JP2002216636A - プラズマディスプレイ及びその製造方法 - Google Patents

プラズマディスプレイ及びその製造方法

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JP2002216636A
JP2002216636A JP2001006838A JP2001006838A JP2002216636A JP 2002216636 A JP2002216636 A JP 2002216636A JP 2001006838 A JP2001006838 A JP 2001006838A JP 2001006838 A JP2001006838 A JP 2001006838A JP 2002216636 A JP2002216636 A JP 2002216636A
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plasma display
electrodes
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Takashi Komatsu
隆史 小松
Yoshitaka Terao
芳孝 寺尾
Hideto Ogawa
英人 小川
Yukitaka Yamada
幸香 山田
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    • H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J11/20—Constructional details
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 表示部に用いられる２重構造の電極を細線
化、薄厚化することができ、電極における開口率を高め
ることができ、放電セルにおける輝度を向上させること
ができ、さらには、この電極を簡単な設備を用いて容易
かつ安価に作製することができ、製造コストの削減を図
ることができるプラズマディスプレイ及びその製造方法
を提供する。 【解決手段】 本発明のプラズマディスプレイは、対向
配置された１対のガラス基板のうち前面側のガラス基板
１の表面１ａに、梯子状かつ薄厚の本体電極と長尺かつ
厚みが十分確保された母線電極とが一体化された電極２
１が複数、オフセット印刷により互いに平行に形成さ
れ、背面側のガラス基板の表面に電極２１に直交する第
２電極が複数、互いに平行に形成され、第２電極間に形
成された凹部が放電セルとされていることを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイ及びその製造方法に係り、特に、プラズマディスプ
レイの表示部に用いられる２重構造の電極を細線化、薄
厚化することで、この電極における開口率を高め、放電
開始電圧を高くすることなしに放電セルにおける輝度を
向上させるとともに、この電極を簡単な設備を用いて容
易かつ安価に作製することで製造コストの削減を可能と
したプラズマディスプレイ及びその製造方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】近年、ハイビジョン用の大画面、高画質
の表示デバイスとしてプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）
が注目されている。このプラズマディスプレイは、自然
な階調表示が得られ、色再現性、応答性がよく、比較的
安価に大型化ができるという様々な特徴を有する。図１
３は、従来のＡＣ型プラズマディスプレイ（ＡＣ−ＰＤ
Ｐ）を示す分解斜視図、図１４はこのプラズマディスプ
レイの前面側の電極の構造を示す平面図、図１５は同側
面図である。このプラズマディスプレイは、２枚のガラ
ス基板（透明基板）１，２が互いに対向配置され、前面
側のガラス基板１のガラス基板２に対向する側の一主面
には、ストライプ状の複数の透明電極３，３，…が互い
に平行に形成され、各透明電極３には、この透明電極３
より幅が狭いバス（母線）電極４がその長手方向に沿っ
て形成され、これら各透明電極３及びバス電極４は透明
な誘電体層５で覆われ、さらにこの誘電体層５上にＭｇ
Ｏ等からなる透明な保護膜６が形成されている。
【０００３】一方、背面側のガラス基板２のガラス基板
１に対向する側の一主面には、上述した透明電極３，
３，…に直交するようにストライプ状の複数のアドレス
電極７，７，…が形成され、これらのアドレス電極７，
７，…は反射率の高い誘電体層８で覆われ、この誘電体
層８上には、アドレス電極７，７，…と平行で、かつ、
これらアドレス電極７，７，…の間に位置する複数の隔
壁９，９，…が形成され、これらの隔壁９，９，…によ
り、ガス放電を行う空間である溝状の放電セル１０，１
０，…が形成され、これらの放電セル１０，１０，…の
内側には、３原色Ｒ、Ｇ、Ｂ（赤、緑、青）に対応する
蛍光体１１，１１，…が形成されている。そして、これ
らガラス基板１，２を互いに対向させて、各放電セル１
０，１０，…の内部に１４７ｎｍのＸｅ共鳴放射光を利
用するＮｅ−Ｘｅ、Ｈｅ−Ｘｅ等の混合ガスを封入した
状態で、周囲をシールガラス等により封着した構成にな
っている。
【０００４】透明電極３は、ＩＴＯ（Indium Tin Oxid
e）、ＳｎＯ2等の透明導電材料により構成されている。
バス電極４は、シート抵抗が高い透明電極３の抵抗値を
下げるために設けられたもので、透明電極３よりシート
抵抗の小さな材料、例えば、Ａｇ、Ｃｒ−Ｃｕ−Ｃｒの
積層体等が用いられる。このプラズマディスプレイで
は、透明電極３，３，…、バス電極４，４，…およびア
ドレス電極７，７，…は、それぞれ外部に引き出されて
おり、これらに接続された端子に選択的に電圧を印加す
ることで、選択的に放電セル１０，１０，…内の各電極
３，４と電極７との間に放電を発生させ、この放電によ
り放電セル１０，１０，…内の蛍光体１１，１１，…か
らの励起光を外部に表示するようになっている。このと
きの発光面は、放電セル１０，１０，…に面した蛍光体
１１，１１，…の表面部分となる。
【０００５】次に、このプラズマディスプレイの製造方
法について説明する。まず、蒸着法、スパッタ法等の薄
膜形成技術を用いて、平板状のガラス基板１の一主面全
面にＩＴＯ、ＳｎＯ2等の導電材料を成膜し、この導電
材料をフォトリソグラフィによりパターン化してストラ
イプ状の透明電極３，３，…とする。次いで、この透明
電極３，３，…上にＡｇ膜あるいはＣｒ−Ｃｕ−Ｃｒ積
層体からなるバス電極４を形成する。Ａｇ膜の場合、ス
クリーン印刷法等でＡｇを主成分とする導電ペーストを
塗布し、その後所定の温度で焼成する。また、Ｃｒ−Ｃ
ｕ−Ｃｒ積層体の場合、蒸着法、スパッタ法等の薄膜形
成技術によりＣｒ、Ｃｕ、Ｃｒを順次積層し、その後フ
ォトリソグラフィによりパターン化する。
【０００６】次いで、これら透明電極３，３，…及びバ
ス電極４，４，…が形成されたガラス基板１上に誘電体
材料を塗布し、その後所定の温度で焼成して透明な誘電
体層５とする。さらに、この誘電体層５上にＭｇＯ等を
主成分とする保護膜材料を塗布し、その後所定の温度で
焼成して透明な保護膜６とする。また、平板状のガラス
基板２の一主面に、スクリーン印刷法等でＡｇを主成分
とする導電ペーストを塗布し、その後所定の温度で焼成
して透明電極３，３，…に直交するストライプ状のアド
レス電極７，７，…とする。
【０００７】次いで、アドレス電極７，７，…及びガラ
ス基板２全面に反射率の高い誘電体材料を塗布し、その
後所定の温度で焼成して反射率の高い誘電体層８とす
る。次いで、スクリーン印刷法あるいはロールコータ法
等を用いて誘電体層８の全面に隔壁材料を塗布し、その
後、乾燥させる。次いで、この隔壁材料上に、ドライフ
ィルムレジスト（ＤＦＲ）等のフォトレジストでパター
ンを形成し、その後、サンドブラスト法等によりパター
ン以外の部分の隔壁材料を取り除き、所定の温度で焼成
することにより、誘電体層８上にアドレス電極７，７，
…の間に位置する所定の形状の隔壁９，９，…を形成す
る。
【０００８】ここで、誘電体材料は、焼成により隔壁
９，９，…より硬度が高くなる等、サンドブラスト法で
は切削され難い材料となっている。また、隔壁材料は、
塗布・乾燥後の形状保持のためのバインダーである有機
物をできるだけ少なくする等、サンドブラスト法により
切削され易い材料となっている。以上により、隔壁９，
９，…により、ガス放電を行う空間である溝状の放電セ
ル１０，１０，…が形成される。
【０００９】次いで、スクリーン印刷法等を用いて放電
セル１０，１０，…の内側に３原色Ｒ、Ｇ、Ｂ（赤、
緑、青）に対応するペースト状の蛍光体材料を塗布し、
その後乾燥・焼成することにより、この蛍光体材料に含
まれる溶剤や有機バインダー等が飛び、固化した蛍光体
１１，１１，…とする。その後、これらのガラス基板
１，２を対向配置してガラス基板１，２同士を貼り合わ
せ、各放電セル１０，１０，…の内部にＮｅ−Ｘｅ、Ｈ
ｅ−Ｘｅ等の混合ガスを封入し、周囲をシールガラス等
により封着する。以上により、所定の特性を有するプラ
ズマディスプレイを得ることができる。
【００１０】上述したサンドブラスト法は、パターンが
形成された隔壁材料上に、粒径が２０μｍから３０μｍ
程度のガラスビーズ、炭化カルシウム等の粉体を吹き付
ることにより、パターンが形成された部分の隔壁材料を
残すと共に、パターンが形成されていない部分の隔壁材
料を削り取る方法である。このサンドブラスト法では、
隔壁材料上に形成されたパターン化されたＤＦＲ等によ
りパターン下の隔壁材料が切削されないため、パターン
が形成された部分の隔壁材料が残る。また、パターン下
以外の部分の隔壁材料が切削された後は、反射率の高い
誘電体層８が露出するが、この誘電体層８の表面は焼成
されて隔壁材料に比して硬度が高くなっているため、切
削は誘電体層８の表面で止まり、隔壁９，９，…が形成
されることとなる。
【００１１】また、低コストで、消費電力を小さくする
ために、図１６及び図１７に示すような電極構造が提案
されている。この電極構造は、透明電極３を除いたもの
で、一対のバス電極４、４それぞれに、互いに対向する
Ｔ字状電極１５、１５を設けたものである。この電極構
造では、互いに対向するＴ字状電極１５、１５の先端部
から放電が始まるので、放電開始電圧を低下させること
ができ、その結果、発光画素領域あたりの消費電力を小
さくし、省エネルギーを図ることができる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のプラ
ズマディスプレイにおいては、次に挙げる様々な問題点
があった。 （１）前面側の電極が透明電極３及びバス電極４の２重
構造であるから、構造が複雑な分、製造コストが高くな
り、得られた製品のコストも高くなる。 （２）透明電極３は、蒸着法、スパッタ法等の薄膜形成
技術を用いて成膜し、その後フォトリソグラフィにより
パターン化しているために、設備が高価なものとなり、
製造工程も長くなる。 （３）バス電極４としてＣｒ−Ｃｕ−Ｃｒ積層体を用い
た場合、透明電極３と同様、成膜に用いる設備が高価な
ものとなり、製造工程も長くなる。
【００１３】また、Ｔ字状電極１５、１５を有する電極
構造においては、発光画素領域あたりの消費電力が小さ
くなるために、省エネルギーを図ることはできるもの
の、Ｔ字状電極１５、１５の先端部にエネルギーが集中
してしまうために、放電開始電圧が不安定なものになっ
てしまうという問題点があった。例えば、放電開始電圧
が高くなった場合、発光効率が低下し、発光領域の光度
の均一性が低下するおそれがある。
【００１４】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
のであって、プラズマディスプレイの表示部に用いられ
る２重構造の電極を細線化、薄厚化することができ、し
たがって、前記電極における開口率を高めることがで
き、その結果、放電開始電圧を高くすることなしに放電
セルにおける輝度を向上させることができ、さらには、
この電極を簡単な設備を用いて容易かつ安価に作製する
ことができ、製造コストの削減を図ることができるプラ
ズマディスプレイ及びその製造方法を提供することを目
的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は次のようなプラズマディスプレイ及びその
製造方法を採用した。すなわち、請求項１記載のプラズ
マディスプレイは、１対の透明基板が互いに対向配置さ
れ、これらの透明基板のうち前面側の透明基板の対向す
る側の一主面に複数のストライプ状の第１の電極が互い
に平行に形成され、背面側の透明基板の対向する側の一
主面に前記第１の電極に直交する複数のストライプ状の
第２の電極が互いに平行に形成され、これら第２の電極
それぞれの間には隔壁が形成され、これら隔壁により画
成されたそれぞれの凹部が放電セルとされているプラズ
マディスプレイにおいて、前記第１の電極は、複数の開
口が形成されたストライプ状の本体電極と、該本体電極
の長手方向の一側部に設けられて前記本体電極と厚みが
異なる長尺の母線電極とを備えてなることを特徴とす
る。
【００１６】このプラズマディスプレイでは、第１の電
極を、複数の開口が形成されたストライプ状の本体電極
と、該本体電極の長手方向の一側部に設けられて前記本
体電極と厚みが異なる長尺の母線電極とを備えた構成と
したことにより、プラズマディスプレイの表示部に用い
られる２重構造の第１の電極の開口率を高めることで、
該第１の電極の属する画素からの放射光の光量が増大
し、その結果、この画素における輝度が高まる。また、
第１の電極の主たる構成部分である本体電極を、複数の
開口が形成されたストライプ状としたことにより、本体
電極の一部に放電が集中するおそれがなくなり、各画素
における放電時の動作特性が安定化する。しかも、各画
素における放電開始電圧は高くなることがない。
【００１７】請求項２記載のプラズマディスプレイは、
請求項１記載のプラズマディスプレイにおいて、前記本
体電極及び前記母線電極の少なくとも一方は、オフセッ
ト印刷により形成されていることを特徴とする。
【００１８】このプラズマディスプレイでは、第１の電
極を構成する本体電極及び母線電極の少なくとも一方を
オフセット印刷により形成したものであるから、プラズ
マディスプレイの表示部に用いられる２重構造の第１の
電極を、従来のものに比べてより細線化、薄厚化するこ
とが可能である。これにより、第１の電極における開口
率が高まり、各画素における輝度が高まる。また、オフ
セット印刷は、従来の蒸着装置やスパッタ装置より安価
な装置であるオフセット印刷装置を用いて実施され、工
程に要する時間も短縮されるから、製品のコストが低減
する。
【００１９】ここで、オフセット印刷により形成される
電極のシート抵抗が高い場合には、オフセット印刷を繰
り返して前記電極を２層構造、あるいは３層以上の多層
構造とすることで、電極のシート抵抗を低下させること
が可能である。また、この電極の膜の強度を高めたい場
合も、同様に該電極を多層構造とすることで、電極の膜
強度を高めることが可能である。
【００２０】請求項３記載のプラズマディスプレイは、
請求項１記載のプラズマディスプレイにおいて、前記本
体電極は、インクジェット法により形成されていること
を特徴とする。
【００２１】このプラズマディスプレイでは、第１の電
極を構成する本体電極をインクジェット法により形成し
たものであるから、プラズマディスプレイの表示部に用
いられる２重構造の第１の電極を、従来のものに比べて
より細線化、薄厚化することが可能である。これによ
り、第１の電極における開口率が高まり、各画素におけ
る輝度が高まる。また、インクジェット法は、従来の蒸
着装置やスパッタ装置より安価な装置であるインクジェ
ット装置を用いて実施され、工程に要する時間も短縮さ
れるから、製品のコストが低減する。
【００２２】請求項４記載のプラズマディスプレイは、
請求項１、２または３記載のプラズマディスプレイにお
いて、前記母線電極は、前記本体電極の長手方向の一側
部に積層されていることを特徴とする。このプラズマデ
ィスプレイでは、本体電極と母線電極とを積層した構造
とすることで、第１の電極の占有面積を変えることな
く、本体電極の細線化、薄厚化が可能になる。
【００２３】請求項５記載のプラズマディスプレイは、
請求項１ないし４のいずれか１項記載のプラズマディス
プレイにおいて、前記本体電極は、前記母線電極より光
反射率の低い物質により構成されていることを特徴とす
る。このプラズマディスプレイでは、前記本体電極を、
前記母線電極より光反射率の低い物質により構成するこ
とで、ディスプレイの表示部の各画素における光反射率
が低下することとなる。これにより、表示部における光
の反射が防止され、表示部におけるコントラストが高ま
る。
【００２４】請求項６記載のプラズマディスプレイは、
請求項１記載のプラズマディスプレイにおいて、前記母
線電極は、前記本体電極の長手方向の一側部の厚みを増
加させてなることを特徴とする。このプラズマディスプ
レイでは、前記本体電極と前記母線電極とが同一材料に
より一体化された構造であるから、厚みを増加させた
分、低抵抗となり、膜強度も向上する。これにより、低
抵抗で、膜強度が高く、しかも構造が簡単な母線電極が
得られ、より薄厚化、小型化が可能になる。
【００２５】請求項７記載のプラズマディスプレイは、
請求項１ないし６のいずれか１項記載のプラズマディス
プレイにおいて、前記本体電極は、梯子状、格子状、ト
ラス状または網目状であることを特徴とする。
【００２６】このプラズマディスプレイでは、梯子状、
格子状、トラス状または網目状とした本体電極の開口部
の周辺部分で、可視光により発生する干渉光が遮光さ
れ、表示面におけるモアレ像干渉縞の発生を防止する。
従来のプラズマディスプレイの表示面では、透明電極を
用いていたために、放射光の周辺部分に発生するモアレ
像干渉縞がそのまま外方へ放射されてしまい、表示面に
木目状のモアレ像干渉縞が発生するおそれがあったが、
本発明のプラズマディスプレイにより、この問題点を解
消することが可能になった。
【００２７】請求項８記載のプラズマディスプレイは、
請求項１ないし７のいずれか１項記載のプラズマディス
プレイにおいて、前記オフセット印刷に用いられる凹版
は、少なくとも前記母線電極を形成するための凹部がサ
ンドブラスト法により形成されていることを特徴とす
る。
【００２８】このプラズマディスプレイでは、少なくと
も前記母線電極を形成するための凹部をサンドブラスト
法により形成したことにより、この凹部は、従来の等方
性エッチングにより形成されたものと比べて、サイドエ
ッチ分が小さく、しかも、深さが深いものとなる。した
がって、この凹版を用いて前記母線電極をオフセット印
刷すれば、該母線電極の厚みが十分確保される。また、
このオフセット印刷を繰り返し行えば、母線電極の膜厚
がより厚くなり、その結果、シート抵抗が低くなり、低
抵抗化が図られる。
【００２９】請求項９記載のプラズマディスプレイは、
請求項１ないし８のいずれか１項記載のプラズマディス
プレイにおいて、前記本体電極は金属であることを特徴
とする。このプラズマディスプレイでは、前記本体電極
を金属で構成したことにより、従来の透明電極であるＩ
ＴＯ膜や酸化第２錫（ＳｎＯ2）膜等と比較して、より
低抵抗とすることが可能になる。
【００３０】前記本体電極に用いられる金属としては、
金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、白金（Ｐｔ）、ルテニウム
（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒｈ）、パラジウム（Ｐｄ）、イ
リジウム（Ｉｒ）、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、ア
ルミニウム（Ａｌ）のいずれか１種、または、これらの
金属群から選択された１種または２種以上を主成分とす
る合金とすることが望ましい。
【００３１】請求項１１記載のプラズマディスプレイの
製造方法は、１対の透明基板が互いに対向配置され、こ
れらの透明基板のうち前面側の透明基板の対向する側の
一主面に複数のストライプ状の第１の電極が互いに平行
に形成され、背面側の透明基板の対向する側の一主面に
前記第１の電極に直交する複数のストライプ状の第２の
電極が互いに平行に形成され、これら第２の電極それぞ
れの間には隔壁が形成され、これら隔壁により画成され
たそれぞれの凹部が放電セルとされ、前記第１の電極
は、複数の開口が形成されたストライプ状の本体電極
と、該本体電極の長手方向の一側部に設けられ前記本体
電極と厚みが異なる長尺の母線電極とを備えてなるプラ
ズマディスプレイの製造方法であって、前記本体電極及
び前記母線電極の少なくとも一方をオフセット印刷する
ことを特徴とする。
【００３２】この製造方法では、前記本体電極及び前記
母線電極の少なくとも一方を、オフセット印刷により形
成するので、幅が狭くかつ薄厚の第１の電極を、簡単な
装置で、しかも低コストで作製することが可能になる。
これにより、輝度が高いプラズマディスプレイが、簡単
な装置で、しかも低コストで作製されることとなる。
【００３３】ここで、オフセット印刷により形成される
電極のシート抵抗が高い場合には、オフセット印刷を繰
り返し施して２層構造あるいはそれ以上の多層構造の電
極とすることにより、シート抵抗の低い電極が得られ
る。また、電極の膜厚を厚くして膜の強度を高めたい場
合には、上記と同様、オフセット印刷を繰り返し施して
多層構造の電極とすることで、所望の膜強度を有する電
極が得られる。
【００３４】請求項１２記載のプラズマディスプレイの
製造方法は、請求項１１記載のプラズマディスプレイの
製造方法において、前記母線電極を、該母線電極を形成
するための凹部がサンドブラスト法により形成された凹
版を用いてオフセット印刷することを特徴とする。
【００３５】この製造方法では、凹版に形成される凹部
のうち母線電極を形成するための凹部をサンドブラスト
法により形成したことで、従来の等方性エッチングによ
り形成されたものと比べてサイドエッチ分が小さく、し
かも、深さが深い凹部により母線電極を形成することと
なり、したがって、厚みが十分確保され、しかも幅の狭
い母線電極が容易に形成される。
【００３６】このサンドブラスト法では、凹部のサイド
エッチが小さいために、深さがより深い凹部を形成する
ことが容易である。例えば、凹部の幅を１０μｍとした
場合、この凹部の深さを２０μｍ、あるいはそれ以上と
することが容易である。
【００３７】一方、この凹部を従来のエッチングにより
形成する場合、ガラス板をフッ酸でエッチングするのが
一般的であるが、このエッチングでは必ずサイドエッチ
が生じるため、深みのある凹部を形成することができな
い。特に、ガラス板をフッ酸でエッチングする場合、等
方性エッチングとなるから、深さ方向とサイドエッチと
は同程度になる。例えば、サイドエッチを１０μｍとし
た場合、凹部の深さは１０μｍが最大となり、これ以上
の深さの凹部を形成することができない。
【００３８】請求項１３記載のプラズマディスプレイの
製造方法は、請求項１１記載のプラズマディスプレイの
製造方法において、前記本体電極と前記母線電極とを同
時にオフセット印刷することを特徴とする。この製造方
法では、前記本体電極と前記母線電極とを同時にオフセ
ット印刷することで、幅が狭くかつ薄厚の第１の電極
を、しかも低コストで作製することが容易になる。これ
により、第１の電極の細線化、薄厚化が容易となり、プ
ラズマディスプレイの高輝度化、薄厚化を図ることが容
易になる。
【００３９】請求項１４記載のプラズマディスプレイの
製造方法は、１対の透明基板が互いに対向配置され、こ
れらの透明基板のうち前面側の透明基板の対向する側の
一主面に複数のストライプ状の第１の電極が互いに平行
に形成され、背面側の透明基板の対向する側の一主面に
前記第１の電極に直交する複数のストライプ状の第２の
電極が互いに平行に形成され、これら第２の電極それぞ
れの間には隔壁が形成され、これら隔壁により画成され
たそれぞれの凹部が放電セルとされ、前記第１の電極
は、複数の開口が形成されたストライプ状の本体電極
と、該本体電極の長手方向の一側部に設けられ前記本体
電極と厚みが異なる長尺の母線電極とを備えてなるプラ
ズマディスプレイの製造方法であって、前記本体電極を
インクジェット法により形成することを特徴とする。
【００４０】この製造方法では、前記本体電極をインク
ジェット法により形成するので、幅が狭くかつ薄厚の本
体電極を、しかも低コストで作製することが容易にな
る。これにより、本体電極の細線化、薄厚化が容易とな
り、プラズマディスプレイの高輝度化、薄厚化を図るこ
とが容易になる。
【００４１】ここで、インクジェット法により形成され
る本体電極のシート抵抗が高い場合には、インクジェッ
ト法を繰り返し施して２層構造あるいはそれ以上の多層
構造の本体電極とすることにより、シート抵抗の低い本
体電極が得られる。また、本体電極の膜厚を厚くして膜
の強度を高めたい場合には、上記と同様、インクジェッ
ト法を繰り返し施すことで、所望の膜強度を有する本体
電極が得られる。
【００４２】
【発明の実施の形態】本発明は、対向配置した一対の透
明基板間に複数の隔壁を形成し、これら隔壁により画成
されたそれぞれの凹部を放電セルとしたプラズマディス
プレイ及びその製造方法に関するもので、その各実施の
形態を図面を参照しながら以下に説明する。なお、本発
明のプラズマディスプレイは、オフセット印刷またはイ
ンクジェット法を用いて細線かつ薄厚の本体電極を形成
した点、サンドブラスト法により作製した凹版を用いて
厚みが十分確保された母線電極を形成した点に特徴があ
り、それ以外の構成要素については従来と全く同様であ
るから、従来と全く同様の構成については同一の符号を
付し、その説明を省略する。
【００４３】［第１の実施の形態］本発明の第１の実施
の形態のプラズマディスプレイ及びその製造方法につい
て図面に基づき説明する。図１はプラズマディスプレイ
の前面側の電極の構造を示す平面図、図２は図１のＡ−
Ａ線に沿う断面図であり、図において、符号２１、２１
は前面側のガラス基板（透明基板）１の放電セル側の表
面１ａに互いに平行に形成された（第１の）電極であ
る。
【００４４】ガラス基板１はソーダライムガラス等によ
り構成されている。電極２１は、梯子状かつ薄厚の本体
電極と、長尺かつ厚みが十分確保された母線電極とが一
体化されたもので、長尺の電極部材２３，２４が所定の
間隔で互いに平行に配置され、これらの電極部材２３，
２４同士が電極部材２３と略同一の幅の電極部材２５，
２５，…により電気的に接続されて梯子状の本体電極と
され、さらに、一方の電極部材２４の幅及び厚みが増加
されて長尺の母線電極とされた構成である。
【００４５】この電極２１は、一回のオフセット印刷に
より形成されたもので、その材料としては、Ａｕ、Ａ
ｇ、Ｐｔ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｌ
のいずれか１種、または、これらの金属群から選択され
た１種または２種以上を主成分とする合金が好適に用い
られる。電極材料として特に好ましいものは、Ａｇ、ま
たはＡｇ−Ｐｄ合金である。これらの材料は、要求され
る特性、用途、価格等に応じて適宜選択すればよい。
【００４６】本体電極を構成する電極部材２３及び電極
部材２５，２５，…それぞれの幅は約２０μｍ、厚みは
約１μｍである。また、母線電極とされた電極部材２４
の幅は約５０μｍ、厚みは約５μｍである。そして、こ
れら電極部材２３，２４は、電極２１全体の幅が３００
μｍになるように配置されている。
【００４７】この電極２１は、安価なオフセット印刷に
より本体電極部分と母線電極部分とが一括して形成され
ているので、製造コストが低く抑えられる。また、この
オフセット印刷は、ピンホール等の欠陥を生じさせるこ
となく膜厚を薄くすることができるので、電極２１の細
線化、薄厚化が可能である。また、上記の本体電極は、
その膜厚方向に２層重ね合わせた２層構造とすること
で、シート抵抗を低くし、膜強度を高めることができ
る。
【００４８】次に、本実施形態のプラズマディスプレイ
の製造方法について説明する。ここでは、オフセット印
刷によりガラス基板１の表面１ａに電極２１を形成する
方法について図面に基づき説明する。図３は、本実施形
態の製造方法に用いられるオフセット印刷装置を示す側
面図であり、図において、符号３１は平板状のステー
ジ、３２は平板状の凹版、３３は転写ロール、３４はブ
レード、３５は電極材料を含むインキである。なお、４
２は後述する凹部である。
【００４９】凹版３２は、図４及び図５に示すように、
ガラス板４１の表面４１ａに電極２１のパターンと相補
形状の凹部４２が形成されている。この凹部４２の個々
の部分の幅及び深さは、電極２１のパターン及び用いる
インキ３５に含まれる金属粉の比率や粘性の大きさにも
よるが、一例を挙げると、電極部材２３，２５それぞれ
の幅を２０μｍ、厚みを１μｍとした場合、この電極部
材２３，２５に対応する部分の幅は１５μｍ、深さは３
μｍである。また、電極部材２４の幅を５０μｍ、厚み
を５μｍとした場合、この電極部材２４に対応する部分
の幅は４０μｍ、深さは１５μｍである。
【００５０】次に、この凹版３２の製造方法について図
６に基づき説明する。まず、図６（ａ）に示すように、
ガラス板４１の表面４１ａに耐フッ酸性のフォトレジス
ト５１を塗布し、フォトリソグラフィによりフォトレジ
スト５１のうち電極２１のパターンに対応する部分を除
去し、開口部５２とする。
【００５１】次いで、図６（ｂ）に示すように、フッ酸
を用いてフォトレジスト５１の開口部５２に露出してい
るガラス板４１の表面４１ａをエッチングし、浅い凹部
５３とする。この浅い凹部５３の形状は、例えば、電極
部材２３，２５に対応する部分の幅が１５μｍ、電極部
材２４に対応する部分の幅が４０μｍである。また、深
さは全領域に渡って３μｍである。その後、このフォト
レジスト５１を除去する。
【００５２】次いで、図６（ｃ）に示すように、この浅
い凹部５３が形成されたガラス板４１上に、サンドブラ
スト法では切削され難い材料からなるフォトレジスト５
４を塗布し、フォトリソグラフィによりフォトレジスト
５４のうち電極部材２４のパターンに対応する部分を除
去し、開口部５５とする。
【００５３】次いで、図６（ｄ）に示すように、サンド
ブラスト法を用いて、フォトレジスト５４の開口部５５
に露出しているガラス板４１の表面、すなわち浅い凹部
５３の底面のうち電極部材２４のパターンに対応する部
分のみを触刻し、深い凹部５６とする。この深い凹部５
６の形状は、例えば、深さが１５〜２０μｍ、幅が４０
μｍである。
【００５４】このサンドブラスト法においては、用いる
ガラス板４１がソーダライムガラス等であるから、研磨
材として炭酸カルシウム（ＣａＣＯ3）あるいはガラス
ビーズ等を使用した場合、ガラス板４１に対して切削力
が弱く、切削が充分に行われないおそれがある。そこ
で、ガラス板４１に対して充分な切削力を有する炭化ケ
イ素（ＳｉＣ）粉末、あるいはアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）粉
末を使用することが好ましい。
【００５５】このサンドブラスト法によるサイドエッチ
分は、２０μｍの深さに対して片側３μｍ程度であるか
ら、レジスト間のパターン幅を３４μｍとすると、深さ
２０μｍ、幅４０μｍの深い凹部５６が得られる。
【００５６】また、インキ３５は、電極材料となるＡ
ｇ、Ａｇ−Ｐｄ合金等の金属微粒子に有機溶剤及びバイ
ンダーを混練して、粘性及びチクソ性の低いスラリー状
としたものが好適に用いられる。このインキ３５は、粘
性及びチクソ性を低くすることで、印刷後の細線部分、
すなわち本体電極部分の断線を防止することができる。
最後にフォトレジスト５４を除去し、図４及び図５に示
す凹版３２を得る。
【００５７】次に、得られた凹版３２及び上述したオフ
セット印刷装置を用いて、ガラス基板１の表面１ａに電
極２１を形成する。図３に示すように、ステージ３１の
所定位置に凹版３２及びガラス基板１をそれぞれ固定す
る。次いで、凹版３２上の所定位置にインキ３５を適量
載置し（図中破線部分）、このインキ３５をブレード３
４で押圧しつつ凹部４２の上を通過させ、この凹部４２
内にインキ３５を所定量充填する。
【００５８】次いで、転写ロール３３を凹版３２上に移
動させ、転写ロール３３の転写面に凹部４２内のインキ
３５を転写する。次いで、この転写ロール３３をガラス
基板１上に移動させ、転写したインキ３５をガラス基板
１の表面１ａの所定位置に転写する。その後、このガラ
ス基板１を所定時間放置し、インキ３５のレベリングを
行う。これにより、インキ３５の表面が極めて平滑な平
坦面となる。
【００５９】次いで、このガラス基板１を所定の温度、
例えば５５０℃で１０分加熱処理し、転写したインキ３
５を固化させる。これにより、ガラス基板１の表面１ａ
に、梯子状の電極２１が形成される。このようにして得
られた電極２１上に、誘電体層５及び保護膜６を順次形
成することで、前面側のガラス基板を得ることができ
る。ここでは、オフセット印刷によりガラス基板１の表
面１ａに電極２１を形成したが、替わりに、インクジェ
ット法により本体電極部分を形成し、その後、母線電極
部分のみをオフセット印刷により形成する方法によって
も、全く同様の構造の電極を形成することができる。
【００６０】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、より安価なオフセット印刷を用いることで、幅が狭
く、薄厚かつ低コストの梯子状の電極２１を得ることが
でき、電極２１の開口率を高めることができる。したが
って、画素からの放射光の光量を増大させることがで
き、その結果、表示面における輝度を高めることができ
る。また、電極２１の構造を梯子状としたので、従来の
Ｔ字型電極のように一部に放電が集中するおそれがな
く、放電時の動作特性を安定化させることができ、しか
も、各画素における放電開始電圧が高くなることがな
い。
【００６１】また、電極２１を梯子状としたので、モア
レ像干渉縞の発生し易い周辺部分からの光を遮光するこ
とで、表示面におけるモアレ像干渉縞の発生を防止する
ことができる。また、この電極２１を膜厚方向に積層し
た２層構造、あるいはそれ以上の多層構造とすれば、電
極のシート抵抗を低くし、膜強度を高めることができ
る。
【００６２】また、本実施形態の製造方法によれば、オ
フセット印刷により、ガラス基板１の表面１ａに電極２
１を形成するので、幅が狭くかつ薄厚の電極を、簡単な
装置で、しかも低コストで作製することができる。した
がって、輝度が高いプラズマディスプレイを、簡単な装
置で、しかも低コストで作製することができる。
【００６３】［第２の実施の形態］本発明の第２の実施
の形態のプラズマディスプレイ及びその製造方法につい
て図面に基づき説明する。図７はプラズマディスプレイ
の前面側の電極の構造を示す平面図であり、本実施形態
のプラズマディスプレイが、上述した第１の実施形態の
プラズマディスプレイと異なる点は、第１の実施形態の
プラズマディスプレイでは、ガラス基板１の表面１ａに
梯子状の（第１の）電極２１を形成したのに対し、本実
施形態のプラズマディスプレイでは、ガラス基板１の表
面１ａに本体電極部分がトラス状の（第１の）電極６１
を形成した点である。
【００６４】この電極６１について更に詳しく説明する
と、長尺の電極部材２３，２４が、所定の間隔を置いて
互いに平行に形成され、これらの電極部材２３，２４間
に、前記電極部材２３と略同一の幅の複数の電極部材６
２が、同一平面上で互いに交差するように、すなわち一
方の端部同士が互いに近接しかつ他方の端部同士が互い
に離間するように、斜めに配置され、電極部材２３，２
４それぞれに電気的に接続されている。
【００６５】この電極６１をガラス基板１の表面１ａに
形成するには、上述した第１の実施形態のプラズマディ
スプレイの製造方法において、凹版３２の凹部４２のパ
ターンをトラス状のパターンとすればよい。これによ
り、ガラス基板１の表面１ａにトラス状の電極６１を容
易に形成することができる。この電極６１の作用・効果
は、上述した第１の実施形態の電極２１と全く同様であ
る。
【００６６】［第３の実施の形態］本発明の第３の実施
の形態のプラズマディスプレイ及びその製造方法につい
て図面に基づき説明する。図８はプラズマディスプレイ
の前面側の電極の構造を示す平面図、図９は図８のＣ−
Ｃ線に沿う断面図であり、図において、符号７１、７１
は前面側のガラス基板１の表面１ａに互いに平行に形成
された（第１の）電極である。
【００６７】この電極７１は、ガラス基板１の表面１ａ
にオフセット印刷により梯子状かつ薄厚の本体電極７２
が形成され、この本体電極７２の幅広の一側部にオフセ
ット印刷により長尺かつ厚みのある母線電極７３が積層
された構成である。本体電極７２は、母線電極７３より
光反射率の低い物質、例えば黒色の顔料を混入したＡｇ
を用いたもので、黒色とすることでプラズマディスプレ
イの表面の反射を防ぎかつコントラストを高くしてい
る。
【００６８】母線電極７３は、電極７１全体の抵抗を確
保するためのもので、材料は特に限定されるものではな
いが、ここでは、黒色の本体電極７２の抵抗が高いため
に、本体電極７２より低抵抗の物質である、例えば顔料
が混入されていない白色のＡｇを用いることで、電極７
１全体を低抵抗化している。この本体電極７２の幅広部
分の幅は約５０μｍ、他の部分の幅は約２０μｍ、厚み
は約１μｍで、この本体電極７２の全体の幅が電極７１
全体の幅（３００μｍ）に一致している。また、母線電
極７３の幅は約５０μｍ、厚みは５μｍである。
【００６９】次に、本実施形態の電極７１の製造方法に
ついて説明する。ここでは、図１０〜図１２に示す凹版
を用い、第１の実施形態のオフセット印刷装置によりガ
ラス基板１の表面１ａに電極７１を形成する方法につい
て説明する。本体電極のオフセット印刷用凹版は、図１
０及び図１１に示すように、ガラス板４１の表面４１ａ
に本体電極７２のパターンと同一形状の薄版パターンを
有する本体電極形成用凹部７５が形成されている。この
凹部７５は、例えば、本体電極７２のうち母線電極７３
に対応する部分の幅を５０μｍ、それ以外の部分の幅を
２０μｍ、厚みを１μｍとすると、その幅はそれぞれ４
５μｍ、１５μｍ、深さは３μｍである。
【００７０】また、母線電極のオフセット印刷用凹版
は、図１２に示すように、ガラス板４１の表面４１ａに
母線電極７３のパターンと同一形状の厚版パターンを有
する母線電極形成用凹部７６が形成されている。この凹
部７６は、例えば、母線電極７３の幅を５０μｍ、厚み
を５μｍとすると、その幅は４０μｍ、深さは１５μｍ
である。
【００７１】この凹部７５は、ガラス板４１の表面４１
ａを、フッ酸を用いてエッチングすることで形成するこ
とができる。また、凹部７６は、ガラス板４１の表面４
１ａを、サンドブラスト法を用いて触刻することで形成
することができる。
【００７２】次いで、上述した本体電極のオフセット印
刷用凹版、及び第１の実施形態のオフセット印刷装置を
用いて、第１の実施形態と同様の方法により、ガラス基
板１の表面１ａに本体電極７２を形成する。インキ３５
としては、電極材料となる白色のＡｇ微粒子に、酸化ル
テニウム（ＲｕＯ2）等の黒色顔料、有機溶剤及びバイ
ンダーを混練して、粘性及びチクソ性の低いスラリー状
としたものが好適に用いられる。このインキ３５をガラ
ス基板１の表面１ａの所定位置に転写した後、インキ３
５のレベリング、加熱処理を順次施すことにより、梯子
状の本体電極７２が形成される。
【００７３】次いで、上述した母線電極のオフセット印
刷用凹版、及び第１の実施形態のオフセット印刷装置を
用いて、第１の実施形態と同様の方法により、本体電極
７２上の所定位置に母線電極７３を形成する。インキ３
５としては、電極材料となる白色のＡｇ微粒子に、有機
溶剤及びバインダーを混練して、粘性及びチクソ性の低
いスラリー状としたものが好適に用いられる。このイン
キ３５を本体電極７２上の所定位置に転写した後、イン
キ３５のレベリング、加熱処理を順次施すことにより、
長尺状の母線電極７３が形成される。
【００７４】ここでは、上述した各オフセット印刷用凹
版を用いて、本体電極７２及び母線電極７３を形成した
が、替わりに、インクジェット法により本体電極７２を
形成し、その後、母線電極７３のみをオフセット印刷に
より形成する方法によっても、全く同様の構造の電極を
形成することができる。
【００７５】本実施形態によれば、より安価なオフセッ
ト印刷を用いることで、幅が狭く、薄厚かつ低コストの
梯子状の電極７１を得ることができ、電極７１の開口率
を高めることができる。したがって、画素からの放射光
の光量を増大させることができ、その結果、表示面にお
ける輝度を高めることができる。また、本体電極７２を
母線電極７３より光反射率の低い物質により構成したの
で、プラズマディスプレイの表面の反射を防止すること
ができ、表示面におけるコントラストを高めることがで
きる。
【００７６】以上、本発明のプラズマディスプレイ及び
その製造方法の各実施の形態について図面に基づき説明
してきたが、具体的な構成は上述した各実施の形態に限
定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲
で設計の変更等が可能である。例えば、上記の実施の形
態では、電極の形状を、梯子状あるいはトラス状とした
が、電極の形状は求められる特性に応じて様々に変形可
能であり、格子状、あるいは網目状としてももちろんよ
い。格子状、あるいは網目状とした場合においても、モ
アレ像干渉縞の発生を防止することができる。
【００７７】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明の請求項１記
載のプラズマディスプレイによれば、前面側の透明基板
の対向する側の一主面に形成されたストライプ状の第１
の電極を、複数の開口が形成されたストライプ状の本体
電極と、該本体電極の長手方向の一側部に設けられて前
記本体電極と厚みが異なる長尺の母線電極とを備えた構
成としたので、第１の電極の開口率を高めることができ
る。したがって、この第１の電極の属する画素からの放
射光の光量を増大させ、輝度を高めることができる。ま
た、第１の電極の主たる構成部分である本体電極を、複
数の開口が形成されたストライプ状としたので、本体電
極の一部に放電が集中するおそれがなく、各画素におけ
る放電時の動作特性を安定化させることができる。しか
も、各画素における放電開始電圧は高くなることはな
い。
【００７８】請求項２記載のプラズマディスプレイによ
れば、本体電極及び母線電極の少なくとも一方をオフセ
ット印刷により形成したので、プラズマディスプレイの
表示部に用いられる第１の電極をより細線化、薄厚化す
ることができ、その開口率をさらに高めることができ
る。したがって、この第１の電極の属する画素からの放
射光の光量をさらに増大させ、輝度をさらに高めること
ができる。また、従来の蒸着装置やスパッタ装置より安
価な装置であるオフセット印刷装置を用いるので、製品
のコストを低減することができる。
【００７９】請求項３記載のプラズマディスプレイによ
れば、本体電極をインクジェット法により形成したの
で、プラズマディスプレイの表示部に用いられる第１の
電極をより細線化、薄厚化することができ、その開口率
をさらに高めることができる。したがって、この第１の
電極の属する画素からの放射光の光量をさらに増大さ
せ、輝度をさらに高めることができる。また、従来の蒸
着装置やスパッタ装置より安価な装置であるインクジェ
ット装置を用いるので、製品のコストを低減することが
できる。
【００８０】請求項４記載のプラズマディスプレイによ
れば、母線電極を本体電極の長手方向の一側部に積層し
たので、第１の電極の占有面積を変えることなく、本体
電極の細線化、薄厚化を図ることができる。
【００８１】請求項５記載のプラズマディスプレイによ
れば、本体電極を母線電極より光反射率の低い物質によ
り構成したので、ディスプレイの表示部における光の反
射を防止することができ、そのコントラストを高めるこ
とができる。
【００８２】請求項６記載のプラズマディスプレイによ
れば、母線電極を、本体電極の長手方向の一側部の厚み
を増加させた構成としたので、本体電極と母線電極とを
同一材料により一体化することで、より薄厚化、小型化
を図ることができる。
【００８３】請求項７記載のプラズマディスプレイによ
れば、本体電極を、梯子状、格子状、トラス状または網
目状としたので、この本体電極の開口部の周辺部分に発
生するモアレ像干渉縞を遮光することができ、表示面に
おけるモアレ像干渉縞の発生を防止することができる。
【００８４】請求項８記載のプラズマディスプレイによ
れば、オフセット印刷に用いられる凹版の少なくとも母
線電極を形成するための凹部をサンドブラスト法により
形成したので、この凹部のサイドエッチ分を小さく、そ
の深さを従来より深くすることができる。したがって、
この凹版を用いて母線電極をオフセット印刷すれば、該
母線電極の厚みを十分確保することができる。また、こ
のオフセット印刷を繰り返し行えば、母線電極の膜厚を
より厚くすることができ、その結果、シート抵抗の低抵
抗化を図ることができる。
【００８５】請求項９記載のプラズマディスプレイによ
れば、本体電極を金属により構成したので、従来のＩＴ
Ｏ膜やＳｎＯ2膜等と比較して低抵抗化を図ることがで
きる。
【００８６】請求項１１記載のプラズマディスプレイの
製造方法によれば、本体電極及び母線電極の少なくとも
一方をオフセット印刷するので、幅が狭くかつ薄厚の第
１の電極を、簡単な装置で、しかも低コストで作製する
ことができる。したがって、輝度が高いプラズマディス
プレイを、簡単な装置で、しかも低コストで作製するこ
とができる。
【００８７】請求項１２記載のプラズマディスプレイの
製造方法によれば、母線電極を形成するための凹部がサ
ンドブラスト法により形成された凹版を用いて、母線電
極をオフセット印刷するので、厚みが十分確保され、か
つ幅の狭い母線電極を容易かつ低コストで形成すること
ができる。
【００８８】請求項１３記載のプラズマディスプレイの
製造方法によれば、本体電極と母線電極とを同時にオフ
セット印刷するので、幅が狭くかつ薄厚の第１の電極を
低コストで作製することができる。したがって、第１の
電極の細線化、薄厚化が容易となり、プラズマディスプ
レイの高輝度化、薄厚化を容易に図ることができる。
【００８９】請求項１４記載のプラズマディスプレイの
製造方法によれば、本体電極をインクジェット法により
形成するので、幅が狭くかつ薄厚の本体電極を、簡単な
装置で、しかも低コストで作製することができる。した
がって、プラズマディスプレイに、この本体電極を用い
れば、輝度が高いプラズマディスプレイを、簡単な装置
で、しかも低コストで作製することができる。
【００９０】以上により、表示部に用いられる２重構造
の電極を細線化、薄厚化することができ、したがって、
前記電極における開口率を高めることができ、その結
果、放電開始電圧を高くすることなしに放電セルにおけ
る輝度を向上させることができるプラズマディスプレイ
を提供することができる。また、この電極を簡単な設備
を用いて容易かつ安価に作製することができ、製造コス
トの削減を図ることができる製造方法を提供することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の第１の実施の形態のプラズマディス
プレイの前面側の電極の構造を示す平面図である。
【図２】 図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】 本発明の第１の実施の形態のプラズマディス
プレイの電極を製造する際に用いられるオフセット印刷
装置を示す側面図である。
【図４】 本発明の第１の実施の形態のプラズマディス
プレイの電極を製造する際に用いられる凹版を示す平面
図である。
【図５】 図４のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図６】 本発明の第１の実施の形態のプラズマディス
プレイの電極を製造する際に用いられる凹版の製造方法
を示す過程図である。
【図７】 本発明の第２の実施の形態のプラズマディス
プレイの前面側の電極の構造を示す平面図である。
【図８】 本発明の第３の実施の形態のプラズマディス
プレイの前面側の電極の構造を示す平面図である。
【図９】 図８のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
【図１０】 本発明の第３の実施の形態のプラズマディ
スプレイの電極を製造する際に用いられる本体電極のオ
フセット印刷用凹版を示す平面図である。
【図１１】 図１０のＤ−Ｄ線に沿う断面図である。
【図１２】 本発明の第３の実施の形態のプラズマディ
スプレイの電極を製造する際に用いられる母線電極のオ
フセット印刷用凹版を示す断面図である。
【図１３】 従来のＡＣ型プラズマディスプレイの一例
を示す分解斜視図である。
【図１４】 従来のＡＣ型プラズマディスプレイの前面
側の電極の構造の一例を示す平面図である。
【図１５】 従来のＡＣ型プラズマディスプレイの前面
側の電極の構造の一例を示す側面図である。
【図１６】 従来のＡＣ型プラズマディスプレイの前面
側の電極の構造の他の例を示す平面図である。
【図１７】 従来のＡＣ型プラズマディスプレイの前面
側の電極の構造の他の例を示す側面図である。
【符号の説明】
１，２ ガラス基板（透明基板） １ａ 表面 ３ 透明電極 ４ バス（母線）電極 ５ 誘電体層 ６ 透明な保護膜 ７ アドレス電極 ８ 反射率の高い誘電体層 ９ 隔壁 １０ 放電セル １１ 蛍光体 １５ Ｔ字状電極 ２１ 電極 ２３〜２５ 電極部材 ３１ ステージ ３２ 凹版 ３３ 転写ロール ３４ ブレード ３５ インキ ４１ ガラス板 ４１ａ 表面 ４２ 凹部 ５１ フォトレジスト ５２ 開口部 ５３ 浅い凹部 ５４ フォトレジスト ５５ 開口部 ５６ 深い凹部 ６１ 電極 ６２ 電極部材 ７１ 電極 ７２ 本体電極 ７３ 母線電極 ７５ 本体電極形成用凹部 ７６ 母線電極形成用凹部
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｊ 9/02 Ｈ０４Ｎ 5/66 １０１Ａ Ｈ０４Ｎ 5/66 １０１ Ｂ４１Ｊ 3/04 １０１Ｚ (72)発明者 小川 英人 神奈川県横浜市鶴見区菅沢町２−７ 株式 会社サムスン横浜研究所 電子研究所内 (72)発明者 山田 幸香 神奈川県横浜市鶴見区菅沢町２−７ 株式 会社サムスン横浜研究所 電子研究所内 Ｆターム(参考） 2C056 EA24 FB01 2H113 AA01 AA06 BA03 BA05 BB09 BB22 CA17 DA04 FA06 FA12 5C027 AA01 5C040 FA01 FA04 GA02 GB03 GB14 GC02 GC05 GC06 GC18 GC19 JA12 LA05 MA03 MA17 MA26 5C058 AA11 AB01 AB06

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 １対の透明基板が互いに対向配置され、
    これらの透明基板のうち前面側の透明基板の対向する側
    の一主面に複数のストライプ状の第１の電極が互いに平
    行に形成され、背面側の透明基板の対向する側の一主面
    に前記第１の電極に直交する複数のストライプ状の第２
    の電極が互いに平行に形成され、これら第２の電極それ
    ぞれの間には隔壁が形成され、これら隔壁により画成さ
    れたそれぞれの凹部が放電セルとされているプラズマデ
    ィスプレイにおいて、 前記第１の電極は、複数の開口が形成されたストライプ
    状の本体電極と、該本体電極の長手方向の一側部に設け
    られて前記本体電極と厚みが異なる長尺の母線電極とを
    備えてなることを特徴とするプラズマディスプレイ。
  2. 【請求項２】 前記本体電極及び前記母線電極の少なく
    とも一方は、オフセット印刷により形成されていること
    を特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイ。
  3. 【請求項３】 前記本体電極は、インクジェット法によ
    り形成されていることを特徴とする請求項１または２記
    載のプラズマディスプレイ。
  4. 【請求項４】 前記母線電極は、前記本体電極の長手方
    向の一側部に積層されていることを特徴とする請求項
    １、２または３記載のプラズマディスプレイ。
  5. 【請求項５】 前記本体電極は、前記母線電極より光反
    射率の低い物質により構成されていることを特徴とする
    請求項１ないし４のいずれか１項記載のプラズマディス
    プレイ。
  6. 【請求項６】 前記母線電極は、前記本体電極の長手方
    向の一側部の厚みを増加させてなることを特徴とする請
    求項１記載のプラズマディスプレイ。
  7. 【請求項７】 前記本体電極は、梯子状、格子状、トラ
    ス状または網目状であることを特徴とする請求項１ない
    し６のいずれか１項記載のプラズマディスプレイ。
  8. 【請求項８】 前記オフセット印刷に用いられる凹版
    は、少なくとも前記母線電極を形成するための凹部がサ
    ンドブラスト法により形成されていることを特徴とする
    請求項１ないし７のいずれか１項記載のプラズマディス
    プレイ。
  9. 【請求項９】 前記本体電極は金属であることを特徴と
    する請求項１ないし８のいずれか１項記載のプラズマデ
    ィスプレイ。
  10. 【請求項１０】 前記金属は、金、銀、白金、ルテニウ
    ム、ロジウム、パラジウム、イリジウム、銅、ニッケ
    ル、アルミニウムのいずれか１種、または、これらの金
    属群から選択された１種または２種以上を主成分とする
    合金であることを特徴とする請求項９記載のプラズマデ
    ィスプレイ。
  11. 【請求項１１】 １対の透明基板が互いに対向配置さ
    れ、これらの透明基板のうち前面側の透明基板の対向す
    る側の一主面に複数のストライプ状の第１の電極が互い
    に平行に形成され、背面側の透明基板の対向する側の一
    主面に前記第１の電極に直交する複数のストライプ状の
    第２の電極が互いに平行に形成され、これら第２の電極
    それぞれの間には隔壁が形成され、これら隔壁により画
    成されたそれぞれの凹部が放電セルとされ、前記第１の
    電極は、複数の開口が形成されたストライプ状の本体電
    極と、該本体電極の長手方向の一側部に設けられ前記本
    体電極と厚みが異なる長尺の母線電極とを備えてなるプ
    ラズマディスプレイの製造方法であって、 前記本体電極及び前記母線電極の少なくとも一方をオフ
    セット印刷することを特徴とするプラズマディスプレイ
    の製造方法。
  12. 【請求項１２】 前記母線電極を、該母線電極を形成す
    るための凹部がサンドブラスト法により形成された凹版
    を用いてオフセット印刷することを特徴とする請求項１
    １記載のプラズマディスプレイの製造方法。
  13. 【請求項１３】 前記本体電極と前記母線電極とを同時
    にオフセット印刷することを特徴とする請求項１１記載
    のプラズマディスプレイの製造方法。
  14. 【請求項１４】 １対の透明基板が互いに対向配置さ
    れ、これらの透明基板のうち前面側の透明基板の対向す
    る側の一主面に複数のストライプ状の第１の電極が互い
    に平行に形成され、背面側の透明基板の対向する側の一
    主面に前記第１の電極に直交する複数のストライプ状の
    第２の電極が互いに平行に形成され、これら第２の電極
    それぞれの間には隔壁が形成され、これら隔壁により画
    成されたそれぞれの凹部が放電セルとされ、前記第１の
    電極は、複数の開口が形成されたストライプ状の本体電
    極と、該本体電極の長手方向の一側部に設けられ前記本
    体電極と厚みが異なる長尺の母線電極とを備えてなるプ
    ラズマディスプレイの製造方法であって、 前記本体電極をインクジェット法により形成することを
    特徴とするプラズマディスプレイの製造方法。
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