JP2000357460A - 平面型表示装置とその製造方法 - Google Patents
平面型表示装置とその製造方法Info
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- H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
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- H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
- H01J11/10—AC-PDPs with at least one main electrode being out of contact with the plasma
- H01J11/12—AC-PDPs with at least one main electrode being out of contact with the plasma with main electrodes provided on both sides of the discharge space
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- H01J11/22—Electrodes, e.g. special shape, material or configuration
- H01J11/32—Disposition of the electrodes
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 消費電力の低減化を図ることができる交流駆
動型のマトリクス型のプラズマ放電表示装置とその製造
方法を提供するものである。 【解決手段】 第１の第２の基板１１および１２が相対
向して配置され、第１の基板１に、複数の第１の放電電
極１１が配列されて成る第１の電極群２１が形成され、
第２の基板２に、複数の第２の放電電極１２が配列され
て成る第２の電極群２１が形成され、主として陰極グロ
ー放電によるプラズマ放電表示がなされる構成とする。
動型のマトリクス型のプラズマ放電表示装置とその製造
方法を提供するものである。 【解決手段】 第１の第２の基板１１および１２が相対
向して配置され、第１の基板１に、複数の第１の放電電
極１１が配列されて成る第１の電極群２１が形成され、
第２の基板２に、複数の第２の放電電極１２が配列され
て成る第２の電極群２１が形成され、主として陰極グロ
ー放電によるプラズマ放電表示がなされる構成とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、交流プラズマ放電
表示による平面型表示装置とその製造方法に係わる。
表示による平面型表示装置とその製造方法に係わる。
【０００２】
【従来の技術】一般に、Ｘ電極およびＹ電極と呼称され
るそれぞれ複数の平行電極が配列されて成る第１および
第２の電極を有し、両電極群の選択された電極間のプラ
ズマ放電により目的とする表示を行うようにした２電極
方式、いわゆるマトリクス型表示態様を採る平面型プラ
ズマ放電表示装置がある（例えば特開平６−５２８０２
号公報参照）。
るそれぞれ複数の平行電極が配列されて成る第１および
第２の電極を有し、両電極群の選択された電極間のプラ
ズマ放電により目的とする表示を行うようにした２電極
方式、いわゆるマトリクス型表示態様を採る平面型プラ
ズマ放電表示装置がある（例えば特開平６−５２８０２
号公報参照）。
【０００３】この種のマトリクス型のプラズマ放電表示
装置は、相対向する第１および第２基板の周辺部が封止
されて、両基板間に気密空間が形成される。そして第１
基板の内面に第１の方向に延長して形成された第１の電
極が配列されて成る一方の放電電極を構成する第１の電
極群が形成され、第２の基板の内面に第１の方向と直交
する第２の方向に延長して形成された第２の電極が配列
されて成る他方の放電電極を構成する第２の電極群が形
成されて成る。第１および第２の電極群の両面には誘電
体層が形成され、更にＭｇＯ等の表面層が形成される。
更に、第１または第２の電極間の、一方の電極の例えば
両側に、所要の色の発光がなされる蛍光体が配置され
る。
装置は、相対向する第１および第２基板の周辺部が封止
されて、両基板間に気密空間が形成される。そして第１
基板の内面に第１の方向に延長して形成された第１の電
極が配列されて成る一方の放電電極を構成する第１の電
極群が形成され、第２の基板の内面に第１の方向と直交
する第２の方向に延長して形成された第２の電極が配列
されて成る他方の放電電極を構成する第２の電極群が形
成されて成る。第１および第２の電極群の両面には誘電
体層が形成され、更にＭｇＯ等の表面層が形成される。
更に、第１または第２の電極間の、一方の電極の例えば
両側に、所要の色の発光がなされる蛍光体が配置され
る。
【０００４】この構成においては、選択された第１およ
び第２電極間に所要の交流電圧を印加することによって
放電を発生させ、このとき発生した紫外線によって蛍光
体を発光させて所要の色の発光を行って目的とする例え
ばカラー表示を行うようになされている。
び第２電極間に所要の交流電圧を印加することによって
放電を発生させ、このとき発生した紫外線によって蛍光
体を発光させて所要の色の発光を行って目的とする例え
ばカラー表示を行うようになされている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、通常のマト
リクス型のプラズマ放電表示装置は、電極間間隔が例え
ば１３０μｍから２００μｍに選定された、いわゆる負
グロー放電によるものである。しかしながら、このよう
に負グロー放電を主体とする放電態様では、比較的駆動
電圧および駆動電流が大きく、駆動電力が高いことによ
り消費電力が大きく、昨今大型化される方向にある平面
型表示装置においては、その消費電力の低減化の要求が
高い。本発明は、この消費電力の低減化を図ることがで
きる交流駆動型のマトリクス型のプラズマ放電表示装置
とその製造方法を提供するものである。
リクス型のプラズマ放電表示装置は、電極間間隔が例え
ば１３０μｍから２００μｍに選定された、いわゆる負
グロー放電によるものである。しかしながら、このよう
に負グロー放電を主体とする放電態様では、比較的駆動
電圧および駆動電流が大きく、駆動電力が高いことによ
り消費電力が大きく、昨今大型化される方向にある平面
型表示装置においては、その消費電力の低減化の要求が
高い。本発明は、この消費電力の低減化を図ることがで
きる交流駆動型のマトリクス型のプラズマ放電表示装置
とその製造方法を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明による平面型表示
装置は、第１および第２の基板が相対向して配置され、
第１の基板に、第１の放電電極となる複数の第１の電極
が配列されて成る第１の電極群が形成され、第２の基板
に、他方の放電電極となる複数の第２の電極が配列され
て成る第２の電極群が形成され、陰極グロー放電による
すなわち陰極グロー放電が支配的なプラズマ放電表示が
なされる構成とする。
装置は、第１および第２の基板が相対向して配置され、
第１の基板に、第１の放電電極となる複数の第１の電極
が配列されて成る第１の電極群が形成され、第２の基板
に、他方の放電電極となる複数の第２の電極が配列され
て成る第２の電極群が形成され、陰極グロー放電による
すなわち陰極グロー放電が支配的なプラズマ放電表示が
なされる構成とする。
【０００７】また、本発明による平面型表示装置の製造
方法は、第１の基板に、主たる延長方向が、この第１の
基板面に沿う第１の方向とされた複数の第１の電極を配
列形成する第１の電極群の形成工程と、第１の電極を横
切る方向に延びて所要の間隔を保持して平行配列する突
条部と、この突条部と交叉し第１の電極間上に沿って延
びる交叉突条部よりなる井桁状突条を形成する工程と、
第２の基板に、この第２の基板面に沿い第２の方向に延
びる複数の突壁を平行配列して形成する突壁群の形成工
程と、第２の基板の突壁に第２の方向と交叉する方向の
斜め上方から導電材を飛翔させる工程を経て、突壁の頂
部とその近傍の側壁に選択的に導電材を被着し、所要の
突壁の頂部に形成された導電材によって第２の電極を形
成する工程と、各突壁間に、蛍光体層を塗布する工程
と、第１および第２の基板を、第１および第２の方向が
互いに交叉する方向となるように対向させ、少なくとも
突壁と交叉突条部とが共働して第２の電極と、第１の電
極との間隔を所定の間隔に設定する。
方法は、第１の基板に、主たる延長方向が、この第１の
基板面に沿う第１の方向とされた複数の第１の電極を配
列形成する第１の電極群の形成工程と、第１の電極を横
切る方向に延びて所要の間隔を保持して平行配列する突
条部と、この突条部と交叉し第１の電極間上に沿って延
びる交叉突条部よりなる井桁状突条を形成する工程と、
第２の基板に、この第２の基板面に沿い第２の方向に延
びる複数の突壁を平行配列して形成する突壁群の形成工
程と、第２の基板の突壁に第２の方向と交叉する方向の
斜め上方から導電材を飛翔させる工程を経て、突壁の頂
部とその近傍の側壁に選択的に導電材を被着し、所要の
突壁の頂部に形成された導電材によって第２の電極を形
成する工程と、各突壁間に、蛍光体層を塗布する工程
と、第１および第２の基板を、第１および第２の方向が
互いに交叉する方向となるように対向させ、少なくとも
突壁と交叉突条部とが共働して第２の電極と、第１の電
極との間隔を所定の間隔に設定する。
【０００８】上述の本発明による平面型表示装置によれ
ば、その放電を陰極グロー放電による構成とすることに
よって駆動電力を、負グロー放電による場合に比して低
減化することができるようにするものであり、特に大画
面表示における節電効果を高めるようにするものであ
る。
ば、その放電を陰極グロー放電による構成とすることに
よって駆動電力を、負グロー放電による場合に比して低
減化することができるようにするものであり、特に大画
面表示における節電効果を高めるようにするものであ
る。
【０００９】また、本発明製造方法では、第２の電極の
形成を、突壁に対する導電材の斜め飛翔によってその頂
部に限定的に形成する方法によって互いに分離した第２
の電極を容易、かつ正確に形成するものである。
形成を、突壁に対する導電材の斜め飛翔によってその頂
部に限定的に形成する方法によって互いに分離した第２
の電極を容易、かつ正確に形成するものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明による平面型表示装置の一
実施形態の一例を図面を参照して説明する。図１は、そ
の平面型表示装置の要部の概略斜視図を示し、図２は、
その同様に要部の分解斜視図を示す。また、図３は、そ
の要部の背面から見た平面図を示す。しかしながら、本
発明はこの例に限られるものではない。
実施形態の一例を図面を参照して説明する。図１は、そ
の平面型表示装置の要部の概略斜視図を示し、図２は、
その同様に要部の分解斜視図を示す。また、図３は、そ
の要部の背面から見た平面図を示す。しかしながら、本
発明はこの例に限られるものではない。
【００１１】この本発明による平面型表示装置は、それ
ぞれ例えばガラス基板より成る第１および第２の基板１
および２が相対向して成り、図示しないが、両基板１お
よび２の周囲がフリットシール等によって気密的に封止
される。この例においては、第１の基板１側から発光表
示を観察する場合であり、この場合、少なくとも第１の
基板１は、表示光を透過する例えば透明ガラス基板によ
って形成される。第１の基板１の内面には、透明導電
層、例えばＩＴＯ（インジウム錫酸化物）による一方の
放電電極となる複数の第１の電極すなわち第１の放電電
極１１が、その主たる延長方向を、基板１の板面に沿う
第１の方向例えば図においてＸ方向として例えばストラ
イプ状に相互に平行配列されて形成された第１の電極群
すなわち第１の放電電極群２１が設けられる。
ぞれ例えばガラス基板より成る第１および第２の基板１
および２が相対向して成り、図示しないが、両基板１お
よび２の周囲がフリットシール等によって気密的に封止
される。この例においては、第１の基板１側から発光表
示を観察する場合であり、この場合、少なくとも第１の
基板１は、表示光を透過する例えば透明ガラス基板によ
って形成される。第１の基板１の内面には、透明導電
層、例えばＩＴＯ（インジウム錫酸化物）による一方の
放電電極となる複数の第１の電極すなわち第１の放電電
極１１が、その主たる延長方向を、基板１の板面に沿う
第１の方向例えば図においてＸ方向として例えばストラ
イプ状に相互に平行配列されて形成された第１の電極群
すなわち第１の放電電極群２１が設けられる。
【００１２】そして、これら第１の電極１１が、透明導
電層によって形成される場合は、その導電性が比較的低
いことから、これら第１の電極１１の導電性を補償する
ための導電性にすぐれた例えばＡｌによるいわゆるバス
電極１１ｂが、第１の電極１１の主たる延長方向に沿っ
て被着形成される。
電層によって形成される場合は、その導電性が比較的低
いことから、これら第１の電極１１の導電性を補償する
ための導電性にすぐれた例えばＡｌによるいわゆるバス
電極１１ｂが、第１の電極１１の主たる延長方向に沿っ
て被着形成される。
【００１３】また、第１の基板１には、第１の電極１１
を横切って上述のＸの方向と交叉例えば直交する第２の
方向Ｙに延長する突条部３ｙを所定の間隔を保持して平
行に形成すると同時に、これら突条部３ｙと交叉して、
上述のＸ方向に延びる交叉突条部３ｘが形成された井桁
状の突条３を形成する。その交叉突条部３ｘは、第１の
電極１１間に、第１の電極１１に一部跨がって、あるい
は跨ることなく形成される。
を横切って上述のＸの方向と交叉例えば直交する第２の
方向Ｙに延長する突条部３ｙを所定の間隔を保持して平
行に形成すると同時に、これら突条部３ｙと交叉して、
上述のＸ方向に延びる交叉突条部３ｘが形成された井桁
状の突条３を形成する。その交叉突条部３ｘは、第１の
電極１１間に、第１の電極１１に一部跨がって、あるい
は跨ることなく形成される。
【００１４】そして、第１の基板１の内面に全面的に誘
電体層４を、第１の電極１１間の間隔の半分以下の厚さ
をもって被着し、更にその上に仕事関数が小さく、かつ
電極の保護を行う例えばＭｇＯによる表面層５を形成す
る。
電体層４を、第１の電極１１間の間隔の半分以下の厚さ
をもって被着し、更にその上に仕事関数が小さく、かつ
電極の保護を行う例えばＭｇＯによる表面層５を形成す
る。
【００１５】また、第２の基板２の内面には、第２の方
向すなわちＹ方向に沿って延長し、第１の基板１の突条
３の突条部３ｙに対応し、かつこれら間に例えば１本づ
つ配置される例えばストライプ状の突壁６を形成する。
すなわち、この突壁６は、突条部３ｙのピッチの１／２
のピッチで形成される。そして、これら突壁６のうち
の、特に突条部３ｙ間に位置する突壁６ｃの頂部に、そ
の延長方向に沿ってストライプ状に第２の電極すなわち
第２の放電電極１２を被着形成して第２の電極群すなわ
ち第２の放電電極群２２を形成する。
向すなわちＹ方向に沿って延長し、第１の基板１の突条
３の突条部３ｙに対応し、かつこれら間に例えば１本づ
つ配置される例えばストライプ状の突壁６を形成する。
すなわち、この突壁６は、突条部３ｙのピッチの１／２
のピッチで形成される。そして、これら突壁６のうち
の、特に突条部３ｙ間に位置する突壁６ｃの頂部に、そ
の延長方向に沿ってストライプ状に第２の電極すなわち
第２の放電電極１２を被着形成して第２の電極群すなわ
ち第２の放電電極群２２を形成する。
【００１６】この構成において、突壁６および突条部３
ｙが、衝合もしくは接合されることによって、これらの
高さの選定によって、第１および第２の基板１および２
の間隔、したがって、第１および第２電極１１および１
２の間隔が、５０μｍ未満好ましくは２０μｍ以下の所
定の間隔、すなわち陰極グロー放電を可能にする間隔に
設定する。
ｙが、衝合もしくは接合されることによって、これらの
高さの選定によって、第１および第２の基板１および２
の間隔、したがって、第１および第２電極１１および１
２の間隔が、５０μｍ未満好ましくは２０μｍ以下の所
定の間隔、すなわち陰極グロー放電を可能にする間隔に
設定する。
【００１７】そして、各第２の電極１２が形成された突
壁６ｃの両側に互いに同色を発光する蛍光体層が配置形
成される。例えば、カラー平面型表示装置を形成する場
合においては、例えば１本の突壁６ｃの両側の突壁６と
の間の溝部に赤の発光がなされる蛍光体Ｒを配置され、
その例えば左右にそれぞれ隣り合う他の突壁６ｃとその
両側の突壁６との間の各溝部に青の発光がなされる蛍光
体Ｂと緑の発光がなされる蛍光体Ｇとがそれぞれ配置形
成される。
壁６ｃの両側に互いに同色を発光する蛍光体層が配置形
成される。例えば、カラー平面型表示装置を形成する場
合においては、例えば１本の突壁６ｃの両側の突壁６と
の間の溝部に赤の発光がなされる蛍光体Ｒを配置され、
その例えば左右にそれぞれ隣り合う他の突壁６ｃとその
両側の突壁６との間の各溝部に青の発光がなされる蛍光
体Ｂと緑の発光がなされる蛍光体Ｇとがそれぞれ配置形
成される。
【００１８】このようにして、第１および第２の基板１
および２の、突条部３および突壁６との共働によって放
電を閉じ込めて他と分離された放電領域を形成し、これ
ら領域において、それぞれ各色の発光がなされる画素領
域を形成する。
および２の、突条部３および突壁６との共働によって放
電を閉じ込めて他と分離された放電領域を形成し、これ
ら領域において、それぞれ各色の発光がなされる画素領
域を形成する。
【００１９】そして、第１および第２の基板１および２
によって形成された気密空間内を排気し、所要のガス、
例えばＨｅ，Ｎｅ，Ａｒ，Ｘｅ，Ｋｒのうちの１種以上
のガス例えばＮｅとＸｅとの混合ガスのいわゆるペニン
グガスを例えば０．０５〜５．０気圧に封入する。この
場合、各放電領域内の排気と、ガス封入を円滑に行うこ
とができるように、放電が他部に及ばない程度の気体流
通部を形成することができる。
によって形成された気密空間内を排気し、所要のガス、
例えばＨｅ，Ｎｅ，Ａｒ，Ｘｅ，Ｋｒのうちの１種以上
のガス例えばＮｅとＸｅとの混合ガスのいわゆるペニン
グガスを例えば０．０５〜５．０気圧に封入する。この
場合、各放電領域内の排気と、ガス封入を円滑に行うこ
とができるように、放電が他部に及ばない程度の気体流
通部を形成することができる。
【００２０】上述した本発明による平面型表示装置によ
れば、第１および第２の電極１１および１２間の間隔
を、５０μｍ未満、例えば２０μｍ以下という狭小な間
隔とすることにより、両者間の放電を主として陰極グロ
ー放電を生じさせる構成とする。このようにして、負グ
ロー放電による場合に比して、駆動電圧および駆動電
流、したがって、駆動電力の低減化を図ることができ、
特に大画面表示において問題となる消費電力の低減化を
図る。つまり、本発明における陰極グロー放電とは、言
うまでもなく、その目的から主として陰極グロー放電に
よるものではあるものの、何らかの原因で、付随的に他
の放電モードが幾分混在する場合をも含んで指称するも
のである。
れば、第１および第２の電極１１および１２間の間隔
を、５０μｍ未満、例えば２０μｍ以下という狭小な間
隔とすることにより、両者間の放電を主として陰極グロ
ー放電を生じさせる構成とする。このようにして、負グ
ロー放電による場合に比して、駆動電圧および駆動電
流、したがって、駆動電力の低減化を図ることができ、
特に大画面表示において問題となる消費電力の低減化を
図る。つまり、本発明における陰極グロー放電とは、言
うまでもなく、その目的から主として陰極グロー放電に
よるものではあるものの、何らかの原因で、付随的に他
の放電モードが幾分混在する場合をも含んで指称するも
のである。
【００２１】次に、本発明による平面型表示装置の製造
方法の一実施形態を説明する。この実施形態において
は、図１〜図３で説明した装置を得る場合で、その一例
を説明する。しかしながら、本発明による製造方法はこ
の例に限られるものではない。まず、第１の基板１側の
製造方法の一例について説明する。この場合、例えば透
明のガラス基板１が用意され、この基板１の内面に、上
述の第１の電極群２１が形成される。この場合、基板１
の内面に全面的に、透明導電層、例えばＩＴＯを、例え
ば約３００ｎｍの厚さに成膜し、フォトリソグラフィに
よるパターンエッチングを行って、複数のストライプ状
の第１の電極１２を形成する。すなわち、例えば全面的
に形成されたＩＴＯ上にフォトレジスト層を塗布、焼き
付けして、所要のパターンの露光および現像を行って目
的とする平行配列されたエッチングマスクを形成する。
そして、このエッチングマスクを用いて例えば塩酸およ
び塩化第２鉄の混合液によるエッチング液によって透明
導電層のパターンエッチングを行い、第１の電極１１を
形成する。
方法の一実施形態を説明する。この実施形態において
は、図１〜図３で説明した装置を得る場合で、その一例
を説明する。しかしながら、本発明による製造方法はこ
の例に限られるものではない。まず、第１の基板１側の
製造方法の一例について説明する。この場合、例えば透
明のガラス基板１が用意され、この基板１の内面に、上
述の第１の電極群２１が形成される。この場合、基板１
の内面に全面的に、透明導電層、例えばＩＴＯを、例え
ば約３００ｎｍの厚さに成膜し、フォトリソグラフィに
よるパターンエッチングを行って、複数のストライプ状
の第１の電極１２を形成する。すなわち、例えば全面的
に形成されたＩＴＯ上にフォトレジスト層を塗布、焼き
付けして、所要のパターンの露光および現像を行って目
的とする平行配列されたエッチングマスクを形成する。
そして、このエッチングマスクを用いて例えば塩酸およ
び塩化第２鉄の混合液によるエッチング液によって透明
導電層のパターンエッチングを行い、第１の電極１１を
形成する。
【００２２】次に、上述のバス電極１１ｂの形成を行
う。このバス電極１１ｂの形成は、先ず、第１の基板１
の内面に、第１の電極１１を覆って全面的に、良導電性
の例えばＡｌを約１μｍの厚さに蒸着し、前述したと同
様のフォトリソグラフィによるパターンエッチングを、
例えばエッチング液としてりん酸を用いて行って各第１
の電極３および４上に、その一部の幅にバス電極１１ｂ
を形成する。
う。このバス電極１１ｂの形成は、先ず、第１の基板１
の内面に、第１の電極１１を覆って全面的に、良導電性
の例えばＡｌを約１μｍの厚さに蒸着し、前述したと同
様のフォトリソグラフィによるパターンエッチングを、
例えばエッチング液としてりん酸を用いて行って各第１
の電極３および４上に、その一部の幅にバス電極１１ｂ
を形成する。
【００２３】そして、例えば印刷法によって、前述した
突条部３ｙと交叉突条部３ｘによる井桁状の突条３を、
例えば高さ２０μｍ、幅３０μｍ〜４０μｍに形成す
る。その後、全面的に例えばＳｉＯ2 による誘電体層４
をＣＶＤ(Chemical VaporDeposition) 法等によって形
成し、その上にＭｇＯを、厚さ約０．５μｍ〜１．０μ
ｍに例えば蒸着して表面層５を形成する。
突条部３ｙと交叉突条部３ｘによる井桁状の突条３を、
例えば高さ２０μｍ、幅３０μｍ〜４０μｍに形成す
る。その後、全面的に例えばＳｉＯ2 による誘電体層４
をＣＶＤ(Chemical VaporDeposition) 法等によって形
成し、その上にＭｇＯを、厚さ約０．５μｍ〜１．０μ
ｍに例えば蒸着して表面層５を形成する。
【００２４】一方、第２の電極を有する第２の基板２側
の製造方法は、先ず、上述の突壁６を印刷法によって形
成する場合について説明する。この場合、ガラスペース
トを複数回、重ね印刷する。この場合の１回の印刷の厚
さは約１０μｍであり、この印刷を繰り返すことによっ
て、高さ（厚さ）５０μｍから８０μｍのストライプ状
印刷を行う。その後、例えば５００℃〜６００℃のベー
キングを行う。このようにすると、３０μｍ〜６０μｍ
の高さの、突壁６を形成することができる。
の製造方法は、先ず、上述の突壁６を印刷法によって形
成する場合について説明する。この場合、ガラスペース
トを複数回、重ね印刷する。この場合の１回の印刷の厚
さは約１０μｍであり、この印刷を繰り返すことによっ
て、高さ（厚さ）５０μｍから８０μｍのストライプ状
印刷を行う。その後、例えば５００℃〜６００℃のベー
キングを行う。このようにすると、３０μｍ〜６０μｍ
の高さの、突壁６を形成することができる。
【００２５】その後、突壁６の少なくとも１つ置きの突
壁６ｃの頂部への導電層の形成を行う。この導電層の形
成は、図４Ａに示すように、図４Ａにおいて紙面と直交
する方向のＹ方向に沿って形成された突壁６に対し、紙
面に沿う方向のＸ方向の斜め上方から、導電材例えばＡ
ｌを、その飛翔方向に方向性を有する例えば蒸着法によ
る、すなわちいわゆる斜め蒸着によって被着する。この
ようにすると、隣りに存在する突壁６の陰になって突壁
６の基部には、導電材１３が被着されない部分が形成さ
れ、各突壁６に関して導電材１３が分断して形成され
る。したがって、その１つ置きの突壁６ｃに関しても、
その両側の突壁６の導電材１３と分断された導電材１３
の被着がなされ、各突壁６ｃに、他と分離された導電材
１３による第２の電極１２を構成することができる。
壁６ｃの頂部への導電層の形成を行う。この導電層の形
成は、図４Ａに示すように、図４Ａにおいて紙面と直交
する方向のＹ方向に沿って形成された突壁６に対し、紙
面に沿う方向のＸ方向の斜め上方から、導電材例えばＡ
ｌを、その飛翔方向に方向性を有する例えば蒸着法によ
る、すなわちいわゆる斜め蒸着によって被着する。この
ようにすると、隣りに存在する突壁６の陰になって突壁
６の基部には、導電材１３が被着されない部分が形成さ
れ、各突壁６に関して導電材１３が分断して形成され
る。したがって、その１つ置きの突壁６ｃに関しても、
その両側の突壁６の導電材１３と分断された導電材１３
の被着がなされ、各突壁６ｃに、他と分離された導電材
１３による第２の電極１２を構成することができる。
【００２６】更に、必要に応じて、図４Ｂに示すよう
に、同様の蒸着を、図４Ａとは反対側斜め上方から斜め
蒸着を行って導電材１３をより厚く形成することができ
る。
に、同様の蒸着を、図４Ａとは反対側斜め上方から斜め
蒸着を行って導電材１３をより厚く形成することができ
る。
【００２７】また、その後、必要に応じて、例えば図１
および図２に示す例におけるように、突壁６ｃ以外の突
壁６上の導電材１３をフォトリソグラフィによるパター
ンエッチングによって除去することもできるが、全突壁
６について導電材１３を残存させて置くこともできる。
および図２に示す例におけるように、突壁６ｃ以外の突
壁６上の導電材１３をフォトリソグラフィによるパター
ンエッチングによって除去することもできるが、全突壁
６について導電材１３を残存させて置くこともできる。
【００２８】その後、各突壁６ｃを挟んで隣り合う突壁
６との間の溝内に、それぞれ順次各色の蛍光体を有する
感光性の蛍光体スラリーの塗布、焼き付けを繰返し行っ
て図１に示すように、各色の蛍光体が各突壁６ｃを挟ん
でその両側に赤、緑および青の各蛍光体Ｒ、ＧおよびＢ
を、被着形成して、蛍光面の形成を行う。
６との間の溝内に、それぞれ順次各色の蛍光体を有する
感光性の蛍光体スラリーの塗布、焼き付けを繰返し行っ
て図１に示すように、各色の蛍光体が各突壁６ｃを挟ん
でその両側に赤、緑および青の各蛍光体Ｒ、ＧおよびＢ
を、被着形成して、蛍光面の形成を行う。
【００２９】更に、全面的にＭｇＯ等の表面層１４（図
２においては図示せず）の形成を行う。このようにし
て、第２の基板２側の作製がなされる。
２においては図示せず）の形成を行う。このようにし
て、第２の基板２側の作製がなされる。
【００３０】その後、両第１および第２の基板１および
２を、前述した位置関係に対向し、フリットシールし
て、排気およびガス封入を行って、目的とする平面型表
示装置を形成する。尚、この場合、各バス電極１１ｂの
端部および第２の電極１２の端部は、それぞれ気密空間
外に延在した各基板１および２の端部に導出して、それ
ぞれ各第１の電極１１および第２の電極１２への給電端
子とする。
２を、前述した位置関係に対向し、フリットシールし
て、排気およびガス封入を行って、目的とする平面型表
示装置を形成する。尚、この場合、各バス電極１１ｂの
端部および第２の電極１２の端部は、それぞれ気密空間
外に延在した各基板１および２の端部に導出して、それ
ぞれ各第１の電極１１および第２の電極１２への給電端
子とする。
【００３１】上述した本発明方法では、突壁６ｃの頂部
への第２の電極１２の被着を、斜め蒸着によって行った
場合で、この場合、各第２の電極１２の相互の分離を容
易に行うことができるが、この本発明装置の第２の電極
１２の形成方法は、上述の本発明方法の、斜め飛翔によ
る蒸着方法に限られるものではなく、例えば全面的に被
着し、フォトリソグラフィによるパターンエッチングに
よって溝底部の除去する方法を採るなどの方法によるこ
とができる。
への第２の電極１２の被着を、斜め蒸着によって行った
場合で、この場合、各第２の電極１２の相互の分離を容
易に行うことができるが、この本発明装置の第２の電極
１２の形成方法は、上述の本発明方法の、斜め飛翔によ
る蒸着方法に限られるものではなく、例えば全面的に被
着し、フォトリソグラフィによるパターンエッチングに
よって溝底部の除去する方法を採るなどの方法によるこ
とができる。
【００３２】また、上述した方法では、突壁６の形成
を、ガラスペーストの繰り返しパターン印刷の重ね印刷
によって印形成した場合であるが、例えば全面的に、例
えば５０μｍ〜８０μｍに印刷して、乾燥させ、全面的
に感光剤フィルムを積層し、これを、平行ストライプ状
に露光焼き付けを行い、現像し、その後、これをマスク
としてサンドブラストすることによって不要部分のガラ
ス層を除去し、その後、感光材フィルムを除去し、５０
０℃〜６００℃のベーキングを行うことによって所要の
高さの突壁６の形成を行うことができる。
を、ガラスペーストの繰り返しパターン印刷の重ね印刷
によって印形成した場合であるが、例えば全面的に、例
えば５０μｍ〜８０μｍに印刷して、乾燥させ、全面的
に感光剤フィルムを積層し、これを、平行ストライプ状
に露光焼き付けを行い、現像し、その後、これをマスク
としてサンドブラストすることによって不要部分のガラ
ス層を除去し、その後、感光材フィルムを除去し、５０
０℃〜６００℃のベーキングを行うことによって所要の
高さの突壁６の形成を行うことができる。
【００３３】尚、上述したように、目的とする平面型表
示装置を製造する工程において、高温の熱処理がなされ
ることによって、第１および第２の基板１および２の収
縮がなされることによって、例えば図５ＡおよびＢに示
すように、突壁６と突条部３ｙとの位置ずれが発生する
場合があるが、この場合においても、交叉突条部６ｘが
形成されていることによって、突壁６とこの交叉突条部
３ｘとが常に衝合することができることによって、両基
板１および２の間隔、したがって、第２の電極１２と第
１の電極１１との間隔を所定の間隔、すなわち５０μｍ
未満好ましくは２０μｍ以下の所定の間隔に設定するこ
とができる。
示装置を製造する工程において、高温の熱処理がなされ
ることによって、第１および第２の基板１および２の収
縮がなされることによって、例えば図５ＡおよびＢに示
すように、突壁６と突条部３ｙとの位置ずれが発生する
場合があるが、この場合においても、交叉突条部６ｘが
形成されていることによって、突壁６とこの交叉突条部
３ｘとが常に衝合することができることによって、両基
板１および２の間隔、したがって、第２の電極１２と第
１の電極１１との間隔を所定の間隔、すなわち５０μｍ
未満好ましくは２０μｍ以下の所定の間隔に設定するこ
とができる。
【００３４】尚、本発明は上述した例に限られるもので
はなく、例えば第１および第２の基板は、平面型表示装
置を構成する気密偏平容器を構成する全面および背面パ
ネル自体によって構成することもできるし、気密偏平容
器内に配置される相対向する基板によって構成すること
もできるなど種々の変形変更を行うことができるもので
ある。
はなく、例えば第１および第２の基板は、平面型表示装
置を構成する気密偏平容器を構成する全面および背面パ
ネル自体によって構成することもできるし、気密偏平容
器内に配置される相対向する基板によって構成すること
もできるなど種々の変形変更を行うことができるもので
ある。
【００３５】
【発明の効果】上述したように本発明による平面型表示
装置によれば、陰極グロー放電が発生する構成としたと
したことにより、駆動電力を、負グロー放電による場合
に比して低減化することができるようにするものであ
り、特に大画面表示における節電効果を高めることがで
きるものである。
装置によれば、陰極グロー放電が発生する構成としたと
したことにより、駆動電力を、負グロー放電による場合
に比して低減化することができるようにするものであ
り、特に大画面表示における節電効果を高めることがで
きるものである。
【００３６】また、実際に平面型表示装置を構成する工
程で、上述したように高温の熱処理を伴い、この場合第
１および第２基板１および２を、比較的廉価な鉛ガラス
等によって構成する場合、熱収縮がかなり大きく形成さ
れる。ところが、上述したように、突条６を井桁状とす
るときは、両基板１および２にずれが生じても、両基板
１および２の間隔、したがって、第２の電極と第１の電
極との間隔を所定の間隔に保持することができることに
よって、陰極グロー放電による場合に問題となる狭隘な
電極間距離の設定を確実に行うことができることによ
り、信頼性の高い平面型表示装置を確実に構成すること
ができる。
程で、上述したように高温の熱処理を伴い、この場合第
１および第２基板１および２を、比較的廉価な鉛ガラス
等によって構成する場合、熱収縮がかなり大きく形成さ
れる。ところが、上述したように、突条６を井桁状とす
るときは、両基板１および２にずれが生じても、両基板
１および２の間隔、したがって、第２の電極と第１の電
極との間隔を所定の間隔に保持することができることに
よって、陰極グロー放電による場合に問題となる狭隘な
電極間距離の設定を確実に行うことができることによ
り、信頼性の高い平面型表示装置を確実に構成すること
ができる。
【００３７】また、本発明製造方法による、第２の基板
に突壁６を形成し、その頂部に導電材の斜め飛翔により
第２の電極を形成する方法によるときは、突壁６の頂部
に限定的に導電材の形成を行うことができることから、
各突壁間の導電材の分離を行う工程が省略され、製造の
簡易化が図られる。
に突壁６を形成し、その頂部に導電材の斜め飛翔により
第２の電極を形成する方法によるときは、突壁６の頂部
に限定的に導電材の形成を行うことができることから、
各突壁間の導電材の分離を行う工程が省略され、製造の
簡易化が図られる。
【図１】本発明による平面型表示装置の一例の要部の概
略斜視図である。
略斜視図である。
【図２】本発明による平面型表示装置の一例の要部の分
解斜視図である。
解斜視図である。
【図３】本発明による平面型表示装置の一例の要部の背
面図である。
面図である。
【図４】ＡおよびＢは、本発明による平面型表示装置の
製造方法の一例の第２の電極の製造工程の要部の断面図
である。
製造方法の一例の第２の電極の製造工程の要部の断面図
である。
【図５】ＡおよびＢは、本発明による平面型表示装置の
特徴の説明に供する要部の断面図である。
特徴の説明に供する要部の断面図である。
１・・・第１の基板、２・・・第２の基板、１１・・・
第１の電極、１１ｂ・・・バス電極、２１・・・第１の
電極群、３・・・突条，３ｙ・・・突条部、３ｘ・・・
交叉突条部、４・・・誘電体層、５・・・表面層、６
（６ｃ）・・・突壁、１２・・・第２の電極、２２・・
・第２の電極群、１３・・・導電材、１４・・・表面層
第１の電極、１１ｂ・・・バス電極、２１・・・第１の
電極群、３・・・突条，３ｙ・・・突条部、３ｘ・・・
交叉突条部、４・・・誘電体層、５・・・表面層、６
（６ｃ）・・・突壁、１２・・・第２の電極、２２・・
・第２の電極群、１３・・・導電材、１４・・・表面層
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１２年４月５日（２０００．４．５）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１７】そして、各第２の電極１２が形成された突
壁６ｃの両側に互いに同色を発光する蛍光体層が配置形
成される。例えば、カラー平面型表示装置を形成する場
合においては、例えば１本の突壁６ｃの両側の突壁６と
の間の溝部に、赤の発光がなされる蛍光体Ｒが配置さ
れ、その例えば左右にそれぞれ隣り合う他の突壁６ｃと
その両側の突壁６との間の各溝部に、青の発光がなされ
る蛍光体Ｂと緑の発光がなされる蛍光体Ｇとがそれぞれ
配置形成される。
壁６ｃの両側に互いに同色を発光する蛍光体層が配置形
成される。例えば、カラー平面型表示装置を形成する場
合においては、例えば１本の突壁６ｃの両側の突壁６と
の間の溝部に、赤の発光がなされる蛍光体Ｒが配置さ
れ、その例えば左右にそれぞれ隣り合う他の突壁６ｃと
その両側の突壁６との間の各溝部に、青の発光がなされ
る蛍光体Ｂと緑の発光がなされる蛍光体Ｇとがそれぞれ
配置形成される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４】
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図５】
Claims (9)
- 【請求項１】 第１と第２の基板が相対向して配置さ
れ、 第１の基板に、一方の放電電極となる複数の第１の電極
が配列されて成る第１の電極群が形成され、 第２の基板に、他方の放電電極となる複数の第２の電極
が配列されて成る第２の電極群が形成され、 陰極グロー放電によるプラズマ放電表示がなされること
を特徴とする平面型表示装置。 - 【請求項２】 上記第１の電極は、その主たる延長方向
が、上記第１の基板の基板面に沿う第１の方向とされて
配列され、 上記第２の基板に、該基板面に沿い、上記第１の方向と
交叉する第２の方向に延びる複数の突壁が平行配列さ
れ、 上記突壁の少なくとも１つ置きの突壁の頂部に上記第２
の電極が形成されて成ることを特徴とする請求項１に記
載の平面型表示装置。 - 【請求項３】 上記突壁の頂部に形成された第２の電極
と、該第２の電極と対向する上記第１の電極との間隔
が、５０μｍ未満に選定されて成ることを特徴とする請
求項１に記載の平面型表示装置。 - 【請求項４】 上記突壁の頂部に形成された第２の電極
と、該第２の電極と対向する上記第１の電極との間隔
が、２０μｍ以下に選定されて成ることを特徴とする請
求項１に記載の平面型表示装置。 - 【請求項５】 上記第１の基板に、上記第２の方向に沿
って延びる突条部と、上記第１の方向に沿って延び、上
記第１の基板の上記突壁と交叉する交叉突条部とによる
井桁状突条が形成されて成ることを特徴とする請求項２
に記載の平面型表示装置。 - 【請求項６】 上記第２の基板にカラー蛍光体が形成さ
れてカラー表示がなされる請求項１に記載の平面型表示
装置。 - 【請求項７】 上記第２の基板の上記第２の電極を挟ん
でその両側に、上記カラー蛍光体の同色蛍光体が塗布さ
れて成ることを特徴とする請求項６に記載の平面型表示
装置。 - 【請求項８】 第１の基板に、主たる延長方向が、該第
１の基板面に沿う第１の方向とされた複数の第１の電極
を配列形成する第１の電極群の形成工程と、 上記第１の電極を横切る方向に延びて所要の間隔を保持
して平行配列する突条部と、該突条部と交叉し上記第１
の電極間上に沿って延びる交叉突条部よりなる井桁状突
条を形成する工程と、 上記第２の基板に、該第２の基板面に沿い上記第２の方
向に延びる複数の突壁を平行配列して形成する突壁群の
形成工程と、 上記第２の基板の上記突壁に上記第２の方向と交叉する
方向の斜め上方から導電材を飛翔させる工程を経て、上
記突壁の頂部とその近傍の側壁に選択的に上記導電材を
被着し、所要の突壁の頂部に形成された導電材によって
第２の電極を形成する工程と、 上記各突壁間に、蛍光体層を塗布する工程と、 上記第１および第２の基板を、上記第１および第２の方
向が互いに交叉する方向となるように対向させ、少なく
とも上記突壁と上記交叉突条部とが共働して上記第２の
電極と、第１の電極との間隔を所定の間隔に設定するよ
うにしたことを特徴とする平面型表示装置の製造方法。 - 【請求項９】 上記導電材の被着工程の後に、上記第２
の電極の構成部以外の導電材を除去する工程を有するこ
とを特徴とする請求項８に記載の平面型表示装置の製造
方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11229339A JP2000357460A (ja) | 1999-04-14 | 1999-08-13 | 平面型表示装置とその製造方法 |
| US09/539,381 US6603261B1 (en) | 1999-04-14 | 2000-03-31 | Flat display device and fabricating method of the same |
| KR1020000018939A KR100727475B1 (ko) | 1999-04-14 | 2000-04-11 | 평면형 표시 장치와 그 제조 방법 |
| EP00401047A EP1045421B1 (en) | 1999-04-14 | 2000-04-14 | Flat display device and fabricating method of the same |
| DE60018500T DE60018500T2 (de) | 1999-04-14 | 2000-04-14 | Flache Anzeigevorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11-107087 | 1999-04-14 | ||
| JP10708799 | 1999-04-14 | ||
| JP11229339A JP2000357460A (ja) | 1999-04-14 | 1999-08-13 | 平面型表示装置とその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000357460A true JP2000357460A (ja) | 2000-12-26 |
Family
ID=26447158
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11229339A Pending JP2000357460A (ja) | 1999-04-14 | 1999-08-13 | 平面型表示装置とその製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6603261B1 (ja) |
| EP (1) | EP1045421B1 (ja) |
| JP (1) | JP2000357460A (ja) |
| KR (1) | KR100727475B1 (ja) |
| DE (1) | DE60018500T2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000357462A (ja) * | 1998-10-23 | 2000-12-26 | Sony Corp | 平面型プラズマ放電表示装置と駆動方法 |
| JP2001035389A (ja) * | 1999-07-23 | 2001-02-09 | Sony Corp | 平面型表示装置とその製造方法 |
| JP2002203486A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-19 | Sony Corp | 交流駆動型プラズマ表示装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3986074A (en) | 1972-02-28 | 1976-10-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Luminous radiation panel apparatus |
| US4414490A (en) | 1982-03-08 | 1983-11-08 | Burroughs Corporation | Display panel |
| FR2692718A1 (fr) | 1992-06-19 | 1993-12-24 | Thomson Tubes Electroniques | Panneau à plasma à écran peu diffusant. |
| KR0170447B1 (ko) * | 1994-10-12 | 1999-02-01 | 엄길용 | 플라즈마 표시소자 |
| JPH1049072A (ja) * | 1996-08-06 | 1998-02-20 | Hitachi Ltd | ガス放電型表示装置とその製造方法 |
| KR19980031871A (ko) * | 1996-10-31 | 1998-07-25 | 손욱 | 플라즈마 표시소자 |
-
1999
- 1999-08-13 JP JP11229339A patent/JP2000357460A/ja active Pending
-
2000
- 2000-03-31 US US09/539,381 patent/US6603261B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-04-11 KR KR1020000018939A patent/KR100727475B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-04-14 DE DE60018500T patent/DE60018500T2/de not_active Expired - Fee Related
- 2000-04-14 EP EP00401047A patent/EP1045421B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| EP1045421B1 (en) | 2005-03-09 |
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| KR100727475B1 (ko) | 2007-06-13 |
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| DE60018500T2 (de) | 2006-04-13 |
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