による平面型プラズマ放電表
示装置の駆動は、それぞれ選択されたアドレス電極１０
７と、第１の放電維持電極１０３との間に、所要の放電
開始電圧を印加することによって、これらが交叉する部
分において電荷の蓄積を生じさせ、高周波放電現象によ
る放電を開始させる。この状態で、この放電維持電１０
３と対の放電維持電極となる第２の放電維持電極１０４
との間に所要の交流電圧を印加することによって、この
部分における放電空間中にプラズマを発生させ、同時に
電荷蓄積を行い放電を持続すなわち放電維持させる。そ
して、この放電によって発生する紫外線によってこの交
叉部に位置する上述した各色の蛍光体Ｒ，ＧおよびＢを
発光させる。
【０００７】この場合、例えば図８に模式的に示すよう
に、アドレス電極１０７と、対の放電維持電極１０３お
よび１０４との交叉部に実線ａで囲んで示す領域が、ほ
ぼ放電領域となり、斜線を付して示した領域が、ほぼ蛍
光体の発光領域、すなわち画素領域１１０となる。つま
り、この構成においては、画素領域と、放電領域の各中
心がほぼ一致する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】現在、平面型プラズマ
放電表示装置は、実用化されるに至っているが、その輝
度において、未だ充分満足できない状態にある。例え
ば、４２インチ画面のこの種平面型プラズマ放電表示装
置の表示パネルにおける輝度は、高々５００ｃｄ／ｍ2
程度である。このパネルを用いて最終的に完成された表
示装置においては、電磁波遮蔽や、外光反射防止のため
のシートやフィルムが、その表示パネルに重ねられるこ
とから、実際に観察される明るさは、かなり低められて
しまう。
【０００９】例えば、上述した蛍光体およびアドレス電
極１０７が形成された第２の基板１０２側とは反対側の
第１および第２放電維持電極１０３および１０４が配置
された側の第１の基板１０１側より画像を観察するよう
にしたいわゆる反射型の平面型プラズマ放電表示装置に
おいては、放電維持電極１０３および１０４を通じて発
光表示を観察することから、これらを透明電極によって
構成する必要があり、またこれらを透明電極によって構
成しても、これらにバス電極１０３ｂおよび１０４ｂを
配置することから、発光部の光遮蔽が大きくなる。ま
た、これら放電維持電極を透明電極によって構成して
も、これら透明電極を通過するに際しての光の吸収は無
視できないものである。
【００１０】更に、図８で示したように、放電領域１０
９と画素領域１１０との中心がほぼ一致するために、こ
の放電領域１０９から発生する不要電磁波や、紫外線の
外部への放出を遮蔽する遮蔽層を設けるとき、これによ
って本来の表示のための発光をも減少させてしまう。
【００１１】これらのことが、完成された平面型プラズ
マ放電表示装置における輝度の低下を来している。本発
明は、このような不都合を効果的に回避して、明るい表
示を行うことができる平面型プラズマ放電表示装置を提
供する。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明による平面型プラ
ズマ放電表示装置は、第１の基板と第２の基板とが対向
して配置され、その周辺部が、例えばフリットシールに
よって気密的に封止され、これら第１および第２の基板
間に、偏平な気密空間が形成される。そして、この平面
型プラズマ放電表示装置は、複数のアドレス電極が並置
配列されて成るアドレス電極群と、複数の第１の放電維
持電極が並置配列されて成る第１の放電維持電極群と、
第１の放電維持電極との間で放電維持動作がなされる複
数の第２の放電維持電極が並置配列されて成る第２の放
電維持電極群とが設けられて成る。第１の基板側には、
第１の放電維持電極群が形成され、第２の基板側には、
アドレス電極群が形成され、第１の基板側あるいは第２
の基板側には、第２の放電維持電極群が形成されるもの
であり、第１の放電維持電極と、第２の放電維持電極と
は、少なくとも誘電体層を介して対向配置されて、第１
の放電維持電極と、第２の放電維持電極とは、それぞれ
その主たる延長方向が、互いに交叉する第１および第２
の方向に選定された構成とする。
【００１３】上述したように、本発明による平面型プラ
ズマ放電表示装置においては、対の放電維持電極を構成
する第１および第２の放電維持電極を、互いに交叉する
ようにしたことから、一方の放電維持電極が、画素領域
の中心からはずれることから、実質的開口率を高めるこ
とができ明るい表示を行うことができる。
【００１４】また、放電領域と画素領域との少なくとも
中心位置をずらすことができることから、不要電磁波や
不要紫外線の遮蔽層を、画素領域の全域、もしくは少な
くとも一部には設けることのない構成とすることができ
ることによって、より明るい表示が可能となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明による平面型プラズマ放電
表示装置の一実施形態の一例を、図１の一部の分解斜視
図を参照して説明する。しかしながら、本発明装置は、
この例に限られるものではない。
【００１６】この平面型プラズマ放電表示装置は、例え
ばガラス基板より成る第１および第２の基板１および２
が、所要の間隔を保持して対向され、図示しないが、そ
の周囲が気密的に例えばフリットシールによって封止さ
れて偏平容器が構成される。この例においては、第１の
基板１側から発光表示を観察する場合であり、この場
合、少なくとも第１の基板１は、表示光を透過する透明
ガラス基板によって構成される。
【００１７】第１の基板１側には、多数の第１の放電維
持電極Ｓ1 が並置配列されて成る第１の放電維持電極群
１１が形成される。これら第１の放電維持電極Ｓ1 は、
第１の基板１の内面に例えば直接的、あるいは絶縁層、
絶縁基板等を介して間接的に被着形成された透明導電層
例えばＩＴＯ（インジウム錫酸化物）によって構成する
ことができる。これら第１の放電維持電極Ｓ1 は、基板
１の基板面に沿う第１の方向（以下Ｘ方向という）に延
長する例えばストライプ状に、かつ相互に所要の間隔を
保持して平行に並置配列される。
【００１８】第１の放電維持電極群１１の配置面上に
は、例えば全面的に、ＳｉＯ2 等の誘電体層３が被着形
成され、その上に、例えばＭｇＯ等による仕事関数が
小、あるいは（および）２次電子放出比が高く、耐スパ
ッタリング性を有する表面層４が被覆される。
【００１９】また、第１の基板１の例えば表面層４上
に、後述する隔壁５に対応して不要の電磁波や紫外線の
外部への放出を効率良く遮蔽することのできる例えば金
属薄膜やＩＴＯ膜、金属網等による遮蔽膜９をストライ
プ状に被着形成する。
【００２０】第２の基板２側には、複数の第２の放電維
持電極Ｓ2 が並置配列されて成る第２の放電維持電極群
１２と、同様に複数のアドレス電極Ａが並置配列されて
成るアドレス電極群１３と、更に同様に複数のストライ
プ状の隔壁５が並置配列されて形成される。
【００２１】アドレス電極Ａは、第２の基板２上に例え
ば直接的にあるいは絶縁層、絶縁基板を介して間接的に
相互に所定の間隔を保持してストライプ状の導電性にす
ぐれた例えばＡｌ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ｃｒ等の金属層
が、上述したＸ方向と交叉例えば直交する第２の方向
（以下Ｙ方向という）に延長して平行に並置配列されて
形成される。
【００２２】これらアドレス電極Ａ、すなわちアドレス
電極群１３を覆ってＳｉＯ2 等の誘電体層６が全面的に
形成され、この上に、各アドレス電極Ａの配置部間にそ
れぞれ対応して、同様にＹ方向に延長するストライプ状
の絶縁性の隔壁５が、相互に平行に配列形成される。
【００２３】そして、これら隔壁５に、隔壁５の延長方
向、すなわちＹ方向に延長して、それぞれ第２の放電維
持電極Ｓ2 が形成される。図１に示した例では、隔壁５
の頂面から所要の距離を隔てた隔壁内に、光透過性を必
要としない材料および厚さを有する導電性にすぐれた例
えばＡｌ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ｃｒ等の金属層によるス
トライプ状の第２の放電維持電極Ｓ2 を配置形成した場
合である。そして、これらストライプ状の第２の放電維
持電極Ｓ2 の両側縁が臨む隔壁５の側面にＳｉＯ2 等の
誘電体層７を形成し、更にその上に、前述した表面層４
と同様の例えばＭｇＯによる表面層８を被着形成する。
【００２４】また、各隔壁５間の溝内に、その溝の延長
方向に沿って、それぞれ、紫外線励起によって例えば
赤、緑および青の色光を発光する蛍光体Ｒ、ＧおよびＢ
を、順次配列塗布する。
【００２５】この本発明構成による平面型プラズマ放電
表示装置における第１および第２の放電維持電極Ｓ1 お
よびＳ2 、アドレス電極Ａ、隔壁５の平面的配置関係
は、図２に示すようになる。
【００２６】このようにして、第１および第２の基板１
および２が、隔壁５によって所要の間隔に保持された状
態で対向される。また、同時にこの隔壁５によって、ま
た、この隔壁５における第２の放電維持電極Ｓ2 の配置
位置の選定等によって第１および第２の放電維持電極Ｓ
1 およびＳ2 の放電維持に際して対となる電極間間隔、
すなわち相互の交叉部における放電維持に寄与する部分
における間隔が設定される。図１においては、ストライ
プ状の第２の放電維持電極Ｓ2 の両側縁と各第１の放電
維持電極Ｓ1 との間隔を所定の間隔に設定する。この間
隔は、例えば５０μｍ以下、好ましくは２０μｍ以下の
例えば１０μｍに設定する。更に、同時にアドレス電極
Ａと第１の放電維持電極Ｓ1 との間隔を、１００μｍ以
上例えば１３０μｍに設定する。
【００２７】そして、第１および第２の基板１および２
によって形成された気密空間内が排気され、所要のガ
ス、例えばＨｅ，Ｎｅ，Ａｒ，Ｘｅ，Ｋｒ等の希ガスの
うちの１種以上のガス、例えばＮｅとＸｅとの最適化さ
れた混合ガスによるいわゆるペニングガスが封入され
る。この封入ガスの圧力は、アドレス電極Ａ、放電維持
電極Ｓ1 およびＳ2 の各間隔等に関連して安定して高輝
度、高効率の放電を維持できる圧力をもって封入され
る。
【００２８】この平面型プラズマ放電表示装置の駆動
は、リセット期間と、アドレス期間と、サステイン（放
電維持）期間とを有し、アドレス期間においてそれぞれ
選択されたアドレス電極Ａと、第１の放電維持電極Ｓ1
との間に、所要の放電開始電圧を印加することによっ
て、これらが交叉する部分において電荷の蓄積を生じさ
せ、高周波放電現象による放電の立ち上げ、すなわち放
電を開始させる。そして、次のサステイン期間で、第１
および第２の放電維持電極Ｓ1 およびＳ2 間に、所要の
交流電圧を印加することによって、この部分における放
電空間中にプラズマを発生させ、同時に電荷蓄積を行い
放電を持続すなわち放電維持させる。そして、この放電
によって発生する紫外線によってこの交叉部に対応する
上述した各色の蛍光体Ｒ，ＧおよびＢを発光させる。
【００２９】この場合、アドレス電極Ａと第１の放電維
持電極Ｓ1 との間隔が、例えば１００μｍ以上に選定さ
れていることから、これら間の放電、すなわち放電開始
の放電は、いわゆる負グロー放電が発生する。そして、
放電維持に関しては、第１および第２の維持電極間間隔
を、５０μｍ以下好ましくは２０μｍ以下の例えば１０
μｍに選定することによって、この放電は、主として陰
極グロー放電によって行う。
【００３０】このように陰極グロー放電によるときは、
従来と同等の電力を投入した場合は、その放電効率、紫
外線発生効率を高めることができる。また、負グロー放
電の場合に比し同一ないしはそれ以上の輝度を得る場合
において放電維持電圧を小さくすることができる。
【００３１】上述の本発明による平面型プラズマ放電表
示装置においては、図２で模式的に示すように、その放
電領域２０は、隔壁５間の、鎖線を付して示した第１お
よび第２の放電維持電極Ｓ1 およびＳ2 の交叉部の第２
の放電維持電極Ｓ2 の側縁近傍となり、発光領域すなわ
ち画素領域２１は、実線ａで囲んで示す隔壁５間の蛍光
体が塗布されたアドレス電極Ａ上となる。したがって、
これら放電領域２０と、画素領域２１の少なくとも互い
の中心は、相互にずれる。したがって、第１の基板１側
に配置する放電部から発生する不要電磁波や紫外線を遮
蔽する遮蔽膜９は、殆ど画素領域２１を覆うことのない
位置および幅をもって形成することができる。
【００３２】尚、図１に示した例では、第２の放電維持
電極Ｓ2 を、その両側縁が隔壁５の側面に臨むように配
置した場合であるが、図３にその要部の断面図を示すよ
うに、隔壁５内に埋込んでその両側縁が、隔壁５の側面
に臨むことのない配置とする場合は、隔壁５自体をもっ
て誘電体層とし、図１における誘電体層７の形成を省略
することができる。また、あるいは、図４にその要部の
断面図を示すように、第２の放電維持電極Ｓ2 を、隔壁
５の頂面に配置することもできる。図３および図４にお
いて図１と対応する部分には同一符号を付して重複説明
を省略する。
【００３３】そのほか図示しないが、第２の放電維持電
極Ｓ2 を、隔壁５の側面に沿って配置するなど種々の配
置構成を採ることができる。
【００３４】上述した例では、第１の基板１側に第１の
放電維持電極Ｓ1 を形成し、第２の基板２側に第２の放
電維持電極Ｓ2 を形成した場合であるが、他の一実施形
態として、例えば図５にその一例の一部の分解斜視図を
示すように、第１の基板１側に第１および第２の放電維
持電極Ｓ1 およびＳ2 を共に配置した構成とすることが
できる。図５において、図１と対応する部分には同一符
号を付して重複説明を省略するが、この場合は、図１に
示したと同様に第１の基板１に、第１の放電維持電極Ｓ
1 を形成して後、例えば全面的に絶縁層、すなわち誘電
体層３を形成して後、これによって第１の放電維持電極
Ｓ1 と電気的に絶縁した状態で、この上に、ストライプ
状の第２の放電維持電極Ｓ2 を、隔壁５に対向する位置
に、すなわちＹ方向に沿って形成する。あるいは、第２
の放電維持電極Ｓ2 を形成した後に、第１の放電維持電
極Ｓ1 の形成を行うこともできる。
【００３５】そして、これら第１および第２の放電維持
電極Ｓ1 およびＳ2 を覆って例えば全面的に前述した例
えばＭｇＯによる表面層４を形成する。この場合におい
ても、第１および第２の放電維持電極Ｓ1 およびＳ2 の
交叉部における間隔は、例えば５０μｍ以下好ましくは
２０μｍ以下の例えば１０μｍとなるように、誘電体層
３の厚さの選定がなされる。
【００３６】尚、上述した各実施形態の各例では、誘電
体層３を、第１の放電維持電極Ｓ1の配置部全面に、す
なわち第１の放電維持電極群１１を全面的に覆って形成
した場合であるが、第１の放電維持電極Ｓ1 上に限定的
に形成することもできる。
【００３７】上述したように、本発明による平面型プラ
ズマ放電表示装置においては、その第１および第２の放
電維持電極Ｓ1 およびＳ2 を交叉させる構成としたこと
によって、第１の放電維持電極群１１の放電維持電極Ｓ
1 間の間隔を大にすることができる。したがって、その
開口率を大とすることができることによって明るい表示
を行うことができる。
【００３８】また、放電領域２０と画素領域２１の中心
位置をずらすことができることによって、放電領域２０
を含む領域に限定的に、遮蔽膜９を形成し、画素領域２
１の少なくとも一部上においては、遮蔽膜９が形成され
ない構造とすることができる。更に、上述したように開
口率を高めることができることによって、第１の放電維
持電極Ｓ1 の間隔および幅を従来に比し大とすることが
できるので、この上に形成する誘電体層３のパターン化
が可能となる。つまり、この誘電体層３を、画素領域２
１の少なくとも一部上において排除する構成とすること
によって、表示発光の外部への光導出率を高めることが
でき、より明るい表示を行うことができる。
【００３９】あるいは、また、上述したように、開口率
が高められることによって、従来構造と同程度もしくは
それ以上に保持した状態で、透明導電層による第１の放
電維持電極Ｓ1 の幅および厚さを大とすることができる
ことから、この第１の放電維持電極Ｓ1 の電気抵抗を小
さくすることができて、或る場合はバス電極の配置の省
略、あるいは幅狭化が可能となることから、より明るさ
の改善が図られる。
【００４０】また、上述したように、放電維持電極Ｓ1
およびＳ2 間の間隔を、５０μｍ以下好ましくは２０μ
ｍの例えば１０μｍとすることによって、これらの放電
を主として陰極グロー放電による放電態様とすることが
でき、この放電は、負グロー放電に比し、その駆動電力
の低減化、プラズマ発生率の向上、したがって、紫外線
発生率の向上を図ることができることから、発光輝度の
向上を図ることができ、また節電、特に大画面表示にお
いて大きな節電効果を奏することができる。
【００４１】次に、上述した本発明による平面型プラズ
マ放電表示装置を製造する方法の一例を、図１の構成に
よる平面型プラズマ放電表示装置を得る場合について説
明する。第１の基板１側について説明すると、この場
合、例えばガラス基板１が用意され、この基板１の内面
に、例えば直接的に、第１の放電維持電極Ｓ1 を形成す
る。この第１の放電維持電極Ｓ1 の形成は、例えば基板
１の内面に全面的に透明導電層、例えばＩＴＯや、酸化
錫等を例えばスパッタリング等の周知の薄膜技術によっ
て成膜し、これを例えばフォトリソグラフィにほるパタ
ーンエッチングによって前述したように、Ｘ方向に延長
するストライプ状の複数の第１の放電維持電極Ｓ1 を平
行配列して形成する。
【００４２】次に、図１に示すように、第１の放電維持
電極Ｓ1 の例えば一側縁に沿ってバス電極１１ｂを被着
形成する。このバス電極１１ｂの形成は、先ず放電維持
電極Ｓ1 を覆って全面的に、良導電性のＡｇ，Ａｌ，Ｎ
ｉ，Ｃｕ，Ｃｒ等の金属を、スパッタリング等によって
形成し、その後、所要のパターン、すなわち各放電維持
電極Ｓ1 上に、これら放電維持電極Ｓ1 の延長方向に沿
い、かつ放電維持電極Ｓ1 の幅より充分幅狭のパターン
に、例えばフォトリソグラフィによるパターンエッチン
グを行って形成する。あるいは、導電材をスクリーン印
刷によって上述した所要のパターンに印刷することによ
って、上述したパターンのバス電極１１ｂの形成を行う
こともできる。
【００４３】その後、全面的に例えばＳｉＯ2 による誘
電体層３を、例えばＣＶＤ(Chemical Vapor Depositio
n) 法等によって形成する。また、必要に応じて前述し
たように、この誘電体層３に対し、フォトリソグラフィ
によるパターンエッチングによって、例えば第１の放電
維持電極Ｓ1 上を除く、例えば最終的に画素領域となる
部分の誘電体層３を除去する。
【００４４】そして、全面的に表面層４を例えばＭｇＯ
を約０．５μｍ〜１．０μｍに、例えば電子ビーム蒸着
法によって形成する。この表面層４の形成の後、または
前に、遮蔽膜９を前述した所定の位置およびパターンに
形成する。
【００４５】一方、第２の基板２に係わる製造方法につ
いて説明する。この場合においても、例えばガラス基板
による第２の基板２が用意され、その内面に例えば直接
的に、アドレス電極Ａの形成がなされる。このアドレス
電極Ａの形成は、前述したバス電極１１ｂの形成方法と
同様に、例えば全面的に、良導電性のＡｇ，Ａｌ，Ｎ
ｉ，Ｃｕ，Ｃｒ等の金属を、スパッタリング等によって
形成し、その後、所要のパターン、すなわちＹ方向に延
びる複数のストライプ状のパターンに、例えばフォトリ
ソグラフィによるパターンエッチングを行って形成す
る。あるいは、導電材を所要のパターンに例えばスクリ
ーン印刷によって被着して所要のパターンの複数のアド
レス電極Ａを形成することもできる。
【００４６】次に、全面的に、例えばＳｉＯ2 による誘
電体層（絶縁層）６を、ＣＶＤ法等によって形成し、こ
の上の、各アドレス電極Ａ間に所要の高さ、例えば約１
００μｍ以上例えば１５０μｍ程度の高さの隔壁５を形
成する。図１の例では、隔壁５が隔壁本体５Ａと、その
上に形成した絶縁層５Ｂとによって構成し、これら間に
第２の放電維持電極Ｓ2 を形成するようにした場合であ
る。この場合、先ず隔壁本体５Ａの形成を行う。この形
成は、例えばガラスペーストを用いて所定のパターンに
印刷し、これを乾燥するという作業を繰り返すことによ
って形成することができる。あるいは、所要の厚さに全
面的にガラスペーストを塗布し、乾燥し、この上に例え
ばフォトレジスト層によるマスクを形成し、サンドブラ
ストによってマスクによって覆われていない部分を除去
することによって隔壁本体５Ａの形成を行うこともでき
る。
【００４７】その後、例えば全面的に、良導電性のＡ
ｇ，Ａｌ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｃｒ等の金属を、スパッタリン
グ等によって形成し、その後、隔壁本体５Ａ上の金属層
を残して他部を、例えばフォトリソグラフィによるパタ
ーンエッチングによって除去して、第２の放電維持電極
Ｓ2 の形成を行う。
【００４８】次に、この放電維持電極Ｓ2 を覆って、Ｓ
ｉＯ2 等を、スパッタリング等によって形成して、絶縁
層５Ｂと、更に例えば誘電体層６の形成とを同時に行
う。
【００４９】その後、各隔壁５間の溝部内に、各色の蛍
光体Ｒ，ＧおよびＢを、所要の順序をもってそれぞれ２
つおきの溝部に、感光性蛍光体スラリーを用いた、塗
布、露光の手順で形成するとか印刷によって形成する。
【００５０】次に、隔壁５の、両側面側上方から斜め蒸
着によって、例えばＭｇＯによる前述した表面層８の形
成を行う。
【００５１】このようにしてそれぞれの電極が形成され
た第１および第２の基板１および２を、第１の放電維持
電極Ｓ1 の延長方向と、第２の放電維持電極Ｓ2 ，アド
レス電極Ａ，隔壁５の延長方向とが交叉例えば直交する
ように、対向させ、両基板の周辺部をフリットシール等
によって気密的に封止する。そして、その封止部に設け
た通気口を通じて、第１および第２の基板１および２間
に形成された空間の排気を行い、前述した所要のガスの
導入を行い通気口を封止する。
【００５２】また、実際には、第１および第２の基板１
および２の、少なくとも各１側縁は、互いに他の基板２
および１から突出させて外部に導出させ、これら側縁
に、第１の放電維持電極Ｓ1 の端部、第２の放電維持電
極Ｓ2 およびアドレス電極Ａの端部を導出してこれらを
それぞれの給電端子とする。
【００５３】上述した製造方法の例は、図１で示した平
面型プラズマ放電表示装置を得る場合であるが、図５で
示した実施形態による平面型プラズマ放電表示装置、す
なわち第１の基板１側に、第１および第２の放電維持電
極Ｓ2 を形成する構成とする場合においては、前述した
第１の基板１側の製造工程において、第１の放電維持電
極Ｓ1 の形成および誘電体層３の形成後に、この上に第
２の放電維持電極Ｓ2を形成する。この第２の放電維持
電極Ｓ2 の形成は、例えば前述したと同様に、全面的
に、良導電性のＡｇ，Ａｌ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｃｒ等の金属
をスパッタリング等によって形成し、例えばフォトリソ
グラフィによるパターンエッチングを行うことによって
形成することができる。そして、この場合は、第２の基
板２側の製造工程において、上述した第２の放電維持電
極Ｓ2 の形成工程、絶縁層５Ｂの形成等を省略する。
【００５４】尚、本発明による平面型プラズマ放電表示
装置およびその製造方法は、上述した例に限られるもの
ではなく、種々の変形変更を行うことができるものであ
る。
【００５５】
【発明の効果】上述したように、本発明による平面型プ
ラズマ放電表示装置においては、その第１および第２の
放電維持電極Ｓ1 およびＳ2 を交叉させた構成とするこ
とによって、第１の放電維持電極Ｓ1 相互の間隔を大に
することができる。したがって、その開口率を大とする
ことができることによって明るい表示を行うことができ
る。また、放電領域と画素領域とがずれることによっ
て、不要電磁波や紫外線の外部への放出を遮蔽する遮蔽
膜を限定された位置に形成し、画素領域の少なくとも一
部上においてこの遮蔽膜が形成されない構造とすること
ができることによって、より明るい表示を行うことがで
きる。更に、開口率を高めることができることによっ
て、第１の放電維持電極の間隔および幅を従来に比し大
とすることができるので、この上に形成する誘電体層の
パターン化が可能となり、更にこの誘電体層の存在によ
る表示発光の減衰を回避でき、より明るい表示を行うこ
とができる。
【００５６】また、上述したように、開口率が高められ
ることによって、従来構造と同程度もしくはそれ以上の
開口率を保持した状態で、透明導電層による第１の放電
維持電極Ｓ1 の幅および厚さを大とすることができるこ
とから、この第１の放電維持電極の電気抵抗を小さくす
ることができて、バス電極の配置の省略、あるいは幅狭
化が可能となることから、より明るさの改善が図られ
る。
【００５７】また、上述したように、第１および第２の
放電維持電極間の間隔を、５０μｍ以下好ましくは２０
μｍの例えば１０μｍとすることによって、これらの放
電を主として陰極グロー放電による放電態様とすること
ができ、この放電は、負グロー放電に比し、その駆動電
力の低減化が図られ、負グロー放電の場合と同等の電力
を投入した場合、プラズマ発生率の向上、したがって、
紫外線発生率の向上を図ることができることから、発光
輝度の向上を図ることができる。また、陰極グロー放電
による構成とすることによって、節電、特に大画面表示
において大きな節電効果を奏することができる。この駆
動電力の低減化によって放熱手段例えば、放熱ファンの
省略、または小型化、個数の減少化を図るとか、放熱フ
ィンの枚数、小型等を図ることができ、平面型プラズマ
放電表示装置の軽量化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による平面型プラズマ放電表示装置の一
例の一部の分解斜視図である。
【図２】本発明による平面型プラズマ放電表示装置の電
極配置を示す平面図である。
【図３】本発明による平面型プラズマ放電表示装置の他
の一例の要部の断面図である。
【図４】本発明による平面型プラズマ放電表示装置の更
に他の一例の要部の断面図である。
【図５】本発明による平面型プラズマ放電表示装置の更
に他の一例の要部の分解斜視図である。
【図６】従来の平面型プラズマ放電表示装置の一部の斜
視図である。
【図７】従来の平面型プラズマ放電表示装置の一部の分
解斜視図である。
【図８】従来の平面型プラズマ放電表示装置の電極等の
配置関係を示す平面図である。
【符号の説明】
Ｓ1 ・・・第１の放電維持電極、Ｓ2 ・・・第２の放電
維持電極、Ａ・・・アドレス電極、１・・・第１の基
板、２・・・第２の基板、３，６，７・・・誘電体層、
４，８・・・表面層、５・・・隔壁、５Ａ・・・隔壁本
体、５Ｂ・・・絶縁層、９・・・遮蔽膜、１１・・・第
１の放電維持電極群、１１ｂ・・・バス電極、１２・・
・第２の放電維持電極群、１３・・・アドレス電極群、
１０１・・・第１の基板、１０２・・・第２の基板、１
０３・・・第１の放電維持電極、１０４・・・第２の放
電維持電極、１０５・・・放電維持電極群、１０３ｂ，
１０４ｂ・・・バス電極、１０６・・・隔壁、１０７・
・・アドレス電極、１０８・・・アドレス電極群

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 第１の基板と第２の基板とが対向して配
    置され、 複数のアドレス電極が並置配列されて成るアドレス電極
    群と、 複数の第１の放電維持電極が並置配列されて成る第１の
    放電維持電極群と、 上記第１の放電維持電極との間で放電維持動作がなされ
    る複数の第２の放電維持電極が並置配列されて成る第２
    の放電維持電極群とを有し、 上記第１の基板側に、上記第１の放電維持電極群が形成
    され、 上記第２の基板側に、上記アドレス電極群が形成され、 上記第１の基板側あるいは上記第２の基板側に、上記第
    ２の放電維持電極群が形成され、 上記第１の放電維持電極と、上記第２の放電維持電極と
    は、少なくとも誘電体層を介して対向配置され、 上記第１の放電維持電極と、上記第２の放電維持電極と
    は、それぞれその主たる延長方向が、互いに交叉する第
    １および第２の方向に選定されて成ることを特徴とする
    平面型プラズマ放電表示装置。
  2. 【請求項２】 上記第１および第２の放電維持電極間の
    放電が、主として陰極グロー放電による放電としたこと
    を特徴とする請求項１に記載の平面型プラズマ放電表示
    装置。
  3. 【請求項３】 上記第１および第２の放電維持電極間の
    放電維持のための電極間距離が、５０μｍ以下とされ
    て、主として陰極グロー放電による放電維持がなされる
    ことを特徴とする請求項１に記載の平面型プラズマ放電
    表示装置。
  4. 【請求項４】 上記第１の放電維持電極が、透明電極よ
    り成ることを特徴とする請求項１に記載の平面型プラズ
    マ放電表示装置。
  5. 【請求項５】 上記アドレス電極は、上記第２の放電維
    持電極に対応して設けられ、 上記アドレス電極の主たる延長方向が、ほぼ上記第２の
    方向に選定されて成ることを特徴とする請求項１に記載
    の平面型プラズマ放電表示装置。
  6. 【請求項６】 上記第１および第２の基板間に、上記第
    ２の方向に延長する複数の隔壁が並置配列され、上記各
    第２の放電維持電極が上記隔壁に配置されて成ることを
    特徴とする請求項１に記載の平面型プラズマ放電表示装
    置。
  7. 【請求項７】 上記第１および第２の基板間に、上記第
    ２の方向に延長する複数の隔壁が並置配列され、該隣り
    合う隔壁間に、上記アドレス電極が、配置されて成るこ
    とを特徴とする請求項１に記載の平面型プラズマ放電表
    示装置。
  8. 【請求項８】 上記第１および第２の基板間に、上記第
    ２の方向に延長する複数の隔壁が並置配列され、該隣り
    合う隔壁間に、蛍光体が塗布されて成ることを特徴とす
    る請求項１に記載の平面型プラズマ放電表示装置。
  9. 【請求項９】 上記第２の放電維持電極との対向面に限
    定的に、不要の電磁波および紫外線の放出を遮蔽するス
    トライプ状の遮蔽層が形成されたことを特徴とする請求
    項１に記載の平面型プラズマ放電表示装置。
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