KR19990054296A

KR19990054296A - 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법

Info

Publication number: KR19990054296A
Application number: KR1019970074101A
Authority: KR
Inventors: 조용우
Original assignee: 김영환; 현대전자산업 주식회사
Priority date: 1997-12-26
Filing date: 1997-12-26
Publication date: 1999-07-15

Abstract

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법을 개시한다. 개시된 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법은 독립적인 방전공간을 한정함과 아울러 인접된 방전셀들간의 크로스토크를 방지하는 격벽들을 형성하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법으로서, (a) 서로 평행한 다수개의 어드레스전극들이 상부에 형성되고, 상기 어드레스전극을 덮도록 전면에 유전체층이 도포된 유리기판 상에 격벽 물질을 도포하는 단계; (b) 상기 격벽 물질 상에 감광막 패턴을 형성하는 단계; (c) 상기 감광막 패턴을 식각 마스크로 하여 노출된 격벽 물질의 소정 깊이를 1차로 습식 식각하는 단계; (d) 상기 1차 식각된 격벽 물질 부분을 샌드 블라스트법을 이용하여 소정 깊이를 2차로 식각하는 단계; (e) 상기 (c) 및 (d) 단계를 제 1 유전체층이 노출될 때까지 원하는 수 만큼 반복적으로 실시하는 단계; (f) 상기 감광막 패턴을 제거하는 단계; 및 (g) 상기 형성된 격벽을 소성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 습식 식각 및 샌드 블라스트법(Sand Blast)을 이용하여 격벽을 형성하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법에 관한 것이다.

평판 디스플레이 장치의 하나인 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : 이하, PDP)은 독립적으로 방전시킬 수 있는 방전셀의 배열로 구성되며, 외부로부터 인가된 전기적신호에 따라 각 방전셀들을 독립적으로 방전시켜 소정의 영상을 재현한다. 이러한, PDP는 그의 전체적인 두께를 1cm 이하로 제작할 수 있기 때문에 전자총을 사용하는 브라운관 디스플레이 장치에 비해 그 두께 및 무게를 현저하게 감소시킬 수 있고, 액정표시소자에 비해 동화상 처리가 용이하며, 대화면 디스플레이 장치의 제작이 용이한 장점을 가지고 있다.

도 1 은 종래의 교류형 PDP를 도시한 도면으로, 독립적인 공정을 통해 각각 제작된 한 쌍의 유리기판, 즉, 배면 및 전면기판(1, 6)이 봉착된 구조로 되어 있다. 여기서, 배면기판(1) 상에는 데이터가 전송되는 다수개의 어드레스전극들(2)이 형성되며, 상기 어드레스전극들(2)을 포함한 배면기판(1) 전면에는 제 1 유전체층(3)이 도포된다. 또한, 어드레스전극들(2) 사이의 제 1 유전체층(3) 상에는 상기 어드레스전극들(2)과 평행하게 독립적인 방전공간을 한정함과 아울러 인접된 방전셀들간의 크로스토크(Crosstalk)를 억제시키는 격벽들(Barrier Rib : 4)이 형성되며, 격벽면 및 제 1 유전체(3) 상에는 레드(Red), 블루(Blue) 및 그린(Green)의 색을 발광하는 형광체(5)가 반복적으로 도포된다.

전면기판(6) 상에는 투명전극(7a)과 버스전극(7b)으로 이루어진 방전유지전극들(7)이 형성되며, 방전유지전극들(7)을 포함한 전면기판(6) 전면에는 제 2 유전체층(8) 및 보호층(9)이 적층된다.

또한, 도시된 바와 같이, 격벽(4)에 의해 한정된 방전셀내에는 아르곤(Ar), 네온(Ne) 또는 크세논(Xe)과 같은 방전가스(10)가 봉입된다.

한편, PDP는 격벽면에 도포되는 형광체의 양에 따라 그의 발광효율이 달라지게 되는데, 형광체의 도포량이 많을수록 발광 효율이 증대된다. 따라서, 발광 효율을 높이기 위한 하나의 방법으로, 종래에는 격벽의 형성시에 그의 양측면이 단차를 갖도록 제작하는 방법이 실시되고 있다.

그러나, 상기와 같은 PDP에서, 격벽은 통상 인쇄법을 이용하여 형성하게 되는데, 이 경우, 10회 정도의 인쇄 공정을 반복적으로 실시해야 하기 때문에 반복적인 인쇄 공정시에 정렬이 어렵다는 문제점을 있었다.

또한, PDP의 발광효율을 향상시키기 위하여 격벽의 형성시에 그의 양측면이 단차를 갖도록 형성하고 있지만, 이 경우, 정렬이 어렵다는 문제점과 아울러 격벽 물질이 흐름성을 갖는 것으로 인하여, 제작된 격벽의 경우에 좌·우 대칭이 이루어지지 않게 되며, 이에 따라, 인접된 방전셀들간의 발광효율이 상이하게 되어, 결국 원하는 발광효율을 얻을 수 없는 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 계단형의 격벽을 형성하되, 양측면이 대칭적인 격벽을 형성할 수 있는 PDP의 격벽 형성방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1 은 종래의 교류형 플라즈마 디스플레이 패널을 설명하기 위한 단도면.

도 2a 내지 도 2f 는 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법을 설명하기 위한 일련의 공정 단면도.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

11 : 투명기판 12 : 어드레스전극

13 : 제 1 유전체층 14 : 격벽물질

15 : 격벽 16 : 감광막 패턴

상기와 같은 목적은, 독립적인 방전공간을 한정함과 아울러 인접된 방전셀들간의 크로스토크를 방지하는 격벽들을 형성하는 PDP의 격벽 형성방법으로서, (a) 서로 평행한 다수개의 어드레스전극들이 상부에 형성되고, 상기 어드레스전극을 덮도록 전면에 유전체층이 도포된 유리기판 상에 격벽 물질을 도포하는 단계; (b) 상기 격벽 물질 상에 감광막 패턴을 형성하는 단계; (c) 상기 감광막 패턴을 식각 마스크로 하여 노출된 격벽 물질의 소정 깊이를 1차로 습식 식각하는 단계; (d) 상기 1차 식각된 격벽 물질 부분을 샌드 블라스트법을 이용하여 소정 깊이를 2차로 식각하는 단계; (e) 상기 (c) 및 (d) 단계를 제 1 유전체층이 노출될 때까지 원하는 수 만큼 반복적으로 실시하는 단계; (f) 상기 감광막 패턴을 제거하는 단계; 및 (g) 상기 형성된 격벽을 소성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 본 발명에 따른 PDP의 격벽 형성방법에 의하여 달성된다.

본 발명에 따르면, 습식 식각 공정과 샌드 블라스트법을 이용한 식각 공정을 번갈아 반복적으로 실시함으로써, 좌·우 대칭인 계단형 격벽을 형성할 수 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.

도 2a 내지 도 2f 는 본 발명의 실시예에 따른 PDP의 격벽 형성방법을 설명하기 위한 일련의 공정 단면도로서, 이를 설명하면 다음과 같다.

도 2a 를 참조하면, 어드레스전극들(12)이 상부에 형성되고, 상기 어드레스전극들(12)을 포함한 전면에는 제 1 유전체층(13)이 도포된 배면기판(11) 상에 소정 두께로 격벽 물질(14)을 도포한 후, 격벽 예정 영역 상의 상기 격벽 물질(14) 상에 통상의 방법으로 감광막 패턴들(16)을 형성한다. 이때, 격벽 물질(14)은 소성시에 그의 수축률을 고려하여 도포한다.

도 2b 를 참조하면, 감광막 패턴(16)을 식각 마스크로 하는 습식 식각 공정을 통해 노출된 격벽 물질의 소정 깊이를 1차로 식각한다. 이때, 습식 식각 공정은 식각 대상물과 식각액의 접합 부분에서 일정한 비율로 식각 대상물이 제거되는 특성이 있기 때문에 노출된 격벽 물질(14)의 소정 깊이가 식각됨과 동시에 감광막 패턴(16)의 하부에 위치된 격벽 물질 부분의 소정 폭도 함께 식각된다.

도 2c 를 참조하면, 1차 식각된 격벽 물질(14)을 샌드 블라스트법을 이용하여 2차로 소정 깊이 식각한다. 샌드 블라스트법을 이용한 식각 공정은 노출된 식각 대상물만을 제거하는 특성이 있기 때문에 수직 방향으로만 격벽 물질 식각될 뿐, 측면으로는 식각이 일어나지 않는다.

도 2d 를 참조하면, 2차 식각된 격벽 물질(14)의 소정 깊이를 습식 식각 공정을 실시하여 재차 식각한다. 이때, 1, 2차 식각된 격벽 물질(14)은 깊이 방향뿐 아니라 측면 방향으로도 일정 폭이 식각된다.

도 2e 를 참조하면, 샌드 블라스트법으로 노출된 격벽 물질의 소정 깊이를 식각한다. 마찬가지로, 깊이 방향으로는 식각이 일어나지만, 측면 방향으로는 식각이 일어나지 않는다.

도 2f 를 참조하면, 습식 식각 및 샌드 블라스트법을 이용한 식각 공정을 제 1 유전체층(13)이 노출될 때까지 원하는 수 만큼 반복적으로 실시하여 원하는 형태의 계단형 격벽(15)을 형성한 후, 감광막 패턴(16)을 제거한다. 그리고 나서, 통상의 후속 공정을 실시하여 배면기판을 제작한다.

상기에서, 격벽은 그의 양측면이 계단 형태로 형성되며, 양측면은 좌·우 대칭적으로 형성된다. 이에 따라, 인접셀들간의 발광효율을 동일하게 할 수 있기 때문에 원하는 발광효율을 얻을 수 있게 된다.

이상에서와 같이, 본 발명에 따른 PDP의 격벽 형성방법은 습식 식각 및 샌드 블라스트법을 이용하여 좌·우 대칭인 계단 형태의 격벽을 형성함으로써, 원하는 발광효율을 얻을 수 있으며, 또한, 식각 공정을 이용하여 격벽을 형성함으로써, 인쇄법을 이용한 격벽 형성방법에서의 오정렬로 인한 PDP의 제조수율 저하를 방지할 수 있다.

한편, 여기에서는 본 발명의 특정 실시예에 대하여 설명하고 도시하였지만, 당업자에 의하여 이에 대한 수정과 변형을 할 수 있다. 따라서, 이하, 특허청구의 범위는 본 발명의 진정한 사상과 범위에 속하는 한 모든 수정과 변형을 포함하는 것으로 이해할 수 있다.

Claims

독립적인 방전공간을 한정함과 아울러 인접된 방전셀들간의 크로스토크를 방지하는 격벽들을 형성하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법으로서,

(a) 서로 평행한 다수개의 어드레스전극들이 상부에 형성되고, 상기 어드레스전극을 덮도록 전면에 유전체층이 도포된 유리기판 상에 격벽 물질을 도포하는 단계;

(b) 상기 격벽 물질 상에 감광막 패턴을 형성하는 단계;

(c) 상기 감광막 패턴을 식각 마스크로 하여 노출된 격벽 물질의 소정 깊이를 1차로 습식 식각하는 단계;

(d) 상기 1차 식각된 격벽 물질 부분을 샌드 블라스트법을 이용하여 소정 깊이를 2차로 식각하는 단계;

(e) 상기 (c) 및 (d) 단계를 제 1 유전체층이 노출될 때까지 원하는 수 만큼 반복적으로 실시하는 단계;

(f) 상기 감광막 패턴을 제거하는 단계; 및

(g) 상기 형성된 격벽을 소성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법.
제 1 항에 있어서, 상기 1차 식각은 샌드 블라스트법으로 실시하고, 2차 식각은 습식 식각을 실시하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성 방법.