JP3430539B2 - プラズマディスプレイパネルとその製造方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルとその製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、面放電形式のプラズマ
ディスプレイパネルに係り、特に輝度むらがなく、しか
も動作マージンが大きなプラズマディスプレイパネルと
その製造方法に関する。
ディスプレイパネルに係り、特に輝度むらがなく、しか
も動作マージンが大きなプラズマディスプレイパネルと
その製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の面放電形式のプラズマディスプレ
イパネル（以降、単にプラズマディスプレイパネルと呼
ぶ）は、図１(a) で示すように、表面を互いに対向させ
た視覚側の前面基板10と背面基板20との周囲を封止材
（図示せず）により封止（封着）し、かつ封止された前
面基板10と背面基板20との間隙の放電空間Ｓに、たとえ
ばネオンガスとキセノンガスとの混合ガスよりなる放電
ガスＧを充填して構成していた。
イパネル（以降、単にプラズマディスプレイパネルと呼
ぶ）は、図１(a) で示すように、表面を互いに対向させ
た視覚側の前面基板10と背面基板20との周囲を封止材
（図示せず）により封止（封着）し、かつ封止された前
面基板10と背面基板20との間隙の放電空間Ｓに、たとえ
ばネオンガスとキセノンガスとの混合ガスよりなる放電
ガスＧを充填して構成していた。
【０００３】なお、本明細書においては、同一部品、同
一材料等に対しては全図をとおして同じ符号を付与して
ある。次に、このプラズマディスプレイパネルとそれを
構成する前面基板10の製造方法について図１〜図３を参
照して説明する。
一材料等に対しては全図をとおして同じ符号を付与して
ある。次に、このプラズマディスプレイパネルとそれを
構成する前面基板10の製造方法について図１〜図３を参
照して説明する。
【０００４】この前面基板10を形成する製造方法は、平
行状態で隣接し面放電のための電極対を構成する透明の
電極対12,12'を複数対並列したガラス基板11の表面にレ
ジストをスクリーンマスク32-1 (図３(a) 参照) を使用
してスクリーン印刷し、この電極対12,12'と直交すると
ともに、平行状態で互いに離隔した罫線状の複数のレジ
ストパターン31を形成するレジスト印刷工程 (図１(b),
図２(a) 参照) と、電極対12,12'のレジスト非被着領域
Ａをエッチングにより除去し、この電極対12,12'を複数
のチップ状電極Ｂが飛び石状かつ２列で連なる点列状電
極対13,13'にする点列状電極対形成工程 (図２(b) 参
照) と、点列状電極対13,13'の端縁部上を通過且つ点列
方向に伸びる線状の接続電極(金属電極)14,14' を印刷
技術若しくはホトリソグラフィー技術で形成し、点列状
電極対13,13'のチップ状電極Ｂ群を接続電極14,14'によ
りそれぞれ直列接続する接続電極形成工程 (図２(c) 参
照) と、接続電極14,14'で接続された点列状電極対 (隣
接して対向する１対のチップ状電極によって表示セルが
形成される）13,13'が形成されたガラス基板11の表面
に、鉛ガラスの微粉末を主成分とするガラスペースト
（図示せず）を印刷し、このガラスペーストを６００度
Ｃ程度の温度で焼成（溶融）して膜厚が２５μｍ程度の
誘電体層15を形成する誘電体層形成工程 (図２(d) 参
照) と、誘電体層15が形成されたガラス基板11の表面
に、セラミック微粉末、例えばアルミナ微粉末を主成分
とするアルミナペーストのスクリーン印刷を繰り返した
後に、このアルミナペーストを５５０度Ｃ程度の温度で
焼成し、点列状電極対13,13'の点列方向と直交するとと
もに、そのチップ状電極Ｂ間を通過するストライプ状の
隔壁16を形成する隔壁印刷工程（図２(e) 参照) と、隔
壁16を形成したガラス基板11の表面に、酸化物、たとえ
ば MgOを蒸着若しくはスパッタリングして保護膜（図示
せず）を形成する保護膜形成工程とを含んで構成されて
いた。
行状態で隣接し面放電のための電極対を構成する透明の
電極対12,12'を複数対並列したガラス基板11の表面にレ
ジストをスクリーンマスク32-1 (図３(a) 参照) を使用
してスクリーン印刷し、この電極対12,12'と直交すると
ともに、平行状態で互いに離隔した罫線状の複数のレジ
ストパターン31を形成するレジスト印刷工程 (図１(b),
図２(a) 参照) と、電極対12,12'のレジスト非被着領域
Ａをエッチングにより除去し、この電極対12,12'を複数
のチップ状電極Ｂが飛び石状かつ２列で連なる点列状電
極対13,13'にする点列状電極対形成工程 (図２(b) 参
照) と、点列状電極対13,13'の端縁部上を通過且つ点列
方向に伸びる線状の接続電極(金属電極)14,14' を印刷
技術若しくはホトリソグラフィー技術で形成し、点列状
電極対13,13'のチップ状電極Ｂ群を接続電極14,14'によ
りそれぞれ直列接続する接続電極形成工程 (図２(c) 参
照) と、接続電極14,14'で接続された点列状電極対 (隣
接して対向する１対のチップ状電極によって表示セルが
形成される）13,13'が形成されたガラス基板11の表面
に、鉛ガラスの微粉末を主成分とするガラスペースト
（図示せず）を印刷し、このガラスペーストを６００度
Ｃ程度の温度で焼成（溶融）して膜厚が２５μｍ程度の
誘電体層15を形成する誘電体層形成工程 (図２(d) 参
照) と、誘電体層15が形成されたガラス基板11の表面
に、セラミック微粉末、例えばアルミナ微粉末を主成分
とするアルミナペーストのスクリーン印刷を繰り返した
後に、このアルミナペーストを５５０度Ｃ程度の温度で
焼成し、点列状電極対13,13'の点列方向と直交するとと
もに、そのチップ状電極Ｂ間を通過するストライプ状の
隔壁16を形成する隔壁印刷工程（図２(e) 参照) と、隔
壁16を形成したガラス基板11の表面に、酸化物、たとえ
ば MgOを蒸着若しくはスパッタリングして保護膜（図示
せず）を形成する保護膜形成工程とを含んで構成されて
いた。
【０００５】なお、図１(a) において、21は背面側のガ
ラス基板、22はガラス基板21の表面に前記点列状電極の
点列方向と直交方向に形成した直線のアドレス電極でガ
ス空間を介して対向する前記点列状電極との交点にてア
ドレスセルを形成する。また23はアドレス電極22間に形
成したストライプ状の隔壁、24は隔壁23間に被着した蛍
光体である。
ラス基板、22はガラス基板21の表面に前記点列状電極の
点列方向と直交方向に形成した直線のアドレス電極でガ
ス空間を介して対向する前記点列状電極との交点にてア
ドレスセルを形成する。また23はアドレス電極22間に形
成したストライプ状の隔壁、24は隔壁23間に被着した蛍
光体である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、レジストパ
ターン31及び隔壁16のそれぞれの設計上の平面形状は全
く同じであるために、同じスクリーンマスクを２セット
製作し、任意に選択した一方のスクリーンマスク32-1を
レジス印刷工程用とし、他方のスクリーンマスク32-2を
隔壁印刷工程用としていた (図３(a),(b) 参照) 。
ターン31及び隔壁16のそれぞれの設計上の平面形状は全
く同じであるために、同じスクリーンマスクを２セット
製作し、任意に選択した一方のスクリーンマスク32-1を
レジス印刷工程用とし、他方のスクリーンマスク32-2を
隔壁印刷工程用としていた (図３(a),(b) 参照) 。
【０００７】ところが、同じように作られたスクリーン
マスク32-1,32-2 であっても、それぞれのスクリーン32
-1a,32-2a の張りテンションには微妙な差があるため、
印刷時におけるスクリーン32-1a の伸び量とスクリーン
32-2a の伸び量とが異なることとなる。
マスク32-1,32-2 であっても、それぞれのスクリーン32
-1a,32-2a の張りテンションには微妙な差があるため、
印刷時におけるスクリーン32-1a の伸び量とスクリーン
32-2a の伸び量とが異なることとなる。
【０００８】このようなことからガラス基板11に形成さ
れた点列状電極対13,13'のチップ状電極Ｂ間を隔壁16を
通過させるべくスクリーンマスク32-2のスクリーン32-2
a に形成した開口部32-2b をチップ状電極Ｂ間に合わせ
ようとしても、この全ての開口部32-2b をチップ状電極
Ｂ間に完全に一致させることが不可能であることは勿
論、斯かる状態でセラミックペーストをガラス基板11の
表面にスクリーン印刷して隔壁16を形成しても、図２
(f) で示すように隔壁16の一部のものにチップ状電極Ｂ
の直上を掠める（通過する）ものが発生することとな
る。
れた点列状電極対13,13'のチップ状電極Ｂ間を隔壁16を
通過させるべくスクリーンマスク32-2のスクリーン32-2
a に形成した開口部32-2b をチップ状電極Ｂ間に合わせ
ようとしても、この全ての開口部32-2b をチップ状電極
Ｂ間に完全に一致させることが不可能であることは勿
論、斯かる状態でセラミックペーストをガラス基板11の
表面にスクリーン印刷して隔壁16を形成しても、図２
(f) で示すように隔壁16の一部のものにチップ状電極Ｂ
の直上を掠める（通過する）ものが発生することとな
る。
【０００９】このように隔壁16がチップ状電極Ｂを掠め
ると、チップ状電極Ｂの実質的な面積にバラツキが発生
し、プラズマディスプレイパネルの輝度むらの発生や動
作マージンの低下をもたらす一つの要因となる。
ると、チップ状電極Ｂの実質的な面積にバラツキが発生
し、プラズマディスプレイパネルの輝度むらの発生や動
作マージンの低下をもたらす一つの要因となる。
【００１０】なお、プラズマディスプレイパネルの動作
マージンは、このプラズマディスプレイパネルが正常に
動作できる最大の放電維持電圧 Vmax と最小の放電維持
電圧Vmin との差(Vmax − Vmin ) で定義する。
マージンは、このプラズマディスプレイパネルが正常に
動作できる最大の放電維持電圧 Vmax と最小の放電維持
電圧Vmin との差(Vmax − Vmin ) で定義する。
【００１１】本発明は、このような問題を解消するため
になされたものであって、その目的は輝度むらがなく、
しかも動作マージンが大きなプラズマディスプレイパネ
ルの構造および製造方法の提供にある。
になされたものであって、その目的は輝度むらがなく、
しかも動作マージンが大きなプラズマディスプレイパネ
ルの構造および製造方法の提供にある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項１記載の視覚側のガラス基板上に誘電体層で
被覆して設けた対となる電極間での面放電を利用して、
対向する背面側のガラス基板上に設けた蛍光体を発光さ
せて表示を行う面放電形式のプラズマディスプレイパネ
ルは、視覚側のガラス基板上に、複数のチップ状電極が
飛び石状に連なる透明な電極で形成された２列のチップ
状電極群を各列のチップ状電極の近接側端部が互いに対
向して複数の表示セルを構成するよう並設し、かつ各列
のチップ状電極をそれぞれの遠隔側端縁部を通過する線
状の接続電極で直列接続して上記面放電用の電極対を構
成すると共に、各表示セルを構成して飛び石状に連なる
チップ状電極の列間隙に一致して上記ガラス基板間を隔
てる隔壁が設けられて成ることを特徴とする。また、前
記目的を達成するために、請求項２記載のプラズマディ
スプレイパネルの視覚側のパネル基板の製造方法は、図
２で示すように、平行状態で離隔し面放電のための電極
対12,12'を複数対並列した基板11上にレジストをスクリ
ーン印刷し、電極対12,12'と直交、かつ平行状態で互い
に離隔したストライプ状の複数のレジストパターン31を
形成する工程と、電極対 12,12' のレジスト非被着領域
Ａをエッチングにより除去し、この電極対12,12'を複数
のチップ状電極Ｂが飛び石状に連なる点列状電極対13,1
3'に形成する工程と、点列状電極対13,13'のチップ状電
極群をその点列方向に沿う線状の接続電極14,14'で電気
的に接続する工程と、チップ状電極群を接続電極14,14'
で接続して表示電極対を構成する点列状電極対13,13'を
含めた基板11の表面に誘電体層15を形成する工程と、誘
電体層15が形成された基板11の表面に絶縁ペーストをス
クリーン印刷し、点列状電極対13,13'の点列方向と直交
し、かつそのチップ状電極(B) 間を通過するストライプ
状の隔壁16を形成する工程とを有し、レジストパターン
31のスクリーン印刷と隔壁16のスクリーン印刷とを同一
のスクリーンマスクで行なうことを特徴とする。
に、請求項１記載の視覚側のガラス基板上に誘電体層で
被覆して設けた対となる電極間での面放電を利用して、
対向する背面側のガラス基板上に設けた蛍光体を発光さ
せて表示を行う面放電形式のプラズマディスプレイパネ
ルは、視覚側のガラス基板上に、複数のチップ状電極が
飛び石状に連なる透明な電極で形成された２列のチップ
状電極群を各列のチップ状電極の近接側端部が互いに対
向して複数の表示セルを構成するよう並設し、かつ各列
のチップ状電極をそれぞれの遠隔側端縁部を通過する線
状の接続電極で直列接続して上記面放電用の電極対を構
成すると共に、各表示セルを構成して飛び石状に連なる
チップ状電極の列間隙に一致して上記ガラス基板間を隔
てる隔壁が設けられて成ることを特徴とする。また、前
記目的を達成するために、請求項２記載のプラズマディ
スプレイパネルの視覚側のパネル基板の製造方法は、図
２で示すように、平行状態で離隔し面放電のための電極
対12,12'を複数対並列した基板11上にレジストをスクリ
ーン印刷し、電極対12,12'と直交、かつ平行状態で互い
に離隔したストライプ状の複数のレジストパターン31を
形成する工程と、電極対 12,12' のレジスト非被着領域
Ａをエッチングにより除去し、この電極対12,12'を複数
のチップ状電極Ｂが飛び石状に連なる点列状電極対13,1
3'に形成する工程と、点列状電極対13,13'のチップ状電
極群をその点列方向に沿う線状の接続電極14,14'で電気
的に接続する工程と、チップ状電極群を接続電極14,14'
で接続して表示電極対を構成する点列状電極対13,13'を
含めた基板11の表面に誘電体層15を形成する工程と、誘
電体層15が形成された基板11の表面に絶縁ペーストをス
クリーン印刷し、点列状電極対13,13'の点列方向と直交
し、かつそのチップ状電極(B) 間を通過するストライプ
状の隔壁16を形成する工程とを有し、レジストパターン
31のスクリーン印刷と隔壁16のスクリーン印刷とを同一
のスクリーンマスクで行なうことを特徴とする。
【００１３】
【作用】本発明の面放電形式のプラズマディスプレイパ
ネルにおいては、接続電極（金属電極）により接続され
互いに接近する側端部を対向した透明な２列の点列状電
極対のチップ状電極群がチップ状電極の列間隙に一致し
てガラス基板間を隔てる隔壁間に位置付けられることを
特徴とし、また、本発明のプラズマディスプレイパネル
の製造方法においては、レジストパターン31のスクリー
ン印刷と隔壁16のスクリーン印刷とを同一のスクリーン
マスクを使用して行なうようにしている。
ネルにおいては、接続電極（金属電極）により接続され
互いに接近する側端部を対向した透明な２列の点列状電
極対のチップ状電極群がチップ状電極の列間隙に一致し
てガラス基板間を隔てる隔壁間に位置付けられることを
特徴とし、また、本発明のプラズマディスプレイパネル
の製造方法においては、レジストパターン31のスクリー
ン印刷と隔壁16のスクリーン印刷とを同一のスクリーン
マスクを使用して行なうようにしている。
【００１４】したがって、レジストパターン31及び隔壁
16の印刷時におけるスクリーンマスク32-1 (図３(a) 参
照) のスクリーン32-1a の伸び量は同一となることか
ら、レジストパターン31で形成した点列状電極対13,13'
のチップ状電極Ｂ間 (ギャップ上) を正確に通過するよ
うに隔壁16をスクリーン印刷により形成することが可能
となる。
16の印刷時におけるスクリーンマスク32-1 (図３(a) 参
照) のスクリーン32-1a の伸び量は同一となることか
ら、レジストパターン31で形成した点列状電極対13,13'
のチップ状電極Ｂ間 (ギャップ上) を正確に通過するよ
うに隔壁16をスクリーン印刷により形成することが可能
となる。
【００１５】斯くして隔壁16が点列状電極対13,13'のチ
ップ状電極Ｂの上を掠める (通過する) ことがないか
ら、輝度むらがなく、しかも動作マージンが大きなプラ
ズマディスプレイの製造が可能となる。
ップ状電極Ｂの上を掠める (通過する) ことがないか
ら、輝度むらがなく、しかも動作マージンが大きなプラ
ズマディスプレイの製造が可能となる。
【００１６】
【実施例】本発明は、前述したようにプラズマディスプ
レイパネルの構造、およびその主要な構成要素となる前
面基板10の製造方法に係るものである。以下、図１〜図
３を参照してその一実施例の製造方法について工程順に
説明する。
レイパネルの構造、およびその主要な構成要素となる前
面基板10の製造方法に係るものである。以下、図１〜図
３を参照してその一実施例の製造方法について工程順に
説明する。
【００１７】本発明の一実施例の製造方法においては、
まず、従来例と同様に透明な酸化錫膜で形成した電極対
12,12'を複数対並列したガラス基板11の表面に液状のレ
ジストをスクリーンマスク32-1 (図３(a) 参照) を使用
してスクリーン印刷し、この電極対12,12'と直交すると
ともに、平行状態で互いに離隔したストライプ状の複数
のレジストパターン31を形成する (レジスト印刷工程、
図２(a) 参照) 。
まず、従来例と同様に透明な酸化錫膜で形成した電極対
12,12'を複数対並列したガラス基板11の表面に液状のレ
ジストをスクリーンマスク32-1 (図３(a) 参照) を使用
してスクリーン印刷し、この電極対12,12'と直交すると
ともに、平行状態で互いに離隔したストライプ状の複数
のレジストパターン31を形成する (レジスト印刷工程、
図２(a) 参照) 。
【００１８】次いで、このレジストパターン31を形成し
たガラス基板11の表面に亜鉛微粉末（図示せず）を塗布
した後、このガラス基板11を塩酸系のエッチング液（図
示せず）に浸漬して電極対12,12'のレジスト非被着領域
Ａをエッチング (溶解除去)し、この電極対12,12'を複
数のチップ状電極Ｂが飛び石状かつ２列で連なる点列状
電極対13,13'にする（点列状電極対形成工程、図２(b)
参照) 。
たガラス基板11の表面に亜鉛微粉末（図示せず）を塗布
した後、このガラス基板11を塩酸系のエッチング液（図
示せず）に浸漬して電極対12,12'のレジスト非被着領域
Ａをエッチング (溶解除去)し、この電極対12,12'を複
数のチップ状電極Ｂが飛び石状かつ２列で連なる点列状
電極対13,13'にする（点列状電極対形成工程、図２(b)
参照) 。
【００１９】この後、点列状電極対13,13'上を通過且つ
点列方向に伸びる線状の接続電極14,14'を印刷技術若し
くはホトリソグラフィー技術で形成し、点列状電極対1
3,13'のチップ状電極群Ｂを、接続電極14,14'によりそ
れぞれ直列接続する（接続電極形成工程、図２(c) 参
照) 。
点列方向に伸びる線状の接続電極14,14'を印刷技術若し
くはホトリソグラフィー技術で形成し、点列状電極対1
3,13'のチップ状電極群Ｂを、接続電極14,14'によりそ
れぞれ直列接続する（接続電極形成工程、図２(c) 参
照) 。
【００２０】更にチップ状電極群Ｂを接続電極14,14'で
接続してなる表示用の点列状電極対13,13'を含めたガラ
ス基板11の表面に、鉛ガラスの微粉末を主成分とするガ
ラスペースト（図示せず）を印刷し、このガラスペース
トを６００度Ｃ程度の温度で焼成（溶融）して膜厚が２
５μｍ程度の誘電体層15を形成する（誘電体層形成工
程、図２(d) 参照) 。
接続してなる表示用の点列状電極対13,13'を含めたガラ
ス基板11の表面に、鉛ガラスの微粉末を主成分とするガ
ラスペースト（図示せず）を印刷し、このガラスペース
トを６００度Ｃ程度の温度で焼成（溶融）して膜厚が２
５μｍ程度の誘電体層15を形成する（誘電体層形成工
程、図２(d) 参照) 。
【００２１】次に、誘電体層15が形成されたガラス基板
11の表面に、セラミック微粉末、例えばアルミナ微粉末
を主成分とするアルミナペーストをスクリーンマスク32
-1（レジストパターン31を形成したスクリーンマスク)
を使用してスクリーン印刷を繰り返した後に、このアル
ミナペーストを５５０度Ｃ程度の温度で焼成し、点列状
電極対13,13'の点列方向と直交するとともに、そのチッ
プ状電極Ｂ間を通過する櫛の歯状の隔壁16を形成する
(隔壁印刷工程、図２(e) 参照) 。
11の表面に、セラミック微粉末、例えばアルミナ微粉末
を主成分とするアルミナペーストをスクリーンマスク32
-1（レジストパターン31を形成したスクリーンマスク)
を使用してスクリーン印刷を繰り返した後に、このアル
ミナペーストを５５０度Ｃ程度の温度で焼成し、点列状
電極対13,13'の点列方向と直交するとともに、そのチッ
プ状電極Ｂ間を通過する櫛の歯状の隔壁16を形成する
(隔壁印刷工程、図２(e) 参照) 。
【００２２】そして、この後隔壁16を形成したガラス基
板11の表面側に、酸化物、たとえばMgOを蒸着若しくは
スパッタリングして保護膜（図示せず）を形成すること
により前面基板10を完成させることとなる。
板11の表面側に、酸化物、たとえばMgOを蒸着若しくは
スパッタリングして保護膜（図示せず）を形成すること
により前面基板10を完成させることとなる。
【００２３】以上説明したように本発明のプラズマディ
スプレイパネルの製造方法においては、レジストパター
ン31のスクリーン印刷と隔壁16のスクリーン印刷とを同
一のスクリーンマスクを使用して行なうようにしてい
る。
スプレイパネルの製造方法においては、レジストパター
ン31のスクリーン印刷と隔壁16のスクリーン印刷とを同
一のスクリーンマスクを使用して行なうようにしてい
る。
【００２４】したがって、レジストパターン31及び隔壁
16の印刷時におけるスクリーンマスク32-1のスクリーン
32-1a の伸び量は同一となることから、レジストパター
ン31で形成した点列状電極対13,13'のチップ状電極Ｂ間
(ギャップ上) を正確に通過するように隔壁16をスクリ
ーン印刷により形成することが可能となる。
16の印刷時におけるスクリーンマスク32-1のスクリーン
32-1a の伸び量は同一となることから、レジストパター
ン31で形成した点列状電極対13,13'のチップ状電極Ｂ間
(ギャップ上) を正確に通過するように隔壁16をスクリ
ーン印刷により形成することが可能となる。
【００２５】斯くして隔壁16が点列状電極対13,13'のチ
ップ状電極Ｂの上を (通過する) ことがないから、本発
明の製造方法においては輝度むらがなく、しかも動作マ
ージンが大きなプラズマディスプレイの製造が可能とな
る。
ップ状電極Ｂの上を (通過する) ことがないから、本発
明の製造方法においては輝度むらがなく、しかも動作マ
ージンが大きなプラズマディスプレイの製造が可能とな
る。
【００２６】上述した本発明の一実施例のプラズマディ
スプレイパネルの製造方法では、スクリーンマスク32-1
(図３(a) 参照) を使用しているが、これの代わりにス
クリーンマスク32-2 (図３(b) 参照) を使用することも
当然可能であり、同様な効果が期待できることは言うま
でもない。
スプレイパネルの製造方法では、スクリーンマスク32-1
(図３(a) 参照) を使用しているが、これの代わりにス
クリーンマスク32-2 (図３(b) 参照) を使用することも
当然可能であり、同様な効果が期待できることは言うま
でもない。
【００２７】なお、スクリーンマスク32-2の開口部32-2
b は、スクリーンマスク32-1の開口部32-1b と同形であ
ることは勿論である。
b は、スクリーンマスク32-1の開口部32-1b と同形であ
ることは勿論である。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、輝度むら
がなく、しかも動作マージンが大きなプラズマディスプ
レイパネルとその製造方法の提供を可能にする。
がなく、しかも動作マージンが大きなプラズマディスプ
レイパネルとその製造方法の提供を可能にする。
【図１】は、プラズマディスプレイパネルの説明図であ
って、図１(a) はプラズマディスプレイパネルの模式的
な要部側断面図、図１(b) は前面基板の要部平面図
って、図１(a) はプラズマディスプレイパネルの模式的
な要部側断面図、図１(b) は前面基板の要部平面図
【図２】は、前面基板の製造方法を説明するための工程
順要部側断面図
順要部側断面図
【図３】は、スクリーンマスクの説明図であって、図３
(a) はレジスト印刷のスクリーンマスクの模式的な平面
図、図３(b) は隔壁印刷用のスクリーンマスクの模式的
な平面図
(a) はレジスト印刷のスクリーンマスクの模式的な平面
図、図３(b) は隔壁印刷用のスクリーンマスクの模式的
な平面図
10は、前面基板
11は、ガラス基板 (基板)
12,12'は、電極対
13,13'は、点列状電極対 (表示電極対)
14,14'は、接続電極
15は、誘電体層
16は、隔壁
20は、背面基板
21は、ガラス基板
22は、アドレス電極
23は、隔壁
24は、蛍光体
31は、レジストパターン
32-1,32-2 は、スクリーンマスク
31-1a,32-2a は、スクリーン
32-2b は、開口部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平３−269933（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−284334（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−299022（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−230185（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01J 11/02
H01J 9/02
H01J 11/00
Claims (2)
- 【請求項１】視覚側のガラス基板上に誘電体層で被覆し
て設けた対となる電極間での面放電を利用して、対向す
る背面側のガラス基板上に設けた蛍光体を発光させて表
示を行う面放電形式のプラズマディスプレイパネルであ
って、上記 視覚側のガラス基板上に、複数のチップ状電極が飛
び石状に連なる透明な電極で形成された２列のチップ状
電極群を各列のチップ状電極の近接側端部が互いに対向
して複数の表示セルを構成するよう並設し、かつ各列の
チップ状電極をそれぞれの遠隔側端縁部を通過する線状
の接続電極で直列接続して上記面放電用の電極対を構成
すると共に、 各表示セルを構成して飛び石状に連なるチップ状電極の
列間隙に一致して上記ガラス基板間を隔てる隔壁が設け
られて成る ことを特徴とするプラズマディスプレイパネ
ル。 - 【請求項２】面放電形式のプラズマディスプレイパネル
を構成する視覚側のパネル基板を製造する方法であっ
て、 平行状態で離隔し面放電のための電極対を複数対並列し
た基板上にレジストをスクリーン印刷し、前記電極対と
直交、かつ平行状態で互いに離隔したストライプ状の複
数のレジストパターンを形成する工程と、 前記電極対のレジスト非被着領域をエッチングにより除
去し、この電極対を複数のチップ状電極が飛び石状に連
なる点列状電極対に形成する工程と、 前記点列状電極対のチップ状電極群をその点列方向に沿
う線状の接続電極で電気的に接続する工程と、 前記チップ状電極群を前記接続電極で接続して表示電極
対を構成する点列状電極対を含めた前記基板の表面に誘
電体層を形成する工程と、 前記誘電体層が形成された前記基板の表面に絶縁ペース
トをスクリーン印刷し、前記点列状電極対の点列方向と
直交し、かつそのチップ状電極間を通過するストライプ
状の隔壁を形成する工程とを有し、 前記レジストパターンのスクリーン印刷と前記隔壁のス
クリーン印刷とを同一のスクリーンマスクで行なうこと
を特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3646593A JP3430539B2 (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | プラズマディスプレイパネルとその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3646593A JP3430539B2 (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | プラズマディスプレイパネルとその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06251704A JPH06251704A (ja) | 1994-09-09 |
| JP3430539B2 true JP3430539B2 (ja) | 2003-07-28 |
Family
ID=12470564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3646593A Expired - Fee Related JP3430539B2 (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | プラズマディスプレイパネルとその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3430539B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100442293B1 (ko) * | 2001-12-27 | 2004-07-30 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 패턴 형성방법 |
| KR101058117B1 (ko) | 2010-03-22 | 2011-08-24 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막 증착용 마스크 어셈블리와, 이를 이용한 유기 발광 장치와, 이의 제조 방법 |
-
1993
- 1993-02-25 JP JP3646593A patent/JP3430539B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06251704A (ja) | 1994-09-09 |
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