JP2005322641A - プラズマディスプレイパネル及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に隔壁形成用の元素材を塗布して隔壁形成用の元素材上にフォトレジストを塗布し、フォトレジストを露光及び現像し、基板上の一方向に配置される第1隔壁と、それと異なる方向に配置されて放電空間を区画する第2隔壁とを備える隔壁のパターンを形成し、フォトレジストの間の開口を通じてエッチング液を注入し、第1隔壁と第2隔壁との高さが相異なるように隔壁用の元素材をエッチングし、隔壁用の元素材上に残留するフォトレジストを除去して、第1隔壁と第2隔壁とを備える隔壁を完成するPDPの製造方法であって、エッチング液の等方向エッチング速度によって隔壁形成用の元素材をエッチングすることにより、エッチングメカニズムによって所望の何れの一方向に配置された隔壁を他方向に配置された隔壁と異なる高さに形成できる。
【選択図】 図3
Description
220 背面基板
230 放電維持電極対
240 前面誘電体層
250 保護膜層
260 アドレス電極
270 背面誘電体層
281 第1隔壁
311 第1排気通路
312 第2排気通路
S 放電セル
Claims (8)
- 透明な基板を準備するステップと、
前記基板上に隔壁形成用の元素材を塗布するステップと、
前記隔壁形成用の元素材上にフォトレジストを塗布するステップと、
前記フォトレジストを露光及び現像し、基板上の一方向に配置される第1隔壁と、それと異なる方向に配置されて放電空間を区画する第2隔壁とを備える隔壁のパターンを形成するステップと、
前記フォトレジスト間の開口を通じてエッチング液を注入して、真空排気中に排ガスを排出する排気通路を形成するために前記第1隔壁と第2隔壁との高さが相異なるように隔壁形成用の元素材をエッチングするステップと、
前記隔壁形成用の元素材上に残留するフォトレジストを除去して、第1隔壁と第2隔壁とを備える隔壁を完成するステップと、を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 前記隔壁のパターンを形成するステップでは、
前記第2隔壁は、隣接した第1隔壁間を連結して放電セルを限定し、隣接した第1隔壁対の間を1つおきに1つずつ連結することで、前記第2隔壁が連結されていない第1隔壁の間に更に他の排気通路を形成することを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 非放電領域を限定する前記第1隔壁の間隔は、放電セルを限定する一対の第1隔壁の間隔より狭く形成されることを特徴とする請求項2に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 前面基板と、
前記前面基板の内面に形成された複数の放電維持電極対と、
前記放電維持電極対を埋め込む前面誘電体層と、
前記前面基板と対向するように配置された背面基板と、
前記背面基板の内面に形成され、前記放電維持電極対と交差する方向に配置された複数のアドレス電極と、
前記アドレス電極を埋め込む背面誘電体層と、
前記前面及び背面基板の間に配置され、基板の一方向に配置された第1隔壁と、前記第1隔壁からそれと異なる方向に延びて放電セルを限定し、真空排気中に排ガスの排気通路を提供するために前記第1隔壁との高さが相異なる第2隔壁とを備える複数の隔壁と、
前記放電空間別に塗布された赤色、緑色、青色の蛍光体層と、を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。 - 前記第1隔壁は前記第2隔壁より相対的に低く、前記第1隔壁の上端部には前記第2隔壁との高さの差に相応する排気通路が形成されたことを特徴とする請求項4に記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記第1隔壁は、前記アドレス電極と交差する方向に配置され、前記第2隔壁は、前記アドレス電極と平行に配置され、前記第2隔壁は、隣接するように配置された第1隔壁の内側から対向する方向に延びて放電セルを限定することを特徴とする請求項5に記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記第2隔壁と共に結合されて放電セルを限定する一対の第1隔壁と、それと隣接した他の一対の第1隔壁の間には、排ガスが排出される追加的な排気通路を提供する非放電領域が更に形成されたことを特徴とする請求項4に記載のプラズマディスプレイパネル。
- 非放電領域を限定する第1隔壁の間隔は、放電セルを限定する一対の第1隔壁の間隔より狭く形成されたことを特徴とする請求項7に記載のプラズマディスプレイパネル。
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