KR100692087B1 - 플라즈마 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 패널 및그의 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 플라즈마 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 패널 및 그의 제조방법에 관한 것이다.

이러한 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 장치 및 패널은 서로 다른 높이를 갖는 로우(row) 격벽과 컬럼(column) 격벽이 방전 셀을 구획하고, 로우 격벽과 컬럼 격벽 중 높이가 낮은 격벽의 상부에 홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 로우(row) 격벽과 컬럼(column) 격벽으로 구획된 방전 셀과 방전 셀에 도포된 형광체를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 있어서, 로우 격벽과 컬럼 격벽이 형성되는 과정은 (a) 글라스에 형성된 유전체 상부에 격벽용 페이스트를 도포하는 단계, (b) 격벽용 페이스트에 소정의 패턴을 갖는 포토 마스크를 놓고 로우 격벽 및 컬럼 격벽의 패턴을 형성하는 단계 및 (c) 로우 격벽 및 컬럼 격벽의 패턴을 에칭하여 홈이 형성된 로우 격벽과 로우 격벽과 높이가 다른 컬럼 격벽을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

따라서, 본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 구조를 개선하여 배기 특성을 향상시켜 이에 따라 방전효율을 향상시키고, 형광체 도포 시 이웃한 방전셀로 흘러 들어감을 방지함으로써 형광체 혼색 발생을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

플라즈마 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 패널 및 그의 제조방법{Plasma Display Apparatus, Plasma Display Panel and Manufacturing Method Thereof}

도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 도.

도 2 내지 도 4는 종래 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽구조를 나타낸 도.

도 5는 종래 플라즈마 디스플레이 패널의 형광체층을 디스펜싱 장치를 이용하여 형성되는 과정을 설명하기 위한 도.

도 6은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 구조를 나타낸 사시도.

도 7a 내지 도 7d는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법을 순차적으로 나타낸 도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

600: 후면 글라스 610a: 로우 격벽

610a': 로우 격벽 상부의 홈 610b: 컬럼 격벽

630b: 하부 유전체층

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 플라즈마 디스플레이 패널의 방전 셀을 구획하는 격벽을 개선하여 방전 효율 향상 및 형광체 도포 시 혼색 발생을 방지할 수 있는 플라즈마 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 패널 및 그의 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로, 플라즈마 디스플레이 패널은 전면 패널과 후면 패널 사이에 형성된 격벽이 하나의 단위 셀을 이루는 것으로, 각 셀 내에는 네온(Ne), 헬륨(He) 또는 네온과 헬륨의 혼합기체(Ne+He)와 같은 주 방전 기체와 소량의 크세논을 함유하는 불활성 가스가 충진되어 있다. 고주파 전압에 의해 방전이 될 때, 불활성 가스는 진공자외선(Vacuum Ultraviolet Rays)을 발생하고 격벽 사이에 형성된 형광체를 발광시켜 화상이 구현된다. 이와 같은 플라즈마 디스플레이 패널은 얇고 가벼운 구성이 가능하므로 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.

도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 플라즈마 디스플레이 패널은 화상이 디스플레이 되는 표시면인 전면 글라스(101)에 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103)이 쌍을 이뤄 형성된 복수의 유지전극쌍이 배열된 전면 패널(100) 및 배면을 이루는 후면 글라스(111) 상에 전술한 복수의 유지전극쌍과 교차되도록 복수의 어드레스 전극(113)이 배열된 후면 패널(110)이 일정거리를 사이에 두고 평행하게 결합된다.

전면 패널(100)은 하나의 방전셀에서 상호 방전시키고 셀의 발광을 유지하기 위한 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103), 즉 투명한 물질로 형성된 투명 전극(a)과 금속재질로 제작된 버스 전극(b)으로 구비된 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103)이 쌍을 이뤄 포함된다. 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103)은 방전 전류를 제한하며 전극 쌍 간을 절연시켜주는 상부 유전체층(104)에 의해 덮혀지고, 상부 유전체층(104) 상면에는 방전 조건을 용이하게 하기 위하여 산화마그네슘(MgO)을 증착한 보호층(105)이 형성된다.

후면 패널(110)은 후면 글라스(111) 상부에 전면 글라스(101) 상부에 평행하게 배열된 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103)과 교차하는 방향으로 어드레스 전극(113)이 배열되고, 어드레스 전극(113) 상부에는 하부 유전체층(115)이 형성된다. 또한, 하부 유전체층(115) 상부에는 방전 셀을 구획하는 격벽(112)이 형성되고, 방전셀 공간에는 형광체층(114)이 도포되어 방전 시 R(적색), G(녹색), B(청색) 중 어느 하나의 색을 갖는 가시광선을 발생하게 된다.

한편, 이러한 구조를 가지는 종래 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 후면 패널 위에 복수 개의 방전 공간 즉, 방전 셀을 형성시키기 위한 격벽(112)은 그 구조에 따라 스트라입(stripe)타입과 웰(well) 타입으로 나뉜다. 이러한 격벽(112) 구조는 휘도 특성, 배기 특성 및 형광체 도포면적등을 고려하여 다양하게 설계된다.

도 2 내지 도 4는 종래 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 구조를 도시한 것이다.

도 2는 후면 글라스(111)상의 하부 유전체층(115)상부에 형성된 격벽(112)이 일렬로 배열된 스트라입 타입의 구조로, 격벽(112)은 버스 전극과 투명 전극으로 이루어지는 스캔 전극(미도시) 및 서스테인 전극(미도시)과 수직으로 배열된다. 이러한 스트라입 타입의 격벽 구조는 버스 전극이 방전 공간상에 노출되어 후면 글라스(111)의 어드레스 전극(113)과의 상호작용이 원활하며 제조공정이 간단하다. 그러나 방전 시에 발생된 가시광이 그 격벽의 스트라이프 방향으로 누설되게 되는 단점이 있고, 형광체 인쇄 및 배기는 용이하지만 인접 셀에 영향을 주는 오방전과 형광체 도포 면적이 작아 발광효율이 높지 않은 단점이 있다.

반면, 도 3은 후면 글라스(111)상의 하부 유전체층(115) 상부에 형성된 격벽(112)이 격자형을 갖는 웰(well) 타입의 구조로, 도시된 바와 같이, 격벽(112)은 버스전극과 투명전극으로 이루어지는 스캔 전극(미도시) 및 서스테인 전극(미도시)로 수평 또는 수직으로 배열된다. 이러한 웰(Well)타입의 격벽구조는 각 방전 셀의 형광체 도포 면적이 커 휘도를 증가시킬 수 있고, 모든 방향에서의 크로스토크(cross-talk)를 방지할 수 있지만 제조공정이 까다롭고 플라즈마 디스플레이 패널 제조공정 중 배기공정에서 불순가스가 외부로 쉽게 배기되지 못하는 문제점을 가지고 있다.

이러한 웰(Well)타입 격벽 구조의 배기특성을 향상시키기 위하여 종래에는 도 4와 같이, 방전 셀을 구획하는 제 1격벽(112a)과 제 2격벽(112b) 간에 높이 차를 두어 배기특성을 향상시키고자 하였다. 그러나 이러한 격벽구조는 플라즈마 디스플레이 패널의 배기특성은 향상될지 모르지만 불안정한 방전을 야기시키는 문제 점이 있다.

한편, 전술한 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 사이에 도포되어 형성되는 형광체층은 마스크를 이용한 스크린 프린팅법(Screen Printing)이나 디스펜싱 장치를 이용한 디스펜싱법(Dispensing)을 통하여 형성된다.

스크린 프린팅법을 이용하여 플라즈마 디스플레이 패널의 형광체층 형성 방법에 대해 살펴보면, 먼저, 형광체 페이스트를 준비하고, 마스크를 사용하여 형광체 페이스트를 격벽 사이에 복수회 인쇄한다.

이에 따라 각 픽셀영역에 적색, 녹색, 청색 중 특정한 하나의 색상을 나타내는 형광체가 인쇄되며, 이를 수회 반복하여 적당한 두께와 균일성을 가지는 형광체 층을 형성한다. 즉, 적색을 나타내는 픽셀영역 모두에 대하여 동시에 적색 형광체 페이스트를 이용하여 인쇄를 수행한 후, 마스크를 바꿔 다시 녹색의 형광체 페이스트를 인쇄하고, 마지막으로 청색의 형광체 페이스트를 마스크를 바꾸고 인쇄한다.

이와 같은 인쇄공정 사이에는 80℃이상 150℃이하의 온도에서 건조시키는 과정을 포함하며, 전술한 과정을 통해 모든 형광체를 인쇄하면, 350℃이상 550℃이하의 온도로 소성함으로써 형광체층이 형성된다.

그러나 스크린 프린팅법을 이용하여 격벽사이의 형광체층을 형성하는 방법은 저가의 장비를 사용한다는 장점이 있지만, 형광체 페이스트에 의해 마스크가 막히는 현상이 발생할 수 있어 공정의 신뢰성이 저하된다. 또한, 인쇄되는 형광체층의 두께를 정확하게 조절하기가 용이하지 않으며, 마스크를 통해 페이스트를 인쇄하는 스퀴지의 마모에 의한 불량이 발생할 수 있어 제조비용이 증가할 수 있는 문제점이 있다.

이러한 스크린 프린팅법의 문제점으로 인하여 최근에는 직접 패터닝 방법의 하나인 디스펜싱 장치를 이용한 디스펜싱법을 통하여 형광체층을 형성하고 있다.

도 5는 종래 플라즈마 디스플레이 패널의 형광체층을 디스펜싱 장치를 이용하여 형성되는 과정을 설명하기 위한 도이다.

도시된 바와 같이, 디스펜싱 장치는 서버(510), 가압펌프(520), 헤더(530) 등을 구비하고, 서버(510)로부터 공급되는 형광체 슬러리(Slurry, 550)는 가압펌프(520)에 의해 헤더(530)에 가압되어 공급된다.

먼저, 헤더(530)에는 슬러리실(530a) 및 노즐(540)이 설치되어 있고, 가압되어 슬러리실(530a)에 공급된 형광체 슬러리(550)는 노즐(540)로부터 연속적으로 토출되도록 되어 있다.

또한 헤더(530)는 도시하지는 않았지만 헤더 주사 기구에 의해 직선적으로 구동되도록 구성되어 있고, 헤더(530)를 주사시키는 동시에 노즐(540)로부터는 형광체 슬러리(550)를 연속적으로 토출함으로써 후면 패널(110)상의 격벽(112)사이에 형광체 슬러리가 균일하게 도포된다. 이 후, 350℃이상 550℃이하의 온도로 소성하면 형광체층이 형성된다.

상술한 바와 같이, 디스펜싱 장치를 이용하여 형광체층을 형성하는 경우 형광체 슬러리가 격벽 사이에 균일하게 도포되지만 형광체 슬러리의 점도특성은 일반적으로 스크린 프린팅법으로 형광체층 형성 시 사용되는 형광체 페이스트의 점도보다 더 낮다. 이러한 형광체 슬러리의 점도특성은 방전셀 내에 형성된 형광체의 혼 색을 유발시키는 문제점을 가지고 있다. 즉, 점도가 낮은 형광체 슬러리를 격벽 사이에 디스펜싱할 때, 원하는 방전 셀에만 형광체 슬러리가 형성되어야 하지만 슬러리의 높은 퍼짐성으로 원치 않은 이웃 방전셀로 흘러 들어가 형광체 혼색을 유발시키게 된다.

특히, 이러한 형광체 혼색 발생은 디스펜싱 장치와 패널에 형성된 격벽과의 미스얼라인(Misalign)으로 인해 쉽게 발생된다.

또한, 형광체 혼색 발생은 형광체 슬러리 디스펜싱시 방전셀 구조에 따라 즉, 격벽의 구조가 로우(row) 격벽과 컬럼(column) 격벽으로 이루어진 클로즈드 타입(Closed Type)일 경우 쉽게 발생하게 되는데, 이는 형광체 슬러리 디스펜싱 시 클로즈드 타입의 격벽 중 로우(row) 격벽 상부를 타고 형광체 슬러리가 이웃하는 로우(row) 격벽 상부로 흘러들어 다른 방전셀에 원하지 않은 형광체가 형성되기 때문이다. 여기서, 로우 격벽이라 함은 동일 색의 형광체 예를 들어, R만의 형광체, G만의 형광체 혹은 B만의 형광체가 도포된 방전공간에서 하나의 단위 픽셀로 구획하기 위한 격벽이고, 컬럼 격벽이라 함은 R, G, B 형광체가 도포된 방전공간에서 R, G, B 형광체간의 각각을 분리하여 단위 픽셀로 구획하기 위한 격벽을 의미한다.

한편, 디스펜싱 장치를 이용하여 형광체층을 형성하는 경우, 형광체 슬러리의 점도를 높혀 혼색 발생을 방지할 수 있겠지만, 점도가 너무 높으면 디스펜싱 장치의 노즐에 막힘을 가져올 수 있으며 안정적인 분사를 하지 못하여 원하는 대로 형광체 슬러리를 도포하지 못하게 되는 문제점이 있다.

이러한 문제점을 해결하기 위해 본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽구조를 개선하여 배기 특성 및 방전 특성 뿐만 아니라 디스펜싱 장치와 격벽간의 미스얼라인 특성을 방지시킬 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널 및 그의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 장치 및 플라즈마 디스플레이 패널은 서로 다른 높이를 갖는 로우(row) 격벽과 컬럼(column) 격벽이 방전 셀을 구획하고, 로우 격벽과 컬럼 격벽 중 높이가 낮은 격벽의 상부에 홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.

홈은 높이가 낮은 격벽 상부의 중앙에 위치되는 것을 특징으로 한다.

높이가 낮은 격벽은 로우 격벽인 것을 특징으로 한다.

홈의 폭은 로우 격벽 상부의 폭에 대해 5%이상 90%이하인 것을 특징으로 한다.

홈의 폭은 10㎛이상 200㎛이하인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 로우(row) 격벽과 컬럼(column) 격벽으로 구획된 방전 셀과 방전 셀에 도포된 형광체를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 있어서, 로우 격벽과 컬럼 격벽이 형성되는 과정은 (a) 글라스에 형성된 유전체 상부에 격벽용 페이스트를 도포하는 단계, (b) 격벽용 페이스트에 소정의 패턴을 갖는 포토 마스크를 놓고 로우 격벽 및 컬럼 격벽의 패턴을 형성하는 단계 및 (c) 로우 격벽 및 컬럼 격벽의 패턴을 에칭 하여 홈이 형성된 로우 격벽과 상기 로우 격벽과 높이가 다른 컬럼 격벽을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

로우 격벽의 높이는 컬럼 격벽의 높이보다 낮은 것을 특징으로 한다.

포토 마스크는 로우 격벽을 형성하기 위한 로우 방향의 패턴 폭이 컬럼 격벽을 형성하기 위한 컬럼 방향의 패턴 폭보다 좁고, 로우 격벽을 형성하기 위한 로우 방향의 패턴의 일부는 다른 부분보다 패턴 폭이 더 좁은 것을 특징으로 한다.

로우 격벽을 형성하기 위한 로우 방향의 패턴의 중앙 부분이 다른 부분보다 패턴 폭이 더 좁은 것을 특징으로 한다.

형광체는 직접 패터닝 방법으로 형성되는 것을 특징으로 한다.

직접 패터닝 방법은 잉크젯법 또는 디스펜싱법 중 어느 하나인 것을 특징으로 한다.

이하에서는 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세히 설명한다.

도 6은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 구조를 나타낸 사시도이다. 도 6을 살펴보기 전에, 도면에 도시되어 있지 않지만 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은 종래와 마찬가지로 화상이 디스플레이 되는 표시면인 전면 패널과 후면을 이루는 후면 패널이 일정간격을 두고 합착되어 형성된다.

전면 패널은 전면 글라스 상부에 스캔 전극과 서스테인 전극이 쌍을 이뤄 형성된 유지 전극이 구비되고, 스캔 전극 및 서스테인 전극이 평행하게 배열된 전면 글라스 상부에는 상부 유전체층이 적층되어 방전전류를 제한한다. 또한, 상부 유전 체층에는 플라즈마 방전 시 발생되는 스퍼터링으로 상부 유전체층의 손상 방지와 아울러 2차 전자의 방출 효율을 높이기 위한 산화마그네슘(MgO)을 증착한 보호층이 형성된다.

후면 패널의 후면 글라스 상부에는 전면 글라스 상부에 평행하게 배열된 유지전극과 교차하는 방향으로 어드레스 전극이 구비되고, 어드레스 전극 상부에는 벽전하 축적을 위한 하부 유전체층이 형성된다. 또한, 하부 유전체층 상부에는 방전 셀을 구획하는 격벽이 형성되고, 방전셀 공간에는 형광층이 도포되어 방전 시 R(적색), G(녹색), B(청색) 중 어느 하나의 색을 갖는 가시광선을 발생하게 된다.

이러한 구조를 갖는 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널에 형성된 격벽은 도 6에서 보는 바와 같이, 후면 글라스 상의 하부 유전체층(630b) 상부에 로우 격벽(610a)과 컬럼 격벽(610b)에 둘러 쌓여 방전 셀을 구획하는 웰 타입(Well Type)으로 이루어지고, 로우 격벽(610a)과 컬럼 격벽(610b)은 서로 다른 높이를 갖는다. 여기서, 로우 격벽(610a)이라 함은 동일 색의 형광체 예를 들어, R만의 형광체, G만의 형광체 혹은 B만의 형광체가 도포된 방전공간에서 하나의 단위 픽셀로 구획하기 위한 격벽이고, 컬럼 격벽(610b)이라 함은 R, G, B 형광체가 도포된 방전공간에서 R, G, B 형광체간의 각각을 분리하여 단위 픽셀로 구획하기 위한 격벽을 말한다.

한편, 상술한 바와 같이 서로 다른 높이를 갖는 로우 격벽(610a)과 컬럼 격벽(610b) 중 낮은 높이를 갖는 격벽은 로우 격벽(610a)이다. 이는 로우 격벽(610a)과 컬럼 격벽(610b)으로 구획된 방전 셀에 형광체 도포 시 형광체 점도 특성으로 인하여 원하지 않은 이웃한 방전 셀로 형광체가 흘러들어 형광체 혼색을 방지하기 위하여 R, G, B 형광체가 도포된 방전공간에서 R, G, B 형광체간의 각각을 분리하는 컬럼 격벽(610b)의 높이가 로우 격벽(610a)보다 높은 높이의 구조를 갖도록 형성된다. 즉, 컬럼 격벽(610b)에 비해 로우 격벽(610a)의 높이가 낮게 형성된다. 이와 같이 형성된 격벽은 배기특성을 향상시켜 방전특성도 향상시킨다.

이와 같이 형성된 로우 격벽(610a)과 컬럼 격벽(610b) 중 낮은 높이를 가지는 로우 격벽(610a) 상부의 중앙부에는 홈(610a')이 형성된다. 이러한 홈(610a')의 모양은 도시된 바와 같이 꼭 각질 필요 없으며 부드러운 곡선으로도 나타낼 수 있고, 가장 낮은 부분의 높이가 바닥에 닿을 수도 있다. 이 때, 홈(610a')의 폭은 로우 격벽 상부 폭에 대해 5%이상 90%이하로 형성됨이 바람직하다. 여기서, 홈(610a')의 폭이 로우 격벽(610a) 상부의 폭에 대해 5%미만으로 형성될 경우 플라즈마 디스플레이 패널 제조 시 형광체가 원하는 방전 셀에만 도포되지 않고 이웃하는 방전 셀로 흘러들어 발생되는 형광체 혼색을 충분히 방지할 수 없으며, 홈(610a')의 폭이 로우 격벽(610a) 상부의 폭에 대하여 90%이상으로 형성될 경우에는 격벽의 기계적 강도가 저하되어 붕괴될 위험이 있다.

또한, 로우 격벽(610a) 상부에 형성된 홈의 폭에 대한 수치는 10㎛이상 200㎛이하가 됨이 바람직하다. 이러한 홈(610a')의 폭에 대한 수치 역시 이미 상술한 바와 같이 격벽의 기계적 강도와 방전 셀에 형광체 슬러리 도포 시 퍼짐성을 고려한 것이다.

한편, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 장치는 상술한 플라즈마 디스플 레이 패널을 구동하기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 이루어지고, 플라즈마 디스플레이 패널에 형성된 격벽 구조는 상술한 바와 같다.

이와 같은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽이 형성되는 과정은 다음 도 7a 내지 7d와 같다.

도 7a 내지 도 7d는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법을 순차적으로 나타낸 도이다.

먼저, 도 7a에서 보는 바와 같이, 전극(미도시)이 실장된 후면 글라스(600) 상에 하부 유전체(630b)를 형성하며, 하부 유전체(630b) 상에는 소정의 두께를 갖는 격벽용 페이스트(610)를 인쇄법이나 코팅법 등으로 형성한다.

이 후, 격벽용 페이스트(610) 상에 드라이 필름 레진(Dry Film Resin; 이하, DFR이라 함, 611)을 라미네이팅 공정을 통하여 형성하고, DFR(611) 상에 소정의 패턴을 갖는 포토 마스크(612)를 정렬하여 진공자외선과 같은 광을 조사시키는 노광공정을 행한다. 이 때, 형성되는 포토 마스크의 패턴은 로우 격벽을 형성하는 로우 방향의 패턴(612a)과 컬럼 격벽을 형성하는 컬럼 방향의 패턴(612b) 폭이 다르다. 즉, 도시된 바와 같이 컬럼 방향의 패턴(612b) 폭이 로우 방향의 패턴(612a) 폭보다 넓으며, 또한 로우 방향 패턴(612a)의 중앙 부분의 패턴 폭이 더 좁음을 알 수 있다. 이는 컬럼 방향의 패턴(612b)과 로우 방향의 패턴(612a)의 폭을 다르게 함으로써, 후에 형성되는 컬럼 격벽과 로우 격벽의 높이 차를 두기 위함이다. 또한, 로우 방향의 패턴(612a) 중앙 부분의 패턴 폭을 좁게 형성하는 이유는 높이가 낮은 로우 격벽에 홈을 형성하여 플라즈마 디스플레이 패널의 배기 특성을 향상시켜 방 전효율을 향상시키기 위함이다.

이 후, 도 7b에서와 같이, DFR(611) 노광 공정 후, 현상공정을 실시한다. 이러한 현상공정에 의해 광에 노출되지 않은 영역(이하 '미노광 영역'이라 함)의 DFR(611)은 격벽용 페이스트(610)상에 잔류하는 반면에, 광에 노출된 영역(이하 '노광 영역'이라 함)의 DFR(611)은 식각되어 제거된다.

이 후, 도 7c에서와 같이, 현상공정을 거친 격벽용 페이스트(610) 및 DFR(611) 상에 샌드 블라스팅 장치(710)가 위치되어 구동함으로써 샌드 입자를 격벽용 페이스트(610)에 분사한다. 이 때, 샌드 입자의 스터퍼링으로 인하여 격벽용 페이스트(610)가 깎여지게 되는 반면, 격벽에 해당하는 페이스트(610)는 DFR(611) 패턴에 의해 보호된다.

이 후, 도 7d에서와 같이, DFR(611)에 의해 보호되어 형성된 격벽(610)에 박리 공정을 실시하여 서로 다른 높이의 로우 격벽(610a)과 컬럼 격벽(610b)을 형성하며, 이 중 낮은 격벽인 로우 격벽에는 홈(610a')이 형성된다.

이와 같은 방법으로 제작되는 로우 격벽과 컬럼 격벽은 플라즈마 디스플레이 패널의 방전셀을 구획하게 된다.

한편, 격벽에 의해 구획된 방전셀에는 형광체 슬러리가 도포되어 형광체층을 형성하게 된다. 형광체 도포방법은 종래 일반적으로 사용하는 스크린 프린팅법을 사용할 수도 있지만 바람직하게는 직접 패터닝법(Direct Patterning)을 사용한다. 여기서 직접 패터닝법이란 스크린 인쇄법과 같이 패턴 마스트와 같은 보조 수단을 이용하여 형광체 패턴을 형성하지 않고, 형광체 슬러리를 잉크젯 장치의 노즐이나 디스펜싱 장치의 노즐을 통해서 방전셀에 직접 도포하여 형광체층을 형성하는 방법을 말한다. 따라서 형광체층 형성방법은 방전셀에 직접 도포하는 직접 패터닝 법이면 모두 다 가능하지만 바람직하게는 잉크젯법 또는 디스펜싱법 중 어느 하나의 방법을 사용하여 형성하도록 한다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.

그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

이상에서 보는 바와 같이, 본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 구조를 개선하여 배기 특성을 향상시켜 이에 따라 방전효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

또한, 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법에 있어서, 형광체 도포 시 이웃한 방전셀로 흘러 들어감을 방지할 수 있고, 이에 따라 형광체 혼색 발생을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (12)

1. 서로 다른 높이를 갖는 로우(row) 격벽과 컬럼(column) 격벽이 방전 셀을 구획하고,

   상기 로우 격벽이 모두 컬럼 격벽 보다 높이가 낮으며, 상기 로우격벽 상부의 중앙에 홈을 형성하고, 상기 홈의 폭은 상기 로우 격벽 상부의 폭에 대해 5%이상 90%이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 홈의 폭은 10㎛이상 200㎛이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
6. 서로 다른 높이를 갖는 로우(row) 격벽과 컬럼(column) 격벽이 방전 셀을 구획하고,

   상기 로우 격벽이 모두 컬럼 격벽 보다 높이가 낮으며, 상기 로우격벽 상부의 중앙에 홈을 형성하고, 상기 홈의 폭은 상기 로우 격벽 상부의 폭에 대해 5%이상 90%이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 장치.
7. 로우(row) 격벽과 컬럼(column) 격벽으로 구획된 방전 셀과 상기 방전 셀에 도포된 형광체를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 있어서,

   상기 로우 격벽과 컬럼 격벽이 형성되는 과정은

   (a) 글라스에 형성된 유전체 상부에 격벽용 페이스트를 도포하는 단계;

   (b) 상기 격벽용 페이스트에 소정의 패턴을 갖는 포토 마스크를 놓고 로우 격벽 및 컬럼 격벽의 패턴을 형성하는 단계; 및

   (c) 상기 로우 격벽 및 컬럼 격벽의 패턴을 에칭하여 홈이 형성된 상기 로우 격벽과 상기 로우 격벽과 높이가 다른 컬럼 격벽을 형성하는 단계;

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
8. 제 7 항에 있어서,

   상기 로우 격벽의 높이는 상기 컬럼 격벽의 높이 보다 낮은 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
9. 제 7 항에 있어서,

   상기 포토 마스크는 상기 로우 격벽을 형성하기 위한 로우 방향의 패턴 폭이 상기 컬럼 격벽을 형성하기 위한 컬럼 방향의 패턴 폭보다 좁고,

   상기 로우 격벽을 형성하기 위한 로우 방향의 패턴의 일부는 다른 부분보다 패턴 폭이 더 좁은 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
10. 제 9 항에 있어서,

    상기 로우 격벽을 형성하기 위한 로우 방향의 패턴의 중앙 부분이 다른 부분보다 패턴 폭이 더 좁은 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
11. 제 7 항에 있어서,

    상기 형광체는 직접 패터닝 방법으로 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
12. 제 11 항에 있어서,

    상기 직접 패터닝 방법은 잉크젯법 또는 디스펜싱법 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.

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