KR100626001B1 - 플라즈마 디스플레이 패널과, 이의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

플라즈마 디스플레이 패널과 이의 제조 방법을 개시한다. 본 발명은 투명한 기판을 준비하고, 기판상에 격벽 형성용 원소재를 도포하고, 원소재상에 포토 레지스터를 도포하고, 포토 레지스터를 노광 및 현상하여서, 기판상의 일방향으로 배치되는 제 1 격벽과, 이와 다른 방향으로 배치되어 방전 공간을 구획하는 제 2 격벽을 구비한 격벽의 패턴을 형성하고, 포토 레지스터 사이의 개구를 통하여 에칭액을 투입하여, 진공 배기중에 배기 가스를 배출하는 제 1 배기 통로를 형성하기 위하여 제 1 격벽과, 제 2 격벽의 높이가 서로 다르도록 격벽용 원소재를 에칭하고, 잔류하는 포토 레지스터를 제거하여 격벽을 완성하는 것을 포함하는 것으로서, 에칭액의 등방향 에칭 속도에 따라서 격벽 형성용 원소재를 에칭함에 따라서, 에칭 메커니즘에 의하여 소망하는 어느 한 방향으로 배치된 격벽을 다른 한 방향으로 배치된 격벽에 비하여 높이가 다르게 형성할 수 있다. 이에 따라, 격벽의 상단부에 소정의 공간을 형성함에 따라서, 진공 배기중에 불순 가스가 배출될 수 있는 배기 통로를 형성할 수가 있다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널과, 이의 제조 방법{Plasma display panel and the fabrication method thereof}
도 1은 통상적인 플라즈마 디스플레이 패널의 단위 셀을 절제도시한 단면도,
도 2는 종래의 격벽이 완성된 상태를 도시한 단면도,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 일부 절제하여 도시한 분리 사시도,
도 4는 도 3의 플라즈마 디스플레이 패널이 결합된 상태를 도시한 단면도,
도 5a 내지 도 5i는 도 3의 격벽을 제조하기 위한 과정을 순차적으로 도시한 단면도로서,
도 5a는 기판상에 어드레스 전극과, 유전체층이 형성된 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 5b는 도 5a의 기판상에 격벽 형성용 원소재를 도포하는 상태를 도시한 단면도,
도 5c는 도 5b의 기판상에 포토 레지스터를 도포하는 상태를 도시한 단면도,
도 5d는 도 5c의 기판상에 노광 및 현상하는 상태를 도시한 단면도,
도 5e는 도 5d의 기판상에 에칭하는 상태를 도시한 단면도,
도 5f는 도 5e의 기판상에 에칭되는 상태를 도시한 단면도,
도 5g는 도 5f의 기판상에 에칭되는 상태를 도시한 단면도,
도 5h는 도 5g의 기판상에 에칭이 완료된 상태를 도시한 단면도,
도 5i는 도 5g의 기판상에 다른 각도로 본 에칭이 완료된 상태를 도시한 단면도,
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 일부 절제하여 도시한 분리 사시도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명>
300...플라즈마 디스플레이 패널
310...전면 기판 320...배면 기판
330...유지 전극 331...공통 전극
332...주사 전극 332...버스 전극
340...전면 유전체층 350...보호막층
360...어드레스 전극 370...배면 유전체층
380...격벽 381...가로 격벽
382...세로 격벽 390...형광체층
411...제 2 배기 통로 412...제 1 배기 통로
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 배 기 통로를 형성하도록 격벽의 높이를 서로 다르도록 하여 배기 능력을 향상시킨 플라즈마 디스플레이 패널과 이의 제조 방법에 관한 것이다.
통상적으로, 플라즈마 디스플레이 패널은 전극이 형성된 두 기판 사이에 밀봉된 가스를 방전시키고, 이로 인하여 발생되는 자외선에 의하여 형광체층을 여기시켜 소망하는 숫자, 문자 또는 그래픽을 구현하는 표시 장치이다.
플라즈마 디스플레이 패널은 방전 셀에 인가되는 구동 전압의 형식, 예컨대 방전 형식에 따라 직류형과 교류형으로 분류하고, 전극들의 구성 형태에 따라 대향 방전형 및 면 방전형으로 구분할 수가 있다.
직류형 플라즈마 디스플레이 패널은 모든 전극들이 방전 공간에 노출되는 구조로서, 대응 전극들 사이에 전하의 이동이 직접적으로 이루어진다. 반면에, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널은 적어도 한 전극이 유전체층에 매립되고, 대응하는 전극들 사이에 직접적인 전하의 이동이 이루어지지 않은 대신에, 유전체층 표면에 방전에 의하여 생성된 이온과 전자가 부착하여 벽전압(wall voltage)을 형성하고, 유지 전압(sustaing voltage)에 의하여 방전 유지가 가능하다.
한편, 대향 방전형 플라즈마 디스플레이 패널은 단위 화소마다 어드레스 전극과 Y 전극이 대향하여 마련되고, 두 전극간에 어드레싱 방전 및 유지 방전이 일어나는 방식이다. 반면에, 면 방전형 플라즈마 디스플레이 패널은 각 단위 화소마다 어드레스 전극과 그에 해당되는 X 및 Y 전극이 마련되어 어드레싱 방전과 유지 방전이 발생하게 되는 방식이다.
도 1을 참조하면, 종래의 플라즈마 디스플레이 패널(100)은 전면 기판(110) 과, 이와 대향되게 배치된 배면 기판(120)과, 상기 전면 기판(110)의 아랫면에 배치된 한 쌍의 유지 전극(130)과, 상기 유지 전극(130)을 매립하는 전면 유전체층(140)과, 상기 전면 유전체층(140)의 표면에 코팅된 보호막층(150)과, 상기 배면 기판(120)의 윗면에 코팅된 어드레스 전극(160)과, 상기 어드레스 전극(160)을 매립하는 배면 유전체층(170)과, 상기 전면 및 배면 기판(110)(120) 사이에 설치된 격벽(180)과, 상기 격벽(180) 내측의 방전 공간(S)에 코팅된 적,녹,청색의 형광체층(190)을 포함하고 있다.
이때, 상기 격벽(180)은 배면 기판(120)을 세정한 다음에 격벽용 원소재를 전면 도포하고, 이를 건조한 다음에 포토 마스크를 정렬하여서 노광 현상하고, 샌드 블라스트(sand blast) 공법으로 격벽(180)이 형성되는 부분 이외의 격벽용 원소재를 제거하고, 잔류하는 포토 레지스트를 박리하고, 소성하여 완성하게 된다.
상기와 같은 과정을 통하여 완성된 종래의 격벽(180)은 샌드 블라스트 공법을 사용함에 따라서 탄산칼슘(CaCO3)과 같은 연마제가 배면 기판(120) 상에 고압으로 분사되는 과정에서 기판(120) 상에 미세한 흠을 발생시킬 문제점이 있다.
최근 들어서는, 격벽용 원소재를 도포한 다음에 포토 레지스트 필름을 부착하고, 이를 노광 및 현상한 다음에 방전 공간이 형성될 부위에 에칭액을 분사하여 격벽을 성형하는 에칭 공법이 적용되고 있는 추세이다.
한국 공개 특허 제2000-13228호에는 기판상에 홈을 형성한 이후에 에칭하여서, 폭보다 높이가 큰 격벽을 개시하고 있으며, 한국 공개 특허 제1993-8917호에는 기판상에 직접적인 에칭을 통하여 격벽을 성형하는 것을 개시하고 있다.
그러나, 도 2에 도시된 바와 같이, 에칭 공법에 의하여 형성된 격벽(280)은 격벽 형성용 원소재의 측면 형상이 움푹 파인 것과 같은 현상이 일어나게 된다. 이에 따라, 격벽(280)의 상단부(281)의 폭(W1)에 비하여 중앙부(282)의 폭(W2)은 상당폭으로 줄어들게 된다.
예컨대, 격벽(280)의 상단부(281)의 폭을 40 마이크로미터로 성형할 경우에 에칭 메커니즘에 의하여 중앙부(282)의 폭(W2)은 그 절반인 20 마이크로미터밖에 성형되지 않는다. 이에 따라, 형광체층의 발광시에 발광 진로를 방해할 뿐만 아니라, 방전 공간이 작아져서 발광 효율이 떨어진다.
또한, 종래의 플라즈마 디스플레이 패널은 수분 흡착성이 강한 보호막층과, 다공성의 형광체층 내에 다량의 불순 가스를 포함하고 있으며, 이러한 불순 가스는 패널 조립체내에 잔류하여 수명 특성에 많은 악영향을 주어 영구 잔상 및 방전 불안등의 문제를 유발할 수가 있다.
이를 위하여, 진공 배기 공정중에 다량의 불순 가스를 외부로 배출하게 되는데, 종래의 플라즈마 디스플레이 패널의 경우에는 기판과 격벽의 상단부 사이에 공간이 거의 없어서 불순 가스의 배출이 어려운 구조이다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 방전 공간을 구획하는 격벽의 높이를 서로 다르게 형성하여서 진공배기 공정중에 배기 가스가 배출 될 수 있는 통로를 제공하는 플라즈마 디스플레이 패널과 이의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 에칭에 의하여 격벽의 폭과 높이를 조절하여서 서로 다른 높이를 가지는 격벽을 달리도록 형성하여서 제조 공정이 단순화게 된 플라즈마 디스플레이 패널과 이의 제조 방법을 제공하는데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법은,
투명한 기판을 준비하는 단계;
상기 기판상에 격벽 형성용 원소재를 도포하는 단계;
상기 격벽 형성용 원소재상에 포토 레지스터를 도포하는 단계;
상기 포토 레지스터를 노광 및 현상하여서, 기판상의 일 방향으로 배치되는 제 1 격벽과, 이와 다른 방향으로 배치되어 방전 공간을 구획하는 제 2 격벽을 구비한 격벽의 패턴을 형성하는 단계;
상기 포토 레지스터 사이의 개구를 통하여 에칭액을 투입하여, 진공 배기중에 배기 가스를 배출하는 제 1 배기 통로를 형성하기 위하여 상기 제 1 격벽과, 제 2 격벽의 높이가 서로 다르도록 격벽용 원소재를 에칭하는 단계; 및
상기 격벽용 원소재상에 잔류하는 포토 레지스터를 제거하여 제 1 및 제 2 격벽을 구비하는 격벽을 완성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 격벽의 패턴을 형성하는 단계에서는,
상기 제 1 격벽은 인접한 제 2 격벽 사이를 연결하여 방전 공간을 구획하되, 인접한 제 2 격벽쌍들 사이를 하나 건너 하나씩 연결함으로써 상기 제 1 격벽이 연결되지 아니한 제 2 격벽 사이에 제 2 배기 통로를 제공하는 것을 특징으로 한다.
게다가, 비방전 영역을 한정하는 제 2 격벽 사이의 간격은 상기 제 1 및 제 2 격벽으로 구획된 방전 공간의 제 2 격벽 사이의 간격보다 좁게 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 측면에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은,
전면 기판;
상기 전면 기판의 내표면에 형성된 복수의 유지 전극;
상기 유지 전극을 매립하는 전면 유전체층;
상기 전면 기판과 대향되게 배치된 배면 기판;
상기 배면 기판의 내표면에 형성되며, 상기 유지 전극과 교차하는 방향으로 배치된 복수의 어드레스 전극;
상기 어드레스 전극을 매립하는 배면 유전체층;
상기 전면 및 배면 기판 사이에 배치되고, 기판의 일방향으로 배치된 제 1 격벽과, 상기 제 1 격벽으로부터 이와 다른 방향으로 연장되어서 방전 공간을 구획하고, 진공 배기중에 배기 가스의 제 1 배기 통로를 제공하기 위하여 상기 제 1 격벽과 높이가 서로 다른 제 2 격벽을 구비하는 복수의 격벽; 및
상기 방전 공간별로 도포된 적,녹,청색의 형광체층을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제 1 격벽의 높이는 상기 제 2 격벽의 높이보다 상대적으로 낮아서 상기 제 1 격벽 상단부에는 상기 제 2 격벽과의 높이 차이에 상응하는 제 1 배기 통로가 형성된 것을 특징으로 한다.
더욱이, 상기 제 1 격벽은 상기 어드레스 전극과 교차하는 방향으로 배치되고, 상기 제 2 격벽은 상기 어드레스 전극과 나란한 방향으로 배치되며, 상기 제 2 격벽은 인접하게 배치된 제 1 격벽의 내측으로부터 대향하는 방향으로 연장되어 방전 공간을 형성한 것을 특징으로 한다.
나아가, 상기 제 2 격벽과 함께 결합되어 방전 공간을 구획하는 한 쌍의 제 1 격벽과, 이와 인접한 다른 한 쌍의 제 1 격벽 사이에는 배기 가스가 배출될 수 있는 제 2 배기 통로를 제공하는 비방전 영역이 더 형성된 것을 특징으로 한다.
이하에서 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 상세하게 설명하고자 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널(300)의 단위 방전 셀을 도시한 것이다.
도면을 참조하면, 상기 플라즈마 디스플레이 패널(300)에는 전면 기판(310)과, 상기 전면 기판(310)과 대향되게 배치되는 배면 기판(320)이 마련되어 있다.
상기 전면 기판(310)의 하부에는 유지 전극(330)이 배치되어 있다. 상기 유지 전극(330)은 전면 기판(310)의 내표면에 형성된 공통 전극(331)과, 주사 전극(332)과, 상기 공통 및 주사 전극(331)(332)과 전기적으로 연결된 버스 전극(333)을 포함하고 있다. 상기 공통 및 주사 전극(331)(332)은 각각 빗모양(comb type)으로 형성되며, 한 쌍의 공통 및 주사 전극(331)(332)은 대향되는 방향으로 소정 크기 돌출되어서 각각의 방전 공간(S)에 위치하고 있다. 상기 버스 전극(333)은 상기 공통 및 주사 전극(331)(332)의 일 가장자리를 따라서 형성되어 있다.
상기 전면 기판(310)에는 상기 공통 및 주사 전극(331)(332)과 버스 전극(333)을 매립하기 위하여 전면 유전체층(340)이 형성되어 있다. 상기 전면 유전체층(340)의 표면에는 산화 마그네슘막과 같은 보호막층(350)이 전면 도포되어 있다.
상기 배면 기판(320)의 윗면에는 소정 간격 이격되게 어드레스 전극(360)이 형성되어 있다. 상기 어드레스 전극(360)은 상기 유지 전극(3330)이 배치된 방향과 직교하는 방향으로 위치하고 있다. 상기 어드레스 전극(360)의 윗면에는 이를 매립하기 위하여 배면 유전체층(370)이 형성되어 있다. 상기 배면 유전체층(370)의 윗면에는 방전 공간을 구획하고, 크로스 토크를 방지하기 위하여 격벽(380)이 형성되어 있다. 상기 배면 유전체층(370)의 윗면과 격벽(380)의 내측면에는 방전 공간별로 적,녹,청색의 형광체층(390)이 코팅되어 있다.
본 발명의 특징에 따르면, 상기 플라즈마 디스플레이 패널(300)은 이중 격벽을 형성하여서 진공 배기시에 불순 가스가 배출될 수 있는 배기 통로를 형성하고, 에칭법에 의하여 이중 격벽의 상단부에 서로 높이가 다르도록 자연 단차를 형성하 여 추가적인 배기 통로를 형성한데에 있다.
보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
상기 배면 기판(320) 상에는 방전 공간을 구획하는 격벽(380)이 형성되어 있다. 상기 격벽(380)은 어드레스 전극(360)이 배치된 방향과 직교하는 방향으로 배치된 제 2 격벽인 가로 격벽(381)과, 상기 어드레스 전극(360)과 나란한 방향으로 배치된 제 1 격벽인 세로 격벽(382)을 포함하고 있다.
상기 가로 격벽(381)은 배면 기판(320)의 일방향으로 스트립 형상으로 배치되어 있으며, 인접한 한 쌍의 가로 격벽(381)의 내측벽으로부터는 대향되는 방향으로 세로 격벽(382)이 연장되어서 방전 공간을 구획하고 있다.
즉, 상기 세로 격벽(382)은 인접한 가로 격벽(381) 사이를 연결하여 방전 공간을 구획하되, 인접한 가로 격벽(381) 쌍들 사이를 하나 건너 하나씩 연결함으로써 상기 세로 격벽(382)이 연결되지 아니한 가로 격벽(381) 사이에 제 2 배기 통로(411)를 형성하고 있다. 상기 제 2 배기 통로(411)는 비방전 영역에 해당된다.
상기 가로 및 세로 격벽(381)(382)은 일체로 결합되어 있으며, 구획된 방전 공간은 대략 사각 형상이다. 대안으로는, 상기 격벽(380)은 격자형(waffle type)이나, 미앤더형(meander type)이나, 델타형(delta type)등 다양한 형상으로 제조가능하며, 이에 따른 방전 공간도 원형, 삼각형, 육각형등 본 실시예에 한정되는 것은 아니다.
사각 형상의 방전 공간(S)은 상기 어드레스 전극(360)이 배치된 방향과 직교하는 방향으로 연속적으로 형성되어 있으며, 이로 인한 사다리 모양의 격벽(380)은 배면 기판(320)의 전 영역에 걸쳐서 소정 간격 이격되게 배치되어 있으며,
본 실시예에서는 상기 제 2 배기 통로(411)가 형성되는 방향이 가로 격벽(381)이 배치된 방향과 나란하지만, 진공 배기시 불순 가스의 배기 통로를 형성하는 구조라면, 어느 하나의 형상에 한정되지는 않는다.
여기서, 상기 격벽(380)중 어느 한 방향으로 배치된 격벽은 다른 방향으로 배치된 격벽과의 단차를 형성하여 제 1 배기 통로(412)를 형성하고 있다.
즉, 제 2 격벽인 가로 격벽(381)의 높이(H1)는 제 1 격벽인 세로 격벽(382)의 높이(H2)에 비하여 낮게 형성되어 있다. 상기 세로 격벽(382)의 양 단부에 배치되어서 인접한 세로 격벽(382)을 연결해주는 부분의 가로 격벽(381)의 높이(H1)는 상기 세로 격벽(382)의 높이(H2)보다 H3 만큼 낮게 형성되어 있다.
이러한 격벽(380)의 구조는 이와 전면 기판(310)과의 결합시에 H3 만큼의 높이 차이로 인하여 전면 기판(310)의 하부와 격벽(380)의 상단부 사이에 소정의 공간인 제 1 배기 통로(412)를 형성하게 된다. 이러한 제 1 배기 통로(412)는 상기 세로 격벽(382)을 연결해주는 부분의 가로 격벽(381)마다 형성시킬 수도 있으며, 선택적으로 가로 격벽(381)의 일부분에만 높이 차이를 두어서 형성시킬 수도 있을 것이다.
이렇게 상기 가로 격벽(381)의 높이(H1)가 세로 격벽(382)의 높이(H2)보다 낮게 형성되는 이유는 상술한 바와 같이 전면 기판(310)과의 결합시에 제 1 배기 통로(412)를 형성하기 위한 것이고, 이는 도 4에서 보다 더 명확하게 설명되어진다.
도 4는 도 3의 전면 및 배기 기판(310)(320)이 결합된 이후의 상태를 도시한 것으로서, Ⅰ-Ⅰ선을 따라 절개도시한 것이다.
여기서, 앞서 도시된 도면에서와 동일한 참조 번호는 동일한 기능을 하는 동일한 부재를 가리킨다.
도면을 참조하면, 상기 전면 기판(310)과, 배면 기판(320) 사이에는 가로 격벽(381)이 배치되어 있다. 상기 가로 격벽(381)은 상술한 바와 같이 세로 격벽(382,도 3 참조)과의 높이 차이(H3)가 있다.
이로 인하여, 상기 전면 기판(310)과, 가로 격벽(381)의 상단부 사이에는 간격(g)이 형성되고, 이 공간은 제 1 배기 통로(412)를 이루고 있다. 이러한 제 1 배기 통로(412)는 화살표로 표시한바와 같이 진공 배기시 배기 가스가 배출될 수 있는 통로를 제공하고 있다. 한편, 방전 공간(S)을 구획하는 인접한 한 쌍의 가로 격벽(381) 사이의 비방전 영역에는 제 2 배기 통로(411)가 형성되어 있다.
상기와 같은 가로 격벽(381)의 높이를 상기 세로 격벽(382)의 그것보다 낮게 하기 위해서는 에칭법에 의하여 자연 단차를 형성하여 제조하는 것이 바람직하다.
이후, 상기 격벽(380)을 제조하기 위한 제조 공정을 도 5a 내지 5i를 참조하여 단계별로 상세하게 설명하고자 한다.
먼저, 도 5a에 도시된 바와 같이, 투명한 글래스로 된 배면 기판(320)을 마 련한다. 마련된 배면 기판(320) 상에는 어드레스 전극(360)을 인쇄하여 소성하게 된다. 상기 어드레스 전극(360)은 상기 배면 기판(320) 상의 어느 한 방향으로 소정 간격 이격되게 패턴화되어 있으며, 스트립 형상이다. 그리고, 상기 배면 기판(320) 상에는 상기 어드레스 전극(360)을 매립하기 위하여 배면 유전체층(370)을 코팅하게 된다.
다음으로, 도 5b에 도시된 바와 같이, 상기 배면 기판(320) 상에는 격벽 형성용 원소재(389)를 전면 인쇄하게 된다. 상기 격벽 형성용 원소재(389)는 다양한 방법으로 전면 코팅할 수 있으며, 본 실시예에서는 스크린(511) 상에 격벽 형성용 원소재(389)를 적재하고, 스퀴지(512)를 일방향으로 진행시킴에 따라 전면 도포가 가능하다.
이어서, 도 5c에 도시된 바와 같이, 상기 격벽 형성용 원소재(389)의 윗면에 포토 레지스터(521)를 도포하게 된다. 상기 포토 레지스터(521)는 전면 도포된다.
도포된 포토 레지스터(521)의 상부에는 도 5d에 도시된 바와 같이 소정 간격 이격되게 포토 마스크(531)를 정렬하고, 자외선을 쬐여서 노광 및 현상 공정을 수행하게 된다.
이에 따라, 도 5e에 도시된 바와 같이, 상기 격벽 형성용 원소재(389)의 표면에는 형성시키고자 하는 격벽과 대응되는 부분에만 포토 레지스터(521)가 남게 되고, 그 나머지 부분은 제거된다.
격벽과 대응되는 포토 레지스터(521)의 패턴이 남은 다음에는, 그 상부에서 노즐(541)을 통하여 에칭액(542)을 투입하여 소정 시간 침식시켜서 소망하는 형상 의 격벽을 형성시키게 된다. 이때, 격벽은 폭보다 높이가 크게 형성된다.
에칭액(542)으로 인하여 격벽 형성용 원소재(389)가 침식되는 과정은 도 5f와 도 5g에 도시된 바와 같이 진행된다.
즉, 도 5f에 도시된 바와 같이, 상기 에칭액(542)은 포토 레지스터(521)가 형성되지 않은 부분의 표면으로부터 침식되어 간다. 이때, 에칭액(542)은 상기 격벽 형성용 원소재(389)의 표면으로부터 등방향으로 진행하게 된다.
여기서, 도 3을 참조하면, 제 2 배기 통로(411)가 형성되는 부분의 에칭되는 간격(D3)은 방전 공간이 형성되고자 하는 부분의 에칭되는 부분의 간격(D1)에 비하여 상대적으로 좁다.
예컨대, 인접하는 가로 격벽(381) 간의 간격(D1)이 493 마이크로미터 정도이고, 세로 격벽(382) 간의 간격(D2)이 228 마이크로미터 정도라면, 상기 제 2 배기 통로(411)의 간격(D3)은 100 마이크로미터 정도로서, 상기 제 2 배기 통로(411)의 간격(D3)이 방전 공간을 구획하는 가로 격벽(381)의 간격보다 상대적으로 좁게 형성되어 있다. 또한, 상기 가로 및 세로 격벽(381)(382)의 폭(W3)은 상호 동일하며, 대략 50 마이크로미터 정도이며, 격벽(380)의 깊이(H2)는 120 마이크로미터 정도다.
이러한 수치를 참고하여 다시 도 5f를 참조하면, 포토 레지스터(521) 사이의 개구부(591), 예컨대 50 마이크로미터의 개구부를 통하여 에칭액(542)이 투입시에는 상기 에칭액(542)의 등방향 에칭 속도로 인하여 제 2 배기 통로(411)가 형성되 고자 하는 부분의 에칭되는 간격(D3)은 깊이 방향의 에칭량(H2)이 120 마이크로미터에 비례하여 좌우로 100 마이크로미터가 되므로, 도 5g에 도시된 바와 같이 좌우 폭 방향의 에칭은 더욱 진행하게 되어서, 가로 격벽(381)의 높이(H1)는 세로 격벽(382)의 높이(H2)보다 H3 만큼 낮게 형성된다. 미설명된 도면 부호383는 세로 격벽(382)이 형성되는 상단부 라인을 지칭하는 것이다.
반면에, 방전 공간의 포토 레지스터(521)의 개구부(592)를 통하여 에칭액(542)이 공히 투입시, 세로 격벽(382)의 높이(H2)는 세로 격벽(382)이 배치되는 방향으로 에칭되는 폭(D2)이 228 마이크로미터가 되므로, 가로 격벽(381)의 높이(H1)보다 높다.
이렇게 가로 및 세로 격벽(381)(382)의 높이가 차이가 나는 이유는 한 쌍의 인접한 가로 격벽(381) 사이에 형성되는 제 2 배기 통로(411)의 간격(D3)과, 방전 공간을 구획하는 가로 격벽간의 간격(D1)이나, 세로 격벽간의 간격(D1)이 서로 다름에 따라서, 상대적으로 폭이 좁은 제 2 배기 통로(411)의 양 측으로 배치되는 가로 격벽(381)이 상대적으로 폭이 넓은 방전 공간을 구획하는 세로 격벽(382)보다 에칭액(542)의 등방향 에칭 속도에 따라서 격벽(381)의 상단부로 파먹힘 현상이 발생하기 때문이다.
다음으로, 잔류하는 포토 레지스터(521)를 제거하고 나면, 도 3의 Ⅰ-Ⅰ 선을 따라 절개한 도 5h와, 도 3의 Ⅱ-Ⅱ 선을 따라 절개한 도 5i에 도시된 바와 같 이, 제 2 배기 통로(411)의 양 측으로 배치되는 가로 격벽(381)의 높이(H1)는 에칭액(542)의 등방향 에칭 속도로 인하여 세로 격벽(382)의 높이(H2)보다 H3 만큼 낮아지게 된다. 따라서, 상기 가로 격벽(381)과 세로 격벽(382)의 상단부 사이에는 단차(g)가 발생하게 된다. 이러한 간격(g)은 제 1 배기 통로(412)를 형성하게 된다.
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널(600)을 도시한 것이다.
도면을 참조하면, 상기 플라즈마 디스플레이 패널(600)은 제 1 실시예에서와 같이 전면 기판(610)과, 배면 기판(620)을 포함하고 있다.
상기 전면 기판(610)의 내표면에는 방전 공간으로 소정 크기로 돌출한 공통 전극(631)과 주사 전극(632)과, 상기 공통 및 주사 전극(631)(632)과 전기적으로 연결된 버스 전극(633)을 구비하는 유지 전극(630)이 형성되고, 상기 유지 전극(630)은 전면 유전체층(640)에 의하여 매립되어 있고, 상기 전면 유전체층(640)의 표면에는 보호막층(650)이 코팅되어 있다.
상기 배면 기판(620)의 윗면에는 어드레스 전극(660)이 배치되어 있으며, 상기 어드레스 전극(660)은 배면 유전체층(670)에 의하여 매립되어 있고, 상기 배면 유전체층(670)의 윗면에는 격벽(680)이 형성되어 있고, 상기 격벽(680)의 내측면에는 적,녹,청색의 형광체층(690)이 코팅되어 있다.
여기서, 상기 격벽(680)은 상기 어드레스 전극(660)과 직교하는 방향으로 배치된 가로 격벽(681)과, 상기 어드레스 전극(660)과 나란한 방향으로 배치된 세로 격벽(682)을 포함하며, 상기 가로 및 세로 격벽(681)(682)은 상호 결합하여서 격자형의 구조를 기루고 있다.
이때, 상기 격벽(680)중 가로 격벽(680)의 상단부는 상술한 바와 같은 에칭법에 의하여 배기 통로(710)가 형성되어 있다. 이러한 배기 통로(710)는 방전 공간을 구획하는 가로 및 세로 격벽(681)(682)의 길이가 다름에 따라서 단위 방전 셀에서 상대적으로 간격이 좁은 가로 격벽(681)이 배치된 방향으로 에칭액의 등방향 에칭 속도에 따른 가로 격벽(681)의 상단부의 파먹힘 현상에 기인한 것이다.
이상의 설명에서와 같이 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널과 이의 제조 방법은 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
첫째, 에칭액의 등방향 에칭 속도에 따라서 격벽 형성용 원소재를 에칭함에 따라서, 에칭 메커니즘에 의하여 소망하는 어느 한 방향으로 배치된 격벽을 다른 한 방향으로 배치된 격벽에 비하여 높이가 다르게 형성할 수 있다. 이에 따라, 격벽의 상단부에 소정의 공간을 형성함에 따라서, 진공 배기중에 배기 가스가 배출될 수 있는 배기 통로를 형성할 수가 있다.
둘째, 일부 격벽의 상단면과 기판의 하부 사이에 배기 통로를 형성시킴에 따라서, 배기가 열악한 패널 조립체의 중앙부로부터의 불순 가스의 배기가 원할하게 이루어질 수 있다. 이에 따라, 패널 조립체의 전기, 광학적 특성을 크게 향상시킬 수가 있다.
셋째, 포토 레지스터의 개구부의 넓이를 조절하여 미세하게 에칭액이 투입됨 에 따라서 에칭 메커니즘에 의하여 두께를 균일하게 한 격벽의 형성이 가능해진다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims (8)

  1. 투명한 기판을 준비하는 단계;
    상기 기판상에 격벽 형성용 원소재를 도포하는 단계;
    상기 격벽 형성용 원소재상에 포토 레지스터를 도포하는 단계;
    상기 포토 레지스터를 노광 및 현상하여서, 기판상의 일 방향으로 배치되는 제 1 격벽과, 상기 제 1 격벽과 다른 방향으로 배치되며, 상기 제 1 격벽과 결합하여 방전 공간을 구획하는 제 2 격벽을 가지는 격벽의 패턴을 형성하는 단계;
    상기 포토 레지스터 사이에 형성되는 개구를 통하여 에칭액을 투입하여, 진공 배기중에 배기 가스를 배출하는 제 1 배기 통로를 형성하기 위하여 상기 제 1 격벽과, 제 2 격벽의 높이를 서로 다르도록 격벽용 원소재를 에칭하는 단계; 및
    상기 격벽용 원소재상에 잔류하는 포토 레지스터를 제거하여 제 1 및 제 2 격벽을 가지는 격벽을 완성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 격벽의 패턴을 형성하는 단계에서는,
    상기 제 1 격벽은 인접한 제 2 격벽 사이를 연결하여 방전 공간을 구획하되, 인접한 제 2 격벽쌍들 사이를 하나 건너 하나씩 연결함으로써 상기 제 1 격벽이 연결되지 아니한 제 2 격벽 사이의 비방전 영역에는 제 2 배기 통로를 제공하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 비방전 영역을 한정하는 제 2 격벽 사이의 간격은 상기 제 1 및 제 2 격벽으로 구획된 방전 공간의 제 2 격벽 사이의 간격보다 좁게 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
  4. 전면 기판;
    상기 전면 기판의 내표면에 형성된 복수의 유지 전극;
    상기 유지 전극을 매립하는 전면 유전체층;
    상기 전면 기판과 대향되게 배치된 배면 기판;
    상기 배면 기판의 내표면에 형성되며, 상기 유지 전극과 교차하는 방향으로 배치된 복수의 어드레스 전극;
    상기 어드레스 전극을 매립하는 배면 유전체층;
    상기 전면 기판과 배면 기판 사이에 이들과는 별도로 분리배치되며,
    기판의 일방향으로 배치된 제 1 격벽과, 상기 제 1 격벽으로부터 이와 다른 방향으로 연장되어서 방전 공간을 구획하는 제 2 격벽을 구비하고,
    기판상에 격벽 형성용 원소재를 도포하고, 그 상부에 포토 레지스터를 도포하고, 이를 노광 및 현상하여 격벽의 패턴을 형성하고, 에칭액을 투입하여 등방성 에칭 속도에 의하여 제 2 격벽의 높이가 상기 제 1 격벽의 높이보다 상대적으로 낮게 되여서, 상기 제 2 격벽 상단부에는 상기 제 1 격벽과의 높이 차이에 상응하는 제 1 배기 통로부가 형성된 복수의 격벽; 및
    상기 방전 공간별로 도포된 적,녹,청색의 형광체층을 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널.
  5. 삭제
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 2 격벽은 상기 어드레스 전극과 교차하는 방향으로 배치되고, 상기 제 1 격벽은 상기 어드레스 전극과 나란한 방향으로 배치되며, 상기 제 1 격벽은 인접하게 배치된 제 2 격벽의 내측으로부터 대향하는 방향으로 연장되어 방전 공간을 형성한 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 격벽과 함께 결합되어 방전 공간을 구획하는 한 쌍의 제 2 격벽과, 이와 인접한 다른 한 쌍의 제 2 격벽 사이에는 배기 가스가 배출될 수 있는 제 2 배기 통로를 제공하는 비방전 영역이 더 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
  8. 제 7 항에 있어서,
    비방전 영역을 한정하는 제 2 격벽 사이의 간격은 방전 공간을 구획하는 제 2 격벽 사이의 간격보다 좁게 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
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