KR100670285B1 - 플라즈마 디스플레이 패널과, 이의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 화상이 표시될 수 있는 표시 영역과 화상이 표시될 수 없는 비표시 영역을 구비한 플라즈마 디스플레이 패널로서, 상호 대향하도록 각각 전후방에 이격 배치되어 그 사이에 방전공간을 형성하는 전면기판 및 배면기판과, 전면기판과 배면기판 사이에 배치되어서 전면기판 및 배면기판과 함께 방전셀간을 구획하는 격벽과, 방전셀 내에 배치되어서 방전을 일으키는 복수의 방전전극들을 구비하며, 전면기판의 후면에 적층된 방전전극들은 레이저 가공에 의하여 패터닝된 것으로, 표시 영역에 형성된 표시전극부 및 표시 영역의 적어도 일측에 배치된 비표시 영역의 일부에 형성되며 표시전극부들로부터 연장된 더미전극부를 구비한 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널을 제공한다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널과, 이의 제조 방법{Plasma display panel and the fabrication method thereof}

도 1은 통상적인 플라즈마 디스플레이 패널 및 이에 구비된 전극들을 개략적으로 도시한 정면도이고,

도 2는 본 발명의 일측면의 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 일부 절제하여 도시한 분리 사시도이고,

도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 취한 단면도이고,

도 4는 도 2의 플라즈마 디스플레이 패널에서 유지전극쌍들의 배치 상태를 개략적으로 도시한 후면도이고,

도 5a는 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법 중 전면기판 상에 ITO막용 원소재가 도포된 이후의 상태를 도시한 단면도이고,

도 5b는 도 5a의 전면기판 상에 레이저 가공을 한 이후의 상태를 도시한 단면도이고,

도 5c는 도 5b의 전면기판 상에 버스전극용 원소재가 도포된 이후의 상태를 도시한 단면도이고,

도 5d는 도 5c의 전면기판 상에 버스전극을 패턴화한 이후의 상태를 도시한 단면도이고,

도 6은 도 5b의 과정에서 레이저 가공 초기 상태를 도시한 사시도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명>

111..전면기판 112..전면유전체층

121..배면기판 122..어드레스전극

123..배면유전체층 124..격벽

125..방전셀 126..형광체층

133..X전극 136..Y전극

134,137..버스전극 D..표시 영역

T..단자 영역 N..비표시 영역

SD..표시전극부 SN..더미전극부

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널 및 이의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 레이저 가공에 의하여 전면기판 후면에 형성된 X 및 Y 전극의 구조와 이에 따른 방법이 개선된 플라즈마 디스플레이 패널과 이의 제조 방법에 관한 것이다.

통상적으로, 플라즈마 디스플레이 패널은 전극이 형성된 대향되는 기판사이에 밀봉된 방전 가스를 방전시키고, 이로 인하여 발생되는 자외선에 의하여 형광체층을 여기시켜 소망하는 숫자, 문자 또는 그래픽을 구현하는 표시 장치이다.

이러한 플라즈마 디스플레이 패널은 방전 형식에 따라 직류형과 교류형으로 분류될 수 있다. 직류형 플라즈마 디스플레이 패널에서는 전극들이 방전 공간에 노출되어, 하전입자의 이동이 대응 전극들 사이에서 직접적으로 이루어지고, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널에서는 적어도 한 전극이 유전체층으로 덮여있고, 대응 전극들의 직접적인 전하의 이동 대신 벽전하(Wall Charge)의 전계에 의하여 방전이 수행된다.

통상적인 교류형 플라즈마 디스플레이 패널은 전면기판과, 이와 대향되게 배치된 배면기판과, 전면기판의 후면에 배치된 X전극 및 Y전극과, X 및 Y전극과 전기적으로 연결된 버스전극과, X 및 Y 전극과 버스전극을 매립하는 전면유전체층과, 전면유전체층의 표면에 코팅된 보호막과, 배면기판의 전면에 코팅된 어드레스전극들과, 상기 어드레스전극을 매립하는 배면유전체층과, 전면 및 배면기판 사이에 설치된 격벽과, 격벽 내측의 방전 공간에 코팅된 적,녹,청색의 형광체층을 포함하고 있다.

한편, 이러한 구조의 플라즈마 디스플레이 패널은, 화상이 외부로 구현되는 표시 영역과, 외부로 화상이 표시되지 않는 비표시 영역으로 구분될 수 있다. 상기 표시 영역에는 어드레스전극들 및 X, Y전극들이 형성되고, 이들이 각각 구동회로와 연결되어 구동회로의 신호에 의하여 화상이 구현될 수 있다. 이와 달리 비표시 영역은 화상이 구현될 수 없는 영역으로서, 이 표시 영역의 주위에 배치된 주위 영역과, 상기 전극들과 구동회로 사이를 연결하는 신호전달수단이 배치된 단자 영역으로 구분될 수 있다.

이때, X, Y전극은 ITO막(Indium Tin Oxide Film)과 같은 투명한 도전막으로 이루어지며, 통상적인 제조 공정은 ITO막용 원소재가 코팅된 기판상에 감광성 필름을 라미네이팅하고, 포토 마스크를 이용하여 노광하고, 현상액을 이용하여 현상하고, 에칭액을 이용하여 에칭하고, 박리액을 통하여 박리하여 패턴화시킨 후에, 세정 건조하는 과정을 거친다.

그러나 이러한 에칭을 이용한 X, Y전극 제조 공정은 공정수가 많고, ITO 형상이 변경될 때마다 대형 다면취용 ITO 마스크를 교체하여야 함으로써 교체 비용이 증가하게 된다. 이와 더불어 에칭으로 인하여 언더컷(undercut) 현상이 발생한다는 문제점이 발생한다.

따라서 이런 문제점을 해결하기 위하여, 특개평 11-297216호에 기재된 바와 같이, X, Y전극을 레이저 가공으로서 제조할 수 있다. 즉, 전면기판 상에 ITO막용 원소재를 코팅하고, 그 상부로부터 레이저 빔을 조사하여 X, Y전극을 패턴화시킨다. 이러한 레이저 빔을 이용하여 X, Y전극을 형성하는 방법은, 별도의 마스크가 필요하지 않으며, 고정밀로 선폭을 제어할 수 있다.

종래에는 이러한 레이저 가공을 하기 위하여 ITO막용 원소재를 표시 영역에만 형성되도록 한 후에, 상기 X 및 Y전극을 패터닝하는 공정을 거쳤다. 즉, 통상 Nd:YAG 레이저가 상기 표시 영역과 비표시 영역 경계면으로부터 표시 영역쪽으로 이동하면서 X, Y전극을 패터닝하였다. 통상 레이저 빔의 안정적인 출력을 위해서는 일정한 시간이 필요하다. 따라서, 상기 레이저 빔에서 안정적인 출력이 나오지 않는 상태에서 표시 영역에서 X, Y전극을 식각함으로써, 표시 영역에 배치되고 서로 인접하는 X전극 및 Y전극간에 과식각이 발생하는 현상이 발생하거나, 쇼트가 발생하는 경우가 발생한다.

이와 더불어 전면기판의 후방부로부터 레이저 빔을 조사하는 방식은 레이저 빔의 불균일로 인하여 가공된 부분에서 얼룩진 부분이 발생하게 된다. 또한, 레이저 빔 가공으로 인한 ITO막용 원소재의 파편으로 인하여 소망하는 패턴이 형성되기가 어렵다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 레이저 빔을 이용하여 X 및 Y 전극을 형성하여 제조 공정이 단순화된 플라즈마 디스플레이 패널과 이의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은, 표시 영역에서 전면기판 후면에 배치된 전극들 사이가 과식각되거나 쇼트되는 것을 방지하는 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은, 화상이 표시될 수 있는 표시 영역과 화상이 표시될 수 없는 비표시 영역을 구비한 플라즈마 디스플레이 패널로서, 상호 대향하도록 각각 전후방에 이격 배치되어 그 사이에 방전공간을 형성하는 전면기판 및 배면기판과; 상기 전면기판과 배면기판 사이에 배치되어서 상기 전면기판 및 배면기판과 함께 방전셀간을 구획하는 격벽과; 상기 방전셀 내에 배치되어서 방전을 일으키는 복수의 방전전극들을 구비하며, 상기 전면기판의 후면에 적층된 방전전극들은 레이저 가공에 의하 여 패터닝된 것으로, 상기 표시 영역에 형성된 표시전극부 및 상기 표시 영역의 적어도 일측에 배치된 비표시 영역의 일부에 형성되며 상기 표시전극부들로부터 연장된 더미전극부를 구비한다.

상기 더미전극부는, 상기 표시전극부로부터 적어도 10㎛ 이상 연장된 것이 바람직하다.

한편, 본 발명의 다른 측면에서 바람직한 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법 중 상기 X, Y전극을 제조하는 방법은: 상기 X 및 Y전극용 원소재를, 상기 전면 기판 후면의 상기 표시 영역 및 상기 표시 영역의 일측에 배치된 비표시 영역의 일부에 형성하는 단계; 및 레이저 빔을 상기 비표시 영역에 형성된 X 및 Y전극용 원소재 상으로부터 조사하여 상기 X 및 Y전극을 패턴화시키는 단계를 포함한다.

이 경우, 상기 X 및 Y전극을 패턴화시키는 단계에서는, 상기 표시 영역으로부터 적어도 10㎛ 이격된 비표시 영역으로부터 레이저 빔을 조사하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 X 및 Y전극용 원소재를 비표시 영역의 일부에 형성하는 단계에서 상기 비표시 영역의 일부에 형성된 X 및 Y전극용 원소재로부터 표시 영역까지의 거리는, 상기 레이저 빔을 처음 조사하는 지점으로부터 표시 영역까지의 거리의 적어도 1.5배인 것이 바람직하다.

더욱이 상기 X, Y전극을 패턴화시키는 단계 후에는, 상기 X 및 Y 전극의 후면에 상기 X 및 Y전극과 전기적으로 연결되는 버스전극들을 패턴화시키는 단계 및 상기 X 및 Y 전극과, 버스전극을 매립하는 전면유전체층을 형성시키는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.

한편, 상기 레이저 빔을 조사하는 단계에서는, 상기 X 및 Y전극이 패턴화되는 부분 이외의 X 및 Y 전극용 원소재를 제거하기 위하여, 상기 레이저 빔이 상기 전면기판의 전면으로부터 상기 전면기판을 관통하여 X 및 Y 전극용 원소재에 조사되는 것이 바람직하다.

이어서, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 통상적인 교류형 플라즈마 디스플레이 패널(10)은, 화상이 구현되는 표시 영역(D)과, 화상이 구현되지 않는 비표시 영역(N)으로 구분할 수 있다.

상기 표시 영역(D)의 전면기판(11)과 배면기판(21) 사이에는 유지전극쌍(32, 35)들과 어드레스전극들이 배치된다. 이 유지전극쌍(32, 35)들과 어드레스전극들은 이들 전극들을 구동하는 구동부와 연결되어, 구동부의 신호에 의하여 화상이 구현될 수 있다. 이와 달리 상기 비표시 영역(N)은 화상이 구현될 수 없는 영역으로서, 상기 표시 영역(D)의 주위에 배치된 주변 영역(S)과, 이들 전극들과 구동부간을 연결하는 신호전달수단이 배치된 단자 영역(T)을 포함한다. 이 경우, 유지전극쌍들을 이루는 공통전극(32)들과 주사전극(35)들은, 좌우로 교대로 분배되어 표시 영역(D)으로부터 양측의 단자 영역(T)들로 각각 연장된다. 상기 단자 영역(T)들로 연장된 공통전극(32)들은 미도시된 접속 부재에 의해 공통전극용 구동부와 접속되고, 주사 전극(35)들도 미도시된 접속 부재에 의해 주사전극용 구동부와 접속됨으로써, 공통전극(32)들 및 주사전극(35)들에 전압이 각각 인가된다.

도 2에는 본 발명의 일측면에서 바람직한 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널(100)에 대한 분리 사시도가 도시되어 있으며, 도 3에는 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 절취한 단면도가 도시되어 있다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명은 전면기판(111)과, 배면기판(121)과, 상기 전면기판(111)과 배면기판(121) 사이에 배치되어서 상기 전면기판(111) 및 배면기판(121)과 함께 방전셀(125)간을 구획하는 격벽(124)과, 상기 방전셀(C) 내에 배치되어서 방전을 일으키는 복수의 방전전극들을 구비한다.

즉, 플라즈마 디스플레이 패널(100)에는, 화상이 표시되는 전면기판(111)과 상기 전면기판(111)에 대향되어 배치된 배면기판(121)이 구비되어 있다. 또한 상기 전면기판(111)과 배면기판(121) 사이에는 이들과 함께 방전셀을 구획하는 격벽(124)이 형성된다.

상기 전면기판(111)에 있어 배면기판(121)을 향하는 후방(-z 방향)에는, 복수개의 유지전극쌍(131)들이 배열되어 형성되어 있다. 상기 유지전극쌍(131)은 공통전극(132)과 주사전극(135)으로 이루어진다.

상기 공통전극(132)은, 공통전극용 구동부와 직접적으로 접속되지 않는 X전극(133)과, 상기 X전극(133)의 각 일면에 접하도록 형성되고 상기 X전극(133)의 폭보다 작은 폭을 가지며 공통전극용 구동부와 직접적으로 접속된 버스전극(134)을 구비할 수 있다. 이와 더불어 상기 주사전극(135)은, 주사전극용 구동부와 직접적 으로 접속되지 않는 Y전극(136)과, 상기 Y전극(136)의 각 일면에 접하도록 형성되고 상기 Y전극(136)의 폭보다 작은 폭을 가지며 주사전극용 구동부와 직접적으로 접속된 버스전극(137)을 구비할 수 있다.

상기 X, Y전극(133, 136)은 가시광을 투과시키기 위해 투명한 도전체인 ITO(Indium Tin Oxide)로 형성되어진다. 그리고, 상기 버스전극들(134, 137)은 상기 X, Y전극(133, 136)에 전압을 각각 인가하게 되는데, 전기 전도도가 상대적으로 낮은 ITO로 형성된 X, Y전극(133, 136)의 전기 저항을 개선하기 위하여 도전성이 우수한 금속으로 형성되어 진다.

한편, 격벽(124)은 상기 유지전극쌍들이 연장된 방향과 평행한 방향(x 방향)으로 배치된 가로격벽부(124b)와, 상기 유지전극쌍들이 연장된 방향과 교차하는 방향(y 방향)으로 배치된 세로격벽부(124a)를 구비할 수 있으며, 이 경우 상기 X, Y전극(133, 136)은 방전에 크게 기여하지 않는 부분인 세로격벽부(124a)에 대응되는 부분이 일부 삭제된 구조로 이루어질 수 있다. 그러나 본 발명은 반드시 한정되지 않고, 균일한 폭의 스트립 형상으로 이루어질 수도 있다.

상기 유지전극쌍(131)들은 전면기판(111) 상에 형성된 전면유전체층(112)에 의해 덮여져 매립되어지며, 상기 전면유전체층(112)은 통상 MgO 등으로 형성된 보호막(113)에 의해 덮여져 있다.

상기 전면기판(111)과 대향되는 배면기판(121)에 있어, 상기 전면기판(111)을 향한 면(121f)에는 어드레스전극(122)들이 형성될 수 있다. 이 경우, 어드레스전극(122)들은 유지전극쌍(131)들이 연장되는 방향(x 방향)과 교차하는 방향(y 방 향)으로 연장된다.

상기 어드레스전극(122)들은 배면유전체층(123)에 의해 덮여져 매립될 수 있으며, 상기 배면유전체층(123)의 전방(z 방향)으로는 격벽(124)이 형성되어 상기 전면기판(111)과 배면기판(121) 사이의 공간을 구획하도록 되어 있다.

한편, 상기와 같이 세로격벽부(124a) 및 가로격벽부(124b)가 형성됨에 따라 매트릭스 형태로 4면으로 폐쇄된 방전셀(125)들로 구획되며, 상기 방전셀(125)간의 크로스 토크(cross talk)가 방지된다. 상기와 같이 매트릭스 형태로 구획되어지면, 고정세(fine pitch)화 및 휘도, 효율을 증가시킬 수 있는 이점이 있다. 한편, 상기 격벽은 전술한 바에 한정되지 않고, 스트라이프 형태, 델타 형태 등과 같은 구조로 이루어질 수도 있다. 상기 전면기판(111)과 배면기판(121) 사이에서 격벽(124)에 의해 구획된 방전셀(125)들에는 방전이 일어나서 화상이 표시되므로 표시 영역(D)을 이루게 되며, 그 외곽을 둘러싸는 가장자리 영역은, 화상이 표시되지 않는 비표시 영역(N)을 이루게 된다.

상기 격벽(124)의 내측면과 상기 격벽(124)으로 둘러싸인 배면유전체층(123)의 전면에는 형광체가 도포되어 형광체층(126)이 형성되어 있다. 상기 형광체의 색상은 칼라를 구현하기 위하여 적색, 녹색, 청색으로 대별되며, 상기 형광체의 색상에 따라 적, 녹, 청색 형광체층들을 구성하게 된다. 그리고, 상기 방전셀(125)에 배치된 형광체층(126)의 색상에 따라 적, 녹, 청색 방전셀들로 각각 이루어질 수 있으며, 3개의 인접한 적, 녹, 청색 방전셀들은 단위 픽셀(pixel)을 구성하게 된다.

상기 하나의 방전셀(125)에는, 전방에 유지전극쌍(131)이 하나씩 배치되고, 상기 유지전극쌍(131)을 이루는 공통전극(132)의 X전극(133)과 주사전극(135)의 Y전극(136)은 방전셀(125)내에서 상호 방전 갭을 이루게 되며, 상기 방전셀(125)의 후방에는 상기 유지전극쌍(131)과 교차하는 방향을 따라 어드레스전극(122)들이 배치되어진다.

상기와 같은 구조로 이루어진 방전 셀(125)들에는 네온(Ne), 크세논(Xe) 등이 혼합된 방전 가스가 채워지게 된다. 상기 방전 가스가 채워진 상태에서, 전, 배면기판(111, 121)의 가장자리에 형성된 프릿 글라스(frit glass)와 같은 밀봉 부재에 의해 전, 배면기판(111, 121)이 서로 봉착되어진다.

한편, 도 4에 도시된 바와 같이 버스전극(134)(137)들은 표시 영역(D)으로부터 비표시 영역(N)의 단자 영역(T)까지 연장되며, 미도시된 공통전극용 구동부 또는 주사전극용 구동부로부터 공통, 주사전극(132, 135)으로 전압이 인가될 수 있도록 접속 부재와 접속된다. 버스전극(134)(137)들과 달리, X, Y전극(133, 136)은 표시 영역(D)으로부터 비표시 영역(N)의 단자 영역(T)까지 연장되지 않으며, 따라서 공통, 주사전극용 구동부와 연결되지 않는다.

한편, 본 발명에 있어서 상기 X, Y전극(133, 136)은 후술하다시피 레이저 가공됨으로써 패턴화된다. 이러한 레이저 빔을 이용하여 X, Y전극(133, 136)을 형성하는 방법은 에칭법과 달리 별도의 마스크가 필요하지 않으며, 고정밀로 선폭을 제어할 수 있다는 장점이 있다.

이와 더불어 본 발명에서는, 상기 X, Y전극(133, 136)이 비표시 영역(N)의 일부에도 패턴화되어 있다. 즉, X, Y전극(133, 136)이, 표시 영역(D) 내에 패턴화된 표시전극(SD)부 및 상기 표시전극부(SD)로부터 연장된 것으로 비표시 영역(N)의 일부에 형성된 더미전극부(SN)로 이루어진다. 이로 인하여 레이저 빔의 안정적인 출력이 발생하기 전에는 더미전극부(SN)를 패턴화시키고, 레이저 빔이 안정화된 출력을 발생기키는 상태에서는 표시 영역에서 표시전극부(SD)를 식각함으로써, 표시 영역(D)에서 상호 인접하는 X 및 Y전극(133, 136)간에 과식각 또는 쇼트가 발생하는 것을 방지할 수 있다.

이 경우, 상기 더미전극부(SN)는 그 단부가 상기 표시전극부(SD)로부터 적어도 10㎛ 이상 연장되도록 형성된 것이 바람직하다. 이는, 상기 더미전극부(SN)와 표시전극부(SD) 사이의 거리(K)가 10㎛ 이하인 경우에는, 출력이 안정화되기 전에 상기 레이저 빔이 상기 표시 영역에서 X, Y전극(133, 136)의 표시전극부(SD)를 식각함으로써 표시 영역에서 인접하는 X전극(133) 및 Y전극(136)간에 과식각 또는 쇼트가 발생할 수 있기 때문이다.

한편, 상기 격벽(124)은 도 2에 도시된 바와 같이, 표시 영역(D)에 배치되며, 이와 더불어 비표시 영역(N)에서의 오방전으로 인한 크로스토크를 방지하기 위하여 비표시 영역(N)에 형성될 수 있다. 이 경우 상기 더미전극부(SN)는 상기 비표시 영역(N)에 형성된 더미격벽부 전방에 형성된 것이 바람직한데, 이는 비표시 영역(N)에서 가스 방전이 발생하지 않도록 상호 인접하는 X 및 Y전극(133, 136)간의 갭을 충분히 크게 할 필요가 있기 때문이다.

한편, 본 발명의 다른 측면에서, 상기와 같은 구조를 가지는 플라즈마 디스 플레이 패널(100)을 제조하는 과정들이 도 5a 내지 도 5d에 도시되어 있다. 우선, 도 5a에 도시된 바와 같이, 소다 라임 글라스로 된 전면기판(111)의 후면(111r) 전체에 X 및 Y전극용 원소재(143)가 코팅에 의하여 형성되어진다. 상기 X 및 Y전극용 원소재(143)는 투명한 도전막, 예컨대 ITO(Indium Tin Oxide) 막으로 이루어져 있다. 상기 X 및 Y전극용 원소재(143)는 화학 기상 증착(Chemical Vapor Deposition,CVD)에 의하여 형성되어진다.

다음으로, 도 5b에 도시된 바와 같이, 상기 X 및 Y전극용 원소재(143)를 투명한 X 및 Y전극(133)(136)으로 패턴화한다. 이러한 과정은 레이저 장치에 의한 레이저 프로세싱에 의하여 이루어진다. 즉, ITO막과 같은 투명한 도전막으로 이루어진 X 및 Y전극용 원소재(143)는 YAG 레이저(Yttrium-Aluminum-Garnet Laser)와 같은 레이저 장치에 의하여 패턴화되어진다.

레이저 장치로부터 조사되는 레이저 빔은 상기 X 및 Y전극용 원소재(143)가 형성된 전면기판(110)의 후면(111r)으로부터 조사되는 것이 아니라, 상기 X 및 Y전극용 원소재(143)가 형성되지 않는 전면기판(111)의 전면(111f)으로부터 조사된다.

이에 따라, 레이저 빔은 전면기판(111)을 관통하여 X 및 Y전극용 원소재(143)에 조사되고, X전극(133)과 Y전극(136)이 형성되는 부분 이외의 X 및 Y전극용 원소재(143)를 제거하게 된다. 이에 따라, 소망하는 패턴의 X 및 Y전극(133)(136)을 형성하게 된다.

이 때, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 X, Y전극(133, 136)이 비표시 영역(N)의 일부에도 패턴화되도록 한다. 이 경우, X, Y전극(133, 136)이, 표시 영역(D) 내에 패턴화된 표시전극부(SD) 및 상기 표시전극부(SD)로부터 연장된 것으로 비표시 영역(N)의 일부에 형성된 더미전극부(SN)로 이루어지도록 하고 레이저 장치(150)로부터의 레이저 빔이 더미전극부(SN)를 먼저 형성시키는 것이 바람직하다. 이로 인하여 레이저 빔의 안정적인 출력이 발생하기 전에는 더미전극부(SN)가 패턴화되고, 레이저 빔이 안정화된 출력을 발생기키는 상태에서는 표시 영역(D)에서 X, Y전극(133, 136)을 식각함으로써, 표시 영역(D)에서 인접하는 X전극(133) 및 Y전극(136)간에 과식각 또는 쇼트가 발생하는 것을 방지할 수 있기 때문이다.

이 경우, 상기 더미전극부(SN)는 상기 표시전극부(SD)로부터 적어도 10㎛ 이상 연장된 것이 바람직하다. 다시 말하면, 표시 영역(D)으로부터 더미전극부(SN)의 단부까지의 거리(K1)는 적어도 10㎛ 이상인 것이 바람직하다. 이는 더미전극부(SN)가 표시전극부(SD)로부터 10㎛ 이하로 연장된 경우 상기 레이저 빔의 출력이 안정화되기 전에 상기 레이저 빔이 상기 표시 영역에서 X, Y전극을 식각함으로써 표시 영역에서 인접하는 X 및 Y전극간에 과식각 또는 쇼트가 발생할 수 있기 때문이다.

이를 위하여, 먼저 레이저 빔을 사용하여, 단자 영역을 포함한 비표시 영역(N) 중 표시 영역(D)으로부터 적어도 10㎛ 이상 이격된 지역을 완전히 제거한 뒤에, 상기 표시전극부로부터 적어도 10㎛ 이상 연장된 지점으로부터 레이저 빔을 방사하여 먼저 더미전극부(SN)를 형성시키고, 점점 표시 영역(D)으로 이동하면서 표시전극부(SD)를 패턴화할 수 있다.

이와 더불어, X, Y전극(133, 136)의 초점을 맞춘 상태에서 레이저 빔이 방사되는 것이 레이저 빔의 안정화, 패턴닝되는 시간의 감축화, 패널의 불량화 감소화 등을 위하여 유리하며, 이를 위하여 본 발명에서는, 상기 X, Y전극(133, 136)을 패턴화하는 레이저 빔이 처음 조사되는 위치가 완전히 더미전극부(SN)로 조사되는 것이 유리하다.

특히 상기 X 및 Y전극용 원소재를 비표시 영역(N)의 일부에 형성하는 단계에서 상기 비표시 영역의 일부에 형성된 X 및 Y전극용 원소재(143)의 단부(143c)로부터 표시 영역(D)까지의 거리(K2)가, 상기 레이저 빔을 처음 조사하는 지점으로부터 표시 영역까지의 거리(K1)의 적어도 1.5배인 것이 더욱 바람직한데, 이 경우가 레이저 빔의 안정화, 패턴닝되는 시간의 감축화, 패널의 불량화 감소화 등의 요인을 더욱 우수하게 만족시킨다.

이때, 레이저 장치로부터 조사되는 레이저 빔은 상기 전면기판(111)을 관통시에 소다 라임 글래스로 이루어진 전면기판(111)에 흡수되지 않는 파장, 예컨대 1064 나노미터의 파장을 가지는 것이 바람직하다.

또한, 레이저 가공시에는 기화된 X 및 Y전극용 원소재(143)가 잘 배출될 수 있도록 이를 흡입할 수 있는 흡입 장치나, 송풍 장치가 추가적으로 설치되는 것이 유리하다고 할 것이다.

이와 같은 레이저 어블레이션(Laser Ablation)이 수행된 다음에는 도 5c에 도시된 바와 같이 버스전극을 형성하기 위하여 상기 X, Y 전극(133, 136) 후면에 버스전극용 원소재(144)가 형성된다. 상기 버스전극용 원소재(144)는 상기 전면 기판(111) 상에 코팅가능하다. 상기 버스전극용 원소재(144)는 은(Ag) 페이스트나, 크롬-구리-크롬(Cr-Cu-Cr)과 같은 도전성이 우수한 금속재로 이루어진다.

버스전극용 원소재(144)는 포토 리소 그래피 공정에 의하여 버스전극(134)(137)을 형성하게 된다. 즉, 감광성 전극 페이스트를 전면기판(111) 상에 인쇄하고, 이를 소정온도에서 건조하고, 포토 마스크를 이용하여 노광하고, 현상액을 이용하여 현상하고, 소정 온도에서 소성하여서 형성하게 된다.

이러한 버스전극(134)(137)은 도 5d에 도시된 바와 같이 X, Y전극(133, 136)의 최외곽 가장자리를 따라서 형성되어서, 상기 X, Y전극(133, 136)과 전기적으로 연결된다.

그 이후의 공정으로는, 전면기판(111) 상에 X, Y전극(133, 136)과 버스전극(134)(137)을 매립하기 위하여 전면유전체층(112)이 형성되고, 상기 전면유전체층(112)의 표면에 MgO로 된 보호막(113)이 순차적으로 코팅된다.

이상의 설명에서와 같이 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널과 이의 제조 방법은, 레이저 빔으로 패턴화된 X, Y전극이 표시 영역뿐만 아니라 비표시 영역 일부에도 패턴화됨으로써, X전극 및 Y전극이 표시 영역에서 쇼트가 발생하거나 단락되는 현상이 방지됨으로써, 플라즈마 디스플레이 패널의 불량률이 감소한다.

이와 더불어 레이저 빔을 전면기판의 전방부로부터 조사하여 투명한 도전막으로 된 X 및 Y전극을 패터닝하며, 레이저 빔에 소망하는 형상의 마스크를 사용하여 동일한 형상을 계속 스텝 이동하여 가공하게 됨으로써, 레이저 가공시에 발생하는 이물질이 기판상에 잔존하는 현상이나, 기판상에 얼룩지는 현상을 방지할 수가 있다.

본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims (13)

1. 화상이 표시될 수 있는 표시 영역과 화상이 표시될 수 없는 비표시 영역을 구비한 플라즈마 디스플레이 패널로서,

   상호 대향하도록 각각 전후방에 이격 배치되어 그 사이에 방전공간을 형성하는 전면기판 및 배면기판과; 상기 전면기판과 배면기판 사이에 배치되어서 상기 전면기판 및 배면기판과 함께 방전셀간을 구획하는 격벽과; 상기 방전셀 내에 배치되어서 방전을 일으키는 복수의 방전전극들을 구비하며,

   상기 전면기판의 후면에 적층된 방전전극들은 레이저 가공에 의하여 패터닝된 것으로, 상기 표시 영역에 형성된 표시전극부 및 상기 표시 영역의 적어도 일측에 배치된 비표시 영역의 일부에 형성되며 상기 표시전극부들로부터 연장된 더미전극부를 구비하고, 상기 더미전극부는 상기 표시전극부로부터 적어도 10㎛ 이상 연장된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 전면기판의 후면에 적층된 방전전극들은, ITO 재질의 X전극 및 Y전극들 이고,

   상기 X, Y전극 후면에는, 상기 투명전극의 라인저항을 보상하는 버스전극들이 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 X, Y전극들은, 하나의 방전셀마다 쌍으로 나란히 연장 배치되고,

   상기 배면기판 전면에는, 상기 X, Y전극들이 연장된 방향과 교차하는 방향으로 연장 배치된 어드레스전극들이 형성되며,

   상기 어드레스전극 전방 및 X, Y전극의 후방에는 각각, 상기 어드레스전극 및 상기 X, Y전극을 매립하는 배면유전체층 및 전면유전체층이 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
4. 삭제
5. 상호 대향하도록 각각 전후방에 이격 배치되어 그 사이에 방전공간을 형성하는 전면기판 및 배면기판; 및 상기 전면기판의 후면에 적층된 X, Y전극들을 포함하는 것으로 상기 전면기판과 배면기판 사이에 배치되어서 방전을 일으키는 복수의 방전전극들;을 구비하고, 화상이 표시될 수 있는 표시 영역과 화상이 표시될 수 없 는 비표시 영역으로 구분되는 플라즈마 디스플레이 패널을 제조하는 방법으로서,

   상기 X, Y전극을 제조하는 방법은:

   상기 X 및 Y전극용 원소재를, 상기 전면 기판 후면의 상기 표시 영역 및 상기 표시 영역의 일측에 배치된 비표시 영역의 일부에 형성하는 단계; 및

   레이저 빔을 상기 비표시 영역에 형성된 X 및 Y전극용 원소재 상으로부터 조사하여 상기 X 및 Y전극을 패턴화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 X 및 Y전극을 패턴화시키는 단계에서는, 상기 표시 영역으로부터 적어도 10㎛ 이격된 비표시 영역으로부터 레이저 빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
7. 제 5 항에 있어서,

   상기 X 및 Y전극용 원소재를 상기 전면기판 후면에 형성시키는 단계는:

   상기 전면기판의 후면에 상기 X 및 Y 전극용 원소재를 전면 코팅하는 단계; 및

   상기 비표시 영역에 코팅된 상기 X 및 Y 전극용 원소재의 일부를 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
8. 제 5 항에 있어서,

   상기 X 및 Y전극용 원소재를 비표시 영역의 일부에 형성하는 단계에서 상기 비표시 영역의 일부에 형성된 X 및 Y전극용 원소재로부터 표시 영역까지의 거리는, 상기 레이저 빔을 처음 조사하는 지점으로부터 표시 영역까지의 거리의 적어도 1.5배인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
9. 제 5 항에 있어서,

   상기 X 및 Y 전극용 원소재는 ITO 막으로 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
10. 제 5 항에 있어서,

    상기 전면기판은 소다 라임 글래스로 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
11. 제 5 항에 있어서,

    상기 X, Y전극을 패턴화시키는 단계 후에는:

    상기 X 및 Y 전극의 후면에 상기 X 및 Y전극과 전기적으로 연결되는 버스전극들을 패턴화시키는 단계; 및

    상기 X 및 Y 전극과, 버스전극을 매립하는 전면유전체층을 형성시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
12. 제 5 항 내지 제 11 항 중 어느 하나의 항에 있어서,

    상기 레이저 빔을 조사하는 단계에서는, 상기 X 및 Y전극이 패턴화되는 부분 이외의 X 및 Y 전극용 원소재를 제거하기 위하여, 상기 레이저 빔이 상기 전면기판의 전면으로부터 상기 전면기판을 관통하여 X 및 Y 전극용 원소재에 조사되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
13. 제 12 항에 있어서,

    상기 레이저 빔은 1064 나노미터의 파장으로 조사되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.

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