JP2001202876A - ディスプレイパネル及びその製造方法 - Google Patents
ディスプレイパネル及びその製造方法Info
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Abstract
スプレイでは隣接放電空間との誤放電や高精細化に伴う
輝度低下があった。 【解決手段】 誘電体層および保護膜層で覆われた走査
電極と維持電極と遮光層を少なくとも配した第1の絶縁
基板と、絶縁体層で覆われた複数のデータ電極と前記絶
縁体層上に複数の隔壁を配した第二の絶縁基板とを、放
電空間をはさんで対向配置してなるプラズマディスプレ
イパネルの、遮光層に対向する位置に、第二の絶縁基板
上の前記絶縁基板上の隔壁間に隔壁よりも高さの低い障
壁を設けたパネルとすることを特徴とする。
Description
に用いるプラズマディスプレイパネルに関するもので、
特にプラズマディスプレイパネルの隔壁層を形成する方
法に関するものである。
成の一実施例としての一部斜視図を図9に示す。
電体層2および保護膜層3で覆われた複数の走査電極4
と維持電極5とを対を成して平行に付設するとともに、
対を成す走査電極4と維持電極5のそれぞれの対間に遮
光層6を付設されている。
れた複数のデータ電極9を付設し、さらに前記データ電
極9間の前記絶縁体層8上に前記データ電極9と平行し
て複数の隔壁を付設し、この隔壁10間の隔壁側面およ
び前記絶縁体層8の表面には蛍光体層11が付設され、
前記複数の対を成す走査電極4および維持電極5と前記
データ電極9とが直交するように前記第一の絶縁基板1
と第2の絶縁基板7が放電空間12をはさんで対向して
配置されている。
れ透明電極4aおよびこれに重なって電気的に接続され
た母線4b、5bを銀等の低抵抗材料で形成することに
より、走査電極4および維持電極5の電極としての抵抗
値を小さくするようにしている。
対とデータ電極9の一つとの交点に対応する放電空間1
2の領域は一つの放電セルを構成する。
リウム、ネオン、アルゴン、キセノンなどの一種または
混合ガスが封入されている。
プ状であり、主としてサンドブラスト法やリフトオフ法
あるいはスクリーン印刷の重ね刷りなどの方法によって
形成されていた。
従来のパネルでは、高精細化を実現するためにパネル電
極数を増やす場合、すなわち、第一の絶縁基板1上に走
査電極4と維持電極5および第2の絶縁基板7上に設け
たデータ電極9の本数を増やし、隔壁10間の間隔を小
さくして放電空間を12の領域を小さくして行った場合
に、次のような課題が発生するものであった。
で発生する放電が、隣接の走査電極間で発生し、誤放電
として表示品質を低下させる。
が狭くなるので、維持放電が弱くなることと、放電空間
の減少により、発光輝度が弱くなるものである。
光体形成形状の改善、封入ガス組成やその分圧の最適化
などの積み重ね、さらには、駆動回路上の改善などによ
って徐々に輝度が向上してきているが、現状の隔壁スト
ライプ構造の発光面積の制約や発光効率の観点から、現
状構造では限界がある。
めに、誘電体層および保護膜層で覆われた複数の対を成
す走査電極と維持電極とのそれぞれの対間に遮光層を少
なくとも配した第1の絶縁基板と、絶縁体層で覆われた
複数のデータ電極と前記絶縁体層上に複数の隔壁と少な
くとも隔壁間に蛍光体層を配した第二の絶縁基板とを、
放電空間をはさんで対向配置してなるプラズマディスプ
レイパネルであって、前記第一の絶縁基板の前記遮光層
に対向する位置に、前記第二の絶縁基板上の前記絶縁基
板上の隔壁間に隔壁よりも高さの低い障壁を設けたパネ
ル構造とする。
は、ガラスペーストを塗布する工程と、ガラスペースト
を乾燥する工程と、その上面にドライフィルムレジスト
を形成する工程と、ドライフィルムをパターニングする
工程と、ドライフィルム上からサンドブラスト法によっ
てガラスペーストを除去し、隔壁を形成するプラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法であって、サンドブラスト
により主隔壁と障壁とよりなる略枡形形状の放電空間を
作成し、障壁部分の桟部を再度サンドブラスト法によ
り、所定高さまで除去して障壁とする工程とを含むこと
を特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法で
ある。
形の隔壁を形成して桟部の障壁となる部分をさらにサン
ドブラストによって高さを減じることにより、蛍光体発
光面積の増大と、パネル排気が可能な構造を確実に提供
することが出来るものである。
工程と、ガラスペーストを乾燥する工程と、その上面に
ドライフィルムレジストを形成する工程と、ドライフィ
ルムをパターニングする工程と、ドライフィルム上から
サンドブラスト法によってガラスペーストを除去し、隔
壁を形成するプラズマディスプレイの製造方法であっ
て、ガラスペーストを塗布乾燥後に、障壁部形成領域に
難サンドブラスト性ペーストをパターン印刷し乾燥後、
ドライフィルムをラミネートし主隔壁部を形成すべくパ
ターニング後サンドブラストし、主隔壁と障壁よりなる
放電空間を形成することを特徴とするプラズマディスプ
レイパネルの製造方法である。
明の如く、サンドブラストを一回で行うことが出来、効
率的に高さの異なる障壁を有したパネルを得ることが出
来るものである。
まで塗布し、乾燥する工程と、障壁部形成領域に耐サン
ドブラストペーストあるいはドライフィルムをパターニ
ングする工程と、その上に更にガラスペーストを所定高
さまで塗布し乾燥する工程と、ドライフィルムをラミネ
ートし主隔壁部を形成すべくパターニング後サンドブラ
ストし、主隔壁と障壁よりなる放電空間を形成すること
を特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法で
ある。
の制御を自由に行うことができ、確実に高さの異なる障
壁を有したパネルを得ることが出来るものでる。
する工程と、ガラスペーストを乾燥する工程と、その上
面にドライフィルムレジストを形成する工程と、ドライ
フィルムをパターニングする工程と、ドライフィルム上
からサンドブラスト法によってガラスペーストを除去
し、隔壁を形成するプラズマディスプレイの製造方法で
あって、サンドブラストにより主隔壁と障壁とよりなる
略枡形の放電空間を作成し、障壁となる部分を加圧ある
いは研磨、切削してして高さを低減する工程と、焼成工
程とを含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネ
ルの製造方法である。
ラスト工程、焼成工程が一回で確実に行えるものであ
る。
したパネルそのものであり、隣接放電空間との誤放電防
止を隣接空間を仕切る障壁により行い、なおかつ排気が
確実に行えるように、その障壁高さを低くし、さらに障
壁側面にも蛍光体塗布が可能な井桁形状を有しているた
め輝度が高く、表示品質に優れたプラズマディスプレイ
パネルを得ることができる。
て説明する。
に、その概略断面一部斜視図を示す。
誘電体層2および保護層3で覆われた複数の走査電極4
と維持電極5とを対を成して平行に付設するとともに、
対を成す走査電極4と維持電極5とのそれぞれの対間に
遮光層6を付設されている。
れた複数のデータ電極9を付設し、さらに前記データ電
極9間の前記絶縁体層8上に、前記データ電極9と平行
して複数の隔壁10を付設し、前記第一の絶縁基板1の
前記遮光層6に対向する位置に、前記第二の絶縁基板上
の隔壁間に障壁13を付設しているとともに、この隔壁
10間の隔壁側面と障壁13の側面および絶縁体層8の
表面に蛍光体層11を設けている。
前記複数の対を成す走査電極4および維持電極5と前記
データ電極9とが直交するように放電空間12をはさん
で対向して配置されている。
極5の一対とデータ電極9の一つとの交点に対応する放
電空間12の領域は一つの放電セルを構成する。また放
電空間12には放電ガスとしてヘリウム、ネオン、アル
ゴン、キセノンの内の一種または混合ガスが封入されて
いる。
絶縁基板1上の維持電極4と走査電極5とのあいだの遮
光層6に対向する位置に、第二の絶縁基板7上の絶縁体
層8上の隔壁10間に障壁13が設けられていることで
ある。
と障壁13の製造方法にかかるものであり、この第二の
絶縁基板を背面パネルとし、この背面パネルの作成の実
施例について述べる。
セスで作成する。
板上にスクリーン印刷法などによって銀などデータ電極
9を形成し、ガラス誘電体を印刷法によって形成して絶
縁体層8とし、その上に厚膜印刷とサンドブラスト法な
どによって絶縁性の隔壁10を所定のピッチで形成し、
更に隔壁10によって挟まれた各空間に印刷法などによ
って赤色蛍光体、緑色蛍光体、青色蛍光体による蛍光体
層11を形成することにより作製する。またこの時、蛍
光体粉末としては次のようなものが使われる。
3+あるいはYBO3:Eu3+ 緑色蛍光体:BaAl12O19:MnあるいはZn2Si
O4:Mn 青色蛍光体:BaMgAl10O17:Eu2+ さらに図2により本発明の隔壁の実施形態について説明
する。
図を示している。図において図2−Aは従来の隔壁形状
を示し、図2−Bは本発明の隔壁形状を示す。
はそれぞれに下部に設けられているアドレス電極21
a、21bと平行方向にストライプ状に形成されてお
り、アドレス電極はそれぞれ隔壁と隔壁間に設けられて
いる。またアドレス電極21a、21b上には誘電体2
2が形成されている。このように、隔壁はストライプ状
であり、隔壁内面に蛍光体層が形成されているものであ
る(蛍光体は図示せず)。
20a、20b、20c間に障壁22a、22b、22
c、22dが設けられている。これら障壁は、その高さ
が隔壁20a、20b、20cよりも低く形成されてお
り、その間隔は画面垂直方向の一画素に対応し、前述の
如く第一の絶縁基板に設けられた遮光層と対向する位置
に設けられている。
も低い場合の、隔壁および障壁の形成方法について説明
する。
の第1実施例にかかるプラズマディスプレイパネルの特
に隔壁の形成方法について説明する。
まず、1)アドレス電極と誘電体層が形成されたガラス
基板24上に隔壁および障壁材料となる厚膜のガラスペ
ースト25が塗布され乾燥される。次に、2)耐サンド
ブラスト性を有するドライフィルム26を上面にラミネ
ートし、図3−Bに示すように、フィルムの斜線領域2
7が開口するように露光・現像処理をし、フィルム上部
よりサンドブラスト装置28によりガラスペースト25
を切削除去する。3)この後フィルム26を剥離するこ
とにより桟の高さが同一の井桁状の隔壁29が形成され
る。4)次に、この井桁状の隔壁上部にドライフィルム
30をラミネートし、図3−Cに示すような井桁隔壁の
一方向のみの隔壁上部が開口するように露光・現像し
(図3−Cでは非斜線部が開口部31)、再度上部より
サンドブラスト装置28によって所定量だけ切削する。
その後、5)ドライフィルムを剥離することにより、高
さが主隔壁より低い障壁32が形成されるものである。
である。
の上面図であり、放電空間32と主隔壁33および障壁
34が形成されている。また図5は図4のA−A断面図
であるが、障壁34は主隔壁33よりも低く形成されて
おり、その差は主隔壁高さが120μmの時、障壁の高
さは90〜110μm程度であり、差として約10〜3
0μmの範囲である。
う前に、井桁状の隔壁基板を、本焼成温度よりも低い温
度で仮焼成すると、障壁部に発生するクラック等のない
基板を形成することが出来る。本実施例では、本焼成温
度を550℃で行い、仮焼成を450〜500℃で行う
と欠陥の発生しない基板を形成することができた。
の第2の実施例にかかるプラズマディスプレイパネルの
特に隔壁の製造方法について説明する。図6にプロセス
のフローを示す。
電極と誘電体層が形成されたガラス基板35上に隔壁お
よび障壁材料となる厚膜のガラスペースト36が塗布さ
れ乾燥される。次に、2)難サンドブラスト性のペース
ト37を図6−Bに示すようなパターンでガラスペース
ト上面にスクリーン印刷などで塗布する。その後、3)
耐サンドブラスト性のドライフィルム38を上面にラミ
ネートし、露光・現像により図6−Cに示すようにフィ
ルム38にスリット状のパターン39を形成する。
ンの斜線領域40に位置合わせさせて形成する。4)そ
の上面より、サンドブラスト装置41によりサンドブラ
スト処理を行う。この時、難サンドブラストペースト3
7によりパターン化された領域は、ペーストが切削量を
押さえ、結果としてその部分にそれ以外の領域よりも高
さの異なる障壁42を形成できるものである。この時、
難サンドブラストペースト37はブラスト終了時には切
削除去される。フィルム38を剥離後の形状は5)に示
す形状となり、主隔壁43とそれより高さの低い障壁4
2により囲まれた井桁形状の放電空間44が形成される
ものである。
は、樹脂成分を多くすることにより可能であるが、その
ほかに固形分比を変えたり、溶剤成分を変えることによ
っても可能である。
の第3実施例にかかるプラズマディスプレイパネルの特
に隔壁の製造方法について説明する。図7にプロセスの
フローを示す。
電極と誘電体層が形成されたガラス基板45上に隔壁お
よび障壁材料となる厚膜の第一層目のガラスペースト層
46を塗布し乾燥する。次に、2)耐サンドブラスト性
のペースト47あるいは耐サンドブラストフィルムを図
7−Bに示すようなパターンでガラスペースト上面にス
クリーン印刷あるいはフォト法で形成する。その後、
3)その上に第2層目のガラスペースト層48を形成し
乾燥させる。その後、4)その上面に耐サンドブラスト
性のドライフィルム49を上面にラミネートし、露光・
現像により図7−Cに示すようにフィルム49にスリッ
ト状のパターン開口部50を形成する。この時、パター
ン50は図7−Bのパターンの破線領域51に位置合わ
せさせて形成する。5)その上面より、サンドブラスト
装置52によりサンドブラスト処理を行う。この時、耐
サンドブラスト性のペースト47あるいはフィルム49
より下部の第1層目のペースト46が切削されないた
め、全てのフィルムあるいはペーストを剥離後の形状は
6)に示す形状となり、主隔壁53とそれより高さの低
い障壁54により囲まれた井桁形状の放電空間55が形
成されるものである。
の第4実施例にかかるプラズマディスプレイパネルの特
に隔壁の製造方法について説明する。図8にプロセスの
フローを示す。
電極と誘電体層が形成されたガラス基板56上に隔壁お
よび障壁材料となる厚膜のガラスペースト層57を塗布
し乾燥する。次に、2)耐サンドブラストフィルム58
をペースト上面にラミネートし図8−Bに示すような矩
形状に開口したパターンを形成し、3)第1、第2、第
3の実施例と同様にサンドブラスト法によりガラスペー
ストを切削し、井桁形状の空間59を形成する。その後
4)障壁となる部分を研磨砥石60によって研磨し、そ
の高さを低減させ、障壁61を形成する。
ても良い。また、これらの加工は乾燥状態あるいは焼成
後のいずれでも良いが、乾燥状態で加工する方が欠損の
少ない隔壁を形成するものであった。
部分のみを加圧する型により加圧成型することも含まれ
る。
間との誤放電防止を隣接空間を仕切る障壁により行い、
なおかつ排気が確実に行えるように、その障壁高さを低
くし、さらに障壁側面にも蛍光体塗布が可能な井桁形状
を有したプラズマディスプレイパネルを得ることがで
き、その製造プロセスとして、確実、安価で品質良く形
成可能なものである。
枡形の隔壁を形成して桟部の障壁となる部分をさらにサ
ンドブラストによって高さを減じ、蛍光体発光面積の増
大と、パネル排気が可能な構造を確実に提供することが
出来るものである。
サンドブラストを一回で行うことが出来、効率的に高さ
の異なる障壁を有したパネルを得ることが出来るもので
ある。
由に行うことが出来、確実に高さの異なる障壁を有した
パネルを得ることが出来るものでる。
工程、焼成工程が一回で確実に行えるものである。
したパネルであり、隣接放電空間との誤放電防止を隣接
空間を仕切る障壁により行い、なおかつ排気が確実に行
えるように、その障壁高さを低くし、さらに障壁側面に
も蛍光体塗布が可能な井桁形状を有しているため輝度が
高く、表示品質に優れたプラズマディスプレイパネルを
得ることができる。
部断面斜視図
示す断面斜視図
の製造工程図
面図
面図
の製造工程図
の製造工程図
の製造工程図
断面斜視図
Claims (12)
- 【請求項1】ガラスペーストを塗布する工程と、ガラス
ペーストを乾燥する工程と、その上面にドライフィルム
レジストを形成する工程と、ドライフィルムをパターニ
ングする工程と、ドライフィルム上からサンドブラスト
法によってガラスペーストを除去する工程により隔壁を
形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であっ
て、サンドブラスト法により主隔壁と障壁よりなる略枡
形形状の放電空間を作成し、障壁部分の桟部を再度サン
ドブラスト法により、所定高さまで除去して障壁とする
工程を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネ
ルの製造方法。 - 【請求項2】本焼成温度よりも低い温度で仮焼成後、障
壁部分の桟部をサンドブラストすることを特徴とする請
求項1記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項3】障壁を所定高さまでサンドブラスト法によ
り除去するとき、主隔壁部頂部に耐ブラスト性ペースト
をスクリーン印刷法により塗布し、サンドブラストする
ことを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項4】障壁を所定高さまでサンドブラスト法によ
り除去するとき、主隔壁部頂部にドライフィルムレジス
トを形成し、サンドブラストすることを特徴とする請求
項1または2に記載のプラズマディスプレイパネルの製
造方法。 - 【請求項5】ガラスペーストを塗布する工程と、ガラス
ペーストを乾燥する工程と、その上面にドライフィルム
レジストを形成する工程と、ドライフィルムをパターニ
ングする工程と、ドライフィルム上からサンドブラスト
法によってガラスペーストを除去する工程により隔壁を
形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であっ
て、ガラスペーストを塗布乾燥後に、障壁部形成領域に
難サンドブラスト性ペーストをパターン印刷し乾燥後、
ドライフィルムをラミネートし主隔壁部を形成すべくパ
ターニング後サンドブラストし、主隔壁と障壁よりなる
放電空間を形成することを特徴とするプラズマディスプ
レイパネルの製造方法。 - 【請求項6】難サンドブラスト性ペーストはガラスペー
スト材料の樹脂成分の割合が多量であることを特徴とす
る請求項5記載のプラズマディスプレイパネルの製造方
法。 - 【請求項7】ガラスペーストを所定高さまで塗布し乾燥
する工程と、障壁部形成領域に耐サンドブラストペース
トあるいはドライフィルムをパターニングする工程と、
更にガラスペーストを所定高さまで塗布し乾燥する工程
と、ドライフィルムをラミネートし主隔壁部を形成すべ
くパターニング後サンドブラストする工程を有し、主隔
壁と障壁よりなる放電空間を形成することを特徴とする
プラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項8】耐サンドブラストペーストあるいはドライ
フィルムは最終工程の焼成時に焼成可能な成分組成であ
ることを特徴とする請求項7記載のプラズマディスプレ
イパネルの製造方法。 - 【請求項9】ガラスペーストを塗布する工程と、ガラス
ペーストを乾燥する工程と、その上面にドライフィルム
レジストを形成する工程と、ドライフィルムをパターニ
ングする工程と、ドライフィルム上からサンドブラスト
法によってガラスペーストを除去する工程により隔壁を
形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であっ
て、サンドブラストにより主隔壁と障壁とよりなる略枡
形の放電空間を作成し、障壁となる部分を加圧して高さ
を低減する工程と、焼成工程とを含むことを特徴とする
プラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項10】本焼成温度よりも低い温度で仮焼成後、
障壁部分を加圧することを特徴とする請求項9記載のプ
ラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項11】ガラスペーストを塗布する工程と、ガラ
スペーストを乾燥する工程と、その上面にドライフィル
ムレジストを形成する工程と、ドライフィルムをパター
ニングする工程と、ドライフィルム上からサンドブラス
ト法によってガラスペーストを除去する工程により、隔
壁を形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法で
あって、サンドブラスト法により主隔壁障壁と障壁より
なる略枡形の放電空間を形成し、障壁となる部分を研磨
加工により除去して高さを低減する工程と、焼成工程と
を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの
製造方法。 - 【請求項12】誘電体層および保護膜層で覆われた複数
の対を成す走査電極と維持電極とのそれぞれの対間に遮
光層を少なくとも配した第一の絶縁基板と、絶縁体層で
覆われた複数のデータ電極と前記絶縁体層上に設けた複
数の隔壁と、少なくとも隔壁間に蛍光体層を配した第二
の絶縁基板とを、放電空間をはさんで対向配置してなる
プラズマディスプレイパネルであって、前記第二の絶縁
基板上の前記絶縁体層上の隔壁間に障壁を設け、前記障
壁は前記第一の絶縁基板の前記遮光層に対向し、かつ前
記障壁の高さが前記隔壁の高さよりも低いこと特徴とす
るプラズマディスプレイパネル。
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---|---|---|---|
JP2000008882A JP3440907B2 (ja) | 2000-01-18 | 2000-01-18 | ディスプレイパネル及びその製造方法 |
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EP1596413A1 (en) * | 2004-05-03 | 2005-11-16 | Samsung SDI Co., Ltd. | Plasma display panel and method of fabricating the same |
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