JPH1115395A - 基板の位置合わせ方法 - Google Patents
基板の位置合わせ方法Info
- Publication number
- JPH1115395A JPH1115395A JP16220497A JP16220497A JPH1115395A JP H1115395 A JPH1115395 A JP H1115395A JP 16220497 A JP16220497 A JP 16220497A JP 16220497 A JP16220497 A JP 16220497A JP H1115395 A JPH1115395 A JP H1115395A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- point
- substrates
- positioning
- mark
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ２枚の基板に熱履歴の違い等により収縮・伸
長量に差が生じても、一義的な正確な位置合わせができ
るようにする。 【構成】 両基板に形成されるそれぞれのマークはいず
れも基板の中心（図中点Ｏ）を通る直線上にあって、そ
の中心点Ｏを指すパターンに形成されている。即ち、一
方の基板に形成される位置決めマーク１１は、等号記号
（＝）のパターンをしており、その２本の直線に挟まれ
て形成された線分パターンが中心点Ｏを指し示してい
る。他方の基板に形成される位置決めマーク１２は、基
板の中心点Ｏを指し示す線分形状となっている。各基板
に形成された位置決めマーク１１と１２とが重なり合う
ように位置決めを行って２枚の基板を貼り合わせる。
長量に差が生じても、一義的な正確な位置合わせができ
るようにする。 【構成】 両基板に形成されるそれぞれのマークはいず
れも基板の中心（図中点Ｏ）を通る直線上にあって、そ
の中心点Ｏを指すパターンに形成されている。即ち、一
方の基板に形成される位置決めマーク１１は、等号記号
（＝）のパターンをしており、その２本の直線に挟まれ
て形成された線分パターンが中心点Ｏを指し示してい
る。他方の基板に形成される位置決めマーク１２は、基
板の中心点Ｏを指し示す線分形状となっている。各基板
に形成された位置決めマーク１１と１２とが重なり合う
ように位置決めを行って２枚の基板を貼り合わせる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、２枚のガラス基板
を貼り合わせる際の位置合わせ方法に関し、特にプラズ
マディスプレイパネルなどを組み立てる際に用いられる
基板の位置合わせ方法に関するものである。
を貼り合わせる際の位置合わせ方法に関し、特にプラズ
マディスプレイパネルなどを組み立てる際に用いられる
基板の位置合わせ方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】プラズマディスプレイなどのガラス基板
を用いたディスプレイパネルは、所定の構造物を設けた
２枚のガラス板を所定の間隙を隔てて貼り合わせること
により形成される。図６は、本発明の対象の一形態であ
るプラズマディスプレイパネルの構造を模式的に示す要
部断面図である。プラズマディスプレイは、前面基板ガ
ラス１ａと背面基板ガラス１ｂ、互いに平行に隣接配置
された透明電極２ａ、２ｂ、ＡＣ駆動のための誘電体層
６ａ、６ｂ、放電空間５を単位発光領域毎に区画するた
めの隔壁４、放電によるイオン衝撃から誘電体層６ａを
保護するための保護層７、単位発光領域を選択的に発光
させるためのデータ電極３および所定発光色の蛍光体層
８から構成される。
を用いたディスプレイパネルは、所定の構造物を設けた
２枚のガラス板を所定の間隙を隔てて貼り合わせること
により形成される。図６は、本発明の対象の一形態であ
るプラズマディスプレイパネルの構造を模式的に示す要
部断面図である。プラズマディスプレイは、前面基板ガ
ラス１ａと背面基板ガラス１ｂ、互いに平行に隣接配置
された透明電極２ａ、２ｂ、ＡＣ駆動のための誘電体層
６ａ、６ｂ、放電空間５を単位発光領域毎に区画するた
めの隔壁４、放電によるイオン衝撃から誘電体層６ａを
保護するための保護層７、単位発光領域を選択的に発光
させるためのデータ電極３および所定発光色の蛍光体層
８から構成される。
【０００３】このプラズマディスプレイパネルは次のよ
うに作製される。まず、前面パネルについて説明する
と、前面ガラス基板１ａ上にＩＴＯなどからなる透明電
極２ａ、２ｂを形成し、この上にスクリーン印刷により
低融点ガラスペーストを塗布し６００℃で焼成を行い誘
電体層６ａを形成する。次に、酸化マグネシウム（Ｍｇ
Ｏ）からなる保護層７を真空蒸着法により形成し、前面
パネルとする。次に、背面パネルについて説明すると、
背面ガラス基板１ｂ上に上記透明電極２ａ、２ｂと直交
するようにデータ電極３を形成し、これを覆うようにス
クリーン印刷により低融点ガラスペーストを塗布し６０
０℃で焼成することにより誘電体層６ｂを形成する。続
いて、低融点ガラスペーストをスクリーン印刷により格
子状に積層形成し、５５０℃で焼成することにより隔壁
４を形成する。さらに、ペースト化した蛍光体をスクリ
ーン印刷により隔壁間に塗りこみ、５００℃で焼成を行
い蛍光体層８を形成して、背面パネルを得る。
うに作製される。まず、前面パネルについて説明する
と、前面ガラス基板１ａ上にＩＴＯなどからなる透明電
極２ａ、２ｂを形成し、この上にスクリーン印刷により
低融点ガラスペーストを塗布し６００℃で焼成を行い誘
電体層６ａを形成する。次に、酸化マグネシウム（Ｍｇ
Ｏ）からなる保護層７を真空蒸着法により形成し、前面
パネルとする。次に、背面パネルについて説明すると、
背面ガラス基板１ｂ上に上記透明電極２ａ、２ｂと直交
するようにデータ電極３を形成し、これを覆うようにス
クリーン印刷により低融点ガラスペーストを塗布し６０
０℃で焼成することにより誘電体層６ｂを形成する。続
いて、低融点ガラスペーストをスクリーン印刷により格
子状に積層形成し、５５０℃で焼成することにより隔壁
４を形成する。さらに、ペースト化した蛍光体をスクリ
ーン印刷により隔壁間に塗りこみ、５００℃で焼成を行
い蛍光体層８を形成して、背面パネルを得る。
【０００４】このようにして形成した前面、背面パネル
を重ねあわせて図示しないシールフリットにより周囲を
シールし、内部に放電ガスを封入することによりプラズ
マディスプレイとする。２枚のガラス基板を貼り合わせ
る際に、両基板上に形成された構造物が相対的に位置ず
れを起こしていると、正常な放電が阻害されたり予定さ
れていた表示がなされなくなるなどの不都合が生じる。
そのため、ガラス基板上に予め位置合わせマークを形成
しておき、これに基づいて両基板を相対的に位置合わせ
することが行われている。
を重ねあわせて図示しないシールフリットにより周囲を
シールし、内部に放電ガスを封入することによりプラズ
マディスプレイとする。２枚のガラス基板を貼り合わせ
る際に、両基板上に形成された構造物が相対的に位置ず
れを起こしていると、正常な放電が阻害されたり予定さ
れていた表示がなされなくなるなどの不都合が生じる。
そのため、ガラス基板上に予め位置合わせマークを形成
しておき、これに基づいて両基板を相対的に位置合わせ
することが行われている。
【０００５】従来の位置合わせマークを用いた２枚のガ
ラス板の相対的な位置合わせの方法について図を参照し
て説明する。図７は位置合わせマークを形成した基板を
示す平面図である。図７に示されるように、位置決めマ
ーク２１は通常基板の対角の位置の２点に形成される。
そして、この基板に位置合わせされる相手側基板につい
ても対応する位置に位置合わせマークが形成される。位
置合わせマークとしては図示されたような十字マークや
井桁マークを基礎としたパターンが多用されている。特
開平７−３０６００９号公報には、図８（ａ）、（ｂ）
に示される位置合わせマークが提案されている。一方の
基板の表示エリア外の対角の２点に図８（ａ）に示す位
置合わせマークを、他方の基板の対応する位置に図８
（ｂ）に示す位置合わせマークを形成する。
ラス板の相対的な位置合わせの方法について図を参照し
て説明する。図７は位置合わせマークを形成した基板を
示す平面図である。図７に示されるように、位置決めマ
ーク２１は通常基板の対角の位置の２点に形成される。
そして、この基板に位置合わせされる相手側基板につい
ても対応する位置に位置合わせマークが形成される。位
置合わせマークとしては図示されたような十字マークや
井桁マークを基礎としたパターンが多用されている。特
開平７−３０６００９号公報には、図８（ａ）、（ｂ）
に示される位置合わせマークが提案されている。一方の
基板の表示エリア外の対角の２点に図８（ａ）に示す位
置合わせマークを、他方の基板の対応する位置に図８
（ｂ）に示す位置合わせマークを形成する。
【０００６】２枚の基板の位置をあわせる場合には、基
板の対角に形成したそれぞれの位置合わせマークで、図
８（ａ）の十字マークの交点と図８（ｂ）の四角形で形
成した十字マークの交点の位置を合わせる。基板上の２
点を固定することにより２枚の基板は表示面と平行な方
向で一義的に位置が決定される。
板の対角に形成したそれぞれの位置合わせマークで、図
８（ａ）の十字マークの交点と図８（ｂ）の四角形で形
成した十字マークの交点の位置を合わせる。基板上の２
点を固定することにより２枚の基板は表示面と平行な方
向で一義的に位置が決定される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の位置合
わせマークは表示パネルの表示領域以外のガラス基板の
端部に２箇所程度存在し、各位置合わせマーク内に個別
の位置合わせ用の中心点を持つものである。而して、例
えばプラズマディスプレイの基板上の各構成要素は、ガ
ラス基板上に低融点ガラスペーストなどで形成した微細
パターンを５００〜６００℃で焼成することによって得
られる。ガラス基板としては通常アルカリガラスが用い
られている。アルカリガラスは歪み点が約５００℃と低
いため５００〜６００℃の焼成により熱収縮による基板
の変形が発生する。前面パネルと背面パネルとでは形成
される構造物が異なるため熱履歴にも違いが生じる。こ
のため最終的に２枚のガラス基板の変形量が異なり、対
応した位置に形成しておいた位置合わせマークの位置が
一致しなくなる。この場合に、通常採られる手段は、基
板上全面の位置ずれ量を均等化するために、それぞれの
位置決めマークでの位置ずれ量を均等に割り振ることで
ある。例えば、十字マークを形成した基板の方が収縮量
が多い場合には図９に示すように各十字マークが四角形
十字マークに対し同量だけ内側に入るように位置決めさ
れる。しかし、この方法は、点と点とを合わせるもので
はなく、また基板の長辺側と短辺側とで位置ずらし量が
異なるため、個人差がでやすく、正確な位置決め、一義
的な位置決めが行われ難くなる。従って、本発明の解決
すべき課題は、第１に、基板間で収縮量・伸長量に差が
あっても、一義的な位置決めができるようにすることで
あり、第２に、基板上で位置ずれ量を均等に割り振るこ
とができるようにすることである。
わせマークは表示パネルの表示領域以外のガラス基板の
端部に２箇所程度存在し、各位置合わせマーク内に個別
の位置合わせ用の中心点を持つものである。而して、例
えばプラズマディスプレイの基板上の各構成要素は、ガ
ラス基板上に低融点ガラスペーストなどで形成した微細
パターンを５００〜６００℃で焼成することによって得
られる。ガラス基板としては通常アルカリガラスが用い
られている。アルカリガラスは歪み点が約５００℃と低
いため５００〜６００℃の焼成により熱収縮による基板
の変形が発生する。前面パネルと背面パネルとでは形成
される構造物が異なるため熱履歴にも違いが生じる。こ
のため最終的に２枚のガラス基板の変形量が異なり、対
応した位置に形成しておいた位置合わせマークの位置が
一致しなくなる。この場合に、通常採られる手段は、基
板上全面の位置ずれ量を均等化するために、それぞれの
位置決めマークでの位置ずれ量を均等に割り振ることで
ある。例えば、十字マークを形成した基板の方が収縮量
が多い場合には図９に示すように各十字マークが四角形
十字マークに対し同量だけ内側に入るように位置決めさ
れる。しかし、この方法は、点と点とを合わせるもので
はなく、また基板の長辺側と短辺側とで位置ずらし量が
異なるため、個人差がでやすく、正確な位置決め、一義
的な位置決めが行われ難くなる。従って、本発明の解決
すべき課題は、第１に、基板間で収縮量・伸長量に差が
あっても、一義的な位置決めができるようにすることで
あり、第２に、基板上で位置ずれ量を均等に割り振るこ
とができるようにすることである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述した本発明の課題
は、基板上の少なくとも２点に、異なる方向から基板上
の共通の１点を指すパターンの位置決めマークを形成す
ることにより、あるいは、基板上の１点にその点を表示
する位置決めマークを形成すると共に基板上の他の点に
前記１点を指すパターンの位置決めマークを形成するこ
とにより、解決することができる。
は、基板上の少なくとも２点に、異なる方向から基板上
の共通の１点を指すパターンの位置決めマークを形成す
ることにより、あるいは、基板上の１点にその点を表示
する位置決めマークを形成すると共に基板上の他の点に
前記１点を指すパターンの位置決めマークを形成するこ
とにより、解決することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明による基板の位置合わせ方
法は、所定の加工を施した２枚の基板を、各々の基板に
複数形成した位置合わせマークにより位置合わせし貼り
合わせるに際し、各基板上の前記位置合わせマークのそ
れぞれは、基板上の１点を通る少なくとも２本の直線の
何れかの上にあり、かつ、前記基板上の１点を指す形状
を有していることを特徴とするものである。
法は、所定の加工を施した２枚の基板を、各々の基板に
複数形成した位置合わせマークにより位置合わせし貼り
合わせるに際し、各基板上の前記位置合わせマークのそ
れぞれは、基板上の１点を通る少なくとも２本の直線の
何れかの上にあり、かつ、前記基板上の１点を指す形状
を有していることを特徴とするものである。
【００１０】また、もう一つの本発明による基板の位置
決め方法は、所定の加工を施した２枚の基板を、各々の
基板に複数形成した位置合わせマークにより位置合わせ
し貼り合わせる際の位置合わせるに際し、各基板上の前
記位置合わせマークのそれぞれは、基板上の１点を示す
ものと、その１点を通る少なくとも１本の直線の上にあ
り、かつ、前記基板上の１点を指す形状を有しているも
のであることを特徴とするものである。そして、前者の
発明にあっては、好ましくは、前記基板上の１点は基板
の中心点に選択される。また、一方の基板上の前記基板
上の１点を指す形状を有している位置合わせマークと、
これに合わせられる他方の基板上の位置合わせマークと
は互いに嵌合できる形状をなすようになされる。
決め方法は、所定の加工を施した２枚の基板を、各々の
基板に複数形成した位置合わせマークにより位置合わせ
し貼り合わせる際の位置合わせるに際し、各基板上の前
記位置合わせマークのそれぞれは、基板上の１点を示す
ものと、その１点を通る少なくとも１本の直線の上にあ
り、かつ、前記基板上の１点を指す形状を有しているも
のであることを特徴とするものである。そして、前者の
発明にあっては、好ましくは、前記基板上の１点は基板
の中心点に選択される。また、一方の基板上の前記基板
上の１点を指す形状を有している位置合わせマークと、
これに合わせられる他方の基板上の位置合わせマークと
は互いに嵌合できる形状をなすようになされる。
【００１１】［作用］本発明による位置合わせマークに
より決定される点は表示領域内を含む基板面上のただ１
点である。１点を通る複数の直線を用いて２平面の位置
合わせを行う場合、若しくは、１点とその点を通る直線
とを用いて位置決めを行う場合、一方の基板が他方の基
板に対して縮小または拡大していても上記の１点におい
て一義的に位置合わせを行なうことが可能になる。従っ
て、上記の位置合わせマークを用いることにより、基板
間にその熱履歴によって収縮量・伸長量に差が生じて
も、２枚の基板の位置を、上記の１点が一致した状態で
一義的に決めることができる。そして、交差する複数の
直線を用いて位置決めを行う場合、直線の交差する点を
基板の中心点に選択するとき、位置ずれ量を基板面内で
均等に配分することができる。
より決定される点は表示領域内を含む基板面上のただ１
点である。１点を通る複数の直線を用いて２平面の位置
合わせを行う場合、若しくは、１点とその点を通る直線
とを用いて位置決めを行う場合、一方の基板が他方の基
板に対して縮小または拡大していても上記の１点におい
て一義的に位置合わせを行なうことが可能になる。従っ
て、上記の位置合わせマークを用いることにより、基板
間にその熱履歴によって収縮量・伸長量に差が生じて
も、２枚の基板の位置を、上記の１点が一致した状態で
一義的に決めることができる。そして、交差する複数の
直線を用いて位置決めを行う場合、直線の交差する点を
基板の中心点に選択するとき、位置ずれ量を基板面内で
均等に配分することができる。
【００１２】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。 ［第１の実施例］図１は、本発明の第１の実施例による
位置合わせ方法を説明するための、位置合わせマークを
形成した２枚の基板の平面図である。図１（ａ）は前面
ガラス基板を、図１（ｂ）は背面ガラス基板を示してい
る。それぞれのマークはいずれも基板の中心（図中点
Ｏ）を通る直線上にあって、その中心点Ｏを指し示すパ
ターンに形成されている。すなわち、前面ガラス基板に
形成される位置決めマーク１１は、等号記号（＝）のパ
ターンをしており、その２本の直線に挟まれて形成され
た線分パターンが中心点Ｏを指し示している。また、背
面ガラス基板に形成される位置決めマーク１２は、線分
形状をしており、その線分は基板の中心点Ｏを指し示し
ている。
て詳細に説明する。 ［第１の実施例］図１は、本発明の第１の実施例による
位置合わせ方法を説明するための、位置合わせマークを
形成した２枚の基板の平面図である。図１（ａ）は前面
ガラス基板を、図１（ｂ）は背面ガラス基板を示してい
る。それぞれのマークはいずれも基板の中心（図中点
Ｏ）を通る直線上にあって、その中心点Ｏを指し示すパ
ターンに形成されている。すなわち、前面ガラス基板に
形成される位置決めマーク１１は、等号記号（＝）のパ
ターンをしており、その２本の直線に挟まれて形成され
た線分パターンが中心点Ｏを指し示している。また、背
面ガラス基板に形成される位置決めマーク１２は、線分
形状をしており、その線分は基板の中心点Ｏを指し示し
ている。
【００１３】次に、この位置合わせマークを用いたプラ
ズマディスプレイの製造方法について図６を参照して説
明する。まず、前面パネルについて説明する。前面ガラ
ス基板１上に酸化インジウム−錫（ＩＴＯ）からなる透
明導電膜を形成し、フォトリソグラフィ法と硝酸を用い
たエッチングにより紙面に垂直にストライプ状の走査電
極２ａ、２ｂをを形成する。この時、図１（ａ）に示し
た前面ガラス基板用の位置合わせマーク１１も透明導電
膜を用いて同時にパターン形成する。次に、低融点ガラ
スペーストをスクリーン印刷法により塗布し、６００℃
で焼成して透明誘電体層６ａを形成する。その後、電子
ビーム蒸着装置により酸化マグネシウム（ＭｇＯ）から
なる保護層７を形成し、前面パネルを得る。
ズマディスプレイの製造方法について図６を参照して説
明する。まず、前面パネルについて説明する。前面ガラ
ス基板１上に酸化インジウム−錫（ＩＴＯ）からなる透
明導電膜を形成し、フォトリソグラフィ法と硝酸を用い
たエッチングにより紙面に垂直にストライプ状の走査電
極２ａ、２ｂをを形成する。この時、図１（ａ）に示し
た前面ガラス基板用の位置合わせマーク１１も透明導電
膜を用いて同時にパターン形成する。次に、低融点ガラ
スペーストをスクリーン印刷法により塗布し、６００℃
で焼成して透明誘電体層６ａを形成する。その後、電子
ビーム蒸着装置により酸化マグネシウム（ＭｇＯ）から
なる保護層７を形成し、前面パネルを得る。
【００１４】次に、背面パネルの形成方法について説明
する。背面ガラス基板１ｂ上にクロム（Ｃｒ）膜を形成
し、フォトリソグラフィ法とエッチングにより紙面に平
行にストライプ状のデータ電極３を形成する。この時、
図１（ｂ）に示した背面ガラス基板用位置合わせマーク
１２もＣｒ膜により同時にパターン形成する。次に、酸
化アルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ）粉末を混合した低融点ガ
ラスペーストをスクリーン印刷法により塗布し、６００
℃で焼成して白色誘電体層６ｂを得る。次に、誘電体層
よりも融点の低いガラスペーストをスクリーン印刷によ
り積層塗布し、５５０℃で焼成することにより隔壁４を
得る。
する。背面ガラス基板１ｂ上にクロム（Ｃｒ）膜を形成
し、フォトリソグラフィ法とエッチングにより紙面に平
行にストライプ状のデータ電極３を形成する。この時、
図１（ｂ）に示した背面ガラス基板用位置合わせマーク
１２もＣｒ膜により同時にパターン形成する。次に、酸
化アルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ）粉末を混合した低融点ガ
ラスペーストをスクリーン印刷法により塗布し、６００
℃で焼成して白色誘電体層６ｂを得る。次に、誘電体層
よりも融点の低いガラスペーストをスクリーン印刷によ
り積層塗布し、５５０℃で焼成することにより隔壁４を
得る。
【００１５】隔壁中にスクリーン印刷により蛍光体ペー
ストを塗布し、さらに周囲にシール用のフリットガラス
を塗布し、５００℃で焼成することにより蛍光体層８を
形成して、背面パネルを得る。各々の構造物を形成した
前面ガラス基板および背面ガラス基板を構造物を互いに
内側にして重ね合わせ、両基板に形成した位置合わせマ
ークを用いて位置合わせする。この時、両基板に現れた
収縮量・伸長量が同等であれば、位置合わせマークは図
２に示すように重なって見えるはずである。しかし、背
面ガラス基板は前面ガラス基板と同様の６００℃の焼成
を経た後、５５０℃、５００℃の２度の低い温度での焼
成を行っているため、熱収縮により前面ガラス基板より
相対的にパターンが小さくなっており図３のように見え
る。
ストを塗布し、さらに周囲にシール用のフリットガラス
を塗布し、５００℃で焼成することにより蛍光体層８を
形成して、背面パネルを得る。各々の構造物を形成した
前面ガラス基板および背面ガラス基板を構造物を互いに
内側にして重ね合わせ、両基板に形成した位置合わせマ
ークを用いて位置合わせする。この時、両基板に現れた
収縮量・伸長量が同等であれば、位置合わせマークは図
２に示すように重なって見えるはずである。しかし、背
面ガラス基板は前面ガラス基板と同様の６００℃の焼成
を経た後、５５０℃、５００℃の２度の低い温度での焼
成を行っているため、熱収縮により前面ガラス基板より
相対的にパターンが小さくなっており図３のように見え
る。
【００１６】位置合わせはそれぞれの位置合わせマーク
が示す中心点Ｏを指すパターンが一致するようにして行
う。各々の基板に形成された位置合わせマークは熱収縮
による変形が発生しても、ともにそれぞれの基板の中心
点Ｏを指すパターンは維持される。従って、基板の位置
合わせマークの示す方向を一致させることにより、基板
の中心点を通る２本の直線を一致させることが可能にな
り、２枚の基板を基板の中心を一致させて一義的に位置
合わせを行うことが可能になる。プラズマディスプレイ
パネルを形成するには、重ね合わせ位置合わせを行った
２枚の基板を金属製のクリップ等で固定し、４３０℃で
焼成することにより封着し、内部を排気した後放電ガス
を封入する。
が示す中心点Ｏを指すパターンが一致するようにして行
う。各々の基板に形成された位置合わせマークは熱収縮
による変形が発生しても、ともにそれぞれの基板の中心
点Ｏを指すパターンは維持される。従って、基板の位置
合わせマークの示す方向を一致させることにより、基板
の中心点を通る２本の直線を一致させることが可能にな
り、２枚の基板を基板の中心を一致させて一義的に位置
合わせを行うことが可能になる。プラズマディスプレイ
パネルを形成するには、重ね合わせ位置合わせを行った
２枚の基板を金属製のクリップ等で固定し、４３０℃で
焼成することにより封着し、内部を排気した後放電ガス
を封入する。
【００１７】［第２の実施例］図４は、本発明の第２の
実施例による位置合わせ方法を説明するための、位置合
わせマークを形成した２枚の基板の平面図である。図１
（ａ）は前面ガラス基板を、図１（ｂ）は背面ガラス基
板を示している。それぞれの基板上には１点を示す位置
決めマークとその点を指し示すパターンの位置決めマー
クとが形成される。すなわち、前面ガラス基板上には、
１点を表示する十字マークとその十字マークの中心点を
指すパターンの線分マークとからなる位置決めマーク１
３が形成される。また、背面ガラス基板上には、前面ガ
ラス基板の十字型マークに対応した四角形４個からなる
田型マークと、この田型の中央を通る直線上にあってそ
の中心を指す等号記号パターンとからなる位置決めパタ
ーン１４が形成される。
実施例による位置合わせ方法を説明するための、位置合
わせマークを形成した２枚の基板の平面図である。図１
（ａ）は前面ガラス基板を、図１（ｂ）は背面ガラス基
板を示している。それぞれの基板上には１点を示す位置
決めマークとその点を指し示すパターンの位置決めマー
クとが形成される。すなわち、前面ガラス基板上には、
１点を表示する十字マークとその十字マークの中心点を
指すパターンの線分マークとからなる位置決めマーク１
３が形成される。また、背面ガラス基板上には、前面ガ
ラス基板の十字型マークに対応した四角形４個からなる
田型マークと、この田型の中央を通る直線上にあってそ
の中心を指す等号記号パターンとからなる位置決めパタ
ーン１４が形成される。
【００１８】第１の実施例の場合と同様に、各基板上に
構造物と位置合わせマークを形成した後、重ねあわせ
る。この時、前面ガラス基板の十字型マークと背面ガラ
ス基板の田型マークはそれぞれのマークの中央が重なる
ように、また、等号記号の中心線に線分パターンが重な
るように位置合わせを行う。位置合わせを行った状態の
位置合わせマークの状態を図５に示す。これにより、十
字マークを形成した位置を一致させてかつ一義的に位置
合わせを行うことができる。
構造物と位置合わせマークを形成した後、重ねあわせ
る。この時、前面ガラス基板の十字型マークと背面ガラ
ス基板の田型マークはそれぞれのマークの中央が重なる
ように、また、等号記号の中心線に線分パターンが重な
るように位置合わせを行う。位置合わせを行った状態の
位置合わせマークの状態を図５に示す。これにより、十
字マークを形成した位置を一致させてかつ一義的に位置
合わせを行うことができる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による基板
の位置決め方法は、基板上の１点とこの点を通る直線と
を定めて、その点が一致するように２枚の基板の位置合
わせを行うものであるので、基板の熱履歴の違いから２
枚の基板に収縮・伸長に違いがあっても、両基板の位置
決めを上記１点において一義的に行うことができる。ま
た、基板上の１点を基板の中心点に定める場合には、位
置ずれ量を基板面内において均等化することができる。
したがって、本発明によれば、基板の収縮・伸長量に差
がある場合であっても正確な位置合わせが可能になる。
の位置決め方法は、基板上の１点とこの点を通る直線と
を定めて、その点が一致するように２枚の基板の位置合
わせを行うものであるので、基板の熱履歴の違いから２
枚の基板に収縮・伸長に違いがあっても、両基板の位置
決めを上記１点において一義的に行うことができる。ま
た、基板上の１点を基板の中心点に定める場合には、位
置ずれ量を基板面内において均等化することができる。
したがって、本発明によれば、基板の収縮・伸長量に差
がある場合であっても正確な位置合わせが可能になる。
【図１】 本発明の第１の実施例を説明するための、位
置合わせマークを付した基板の平面図。
置合わせマークを付した基板の平面図。
【図２】 両基板に収縮・伸長がない場合、若しくは、
収縮・伸長が等しい場合の、第１の実施例での位置合わ
せ状態を示す平面図。
収縮・伸長が等しい場合の、第１の実施例での位置合わ
せ状態を示す平面図。
【図３】 両基板の収縮・伸長に差がある場合の、第１
の実施例での位置合わせ状態を示す平面図。
の実施例での位置合わせ状態を示す平面図。
【図４】 本発明の第２の実施例を説明するための、位
置合わせマークを付した基板の平面図。
置合わせマークを付した基板の平面図。
【図５】 第２の実施例による位置合わせ状態を示す平
面図。
面図。
【図６】 プラズマディスプレイの構造を模式的に示す
断面図。
断面図。
【図７】 従来の位置合わせマークの形成位置を示す平
面図。
面図。
【図８】 従来の位置合わせマーク。
【図９】 熱収縮により相対的に基板のサイズが違う場
合に従来の位置合わせマークにより位置合わせを行った
場合の状態を示す平面図。
合に従来の位置合わせマークにより位置合わせを行った
場合の状態を示す平面図。
１ａ 前面ガラス基板 １ｂ 背面ガラス基板 ２ａ、２ｂ 透明電極 ３ データ電極 ４ 隔壁 ５ 放電空間 ６ａ、６ｂ 誘電体層 ７ 保護層 ８ 蛍光体層 １１ 前面ガラス基板用位置合わせマーク １２ 背面ガラス基板用位置合わせマーク １３ 前面ガラス基板用位置合わせマーク １４ 背面ガラス基板用位置合わせマーク ２１ 位置合わせマーク
Claims (5)
- 【請求項１】 所定の加工を施した２枚の基板を、各々
の基板に形成した複数の位置合わせマークにより位置合
わせを行って貼り合わせる際の位置合わせ方法であっ
て、各基板上の前記位置合わせマークのそれぞれは、基
板上の１点を通る少なくとも２本の直線の何れかの上に
あり、かつ、前記基板上の１点を指す形状を有している
ことを特徴とする基板の位置合わせ方法。 - 【請求項２】 所定の加工を施した２枚の基板を、各々
の基板に形成した複数の位置合わせマークにより位置合
わせを行って貼り合わせる際の位置合わせ方法であっ
て、各基板上の前記位置合わせマークのそれぞれは、基
板上の１点を示すものと、その１点を通る少なくとも１
本の直線の上にあり、かつ、前記基板上の１点を指す形
状を有しているものであることを特徴とする基板の位置
合わせ方法。 - 【請求項３】 前記基板上の１点が基板の中心点である
ことを特徴とする請求項１記載の基板の位置合わせ方
法。 - 【請求項４】 一方の基板上の前記基板上の１点を指す
位置合わせマークと、これに合わせられる他方の基板上
の位置合わせマークとは互いに嵌合できる形状をなして
いることを特徴とする請求項１または２記載の基板の位
置合わせ方法。 - 【請求項５】 前記嵌合できる形状が、一方が線分パタ
ーンで他方が等号記号（＝）の形状をなしていることを
特徴とする請求項４記載の基板の位置合わせ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16220497A JPH1115395A (ja) | 1997-06-19 | 1997-06-19 | 基板の位置合わせ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16220497A JPH1115395A (ja) | 1997-06-19 | 1997-06-19 | 基板の位置合わせ方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1115395A true JPH1115395A (ja) | 1999-01-22 |
Family
ID=15749960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16220497A Pending JPH1115395A (ja) | 1997-06-19 | 1997-06-19 | 基板の位置合わせ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1115395A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1333420C (zh) * | 2003-12-25 | 2007-08-22 | 友达光电股份有限公司 | 对位图案及包括该对位图案的平面显示面板 |
| JP2008180880A (ja) * | 2007-01-24 | 2008-08-07 | Hitachi Displays Ltd | 表示装置の製造方法 |
| JP2020027304A (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-20 | 三星ディスプレイ株式會社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | 表示装置及びその製造方法 |
-
1997
- 1997-06-19 JP JP16220497A patent/JPH1115395A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1333420C (zh) * | 2003-12-25 | 2007-08-22 | 友达光电股份有限公司 | 对位图案及包括该对位图案的平面显示面板 |
| JP2008180880A (ja) * | 2007-01-24 | 2008-08-07 | Hitachi Displays Ltd | 表示装置の製造方法 |
| JP2020027304A (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-20 | 三星ディスプレイ株式會社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | 表示装置及びその製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH11149874A (ja) | プラズマディスプレイパネル | |
| JP3875442B2 (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法及びプラズマディスプレイパネルの位置合わせ構造 | |
| JPH1115395A (ja) | 基板の位置合わせ方法 | |
| KR100889421B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법 | |
| JPH10283940A (ja) | プラズマディスプレイパネル | |
| JP3249576B2 (ja) | 面放電型プラズマディスプレイパネル | |
| KR100329565B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널과 이의 제조방법 | |
| JP4752462B2 (ja) | 表示パネルの製造方法 | |
| KR100741400B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널 | |
| KR20030029697A (ko) | 얼라인마크 및 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널 | |
| KR20010014721A (ko) | 평면형 표시 장치와 그 제조 방법 | |
| US6737806B2 (en) | Plasma display panel including transparent electrode layer | |
| US7220653B2 (en) | Plasma display panel and manufacturing method thereof | |
| JP2670929B2 (ja) | カラープラズマディスプレイパネル | |
| JP4070534B2 (ja) | プラズマディスプレイパネル | |
| US7091663B2 (en) | Display panel, method of manufacturing the display panel, and partition wall used in the display panel | |
| JP2000243303A (ja) | 放電型表示装置の背面側基板の構造 | |
| US20090167175A1 (en) | Plasma display panel | |
| JPH10172441A (ja) | プラズマデイスプレイパネル及びその製造方法 | |
| JPH05290721A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
| JP2003288842A (ja) | プラズマディスプレイ装置の製造方法 | |
| JP2004281284A (ja) | 平板型表示装置 | |
| JPH05159707A (ja) | カラープラズマディスプレイパネル | |
| JP2000299061A (ja) | 平面型表示装置とその製造方法 | |
| KR20030073681A (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널 |