KR100197131B1 - 플라즈마 디스플레이 패널 및 그의 제조방법 - Google Patents

플라즈마 디스플레이 패널 및 그의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 투명전극을 격벽과 양극으로 분리한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 개시한다. 이 방법은 투명 기판위에 투명세로전극 패턴을 형성하는 단계; 투명세로전극 패턴의 내부를 소정 깊이까지 식각하는 단계; 투명세로전극의 식각된 부분에 적, 녹, 청의 형광체를 형성하는 단계; 희생층을 전면에 소정 두께로 도포하는 단계; 도포된 희생층의 가장자리 소정 부분을 식각하는 단계; 전면에 전극물질을 소정 두께로 증착하는 단계; 증착된 전극물질이 상기 투명전극 패턴과 수직하도록 전극패턴을 형성하는 단계; 희생층을 제거하는 단계를 포함한다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널 및 그의 제조방법
제1도는 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 개략적인 단면도.
제2도는 (a)부터 (d)는 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 설명하기 위한 공정 흐름도.
제3도는 제2도의 방법에 따라 형성된 플라즈마 디스플레이 패널의 평면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 투명 기판 11 : 투명전극(양극)
11a : 투명세로전극 12 : 제1감광막 마스크 패턴
13 : 제2감광막 마스크 패턴 14a : 적색 형광체
14b : 녹색 형광체 14c : 청색 형광체
15 : 가로전극(음극)
[발명의 목적]
[발명이 속하는 기술분야]
본 발명은 플라즈마 디스플렝 패널에 관한 것으로서, 특히 디스플레이시 광확산에 의한 화소상호간의 빛의 간섭을 방지하기 위하여 방전 셀간을 고립시키는 플라즈마 디스플레이 패널 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
[종래 기술]
기체 방전을 이용하여 화상을 표시하도록 된 플라즈마 디스플레이 패널은 제1도에 도시한 바와 같이, 상호 소정 간격을 유지하는 전면기판(1)과 후면기판(2)의 각 내면에 스트라이프 상의 양극(3)과 음극(5)이 서로 직교되게 배열 형성되며, 상기 양극(3)들의 사이에는 화소간의 크로스토크(Crosstalk)를 방지하는 격벽(Barrier Rib)(4)이 마련된다.
이와 같은 구조의 플라즈마 디스플레이 패널의 해상도는 전면기판(1)과 후면기판(2) 사이의 내부 구조나, 이에 충전되는 가스의 종류, 음극의 형상 및 재질, 전면판에 접촉되는 격벽면의 편평도 등에 의해 그 특성이 결정된다.
특히, 화상의 디스플레이시 격벽에 의해 구분되는 방전셀간의 광확산에 의한 컬러의 번짐을 방지하는 격벽 형성에 있어서 격벽면의 편평함이 요구된다.
이러한 격벽을 형성시키기 위한 방법으로는 스크린 인쇄법(전사방법)과 현재 개발중인 샌드 블래스팅(Sand Blasting) 방법이 있다.
스크린 인쇄법은 기판위에 마스크를 대고, 점액상태의 격벽 물질을 도포한 다음 소성하여 격벽을 형성한다. 이 때, 격벽 높이를 조절하기 위하여 여러 번 인소하기도 한다. 그러나, 스크린 인쇄법으로는 마스크를 구성하는 그물망의 휘어지는 성질로 인해 대면적과 높은 정밀도의 격벽은 형성이 어렵다는 문제점을 가진다.
전사방법은 격벽을 형성하기 위한 마스크 패턴을 형성한 상태에서 그 패턴 부분에 격벽용 물질을 계속하여 전사하므로써, 격벽을 형성하는 방법으로서, 이 방법은 해상도의 한계로 인하여 에스브이쥐에이(SVGA)급 고선명티브이(HD TV : High Definition Television)의 응용에 적용하기는 불가능한 문제점이 있다.
샌드 블라스터(Sand Blaster) 방식은 기판 위에 균일하게 격벽물질을 도포한 다음, 샌드 블라스터로 격벽이 될 부분을 제외한 부분을 깍아내는 방법이다. 이 방법은 격벽이 아닌 부분의 제거시, 격벽 부분이 같이 깍여지지 않도록 노광법으로 패턴을 형성한 감광막의 보호층을 미리 입혀야 한다. 그러나, 이 방법은, 모래같은 단단하고 작은 알갱이들을 강하게 충돌시켜 필요없는 부분을 깍아낼 때, 보호층을 통하여 격벽면이 기계적인 대미지를 받게 되어 균일한 격벽을 형성하는데 어려움을 가진다. 따라서, 이 방법은 전극이나 보호층 등은 손상받지 않고, 격벽은 쉽게 깍일 수 있도록, 전극물질과 감광막 물질을 개발해야 하는 문제점을 가진다.
[발명이 이루고자 하는 기술적 과제]
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 휘어짐을 방지하는 동시에, 조밀하고 균일한 격벽을 형성할 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널 및 그의 제조방법을 제공하는 데 있다.
[발명의 구성 및 작용]
본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은, 투명 기판 위에 투명세로전극 패턴을 형성하는단계; 투명세로전극 패턴의 내부를 소정 깊이까지 식각하는 단계; 투명세로전극의 식각된 부분에 적, 녹, 청의 형광체를 형성하는 단계; 희생층을 전면에 소정 두께로 도포하는 단계; 도포된 희생층의 가장자리 소정 부분을 식각하는 단계; 전면에 전극물질을 소정 두께로 증착하는 단계; 증착된 전극물질이 투명전극 패턴과 수직하도록 전극패턴을 형성하는 단계; 희생층을 제거하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따르는, 플라즈마 디스플레이 패널은 투명기판과, 상기 투명기판에 형성되어, 내부 소정 부분에 공간을 가지며, 셀과 셀을 분리시키는 격벽 및 세로전극으로 기능하는 투명전극과, 상기 투명전극의 내부에 위치하는 형광체와, 상기 투명세로전극과 직교하며, 소정 간격을 두고 배열된 가로전극을 포함한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
제2도는 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 흐름도이다.
제2도의 (a)에 나타낸 것처럼, 플라즈마 디스플레이 패널을 형성하기 위하여 준비된 상하 투명 유리 기판(10) 중의 하나에 인듐 주석 산화물(Indium Tin Oxide : ITO)의 투명전극(11)과 감광막(PMMA)을 소정 두께로 도포한다. 이후, 사진식각공정을 통하여 상기 제1감광막의 소정 부분을 노광, 현상하여 제1감광막 마스크 패턴(12)을 형성한다. 노출된 투명전극(11)의 부분을 건식 이방성 식각법을 이용하여 유리기판(10)의 표면이 드러날 때까지 식각해낸다.
그런 다음, 제1감광막 마스크 패턴(12)을 벗겨내고, 전면에 제2감광막을 투명전극 패턴을 충분히 덮을 정도의 소정의 두께로 도포한다. 이후, 사진식각공정을 통하여 투명전극(11) 위의 소정 뿐에 덮인 감과막을 제거한다. 노출된 투명전극을 플라즈마를 이용한 건식 이방성 식각법으로 소정 깊이까지 식각해 낸다. 상기 식각 후의 단면구조를 (b)에 도시하였다.
이 후, (c)와 같이, 제2감광막 마스크 패턴(13)을 제거함으로써, 투명전극(11) 자체에 요홈이 형성된다. 여기서 형성된 투명세로전극(11a)은 격벽의 역할을 겸한다.
이 후, 상기와 같이 형성된 투명세로전극(11a)을 사용하여 칼라 플라즈마 디스플레이의 화소를 형성하기 위한 공정을 진행한다. 즉, 투명세로전극(11a)을 포함한 전면에 적색의 형광체를 도포한 후, 상기에서 설명한 것과 같은 사진식각공정을 통하여 투명세로전극(11a)위의 예정 영역에 적색의 형광체(14a)를 형성한다. 동일한 방법으로, 예정된 영역에 녹색과, 청색의 형광체(14b,14c)를 순차적으로 형성한다.
이 후, 투명세로전극(11a)과 가로전극(15) 사이의 공간을 형성하기 위한 폴리이미드(Polymide)의 희생층(미도시)을 전면에 도포하고, 제2도의 (d)에 표시한 a부분을 사진식각공정을 통하여 식각해 낸다. 여기에서 a부분은 후속공정에서 형성될 가로전극(음극; 투명세로전극과 직교하는)과 투명 기판(10)과의 접촉이 이루어지는 곳이다. 그런 다음, 알루미늄과 같은 전극물질을 증착하고, 통상의 사진식각공정을 통하여 이미 형성된 투명세로전극(11a)과 직교하는 가로 전극(15)을 (d)와 같이 형성한다. 이 후, 희생층을 습식식각공정을 통하여 식각해낸다.
이상과 같이 제조된 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널은 투명전극의 소정 부분의 식각을 통하여 투명전극의 내부에 형광체가 위치하고, 상기 형광체는 투명세로전극에 의해 분리가 이루어지며 상기 투명전극과 직교방향으로 소정 간격을 두고 형성된 가로전극을 포함하는 구조를 가진다.
상기 투명전극은 격벽으로서의 기능을 수행하며, 기존의 스크린 인쇄법에 비하여 격벽이 휘어지지 않고, 또한 샌드블라스터 법에 비하여 손상을 최소화할 수 있다.
[발명의 효과]
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 양극으로 예정된 투명전극을 사진식각공정을 통하여 양극의 두 부분으로 형성하므로써, 격벽면의 불균일에 의한 방전셀간의 크로스토크를 없앨 수 있으며, 아울러 셀 피치 사이즈를 줄일 수 있게 되므로 표시화면의 해상도를 향상시켜 제품을 고급화시키는 효과를 제공한다.
여기에서는 본 발명의 특정 실시예에 대해서 설명하고 도시하였지만, 당업자에 의하여 이에 대한 수정과 변형을 할 수 있다. 따라서, 이하, 특허청구의 범위는 본 발명의 진정한 사상과 범위에 속하는 한 모든 수정과 변형을 포함하는 것으로 이해할 수 있다.

Claims (7)

  1. 투명 기판위에 투명세로전극 패턴을 형성하는 단계; 상기 투명세로전극 패턴의 내부를 소정 깊이까지 식각하는 단계; 상기 투명세로전극의 식각된 부분에 적, 녹, 청의 형광체를 형성하는 단계; 희생층을 전면에 소정 두께로 도포하는 단계; 도포된 희생층의 가장자리 소정 부분을 식각하는 단계; 전면에 전극물질을 소정 두께로 증착하는 단계; 증착된 전극물질이 상기 투명전극 패턴과 수직하도록 전극패턴을 형성하는 단계; 희생층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 투명전극패턴의 형성은 투명전극층과 감광막을 순차적으로 형성하고, 사진식각 공정을 통하여 제1감광막 패턴을 형성하는 단계; 건식식각법으로 노출된 투명전극층을 제거하는 단계; 그리고 제1감광막 패턴을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 투명기판의 식각은 플라즈마를 이용한 건식식각법인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 희생층은 폴리이미드인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 투명전극은 인듐주석산화물인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
  6. 투명기판과, 상기 투명기판에 형성되어, 내부 소정 부분에 공간을 가지며, 셀과 셀을 분리시키는 격벽 및 세로전극으로 기능하는 투명세로전극과, 상기 투명세로전극의 내부에 위치하는 형광체와, 상기 투명세로전극과 직교하며, 소정 간격을 두고 배열된 가로전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이.
  7. 제6항에 있어서, 상기 투명전극은 서로 일정한 간격을 두고 분리된 구조인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
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