JP3440907B2 - ディスプレイパネル及びその製造方法 - Google Patents
ディスプレイパネル及びその製造方法Info
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- H01J2211/36—Spacers, barriers, ribs, partitions or the like
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- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、表示デバイスなど
に用いるプラズマディスプレイパネルに関するもので、
特にプラズマディスプレイパネルの隔壁層を形成する方
法に関するものである。
に用いるプラズマディスプレイパネルに関するもので、
特にプラズマディスプレイパネルの隔壁層を形成する方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のプラズマディスプレイパネルの構
成の一実施例としての一部斜視図を図９に示す。
成の一実施例としての一部斜視図を図９に示す。
【０００３】図９において、第一の絶縁基板１上には誘
電体層２および保護膜層３で覆われた複数の走査電極４
と維持電極５とを対を成して平行に付設するとともに、
対を成す走査電極４と維持電極５のそれぞれの対間に遮
光層６を付設されている。
電体層２および保護膜層３で覆われた複数の走査電極４
と維持電極５とを対を成して平行に付設するとともに、
対を成す走査電極４と維持電極５のそれぞれの対間に遮
光層６を付設されている。
【０００４】第二の絶縁基板７上には絶縁体層８で覆わ
れた複数のデータ電極９を付設し、さらに前記データ電
極９間の前記絶縁体層８上に前記データ電極９と平行し
て複数の隔壁を付設し、この隔壁１０間の隔壁側面およ
び前記絶縁体層８の表面には蛍光体層１１が付設され、
前記複数の対を成す走査電極４および維持電極５と前記
データ電極９とが直交するように前記第一の絶縁基板１
と第２の絶縁基板７が放電空間１２をはさんで対向して
配置されている。
れた複数のデータ電極９を付設し、さらに前記データ電
極９間の前記絶縁体層８上に前記データ電極９と平行し
て複数の隔壁を付設し、この隔壁１０間の隔壁側面およ
び前記絶縁体層８の表面には蛍光体層１１が付設され、
前記複数の対を成す走査電極４および維持電極５と前記
データ電極９とが直交するように前記第一の絶縁基板１
と第２の絶縁基板７が放電空間１２をはさんで対向して
配置されている。
【０００５】前記走査電極４および維持電極５はそれぞ
れ透明電極４ａおよびこれに重なって電気的に接続され
た母線４ｂ、５ｂを銀等の低抵抗材料で形成することに
より、走査電極４および維持電極５の電極としての抵抗
値を小さくするようにしている。
れ透明電極４ａおよびこれに重なって電気的に接続され
た母線４ｂ、５ｂを銀等の低抵抗材料で形成することに
より、走査電極４および維持電極５の電極としての抵抗
値を小さくするようにしている。
【０００６】このように、走査電極４と維持電極５の一
対とデータ電極９の一つとの交点に対応する放電空間１
２の領域は一つの放電セルを構成する。
対とデータ電極９の一つとの交点に対応する放電空間１
２の領域は一つの放電セルを構成する。
【０００７】また、放電空間１２には放電ガスとしてヘ
リウム、ネオン、アルゴン、キセノンなどの一種または
混合ガスが封入されている。
リウム、ネオン、アルゴン、キセノンなどの一種または
混合ガスが封入されている。
【０００８】この様に従来の隔壁１０は単純なストライ
プ状であり、主としてサンドブラスト法やリフトオフ法
あるいはスクリーン印刷の重ね刷りなどの方法によって
形成されていた。
プ状であり、主としてサンドブラスト法やリフトオフ法
あるいはスクリーン印刷の重ね刷りなどの方法によって
形成されていた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかし、以上説明した
従来のパネルでは、高精細化を実現するためにパネル電
極数を増やす場合、すなわち、第一の絶縁基板１上に走
査電極４と維持電極５および第２の絶縁基板７上に設け
たデータ電極９の本数を増やし、隔壁１０間の間隔を小
さくして放電空間を１２の領域を小さくして行った場合
に、次のような課題が発生するものであった。
従来のパネルでは、高精細化を実現するためにパネル電
極数を増やす場合、すなわち、第一の絶縁基板１上に走
査電極４と維持電極５および第２の絶縁基板７上に設け
たデータ電極９の本数を増やし、隔壁１０間の間隔を小
さくして放電空間を１２の領域を小さくして行った場合
に、次のような課題が発生するものであった。
【００１０】第１に、第一の走査電極と維持電極との対
で発生する放電が、隣接の走査電極間で発生し、誤放電
として表示品質を低下させる。
で発生する放電が、隣接の走査電極間で発生し、誤放電
として表示品質を低下させる。
【００１１】第２に、高精細化により、維持放電電極幅
が狭くなるので、維持放電が弱くなることと、放電空間
の減少により、発光輝度が弱くなるものである。
が狭くなるので、維持放電が弱くなることと、放電空間
の減少により、発光輝度が弱くなるものである。
【００１２】輝度を高める方法として蛍光体の改善や蛍
光体形成形状の改善、封入ガス組成やその分圧の最適化
などの積み重ね、さらには、駆動回路上の改善などによ
って徐々に輝度が向上してきているが、現状の隔壁スト
ライプ構造の発光面積の制約や発光効率の観点から、現
状構造では限界がある。
光体形成形状の改善、封入ガス組成やその分圧の最適化
などの積み重ね、さらには、駆動回路上の改善などによ
って徐々に輝度が向上してきているが、現状の隔壁スト
ライプ構造の発光面積の制約や発光効率の観点から、現
状構造では限界がある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、誘電体層および保護膜層で覆われた複数の対を成
す走査電極と維持電極とのそれぞれの対間に遮光層を少
なくとも配した第１の絶縁基板と、絶縁体層で覆われた
複数のデータ電極と前記絶縁体層上に複数の隔壁と少な
くとも隔壁間に蛍光体層を配した第二の絶縁基板とを、
放電空間をはさんで対向配置してなるプラズマディスプ
レイパネルであって、前記第一の絶縁基板の前記遮光層
に対向する位置に、前記第二の絶縁基板上の前記絶縁基
板上の隔壁間に隔壁よりも高さの低い障壁を設けたパネ
ル構造とする。
めに、誘電体層および保護膜層で覆われた複数の対を成
す走査電極と維持電極とのそれぞれの対間に遮光層を少
なくとも配した第１の絶縁基板と、絶縁体層で覆われた
複数のデータ電極と前記絶縁体層上に複数の隔壁と少な
くとも隔壁間に蛍光体層を配した第二の絶縁基板とを、
放電空間をはさんで対向配置してなるプラズマディスプ
レイパネルであって、前記第一の絶縁基板の前記遮光層
に対向する位置に、前記第二の絶縁基板上の前記絶縁基
板上の隔壁間に隔壁よりも高さの低い障壁を設けたパネ
ル構造とする。
【００１４】上記パネルの製造方法として、第１の発明
は、ガラスペーストを塗布する工程と、ガラスペースト
を乾燥する工程と、その上面にドライフィルムレジスト
を形成する工程と、ドライフィルムをパターニングする
工程と、ドライフィルム上からサンドブラスト法によっ
てガラスペーストを除去し、隔壁を形成するプラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法であって、サンドブラスト
により主隔壁と障壁とよりなる略枡形形状の放電空間を
作成し、障壁部分の桟部を再度サンドブラスト法によ
り、所定高さまで除去して障壁とする工程とを含むこと
を特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法で
ある。
は、ガラスペーストを塗布する工程と、ガラスペースト
を乾燥する工程と、その上面にドライフィルムレジスト
を形成する工程と、ドライフィルムをパターニングする
工程と、ドライフィルム上からサンドブラスト法によっ
てガラスペーストを除去し、隔壁を形成するプラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法であって、サンドブラスト
により主隔壁と障壁とよりなる略枡形形状の放電空間を
作成し、障壁部分の桟部を再度サンドブラスト法によ
り、所定高さまで除去して障壁とする工程とを含むこと
を特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法で
ある。
【００１５】上記のように、第１の発明においては、枡
形の隔壁を形成して桟部の障壁となる部分をさらにサン
ドブラストによって高さを減じることにより、蛍光体発
光面積の増大と、パネル排気が可能な構造を確実に提供
することが出来るものである。
形の隔壁を形成して桟部の障壁となる部分をさらにサン
ドブラストによって高さを減じることにより、蛍光体発
光面積の増大と、パネル排気が可能な構造を確実に提供
することが出来るものである。
【００１６】第２の発明は、ガラスペーストを塗布する
工程と、ガラスペーストを乾燥する工程と、その上面に
ドライフィルムレジストを形成する工程と、ドライフィ
ルムをパターニングする工程と、ドライフィルム上から
サンドブラスト法によってガラスペーストを除去し、隔
壁を形成するプラズマディスプレイの製造方法であっ
て、ガラスペーストを塗布乾燥後に、障壁部形成領域に
難サンドブラスト性ペーストをパターン印刷し乾燥後、
ドライフィルムをラミネートし主隔壁部を形成すべくパ
ターニング後サンドブラストし、主隔壁と障壁よりなる
放電空間を形成することを特徴とするプラズマディスプ
レイパネルの製造方法である。
工程と、ガラスペーストを乾燥する工程と、その上面に
ドライフィルムレジストを形成する工程と、ドライフィ
ルムをパターニングする工程と、ドライフィルム上から
サンドブラスト法によってガラスペーストを除去し、隔
壁を形成するプラズマディスプレイの製造方法であっ
て、ガラスペーストを塗布乾燥後に、障壁部形成領域に
難サンドブラスト性ペーストをパターン印刷し乾燥後、
ドライフィルムをラミネートし主隔壁部を形成すべくパ
ターニング後サンドブラストし、主隔壁と障壁よりなる
放電空間を形成することを特徴とするプラズマディスプ
レイパネルの製造方法である。
【００１７】上記のように、本発明によれば、第１の発
明の如く、サンドブラストを一回で行うことが出来、効
率的に高さの異なる障壁を有したパネルを得ることが出
来るものである。
明の如く、サンドブラストを一回で行うことが出来、効
率的に高さの異なる障壁を有したパネルを得ることが出
来るものである。
【００１８】第３の発明は、ガラスペーストを所定高さ
まで塗布し、乾燥する工程と、障壁部形成領域に耐サン
ドブラストペーストあるいはドライフィルムをパターニ
ングする工程と、その上に更にガラスペーストを所定高
さまで塗布し乾燥する工程と、ドライフィルムをラミネ
ートし主隔壁部を形成すべくパターニング後サンドブラ
ストし、主隔壁と障壁よりなる放電空間を形成すること
を特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法で
ある。
まで塗布し、乾燥する工程と、障壁部形成領域に耐サン
ドブラストペーストあるいはドライフィルムをパターニ
ングする工程と、その上に更にガラスペーストを所定高
さまで塗布し乾燥する工程と、ドライフィルムをラミネ
ートし主隔壁部を形成すべくパターニング後サンドブラ
ストし、主隔壁と障壁よりなる放電空間を形成すること
を特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法で
ある。
【００１９】上記のように、本発明によれば、障壁高さ
の制御を自由に行うことができ、確実に高さの異なる障
壁を有したパネルを得ることが出来るものでる。
の制御を自由に行うことができ、確実に高さの異なる障
壁を有したパネルを得ることが出来るものでる。
【００２０】第４、５の発明は、ガラスペーストを塗布
する工程と、ガラスペーストを乾燥する工程と、その上
面にドライフィルムレジストを形成する工程と、ドライ
フィルムをパターニングする工程と、ドライフィルム上
からサンドブラスト法によってガラスペーストを除去
し、隔壁を形成するプラズマディスプレイの製造方法で
あって、サンドブラストにより主隔壁と障壁とよりなる
略枡形の放電空間を作成し、障壁となる部分を加圧ある
いは研磨、切削してして高さを低減する工程と、焼成工
程とを含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネ
ルの製造方法である。
する工程と、ガラスペーストを乾燥する工程と、その上
面にドライフィルムレジストを形成する工程と、ドライ
フィルムをパターニングする工程と、ドライフィルム上
からサンドブラスト法によってガラスペーストを除去
し、隔壁を形成するプラズマディスプレイの製造方法で
あって、サンドブラストにより主隔壁と障壁とよりなる
略枡形の放電空間を作成し、障壁となる部分を加圧ある
いは研磨、切削してして高さを低減する工程と、焼成工
程とを含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネ
ルの製造方法である。
【００２１】上記のように、本発明によれば、サンドブ
ラスト工程、焼成工程が一回で確実に行えるものであ
る。
ラスト工程、焼成工程が一回で確実に行えるものであ
る。
【００２２】また、第６の発明は、このようにして形成
したパネルそのものであり、隣接放電空間との誤放電防
止を隣接空間を仕切る障壁により行い、なおかつ排気が
確実に行えるように、その障壁高さを低くし、さらに障
壁側面にも蛍光体塗布が可能な井桁形状を有しているた
め輝度が高く、表示品質に優れたプラズマディスプレイ
パネルを得ることができる。
したパネルそのものであり、隣接放電空間との誤放電防
止を隣接空間を仕切る障壁により行い、なおかつ排気が
確実に行えるように、その障壁高さを低くし、さらに障
壁側面にも蛍光体塗布が可能な井桁形状を有しているた
め輝度が高く、表示品質に優れたプラズマディスプレイ
パネルを得ることができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。
て説明する。
【００２４】（ＰＤＰの全体的な構成及び製法）図１
に、その概略断面一部斜視図を示す。
に、その概略断面一部斜視図を示す。
【００２５】図１において、第一の絶縁基板１上には、
誘電体層２および保護層３で覆われた複数の走査電極４
と維持電極５とを対を成して平行に付設するとともに、
対を成す走査電極４と維持電極５とのそれぞれの対間に
遮光層６を付設されている。
誘電体層２および保護層３で覆われた複数の走査電極４
と維持電極５とを対を成して平行に付設するとともに、
対を成す走査電極４と維持電極５とのそれぞれの対間に
遮光層６を付設されている。
【００２６】第２の絶縁基板７上には絶縁体層８で覆わ
れた複数のデータ電極９を付設し、さらに前記データ電
極９間の前記絶縁体層８上に、前記データ電極９と平行
して複数の隔壁１０を付設し、前記第一の絶縁基板１の
前記遮光層６に対向する位置に、前記第二の絶縁基板上
の隔壁間に障壁１３を付設しているとともに、この隔壁
１０間の隔壁側面と障壁１３の側面および絶縁体層８の
表面に蛍光体層１１を設けている。
れた複数のデータ電極９を付設し、さらに前記データ電
極９間の前記絶縁体層８上に、前記データ電極９と平行
して複数の隔壁１０を付設し、前記第一の絶縁基板１の
前記遮光層６に対向する位置に、前記第二の絶縁基板上
の隔壁間に障壁１３を付設しているとともに、この隔壁
１０間の隔壁側面と障壁１３の側面および絶縁体層８の
表面に蛍光体層１１を設けている。
【００２７】第一の絶縁基板１と第二の絶縁基板７は、
前記複数の対を成す走査電極４および維持電極５と前記
データ電極９とが直交するように放電空間１２をはさん
で対向して配置されている。
前記複数の対を成す走査電極４および維持電極５と前記
データ電極９とが直交するように放電空間１２をはさん
で対向して配置されている。
【００２８】このパネルにおいて、走査電極４と維持電
極５の一対とデータ電極９の一つとの交点に対応する放
電空間１２の領域は一つの放電セルを構成する。また放
電空間１２には放電ガスとしてヘリウム、ネオン、アル
ゴン、キセノンの内の一種または混合ガスが封入されて
いる。
極５の一対とデータ電極９の一つとの交点に対応する放
電空間１２の領域は一つの放電セルを構成する。また放
電空間１２には放電ガスとしてヘリウム、ネオン、アル
ゴン、キセノンの内の一種または混合ガスが封入されて
いる。
【００２９】この時、従来パネルとの相違点は、第一の
絶縁基板１上の維持電極４と走査電極５とのあいだの遮
光層６に対向する位置に、第二の絶縁基板７上の絶縁体
層８上の隔壁１０間に障壁１３が設けられていることで
ある。
絶縁基板１上の維持電極４と走査電極５とのあいだの遮
光層６に対向する位置に、第二の絶縁基板７上の絶縁体
層８上の隔壁１０間に障壁１３が設けられていることで
ある。
【００３０】本発明は第二の絶縁基板７の特に隔壁１０
と障壁１３の製造方法にかかるものであり、この第二の
絶縁基板を背面パネルとし、この背面パネルの作成の実
施例について述べる。
と障壁１３の製造方法にかかるものであり、この第二の
絶縁基板を背面パネルとし、この背面パネルの作成の実
施例について述べる。
【００３１】この背面パネルは通常次のような製造プロ
セスで作成する。
セスで作成する。
【００３２】すなわち、絶縁基板７である背面ガラス基
板上にスクリーン印刷法などによって銀などデータ電極
９を形成し、ガラス誘電体を印刷法によって形成して絶
縁体層８とし、その上に厚膜印刷とサンドブラスト法な
どによって絶縁性の隔壁１０を所定のピッチで形成し、
更に隔壁１０によって挟まれた各空間に印刷法などによ
って赤色蛍光体、緑色蛍光体、青色蛍光体による蛍光体
層１１を形成することにより作製する。またこの時、蛍
光体粉末としては次のようなものが使われる。
板上にスクリーン印刷法などによって銀などデータ電極
９を形成し、ガラス誘電体を印刷法によって形成して絶
縁体層８とし、その上に厚膜印刷とサンドブラスト法な
どによって絶縁性の隔壁１０を所定のピッチで形成し、
更に隔壁１０によって挟まれた各空間に印刷法などによ
って赤色蛍光体、緑色蛍光体、青色蛍光体による蛍光体
層１１を形成することにより作製する。またこの時、蛍
光体粉末としては次のようなものが使われる。
【００３３】赤色蛍光体：（ＹXＧｄ1-X）ＢＯ3：Ｅｕ
3+あるいはＹＢＯ3：Ｅｕ3+ 緑色蛍光体：ＢａＡｌ12Ｏ19：ＭｎあるいはＺｎ2Ｓｉ
Ｏ4：Ｍｎ 青色蛍光体：ＢａＭｇＡｌ10Ｏ17：Ｅｕ2+ さらに図２により本発明の隔壁の実施形態について説明
する。
3+あるいはＹＢＯ3：Ｅｕ3+ 緑色蛍光体：ＢａＡｌ12Ｏ19：ＭｎあるいはＺｎ2Ｓｉ
Ｏ4：Ｍｎ 青色蛍光体：ＢａＭｇＡｌ10Ｏ17：Ｅｕ2+ さらに図２により本発明の隔壁の実施形態について説明
する。
【００３４】図２には従来と本発明との隔壁形状の斜視
図を示している。図において図２−Ａは従来の隔壁形状
を示し、図２−Ｂは本発明の隔壁形状を示す。
図を示している。図において図２−Ａは従来の隔壁形状
を示し、図２−Ｂは本発明の隔壁形状を示す。
【００３５】従来の場合、隔壁２０ａ、２０ｂ、２０ｃ
はそれぞれに下部に設けられているアドレス電極２１
ａ、２１ｂと平行方向にストライプ状に形成されてお
り、アドレス電極はそれぞれ隔壁と隔壁間に設けられて
いる。またアドレス電極２１ａ、２１ｂ上には誘電体２
２が形成されている。このように、隔壁はストライプ状
であり、隔壁内面に蛍光体層が形成されているものであ
る（蛍光体は図示せず）。
はそれぞれに下部に設けられているアドレス電極２１
ａ、２１ｂと平行方向にストライプ状に形成されてお
り、アドレス電極はそれぞれ隔壁と隔壁間に設けられて
いる。またアドレス電極２１ａ、２１ｂ上には誘電体２
２が形成されている。このように、隔壁はストライプ状
であり、隔壁内面に蛍光体層が形成されているものであ
る（蛍光体は図示せず）。
【００３６】一方図２−Ｂの場合、図２−Ａに示す隔壁
２０ａ、２０ｂ、２０ｃ間に障壁２２ａ、２２ｂ、２２
ｃ、２２ｄが設けられている。これら障壁は、その高さ
が隔壁２０ａ、２０ｂ、２０ｃよりも低く形成されてお
り、その間隔は画面垂直方向の一画素に対応し、前述の
如く第一の絶縁基板に設けられた遮光層と対向する位置
に設けられている。
２０ａ、２０ｂ、２０ｃ間に障壁２２ａ、２２ｂ、２２
ｃ、２２ｄが設けられている。これら障壁は、その高さ
が隔壁２０ａ、２０ｂ、２０ｃよりも低く形成されてお
り、その間隔は画面垂直方向の一画素に対応し、前述の
如く第一の絶縁基板に設けられた遮光層と対向する位置
に設けられている。
【００３７】本発明では特に、障壁の高さが主隔壁より
も低い場合の、隔壁および障壁の形成方法について説明
する。
も低い場合の、隔壁および障壁の形成方法について説明
する。
【００３８】（第１の実施例）図３を参照して、本発明
の第１実施例にかかるプラズマディスプレイパネルの特
に隔壁の形成方法について説明する。
の第１実施例にかかるプラズマディスプレイパネルの特
に隔壁の形成方法について説明する。
【００３９】図３−Ａでは、プロセスのフローを示す。
まず、１）アドレス電極と誘電体層が形成されたガラス
基板２４上に隔壁および障壁材料となる厚膜のガラスペ
ースト２５が塗布され乾燥される。次に、２）耐サンド
ブラスト性を有するドライフィルム２６を上面にラミネ
ートし、図３−Ｂに示すように、フィルムの斜線領域２
７が開口するように露光・現像処理をし、フィルム上部
よりサンドブラスト装置２８によりガラスペースト２５
を切削除去する。３）この後フィルム２６を剥離するこ
とにより桟の高さが同一の井桁状の隔壁２９が形成され
る。４）次に、この井桁状の隔壁上部にドライフィルム
３０をラミネートし、図３−Ｃに示すような井桁隔壁の
一方向のみの隔壁上部が開口するように露光・現像し
（図３−Ｃでは非斜線部が開口部３１）、再度上部より
サンドブラスト装置２８によって所定量だけ切削する。
その後、５）ドライフィルムを剥離することにより、高
さが主隔壁より低い障壁３２が形成されるものである。
まず、１）アドレス電極と誘電体層が形成されたガラス
基板２４上に隔壁および障壁材料となる厚膜のガラスペ
ースト２５が塗布され乾燥される。次に、２）耐サンド
ブラスト性を有するドライフィルム２６を上面にラミネ
ートし、図３−Ｂに示すように、フィルムの斜線領域２
７が開口するように露光・現像処理をし、フィルム上部
よりサンドブラスト装置２８によりガラスペースト２５
を切削除去する。３）この後フィルム２６を剥離するこ
とにより桟の高さが同一の井桁状の隔壁２９が形成され
る。４）次に、この井桁状の隔壁上部にドライフィルム
３０をラミネートし、図３−Ｃに示すような井桁隔壁の
一方向のみの隔壁上部が開口するように露光・現像し
（図３−Ｃでは非斜線部が開口部３１）、再度上部より
サンドブラスト装置２８によって所定量だけ切削する。
その後、５）ドライフィルムを剥離することにより、高
さが主隔壁より低い障壁３２が形成されるものである。
【００４０】なお、図３−Ａは図３−ＢのＡ−Ａ断面図
である。
である。
【００４１】また図４は、このようにして形成した隔壁
の上面図であり、放電空間３２と主隔壁３３および障壁
３４が形成されている。また図５は図４のＡ−Ａ断面図
であるが、障壁３４は主隔壁３３よりも低く形成されて
おり、その差は主隔壁高さが１２０μｍの時、障壁の高
さは９０〜１１０μｍ程度であり、差として約１０〜３
０μｍの範囲である。
の上面図であり、放電空間３２と主隔壁３３および障壁
３４が形成されている。また図５は図４のＡ−Ａ断面図
であるが、障壁３４は主隔壁３３よりも低く形成されて
おり、その差は主隔壁高さが１２０μｍの時、障壁の高
さは９０〜１１０μｍ程度であり、差として約１０〜３
０μｍの範囲である。
【００４２】またこの時、２度目のサンドブラストを行
う前に、井桁状の隔壁基板を、本焼成温度よりも低い温
度で仮焼成すると、障壁部に発生するクラック等のない
基板を形成することが出来る。本実施例では、本焼成温
度を５５０℃で行い、仮焼成を４５０〜５００℃で行う
と欠陥の発生しない基板を形成することができた。
う前に、井桁状の隔壁基板を、本焼成温度よりも低い温
度で仮焼成すると、障壁部に発生するクラック等のない
基板を形成することが出来る。本実施例では、本焼成温
度を５５０℃で行い、仮焼成を４５０〜５００℃で行う
と欠陥の発生しない基板を形成することができた。
【００４３】（第２の実施例）図６を参照して、本発明
の第２の実施例にかかるプラズマディスプレイパネルの
特に隔壁の製造方法について説明する。図６にプロセス
のフローを示す。
の第２の実施例にかかるプラズマディスプレイパネルの
特に隔壁の製造方法について説明する。図６にプロセス
のフローを示す。
【００４４】まず、１）第一の実施例と同様にアドレス
電極と誘電体層が形成されたガラス基板３５上に隔壁お
よび障壁材料となる厚膜のガラスペースト３６が塗布さ
れ乾燥される。次に、２）難サンドブラスト性のペース
ト３７を図６−Ｂに示すようなパターンでガラスペース
ト上面にスクリーン印刷などで塗布する。その後、３）
耐サンドブラスト性のドライフィルム３８を上面にラミ
ネートし、露光・現像により図６−Ｃに示すようにフィ
ルム３８にスリット状のパターン３９を形成する。
電極と誘電体層が形成されたガラス基板３５上に隔壁お
よび障壁材料となる厚膜のガラスペースト３６が塗布さ
れ乾燥される。次に、２）難サンドブラスト性のペース
ト３７を図６−Ｂに示すようなパターンでガラスペース
ト上面にスクリーン印刷などで塗布する。その後、３）
耐サンドブラスト性のドライフィルム３８を上面にラミ
ネートし、露光・現像により図６−Ｃに示すようにフィ
ルム３８にスリット状のパターン３９を形成する。
【００４５】この時、パターン３９は図６−Ｂのパター
ンの斜線領域４０に位置合わせさせて形成する。４）そ
の上面より、サンドブラスト装置４１によりサンドブラ
スト処理を行う。この時、難サンドブラストペースト３
７によりパターン化された領域は、ペーストが切削量を
押さえ、結果としてその部分にそれ以外の領域よりも高
さの異なる障壁４２を形成できるものである。この時、
難サンドブラストペースト３７はブラスト終了時には切
削除去される。フィルム３８を剥離後の形状は５）に示
す形状となり、主隔壁４３とそれより高さの低い障壁４
２により囲まれた井桁形状の放電空間４４が形成される
ものである。
ンの斜線領域４０に位置合わせさせて形成する。４）そ
の上面より、サンドブラスト装置４１によりサンドブラ
スト処理を行う。この時、難サンドブラストペースト３
７によりパターン化された領域は、ペーストが切削量を
押さえ、結果としてその部分にそれ以外の領域よりも高
さの異なる障壁４２を形成できるものである。この時、
難サンドブラストペースト３７はブラスト終了時には切
削除去される。フィルム３８を剥離後の形状は５）に示
す形状となり、主隔壁４３とそれより高さの低い障壁４
２により囲まれた井桁形状の放電空間４４が形成される
ものである。
【００４６】この時難サンドブラスト性の材料として
は、樹脂成分を多くすることにより可能であるが、その
ほかに固形分比を変えたり、溶剤成分を変えることによ
っても可能である。
は、樹脂成分を多くすることにより可能であるが、その
ほかに固形分比を変えたり、溶剤成分を変えることによ
っても可能である。
【００４７】（第３の実施例）図７を参照して、本発明
の第３実施例にかかるプラズマディスプレイパネルの特
に隔壁の製造方法について説明する。図７にプロセスの
フローを示す。
の第３実施例にかかるプラズマディスプレイパネルの特
に隔壁の製造方法について説明する。図７にプロセスの
フローを示す。
【００４８】まず、１）第１の実施例と同様にアドレス
電極と誘電体層が形成されたガラス基板４５上に隔壁お
よび障壁材料となる厚膜の第一層目のガラスペースト層
４６を塗布し乾燥する。次に、２）耐サンドブラスト性
のペースト４７あるいは耐サンドブラストフィルムを図
７−Ｂに示すようなパターンでガラスペースト上面にス
クリーン印刷あるいはフォト法で形成する。その後、
３）その上に第２層目のガラスペースト層４８を形成し
乾燥させる。その後、４）その上面に耐サンドブラスト
性のドライフィルム４９を上面にラミネートし、露光・
現像により図７−Ｃに示すようにフィルム４９にスリッ
ト状のパターン開口部５０を形成する。この時、パター
ン５０は図７−Ｂのパターンの破線領域５１に位置合わ
せさせて形成する。５）その上面より、サンドブラスト
装置５２によりサンドブラスト処理を行う。この時、耐
サンドブラスト性のペースト４７あるいはフィルム４９
より下部の第１層目のペースト４６が切削されないた
め、全てのフィルムあるいはペーストを剥離後の形状は
６）に示す形状となり、主隔壁５３とそれより高さの低
い障壁５４により囲まれた井桁形状の放電空間５５が形
成されるものである。
電極と誘電体層が形成されたガラス基板４５上に隔壁お
よび障壁材料となる厚膜の第一層目のガラスペースト層
４６を塗布し乾燥する。次に、２）耐サンドブラスト性
のペースト４７あるいは耐サンドブラストフィルムを図
７−Ｂに示すようなパターンでガラスペースト上面にス
クリーン印刷あるいはフォト法で形成する。その後、
３）その上に第２層目のガラスペースト層４８を形成し
乾燥させる。その後、４）その上面に耐サンドブラスト
性のドライフィルム４９を上面にラミネートし、露光・
現像により図７−Ｃに示すようにフィルム４９にスリッ
ト状のパターン開口部５０を形成する。この時、パター
ン５０は図７−Ｂのパターンの破線領域５１に位置合わ
せさせて形成する。５）その上面より、サンドブラスト
装置５２によりサンドブラスト処理を行う。この時、耐
サンドブラスト性のペースト４７あるいはフィルム４９
より下部の第１層目のペースト４６が切削されないた
め、全てのフィルムあるいはペーストを剥離後の形状は
６）に示す形状となり、主隔壁５３とそれより高さの低
い障壁５４により囲まれた井桁形状の放電空間５５が形
成されるものである。
【００４９】（第４の実施例）図８を参照して、本発明
の第４実施例にかかるプラズマディスプレイパネルの特
に隔壁の製造方法について説明する。図８にプロセスの
フローを示す。
の第４実施例にかかるプラズマディスプレイパネルの特
に隔壁の製造方法について説明する。図８にプロセスの
フローを示す。
【００５０】まず、１）第一の実施例と同様にアドレス
電極と誘電体層が形成されたガラス基板５６上に隔壁お
よび障壁材料となる厚膜のガラスペースト層５７を塗布
し乾燥する。次に、２）耐サンドブラストフィルム５８
をペースト上面にラミネートし図８−Ｂに示すような矩
形状に開口したパターンを形成し、３）第１、第２、第
３の実施例と同様にサンドブラスト法によりガラスペー
ストを切削し、井桁形状の空間５９を形成する。その後
４）障壁となる部分を研磨砥石６０によって研磨し、そ
の高さを低減させ、障壁６１を形成する。
電極と誘電体層が形成されたガラス基板５６上に隔壁お
よび障壁材料となる厚膜のガラスペースト層５７を塗布
し乾燥する。次に、２）耐サンドブラストフィルム５８
をペースト上面にラミネートし図８−Ｂに示すような矩
形状に開口したパターンを形成し、３）第１、第２、第
３の実施例と同様にサンドブラスト法によりガラスペー
ストを切削し、井桁形状の空間５９を形成する。その後
４）障壁となる部分を研磨砥石６０によって研磨し、そ
の高さを低減させ、障壁６１を形成する。
【００５１】この時、研磨法でなく切削法により切削し
ても良い。また、これらの加工は乾燥状態あるいは焼成
後のいずれでも良いが、乾燥状態で加工する方が欠損の
少ない隔壁を形成するものであった。
ても良い。また、これらの加工は乾燥状態あるいは焼成
後のいずれでも良いが、乾燥状態で加工する方が欠損の
少ない隔壁を形成するものであった。
【００５２】また、研磨あるいは切削の代わりに、障壁
部分のみを加圧する型により加圧成型することも含まれ
る。
部分のみを加圧する型により加圧成型することも含まれ
る。
【００５３】以上のように、本発明により、隣接放電空
間との誤放電防止を隣接空間を仕切る障壁により行い、
なおかつ排気が確実に行えるように、その障壁高さを低
くし、さらに障壁側面にも蛍光体塗布が可能な井桁形状
を有したプラズマディスプレイパネルを得ることがで
き、その製造プロセスとして、確実、安価で品質良く形
成可能なものである。
間との誤放電防止を隣接空間を仕切る障壁により行い、
なおかつ排気が確実に行えるように、その障壁高さを低
くし、さらに障壁側面にも蛍光体塗布が可能な井桁形状
を有したプラズマディスプレイパネルを得ることがで
き、その製造プロセスとして、確実、安価で品質良く形
成可能なものである。
【００５４】
【発明の効果】上記のように、第１の発明においては、
枡形の隔壁を形成して桟部の障壁となる部分をさらにサ
ンドブラストによって高さを減じ、蛍光体発光面積の増
大と、パネル排気が可能な構造を確実に提供することが
出来るものである。
枡形の隔壁を形成して桟部の障壁となる部分をさらにサ
ンドブラストによって高さを減じ、蛍光体発光面積の増
大と、パネル排気が可能な構造を確実に提供することが
出来るものである。
【００５５】第２の発明によれば、第１の発明の如く、
サンドブラストを一回で行うことが出来、効率的に高さ
の異なる障壁を有したパネルを得ることが出来るもので
ある。
サンドブラストを一回で行うことが出来、効率的に高さ
の異なる障壁を有したパネルを得ることが出来るもので
ある。
【００５６】第３の発明によれば、障壁高さの制御を自
由に行うことが出来、確実に高さの異なる障壁を有した
パネルを得ることが出来るものでる。
由に行うことが出来、確実に高さの異なる障壁を有した
パネルを得ることが出来るものでる。
【００５７】第４、５の発明によれば、サンドブラスト
工程、焼成工程が一回で確実に行えるものである。
工程、焼成工程が一回で確実に行えるものである。
【００５８】また、第６の発明は、このようにして形成
したパネルであり、隣接放電空間との誤放電防止を隣接
空間を仕切る障壁により行い、なおかつ排気が確実に行
えるように、その障壁高さを低くし、さらに障壁側面に
も蛍光体塗布が可能な井桁形状を有しているため輝度が
高く、表示品質に優れたプラズマディスプレイパネルを
得ることができる。
したパネルであり、隣接放電空間との誤放電防止を隣接
空間を仕切る障壁により行い、なおかつ排気が確実に行
えるように、その障壁高さを低くし、さらに障壁側面に
も蛍光体塗布が可能な井桁形状を有しているため輝度が
高く、表示品質に優れたプラズマディスプレイパネルを
得ることができる。
【図１】本発明のプラズマディスプレイパネルの概略一
部断面斜視図
部断面斜視図
【図２】従来例と本発明の実施形態にかかる隔壁構造を
示す断面斜視図
示す断面斜視図
【図３】本発明の第１の実施例にかかる隔壁および障壁
の製造工程図
の製造工程図
【図４】本発明の実施形態にかかる隔壁および障壁の上
面図
面図
【図５】本発明の実施形態にかかる隔壁および障壁の断
面図
面図
【図６】本発明の第２の実施例にかかる隔壁および障壁
の製造工程図
の製造工程図
【図７】本発明の第３の実施例にかかる隔壁および障壁
の製造工程図
の製造工程図
【図８】本発明の第４の実施例にかかる隔壁および障壁
の製造工程図
の製造工程図
【図９】従来のプラズマディスプレイパネルの概略一部
断面斜視図
断面斜視図
１ 第一の絶縁基板
２ 誘電体層
３ 保護膜層
４ 走査電極
５ 維持電極
６ 遮光層
７ 第二の絶縁基板
８ 絶縁体層
９ データ電極
１０，２０，３３，４３，５３ 隔壁
１１ 蛍光体
１２ 放電空間
１３，２３，３２，３４，４２，５４，６１ 障壁
２４，３５，４５，５６ ガラス基板
２５，３６，４６，５７ ガラスペースト
２６，３０，３８，４９，５８ ドライフィルム
３７ 難サンドブラストペースト
２８，４１，５２ サンドブラスト装置
６０ 研磨砥石
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 上田 一
大阪府高槻市幸町１番１号 松下電子工
業株式会社内
(56)参考文献 特開2001−52616（ＪＰ，Ａ)
特開2001−93425（ＪＰ，Ａ)
特開2001−110305（ＪＰ，Ａ)
特開2001−118512（ＪＰ，Ａ)
特開2001−118513（ＪＰ，Ａ)
特開2001−118492（ＪＰ，Ａ)
特開2001−101969（ＪＰ，Ａ)
特開2000−123747（ＪＰ，Ａ)
特開2000−223034（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01J 9/02
H01J 11/02
Claims (9)
- 【請求項１】 ガラスペーストを塗布する工程と、ガラ
スペーストを乾燥する工程と、その上面にドライフィル
ムレジストを形成する工程と、ドライフィルムをパター
ニングする工程と、ドライフィルム上からサンドブラス
ト法によってガラスペーストを除去する工程により隔壁
及び隔壁よりも高さの低い障壁を形成するプラズマディ
スプレイパネルの製造方法であって、 サンドブラスト法により主隔壁と障壁よりなる略枡形形
状の放電空間を作成し、障壁部分の桟部を再度サンドブ
ラスト法により、所定高さまで除去して障壁とする工程
を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの
製造方法。 - 【請求項２】 本焼成温度よりも低い温度で仮焼成後、
障壁部分の桟部をサンドブラストすることを特徴とする
請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方
法。 - 【請求項３】 障壁を所定高さまでサンドブラスト法に
より除去するとき、主隔壁部頂部に耐ブラスト性ペース
トをスクリーン印刷法により塗布し、サンドブラストす
ることを特徴とする請求項１または２に記載のプラズマ
ディスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項４】 障壁を所定高さまでサンドブラスト法に
より除去するとき、主隔壁部頂部にドライフィルムレジ
ストを形成し、サンドブラストすることを特徴とする請
求項１または２に記載のプラズマディスプレイパネルの
製造方法。 - 【請求項５】 ガラスペーストを塗布する工程と、ガラ
スペーストを乾燥する工程と、その上面にドライフィル
ムレジストを形成する工程と、ドライフィルムをパター
ニングする工程と、ドライフィルム上からサンドブラス
ト法によってガラスペーストを除去する工程により隔壁
及び隔壁より高さの低い障壁を形成するプラズマディス
プレイパネルの製造方法であって、 ガラスペーストを塗布乾燥後に、障壁部形成領域に難サ
ンドブラスト性ペーストをパターン印刷し乾燥後、ドラ
イフィルムをラミネートし主隔壁部を形成すべくパター
ニング後サンドブラストし、主隔壁と障壁よりなる放電
空間を形成することを特徴とするプラズマディスプレイ
パネルの製造方法。 - 【請求項６】 難サンドブラスト性ペーストはガラスペ
ースト材料の樹脂成分の割合が多量であることを特徴と
する請求項５記載のプラズマディスプレイパネルの製造
方法。 - 【請求項７】 ガラスペーストを塗布する工程と、ガラ
スペーストを乾燥する工程と、その上面にドライフィル
ムレジストを形成する工程と、ドライフィルムをパター
ニングする工程と、ドライフィルム上からサンドブラス
ト法によってガラスペーストを除去する工程により隔壁
及び隔壁よりも高さの低い障壁を形成するプラズマディ
スプレイパネルの製造方法であって、 サンドブラストにより主隔壁と障壁とよりなる略枡形の
放電空間を作成し、障壁となる部分を加圧して高さを低
減する工程と、焼成工程とを含むことを特徴とするプラ
ズマディスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項８】 本焼成温度よりも低い温度で仮焼成後、
障壁部分を加圧することを特徴とする請求項７記載のプ
ラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項９】 ガラスペーストを塗布する工程と、ガラ
スペーストを乾燥する工程と、その上面にドライフィル
ムレジストを形成する工程と、ドライフィルムをパター
ニングする工程と、ドライフィルム上からサンドブラス
ト法によってガラスペーストを除去する工程により、隔
壁及び隔壁より高さの低い障壁を形成するプラズマディ
スプレイパネルの製造方法であって、 サンドブラスト法により主隔壁と障壁よりなる略枡形の
放電空間を形成し、障壁となる部分を研磨加工により除
去して高さを低減する工程と、焼成工程とを含むことを
特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000008882A JP3440907B2 (ja) | 2000-01-18 | 2000-01-18 | ディスプレイパネル及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000008882A JP3440907B2 (ja) | 2000-01-18 | 2000-01-18 | ディスプレイパネル及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001202876A JP2001202876A (ja) | 2001-07-27 |
| JP3440907B2 true JP3440907B2 (ja) | 2003-08-25 |
Family
ID=18537097
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000008882A Expired - Fee Related JP3440907B2 (ja) | 2000-01-18 | 2000-01-18 | ディスプレイパネル及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3440907B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100626001B1 (ko) * | 2004-05-03 | 2006-09-20 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널과, 이의 제조 방법 |
| US7554270B2 (en) | 2004-05-17 | 2009-06-30 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Composition for dielectric of plasma display panel, laminate for dielectric, and method for forming the dielectric |
| KR100692095B1 (ko) * | 2005-02-04 | 2007-03-12 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽, 플라즈마 디스플레이 패널 및 그의 제조방법 |
| JP4856478B2 (ja) * | 2006-06-13 | 2012-01-18 | 日本放送協会 | マトリクス型ディスプレイ駆動装置、それを用いた電界放出型ディスプレイ、およびプラズマディスプレイパネル |
-
2000
- 2000-01-18 JP JP2000008882A patent/JP3440907B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JP2001202876A (ja) | 2001-07-27 |
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