JP2000299061A - 平面型表示装置とその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 蛍光体のパターン露光において、露光マスク
の位置合わせを精密かつ簡便に行う。 【解決手段】 画像表示面側基板１と対向して配置され
る背面側基板５上の、有効表示領域外の非表示領域にお
けるアドレス電極の非形成部に、隔壁９と平行に、かつ
隔壁間と等間隔を保持して複数の付加隔壁１９を形成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、平面型表示装置と
その製造方法に係わる。

【０００２】

【従来の技術】蛍光体によるカラー表示に適したプラズ
マ放電表示装置（ＰＤＰ）に代表される平面型表示装置
は、陰極線型表示装置に代わる表示デバイスとして注目
されており、ハイビジョン映像表示の期待も高まってい
る。

【０００３】従来の平面型表示装置として、ＰＤＰの一
例を、その概略斜視図を示す図１０と、電極配置を示す
図１１を参照して説明する。

【０００４】この平面型ＰＤＰ１００は、図１０に示す
ように、画像表示面側基板１１と、背面側基板２１とが
対向して配置された構造を有する。画像表示面側基板１
１の内面には、複数の電極、すなわち図１１に示す対の
放電維持電極ＸおよびＹが図１０中の透明導電膜４１に
よって形成され、これが複数対配列された表示電極群１
２１が形成されている。

【０００５】背面側基板２１の内面には、複数のアドレ
ス電極Ａが平行配列され、アドレス電極群１２１を形成
している。放電維持電極ＸおよびＹと、アドレス電極Ａ
とは、図１１に示すように、互いに交差する方向に沿っ
て延長させて配列され、各交差部において、放電部が形
成されている。

【０００６】また、各アドレス電極Ａ間には、アドレス
電極Ａの延長方向に沿って、ストライプ状の隔壁２９が
形成されている。

【０００７】各アドレス電極Ａ上には、複数の色、例え
ば赤、緑、青の蛍光体ＲＧＢが順次形成されている。隔
壁２９は、両基板１１および２１間の間隔を設定するス
ペーサーとして作用し、同時に、これが不透明であるこ
とによってコントラストの向上が図られている。

【０００８】この平面型ＰＤＰ１００においては、図１
１に示すように、有効表示領域ＥＨ外の非表示領域ＥＮ
での不要の発光を防止するために、非表示領域ＥＮにお
けるアドレス電極列の両側の部分に強制消去電極Ｅが設
けられている。各強制消去電極Ｅは、アドレス電極Ａと
平行であり、全ての放電維持電極１２と交差する長さを
有した複数の帯状の主部Ｅａと、各主部Ｅａの両端部に
おいて全ての主部Ｅａを電気的に接続する連結部Ｅｂと
から構成されている。強制消去電極Ｅの端部は、アドレ
ス電極Ａと同様に放電空間領域Ｅ３０の外側まで導出さ
れ、外部導体（図示せず）と接続される。

【０００９】また、放電維持電極対Ｘ、Ｙにより構成さ
れる表示電極群は、図１０に示すように、誘電体層１７
によって放電空間３０に対して被覆されている。誘電体
層１７の表面には、保護膜１８として、例えば数千Å程
度の厚さのＭｇＯ膜が設けられている。

【００１０】なお、表示電極は、放電空間３０に対して
画像表示面Ｈ側に配置されることから、面放電を広範囲
とし、かつ表示光の遮光を最小限とするため、幅の広い
透明導電膜４１と、その導電性を補うための幅の狭いバ
ス金属膜４２とから構成されている。

【００１１】ここで、図１０および図１１に示して説明
した従来構造の平面型画像表示装置、例えば平面型ＰＤ
Ｐの製造方法の一例を説明する。

【００１２】まず、放電維持電極を有する画像表示面側
基板１１の作製方法について述べる。始めに、例えばガ
ラス基板１１上に放電維持電極Ｘ、Ｙを形成する透明導
電膜４１の材料のＩＴＯ（Indium Tin Oxide）を、スパ
ッタ法で３００〔ｎｍ〕程度の厚さに成膜する。次に、
ＩＴＯ膜にレジストパターンを焼き付けた後、例えば塩
酸等によりエッチングして、放電維持電極（Ｘ、Ｙ）を
パターンニングする。次に、この放電維持電極の導電性
を補償するためのバス金属膜４２の材料として、例えば
Ａｌ等を約１μｍの厚さに成膜し、レジストでパターン
ニングして、その後エッチングを行い、バス金属膜４２
に加工する。このとき、金属膜材料が、Ａｌであれば、
エッチング液はリン酸を適用し、エッチング終了後、レ
ジストを剥離してバス金属膜４２を形成する。

【００１３】次に、絶縁体層を印刷法等によりバス金属
膜４２の略直交する方向に形成する。次に、表示部全体
に誘電体層１７を成膜し、その後、保護膜１８を全面的
に成膜する。

【００１４】次に、アドレス電極Ａが形成されている背
面側基板２１の作製方法について説明する。

【００１５】まず、アドレス電極材料として、例えばＡ
ｌを斜め蒸着し、さらに端子部をパターンニングして、
最終的に隔壁２９間にアドレス電極Ａを形成する。次
に、アドレス電極上に誘電体層を形成した後、印刷法で
ガラスペーストを重ね塗りし、その後、５００〜６００
℃程度でベーキングを行うことにより、ストライプ状の
隔壁２９を形成する。このとき、すべての隔壁２９は、
等しい幅に形成する。続いて、蛍光体２８を印刷法やス
ラリー法により形成するが、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色の蛍光体
２８は、隔壁２９を挟む形で形成する。

【００１６】上述のようにして作製した両基板を、重ね
合わせ、周囲をガラスフリットでシールドしてから、排
気およびガス封じを行って、最終的に目的とする表示装
置を作製することができる。

【００１７】上述したように、背面側基板２１上に形成
された隔壁２９間には、アドレス電極Ａが配置されるよ
うになされている。そして、このアドレス電極Ａの上面
であって、隔壁２９間には、隔壁の側面部を含んで、蛍
光体２８が形成されている。

【００１８】Ｒ、Ｇ、Ｂの各色の蛍光体２８は、印刷法
やスラリー法により隔壁２９を挟む形で形成されるが、
この蛍光体２８の形成方法について、図１２に一工程の
概略断面図を示して以下に詳述する。

【００１９】図１２に示すように、背面側基板２１上に
は、隔壁２９がアドレス電極Ａを挟み込んで形成されて
いる。この背面側基板２１上に、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色の蛍
光体２８となる材料３８、例えばスラリーを、隔壁２９
の側面部を含んで塗布する。そして、図１２に示すよう
に、所定のパターン１１０ａが形成された露光マスク１
１０の位置合わせを行ったのち、パターン露光を行っ
て、蛍光体２８を形成する。すなわち、Ｒ（赤）、Ｇ
（緑）、Ｂ（青）のそれぞれの色に応じて、隔壁２９の
側面部を含んで最終的に蛍光体２８となる材料を塗布
し、それぞれの色のパターンに応じて、露光マスク１１
０を図１２中の矢印に示すように、平行に移動させて各
色ごとに位置合わせを行って、露光を行い、それぞれの
色の蛍光体２８を形成する。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来構
造の平面型ＰＤＰにおいては、上述したように背面側基
板２１上に形成した隔壁２９間には、アドレス電極Ａが
形成されている。このアドレス電極Ａは不透明であり、
隔壁２９はガラスペースト等により形成されるので、こ
れらは光の対して極めて透過し難い。

【００２１】図１３に、背面側基板２１上に、蛍光体２
８の材料３８を塗布する際の、背面側の基板２１の概略
平面図を示す。すなわち、図１３に示すように、背面側
基板２１上には、隔壁２９およびアドレス電極Ａとが交
互に形成されているため、背面側の基板２１側からの光
が透過しないか、極めて僅かしか透過しないため、背面
側の基板２１の全面において暗くなる。

【００２２】背面側基板２１上に蛍光体２８の材料３８
を塗布し、目的とする各色のストライプ状のパターン
に、露光マスク１１０を合わせてパターン露光を行う場
合、上述のように背面側基板２１全体が暗いため、直接
隔壁２９の底面と、露光マスク１１０のパターン１１０
ａのストライプとを位置合わせすることは困難である。

【００２３】一方、図１４および図１５に示すように、
露光マスク１１０の位置合わせを行うために、背面側基
板２１および露光マスク１１０には、それぞれ、非表示
領域において、露光マスク１１０を合わせるための、マ
ーキング１３０および２２が付されている。これらのマ
ーキング１２０と２２を合致させることにより、露光マ
スク１１０と背面側基板２１とのプリアライメントを行
うことができる。

【００２４】しかし、例えば隔壁２９を形成する工程中
におけるベーキング処理等による背面側基板２１の熱変
形等により、微妙に露光位置に変化が生じる場合があ
り、上記プリアライメントを行うのみでは露光マスク１
１０を所望の露光位置に精密に合わせて正確に蛍光体を
形成することが困難であるという問題がある。

【００２５】また、隔壁２９とアドレス電極Ａとは、オ
ーバーラップして形成されている場合もあり、この場合
も、上述の場合と同様に露光マスク１１０の位置合わせ
が困難である。

【００２６】そこで、本発明においては、蛍光体形成の
際の露光マスクの位置合わせを容易かつ確実に行うこと
ができるような構造の平面型画像表示装置およびその製
造方法を提供する。

【００２７】

【課題を解決するための手段】本発明の平面型表示装置
は、画像表示面側基板上に、複数の電極が平行配列され
た表示電極群を有し、画像表示面側基板と対向して配置
される背面側基板上に、複数のアドレス電極が平行配列
されて成るアドレス電極群を有し、各アドレス電極間
に、アドレス電極の延長方向に沿って配置されるストラ
イプ状の隔壁とを有するものである。そして、アドレス
電極上に、隔壁の側面を含めて、複数色のカラー蛍光体
が所要の配列順序をもって被着形成されて、有効表示領
域が形成され、有効表示領域外の非表示領域におけるア
ドレス電極の非形成部には、隔壁と平行に、かつ隔壁間
と等間隔を保持して複数の付加隔壁を有するものとす
る。

【００２８】本発明の平面型表示装置の製造方法におい
ては、背面側基板上に、複数本の隔壁をストライプ状に
形成し、この隔壁を形成する工程において、有効画像表
示領域外の非表示領域に、隔壁と平行に、かつ隔壁間と
等間隔を保持して複数の付加隔壁を形成し、背面基板上
に、隔壁および付加隔壁間を覆って、蛍光体の材料を塗
布し、その後所定のパターンを有する露光マスクを合わ
せることより露光して所望の色の蛍光体を形成するが、
この露光工程においては、付加隔壁間から透過した光に
より、露光マスクの位置合わせを行うものとする。

【００２９】本発明の平面型表示装置によれば、この平
面型表示装置における有効画像表示領域外の領域、すな
わち非表示領域において、背面側基板上に、付加隔壁を
有し、これらの付加隔壁間には、アドレス電極が形成さ
れていないものとしたため、付加隔壁間から、背面側基
板側からの透過光を得られ、蛍光体の露光工程における
露光マスクの位置合わせの目印が形成された。

【００３０】本発明の平面型表示装置の製造方法によれ
ば、この平面型表示装置における有効画像表示領域以外
の領域、すなわち非表示領域において、背面側基板上
に、付加隔壁を形成し、これらの付加隔壁間には、アド
レス電極を形成しないものとしたため、付加隔壁間か
ら、背面側基板側から光が透過し、これにより蛍光体の
露光工程における露光マスクの位置合わせの目印が形成
された。

【００３１】

【発明の実施の形態】本発明の平面型表示装置は、画像
表示面側基板上に、複数の電極が平行配列された表示電
極群を有し、画像表示面側基板と対向して配置される背
面側基板上に、複数のアドレス電極が平行配列されて成
るアドレス電極群を有し、各アドレス電極間に、アドレ
ス電極の延長方向に沿って配置されるストライプ状の隔
壁とを有するものである。そして、アドレス電極上に、
隔壁の側面を含めて、複数色のカラー蛍光体が所要の配
列順序をもって被着形成されて、有効表示領域が形成さ
れ、有効表示領域外の非表示領域におけるアドレス電極
の非形成部には、隔壁と平行に、かつ隔壁間と等間隔を
保持して複数の付加隔壁を有するものである。

【００３２】本発明の平面型表示装置の製造方法は、背
面側基板上に、複数本の隔壁をストライプ状に形成し、
この隔壁を形成する工程において、有効画像表示領域外
の非表示領域に、隔壁と平行に、かつ隔壁間と等間隔を
保持して複数の付加隔壁を形成し、背面基板上に、隔壁
および付加隔壁間を覆って、蛍光体の材料を塗布し、そ
の後所定のパターンを有する露光マスクを合わせること
より露光して所望の色の蛍光体を形成するが、この露光
工程においては、付加隔壁間から透過した光により、露
光マスクの位置合わせを行うものである。

【００３３】以下、本発明の平面型表示装置およびその
製造方法の一例について説明するが、本発明は、以下の
例に限定されるものではない。

【００３４】本発明の平面型表示装置について、概略斜
視図を示す図１と、電極配置を示す図２を参照して説明
する。

【００３５】本発明の平面型表示装置１０、例えば平面
型ＰＤＰは、図１に示すように、画像表示面側基板１１
と、背面側基板５とが対向して配置された構造を有す
る。画像表示面側基板１の内面には、複数の電極、すな
わち図２に示す対の放電維持電極ＸおよびＹが図１中の
透明導電膜２によって形成され、これが複数対配列され
た表示電極群１２が形成されている。

【００３６】背面側基板５の内面には、例えば５０〜１
００〔μｍ〕程度の幅のアドレス電極Ａが、平行配列さ
れ、アドレス電極群７０を形成している。この単位発光
領域ＥＵを選択的に発光させるためのアドレス電極Ａ
と、放電維持電極ＸおよびＹとは、互いに交差する方向
に沿って延長させて配列され、各交差部において、放電
部が形成されている。

【００３７】また、各アドレス電極Ａ間には、例えば１
００〜１５０〔μｍ〕程度の高さを有する隔壁９が、ア
ドレス電極Ａの延長方向に沿って、ストライプ状に形成
されている。この隔壁によって放電空間４がライン方向
（表示電極Ｘ、Ｙの延長方向）に単位発光領域ＥＵ毎に
区画され、かつ放電空間４の間隙寸法が規定されてい
る。本発明の平面型表示装置１０においては特に、有効
表示領域５０外の非表示領域５１におけるアドレス電極
の非形成部に、隔壁９と平行に、かつ隔壁９間と等間隔
を保持して複数の付加隔壁１９が形成されている。この
付加隔壁１９は、図１の背面側基板５上の、有効表示領
域５０の少なくとも片側の非表示領域５１に形成する
が、有効表示領域５０の両側の非表示領域５１のそれぞ
れに、付加隔壁１９を形成した構造とすることもでき
る。

【００３８】この非表示領域５１に形成されている付加
隔壁１９は、蛍光体の色数、（この例においては、Ｒ
（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色）以上の本数配置さ
れる。また、有効表示領域５０の両側の非表示領域５１
のそれぞれに、付加隔壁１９を配置する構成の場合に
は、それぞれの非表示領域５１において、付加隔壁１９
を蛍光体８の色数、（この例においては、Ｒ（赤）、Ｇ
（緑）、Ｂ（青）の３色）以上の本数配置する。この付
加隔壁１９間には、アドレス電極Ａは形成しないものと
する。

【００３９】背面側基板５上には、複数の色、例えば
赤、緑、青の蛍光体ＲＧＢが順次形成されている。隔壁
９および付加隔壁１９は、両基板１および５間の間隔を
設定するスペーサーとして作用し、同時に、これが不透
明であることによってコントラストの向上が図られる。

【００４０】各画素（ドット）ＥＧは、ライン方向（放
電維持電極対Ｘ、Ｙの延長方向）に並ぶ同一面積の３つ
の単位発光領域ＥＵから構成されている。例えば画面
が、６４０×４８０ドット構成であれば、４８０本の各
ラインは、６４０×３個の単位発光領域ＥＵから構成さ
れる。

【００４１】この平面型表示装置１０においては、図２
に示すように、有効表示領域５０外の非表示領域５１で
の不要の発光を防止するために、非表示領域におけるア
ドレス電極列の両側の部分に強制消去電極Ｅが設けられ
ている。各強制消去電極Ｅは、アドレス電極Ａと平行で
あり、全ての放電維持電極１２と交差する長さを有した
複数の帯状の主部Ｅａと、各主部Ｅａの両端部において
全ての主部Ｅａを電気的に接続する連結部Ｅｂとから構
成されている。強制消去電極Ｅの端部は、アドレス電極
Ａと同様に放電空間領域Ｅ３０の外側まで導出され、外
部導体（図示せず）と接続される。

【００４２】強制消去電極Ｅは、アドレス電極Ａと同時
に厚膜法などによって形成される。なお、各強制消去電
極Ｅは、２本の主部Ｅａから構成されているが、実際に
は、非表示領域ＥＮの幅は２０〔ｍｍ〕程度であるの
で、主部Ｅａの配列ピッチをアドレス電極Ａと同一の２
２０〔μｍ〕程度とした場合は、強制消去電極Ｅは、約
９０本の主部Ｅａから構成される。

【００４３】また、表示電極群１２は、図１に示すよう
に、誘電体層７によって放電空間４に対して被覆されて
いる。誘電体層７の表面には、保護膜８として、例えば
数千Å程度の厚さのＭｇＯ膜が設けられている。

【００４４】なお、表示電極は、放電空間に対して画像
表示面Ｈ側に配置されることから、面放電を広範囲と
し、かつ表示光の遮光を最小限とするため、幅の広い透
明導電膜２と、その導電性を補うための幅の狭いバス金
属膜３とから構成されている。

【００４５】次に、上記において、図１および図２に示
して説明した本発明の平面型表示装置の製造方法の一例
について説明する。

【００４６】先ず、画像表示面側基板１の作製方法につ
いて述べる。例えばＰＤＰ用の高歪点のガラスよりなる
基板１を用意する。基板１は、光に対して透明な材料で
あれば、従来公知の材料を適用することができる。この
基板１上に放電維持電極Ｘ、Ｙを形成する透明導電膜２
の材料のＩＴＯ（Indium Tin Oxide）を、スパッタ法で
３００〔ｎｍ〕程度の厚さに成膜する。次に、ＩＴＯ膜
にレジストパターンを焼き付けた後、例えば塩酸等によ
りエッチングして、放電維持電極（Ｘ、Ｙ）をパターン
ニングする。

【００４７】次に、この放電維持電極の導電性を補償す
るためのバス金属膜３の材料として、例えばＡｌ等を約
１μｍの厚さに成膜し、レジストでパターンニングし
て、その後エッチングを行い、バス金属膜３に加工す
る。このとき、金属膜材料が、Ａｌであれば、エッチン
グ液はリン酸を適用し、エッチング終了後、レジストを
剥離してバス金属膜３を形成する。

【００４８】次に、厚さ約２０μｍ程度の絶縁体層（図
示せず）を印刷法等によりバス金属膜３に略直交する方
向に形成する。このとき、絶縁体層の形成幅は、例えば
３０〜４０μｍ程度とする。次に、表示部全体に誘電体
層７を成膜する。誘電体層７の厚さは、例えば、放電維
持電極の電極間隔の半分以下の厚さとする。次に、Ｍｇ
Ｏ等により、保護膜８を厚さ０．５〜１．０μｍで全面
的に成膜す。

【００４９】次に、アドレス電極Ａが形成されている背
面側基板５の作製方法について説明する。まず、例えば
透明ガラスよりなる基板５上に、アドレス電極Ａをスト
ライプ状に形成する。例えばＡｌを斜め蒸着し、さらに
端子部をパターンニングして、アドレス電極Ａを形成す
る。

【００５０】このとき、アドレス電極Ａは、最終的に得
られる平面型表示装置１０の画像表示に寄与する領域５
０に対応する隔壁９間にのみ形成するものとし、画像表
示に寄与しない領域５１に対応する位置に形成されてい
る隔壁９および９ａ間には、形成しないものとする。

【００５１】次に、上記アドレス電極Ａ上に、誘電体層
を形成した後、図１に示す隔壁９および付加隔壁１９を
形成する。例えば印刷法でガラスペーストを重ね塗り
し、サンドブラスト用のレジストをストライプ状にパタ
ーンニングし、この上からサンドブラストを行うことに
より、所望のストライプ状に形成する。その後、５００
〜６００℃程度でベーキングを行うことにより、固化し
ストライプ状の隔壁９を形成する。このとき、図１に示
すように、有効表示領域５０外の非表示領域５１に、隔
壁９と平行に、かつ隔壁９間と等間隔を保持して複数の
付加隔壁１９を隔壁９と同時に形成する。

【００５２】このとき、付加隔壁１９は、隔壁９と等し
い幅に形成してもよく、図１に示すように、最外側の隔
壁１９ａの幅を隔壁９の幅の２倍以上にして形成しても
良い。これは、最外側に形成される隔壁１９ａは、サン
ドブラストの影響を最も受けやすいため、過剰にブラス
トされてしまい、隔壁が剥離してしまうおそれもあった
ためである。最外側の隔壁１９ａの幅を、隔壁９の幅の
２倍以上に形成することにより、最外側の隔壁１９ａの
強度を向上させることができ、サンドブラスト等にたい
する抵抗力を高めることができ、剥離等の工程上のトラ
ブルを効果的に回避することができ、最終的に得られる
平面型表示装置１０の品質の維持、向上を図ることがで
きる。

【００５３】一方において、最外側の隔壁９ａの幅が大
きすぎると、ベーキングの際に、隔壁の材料の収縮の影
響が大きくなる。そこで、最外側の隔壁９ａの幅は、そ
の他の隔壁９の幅の２〜３倍程度に形成することが望ま
しい。

【００５４】続いて、蛍光体８を形成するが、Ｒ、Ｇ、
Ｂの各色の蛍光体８は、隔壁９を挟む形で、各々が隔壁
９に合わせて同順に整列させて形成する。蛍光体８を形
成する場合、例えば、感光性の蛍光体スラリーをスピン
ナーにより全面塗布した後、図１４および図１５に示し
て説明したように露光マスクのプリアライメントを行
い、その後、露光マスクの位置合わせの微調整を行い、
正確な位置合わせを行った後、これを露光することによ
り、該当部を固化し、その後、現像処理をすることによ
って、所望の色の蛍光体８が形成される。そして、その
他の部分のスラリーを除去する。

【００５５】蛍光体８の形成方法について、図３に一工
程の概略断面図を示して以下に詳述する。

【００５６】図３に示すように、背面側の基板５上に、
Ｒ、Ｇ、Ｂの各色の蛍光体となる蛍光体材料４８を、隔
壁９および付加隔壁１９の側面部を含んで塗布する。そ
して、図３に示すように、所定のパターン６０ａが形成
された露光マスク６０の位置合わせを行ったのち、パタ
ーン露光を行って、現像処理を行い、蛍光体８を形成す
る。Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のそれぞれの色に応
じて、順次隔壁９の側面部を含んで最終的に蛍光体８と
なる材料を塗布し、露光マスク６０をそれぞれの色のパ
ターンに応じて、図３中の矢印に示すように、平行に移
動させて各色ごとに位置合わせを行って露光および現像
処理を行い、各色の蛍光体８を形成する。

【００５７】本発明の平面型表示装置１０においては、
図２および図３に示すように、非表示領域５１に、付加
隔壁１９が、蛍光体の色数以上の数、形成されており、
非表示領域５１の付加隔壁間には、アドレス電極Ａが形
成されていない構成としたため、この非表示領域５１に
おいては、付加隔壁間から、背面側基板５側からの光が
透過し、付加隔壁１９の底面の輪郭が目視により確認で
きる。

【００５８】すなわち、図４に示すように、背面側基板
５上に蛍光体材料４８を塗布し、その後、目的とする各
色のストライプ状のパターンに、露光マスク６０を合わ
せてパターン露光を行う場合、有効表示領域５０には、
隔壁９とアドレス電極Ａとが交互に形成されているた
め、背面側基板５側からの光が透過しないか、あるいは
僅かしか透過しないが、非表示領域領域５１の付加隔壁
１９間からは、背面側基板５側からの光が透過するた
め、隔壁９の底部の輪郭を目視でき、露光マスク６０の
パターン６０ａを、付加隔壁１９の底部の輪郭に合わせ
ることができる。これにより露光マスク６０の位置合わ
せを容易かつ正確に行うことができ、露光工程を迅速か
つ確実に行うことができる。

【００５９】さらに、蛍光体８の露光工程において使用
する露光マスク６０のストライプパターン６０ａの内、
少なくとも最外側のパターンの形状を、図５に示すよう
な、先鋭凹凸形状、例えば三角形状とすることもでき
る。なお、露光マスク６０のストライプパターンの先鋭
凹凸形状は、図５に示すような三角形状に限定されるも
のではなく、例えば図６に示すような、凹側に先鋭部を
有する形状であってもよい。このように露光マスク６０
のパターン６０ａのストライプを先鋭凹凸形状とするこ
とにより、露光マスク６０の位置合わせをさらに精密に
行うことができるようになる。以下、これについて説明
する。

【００６０】蛍光体８の露光工程においては、上記にお
いて図１４および図１５を示して説明したように、先
ず、露光マスク６０と背面側基板５との粗合わせ、すな
わちプリアライメントが行われる。その後、背面側基板
５の付加隔壁１９の形成部における例えば４箇所、すな
わち、図７中の破線で囲まれた領域５ａ〜５ｄに示す位
置において、露光マスク６０のパターン６０ａと、背面
側基板５上の蛍光体の露光箇所との位置合わせを、例え
ばＣＣＤカメラで観察して行う。

【００６１】一方、露光マスクのパターン６０ａは設計
値通りの寸法で形成されているが、背面側基板５は、隔
壁９の形成工程におけるベーキング用により、変形が生
じているため、露光マスク６０と、背面側基板５との位
置合わせを精密に行うことは、特に、微細なパターンを
露光する場合において問題となる。

【００６２】露光マスク６０のストライプパターン６０
ａの内、少なくとも最外側のパターン形状を、先鋭凹凸
形状、例えば三角形状にすることにより、露光パターン
６０ａの先端の先鋭部分から洩れる光の量を、その他の
部分に比較して少なくすることができる。このことか
ら、露光パターンの先端部分を露光したいパターンに合
わせやすくなり、露光の位置合わせを精密かつ容易に行
うことができる。

【００６３】また、背面側基板５の熱変形により基板の
蛍光体のストライプパターンの幅と露光マスクの露光パ
ターン６０ａのストライプの幅とが一致しない場合に
は、図８に示すように、一端において露光パターン６０
ａ（図８中の一点鎖線）の先端の先鋭部を蛍光体のスト
ライプパターンの中心位置に合わせても、他端におい
て、ずれてしまう場合がある。

【００６４】このような場合には、図９中の矢印方向に
露光マスク６０をずらすことにより、両側の露光パター
ン６０ａの位置を調整し、両側において蛍光体の露光を
行うころのできる位置に露光マスク６０の位置を設定す
る。この場合においても、露光マスク６０のストライプ
パターン６０ａの内、少なくとも最外側のパターン形状
を、先鋭凹凸形状とし、さらにＣＣＤカメラを適用する
ことにより、先鋭凹凸部の位置を所定の位置に目盛りを
合わせて数値的に決定することができ、複数の露光位置
の露光マスクのパターンとのずれ量を、それぞれにおい
て、実用上の品質の低下を来すことなく微調整を行うこ
とができる。

【００６５】図８および図９においては、露光マスクの
ストライプパターンが、蛍光体のストライプパターンに
対して、平行にずれた場合について示したが、この例に
限定されず、これらが斜めにずれた場合についても上述
と同様に微調整を行って、露光マスク６０の位置合わせ
を行うことができる。

【００６６】上述のようにして作製した画像表示面側基
板基板１と、背面側基板５とを、重ね合わせて、周囲を
ガラスフリットでシールドしてから、排気およびガス封
じを行って、最終的に目的とする平面型表示装置１０を
作製することができる。

【００６７】

【発明の効果】本発明の平面型表示装置によれば、この
平面型表示装置１０を構成する背面側基板５の、有効表
示領域５０外の領域、すなわち非表示領域５１におい
て、付加隔壁１９を蛍光体の色数以上の本数設け、この
付加隔壁１９間には、アドレス電極Ａを形成しない構成
としたことにより、付加隔壁１９間から、背面側基板５
側からの透過光を得られ、蛍光体８の露光工程におい
て、付加隔壁１９の底部の輪郭を目視することができ、
これにより、露光マスク６０の位置合わせを容易に行う
ことができるようになった。すなわち、露光マスク６０
の位置合わせを精密かつ簡便に行うことができるように
なり、蛍光体の露光を正確に行うことができるようにな
った。

【００６８】本発明の平面型表示装置の製造方法によれ
ば、背面側基板５の有効表示領域外の領域、すなわち非
表示領域５１において、付加隔壁１９を蛍光体の色数以
上の本数形成し、これらの付加隔壁１９間には、アドレ
ス電極を形成しないものとしたため、蛍光体８をパター
ン露光により形成する工程において、付加隔壁１９間
に、背面側基板５側からの透過光を得られ、付加隔壁１
９の底部の輪郭を目視できる状態で露光マスクの位置合
わせを行うことができるようになった。すなわち、蛍光
体の露光工程において、露光マスク６０の位置合わせを
精密かつ簡便に行うことができ、平面型表示装置の作製
工程を円滑化ならしめ、作業効率の向上を図ることがで
きた。

【００６９】また、露光マスク６０の露光パターン６０
ａのストライプの先端形状を、先鋭凹凸形状、例えば三
角形状としたことにより、蛍光体８の所望の露光形状
と、露光マスク６０のパターンに、複数のずれがあった
場合にも、その各々の位置におけるずれの量に応じて、
露光マスク６０の位置を調整によりずらすことが容易に
行うことができるようになった。これにより、蛍光体８
と露光マスク６０との位置合わせにおいて、複数の箇所
のずれ量を最小限に抑えることができるようになり、実
用上の精度向上を図ることができ、平面型表示装置の製
品の品質の向上を図ることができた。

【００７０】また、本発明の平面型表示装置の他の一例
の構成によれば、平面型表示装置１０における非表示領
域５１に形成した付加隔壁１９のうち、最外側の付加隔
壁１９ａの幅を、他の付加隔壁１９の２倍以上とするこ
とにより、最外側の付加隔壁１９ａの物理的な強度を高
めることができ、隔壁作製工程におけるサンドブラスト
の影響を最も強く受ける最外側の付加隔壁を、磨滅から
効果的に防御することができるようになった。すなわ
ち、これにより、最外側の付加隔壁の剥離や寸法変形を
回避することができ、平面型表示装置の品質の向上を図
ることができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の平面型表示装置の概略斜視図を示す。

【図２】本発明の平面型表示装置の電極配置の概略平面
図を示す。

【図３】本発明の平面型表示装置を構成する蛍光体の露
光工程図を示す。

【図４】本発明の平面型表示装置を構成する背面側基板
の隔壁、付加隔壁、およびアドレス電極との位置関係を
示す。

【図５】露光マスクの露光パターンの他の一例の概略平
面図を示す。

【図６】露光マスクの露光パターンの他の一例の概略平
面図を示す。

【図７】本発明の平面型表示装置を構成する蛍光体の露
光工程図を示す。

【図８】本発明の平面型表示装置を構成する蛍光体の露
光工程図を示す。

【図９】本発明の平面型表示装置を構成する蛍光体の露
光工程図を示す。

【図１０】従来の平面型表示装置の概略斜視図を示す。

【図１１】従来の平面型表示装置の電極配置の概略図を
示す。

【図１２】従来方法における蛍光体の作製工程図を示
す。

【図１３】従来の平面型表示装置を構成する背面側基板
の概略平面図を示す。

【図１４】露光マスクの概略平面図を示す。

【図１５】背面側の基板の概略平面図を示す。

【符号の説明】

１ 画像表示面側基板、２ 透明導電膜、３ バス金属
膜、４ 放電空間、５背面側基板、７ 誘電体層、８
保護膜、９ 隔壁、１０ 平面型表示装置、１１ 画像
表示面側基板、１２ 表示電極群、１９ 付加隔壁、１
９ａ 最外側の付加隔壁、２１ 背面側基板、２８ 蛍
光体、２９ 隔壁、３０ 放電空間、３８ 蛍光体の材
料、４１ 透明導電膜、４２ バス金属膜、４８ 蛍光
体材料、５０ 有効表示領域、５１ 非表示領域、６０
露光マスク、６０ａ 露光パターン、１００ 平面型
表示装置、１１０ 露光マスク、１１０ａ 露光パター
ン、２２，１３０ マーキング

【手続補正書】

【提出日】平成１１年６月１６日（１９９９．６．１
６）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１３

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１３】次に、表示部全体に誘電体層１７を成膜
し、その後、保護膜１８を全面的に成膜する。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４８】次に、表示部全体に誘電体層７を成膜す
る。誘電体層７の厚さは、例えば、放電維持電極の電極
間隔の半分以下の厚さとする。次に、ＭｇＯ等により、
保護膜８を厚さ０．５〜１．０μｍで全面的に成膜す
る。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5C028 FF16 GG14 HH14 5C040 FA01 GB03 GB14 GF02 GF12 GG05 GG09 JA15 JA32 MA24 5C094 AA02 AA43 AA48 AA60 BA12 BA31 CA19 CA24 DA12 EA04 EA10 EB02 EC02 EC04 FA01 FB15 GB10 JA01

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 画像表示面側基板上に、複数の電極が平
   行配列されて成る表示電極群が形成され、 上記画像表示面側の基板と対向して配置される背面側基
   板上に、複数のアドレス電極が平行配列されて成るアド
   レス電極群と、上記各アドレス電極間に、上記アドレス
   電極の延長方向に沿って配置されるストライプ状の隔壁
   とが形成され、 上記アドレス電極上に、上記隔壁の側面を含めて、複数
   色のカラー蛍光体が所要の配列順序をもって被着形成さ
   れて、有効表示領域が形成され、 上記有効表示領域外の上記アドレス電極の非形成部に、
   上記隔壁と平行に、かつ上記隔壁間と等間隔を保持して
   複数の付加隔壁が形成されて成ることを特徴とする平面
   型表示装置。
2. 【請求項２】 上記付加隔壁は、上記有効表示領域外の
   上記アドレス電極の非形成部に、カラー蛍光体の色数以
   上の数をもって設けられてなることを特徴とする請求項
   １に記載の平面型表示装置。
3. 【請求項３】 上記有効表示領域外に設けられた隔壁の
   うち、最外側に設けられてなる隔壁が、該最外側に設け
   られてなる隔壁以外の隔壁の幅の２倍以上の幅を有する
   ことを特徴とする請求項１に記載の平面型表示装置。
4. 【請求項４】 上記有効表示領域の両側の非表示領域
   に、それぞれ上記付加隔壁を配置したことを特徴とする
   請求項１に記載の平面型表示装置。
5. 【請求項５】 背面側基板上に、複数本の隔壁をストラ
   イプ状に形成する隔壁形成工程と、 上記隔壁形成工程において、非表示領域に、上記隔壁と
   平行に、かつ上記隔壁間と等間隔を保持して複数の付加
   隔壁を形成する工程と、 上記背面基板上に、隔壁および付加隔壁間を覆って、蛍
   光体を塗布する工程と、 上記蛍光体を、所定のパターンを有する露光マスクを合
   わせることより露光する工程と、 上記蛍光体の露光工程においては、上記付加隔壁間から
   透過した光により、露光マスクの位置合わせを行うこと
   を特徴とする平面型表示装置の製造方法。
6. 【請求項６】 上記付加隔壁は、上記有効表示領域外の
   上記アドレス電極の非形成部に、カラー蛍光体の色数以
   上の数をもって配置することを特徴とする請求項５に記
   載の平面型表示装置の製造方法。
7. 【請求項７】 上記非表示領域の上記付加隔壁のうち、
   最外側の付加隔壁を、該最外側に設けられてなる付加隔
   壁以外の隔壁の幅の２倍以上の幅をもって形成すること
   を特徴とする請求項５に記載の平面型表示装置の製造方
   法。
8. 【請求項８】 上記露光マスクのパターンにおいて、少
   なくとも両最外側のパターンのストライプの先端形状
   を、先鋭凹凸形状にしたことを特徴とする請求項５に記
   載の平面型表示装置の製造方法。