KR100589310B1 - 플라즈마 디스플레이 및 그 제조 방법 - Google Patents

Abstract

표시부에 이용되는 2중 구조의 전극을 세선(細線)화, 박후(薄厚)화 할 수 있고 전극의 개구율을 높일 수 있으며, 방전셀의 휘도를 향상시킬 수 있도록 하기 위하여, 대향 배치되는 한 쌍의 유리 기판 중, 전면 측 유리 기판의 표면에 사다리형이면서 얇은 두께의 본체 전극과 길이 및 두께가 충분히 확보된 모선 전극으로 일체화된 전극이 복수로 오프셋 인쇄에 의하여 서로 평행하게 형성되고, 배면 측 유리 기판의 표면에 상기 전극에 직교하는 제2 전극이 복수로 서로 평행하게 형성되고, 상기 제2 전극 사이에 방전셀이 되는 오목부가 형성된다.

방전셀, 본체전극, 모선전극, 플라즈마, 사다리

Description

플라즈마 디스플레이 및 그 제조 방법 {PLASMA DISPLAY AND METHODE OF MANUFACTURING THE SAME}

도 1은 본 발명의 제 1 실시예의 플라스마 디스플레이의 전면 측 전극 구조를 나타내는 평면도이다.

도 2는 도 1의 A-A 선에 따른 단면도이다.

도 3은 본 발명의 제 1 실시예의 플라스마 디스플레이의 전극을 제조할 때 이용되는 오프셋 인쇄장치를 나타내는 측면도이다.

도 4는 본 발명의 제 1 실시예의 플라스마 디스플레이의 전극을 제조할 때에 이용되는 요판을 나타내는 평면도이다.

도 5는 도 4의 B-B 선에 따른 단면도이다.

도 6a 내지 도 6d는 본 발명의 제 1 실시예의 플라스마 디스플레이의 전극을 제조할 때에 이용되는 요판의 제조 방법을 나타내는 과정도면이다.

도 7은 본 발명의 제 2 실시예의 플라스마 디스플레이의 전면 측 전극의 구조를 나타내는 평면도이다.

도 8은 본 발명의 제 3 실시예의 플라스마 디스플레이의 전면 측 전극의 구조를 나타내는 평면도이다.

도 9는 도 8의 C-C 선에 따른 단면도이다.

도 10은 본 발명의 제 3 실시예의 플라스마 디스플레이의 전극을 제조할 때에 이용되는 본체 전극의 오프셋 인쇄용 요판을 나타내는 평면도이다.

도 11은 도 10의 D-D 선에 따른 단면도이다.

도 12는 본 발명의 제 3 실시예의 플라스마 디스플레이의 전극을 제조할 때에 이용되는 모선 전극의 오프셋 인쇄용 요판을 나타내는 단면도이다.

도 13은 종래의 AC형 플라스마 디스플레이의 일예를 나타내는 분해 사시도이다.

도 14는 종래의 AC형 플라스마 디스플레이의 전면 측 전극 구조의 일예를 나타내는 평면도이다.

도 15는 종래의 AC형 플라스마 디스플레이의 전면 측 전극 구조의 일예를 나타내는 측면도이다.

도 16은 종래의 AC형 플라스마 디스플레이의 전면 측 전극 구조의 다른 예를 나타내는 평면도이다.

도 17은 종래의 AC형 플라스마 디스플레이의 전면 측 전극 구조의 다른 예를 나타내는 측면도이다.

본 발명은 플라즈마 디스플레이 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게 말하자면, 플라즈마 디스플레이의 표시부에 사용되는 2중 구조의 전극을 세 선화, 박후화하여 상기 전극의 개구율을 높이고, 방전 개시 전압을 높이지 않으면서 방전셀의 휘도를 향상시킴과 아울러 상기 전극을 간단한 설비로 용이하고 또한 저가로 제작하여 제조비용의 저감을 가능하게 한 플라즈마 디스플레이 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

근래, 하이비전용 대화면, 고화질의 표시 디바이스로서 플라즈마 디스플레이(PDP)가 주목되어 있다.

이 플라즈마 디스플레이는 자연스러운 계조(階調)표시를 얻을 수 있고, 색 재현성, 응답성이 양호하며 비교적 저가로 대형화 할 수 있는 여러 가지 특징을 가지고 있다.

도 13은 종래의 AC형 플라즈마 디스플레이(AC-PDP)를 나타내는 분해 사시도이고, 도 14는 이 플라즈마 디스플레이의 전면 측 전극의 구조를 나타내는 평면도이고, 도 15는 이 플라즈마 디스플레이의 전면 측 전극의 구조를 나타내는 측면도이다.

상기 플라즈마 디스플레이는 2매의 유리 기판(투명기판;1,2)이 서로 대향 배치되고, 유리 기판(2)에 대향하는 전면 측 유리 기판(1)의 일측면에는 스트라이프형의 복수 투명전극(3,3,…)이 서로 평행하게 형성되고, 각 투명전극(3)에는 이 투명전극(3)보다 폭이 좁은 버스(모선)전극(4)이 그 길이 방향으로 형성되며, 이들 각 투명전극(3) 및 버스전극(4)은 투명한 유전체층(5)으로 덮어지고, 또 이 유전체층(5) 위에 산화마그네슘(MgO) 등으로 이루어지는 투명한 보호막(6)이 형성되어 있다.

한편, 상기 유리 기판(1)에 대향하는 배면 측 유리 기판(2)의 일측면에는 상기한 투명전극(3,3,…)에 직교하도록 스트라이프형의 어드레스전극(7, 7)이 복수로 형성되고, 이들 어드레스전극(7,7)은 반사율이 높은 유전체층(8)으로 덮어지며, 이 유전체층(8) 상에는 상기 어드레스전극(7,7)과 평행하면서 이들 어드레스전극(7,7) 사이에 위치하는 복수의 격벽(9,9)이 형성되어, 이들 격벽(9,9)에 의하여 가스방전 공간인 홈형의 방전셀(10,10)이 형성되는 바, 이들 방전셀(10,10)의 내측에는 3원색 R,G,B(적,녹,청)에 대응하는 형광체(11,11)가 형성되어 있다.

그리고, 상기 유리 기판(1,2)을 서로 대향시켜 각 방전셀(10,10)의 내부에 147㎚의 Xe 공명 방사광을 이용하는 Ne-Xe, He-Xe 등의 혼합가스를 봉입한 상태에서 주위를 시일 글라스 등으로 봉착한 구성으로 되어 있다.

상기 투명전극(3)은 ITO(Indium Tin 0xide), SnO₂ 등의 투명도전 재료로 구성되어 있다.

상기 버스전극(4)은 시트 저항이 높은 상기 투명전극(3)의 저항치를 내리기 위하여 설치된 것으로서, 투명전극(3)보다 시트 저항이 작은 재료, 예를 들면, Ag, Cr-Cu-Cr의 적층체 등이 이용된다.

이 플라즈마 디스플레이에서 투명전극(3,3), 버스전극(4,4) 및 어드레스전극(7,7)은 각각 외부에 인출되어 있고, 이들에 접속된 단자에 선택적으로 전압을 인가하므로 선택적으로 방전셀(10,10) 내의 각 전극(3,4)과 전극(7) 사이에 방전을 발생시켜, 이 방전에 의하여 방전셀(10,10) 내의 형광체(11,11)로부터 여기광을 외부에 표시하도록 되어 있다. 이 때의 발광면은 방전셀(10,10)에 면한 형광체(11,11)의 표면부분이 된다.

다음으로 상기 플라즈마 디스플레이의 제조 방법에 대하여 설명하도록 한다.

먼저, 증착법, 스퍼터법 등의 박막 형성기술을 이용하여 평판형 유리 기판(1)의 일측면 전면에 ITO, SnO₂ 등의 도전 재료를 성막하고, 이 도전 재료를 포토리소그래피로 패턴화하여 스트라이프형의 투명전극(3,3)을 형성한다. 이어서, 이 투명전극(3,3) 상에 Ag 막 또는 Cr-Cu-Cr 적층체로 이루어지는 버스전극(4)을 형성한다.

상기에서 Ag 막의 경우에는 스크린 인쇄법 등으로 Ag를 주성분으로 하는 도전 페이스트를 도포하고, 그 후 소정의 온도로 소성하는 것으로 이루고, Cr-Cu-Cr 적층체의 경우에는 증착법, 스퍼터법 등의 박막 형성 기술로 Cr, Cu, Cr 을 순차적으로 적층하고, 그 후 포토리소그래피로 패턴화하는 것으로 이룬다.

이어서, 이들 투명전극(3,3) 및 버스전극(4,4)이 형성된 유리 기판(1) 상에 유전체 재료를 도포하고, 그 후 소정의 온도로 소성하여 투명한 유전체층(5)을 형성한다. 또한, 이 유전체층(5) 상에 MgO 등을 주성분으로 하는 보호막 재료를 도포하고, 그 후 소정의 온도로 소성하여 투명한 보호막(6)을 형성한다.

또, 다른 평판형의 유리 기판(2)의 일측면에 스크린 인쇄법 등으로 Ag를 주성분으로 하는 도전 페이스트를 도포하고, 그 후 소정의 온도로 소성하여 상기 투명전극(3,3)에 직교하는 스트라이프형의 어드레스전극(7,7)을 형성한다.

이어서, 어드레스전극(7,7) 및 유리 기판(2) 전면에 반사율이 높은 유전체 재료를 도포하고, 그 후 소정의 온도로 소성하여 반사율이 높은 유전체층(8)을 형 성하고, 스크린 인쇄법 또는 롤 코터법 등을 이용하여 상기 유전체층(8)의 전면에 격벽 재료를 도포하고, 그 후, 건조시킨다. 이어서, 상기 격벽 재료 상에 드라이 필름 레지스트(DFR) 등의 포토레지스트로 패턴을 형성하고, 그 후, 샌드 브레스트법 등으로 패턴 이외 부분의 격벽 재료를 제거하여, 소정의 온도로 소성함으로써 유전체층(8) 상의 어드레스전극(7,7) 사이에 위치하는 소정의 형상의 격벽(9,9)을 형성한다.

여기서, 상기 유전체 재료는 소성에 의하여 격벽(9,9)보다 경도가 높아지는 등, 샌드 브레스트법으로는 절삭되기 어려운 재료로 되어 있다.

또, 상기 격벽 재료는 도포 건조 후의 형상 유지를 위한 바인더인 유기물을 될 수 있는 한 적게 하는 등, 샌드 브레스트법에 의해 절삭되기 쉬운 재료로 되어 있다.

따라서, 상기와 같이 형성되는 격벽(9,9)에 의하여 가스방전 공간인 홈형의 방전셀(10,10)이 형성된다.

이어서, 스크린 인쇄법 등을 이용하여 상기 방전셀(10,10)의 내측에 3원색 R,G,B(적,녹,청)에 대응하는 페이스트형의 형광체 재료를 도포하고, 그 후 건조 소성함으로써 이 형광체 재료에 포함되는 용제나 유기바인더 등이 날아가고 고화되어 형광체(11,11)가 형성된다.

그 후, 이들 유리 기판(1,2)을 대향 배치하여 유리 기판(1,2)을 서로 맞붙이고, 각 방전셀(10,10)의 내부에 Ne-Xe, He-Xe 등의 혼합가스를 봉입하여, 주위를 시일 글라스 등으로 봉착한다.

이상의 단계를 거쳐 소정의 특성을 가지는 플라즈마 디스플레이를 제조할 수 있다.

한편, 상기한 제조 단계에서 상술한 샌드 브레스트법은, 패턴이 형성된 격벽 재료 상에 입경이 20㎛에서 30㎛ 정도의 유리 비드, 탄화 칼슘 등의 분체를 내뿜음으로서 패턴이 형성된 부분의 격벽 재료를 남기는 동시에 패턴이 형성되어 있지 않은 부분의 격벽 재료를 깎아내는 방법이다.

이 샌드 브레스트법으로는 격벽 재료 상에 형성된 패턴화된 DFR 등에 의하여 패턴 아래의 격벽 재료가 절삭되지 않기 때문에 패턴이 형성되어 있는 부분의 격벽 재료가 남는다.

또, 패턴 밑 이외 부분의 격벽 재료가 절삭된 후에는 반사율이 높은 유전체층(8)이 노출되지만 이 유전체층(8)의 표면은 소성되어 격벽 재료에 비하여 경도가 높아지기 때문에, 절삭은 유전체층(8)의 표면에서 정지되어 격벽(9,9)이 형성된다.

또한, 저코스트로 소비 전력을 작게 하기 위하여 도 16 및 도 17에 도시된 바와 같은 전극 구조가 제안되어 있다. 이 전극 구조는 투명전극(3)을 제외한 구조로서, 한 쌍의 버스전극(4,4) 각각에 서로 대향하는 T자형 전극(15,15)을 설치한 것이다.

이 전극 구조로는 서로 대향하는 T자형 전극(15,15)의 선단부로부터 방전이 시작되기 때문에 방전개시전압을 저하시킬 수 있고, 그 결과, 발광 화소영역에 대한 소비 전력을 작게 하여 에너지 절약을 도모할 수 있다.

그러나, 종래의 플라즈마 디스플레이에 있어서는 다음과 같은 여러 가지 문 제점이 있다.

첫 번째로는 상기 전면 측 전극이 투명전극(3) 및 버스전극(4)의 2중 구조로 이루어지므로 구조가 복잡한 만큼 제조비용이 높아지고, 그로부터 얻어진 제품의 비용도 높아진다.

두 번째로는 상기 투명전극(3)이 증착법, 스퍼터법 등의 박막 형성기술을 이용하여 성막하고, 그 후 포토리소그래피로 패턴화하여 형성되고 있기 때문에 설비가 비싸지고 제조 공정도 길어진다.

세 번째로는 상기 버스전극(4)으로 Cr-Cu-Cr 적층체를 이용한 경우, 투명전극(3)과 마찬가지로 성막에 이용하는 설비가 비씨지고 제조 공정도 길어진다.

더불어 상기한 T자형 전극(15,15)을 가지는 전극구조에 있어서는, 발광 화소 영역에 대한 소비 전력이 작아지기 때문에 에너지 절약을 도모할 수 있지만, T자형 전극(15,15)의 선단부에 에너지가 집중되기 때문에 방전 개시전압이 불안정하게 되는 문제점이 있다. 예를 들면, 방전 개시전압이 높아진 경우, 발광효율이 저하되고, 발광영역의 광도 균일성이 저하될 우려가 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 본 발명의 목적은 플라즈마 디스플레이의 표시부에 이용되는 2중 구조의 전극을 세선화, 박후화 할 수 있고, 이에 따라 상기 전극의 개구율을 높일 수 있어 방전 개시전압을 높이지 않고 방전셀의 휘도를 향상시킬 수 있으며, 나아가서는 상기 전극을 간단한 설비로 용이하고 또한 저가로 제작할 수 있게 하여 제조비용의 절감을 도모할 수 있 는 플라즈마 디스플레이 및 그 제조 방법을 제공함에 있다.

상기 목적을 실현하기 위하여 본 발명은 한 쌍의 투명기판이 서로 대향 배치되고, 이들 투명기판 중 전면 측 투명기판 측의 일측면에 복수의 스트라이프형의 제1 전극이 서로 평행으로 형성되고, 배면 측 투명기판 측의 일측면에 상기 제1 전극에 직교하는 복수의 스트라이프형의 제2 전극이 서로 평행으로 형성되며, 이들 제2 전극 각각의 사이에는 격벽이 형성되고, 이들 격벽에 의해 구분져 형성된 각각의 오목부를 방전셀로 이루는 플라즈마 디스플레이에 있어서, 상기 제1 전극을 복수의 개구가 형성된 스트라이프형의 본체 전극과, 상기 본체 전극의 길이 방향의 일측부에 설치되어 상기 본체 전극과 두께가 다른 긴 모선 전극으로 구비한다.

이러한 플라즈마 디스플레이에서는, 제1 전극을 복수의 개구가 형성된 스트라이프형의 본체 전극과 상기 본체 전극의 길이 방향 일측부에 설치되어 상기 본체 전극과 두께가 다른 긴 모선 전극을 구비한 구성에 의해 플라즈마 디스플레이의 표시부에 이용되는 2중 구조의 제1 전극 개구율을 높일 수 있고, 상기 제1 전극이 속하는 화소로부터의 방사광의 광량이 증대하여 그 결과, 이 화소의 휘도가 높아진다.

또한, 상기 제1 전극의 주 구성 부분인 본체 전극을 복수의 개구가 형성된 스트라이프형으로 함에 따라 본체 전극의 일부에 방전이 집중할 우려가 없어지고, 각 화소의 방전 시 동작 특성이 안정화된다. 게다가 각 화소의 방전 개시전압은 높아지지 않는다.

본 발명에 따라 상기 본체 전극 및 상기 모선 전극의 적어도 일측은 오프셋 인쇄로 형성된다.

즉, 상기 제1 전극을 구성하는 본체 전극 및 모선 전극의 적어도 한 쪽을 오프셋 인쇄로 형성하므로 플라즈마 디스플레이의 표시부에 이용되는 2중 구조의 제1 전극을 종래에 비해 세선화, 박후화할 수 있다. 이에 따라 제1 전극의 개구율이 높아지고 각 화소의 휘도가 높아진다.

또한, 상기한 오프셋 인쇄는 종래의 증착장치나 스퍼터장치보다 저가 장치인 오프셋 인쇄장치를 이용하여 실시되고, 공정에 요하는 시간도 단축시킬 수 있으므로 이에 제품의 가격을 저감할 수 있다.

상기에서 오프셋 인쇄에 의하여 형성되는 전극의 시트 저항이 높은 경우에는, 오프셋 인쇄를 반복하여 상기 전극을 이층구조, 또는 3층 이상의 다층 구조로 함으로써 전극의 시트 저항을 저하시키는 것이 가능하다. 또, 이 전극의 막 강도를 높이고자하는 경우도, 동일하게 상기 전극을 다층 구조로 하는 것으로 전극의 막 강도를 높이는 것이 가능하다.

또한, 본 발명의 플라즈마 디스플레이는 상기 본체전극이 잉크젯법에 의하여 형성되는 것을 특징으로 한다.

이 플라즈마 디스플레이에서는, 제1전극을 구성하는 본체 전극을 잉크젯법에 의하여 형성한 것이므로 플라즈마 디스플레이의 표시부에 이용되는 2중 구조의 제1 전극을 종래의 것에 비하여 보다 세선화, 박후화 하는 것이 가능하다. 이에 따라 제1 전극의 개구율이 높아지고, 각 화소의 휘도가 높아진다.

또, 잉크젯법은 종래의 증착장치나 스퍼터장치보다 저가 장치인 잉크젯장치를 이용하여 실시되므로 공정에 요하는 시간도 단축되므로 제품의 비용이 저감된다.

또한, 본 발명은 상기 모선 전극이 상기 본체 전극의 길이 방향의 일측부에 적층되어 있는 것을 특징으로 한다.

이 플라즈마 디스플레이에서는, 본체 전극과 모선 전극을 적층한 구조로 하므로 제1 전극의 점유면적을 바꾸지 않고 본체 전극의 세선화, 박후화가 가능하게 된다.

또한, 본 발명의 플라즈마 디스플레이는 상기 본체 전극이 상기 모선 전극보다 광 반사율이 낮은 물질에 의하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

이 플라즈마 디스플레이에서는, 상기 본체 전극을 상기 모선 전극보다 광 반사율이 낮은 물질로 구성하므로 디스플레이 표시부 각 화소의 광 반사율이 저하된다. 이에 따라 표시부의 광 반사가 방지되고, 표시부의 콘트라스트가 높아진다.

또한, 본 발명의 플라즈마 디스플레이는 상기 모선 전극이 상기 본 체전극의 길이 방향 일측부의 두께를 증가시키는 것을 특징으로 한다.

이 플라즈마 디스플레이에서는, 상기 본체 전극과 상기 모선 전극이 동일 재료에 의하여 일체화된 구조이므로 두께를 증가시키는 만큼 저저항이 되고, 막 강도도 향상된다. 이에 따라 저저항으로 막 강도가 높으며 또한 구조가 간단한 모선 전극을 얻을 수 있고, 보다 박후화 소형화가 가능하게 된다.

또한, 본 발명의 플라즈마 디스플레이는 상기 본체전극이 사다리형, 격자형, 트러스형 또는 그물코형인 것을 특징으로 한다.

이 플라즈마 디스플레이에서는, 사다리형, 격자형, 트러스형 또는 그물코형으로 한 본체전극 개구부의 주변 부분으로 가시광에 의하여 발생하는 간섭광이 차광되고, 표시면의 모아레상 간섭줄무늬의 발생을 방지한다.

종래의 플라즈마 디스플레이의 표시면에서는, 투명전극을 이용하고 있기 때문에 방사광의 주변 부분에 발생하는 모아레상 간섭줄무늬가 그대로 외측으로 방사되고, 표시면에 나무 결형의 모아레상 간섭줄무늬가 발생할 우려가 있지만, 본 발명의 플라즈마 디스플레이에 의하여 이 문제점을 해소하는 것이 가능하게 된다.

또한, 본 발명의 플라즈마 디스플레이는 오프셋 인쇄에 이용되는 요판이 적어도 상기 모선 전극을 형성하기 위한 오목부가 샌드 브레스트법에 의하여 형성되는 것을 특징으로 한다.

이 플라즈마 디스플레이에서는, 적어도 상기 모선 전극을 형성하기 위한 오목부를 샌드 브레스트법으로 형성함으로서, 이 오목부는 종래의 등방성 에칭에 의하여 형성된 것으로 비하여 사이드 에칭 분이 작고, 더불어 깊이가 깊게 된다. 따라서 이 요판을 이용하여 상기 모선 전극을 오프셋 인쇄하면, 상기 모선 전극의 두께가 충분히 확보된다. 또, 이 오프셋 인쇄를 반복하면 모선 전극의 막 두께가 보다 두껍게 되고, 그 결과, 시트 저항이 낮아지고, 저저항화가 도모된다.

또한, 본 발명은 상기 본체 전극이 금속인 것을 특징으로 한다.

이 플라즈마 디스플레이에서는, 상기 본체전극을 금속으로 구성한 것에 의하 여, 종래의 투명전극인 ITO 막이나 산화 제2주석(SnO₂)막 등과 비교하여, 보다 저저항으로 하는 것이 가능하다.

상기 본체전극에 이용되는 금속으로서는 금(Au),은(Ag),백금(Pt), 루테늄(Ru), 로듐(Rh), 팔라듐(Pd), 이리듐(Ir), 구리(Cu), 니켈(Ni), 알루미늄(Al)의 어느 1종 또는 이들 금속군으로부터 선택된 1종 또는 2종 이상을 주성분으로 하는 합금으로 하는 것이 바람직하다.

본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이의 제조 방법은 한 쌍의 투명기판이 서로 대향 배치되고, 이들 투명기판 중 전면 측 투명기판의 대향측 일측면에 복수의 스트라이프형의 제1 전극이 서로 평행하게 형성되며, 배면 측 투명 기판이 대향하는 쪽의 일측면에 상기 제1 전극에 직교하는 복수의 스트라이프형의 제2 전극이 서로 평행하게 형성되고, 이들 제2 전극 각각의 사이에는 격벽이 형성되며, 이들 격벽에 의해 구획 형성된 각각의 오목부가 방전셀로 되고, 상기 제1 전극은 복수의 개구가 형성된 스트라이프형의 본체 전극과 상기 본체 전극의 길이 방향 일측부에 설치되어 상기 본체 전극과 두께가 다른 긴 모선 전극을 구비하여 되는 플라즈마 디스플레이의 제조 방법으로서, 상기 본체 전극 및 상기 모선 전극의 적어도 일측을 오프셋 인쇄하는 것을 특징으로 한다.

이 제조 방법으로는, 상기 본체 전극 및 상기 모선 전극의 적어도 일측을 오프셋 인쇄에 의해 형성하기 때문에, 폭이 좁고 또한 얇은 두께의 제1 전극을 간단한 장치로 또한 저코스트로 제작할 수 있게 된다. 이에 따라 휘도가 높은 플라즈마 디스플레이가 간단한 장치로 또한 저코스트로 제작된다.

여기서, 오프셋 인쇄에 의하여 형성되는 전극의 시트 저항이 높은 경우에는, 오프셋 인쇄를 반복 실시하여 이층구조 또는 그 이상의 다층 구조의 전극으로 하는 것에 의하여, 시트 저항이 낮은 전극을 얻을 수 있다. 또, 전극의 막 두께를 두껍게 하여 막의 강도를 높이고자 하는 경우에는, 상기와 같이 오프셋 인쇄를 반복 실시하여 다층 구조의 전극으로 함으로써 원하는 막 강도를 가지는 전극을 얻을 수 있다.

또한, 본 발명의 플라즈마 디스플레이의 제조 방법은, 상기 모선 전극을, 상기 모선 전극을 형성하기 위한 오목부가 샌드 브레스트법에 의하여 형성된 요판을 이용하여 오프셋 인쇄하는 것을 특징으로 한다.

이 제조 방법으로는, 요판에 형성되는 오목부 중 모선 전극을 형성하기 위한 오목부를 샌드 브레스트법에 의하여 형성한 것으로, 종래의 등방성 에칭에 의하여 형성된 것과 비교하여 사이드 에칭 분이 작고, 또한, 깊이가 깊은 오목부에 의하여 모선 전극을 형성하게 되며, 따라서 두께가 충분히 확보되고, 또한 폭이 좁은 모선 전극이 용이하게 형성된다.

이 샌드 브레스트법으로는, 오목부의 사이드 에칭 분이 작은 때문에 깊이가 보다 깊은 오목부를 형성하는 것이 용이하다.\

한편, 이 오목부를 종래의 에칭에 의하여 형성하는 경우, 유리판을 불산으로 에칭하는 것이 일반적이지만, 이 에칭으로서는 반드시 사이드 에칭이 생기기 때문에 깊이가 있는 오목부를 형성할 수 없다. 특히, 유리판을 불산으로 에칭하는 경 우, 등방성 에칭으로 되므로 깊이 방향과 사이드 에칭은 같은 정도로 된다.

또한, 본 발명의 플라즈마 디스플레이의 제조 방법은, 상기 본체 전극과 상기 모선 전극을 동시에 오프셋 인쇄하는 것을 특징으로 한다.

이 제조 방법으로는, 상기 본체 전극과 상기 모선 전극을 동시에 오프셋 인쇄하는 것으로, 폭이 좁고 또한 얇은 두께의 제1 전극을 또한 저코스트로 제작하는 것이 용이하게 된다. 이것에 의해 제1 전극의 세선화, 박후화가 용이하게 되고, 플라즈마 디스플레이의 고휘도화, 박후화를 도모하는 것이 용이하게 된다.

본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이의 제조 방법은, 한 쌍의 투명기판이 서로 대향 배치되고, 이들 투명기판 중 전면 측 투명기판의 대향측 일측면에 복수의 스트라이프형의 제1전극이 서로 평행하게 되며, 배면 측 투명기판의 대향측 일측면에 상기 제1전극에 직교하는 복수의 스트라이프형의 제2 전극이 서로 평행하게 형성되고, 이들 제2 전극 각각의 사이에는 격벽이 형성되며, 이들 격벽에 의해 구획 형성되는 각각의 오목부가 방전셀로 되고, 상기 제1전극은 복수의 개구가 형성된 스트라이프형의 본체 전극과, 상기 본체 전극의 길이 방향 일측부에 설치되어 상기 본체 전극과 두께가 다른 긴 모선 전극을 구비하여 되는 플라즈마 디스플레이의 제조 방법에서, 상기 본체 전극을 잉크젯법에 의하여 형성하는 것을 특징으로 한다.

이 제조 방법으로는, 상기 본체 전극을 잉크젯법에 의하여 형성하기 때문에 폭이 좁고 또한 후박의 본체 전극을 또한 저코스트로 제작하는 것이 용이하게 된다. 이에 따라 본체전극의 세선화, 박후화가 용이하게 되고, 플라즈마 디스플레이의 고휘도화, 박후화를 도모하는 것이 용이하게 된다.

여기서, 잉크젯법에 의하여 형성되는 본체 전극의 시트 저항이 높은 경우에는, 잉크젯법을 반복 실시하여 이층구조 또는 그 이상의 다층 구조의 본체 전극으로 하는 것에 의하여, 시트 저항이 낮은 본체 전극을 얻을 수 있다. 또 본체전극의 막 두께를 두껍게 하여 막의 강도를 높이고자 하는 경우에는, 상기와 같이 잉크젯법을 반복 실시함으로써 원하는 막 강도를 가지는 본체 전극을 얻을 수 있다.

본 발명은 대향 배치한 한 쌍의 투명 기판 사이에 복수의 격벽을 형성하고, 이들 격벽에 의해 구획된 각각의 오목부를 방전셀로 한 플라즈마 디스플레이 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 이하, 그 각 실시의 형태를 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.

본 발명의 플라즈마 디스플레이는 오프셋 인쇄 또는 잉크젯법을 이용하여 가늘면서 얇은 두께의 본체 전극을 형성한 점, 샌드 브레스트법에 의하여 제작한 요판을 이용하여 두께가 충분히 확보된 모선 전극을 형성한 점에 특징이 있고, 그 이외의 구성 요소에 관해서는 종래와 전체적으로 동일하므로 종래와 전체적으로 같은 구성에 관해서는 동일한 부호를 부여하고 그 설명은 생략하도록 한다.

[제 1 실시예]

본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 및 그 제조 방법은 다음과 같다.

도 1은 플라즈마 디스플레이의 전면 측 전극의 구조를 나타내는 평면도이고, 도 2는 도 1의 A-A 선에 따른 단면도로서, 도면에서 부호 21,21은 전면 측 유리 기판(투명기판)(1)의 방전셀 측 표면(1a)에 서로 평행하게 형성된 제1 전극을 나타낸 다..

상기에서 유리 기판(1)은 소다 라임(soda lime) 유리 등으로 구성되며, 상기 전극(21)은 사다리형을 이루면서 얇은 두께를 갖는 본체 전극과 길이뿐만 아니라 두께를 충분히 확보한 모선 전극이 일체화되어 이루어진 것으로서, 이는 길이가 긴 전극부재(23,24)가 소정의 간격을 두고 서로 평행하게 배치되고, 이들 전극부재(23,24)들이 전극부재(23)와 대략 동일 폭의 전극부재(25,25,…)에 의하여 전기적으로 접속되어 사다리형을 이루는 본체 전극과 더불어, 일측 전극부재(24)의 폭 및 두께가 증가되고 길이 긴 모선 전극으로 된 구성이다.

상기 전극(21)은 1회의 오프셋 인쇄에 의하여 형성된 것으로서, 그 재료로는 Au, Ag, Pt, Ru, Rh, Pd, Ir, Cu, Ni, Al의 어느 1종, 또는 이들 금속군으로부터 선택된 1종 또는 2종 이상을 주성분으로 하는 합금이 적합하게 이용된다. 전극 재료로서 특히 바람직한 것은 Ag, 또는 Ag-Pd 합금이다. 이들 재료는 요구되는 특성, 용도, 가격 등에 따라 적당히 선택하는 것이 바람직하다.

본체 전극을 구성하는 전극부재(23) 및 전극부재(25,25) 각각의 폭은 약 20㎛, 두께는 약 1㎛ 이다. 또 모선 전극을 이루는 전극부재(24)의 폭은 약 50㎛, 두께는 약 5㎛ 이다. 그리고 이들 전극부재(23,24)는 전극(21) 전체의 폭이 300㎛ 가 되도록 배치되어 있다.

상기 전극(21)은 저가의 오프셋 인쇄에 의하여 본체 전극 부분과 모선 전극 부분이 일괄 형성되므로 제조비용을 낮게 억제할 수 있다. 또한, 상기 오프셋 인쇄는 핀 홀 등의 결함을 발생시키지 않고 막 두께를 얇게 할 수가 있으므로 전극(21) 의 세선화, 박후화가 가능하다.

또한, 상기 본체 전극은 그 막 두께 방향으로 2층으로 겹쳐진 2층 구조로서, 시트 저항을 낮게 하고 막 강도를 높일 수 있다.

다음으로, 본 실시예의 플라즈마 디스플레이의 제조 방법에 대해 설명한다. 여기서는 오프셋 인쇄에 의하여 유리 기판(1)의 표면(1a)에 전극(21)을 형성하는 방법에 대하여 도면에 따라서 설명한다.

도 3은 본 실시예의 제조 방법에 이용되는 오프셋 인쇄장치를 나타내는 측면도이고, 도면에서 부호 31은 평판형의 스테이지, 32는 평판형의 요판, 33은 전사롤, 34는 블레이드, 35는 전극재료를 포함하는 잉크이다. 또한 42는 뒤에서 설명될 오목부를 가리킨다.

상기 요판(32)은 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 유리판(41)의 표면(41a)에 상기 전극(21)의 패턴과 서로 보완적인 형상의 오목부(42)를 형성하고 있다.

상기 오목부(42) 각각의 폭과 깊이는 상기 전극(21)의 패턴 및 이용하는 잉크(35)에 포함되는 금속 분말의 비율이나 점성의 크기에도 따르는 바, 일예를 들면, 상기 전극부재(23,25) 각각의 폭을 20㎛, 두께를 1㎛로 한 경우, 이 전극부재(23,25)에 대응하는 부분의 폭은 15㎛, 깊이는 3㎛ 이다. 또한 전극부재(24)의 폭을 50㎛, 두께를 5㎛으로 한 경우, 이 전극부재(24)에 대응하는 부분의 폭은 40㎛, 깊이는 15㎛ 이다.

다음으로는 상기한 요판(32)의 제조 방법에 대하여 도 6a 내지 도 6d를 참고하여 설명한다.

먼저, 도 6a에 도시한 바와 같이, 유리판(41)의 표면(41a)에 내불산성의 포토레지스트(51)를 도포하고, 포토리소그래피에 의해 포토레지스트(51) 중 전극(21)의 패턴에 대응하는 부분을 제거하여 개구부(52)를 형성한다.

이어서 도 6b에 도시한 바와 같이, 불산을 이용하여 포토레지스트(51)의 개구부(52)에 노출되어 있는 유리판(41)의 표면(41a)을 에칭하여, 얕은 오목부(53)를 이룬다. 이 얕은 오목부(53)의 형상은 가령, 상기 전극부재(23,25)에 대응하는 부분의 폭이 15㎛, 전극부재(24)에 대응하는 부분의 폭이 40㎛ 이다. 또한 깊이는 전체 영역에 걸쳐서 3㎛ 이다.

이후 상기 포토레지스트(51)를 제거하고, 도 6c에 도시한 바와 같이, 상기 얕은 오목부(53)가 형성된 유리판(41) 상에, 샌드 브레스트법으로서는 절삭되기 어려운 재료로 이루어진 포토레지스트(54)를 도포하고, 포토리소그래피로 포토레지스트(54) 중 전극부재(24)의 패턴에 대응하는 부분을 제거하여, 개구부(55)를 형성한다.

이어 도 6d에 도시한 바와 같이, 샌드 브레스트법을 이용하여, 포토레지스트(54)의 개구부(55)에 노출되어 있는 유리판(41)의 표면, 즉 얕은 오목부(53)의 바닥면 중 전극부재(24)의 패턴에 대응하는 부분만을 접촉 식각하여 깊은 오목부(56)를 형성한다. 여기서 이 깊은 오목부(56)의 형상은, 가령, 깊이가 15∼20㎛, 폭이 40㎛를 이룬다.

이 샌드 브레스트법에서는 이용하는 유리판(41)이 소다 라임 유리 등이므로 연마재로서 탄산칼슘(CaCO₃) 또는 유리 비드 등을 사용한 경우, 유리판(41)에 대하여 절삭력이 약하고, 절삭이 충분하게 행해지지 않을 우려가 있다. 따라서 유리판(41)에 대하여 충분한 절삭력을 가지는 탄화규소(SiC)계 분말, 또는 알루미나(Al₂O₃) 분말을 사용하는 것이 바람직하다.

이 샌드 브레스트법에 의한 사이드 에칭 분은 20㎛ 깊이에 대하여 편측 3㎛ 정도이므로 레지스트 사이의 패턴 폭을 34㎛로 하면, 깊이20㎛, 폭 40㎛의 깊은 오목부(56)를 얻을 수 있다.

또한, 잉크(35)는 전극 재료가 되는 Ag, Ag-Pd 합금 등의 금속 미립자에 유기 용제 및 바인더를 혼련하여 점성 및 틱소트로피(thixotopy)가 낮은 슬러리형을 이룬 것이 적합하게 이용된다. 이 잉크(35)는 점성 및 틱소트로피(thixotopy)를 낮게 하는 것으로 인쇄 후의 세선 부분, 즉 본체 전극 부분의 단선을 방지할 수가 있다.

마지막으로 포토레지스트(54)를 제거하여, 도 4 및 도 5에 나타내는 요판(32)을 얻는다.

다음으로 얻어진 요판(32) 및 상술한 오프셋 인쇄장치를 이용하여 유리 기판(1)의 표면(1a)에 전극(21)을 형성한다.

도 3에 도시한 바와 같이, 스테이지(31)의 소정 위치에 요판(32) 및 유리 기판(1)을 각각 고정한다.

이어서, 요판(32) 상의 소정 위치에 잉크(35)를 적량 탑재하고(도면 중 이점 쇄선 부분),이 잉크(35)를 블레이드(34)로 가압하면서 오목부(42) 위를 통과시켜, 이 오목부(42) 내에 잉크(35)를 소정량 충전한다.

이어서, 전사롤(33)을 요판(32) 상으로 이동시켜 전사롤(33)의 전사면에 오목부(42) 내의 잉크(35)를 전사한다. 이어서, 이 전사롤(33)을 유리 기판(1) 상에 이동시켜 전사한 잉크(35)를 유리 기판(1) 표면(1a)의 소정 위치에 전사한다. 그 후, 이 유리 기판(1)을 소정 시간 방치하여, 잉크(35)의 레벨링을 행한다. 이에 따라 잉크(35)의 표면이 매우 평활한 평탄면으로 된다.

이어서, 이 유리 기판(1)을 소정의 온도, 예를 들면 550℃ 으로 10분 가열 처리하여 전사한 잉크(35)를 고화시킨다. 이에 따라 유리 기판(1)의 표면(1a)에 사다리형의 전극(21)이 형성된다.

이와 같이 하여 얻어진 전극(21) 상에 유전체층(5) 및 보호막(6)을 순차 형성하는 것으로 전면 측 유리 기판을 얻을 수 있다.

여기서는, 오프셋 인쇄에 의하여 유리 기판(1) 표면(1a)에 전극(21)을 형성하지만, 다른 한편으로 잉크젯법에 의하여 본체 전극 부분을 형성하고, 그 후, 모선 전극 부분만을 오프셋 인쇄에 의하여 형성하는 방법에 의해서도 전체적으로 같은 구조의 전극을 형성할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태에 의하면, 보다 저가의 오프셋 인쇄를 이용함으로써 폭이 좁고, 얇은 두께 또한 저코스트의 사다리형의 전극(21)을 얻는 수 있어, 전극(21)의 개구율을 높일 수 있다. 따라서 화소로부터의 방사광의 광량을 증대시킬 수 있고, 그 결과, 표시면의 휘도를 높일 수 있다.

또, 전극(21)의 구조를 사다리형으로 함으로서, 종래의 T자형 전극과 같이 일부에 방전이 집중할 우려가 없고, 방전 시 동작특성을 안정화시킬 수 있으며, 또한, 각 화소의 방전개시전압이 높아지는 일이 없다.

또, 전극(21)을 사다리형으로 하므로 모아레 상의 간섭 줄무늬가 발생하기 쉬운 주변 부분으로부터의 빛을 차광하는 것으로, 표시면의 모아레 상의 간섭줄무늬의 발생을 방지할 수 있다.

또, 이 전극(21)을 막 두께방향으로 적층한 이층구조, 또는 그 이상의 다층 구조라고 하면, 전극의 시트 저항을 낮게 하고, 막강도를 높일 수 있다.

또, 본 실시예의 제조 방법에 의하면 오프셋 인쇄에 의하여 유리 기판(1)의 표면(1a)에 전극(21)을 형성하므로 폭이 좁고 또한 얇은 두께의 전극을 간단한 장치로 또한 저코스트로 제작할 수 있다. 따라서 휘도가 높은 플라즈마 디스플레이를 간단한 장치로 또한 저코스트로 제작할 수 있다.

[제 2 실시예]

본 발명의 제 2 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 및 그 제조 방법을 도면에 따라서 설명한다.

도 7은 플라즈마 디스플레이 전면 측 전극의 구조를 나타내는 평면도로, 이 제 2 실시예의 플라즈마 디스플레이가 상술한 제 1 실시예의 플라즈마 디스플레이와 다른 점은, 제 1 실시형태의 플라즈마 디스플레이에서는 유리 기판(1)의 표면(1a)에 사다리형의 제1 전극(21)을 형성한 것에 비하여, 이 제 2 실시예의 플라즈마 디스플레이에서는 유리 기판(1)의 표면(1a)에 본체 전극 부분이 트러스형의 제1 전극(61)을 형성한 점이다.

이 전극(61)에 대하여 더욱 상세히 설명하면, 길이가 긴 전극부재(23,24)가 소정 간격을 두고 서로 평행하게 형성되고, 이들 전극부재(23,24)사이에 상기 전극부재(23)와 대략 동일한 폭의 복수 전극부재(62)가 동일평면 상에서 서로 교차하도록, 즉 일측 단부끼리 서로 근접하고 또 타측 단부끼리 서로 이간되도록 비스듬하게 배치되어 전극부재(23,24) 각각에 전기적으로 접속되어 있다.

이 전극(61)을 유리 기판(1)의 표면(1a)에 형성하기 위해서는, 상술한 제 1 실시예의 플라즈마 디스플레이의 제조 방법에 있어서, 요판(32) 오목부(42)의 패턴을 트러스형의 패턴으로 하면 된다.

이에 따라, 유리 기판(1)의 표면(1a)에 트러스형의 전극(61)을 용이하게 형성할 수가 있다.

이 전극(61)의 작용 효과는 상술한 제 1 실시형태의 전극(21)과 전체적으로 동일하다.

[제 3 실시예]

본 발명의 제 3 실시예의 플라즈마 디스플레이 및 그 제조 방법을 도면에 따라서 설명한다.

도 8은 플라즈마 디스플레이의 전면 측 전극의 구조를 나타내는 평면도이고, 도 9는 도 8의 C-C 선에 따른 단면도로서, 도면에서 부호 71,71은 전면 측 유리 기판(1)의 표면(1a)에 서로 평행하게 형성된 제1 전극이다.

이 전극(71)은, 유리 기판(1)의 표면(1a)에 오프셋 인쇄에 의하여 사다리형 이면서 얇은 두께의 본체 전극(72)이 형성되고, 이 본체 전극(72)의 넓은 폭 일측부에 오프셋 인쇄에 의하여 길이가 길면서 두께가 있는 모선 전극(73)이 적층된 구성을 갖는다.

상기 본체 전극(72)은 모선 전극(73)보다 광 반사율이 낮은 물질, 예를 들면, 흑색의 안료를 혼입한 Ag를 이용한 것으로, 흑색으로 하는 것으로 플라즈마 디스플레이의 표면 반사를 방지하고 더불어 콘트라스트를 높게 한다.

상기 모선 전극(73)은 전극(71) 전체의 저항을 확보하기 위한 것으로서, 재료는 특별히 한정되지는 않지만, 여기서는, 흑색의 본체 전극(72)의 저항을 높게 하기 위하여, 본체 전극(72)보다 저저항의 물질인, 예를 들면, 안료가 혼입되어 있지 않은 백색의 Ag을 이용함으로써 전극(71) 전체를 저저항화 한다.

상기 본체 전극(72)의 광폭 부분 폭은 약 50㎛m, 다른 부분의 폭은 약 20㎛, 두께는 약 1㎛로, 이 본체 전극(72) 전체의 폭이 전극(71) 전체의 폭(300㎛)에 일치하고 있다. 또한 모선 전극(73)의 폭은 약 50㎛, 두께는 5㎛ 이다.

다음으로 본 실시예의 전극(71)의 제조 방법에 대하여 설명한다. 여기서는 도 10 ∼ 도 12에 도시한 요판을 이용하여 제 1 실시예의 오프셋 인쇄장치에 의하여 유리 기판(1)의 표면(1a)에 상기 전극(71)을 형성하는 방법에 대하여 설명한다.

본체 전극의 오프셋 인쇄용 요판은, 도 10 및 도 11에 도시한 바와 같이, 유리판(41)의 표면(41a)에 본체전극(72)의 패턴과 동일 형상의 박판 패턴을 가지는 본체 전극 형성용 오목부(75)가 형성되어 있다.

이 오목부(75)는, 예를 들면, 본체 전극(72) 중 모선 전극(73)에 대응하는 부분의 폭을 50㎛, 그 이외 부분의 폭을 20㎛, 두께를 1㎛로 하는 경우, 그 폭은 각각 45㎛, 15㎛, 깊이는 3㎛ 이다.

또한, 모선 전극의 오프셋 인쇄용 요판은 도 12에 도시한 바와 같이, 유리판(41)의 표면(41a)에 모선 전극(73)의 패턴과 동일 형상의 후판패턴을 가지는 모선 전극 형성용 오목부(76)가 형성되어 있다.

이 오목부(76)는, 예를 들면, 모선 전극(73)의 폭을 50㎛, 두께를 5㎛로 하면, 그 폭은 40㎛, 깊이는 15㎛ 이다.

이 오목부(75)는 유리판(41)의 표면(41a)을 불산을 이용하여 에칭함으로써 형성할 수 있다.

또한, 오목부(76)는 유리판(41)의 표면(41a)을 샌드 블레스트법을 이용하여 접촉 식각하는 것으로 형성할 수 있다.

이어서, 상술한 본체 전극의 오프셋 인쇄용 요판 및 제 1 실시예의 오프셋 인쇄장치를 이용하여, 제 1 실시예와 동일한 방법에 의하여 유리 기판(1)의 표면(1a)에 본체 전극(72)을 형성한다.

잉크(35)로서는 전극재료로 되는 백색의 Ag 미립자에, 산화루테늄(RuO₂) 등의 흑색안료, 유기 용제 및 바인더를 혼련하여 점성 및 틱소트로피(thixotopy)가 낮은 슬러리형으로 한 것이 적합하게 이용된다.

이 잉크(35)를 유리 기판(1) 표면(1a)의 소정 위치에 전사한 후, 잉크(35)의 레벨링, 가열처리를 순차 실시하는 것에 의하여 사다리형의 본체 전극(72)이 형성 된다.

이어서, 상술한 모선 전극의 오프셋 인쇄용 요판 및 제 1 실시예의 오프셋 인쇄장치를 이용하여, 제 1 실시예와 동일한 방법에 의하여, 본체 전극(72) 상의 소정 위치에 모선 전극(73)을 형성한다.

잉크(35)로서는 전극재료로 되는 백색의 Ag 미립자에, 유기 용제 및 바인더를 혼련하여 점성 및 틱소트로피(thixotopy)가 낮은 슬러리형으로 한 것이 적합하게 이용된다.

이 잉크(35)를 본체 전극(72) 상의 소정 위치에 전사한 후, 잉크(35)의 레벨링, 가열처리를 순차 실시하는 것에 의하여, 긴 형상의 모선전극(73)이 형성된다.

여기서는, 상술한 각 오프셋 인쇄용 요판을 이용하여, 본체 전극(72) 및 모선 전극(73)을 형성하지만, 대신에, 잉크젯법에 의하여 본체 전극(72)을 형성하고, 그 후, 모선 전극(73)만을 오프셋 인쇄에 의하여 형성하는 방법에 의해서도, 전체적으로 같은 구조의 전극을 형성할 수 있다.

본 실시형태에 의하면, 보다 저가의 오프셋 인쇄를 이용하는 것으로, 폭이 좁고, 얇은 두께 또한 저코스트의 사다리형의 전극(71)을 얻는 수 있어, 전극(71)의 개구율을 높일 수 있다. 따라서 화소로부터 방사광의 광량을 증대시킬 수 있고, 그 결과, 표시면의 휘도를 높일 수 있다.

또, 본체 전극(72)을 모선 전극(73)보다 광 반사율이 낮은 물질에 의하여 구성하므로 플라즈마 디스플레이의 표면 반사를 방지할 수가 있고, 표시면의 콘트라스트를 높일 수 있다.

이상, 본 발명의 플라즈마 디스플레이 및 그 제조 방법의 각 실시형태에 대하여 도면에 따라서 설명하여 왔지만, 구체적인 구성은 상술한 각 실시의 형태에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 설계의 변경 등이 가능하다.

예를 들면, 상기 실시예의 형태에서는 전극의 형상을 사다리형 또는 트러스형으로 하지만, 전극의 형상은 요청되는 특성에 따라 여러 가지로 변형가능하고, 격자형, 또는 그물코형으로도 물론 가능하다. 격자형, 또는 그물코형으로 한 경우에 있어서도, 모아레상 간섭줄무늬의 발생을 방지할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 플라즈마 디스플레이에 의하면, 전면 측 투명기판이 대향하는 쪽의 일측면에 형성된 스트라이프형의 제 1 전극을 복수의 개구가 형성된 스트라이프형의 본체 전극과, 상기 본체 전극의 길이 방향의 일측부에 설치되어 상기 본체 전극과 두께가 다른 긴 모선 전극을 구비한 구성으로 제 1 전극의 개구율을 높일 수 있다. 따라서 이 제 1 전극이 속하는 화소로부터의 방사광의 광량을 증대시키고, 휘도를 높일 수 있다.

또한, 제 1 전극의 주된 구성 부분인 본체 전극을 복수의 개구가 형성된 스트라이프형으로 하므로 본체 전극의 일부에 방전이 집중할 우려가 없고, 각 화소의 방전 시 동작특성을 안정화시킬 수 있다. 또한 각 화소 방전개시전압은 높아지지 않는다.

또한, 본 발명의 플라즈마 디스플레이에 의하면, 본체 전극 및 모선 전극의 적어도 일측을 오프셋 인쇄에 의해 형성하므로 플라즈마 디스플레이의 표시부에 이용되는 제 1 전극을 보다 세선화, 박후화 할 수가 있고 그 개구율을 더 높일 수 있다. 따라서 이 제 1 전극이 속하는 화소로부터 방사광의 광량을 더 증대시키고, 휘도를 더 높일 수 있다.

또한, 종래의 증착장치나 스퍼터장치보다 저가 장치인 오프셋 인쇄장치를 이용하므로 제품의 비용을 저감할 수 있다.

또한 본 발명의 플라즈마 디스플레이에 의하면, 본체 전극을 잉크젯법에 의하여 형성하므로 플라즈마 디스플레이의 표시부에 이용되는 제 1 전극을 보다 세선화, 박후화 할 수 있고, 그 개구율을 더 높일 수 있다. 따라서 이 제 1 전극이 속하는 화소로부터 방사광의 광량을 더 증대시키고, 휘도를 더 높일 수 있다.

또한, 본 발명의 플라즈마 디스플레이에 의하면, 모선 전극을 본체전극의 길이 방향 일측부에 적층하므로 제 1 전극의 점유면적을 바꾸지 않고 본체전극의 세선화, 박후화를 도모할 수 있다.

또한, 본 발명의 플라즈마 디스플레이에 의하면, 본체 전극을 모선 전극보다 광 반사율이 낮은 물질에 의해 구성하므로 디스플레이의 표시부에서 빛의 반사를 방지할 수 있고, 그 콘트라스트를 높일 수 있다.

또한, 본 발명의 플라즈마 디스플레이에 의하면, 모선 전극을 본체 전극의 길이 방향 일측부의 두께를 증가시키는 구성이므로 본체 전극과 모선 전극을 동일재료에 의하여 일체화하는 것으로, 보다 박후화, 소형화를 도모할 수 있다.

또한, 본 발명의 플라즈마 디스플레이에 의하면, 본체 전극을 사다리형, 격 자형, 트러스형 또는 그물코형으로 하므로 이 본체 전극의 개구부의 주변 부분에 발생하는 모아레상 간섭줄무늬를 차광할 수 있어, 표시면에서의 모아레상 간섭줄무늬의 발생을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명의 플라즈마 디스플레이에 의하면, 오프셋 인쇄에 이용되는 요판의 적어도 모선 전극을 형성하기 위한 오목부를 샌드 브레스트법에 의하여 형성하므로 이 오목부의 사이드 에칭 분을 작고, 그 깊이를 종래보다 깊게 할 수가 있다. 따라서 이 요판을 이용하여 모선전극을 오프셋 인쇄하면, 상기 모선전극의 두께를 충분히 확보할 수 있다.

더욱이, 이 오프셋 인쇄를 반복 행하면 모선전극의 막 두께를 보다 두껍게 할 수 있고, 그 결과, 시트 저항의 저저항화를 도모할 수 있다.

또한 기재의 플라즈마 디스플레이에 의하면, 본체전극을 금속에 의하여 구성하므로 종래의 ITO 막이나 SnO₂ 막 등과 비교하여 저저항화를 도모할 수 있다.

또한, 본 발명의 플라즈마 디스플레이의 제조 방법에 의하면, 본체 전극 및 모선 전극의 적어도 한 쪽을 오프셋 인쇄하므로 폭이 좁고 또한 얇은 두께의 제 1 전극을 간단한 장치로 또한 저코스트로 제작할 수 있다. 따라서 휘도가 높은 플라즈마 디스플레이를 간단한 장치로 또한 저코스트로 제작할 수 있다.

또한, 본 발명의 플라즈마 디스플레이의 제조 방법에 의하면, 모선 전극을 형성하기 위한 오목부가 샌드 브레스트법에 의하여 형성된 요판을 이용하여, 모선 전극을 오프셋 인쇄하므로 두께가 충분히 확보되고 또한 폭이 좁은 모선 전극을 용 이하고 또한 저코스트로 형성할 수 있다.

또한, 본 발명의 플라즈마 디스플레이의 제조 방법에 의하면, 본체 전극과 모선 전극을 동시에 오프셋 인쇄하므로 폭이 좁고 또한 얇은 두께의 제 1 전극을 저코스트로 제작할 수 있다. 따라서 제 1 전극의 세선화, 박후화가 용이하게 되고, 플라즈마 디스플레이의 고휘도화, 박후화를 용이하게 도모할 수 있다.

또한, 본 발명의 플라즈마 디스플레이의 제조 방법에 의하면, 본체 전극을 잉크젯법에 의하여 형성하므로 폭이 좁고 또한 얇은 두께의 본체 전극을 간단한 장치로 또한 저코스트로 제작할 수 있다. 따라서 플라즈마 디스플레이에 이 본체 전극을 이용하면 휘도가 높은 플라즈마 디스플레이를 간단한 장치로 또한 저코스트로 제작할 수 있다.

이상에 의하여, 표시부에 이용되는 2중 구조의 전극을 세선화, 박후화 할 수 있고, 따라서, 상기 전극에서 개구율을 높일 수 있고, 그 결과, 방전개시전압을 높게 하지 않고 방전셀의 휘도를 향상시킬 수 있는 플라즈마 디스플레이를 제공할 수 있다.

또한, 이 전극을 간단한 설비를 이용하여 용이하고 또한 저가로 제작할 수가 있어, 제조비용의 삭감을 도모할 수 있는 제조 방법을 제공할 수 있다.

Claims (14)

1. 한 쌍의 투명 기판이 서로 대향 배치되고, 이들 투명 기판 중 전면 측 투명기판의 대향측 일측면에 복수의 스트라이프형의 제 1 전극이 서로 평행하게 형성되고, 배면 측 투명기판의 대향측 일측면에 상기 제 1 전극에 직교하는 복수의 스트라이프형 제 2 전극이 서로 평행하게 형성되며, 이들 제 2 전극 각각의 사이에는 격벽이 형성되고, 이들 격벽에 의해 구획된 각각의 오목부가 방전셀로 되어 있는 플라즈마 디스플레이에 있어서,

   상기 제 1 전극이, 복수의 개구가 형성된 스트라이프형의 본체 전극과, 상기 본체 전극의 길이 방향의 일측부에 설치되어 상기 본체 전극과 두께가 다르고 길이가 긴 모선 전극을 구비하여 형성되고,

   상기 본체 전극 및 상기 모선 전극의 적어도 일측이 오프셋 인쇄에 의하여 형성되며,

   상기 오프셋 인쇄에 이용되는 요판은, 적어도 상기 모선 전극을 형성하기 위한 오목부가 샌드 브레스트법에 의하여 형성됨을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이.
2. 삭제
3. 한 쌍의 투명 기판이 서로 대향 배치되고, 이들 투명 기판 중 전면 측 투명기판의 대향측 일측면에 복수의 스트라이프형의 제 1 전극이 서로 평행하게 형성되고, 배면 측 투명기판의 대향측 일측면에 상기 제 1 전극에 직교하는 복수의 스트라이프형 제 2 전극이 서로 평행하게 형성되며, 이들 제 2 전극 각각의 사이에는 격벽이 형성되고, 이들 격벽에 의해 구획된 각각의 오목부가 방전셀로 되어 있는 플라즈마 디스플레이에 있어서,

   상기 제 1 전극이, 복수의 개구가 형성된 스트라이프형의 본체 전극과, 상기 본체 전극의 길이 방향의 일측부에 설치되어 상기 본체 전극과 두께가 다르고 길이가 긴 모선 전극을 구비하여 형성되고,

   상기 본체 전극이 잉크젯법에 의하여 형성되며,

   상기 잉크젯법을 반복 실시하여 본체 전극을 이층 이상의 구조로 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이.
4. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,

   상기 모선 전극이 상기 본체 전극의 길이 방향 일측부에 적층됨을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 본체 전극이 상기 모선 전극보다 광 반사율이 낮은 물질에 의하여 구성됨을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이.
6. 제 1 항 있어서,

   상기 모선 전극이 상기 본체 전극의 길이 방향 일측부의 두께를 증가시키는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 본체 전극이 사다리형, 격자형, 트러스형 또는 그물코형인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이.
8. 삭제
9. 제 1 항에 있어서,

   상기 본체 전극이 금속인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이.
10. 제 9 항에 있어서,

    상기 금속이 금, 은, 백금, 루테늄, 로듐, 팔라듐, 이리듐, 구리, 니켈, 알루미늄의 어느 1종, 또는, 이들 금속군으로부터 선택된 1종 또는 2종 이상을 주성분으로 하는 합금인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이.
11. 한 쌍의 투명기판이 서로 대향 배치되고, 이들 투명기판 중 전면 측 투명기판의 대향측 일측면에 복수의 스트라이프형의 제 1 전극이 서로 평행하게 형성되고, 배면 측 투명기판의 대향측 일측면에 상기 제 1 전극에 직교하는 복수의 스트라이프형 제 2 전극이 서로 평행하게 형성되고, 이들 제 2 전극 각각의 사이에는 격벽이 형성되며, 이들 격벽에 의하여 구획된 각각의 오목부가 방전셀로 되고, 상기 제 1 전극은, 복수의 개구가 형성된 스트라이프형의 본체 전극과, 상기 본체 전극의 길이 방향의 일측부에 설치되고 상기 본체 전극과 두께가 다른 길이가 긴 모선 전극을 구비하여 되는 플라즈마 디스플레이의 제조 방법에 있어서,

    상기 본체 전극 및 상기 모선 전극의 적어도 일측을 오프셋 인쇄하여 형성하며,

    상기 모선 전극을, 상기 모선 전극을 형성하기 위한 오목부가 샌드 브레스트법에 의해 형성된 요판을 이용하여 오프셋 인쇄하여 형성함을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조 방법.
12. 삭제
13. 제 11 항에 있어서,

    상기 본체 전극과 상기 모선 전극을 동시에 오프셋 인쇄하여 형성함 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조 방법.
14. 삭제

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