KR20000004376A - 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판 및 그의제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 투명전극과 버스전극간의 오정렬을 방지함과 아울러 방전효율을 향상시킬 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판은, 유리기판; 상기 유리기판 상에 형성되며, 투명전극 및 버스전극이 적층된 구조로된 방전유지전극들; 상기 방전유지전극들을 피복하도록 상기 유리기판 상에 전면 도포된 유전체층; 및 상기 유전체층 상에 전면 도포된 보호막을 포함해서 이루어진 것을 특징으로 하며, 그 제조방법은, 유리기판 상에 등간격으로 버스전극들을 형성하는 단계; 상기 버스전극들 사이에 제1유전체층을 충진시키는 단계; 상기 버스전극 및 제1유전체층 상에 투명 금속막을 형성하는 단계; 상기 투명 금속막 상에 감광막을 전면 도포한 후, 상기 감광막을 노광 및 현상하여 감광막 패턴을 형성하는 단계; 상기 감광막 패턴의 형태로 상기 투명 금속막을 식각하여 상기 버스전극과 콘택됨과 아울러 상기 버스전극 보다 큰 폭을 갖는 투명 전극들을 형성하는 단계; 상기 감광막 패턴을 제거하는 단계; 상기 투명전극들이 덮혀지도록 전체 상부에 제2유전체층과 보호막을 적층시키는 단계를 포함해서 이루어진 것을 특징으로 한다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판 및 그의 제조방법

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 투명전극과 버스전극간의 오정렬을 방지함과 아울러 방전효율을 향상시킬 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판 및 그의 제조방법에 관한 것이다.

평판 디스플레이 장치의 하나인 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : 이하, PDP)은 가스방전을 이용하는 디스플레이 장치로서, 비교적 얇은 두께로 제작할 수 있기 때문에 전자총을 사용하는 브라운관 디스플레이 장치에 비해 두께 및 무게를 현저하게 감소시킬 수 있으며, 아울러, 대화면 디스플레이 장치를 손쉽게 제작할 수 있는 잇점 때문에 차세대 디스플레이 장치로써 부각되고 있다.

도 1 은 종래 교류형 PDP를 도시한 도면으로서, 도시된 바와 같이, 독립적인 공정을 통해 제작된 배면 및 전면기판(1, 6)이 소정 간격을 두고 그들 각각의 전극 배치면이 마주보도록 봉착되어 있고, 방전공간 내에는 아르곤(Ar), 네온(Ne) 또는 크세논(Xe)과 같은 방전가스(10)가 봉입되어 있다.

여기서, 배면기판(1) 상에는 어드레스전극들(2)이 형성되며, 상기 어드레스전극들이 덮혀지도록 배면기판(1) 전면에는 유전체층(3)이 도포된다. 또한, 유전체층(3) 상에는 방전공간을 한정함과 아울러 인접된 방전셀들간의 크로스토크(Crosstalk)를 방지시키기 위한 격벽(Barrier Rib : 4)이 형성되고, 격벽들 사이에는 형광체(5)가 도포된다.

그리고, 전면기판(6) 상에는 ITO와 같은 투명금속으로된 박막의 투명전극(7a)이 형성되고, 상기 투명전극(7a) 상에는 그 보다는 두껍고 폭이 얇은 불투명 금속으로된 버스전극(7b)이 형성되며, 또한, 상기 투명전극(7a) 및 버스전극(7b)로 이루어진 방전유지전극들(7)이 덮혀지도록 전면기판(6) 상에는 유전체층(8) 및 보호막(9)이 적층된다.

그러나, 상기와 같은 종래 교류형 PDP의 전면기판 제작 공정에서는, 유리기판 상에 투명전극과 버스전극으로 이루어진 방전유지전극들을 형성한 상태에서, 유전체층을 전면 도포하기 때문에, 상기 방전유지전극들의 단차로 인하여 유전체층의 상부 표면에 굴곡이 발생될 수 있으며, 이로 인하여, 방전효율이 저하되는 문제점이 있었다.

또한, 상기한 문제점을 해결하기 위하여 유전체층을 두껍게 도포할 수도 있으나, 이 경우에는 벽전하 생성이 어렵기 때문에 소비전력이 증가되는 문제점이 있었다.

게다가, 버스전극의 형성시에는 투명전극의 상부면에 표시되어 있는 정렬 마크를 이용하게 되는데, 이 경우에는 상기 버스전극이 불투명 금속으로 형성되는 것에 기인하여 투명전극의 상부면에 표시되어 있는 정렬 마크가 육안으로 보이지 않게 됨으로써 투명전극과 버스전극간의 오정렬이 발생하게 되는 문제점이 있었다.

아울러, 버스전극과 방전공간까지의 거리가 투명전극과 방전공간까지의 거리 보다 작은 것에 기인하여 가스 방전시에 전기장이 버스전극면 상에 강하게 형성되고, 버스전극 보다 폭이 넓은 투명전극면에는 전기장이 약하게 형성됨으로써, 초기방전시 상기 투명전극면 상의 방전전압이 크게 되는 문제점이 있었다.

따라서, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 발명은 투명전극과 버스전극간의 오정렬을 방지함과 아울러, 방전효율을 향상시킬 수 있는 PDP의 전면기판 및 그의 제조방법을 제공하는데, 그 목적이 있다.

도 1 은 종래 교류형 플라즈마 디스플레이 패널을 설명하기 위한 단면도.

도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판 제조방법을 설명하기 위한 공정 단면도.

도 3a 및 도 3b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판 제조방법을 설명하기 위한 공정 단면도.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

21,31 : 전면기판 22,32 : 버스전극

23,33 : 제1유전체층 24 : 투명 금속막

24a : 투명전극 25 : 감광막

25a : 감광막 패턴 26 : 제2유전체층

27 : 보호막

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 PDP의 전면기판은, 유리기판; 상기 유리기판 상에 형성되며, 투명전극 및 버스전극이 적층된 구조로된 방전유지전극들; 상기 방전유지전극들을 피복하도록 상기 유리기판 상에 전면 도포된 유전체층; 및 상기 유전체층 상에 전면 도포된 보호막을 포함해서 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 PDP의 전면기판 제조방법은, 유리기판 상에 등간격으로 버스전극들을 형성하는 단계; 상기 버스전극들 사이에 제1유전체층을 충진시키는 단계; 상기 버스전극 및 제1유전체층 상에 투명 금속막을 형성하는 단계; 상기 투명 금속막 상에 감광막을 전면 도포한 후, 상기 감광막을 노광 및 현상하여 감광막 패턴을 형성하는 단계; 상기 감광막 패턴의 형태로 상기 투명 금속막을 식각하여 상기 버스전극과 콘택됨과 아울러 상기 버스전극 보다 큰 폭을 갖는 투명 전극들을 형성하는 단계; 상기 감광막 패턴을 제거하는 단계; 상기 투명전극들이 덮혀지도록 전체 상부에 제2유전체층과 보호막을 적층시키는 단계를 포함해서 이루어진 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 불투명 금속으로된 버스전극을 먼저 형성하고, 이 버스전극 상에 투명 금속으로된 투명전극을 형성하기 때문에 상기 투명전극과 버스전극간의 정렬을 용이하게 할 수 있으며, 아울러, 유전체층의 평탄성을 손쉽게 달성할 수 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도 2a 내지 도 2d를 참조하여 보다 상세하게 설명하도록 한다.

도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 실시예에 따른 PDP의 전면기판 제조방법을 설명하기 위한 공정 단면도로서, 먼저, 도 2a에 도시된 바와 같이, 유리기판(21) 상에 인쇄법 등의 방법으로 버스전극들(22)을 형성한다. 이때, 버스전극(22)의 상부면에는 후속 공정에서 투명전극의 정렬을 용이하게 하기 위하여 정렬 마크(도시안됨)가 표시된다. 그런 다음, 선택적 도포와 건조 및 소성 공정을 실시하여 버스전극들(22) 사이에 제1유전체층(23)을 충진시킨다.

상기에서, 버스전극들(22) 사이에 제1유전체층(23)을 충진시키기 위한 방법으로서, 상기와 같이 선택적 도포 방법을 이용하거나, 또는, 도 3a에 도시된 바와 같이, 전면기판(31) 상에 버스전극들(32)을 형성한 상태에서, 상기 버스전극들(32)이 덮혀지도록 전면기판(31) 상에 제1유전체층(33)을 도포하고, 이어서, 도 3b에 도시된 바와 같이, 샌드 블라스트법(Sand Blast)으로 제1유전체층(33)을 전면 식각하여 버스전극(32)의 상부면을 노출시켜 버스전극들 사이에만 제1유전체층(33)이 충진되도록 만든다.

계속해서, 도 2b에 도시된 바와 같이, 버스전극(22) 및 제1유전체층(23) 상에 스퍼터법 등의 방법으로 ITO와 같은 투명 금속막(24)을 전면 증착하고, 이 투명 금속막(24) 상에 감광막(25)을 도포한다.

다음으로, 도 2c에 도시된 바와 같이, 감광막에 대한 노광 및 현상 공정을 실시하여 감광막 패턴(25a)을 형성하고, 이러한 감광막 패턴(25a)을 식각 마스크로하는 식각 공정으로 투명 금속막을 식각하여 투명전극(24a)을 형성하다.

그리고 나서, 도 2d에 도시된 바와 같이, 감광막 패턴을 제거한 후, 투명전극(24a)을 포함한 제1유전체층(23) 상에 제2유전체층(26)을 전면 도포하고, 상기 제2유전체층(26) 상에 MgO로된 보호막(27)을 형성한다.

본 발명에 따르면, 상대적으로 두꺼운 버스전극을 투명전극 보다 먼저 형성하기 때문에 투명 금속막의 식각시에 버스전극의 상부면에 표시된 정렬 마크를 육안으로 보면서 식각 공정을 진행할 수 있게 되어 투명전극과 버스전극간의 오정렬을 방지할 수 있게 된다. 또한, 유전체층의 형성을 2단계를 나누어 실시하기 때문에 유전체층의 평탄화를 달성할 수 있으며, 아울러, 상대적으로 폭이 넓은 투명전극을 버스전극 상에 형성함으로써 전극면 전체에 대하여 일정하게 전기장이 발생되도록 할 수 있기 때문에 PDP의 방전효율을 향상시킬 수 있게 된다.

이상에서와 같이, 본 발명은 버스전극을 형성한 상태에서, 상기 버스전극의 상부면에 표시된 정렬 마크를 이용하여 투명전극을 형성하기 때문에 상기 투명전극과 버스전극간의 정렬을 용이하게 실시할 수 있다.

또한, 투명전극을 버스전극 상에 형성하는 것에 기인하여 상기 투명전극 전체면에 대하여 일정하게 전기장이 형성되도록 할 수 있기 때문에 방전효율을 향상시킬 수 있다.

게다가, 버스전극을 먼저 형성함에 따라 유전체층에 대한 평탄화를 달성할 수 있기 때문에 상기 유전체층의 표면 굴곡으로 인한 방전효율의 저하를 방지할 수 있다.

한편, 여기에서는 본 발명의 특정 실시예에 대하여 설명하고 도시하였지만, 당업자에 의하여 이에 대한 수정과 변형을 할 수 있다. 따라서, 이하, 특허청구의 범위는 본 발명의 진정한 사상과 범위에 속하는 한 모든 수정과 변형을 포함하는 것으로 이해할 수 있다.

Claims (5)

1. 유리기판;

   상기 유리기판 상에 형성되며, 투명전극 및 버스전극이 적층된 구조로된 방전유지전극들;

   상기 방전유지전극들을 피복하도록 상기 유리기판 상에 전면 도포된 유전체층; 및

   상기 유전체층 상에 전면 도포된 보호막을 포함해서 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판.
2. 유리기판 상에 등간격으로 버스전극들을 형성하는 단계;

   상기 버스전극들 사이에 제1유전체층을 충진시키는 단계;

   상기 버스전극 및 제1유전체층 상에 투명 금속막을 형성하는 단계;

   상기 투명 금속막 상에 감광막을 전면 도포한 후, 상기 감광막을 노광 및 현상하여 감광막 패턴을 형성하는 단계;

   상기 감광막 패턴의 형태로 상기 투명 금속막을 식각하여 상기 버스전극과 콘택됨과 아울러 상기 버스전극 보다 큰 폭을 갖는 투명 전극들을 형성하는 단계;

   상기 감광막 패턴을 제거하는 단계;

   상기 투명전극들이 덮혀지도록 전체 상부에 제2유전체층과 보호막을 적층시키는 단계를 포함해서 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판 제조방법.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 버스전극들 사이에 제1유전체층을 충진시키는 단계는 선택적으로 도포 방법으로 수행하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판 제조방법.
4. 제 2 항에 있어서, 상기 버스전극들 사이에 제1유전체층을 충진시키는 단계는, 상기 버스전극들이 형성된 유리기판 전면 상에 상기 버스전극들이 덮혀지도록 제1유전체층을 도포하는 단계; 및 상기 버스전극의 상부면이 노출될 때까지 상기 제1유전체층을 전면 식각하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판 제조방법.
5. 제 2 항에 있어서, 상기 유리기판 상에 버스전극을 형성하기 전에, 전극의 퍼짐을 방지하기 위하여 상기 유리기판 상에 유전체층을 도포하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판 제조방법.