DE19806818C1 - Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauelements, insbesondere eines mit akustischen Oberflächenwllen arbeitenden OFW-Bauelements - Google Patents
Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauelements, insbesondere eines mit akustischen Oberflächenwllen arbeitenden OFW-BauelementsInfo
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Abstract
Verfahren zur Herstellung eines OFW-Filters, bei dem eine in Basisplatten 2 vereinzelbare Trägerplatte 10 jeweils in den Basisplatten-Bereichen A mit Leiterbahnen versehen und diese in Flip-Chip-Technik mit den aktiven Strukturen von OFW-Chips 1 kontaktiert werden, wonach eine Metall- oder Kunststoffolie 3 bzw. 4 auf die Chip-bestückte Trägerplatte 10 aufgelegt und z. B. druck- und wärmebehandelt wird, derart, daß sie jedes Chip 1 - ausgenommen die zur Trägerplatte 10 gekehrte Chip-Fläche - umhüllt und in den Bereichen zwischen den Chips hermetisch dicht auf der Trägerplatten-Fläche aufliegt.
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines
elektronischen Bauelements, insbesondere eines mit akusti
schen Oberflächenwellen arbeitenden OFW-Bauelements, mit ei
nem Chip mit piezoelektrischem Substrat und aktiven Filter
strukturen, die mit Leiterbahnen einer Basisplatte kontak
tiert sind, und mit einem kappenförmigen Gehäuse, das den
Chip umhüllt und auf der Basisplatte dicht aufsitzt (DE 195 48 046 A1).
Zum Schutz gegen störende Umwelteinflüsse, insbesondere gegen
chemisch aggressive Substanzen und Feuchtigkeit ist bei in
Flip-Chip-Technik, d. h. mittels Bumps bzw. Lotkugeln mit den
Leiterbahnen der Keramik- oder Kunststoff-Basisplatte kontak
tierten aktiven Filterstrukturen zwischen Basisplatte und
Chip eine gegebenenfalls mehrlagige, üblicherweise 2-lagige,
strukturierte Schutzfolie, anmelderseits PROTEC genannt, an
geordnet. Geschützt durch diese Folie kann das OFW-Filter
nach dem Flip-Chip-Bonden mit Vergußmasse, z. B. Epoxidharz,
unterfüllt und umgossen werden, ohne daß dabei die aktive
Filterstruktur beschichtet und damit die Oberflächenwellen
unzulässig gedämpft werden.
Es hat sich gezeigt, daß bei in Flip-Chip-Technik kontaktier
ten OFW-Filtern höchstfrequenten Durchlaßbereichs, d. h. typi
scherweise bei Chip-Abmessungen kleiner etwa 2 × 2 mm2, trotz
Nichtunterfüllung der entsprechenden Räume zwischen Basis
platte und Chip eine ausreichende Stabilität bei Temperatur
wechselbelastung gegeben ist.
Veranlaßt durch diese Erkenntnis hat sich die Erfindung die
Aufgabe gestellt, ein Verfahren anzugeben, das einen Verzicht
auf die teuere PROTEC-Kapselung der OFW-Bauelemente ermög
licht und trotzdem ausgezeichnete OFW-Bauelemente schafft.
Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung bei einem Ver
fahren der eingangs genannten Art vor, daß eine in Basisplat
ten vereinzelbare Trägerplatte jeweils in den Basisplatten-
Bereichen mit Leiterbahnen versehen wird, daß ein Chip je Ba
sisplatten-Bereich mit dessen Leiterbahnen in Flip-Chip-
Technik kontaktiert wird, daß eine Deckfolie, insbesondere
eine Metallfolie oder eine gegebenenfalls metallbeschichtete
Kunststoff-Folie auf die Chip-bestückte Trägerplatte aufge
bracht wird, daß die Deckfolie behandelt, z. B. wärme- und
druckbehandelt wird derart, daß sie jedes Chip - ausgenommen
die zur Trägerplatte gekehrte Chip-Fläche - umhüllt und in
Bereichen zwischen den Chips auf der Trägerplatten-Fläche
dicht aufliegt und daß die Trägerplatte in die einzelnen OFW-
Bauelemente aufgetrennt wird.
Weiterbildungen der Erfindung sind den Unteransprüchen und
der Zeichnung samt Beschreibung entnehmbar. Es zeigt:
Fig. 1: in teils gebrochener Darstellung eine Draufsicht
auf eine erfindungsgemäß verwendete Trägerplatte;
Fig. 2: in teils geschnittener und gebrochener Darstellung
eine Seitenansicht eines ersten Ausführungsbeispie
les einer gemäß dem Verfahren nach der Erfindung
Chip-bestückten Trägerplatte; und
Fig. 3: ein zweites Ausführungsbeispiel eines gemäß dem
Verfahren nach der Erfindung gefertigten OFW-
Filters gleichfalls in teils geschnittener Seiten
ansicht.
Gleiche Teile sind dabei mit gleichen Bezugszeichen bezeich
net.
Beim ersterwähnten Verfahren wird eine längs den Trennlinien
B-B' und C-C' in Basisplatten 2 - s. Fig. 3 - vereinzelbare
Trägerplatte 10, z. B. eine Keramik- oder Kunststoffplatte,
jeweils in den Basisplatten-Bereichen A mit in der Zeichnung
nicht dargestellten Leiterbahnen versehen, die üblicherweise
zum rückseitigen Basisplatten-Bereich durchkontaktiert sind.
Bevorzugt gleichzeitig mit dem Aufbringen der Leiterbahnen
wird dabei die Trägerplatte 10 entsprechend den Basisplatten-
Abmessungen mit einem lötfähigen Metallraster 5 beschichtet
und nachfolgend je Basisplatten-Bereich A ein Chip 1 mittels
Bumps 6 mit dessen Leiterbahnen in Flip-Chip-Technik kontak
tiert.
Auf die Chip-bestückte Trägerplatte 10 wird schließlich eine
Deckfolie - nämlich eine Metallfolie 3 geeigneter Dicke und
Duktibilität - aufgebracht und z. B. in einem Autoklaven oder
unter Vakuum druck- und wärmebehandelt derart, daß sie jedes
Chip 1 dicht umhüllt - ausgenommen die zur Trägerplatte 10
benachbarte Chip-Fläche -, in den Bereichen zwischen den
Chips 1 auf dem Metallraster 9 aufliegt und mit diesem längs
des lötfähigen Metallrahmens verlötet ist.
Durch diese Art der Behandlung der Metallfolie 3 so auch
durch Ultraschall-Beaufschlagung längs des Metallrasters 5
schmiegt sich die Metallfolie 3 an jedes Chip 1 quasi als
kappenförmiges Gehäuse an, das mit seinen Stirnrändern 3a
hermetisch dicht auf dem Metallrahmen 5 bzw. auf der Träger
platte 10 aufsitzt.
Vorausgesetzt es wird kein hermetisch dichter Verschluß zwi
schen Folie und Basisplatte benötigt, so kann anstelle der
Metallfolie 3 eine gegebenenfalls zur elektromagnetischen Ab
schirmung metallbeschichtete Kunststoff-Folie 4 - s. Fig. 3 -
verwendet werden, die z. B. aus einem Klebermaterial im B-
Zustand besteht oder auf ihrer zur Trägerplatte 10 gekehrten
Oberfläche kleberbeschichtet ist. Auch diese Folie, die wie
derum einer Druck- und Wärmebehandlung in einem Autoklaven
unterzogen werden kann, umschließt den Chip hermetisch dicht.
Allerdings sitzt, da sich bei Kunststoff-Folien ein Metallra
ster 5 erübrigt, der Stirnrand 4a jedes "Kunststoff-Gehäuses"
unmittelbar auf der Trägerplatte 10 bzw. auf der Basisplatte
2 auf.
Es erweist sich auch als geeignet, die Metall- oder Kunst
stoff-Folie 3 bzw. 4 vorab in einem durch die Basisplatten 2
bestimmten Rastermaß kappenförmig tief zu ziehen und diese
teils tiefgezogene Folie über die Chip-bestückte Trägerplatte
10 zu stülpen, wonach sie in vorgenannter Weise mit ihren auf
der Trägerplatte 10 aufliegenden Bereichen 3a bzw. 4a mit der
Trägerplatte dicht verbunden wird. Diese Möglichkeit ist ins
besondere für schrumpffreie oder schrumpfarme Trägerplatten
von großer Bedeutung.
Die so entstandenen Gehäuse in Nutzentechnik können, wie dies
in Fig. 2 strichliniert (s. Bereich 7) angedeutet ist, durch
Umpressen oder Vergießen, z. B. mit Epoxidharz, weiter stabi
lisiert und zusätzlich hermetisch dicht mit einem Metallman
tel abgedichtet werden.
Auf die Außen- und/oder Innenfläche der Metall- und Kunst
stoff-Folie 3 bzw. 4 können ferner partiell Schichtfolgen,
bestehend aus Dämpfungsmasse, aufgebracht werden, die so ab
gestimmt werden, daß sie gegebenenfalls im Zusammenwirken mit
einer Umpreß- oder Vergußmasse 7 störende akustische Volumen
wellen dämpfen.
Als Dämpfungsmasse eignen sich insbesondere gefüllte Epoxid
harze, z. B. mit SiO2, W, WO3 oder Ag als Füllkomponente.
Claims (17)
1. Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauele
ments, insbesondere eines mit akustischen Oberflächenwellen
arbeitenden OFW-Bauelements, mit einem Chip (1) mit piezo
elektrischem Substrat und aktiven Filterstrukturen, die mit
Leiterbahnen einer Basisplatte (2) kontaktiert sind, und mit
einem kappenförmigen Gehäuse, das den Chip umhüllt und auf
der Basisplatte (2) dicht aufsitzt,
dadurch gekennzeichnet,
daß eine in Basisplatten (2) vereinzelbare Trägerplatte (10)
jeweils in den Basisplatten-Bereichen (A) mit Leiterbahnen
versehen wird, daß ein Chip (1) je Basisplatten-Bereich (A)
mit dessen Leiterbahnen in Flip-Chip-Technik kontaktiert
wird, daß eine Deckfolie auf die Chip-bestückte Trägerplatte
(10) aufgebracht wird, daß die Deckfolie behandelt wird der
art, daß sie jedes Chip (1) - ausgenommen die zur Trägerplat
te (10) gekehrte Chip-Fläche - umhüllt und in Bereichen zwi
schen den Chips (1) auf der Trägerplatten-Fläche aufliegt und
daß die Trägerplatte (10) in die einzelnen OFW-Bauelemente (1, 2) aufgetrennt wird.
daß die Trägerplatte (10) in die einzelnen OFW-Bauelemente (1, 2) aufgetrennt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß als Deckfolie eine Kunststoff-Folie (4) verwendet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß als Deckfolie eine metallbeschichtete Kunststoff-Folie
(4) verwendet wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß als Deckfolie eine auf ihrer zur Trägerplatte (10) ge
kehrten Oberfläche kleberbeschichtete Kunststoff-Folie (4)
verwendet wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß als Deckfolie eine Kunststoff-Folie (4) aus einem Kleber
material im B-Zustand verwendet wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß als Deckfolie eine Metallfolie (3) verwendet wird.
7. Verfahren nach Anspruch 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Trägerplatte (10) entsprechend den Basisplatten-
Abmessungen mit einem lötfähigen Metallraster (5) beschichtet
wird und daß auf die Chip-bestückte Trägerplatte (10) als
Deckfolie eine Metallfolie (3) aufgebracht und behandelt wird
derart, daß sie jedes Chip (1) umhüllt - ausgenommen die zur
Trägerplatte (10) benachbarte Chip-Fläche - und in den Berei
chen zwischen den Chips (1) auf dem Metallraster (5) aufliegt
und mit diesem verlötet ist.
8. Verfahren nach Anspruch 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Deckfolie vorab in einem durch die Basisplatten (2)
bestimmten Rastermaß kappenförmig tiefgezogen, über die Chip-
bestückte Trägerplatte (10) gestülpt und mit ihren auf der
Trägerplatte (10) aufliegenden Bereichen mit der Trägerplatte
(10) verbunden wird.
9. Verfahren nach Anspruch 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Deckfolie durch Druck- und Wärmebehandlung auf die
Chips (1) und die Trägerplatte (10) aufgebracht wird.
10. Verfahren nach Anspruch 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Deckfolie durch Ultraschall-Beaufschlagung längs des
Metallrasters (5) mit der Trägerplatte (10) verbunden wird.
11. Verfahren nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Druck- und Wärmebehandlung unter Vakuum erfolgt.
12. Verfahren nach Anspruch 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß als Trägerplatte (10) eine Keramik- oder Kunststoffplatte
verwendet wird.
13. Verfahren nach Anspruch 1 bis 8 und 12,
dadurch gekennzeichnet,
daß als Trägerplatte (10) eine durchkontaktierte, beiderseits
mit Leiterbahnen beschichtete Keramik- oder Kunststoffplatte
verwendet wird.
14. Verfahren nach Anspruch 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Deckfolie nach Umhüllung der Chips (1) mit Kunststoff
(7) umpreßt oder umgossen wird.
15. Verfahren nach Anspruch 1 bis 8 und 14,
dadurch gekennzeichnet,
daß auf die Außen- und/oder Innenfläche der Metall- und
Kunststoff-Folie (3; 4) partiell Schichtfolgen, bestehend aus
Dämpfungsmasse aufgebracht werden, die abgestimmt werden, so
daß sie gegebenenfalls im Zusammenwirken mit einer Umpreß-
oder Vergußmasse (7) störende akustische Volumenwellen dämp
fen.
16. Verfahren nach Anspruch 15,
dadurch gekennzeichnet,
daß als Dämpfungsmasse gefülltes Epoxidharz verwendet wird.
17. Verfahren nach Anspruch 16,
dadurch gekennzeichnet,
daß mit SiO2, W, WO3 oder Ag gefülltes Epoxidharz verwendet
wird.
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