DE112017000685T5 - Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung undflüssigmaterialaufbringungsverfahren - Google Patents

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Abstract

Aufgabe: Eine Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung und ein Flüssigmaterialaufbringungsverfahren werden bereitgestellt, mit denen ein Flüssigmaterial in einer vorbestimmten Ausstoßmenge pro Einheitszeit unabhängig von einer relativen Bewegungsgeschwindigkeit in einer Abfolge von Aufbringungsarbeiten ausgestoßen werden kann.
Lösung: Die Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung umfasst einen Ausstoßkopf, einen Roboter, der den Ausstoßkopf relativ zu einem Werkstück bewegt, eine Bewegungssteuerungseinheit, die eine relative Bewegung des Ausstoßkopfes und des Werkstücks steuert, und eine Ausstoßsteuerungseinheit, die einen Betrieb zum Ausstoßen eines Flüssigmaterials von einem Ausstoßkopf steuert, wobei die Ausstoßsteuerungseinheit in einer umschaltbaren Art und Weise entsprechend einem Aufbringungsprogramm eine Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung zum Ändern einer Ausstoßmenge des Flüssigmaterials, die von dem Ausstoßkopf pro Einheitszeit ausgestoßen wird, in Abhängigkeit von einer relativen Bewegungsgeschwindigkeit zwischen dem Ausstoßkopf und dem Werkstück und eine Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung zum Betreiben des Ausstoßkopfes, um das Flüssigmaterial in einer vorbestimmten Ausstoßmenge pro Einheitszeit unabhängig von der relativen Bewegungsgeschwindigkeit auszustoßen, ausführt. Das Flüssigmaterialaufbringungsverfahren wird unter Verwendung der Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung implementiert.

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung und ein Flüssigmaterialaufbringungsverfahren für eine Verwendung bei einer Ausführung eines Aufbringens einer gewünschten Linienziehung bzw. Linienzeichnung (auch breiter als Ziehaufbringung bzw. Zeichnungsaufbringung bezeichnet) auf einem Werkstück, während ein Ausstoßkopf und das Werkstück in Bezug zueinander bewegt werden.
  • Hintergrund der Erfindung
  • Eine Ausstoßvorrichtung, die als ein Verteiler bzw. Dispenser bezeichnet wird, wird in vielen Fällen verwendet, um ein Flüssigmaterial entlang einem vorbestimmten Muster in einer Verarbeitung zur Herstellung von elektronischen Vorrichtungen aufzubringen. Der Dispenser wird in breitem Umfang bei einer Herstellung verschiedener Vorrichtungen verwendet, die von großdimensionierten Vorrichtungen zu kleindimensionierten Vorrichtungen reichen. Beispielsweise wird der Dispenser in einem Schritt für ein lineares Aufbringen eines Leuchtstoffs oder eines Haftmittels auf einem Flachbildschirm, der durch ein Flüssigkristall- oder eine Organische-EL-Anzeige repräsentiert wird, oder in einem Schritt für ein lineares Aufbringen eines Haftmittels für ein Fixieren einer Smartphone-Abdeckung entlang einem äußeren Umfang der Abdeckung verwendet.
  • Eine Aufbringungsarbeit, die den Dispenser verwendet, wird ausgeführt, indem ein Flüssigmaterial von dem Dispenser ausgestoßen wird, während der Dispenser und ein Arbeitstisch entsprechend einem vorbestimmten Aufbringungsmuster relativ bewegt werden. Wenn jedoch eine Aufbringung eines Linienziehens bzw. einer Linienzeichnung für das Aufbringungsmuster, das einen Eckabschnitt umfasst, ausgeführt wird, entsteht ein Problem dahingehend, dass eine relative Bewegungsgeschwindigkeit zwischen dem Dispenser und dem Arbeitstisch geändert wird und eine Linienbreite einer gezogenen Aufbringungslinie in dem Eckabschnitt variiert (das heißt ein Problem dahingehend, dass obwohl gewünscht wird, dass eine in dem Eckabschnitt aufzubringende Linie in der gleichen Breite wie der in dem linearen Abschnitt aufgebracht wird, wie es in 10(A) veranschaulicht ist, die Linie in dem Eckabschnitt breiter wird als in dem linearen Abschnitt, wie es in 10(B) veranschaulicht ist, aufgrund einer Änderung der relativen Bewegungsgeschwindigkeit zwischen dem Dispenser und dem Arbeitstisch in dem Eckabschnitt).
  • Unter Berücksichtigung des vorstehend beschriebenen Problems ist eine Technik zum Aufbringen einer geeigneten Menge des Flüssigmaterials in dem Eckabschnitt vorgeschlagen worden, indem die relative Bewegungsgeschwindigkeit zwischen dem Dispenser und dem Arbeitstisch verzögert wird und ein Ausstoßdruck des Dispensers bei einem Startpunkt des Eckabschnitts verringert wird, wobei dann die relative Bewegungsgeschwindigkeit zwischen dem Dispenser und dem Arbeitstisch beschleunigt wird und der Ausstoßdruck des Dispensers vergrößert wird, bevor ein Endpunkt des Eckabschnitts erreicht wird.
  • Da jedoch der Ausstoßdruck (die Ausstoßmenge) entsprechend Musterdaten, die in einem Mikrocomputer gespeichert sind, gesteuert wird, ist ein Programmieren in Bezug auf die folgenden Punkte erforderlich, um die gewünschte Aufbringung der Linienzeichnung bzw. des Linienziehens in einer Aufbringungsvorrichtung zu realisieren, die beispielsweise einen Roboter (eine XYZ-Richtungs-Bewegungsvorrichtung) umfasst, um den Dispenser und den Arbeitstisch relativ zu bewegen.
  • Eine Programmierung ist zuerst in Bezug auf den Relative-Bewegung-Befehl für ein relatives Bewegen des Dispensers und des Arbeitstisches entsprechend dem Aufbringungsmuster erforderlich. Eine Programmierung ist ferner in Bezug auf den Ausstoßmengensteuerungsbefehl für ein Steuern der Ausstoßmenge bei jeder Aufbringungsposition bei dem Aufbringungsmuster erforderlich. Der Ausstoßmengensteuerungsbefehl ist beispielsweise ein Befehl für ein Abschwächen eines Luftdrucks für das Ausstoßen, ein Verkürzen einer Entfernung zwischen einem ringförmigen Ventilsitz in Verbindung mit einer Ausstoßöffnung und einem Ventilelement, oder einem Verringern einer Drehzahl einer Schraube, die eine Ausstoßschubkraft abgibt. Des Weiteren ist es an einer Stelle, bei der die relative Bewegungsgeschwindigkeit geändert wird, wie bei dem Eckabschnitt, erforderlich, einen Ort des Linienzeichnens bzw. Linienziehens in dem Eckabschnitt in eine Vielzahl von Teilen aufzuteilen und eine Programmierung in Bezug auf jede der relativen Bewegungsgeschwindigkeit und des Ausstoßdruckes für jeden Teil des aufgeteilten Ortes auszuführen.
  • Da die Aufgabe eines Programmierens der Ausstoßmenge bei jeder Aufbringungsposition Zeit und Aufwand erfordert, ist eine Technik zum automatischen Steuern des Ausstoßdrucks (der Ausstoßmenge) entsprechend der Änderung der relativen Bewegungsgeschwindigkeit zwischen dem Dispenser und dem Arbeitstisch vorgeschlagen worden.
  • Beispielsweise offenbart die Patentdruckschrift 1 eine Technik zum Steuern einer Flüssigkeitsmenge, die auf einen Gegenstand aufgebracht wird, um konstant gehalten zu werden, indem eine Ventilstange geöffnet wird, um eine Ausstoßströmungsrate zu vergrößern, wenn eine lineare Bewegungsgeschwindigkeit eines Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtungskörpers hoch ist, und indem umgekehrt die Ventilstange geschlossen wird, um die Ausstoßströmungsrate zu verkleinern, wenn die lineare Bewegungsgeschwindigkeit des Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtungskörpers niedrig ist.
  • Des Weiteren offenbart die Patentdruckschrift 2 eine Technik, um in einer Umwandlungseinheit einen Vergleichsausdruck oder eine Umwandlungstabelle, die eine Beziehung zwischen einer Bewegungsgeschwindigkeit eines Verteilungskopfes und einer Steuerungsmenge einer Ausstoßmengensteuerungsvorrichtung darstellt, vorzubereiten und die Steuerungsmenge zu berechnen, um eine voreingestellte Linienbreite zu verwirklichen, indem die Bewegungsgeschwindigkeit in den Vergleichsausdruck oder die Umwandlungstabelle eingesetzt wird.
  • Zitierungsliste
  • Patentdruckschriften
    • Patentdruckschrift 1: Japanische Patentoffenlegungsschrift Nr. H05-285434
    • Patentdruckschrift 2: Internationale Veröffentlichung Nr. 2015/083722
  • Kurzzusammenfassung der Erfindung
  • Technisches Problem
  • In den Techniken gemäß dem verwandten Stand der Technik (die Erfindungen, die in den Patentdruckschriften 1 und 2 offenbart sind) wird jedoch die Ausstoßmenge des Flüssigmaterials pro Einheitszeit, die von dem Dispenser ausgestoßen wird, auf der Grundlage der relativen Bewegungsgeschwindigkeit zwischen dem Dispenser und dem Arbeitstisch bestimmt. Somit müssen, um das Flüssigmaterial in einer Ausstoßmenge auszustoßen, die durch eine Bedienungsperson gewünscht wird, der Dispenser und der Arbeitstisch relativ mit der relativen Bewegungsgeschwindigkeit, die der gewünschten Ausstoßmenge entspricht, bewegt werden. Dementsprechend müssen auch in dem Fall einer Ausführung eines Entsorgungsausstoßes oder eines Versuchsausstoßes während einer Aufbringungsarbeit der Dispenser und der Arbeitstisch kontinuierlich über einen Entsorgungsausstoßbereich oder einen Versuchsausstoßbereich mit der relativen Bewegungsgeschwindigkeit entsprechend der Ausstoßmenge, die durch die Bedienungsperson gewünscht wird, bewegt werden.
  • Des Weiteren muss in den Techniken gemäß dem verwandten Stand der Technik eine Beziehung zwischen der relativen Bewegungsgeschwindigkeit zwischen dem Dispenser und dem Arbeitstisch und der Ausstoßmenge pro Einheitszeit in Abhängigkeit von einer Linienbreite, die durch die Bedienungsperson gewünscht wird, eingestellt werden, sodass eine Aufbringungslinie mit einer konstanten Linienbreite gezogen bzw. gezeichnet wird, auch wenn die relative Bewegungsgeschwindigkeit zwischen dem Dispenser und dem Arbeitstisch geändert wird. Folglich muss in dem Fall eines Ziehens bzw. Zeichnens von Aufbringungslinien mit unterschiedlichen Linienbreiten in einer Abfolge von Aufbringungsarbeiten die Beziehung zwischen der relativen Bewegungsgeschwindigkeit und der Ausstoßmenge pro Einheitszeit für jede der Linienbreiten, die durch die Bedienungsperson gewünscht werden, eingestellt werden. Dies führt zu einem Problem, dass arbeitsaufwändige Aufgaben erforderlich sind.
  • Die Techniken gemäß dem Stand der Technik weisen ferner ein Problem auf, dass eine Arbeit zum Aufbringen des Flüssigmaterials in der Form eines Punktes durch ein Stoppen des Dispensers nicht ausgeführt werden kann.
  • Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung und ein Flüssigmaterialaufbringungsverfahren bereitzustellen, die in der Lage sind, ein Flüssigmaterial in einer vorbestimmten Ausstoßmenge pro Einheitszeit unabhängig von einer relativen Bewegungsgeschwindigkeit während einer Abfolge von Aufbringungsarbeiten auszustoßen.
  • Lösung des Problems
  • Die vorliegende Erfindung stellt eine Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung bereit, die einen Ausstoßkopf, der ein Flüssigmaterialausstoß, einen Roboter, der den Ausstoßkopf in Bezug auf ein Werkstück bewegt, eine Bewegungssteuerungseinheit, die eine relative Bewegung des Ausstoßkopfes und des Werkstückes entsprechend einem Aufbringungsprogramm steuert, und eine Ausstoßsteuerungseinheit umfasst, die einen Betrieb zum Ausstoßen des Flüssigmaterials von dem Ausstoßkopf steuert, wobei die Bewegungssteuerungseinheit und die Ausstoßsteuerungseinheit kooperativ eine Arbeit zum Aufbringen des Flüssigmaterials auf das Werkstück in einem vorbestimmten Aufbringungsmuster ausführen, wobei die Ausstoßsteuerungseinheit in einer umschaltbaren Art und Weise entsprechend dem Aufbringungsprogramm eine Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung zum Ändern einer Ausstoßmenge des Flüssigmaterials, das von dem Ausstoßkopf pro Einheitszeit ausgestoßen wird, in Abhängigkeit von einer relativen Bewegungsgeschwindigkeit zwischen dem Ausstoßkopf und dem Werkstück und eine Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung zum Betreiben des Ausstoßkopfes, das Flüssigmaterial in einer vorbestimmten Ausstoßmenge pro Einheitszeit unabhängig von der relativen Bewegungsgeschwindigkeit auszustoßen, ausführt.
  • In der Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung, die vorstehend beschrieben ist, kann in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung eine Linienziehaufbringung bzw. Linienzeichnungsaufbringung zum Ziehen bzw. Zeichnen einer Aufbringungslinie in einer konstanten Aufbringungsmenge pro Einheitslänge entsprechend dem Aufbringungsprogramm ausgeführt werden.
  • In der Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung, die vorstehend beschrieben ist, kann in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung eine Linienziehaufbringung bzw. Linienzeichnungsaufbringung zum Ziehen bzw. Zeichnen einer Aufbringungslinie in einer konstanten Linienbreite entsprechend dem Aufbringungsprogramm ausgeführt werden.
  • In der vorstehend beschriebenen Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung kann in der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung zumindest eine aus der Linienziehaufbringung bzw. Linienzeichnungsaufbringung einer Entsorgungsaufbringung, einer Versuchsaufbringung und einer Punktaufbringung entsprechend dem Aufbringungsprogramm ausgeführt werden. Als eine Alternative können zumindest zwei aus der Linienziehaufbringung bzw. Linienzeichnungsaufbringung, der Entsorgungsaufbringung, der Versuchsaufbringung und der Punktaufbringung ausgeführt werden.
  • In der vorstehend beschriebenen Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung kann die Ausstoßsteuerungseinheit die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung und die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung bei einem Empfang eines Signals, das von der Bewegungssteuerungseinheit ausgegeben wird, entsprechend dem Aufbringungsprogramm umschalten.
  • In der vorstehend beschriebenen Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung kann die Ausstoßsteuerungseinheit in der Lage sein, mehrere Typen der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung, in denen Beziehungen zwischen der relativen Bewegungsgeschwindigkeit und der Ausstoßmenge pro Einheitszeit zueinander unterschiedlich sind, und mehrere Typen der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung einzustellen, in denen die vorbestimmten Ausstoßmengen pro Einheitszeit zueinander unterschiedlich sind, und eine aus den mehreren Typen der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung und der mehreren Typen der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung selektiv auszuführen.
  • In der vorstehend beschriebenen Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung kann die Ausstoßsteuerungseinheit eine Funktion zum automatischen Berechnen, auf der Grundlage einer ersten relativen Bewegungsgeschwindigkeit, einer ersten Ausstoßmenge pro Einheitszeit entsprechend der ersten relativen Bewegungsgeschwindigkeit, einer zweiten relativen Bewegungsgeschwindigkeit und einer zweiten Ausstoßmenge pro Einheitszeit entsprechend der zweiten relativen Bewegungsgeschwindigkeit, einer dritten Ausstoßmenge pro Einheitszeit entsprechend einer dritten relativen Bewegungsgeschwindigkeit aufweisen, wobei in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung die Ausstoßsteuerungseinheit den Ausstoßkopf in einer Art und Weise steuern kann, um während einer Bewegung des Ausstoßkopfes bei einer der ersten bis dritten relativen Bewegungsgeschwindigkeiten das Flüssigmaterial in der Ausstoßmenge pro Einheitszeit entsprechend der einen relativen Bewegungsgeschwindigkeit von dem Ausstoßkopf auszustoßen.
  • In der vorstehend beschriebenen Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung können die relativen Bewegungsgeschwindigkeiten zusätzlich zu relativen Bewegungsgeschwindigkeiten, die zuvor in das Aufbringungsprogramm eingegeben werden, um das Flüssigmaterial in dem Aufbringungsmuster aufzubringen, eine relative Bewegungsgeschwindigkeit umfassen, die automatisch auf der Grundlage der relativen Bewegungsgeschwindigkeiten berechnet wird, die zuvor in das Aufbringungsprogramm eingegeben werden, um die relativen Bewegungsgeschwindigkeiten, die zuvor in das Aufbringungsprogramm eingegeben werden, zu ergänzen.
  • Die vorliegende Erfindung stellt ferner ein Flüssigmaterialaufbringungsverfahren bereit, das eine Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung verwendet, die einen Ausstoßkopf, der ein Flüssigmaterial ausstößt, einen Roboter, der den Ausstoßkopf in Bezug auf ein Werkstück bewegt, eine Bewegungssteuerungseinheit, die eine relative Bewegung des Ausstoßkopfes und des Werkstückes entsprechend einem Aufbringungsprogramm steuert, und eine Ausstoßsteuerungseinheit umfasst, die einen Betrieb zum Ausstoßen des Flüssigmaterials von dem Ausstoßkopf steuert, wobei die Bewegungssteuerungseinheit und die Ausstoßsteuerungseinheit kooperativ eine Arbeit zum Aufbringen des Flüssigmaterials auf das Werkstück in einem vorbestimmten Aufbringungsmuster ausführen, wobei eine Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung zum Ändern einer Ausstoßmenge des Flüssigmaterials, das von dem Ausstoßkopf pro Einheitszeit ausgestoßen wird, in Abhängigkeit von einer relativen Bewegungsgeschwindigkeit zwischen dem Ausstoßkopf und dem Werkstück und eine Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung zum Betreiben des Ausstoßkopfes, um das Flüssigmaterial in einer vorbestimmten Ausstoßmenge pro Einheitszeit unabhängig von der relativen Bewegungsgeschwindigkeit auszustoßen, in einer umschaltbaren Art und Weise entsprechend dem Aufbringungsprogramm ausgeführt werden.
  • In dem vorstehend beschriebenen Flüssigmaterialaufbringungsverfahren kann in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung eine Linienziehaufbringung bzw. Linienzeichnungsaufbringung zum Ziehen bzw. Zeichnen einer Aufbringungslinie in einer konstanten Aufbringungsmenge pro Einheitslänge entsprechend dem Aufbringungsprogramm ausgeführt werden.
  • In dem vorstehend beschriebenen Flüssigmaterialaufbringungsverfahren kann in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung eine Linienziehaufbringung bzw. Linienzeichnungsaufbringung zum Ziehen bzw. Zeichnen einer Aufbringungslinie in einer konstanten Linienbreite entsprechend dem Aufbringungsprogramm ausgeführt werden.
  • In dem vorstehend beschriebenen Flüssigmaterialaufbringungsverfahren kann in der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung zumindest eine aus der Linienziehaufbringung bzw. Linienzeichnungsaufbringung, einer Entsorgungsaufbringung, einer Versuchsaufbringung und einer Punktaufbringung entsprechend dem Aufbringungsprogramm ausgeführt werden. Als eine Alternative können zumindest zwei aus der Linienziehaufbringung bzw. Linienzeichnungsaufbringung, der Entsorgungsaufbringung, der Versuchsaufbringung und der Punktaufbringung ausgeführt werden.
  • In dem vorstehend beschriebenen Flüssigmaterialaufbringungsverfahren kann die Ausstoßsteuerungseinheit die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung und die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung bei einem Empfang eines Signals, das von der Bewegungssteuerungseinheit ausgegeben wird, entsprechend dem Aufbringungsprogramm umschalten.
  • In dem vorstehend beschriebenen Flüssigmaterialaufbringungsverfahren kann die Ausstoßsteuerungseinheit mehrere Typen der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung, in denen Beziehungen zwischen der relativen Bewegungsgeschwindigkeit und der Ausstoßmenge pro Einheitszeit unterschiedlich zueinander sind, und mehrere Typen der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung, in der die vorbestimmten Ausstoßmengen pro Einheitszeit unterschiedlich zueinander sind, einstellen und kann eine aus den mehreren Typen der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung und den mehreren Typen der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung selektiv ausführen.
  • In dem vorstehend beschriebenen Flüssigmaterialaufbringungsverfahren kann die Ausstoßsteuerungseinheit eine Funktion zum automatischen Berechnen, auf der Grundlage einer ersten relativen Bewegungsgeschwindigkeit, einer ersten Ausstoßmenge pro Einheitszeit entsprechend der ersten relativen Bewegungsgeschwindigkeit, einer zweiten relativen Bewegungsgeschwindigkeit und einer zweiten Ausstoßmenge pro Einheitszeit entsprechend der zweiten relativen Bewegungsgeschwindigkeit, einer dritten Ausstoßmenge pro Einheitszeit entsprechend einer dritten relativen Bewegungsgeschwindigkeit aufweisen, wobei in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung die Ausstoßsteuerungseinheit den Ausstoßkopf in einer Art und Weise steuern kann, um während einer Bewegung des Ausstoßkopfes bei einer der ersten bis dritten relativen Bewegungsgeschwindigkeiten das Flüssigmaterial in der Ausstoßmenge pro Einheitszeit entsprechend der einen relativen Bewegungsgeschwindigkeit von dem Ausstoßkopf auszustoßen.
  • In dem vorstehend beschriebenen Flüssigmaterialaufbringungsverfahren können die relativen Bewegungsgeschwindigkeiten zusätzlich zu den relativen Bewegungsgeschwindigkeiten, die zuvor in das Aufbringungsprogramm eingegeben werden, um das Flüssigmaterial in dem Aufbringungsmuster aufzubringen, eine relative Bewegungsgeschwindigkeit umfassen, die auf der Grundlage der relativen Bewegungsgeschwindigkeiten, die zuvor in das Aufbringungsprogramm eingegeben werden, berechnet wird, um die relativen Bewegungsgeschwindigkeiten, die zuvor in das Aufbringungsprogramm eingegeben werden, zu ergänzen.
  • In dem vorstehend beschriebenen Flüssigmaterialaufbringungsverfahren kann die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung ausgeführt werden, wenn eine Linienziehaufbringung bzw. Linienzeichnungsaufbringung ausgeführt wird, in der die relative Bewegungsgeschwindigkeit in Abhängigkeit von dem Aufbringungsmuster geändert wird, wobei die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung ausgeführt werden kann, wenn eine Linienziehaufbringung bzw. Linienzeichnungsaufbringung bei einer konstanten relativen Bewegungsgeschwindigkeit ausgeführt wird.
  • In dem vorstehend beschriebenen Flüssigmaterialaufbringungsverfahren kann das Werkstück als ein Halbleiterchip oder mehrere Halbleiterchips, ein Substrat oder mehrere Substrate, von denen jedes einen darauf angebrachten Halbleiterchip umfasst, oder ein Substrat oder mehrere Substrate, von denen jedes eine Vielzahl von daran angebrachten Halbleiterchips umfasst, vorbereitet werden.
  • Vorteilhafte Wirkung der Erfindung
  • Entsprechend der vorliegenden Erfindung können die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung zum Ändern der Ausstoßmenge pro Einheitszeit des Flüssigmaterials, das von dem Ausstoßkopf ausgestoßen wird, in Abhängigkeit von der relativen Bewegungsgeschwindigkeit zwischen dem Ausstoßkopf und dem Werkstück und die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung zum Betreiben des Ausstoßkopfes, um das Flüssigmaterial in einer vorbestimmten Ausstoßmenge pro Einheitszeit unabhängig von der relativen Bewegungsgeschwindigkeit auszustoßen, in einer umschaltbaren Art und Weise entsprechend dem Aufbringungsprogramm ausgeführt werden. Somit kann eine Aufbringungsarbeit in geeigneter Weise ausgeführt werden, während eine arbeitsaufwändige Aufgabe zur Programmierung, die durch eine Bedienungsperson vorzubereiten ist, verringert wird.
  • Figurenliste
    • 1 zeigt eine perspektivische Darstellung, die eine äußere Erscheinungsform einer Aufbringungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung veranschaulicht.
    • 2 zeigt ein Blockschaltbild, das eine Steuerungseinheit und damit verbundene Elemente veranschaulicht.
    • 3 zeigt einen Graphen, der eine Beziehung zwischen einem Geschwindigkeitssignal und einer relativen Bewegungsgeschwindigkeit darstellt.
    • 4 zeigt eine Veranschaulichung, auf die Bezug genommen wird, um ein Steuerungsbeispiel einer Ausstoßmenge zu erklären.
    • 5 zeigt eine Veranschaulichung, auf die Bezug genommen wird, um Ausstoßtypen eines Dispensers bzw. eines Verteilers zu erklären.
    • 6 zeigt eine Veranschaulichung, auf die Bezug genommen wird, um einen Aufbringungsbetrieb für eine Abfolge von Aufbringungsarbeiten zu erklären, in dem eine Linienziehaufbringung bzw. Linienzeichnungsaufbringung für ein Aufbringungsmuster, das Eckabschnitte umfasst, und eine Entsorgungsaufbringung abwechselnd ausgeführt werden.
    • 7 zeigt eine Veranschaulichung, auf die Bezug genommen wird, um einen Aufbringungsbetrieb für eine Abfolge von Aufbringungsarbeiten zu erklären, in dem eine Linienbreite einer Aufbringungslinie in einem linearen Abschnitt eines vorbestimmten Aufbringungsmusters geändert wird.
    • 8 zeigt eine Veranschaulichung, auf die Bezug genommen wird, um einen Aufbringungsbetrieb in einer Abfolge von Aufbringungsarbeiten zu erklären, in dem eine Linienziehaufbringung bzw. Linienzeichnungsaufbringung für ein vorbestimmtes Aufbringungsmuster und eine Punktaufbringung abwechselnd ausgeführt werden.
    • 9 zeigt eine Veranschaulichung, auf die Bezug genommen wird, um einen Aufbringungsbetrieb für eine Abfolge von Aufbringungsarbeiten zu erklären, in dem ein Paar einer Linienziehaufbringung bzw. Linienzeichnungsaufbringung für ein vorbestimmtes Aufbringungsmuster und einer Entsorgungsaufbringung sowie ein Paar einer Linienziehaufbringung bzw. Linienzeichnungsaufbringung für ein zweites Aufbringungsmuster, das eine unterschiedliche Linienbreite im Vergleich zu der des vorbestimmten Aufbringungsmusters aufweist, und der Entsorgungsaufbringung abwechselnd ausgeführt werden.
    • 10 veranschaulicht ein Beispiel einer Linienziehaufbringung bzw. Linienzeichnungsaufbringung durch eine Aufbringungsvorrichtung gemäß dem Stand der Technik.
  • Beschreibung der Ausführungsbeispiele
  • Ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.
  • Das Ausführungsbeispiel ist hier in Verbindung mit einer Ausstoßsteuerung offenbart, um eine Gleichförmigkeit in einer Linienbreite zu verwirklichen, wenn eine Aufbringungslinie von oben betrachtet wird, wobei die Aufbringungslinie ein Beispiel von Aufbringungslinien ist, in denen eine Aufbringungsmenge pro Einheitslänge konstant ist, wobei das technische Konzept der vorliegenden Erfindung nicht auf den Fall einer Realisierung einer Gleichförmigkeit in einer Linienbreite begrenzt ist. Um eine Ausstoßsteuerung zu verwirklichen, um die Aufbringungsmenge pro Einheitslänge konstant zu halten, kann die Ausstoßsteuerung ausgeführt werden, die auf eine Gleichförmigkeit in einer Höhe, eine Gleichförmigkeit in sowohl einer Linienbreite als auch einer Höhe, oder eine Gleichförmigkeit in einer Querschnittsfläche der Aufbringungslinie beispielsweise abzielt.
  • <Aufbringungsvorrichtung>
  • 1 zeigt eine perspektivische Darstellung, die ein äußeres Erscheinungsbild einer Aufbringungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung veranschaulicht. 2 zeigt ein Blockschaltbild, das eine Steuerungseinheit und damit verbundene Elemente veranschaulicht. Wie es in 1 veranschaulicht ist, umfasst eine Aufbringungsvorrichtung 1 gemäß der vorliegenden Erfindung als Hauptbauelemente einen Verteiler bzw. Dispenser 10 und einen Roboter 20. Der Dispenser 10 umfasst einen Verteilungskopf 50 und eine Verteilungssteuerungseinrichtung 40. Wie es in 1 veranschaulicht ist, sind der Roboter 20 und die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 elektrisch miteinander über Kabel A1 und A2 verbunden. Der Verteilungskopf 50 und die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 sind elektrisch miteinander über ein Kabel B verbunden.
  • <Roboter>
  • Der Roboter 20 ist eine Tischvorrichtung, die eine X-Achsen-Bewegungsvorrichtung 21, eine Y-Achsen-Bewegungsvorrichtung 22, einen Roboterkopf 23, eine Basis 24 und eine Robotersteuerungseinrichtung 30 umfasst.
  • Die X-Achsen-Bewegungsvorrichtung 21 wird durch zwei Säulen gehalten und umfasst eine X-Achsen-Antriebsquelle 61 als eine Antriebsquelle. Der Roboterkopf 23 ist an der X-Achsen-Bewegungsvorrichtung 21 derart angebracht, dass der Roboterkopf 23 zu einer gewünschten Koordinate in einer X-Richtung bewegbar ist.
  • Die Y-Achsen-Bewegungsvorrichtung 22 ist an der Basis 24 eingebaut und umfasst eine Y-Achsen-Antriebsquelle 26 als eine Antriebsquelle. Ein Arbeitstisch 25, das heißt eine Werkstückhalteeinrichtung, ist an der Y-Achsen-Bewegungsvorrichtung 22 derart angebracht, dass der Arbeitstisch 25 zu einer gewünschten Koordinate in einer Y-Richtung bewegbar ist. Ein Werkstück 26 wird abnehmbar auf einer Bestückungsoberfläche des Arbeitstisches 25 gehalten.
  • Der Roboterkopf 23 umfasst ein Bewegungselement 28 und eine Z-Achsen-Antriebsquelle 63 und bildet eine Z-Achsen-Bewegungsvorrichtung, in der die Z-Achsen-Antriebsquelle 63 als eine Antriebsquelle dient. Somit ist in dem Roboterkopf 23 das Bewegungselement 28 zu einer gewünschten Koordinate in einer Z-Richtung durch die Z-Achsen-Antriebsquelle 63 bewegbar. Der Verteilungskopf 50 ist abnehmbar an dem Bewegungselement 28 fixiert, das mit einer Platte gebildet wird, sodass der Verteilungskopf 50 ebenso zu einer gewünschten Koordinate in der Z-Richtung durch den Roboterkopf 23 (die Z-Achsen-Bewegungsvorrichtung) bewegbar ist.
  • Die Antriebsquellen 61 bis 63 sind nicht auf spezifische begrenzt, wobei sie durch Schrittmotoren, Servomotoren oder Linearmotoren beispielsweise gebildet werden können.
  • Bei einer Position in einer oberen Oberfläche der Basis 24, zu der der Verteilungskopf 50 bewegt werden kann, umfasst die Basis 24 einen Entsorgungsausstoßbereich (Justieraufbringungsbereich) 27, bei dem ein Flüssigmaterial beispielsweise entsorgt wird. Die Robotersteuerungseinrichtung 30 zur Steuerung eines Betriebs des Roboters 20 ist in der Basis 24 eingebaut. Wie es in 2 veranschaulicht ist, umfasst die Robotersteuerungseinrichtung 30 eine Speichervorrichtung 31, in der ein Aufbringungsprogramm gespeichert ist, und eine Berechnungsvorrichtung 32 zur Ausführung des Aufbringungsprogramms, das in der Speichervorrichtung 31 gespeichert ist. Des Weiteren ist, wie es in 2 veranschaulicht ist, die Robotersteuerungseinrichtung 30 elektrisch mit der X-Achsen-Bewegungsvorrichtung 21, der Y-Achsen-Bewegungsvorrichtung 22 und der Z-Achsen-Bewegungsvorrichtung 23 über Kabel 81 verbunden.
  • Das Aufbringungsprogramm, das in der Robotersteuerungseinrichtung 30 gespeichert ist, beschreibt nicht nur relative Bewegungsbefehle, die Befehle für ein Bewegen der XYZ-Achsen-Bewegungsvorrichtungen (21 - 23) zu bestimmten Koordinaten entlang linearer oder gekrümmter Wege umfassen, und einen Befehl zur Anweisung einer relativen Bewegungsgeschwindigkeit zwischen dem Verteilungskopf 50 und dem Arbeitstisch 25 (oder dem Werkstück 26), sondern auch einen Ausstoßstartbefehl zur Veranlassung des Dispensers 10, ein Ausstoßen des Flüssigmaterials zu starten, einen Ausstoßendbefehl zur Veranlassung des Dispensers 10, das Ausstoßen des Flüssigmaterials zu einem Ende zu bringen, und einen Befehl zur Einstellung einer Ausstoßsteuerungsbetriebsart des Dispensers 10. Entsprechend dem Aufbringungsprogramm kann die Robotersteuerungseinrichtung 30 die relativen Bewegungsbefehle zu der X-Achsen-Bewegungsvorrichtung 21, der Y-Achsen-Bewegungsvorrichtung 22 und der Z-Achsen-Bewegungsvorrichtung 23 übertragen und kann den Verteilungskopf 50 und den Arbeitstisch 25 in Bezug zueinander bewegen. Ein Befehl hinsichtlich einer Ausstoßmenge des Flüssigmaterials, das von dem Verteilungskopf 50 ausgestoßen wird, ist in dem Aufbringungsprogramm nicht beschrieben, wobei er in einem Ausstoßsteuerungsprogramm beschrieben ist, das in der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 gespeichert ist. Befehle zur Steuerung eines Zeitpunkts, um das Ausstoßsteuerungsprogramm zu veranlassen, eine Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung auszuführen, und eines Zeitpunkts, um das Ausstoßsteuerungsprogramm zu veranlassen, eine Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung auszuführen, sind in dem Aufbringungsprogramm beschrieben.
  • Entsprechend dem Aufbringungsprogramm bewegt die Robotersteuerungseinrichtung 30 den Verteilungskopf 50 und den Arbeitstisch 25 in Bezug zueinander in zwei Typen einer Bewegung, das heißt einer PTP-Bewegung und einer Interpolationsbewegung. Die PTP-Bewegung ist ein Betrieb für ein relatives Bewegen des Verteilungskopfes 50 zu bestimmten Koordinaten auf dem Werkstück 26 unabhängig von einem Weg. Die PTP-Bewegung wird beispielsweise in dem Fall ausgeführt, in dem das Flüssigmaterial nicht ausgestoßen wird, wie beispielsweise eine relative Bewegung zu einem Aufbringungsstartpunkt oder eine relative Bewegung bei einer Rückführung zu dem Ursprung. Die Interpolationsbewegung ist ein Betrieb für ein relatives Bewegen des Verteilungskopfes 50 entlang einem vorbestimmten Bewegungsweg bei einer vorbestimmten relativen Bewegungsgeschwindigkeit. Die Interpolationsbewegung wird beispielsweise in dem Fall eines Aufbringens des Flüssigmaterials entsprechend einem vorbestimmten Aufbringungsmuster verwendet.
  • Die Robotersteuerungseinrichtung 30 und die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 sind elektrisch über die Kabel A1 und A2 verbunden, wie es in 2 veranschaulicht ist. Die Robotersteuerungseinrichtung 30 gibt Signale, wie beispielsweise den Ausstoßstartbefehl und den Ausstoßendbefehl, zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 über das Kabel A1 aus. Die Robotersteuerungseinrichtung 30 gibt ferner eine relative Bewegungsgeschwindigkeit V zwischen dem Verteilungskopf 50 und dem Arbeitstisch 25 zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 über das Kabel A2 aus. Während einer Zeitdauer, in der der Verteilungskopf 50 sich in der Interpolationsbewegung befindet, gibt die Robotersteuerungseinrichtung 30 kontinuierlich die relative Bewegungsgeschwindigkeit V zwischen dem Verteilungskopf 50 und dem Arbeitstisch 25 zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 über das Kabel A2 aus.
  • 3 zeigt einen Graphen, der eine Beziehung zwischen der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V, die in (a) angezeigt ist, zwischen dem Verteilungskopf 50 und dem Arbeitstisch 25 und einem Geschwindigkeitssignal darstellt, das in (b) angezeigt ist, das von der Robotersteuerungseinrichtung 30 zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 ausgegeben wird. Wie es aus 3 ersichtlich ist, ist das Geschwindigkeitssignal ein impulsförmiges Signal, in dem zwei große und kleine Spannungswerte abwechselnd von dem einen zu dem anderen geändert werden. Außerdem stellt in diesem Ausführungsbeispiel eine Periode des Geschwindigkeitssignals einen Wert der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V dar, wie es aus 3 ersichtlich ist. Somit vergrößert sich die relative Bewegungsgeschwindigkeit V bei einer kürzeren Periode des Geschwindigkeitssignals. Die Beziehung zwischen dem Geschwindigkeitssignal und der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V ist nicht auf die vorstehend beschriebene Beziehung begrenzt. In einem anderen Ausführungsbeispiel kann sich die relative Bewegungsgeschwindigkeit V bei einer längeren Periode des Geschwindigkeitssignals vergrößern, oder die relative Bewegungsgeschwindigkeit V kann in Abhängigkeit von einem Pegel (einer Magnitude) des Spannungswerts geändert werden. In diesem Ausführungsbeispiel wird das vorstehend beschriebene Geschwindigkeitssignal kontinuierlich von der Robotersteuerungseinrichtung 30 zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 während der Interpolationsbewegung ausgegeben.
  • Der Ausdruck „relative Bewegungsgeschwindigkeit“, der in diesem Ausführungsbeispiel verwendet wird, bedeutet eher eine relative Bewegungsgeschwindigkeit, die von drei Bewegungsgeschwindigkeiten entlang einer X-Bewegungsachse, einer Y-Bewegungsachse und einer Z-Bewegungsachse synthetisiert wird, als eine Bewegungsgeschwindigkeit für jede der Bewegungsachsen (das heißt der X-Bewegungsachse, der Y-Bewegungsachse und der Z-Bewegungsachse) (dies wird in der nachstehenden Beschreibung ähnlich angewendet). Die Bewegungsgeschwindigkeit in der Bewegungsachse, die die Ausbildung einer Aufbringungslinie in einer konstanten Aufbringungsmenge pro Einheitslänge schwerlich beeinflusst, kann nach Erfordernis ausgeschlossen werden.
  • Das Aufbringungsprogramm in diesem Ausführungsbeispiel kann mit einer Interpretationseinrichtung verarbeitet werden, wobei die vorliegende Erfindung nicht auf einen derartigen Fall begrenzt ist. Außerdem kann die Bedienungsperson ein neues Aufbringungsprogramm in der Speichervorrichtung 31 der Robotersteuerungseinrichtung 30 einstellen oder das Aufbringungsprogramm, das in der Robotersteuerungseinrichtung 30 gespeichert ist, unter Verwendung eines Computers, der in der Aufbringungsvorrichtung 1 bereitgestellt ist, oder eines Computers außerhalb der Aufbringungsvorrichtung 1 ändern.
  • Der Roboter 20 ist nicht auf den vorstehend beschriebenen Aufbau begrenzt, soweit er es ermöglicht, dass der Verteilungskopf 50 und der Arbeitstisch 25 (oder das Werkstück 26) in zumindest einer eindimensionalen Richtung, vorzugsweise in zweidimensionalen oder mehrdimensionalen Richtungen, relativ bewegt werden. Als eine Alternative kann der Roboter 20 einen Roboterarm, der ein Gelenk oder mehrere Gelenke aufweist, das/die mit dem Roboterkopf 23 ausgestattet ist/sind, oder eine Struktur, in der lediglich der Verteilungskopf 50 bewegt werden kann, oder eine Struktur aufweisen, in der lediglich der Arbeitstisch 25 (oder das Werkstück 26) bewegt werden kann, anstatt sowohl den Verteilungskopf 50 als auch den Arbeitstisch 25 bewegbar zu machen. Des Weiteren ist, während das Ausführungsbeispiel beispielhaft in Verbindung mit dem Fall beschrieben worden ist, die Aufbringung mit dem auf dem Arbeitstisch 26 platzierten Werkstück auszuführen, die vorliegende Erfindung nicht auf diesen Fall begrenzt. In einem anderen Beispiel kann die Aufbringung auf das Werkstück 26 unter Verwendung einer Werkstückhalteeinrichtung ausgeführt werden, die das Werkstück 26 an beiden Rändern in einer einklemmenden Art und Weise hält. Alternativ hierzu kann die Aufbringung auf einem Werkstück ausgeführt werden, das durch eine Werkstückhalteeinrichtung (beispielsweise eine Riemenbeförderungseinrichtung) bewegt wird, die getrennt von dem Roboter 20 vorbereitet ist, oder die in einem zeitweilig gestoppten Zustand ist. In einem derartigen Fall weist der Roboter 20 keine Mittel zum Halten des Werkstücks auf, wobei er den Verteilungskopf 50 in Bezug auf das Werkstück bewegt, das bei der Werkstückhalteeinrichtung gehalten wird, die außerhalb des Roboters angeordnet ist.
  • Während das Ausführungsbeispiel beispielhaft in Verbindung mit der Konfiguration beschrieben worden ist, in der die Kabel A1 und A2 jeweils ein separates Kabel sind, können die Kabel A1 und A2 in einem Kabel kombiniert sein, oder sie können in drei oder mehr Kabel aufgeteilt sein.
  • <Verteilungskopf>
  • Wie es in 2 gezeigt ist, umfasst der Verteilungskopf 50 eine Ausstoßeinheit 53, eine Düse 54 und eine Ausstoßansteuerungseinrichtung 64. Das Flüssigmaterial, das aus der Düse 54 auszustoßen ist, wird in der Ausstoßeinheit 53 zurückgehalten. Obwohl es nachstehend ausführlich beschrieben ist, ist die Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 eine Ansteuerungseinrichtung für ein Ausstoßen des Flüssigmaterials, das in der Ausstoßeinheit 53 gespeichert ist (beispielsweise eine Betätigungseinrichtung für ein Ansteuern einer Schraube oder eines Kolbens, die/der in der Ausstoßeinheit 53 angeordnet ist, oder eine Luftzufuhrvorrichtung zum Justieren eines Luftdrucks in der Ausstoßeinheit 53). Ein Ansteuerungsbetrag der Ansteuerungseinrichtung ist steuerbar. Wie es in 2 veranschaulicht ist, ist die Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 mit der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 über das Kabel B verbunden, wobei sie einen Ausstoßsteuerungsbetrag D, der dem Ansteuerungsbetrag der Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 entspricht, von der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 empfängt. Der Ausstoßsteuerungsbetrag D kann durch die Bedienungsperson programmiert werden. Die Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 wird entsprechend dem empfangenen Ausstoßsteuerungsbetrag D betrieben, wobei sie in der Lage ist, von einer Ausstoßöffnung 55 der Düse 54 das Flüssigmaterial in der Ausstoßmenge pro Einheitszeit, die durch die Bedienungsperson gewünscht wird, auszustoßen.
  • <Verteilungssteuerungseinrichtung>
  • Die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 umfasst eine Speichervorrichtung, in der das Ausstoßsteuerungsprogramm zur Steuerung der Ausstoßmenge des Flüssigmaterials, das von dem Verteilungskopf 50 ausgestoßen wird, gespeichert ist, und eine Berechnungsvorrichtung zur Ausführung des Ausstoßsteuerungsprogramms. Die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 ist abnehmbar mit dem Verteilungskopf 50 und der Robotersteuerungseinrichtung 30 verbunden. Genauer gesagt ist die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 mit der Robotersteuerungseinrichtung 30 über die Kabel A1 und A2 elektrisch verbunden und ist mit dem Verteilungskopf 50 über das Kabel B elektrisch verbunden.
  • Die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 überträgt Ausstoßbetriebsbefehle zu dem Verteilungskopf 50 über das Kabel B. Die Ausstoßbetriebsbefehle umfassen einen Ausstoßstartbefehl, einen Ausstoßendbefehl und einen Ausstoßmengensteuerungsbefehl. In diesem Ausführungsbeispiel überträgt die Robotersteuerungseinrichtung 30 den Ausstoßstartbefehl, den Ausstoßendbefehl und einen Befehl zur Einstellung der Ausstoßsteuerungsbetriebsart zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 entsprechend dem Aufbringungsprogramm. Die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 kann den Betrieb zum Ausstoßen des Flüssigmaterials durch den Ausstoßkopf 50 starten oder stoppen, indem der Ausstoßstartbefehl oder der Ausstoßendbefehl, der von der Robotersteuerungseinrichtung 30 empfangen worden ist, zu dem Verteilungskopf 50 ausgegeben wird. Bei einem Empfang des Ausstoßbetriebsbefehls und der Ausstoßsteuerungsbetriebsart von der Robotersteuerungseinrichtung 30 bestimmt, obwohl es nachstehend ausführlich beschrieben ist, die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 die Ausstoßsteuerungsmenge D entsprechend dem Ausstoßsteuerungsprogramm, wobei sie die bestimmte Ausstoßsteuerungsmenge D zu der Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 ausgibt. Als Ergebnis kann die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 die Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 entsprechend der Ausstoßsteuerungsmenge D betreiben und kann von der Düse 54 das Flüssigmaterial in der Ausstoßmenge pro Einheitszeit, die durch die Bedienungsperson gewünscht wird, ausstoßen.
  • Der Verteilungskopf 50 und die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 können durch jedes Verfahren zum Ausstoßen des Flüssigmaterials ersetzt werden. Anders ausgedrückt ist für jedes Verfahren zum Ausstoßen des Flüssigmaterials ein Ausstoßmechanismus des Verteilungskopfes 50 unterschiedlich, wobei ein Wert der Ausstoßsteuerungsmenge D, die von der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 angewiesen wird, geändert ist, da der Ausstoßmechanismus unterschiedlich ist. Die Bedienungsperson kann die Aufbringungsvorrichtung 1 veranlassen, den Ausstoßbetrieb in dem gewünschten Ausstoßverfahren auszuführen, indem der Verteilungskopf 50 und die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 entsprechend dem gewünschten Ausstoßverfahren angebracht werden. Nachstehend wird das Verfahren zum Ausstoßen des Flüssigmaterials durch den Dispenser 10 hinsichtlich eines Schraubentyps, eines Strahltyps, eines Kolbentyps und eines Lufttyps beispielsweise unter Bezugnahme auf 5 beschrieben. Es ist anzumerken, dass das Verfahren zum Ausstoßen des Flüssigmaterials durch den Dispenser 10 nicht auf die vorstehend genannten Typen begrenzt ist.
  • Schraubentyp
  • 5(a) ist eine Teilschnittdarstellung des Verteilungskopfs 50 des Schraubentyps. In dem Verteilungskopf 50 des Schraubentyps ist eine Schraube 56 in einem Flussdurchgang der Ausstoßeinheit 53 angeordnet. Mit einer Drehung der Schraube 56 kann das Flüssigmaterial der Düse 54 zugeführt werden und kann kontinuierlich aus der Ausstoßöffnung 55 der Düse 54 ausgestoßen werden. Der Verteilungskopf 50 des Schraubentyps kann die Schraube 56 in zwei oder mehr Achsen oder eine Innenwand des Flussdurchgangs und die Schraube 56 umfassen, bei denen eine spezielle Arbeit ausgeführt ist, wie beispielsweise die sogenannte Monotyp- oder einaxiale Exzenterschneckenpumpe, in der sich eine Einzelgewindeschraube exzentrisch innerhalb einer Hülse in der Form einer Doppelgewindeschraube exzentrisch dreht.
  • Die Ausstoßmenge des Flüssigmaterials, das pro Einheitszeit von dem Verteilungskopf 50 des Schraubentyps ausgestoßen wird, wird entsprechend der Anzahl von Umdrehungen der Schraube 56 pro Einheitszeit gesteuert, wobei die Anzahl von Umdrehungen der Schraube 56 pro Einheitszeit entsprechend der Anzahl von Umdrehungen einer Drehbetätigungseinrichtung für ein Drehen der Schraube 56 gesteuert wird. Um das Flüssigmaterial in der gewünschten Ausstoßmenge pro Einheitszeit von dem Verteilungskopf 50 auszustoßen, stellt die Bedienungsperson folglich in der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 für den Schraubentyp das Ausstoßsteuerungsprogramm, das die Ausstoßsteuerungsmenge D beschreibt, für ein direktes oder indirektes Steuern der Anzahl von Umdrehungen der Drehbetätigungseinrichtung pro Einheitszeit ein.
  • Wenn der Dispenser 10 veranlasst wird, den Ausstoßbetrieb des Schraubentyps auszuführen, bringt die Bedienungsperson den Verteilungskopf 50 und die Verteilungssteuerungseinrichtung 40, die beide für den Schraubentyp eingerichtet sind, an der Aufbringungsvorrichtung 1 an. In einem derartigen Zustand kann die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 das Flüssigmaterial in der Ausstoßmenge pro Einheitszeit, die durch die Bedienungsperson gewünscht wird, von dem Verteilungskopf 50 entsprechend dem Schraubentypverfahren ausstoßen, indem die Ausstoßsteuerungsmenge D, die in dem Ausstoßsteuerungsprogramm beschrieben ist, zu der Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 übertragen wird und indem die Drehbetätigungseinrichtung, das heißt die Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 entsprechend der Ausstoßsteuerungsmenge D gedreht wird. Ein Mechanismus, der einen Motor verwendet, wird hauptsächlich für die Drehbetätigungseinrichtung verwendet, wobei die Drehbetätigungseinrichtung nicht auf einen derartigen Mechanismus begrenzt ist.
  • Strahltyp
  • 5(b) zeigt eine Teilschnittdarstellung des Verteilungskopfes 50 des Strahltyps. In dem Verteilungskopf 50 des Strahltyps ist ein Kolben 57 in einer Flüssigkeitskammer, die mit der Ausstoßöffnung 55 der Düse 54 in Verbindung ist, in einem Zustand angeordnet, in dem er eine Seitenwand der Flüssigkeitskammer nicht kontaktiert oder die Seitenwand teilweise kontaktiert, wobei aber ein Fluss des Flüssigmaterials nicht behindert wird. Das Flüssigmaterial kann ausgestoßen werden, um in der Form von Tröpfchen von der Ausstoßöffnung 55 der Düse 54 zu fliegen, indem der Kolben 57 mit einer hohen Geschwindigkeit vorgerückt wird und dem Flüssigmaterial eine Trägheitskraft gegeben wird. Der Verteilungskopf 50 des Strahltyps ist in einen Typ (Sitztyp), in dem die Tröpfchen gebildet werden, indem eine Spitze des Kolbens 57 in Kontakt mit einem Ventilsitz gebracht wird, und einen Typ (sitzfreier Typ) klassifiziert, in dem die Tröpfchen gebildet werden, indem die Spitze des Kolbens 57 nicht in Kontakt mit dem Ventilsitz gebracht wird.
  • Die Ausstoßmenge, die pro Einheitszeit von dem Verteilungskopf 50 des Strahltyps ausgestoßen wird, wird entsprechend der Anzahl von Malen eines Vorrückens und Zurückziehens des Kolbens pro Einheitszeit gesteuert, wobei die Anzahl von Malen eines Vorrückens und Zurückziehens des Kolbens 57 pro Einheitszeit entsprechend der Anzahl von Malen eines Vorrückens und Zurückziehens einer Vorrück-/Zurückziehbetätigungseinrichtung pro Einheitszeit gesteuert wird. Um das Flüssigmaterial in der gewünschten Ausstoßmenge pro Einheitszeit von dem Verteilungskopf 50 auszustoßen, stellt folglich die Bedienungsperson in der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 für den Strahltyp das Ausstoßsteuerungsprogramm, das die Ausstoßsteuerungsmenge D beschreibt, für ein direktes oder indirektes Steuern der Anzahl von Malen eines Vorrückens und Zurückziehens der Vorrück-/Zurückziehbetätigungseinrichtung pro Einheitszeit ein.
  • Wenn der Dispenser 10 veranlasst wird, den Ausstoßbetrieb des Strahltyps auszuführen, bringt die Bedienungsperson den Verteilungskopf 50 und die Verteilungssteuerungseinrichtung 40, die beide für den Strahltyp eingerichtet sind, an der Aufbringungsvorrichtung 1 an. Somit kann die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 das Flüssigmaterial in der Ausstoßmenge pro Einheitszeit, die durch die Bedienungsperson gewünscht wird, von dem Verteilungskopf 50 entsprechend dem Strahltypverfahren ausstoßen, indem die Ausstoßsteuerungsmenge D, die in dem Ausstoßsteuerungsprogramm beschrieben ist, zu der Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 übertragen wird und indem die Vorrück-/Zurückziehbetätigungseinrichtung, das heißt die Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 entsprechend der Ausstoßsteuerungsmenge D vorgerückt und zurückgezogen wird. Die Vorrück-/Zurückziehbetätigungseinrichtung ist nicht auf eine spezifische begrenzt, wobei sie einen Mechanismus zum Ansteuern bzw. Antreiben eines Kolbens, der bei der Rückseite des Kolbens 57 angeordnet ist, mit der Hilfe von Luft oder einer Feder, oder einen Mechanismus zum Vorrücken oder Zurückziehen des Kolbens 57 mit der Hilfe eines Elektromagneten aufweisen kann.
  • Kolbentyp
  • 5(c) zeigt eine Teilschnittdarstellung des Verteilungskopfes 50 des Kolbentyps. In dem Verteilungskopf 50 des Kolbentyps ist ein Kolben 58 in einem Dosierabschnitt angeordnet, der mit der Düse 54 verbunden ist, um entlang einer Seitenwand des Dosierabschnitts gleitfähig zu sein. Das Flüssigmaterial kann von der Ausstoßöffnung 55 der Düse 54 ausgestoßen werden, indem der Kolben 58 vorrückt. Ein Ventil 59 für ein Verbinden des Dosierabschnitts, in dem der Kolben 58 mit der Flüssigkeitskammer oder der Ausstoßöffnung 55 in einer umschaltbaren Art und Weise angeordnet ist, kann nach Erfordernis angeordnet sein. Das Ventil 59 kann für ein Umschalten durch eine (nicht veranschaulichte) Ventilbetätigungseinrichtung betrieben werden.
  • Die Ausstoßmenge, die pro Einheitszeit von dem Verteilungskopf 50 des Kolbentyps ausgestoßen wird, wird entsprechend einem Vorrückbetrag des Kolbens 58 pro Einheitszeit gesteuert, wobei der Vorrückbetrag des Kolbens 58 pro Einheitszeit entsprechend der Anzahl von Umdrehungen pro Einheitszeit eines Ausstoßmotors für ein wechselweises Bewegen des Kolbens 58 in dem Dosierrohr gesteuert wird. Um das Flüssigmaterial in der gewünschten Ausstoßmenge pro Einheitszeit von dem Verteilungskopf 50 auszustoßen, stellt die Bedienungsperson folglich in der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 für den Kolbentyp das Ausstoßsteuerungsprogramm, das die Ausstoßsteuerungsmenge D beschreibt, für ein direktes oder indirektes Steuern der Anzahl von Umdrehungen des Ausstoßmotors pro Einheitszeit ein.
  • Wenn der Dispenser 10 veranlasst wird, den Ausstoßbetrieb des Kolbentyps auszuführen, bringt die Bedienungsperson den Verteilungskopf 50 und die Verteilungssteuerungseinrichtung 40, die beide für den Kolbentyp eingerichtet sind, an der Aufbringungsvorrichtung 1 an. In einem derartigen Zustand kann die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 das Flüssigmaterial in der Ausstoßmenge pro Einheitszeit, die durch die Bedienungsperson gewünscht wird, von dem Verteilungskopf 50 entsprechend dem Kolbentypverfahren ausstoßen, indem die Ausstoßsteuerungsmenge D, die in dem Ausstoßsteuerungsprogramm beschrieben wird, zu der Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 übertragen wird und indem der Ausstoßmotor, das heißt die Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 gedreht wird, um den Kolben 58 entsprechend der Ausstoßsteuerungsmenge D vorzurücken. Die Drehung des Ausstoßmotors kann in Vorrück- und Zurückziehbewegungen des Kolbens 58 mit beispielsweise einem Mechanismus zum Drehen einer Kugelrollspindel durch einen Motor und zum Vorrücken und Zurückziehen einer Mutter, die mit der Kugelrollspindel in Eingriff ist, umgewandelt werden. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf einen derartigen Mechanismus begrenzt. Als eine Alterative kann der Vorrückbetrag des Kolbens 58 pro Einheitszeit gesteuert werden, indem eine Vorrück-/Zurückziehbetätigungseinrichtung, die zu dem Ausstoßmotor unterschiedlich ist, verwendet wird und indem der Vorrückbetrag des Kolbens 58 pro Einheitszeit durch eine Steuerung eines Vorrückbetrags der Vorrück-/ Zurückziehbetätigungseinrichtung pro Einheitszeit gesteuert wird.
  • Lufttyp
  • 5(d) zeigt eine Teilschnittdarstellung des Verteilungskopfes 50 des Lufttyps. In dem Verteilungskopf 50 des Lufttyps kann das Flüssigmaterial von der Ausstoßöffnung 55 ausgestoßen werden, indem eine unter Druck gesetzte Luft zu dem Flüssigmaterial in einer Flüssigkeitskammer, die mit der Düse 54 in Verbindung ist, zugeführt wird. Ein Einfügungselement (Schwimmer), das auch als ein Kolben bezeichnet wird, kann zwischen dem Flüssigmaterial und der Luft angeordnet sein. Die Ausstoßmenge, die pro Einheitszeit von dem Verteilungskopf 50 des Lufttyps ausgestoßen wird, kann mit einem Luftzufuhrdruck einer Luftzufuhrvorrichtung gesteuert werden. Um das Flüssigmaterial in der gewünschten Ausstoßmenge pro Einheitszeit von dem Verteilungskopf 50 auszustoßen, stellt die Bedienungsperson folglich in der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 für den Lufttyp das Ausstoßsteuerungsprogramm, das die Ausstoßsteuerungsmenge D beschreibt, für ein direktes oder indirektes Steuern des Luftzufuhrdrucks einer Luftzufuhrvorrichtung ein.
  • Wenn der Dispenser 10 veranlasst wird, den Ausstoßbetrieb des Lufttyps auszuführen, bringt die Bedienungsperson den Verteilungskopf 50 und die Verteilungssteuerungseinrichtung 40, die beide für den Lufttyp eingerichtet sind, an der Aufbringungsvorrichtung 1 an. In einem derartigen Zustand kann die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 das Flüssigmaterial in der Ausstoßmenge pro Einheitszeit, die durch die Bedienungsperson gewünscht wird, von dem Verteilungskopf 50 entsprechend dem Lufttypverfahren ausstoßen, indem die Ausstoßsteuerungsmenge D, die in dem Ausstoßsteuerungsprogramm beschrieben ist, zu der Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 übertragen wird und indem der Luftzufuhrdruck der Luftzufuhrvorrichtung, das heißt der Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 entsprechend der Ausstoßsteuerungsmenge D vergrößert und verkleinert wird. Die Luftzufuhrvorrichtung ist nicht auf eine spezifische begrenzt, wobei sie beispielsweise unter Verwendung eines Druckverringerungsventils gebildet werden kann.
  • Der Dispenser 10 ist nicht auf einen der vorstehend beschriebenen Ausstoßtypen begrenzt. Wenn ein Ausstoßverfahren von dem Typ ist, der das Flüssigmaterial von der Ausstoßöffnung 55 der Düse 54 ausstößt und in der Lage ist, die Ausstoßmenge pro Einheitszeit zu steuern, kann das Flüssigmaterial entsprechend dem relevanten Ausstoßverfahren unter Verwendung des Dispensers 10, der für das relevante Ausstoßverfahren eingerichtet ist, ausgestoßen werden. Des Weiteren kann in einigen Beispielen des Verteilungskopfes 50 die Düse 54, die die Ausstoßöffnung 55 aufweist, getrennt von der Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 für ein Ausstoßen des Flüssigmaterials gebildet werden. In einem derartigen Beispiel muss der Verteilungskopf 50 zumindest die Düse 54 umfassen, die die Ausstoßöffnung 55 aufweist. Anders ausgedrückt muss ein „Ausstoßkopf“, der in dieser Beschreibung definiert ist, lediglich ein Element umfassen, das die Düse 54 aufweist, obwohl der Ausstoßkopf vorzugsweise eine Ansteuerungseinrichtung, wie beispielsweise eine Betätigungseinrichtung, umfasst. In einigen Fällen unterscheidet sich der Zeitpunkt, zu dem es erforderlich ist, dass ein Relative-Bewegungsgeschwindigkeit-Signal von der Robotersteuerungseinrichtung 30 übertragen wird, aufgrund eines Unterschieds des Ausstoßtyps des Verteilungskopfes 50 und der Verteilungssteuerungseinrichtung 40. Indem jedoch das Relative-Bewegungsgeschwindigkeit-Signal, das von der Robotersteuerungseinrichtung 30 auszugeben ist, als ein Signal bereitgestellt wird, das kontinuierlich während der Interpolationsbewegung ausgegeben wird, wie es vorstehend beschrieben ist, kann das Relative-Bewegungsgeschwindigkeit-Signal zu dem erforderlichen Zeitpunkt ohne eine Verzögerung unabhängig von dem Unterschied des Ausstoßtyps der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 erhalten werden.
  • Außerdem ist die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 in der Lage, auch in dem gleichen Ausstoßtyp die Ausstoßsteuerung in zwei unterschiedlichen Ausstoßbetriebsarten, das heißt einer Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung und einer Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung auszuführen. Die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung ist eine Ausstoßsteuerungsbetriebsart, die verwendet wird, wenn eine Linienziehaufbringung bzw. Linienzeichnungsaufbringung ausgeführt wird. Genauer gesagt ist die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung eine Ausstoßsteuerungsbetriebsart, in der die Ausstoßmenge des Flüssigmaterials pro Einheitszeit entsprechend der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V zwischen dem Verteilungskopf 50 und dem Arbeitstisch 25 insbesondere in dem Eckabschnitt des vorbestimmten Aufbringungsmusters zum Zwecke einer Unterdrückung einer Variation in der Aufbringungsmenge pro Einheitslänge der Aufbringungslinie geändert wird, wobei die Variation aufgrund einer Änderung der relativen Bewegungsgeschwindigkeit zwischen dem Verteilungskopf 50 und dem Arbeitstisch 25 verursacht wird. Die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung ist eine Ausstoßsteuerungsbetriebsart für ein Ausführen eines Entsorgungsausstoßes, eines Versuchsausstoßes oder beispielsweise einer Punktaufbringung. Anders ausgedrückt ist die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung eine Ausstoßsteuerungsbetriebsart, in der der Verteilungskopf 50 angewiesen wird, das Flüssigmaterial in der vorbestimmten Ausstoßmenge pro Einheitszeit unabhängig von der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V zwischen dem Verteilungskopf 50 und dem Arbeitstisch 25 auszustoßen.
  • < Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung>
  • Um die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung auszuführen, umfasst die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 einen Vergleichsausdruck oder eine Umwandlungstabelle, die eine Beziehung zwischen der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V und der Ausstoßsteuerungsmenge D der Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 darstellen. Der Vergleichsausdruck oder die Umwandlungstabelle, die die Beziehung zwischen der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V und der Ausstoßsteuerungsmenge D der Ausstoßsteuerungseinrichtung 64 darstellen, wird vorbereitet, um im Voraus die Beziehung zwischen der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V und der Ausstoßsteuerungsmenge D der Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 einzustellen, sodass die Aufbringungslinie, die die Linienbreite aufweist, die durch die Bedienungsperson gewünscht wird, durch die Linienziehaufbringung gezogen werden kann. In dem Fall einer Ausführung der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung empfängt die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 das Geschwindigkeitssignal, das der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V zwischen dem Verteilungskopf 50 und dem Arbeitstisch 25 entspricht, von der Robotersteuerungseinrichtung 30 über das Kabel A2. Dann berechnet die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 die relative Bewegungsgeschwindigkeit V auf der Grundlage des empfangenen Geschwindigkeitssignals und gibt die berechnete relative Bewegungsgeschwindigkeit V in den Vergleichsausdruck oder die Umwandlungstabelle ein, wobei hierdurch die Ausstoßsteuerungsmenge D berechnet wird, um die Aufbringungslinie zu ziehen, die die Linienbreite aufweist, die durch die Bedienungsperson gewünscht wird. Des Weiteren gibt die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 den Ausstoßsteuerungsbefehl, der die berechnete Ausstoßsteuerungsmenge D umfasst, zu der Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 aus und steuert die Ausstoßansteuerungseinrichtung 64, um gerade entsprechend der Ausstoßsteuerungsmenge D betrieben zu werden. Als Ergebnis kann das Flüssigmaterial von dem Verteilungskopf 50 in der Ausstoßmenge pro Einheitszeit, die durch die Bedienungsperson gewünscht wird, ausgestoßen werden. Die relative Bewegungsgeschwindigkeit V ist eine skalare Größe der relativen Bewegungsgeschwindigkeit zwischen dem Verteilungskopf 50 und dem Arbeitstisch 25.
  • Die relative Bewegungsgeschwindigkeit V zwischen dem Verteilungskopf 50 und dem Arbeitstisch 25 in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung wird nachstehend unter Bezugnahme auf 4 beschrieben. Eine obere Zone in 4 stellt ein Bild der Umwandlungstabelle dar, die eine Ausstoßsteuerungsmenge D1 bis Dn der Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 entsprechend relativer Bewegungsgeschwindigkeiten V1 bis Vn des Verteilungskopfes 50 jeweils angibt. Da die relativen Bewegungsgeschwindigkeiten V1 bis Vn als skalare Größen (Absolutwerte) beschrieben sind, kann die gleiche Umwandlungstabelle sowohl in einem Beschleunigungszustand als auch in einem Verzögerungszustand verwendet werden. Eine untere Zone in 4 stellt einen Graphen dar, der die Ausstoßsteuerungsmenge D angibt, wenn die Bewegungsgeschwindigkeit des Verteilungskopfes 50 von V1 auf Vn verlangsamt wird. Die nachstehende Beschreibung wird als Beispiel unter der Annahme gemacht, dass der Verteilungskopf 50 und die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 für den Kolbentyp eingerichtet sind, dass die Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 der Ausstoßmotor für ein Vorrücken und Zurückziehen des Kolbens ist, dass die Ausstoßsteuerungsmenge D der Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 die Anzahl von Umdrehungen des Ausstoßmotors pro Einheitszeit ist, und dass die Ausstoßmenge des Flüssigmaterials, das von dem Verteilungskopf 50 ausgestoßen wird, durch eine Steuerung der Anzahl von Umdrehungen des Ausstoßmotors pro Einheitszeit (das heißt die Ausstoßsteuerungsmenge D) gesteuert wird.
  • In einem Anfangszustand (bis zu einer Zeit ti) in 4 wird der Verteilungskopf 50 mit der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V1 bewegt, wobei der Ausstoßmotor, der als die Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 dient, mit der Anzahl D1 von Umdrehungen pro Einheitszeit gesteuert wird. Die relative Bewegungsgeschwindigkeit V des Verteilungskopfes 50 wird von der Robotersteuerungseinrichtung 30 zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 pro Δt gesendet. Wenn die relative Bewegungsgeschwindigkeit V geändert wird, führt die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 die Umwandlung aus, um die Ausstoßsteuerungsmenge D, die der empfangenen relativen Bewegungsgeschwindigkeit V entspricht, entsprechend der Umwandlungstabelle zu erhalten.
  • Wenn die relative Bewegungsgeschwindigkeit V des Verteilungskopfes 50 auf V2 verringert wird, wird ein Verzögerungsbefehl von der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 ausgegeben, wobei die Anzahl von Umdrehungen der Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 pro Einheitszeit auf D2 verringert wird. Gleichsam werden, wenn die relative Bewegungsgeschwindigkeit V aufeinanderfolgend auf V3 , V4 , ... Vn verringert wird, Verzögerungsbefehle ebenso aufeinanderfolgend von der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 ausgegeben, wobei die Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 aufeinanderfolgend die Anzahl von Umdrehungen pro Einheitszeit auf D3 , D4 , ... Dn in einer entsprechenden Beziehung verringert. Des Weiteren behält, wenn die relative Bewegungsgeschwindigkeit V des Verteilungskopfes 50 Vn erreicht und dort beibehalten wird, die Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 die Anzahl von Umdrehungen pro Einheitszeit bei Dn bei, da kein Geschwindigkeitsänderungsbefehl von der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 ausgegeben wird.
  • Während die untere Zone in 4 beispielsweise den Fall darstellt, in dem die relative Bewegungsgeschwindigkeit V des Verteilungskopfes 50 linear verringert wird, kann die Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 in einer ähnlichen Art und Weise zu der, die vorstehend beschrieben ist, auch in dem Fall gesteuert werden, in dem die relative Bewegungsgeschwindigkeit V nicht-linear geändert wird. Somit kann die Steuerung ausgeführt werden, indem die Ausstoßsteuerungsmenge D, die der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V des Verteilungskopfes 50 entspricht, von der Umwandlungstabelle ausgewählt wird und indem die Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 entsprechend der ausgewählten Ausstoßsteuerungsmenge D gesteuert wird.
  • Der Vergleichsausdruck und die Umwandlungstabelle können beispielsweise in einer derartigen kombinierten Art und Weise verwendet werden, dass die Umwandlungstabelle für einen bestimmten Geschwindigkeitsbereich verwendet wird und der Vergleichsausdruck außerhalb des bestimmten Geschwindigkeitsbereichs verwendet wird. Der Vergleichsausdruck oder die Umwandlungstabelle muss im Voraus auf der Grundlage von theoretischen Werten oder experimentellen Werten vorbereitet werden. Der Vergleichsausdruck oder die Umwandlungstabelle wird vorzugsweise definiert, indem fünf oder mehr unterschiedliche Ausstoßmengen schrittweise bestimmt werden. Außerdem wird die relative Bewegungsgeschwindigkeit V des Verteilungskopfes 50 von der Robotersteuerungseinrichtung 30 zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 kontinuierlich während der Interpolationsbewegung oder zu einem Zeitpunkt, bei dem eine Änderung der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V in dem Aufbringungsprogramm angewiesen wird, oder bei vorbestimmten Zeitintervallen übertragen. Alternativ hierzu kann die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 die relative Bewegungsgeschwindigkeit V durch ein Abfrageverfahren zum Ausgeben einer Übertragungsanforderung von der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 zu der Robotersteuerungseinrichtung 30 erhalten.
  • < Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung >
  • Die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung ist eine Ausstoßsteuerungsbetriebsart, in der der Verteilungskopf 50 angewiesen wird, das Flüssigmaterial in einer vorbestimmten Ausstoßmenge pro Einheitszeit unabhängig von der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V zwischen dem Ausstoßkopf 50 und dem Arbeitstisch 20 auszustoßen. Die Bedienungsperson kann zuvor die Ausstoßsteuerungsmenge D, die der Ausstoßmenge pro Einheitszeit entspricht, die in der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung gewünscht wird, beispielsweise durch Experimente bestimmen, wobei sie die bestimmte Ausstoßsteuerungsmenge D in dem Ausstoßsteuerungsprogramm einstellen kann. Wenn die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung eingestellt wird, kann die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 das Flüssigmaterial in der Ausstoßmenge pro Einheitszeit, die durch die Bedienungsperson gewünscht wird, in der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung ausstoßen, indem die Ausstoßsteuerungseinrichtung 64 veranlasst wird, gerade entsprechend der Ausstoßsteuerungsmenge D in der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung entsprechend dem Ausstoßsteuerungsprogramm betrieben zu werden.
  • <Aufbringungsarbeiten>
  • Die Aufbringungsvorrichtung 1 führt automatisch und kontinuierlich eine Abfolge von Aufbringungsarbeiten aus, indem das vorliegende Aufbringungsprogramm ausgeführt wird. Eine Abfolge von Aufbringungsarbeiten eines abwechselnden Ausführens der Linienziehaufbringung für ein vorbestimmtes Aufbringungsmuster, das Eckabschnitte aufweist, die in 6 veranschaulicht sind, und einer Entsorgungsaufbringung wird nachstehend als ein Beispiel der Abfolge von Aufbringungsarbeiten beschrieben, die durch die Aufbringungsvorrichtung 1 ausgeführt werden. In diesem Beispiel der Abfolge von Aufbringungsarbeiten wird die Entsorgungsaufbringung zum Ausstoßen einer vorbestimmten Menge des Flüssigmaterials, die in den Entsorgungsausstoßbereich 27 auszusondern ist, zuerst ausgeführt, wobei dann die Linienziehaufbringung für das vorbestimmte Aufbringungsmuster ausgeführt wird. Danach werden die Entsorgungsaufbringung und die Linienziehaufbringung für das vorbestimmte Aufbringungsmuster kontinuierlich wiederholt. Die Abfolge von Aufbringungsarbeiten in Verbindung mit der Entsorgungsaufbringung und der Linienziehaufbringung ist in dem Aufbringungsprogramm in diesem Beispiel beschrieben. 6 zeigt eine Veranschaulichung, auf die Bezug genommen wird, um einen Aufbringungsbetrieb für die Abfolge von Aufbringungsarbeiten zu erklären, in dem die Linienziehaufbringung für das Aufbringungsmuster, das die Eckabschnitte umfasst, und die Entsorgungsaufbringung abwechselnd ausgeführt werden.
  • Wenn die vorstehend beschriebenen Aufbringungsarbeiten ausgeführt werden, gibt die Robotersteuerungseinrichtung 30 zuerst zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 ein Umschaltsignal für ein Umschalten auf die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung entsprechend dem Aufbringungsprogramm aus. In Reaktion darauf schaltet die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 den Ausstoßbetrieb von der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung auf die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung um. Dann bewegt die Robotersteuerungseinrichtung 30 den Verteilungskopf 50 relativ zu dem Entsorgungsausstoßbereich 27 entsprechend dem Aufbringungsprogramm. In der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung kann, da die Ausstoßmenge pro Einheitszeit unabhängig von der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V zwischen dem Verteilungskopf 50 und dem Arbeitstisch 25 vorbestimmt ist, das Flüssigmaterial in der Ausstoßmenge pro Einheitszeit, die durch die Bedienungsperson gewünscht wird, in den Entsorgungsausstoßbereich 27 ausgestoßen werden, auch wenn die Entsorgungsaufbringung in einem Zustand ausgeführt wird, dass der Verteilungskopf 50 über dem Entsorgungsausstoßbereich 27 gestoppt gehalten wird.
  • Indem die Entsorgungsaufbringung wie vorstehend beschrieben ausgeführt wird, kann das Flüssigmaterial, das an einer äußeren Oberfläche der Düse 54 angebracht ist, und das Flüssigmaterial, das nahe der Ausstoßöffnung 55 verfestigt worden ist, ausgesondert werden. Als Ergebnis können der Zustand und die Ausstoßmenge des Flüssigmaterials, das von der Düse 54 ausgestoßen wird, konstant gehalten werden, wobei das Auftreten eines Aufbringungsfehlers in der Linienziehaufbringung, die nach der Entsorgungsaufbringung ausgeführt wird, verringert werden kann.
  • Nach dem Ende der Entsorgungsaufbringung gibt die Robotersteuerungseinrichtung 30 an die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 ein Umschaltsignal für ein Umschalten von der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung zu der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung entsprechend dem Aufbringungsprogramm aus. Somit gelangt die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 in einen Zustand, der in der Lage ist, die Ausstoßmenge pro Einheitszeit in Abhängigkeit von der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V des Verteilungskopfes 50 zu bestimmen. Dann bewegt die Robotersteuerungseinrichtung 30 den Verteilungskopf 50 relativ entlang eines Ortes des vorbestimmten Aufbringungsmusters und überträgt zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 das Geschwindigkeitssignal, das der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V des Verteilungskopfes 50 entspricht, entsprechend dem Aufbringungsprogramm. Die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 berechnet die relative Bewegungsgeschwindigkeit V auf der Grundlage des empfangenen Geschwindigkeitssignals und berechnet die Ausstoßsteuerungsmenge D, um die Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 auf der Grundlage der berechneten relativen Bewegungsgeschwindigkeit V zu betreiben. Dann wird die berechnete Ausstoßsteuerungsmenge D von der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 zu der Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 ausgegeben, wobei die Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 gesteuert wird, um das Flüssigmaterial in der Ausstoßeinheit 53 aus der Düse 54 entsprechend der Ausstoßsteuerungsmenge D auszustoßen. Da die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 den Aufbringungsbetrieb für die Linienziehaufbringung in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung wie vorstehend beschrieben ausführt, kann die Linienziehaufbringung mit der Linienbreite der Aufbringungslinie ausgeführt werden, die konstant gehalten wird, auch wenn das vorbestimmte Aufbringungsmuster den Eckabschnitt aufweist, und die relative Bewegungsgeschwindigkeit V des Verteilungskopfes 50 in dem Eckabschnitt geändert wird.
  • Die Abfolge von Aufbringungsarbeiten, die durch die Aufbringungsvorrichtung 1 gemäß diesem Ausführungsbeispiel ausgeführt wird, wird nachstehend unter Bezugnahme auf die 6 bis 8 beschrieben. Die Aufbringungsvorrichtung 1 gemäß diesem Ausführungsbeispiel startet die Aufbringungsarbeit, sobald eine Aufbringungsarbeitsstarttaste durch die Bedienungsperson gedrückt wird, wobei sie einen bestimmten Aufbringungsbetrieb automatisch und kontinuierlich wiederholt, bis die Aufbringungsarbeiten entsprechend einer Anweisung von dem Aufbringungsprogramm beendet werden, oder bis eine Aufbringungsarbeitsendtaste durch die Bedienungsperson gedrückt wird.
  • Somit ist die Aufbringungsvorrichtung 1 in der Lage, das Flüssigmaterial auf eine Vielzahl von Werkstücken 26 aufzubringen. Der Ausdruck „Abfolge von Aufbringungsarbeiten“, der hier verwendet wird, bedeutet die Aufbringungsarbeiten, die in dem Aufbringungsprogramm beschrieben sind. Wenn die Aufbringungsarbeiten auf ein Werkstück abzielen, bedeutet die Abfolge von Aufbringungsarbeiten die Linienziehaufbringung und die Entsorgungsaufbringung, die für das eine Werkstück eingestellt sind. Wenn die Aufbringungsarbeiten auf eine Vielzahl von Werkstücken abzielen, bedeutet die Abfolge von Aufbringungsarbeiten die Linienziehaufbringung und die Entsorgungsaufbringung, die für die Vielzahl von Werkstücken eingestellt sind. Das Werkstück 26, das heißt ein Aufbringungsgegenstand, ist nicht auf ein spezifisches begrenzt, wobei das Werkstück beispielsweise ein Halbleiterchip oder mehrere Halbleiterchips, ein Substrat oder mehrere Substrate, das/die jeweils einen darauf angebrachten Halbleiterchip umfasst/umfassen, oder ein Substrat oder mehrere Substrate, das/die jeweils eine Vielzahl von darauf angebrachten Halbleiterchips umfasst/umfassen, sein kann.
  • < Beispiel 1 >
  • Zuerst wird die Abfolge von Aufbringungsarbeiten beschrieben, die in 6 veranschaulicht sind. In der Abfolge von Aufbringungsarbeiten, die in 6 veranschaulicht sind, werden die Linienziehaufbringung bzw. Linienzeichnungsaufbringung zum Ziehen bzw. Zeichnen eines vorbestimmten Aufbringungsmusters auf dem Werkstück 26 und die Entsorgungsaufbringung zum Aussondern des Flüssigmaterials in den Entsorgungsausstoßbereich 27 abwechselnd ausgeführt. Vor einem Starten der Abfolge von Aufbringungsarbeiten stellt die Bedienungsperson anfänglich in der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 die Ausstoßmenge pro Einheitszeit in einem viereckigen Aufbringungsmuster, das in 6 veranschaulicht ist, und die Ausstoßmenge pro Einheitszeit in dem Entsorgungsausstoßbereich 27 ein (programmiert sie).
  • Die Linienziehaufbringung für das viereckige Aufbringungsmuster wird in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung ausgeführt. Die Bedienungsperson kann die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung beispielsweise wie nachstehend beschrieben einstellen. Die Bedienungsperson justiert wiederholt die Ausstoßsteuerungsmenge D derart, dass die Linienbreite der Aufbringungslinie eine gewünschte Linienbreite Wa bei einer gewünschten relativen Bewegungsgeschwindigkeit Va des Verteilungskopfes 50 in der Linienziehaufbringung wird, wobei somit eine Ausstoßsteuerungsmenge Da bestimmt wird, bei der die Linienbreite der Aufbringungslinie Wa wird. Als Nächstes justiert die Bedienungsperson wiederholt die Ausstoßsteuerungsmenge D derart, dass die Linienbreite der Aufbringungslinie die gewünschte Linienbreite Wa bei einer relativen Bewegungsgeschwindigkeit Vb, die von der relativen Bewegungsgeschwindigkeit Va unterschiedlich ist, wird, wobei somit eine Ausstoßsteuerungsmenge Db bestimmt wird, bei der die Linienbreite der Aufbringungslinie Wa wird. Dann gibt die Bedienungsperson die bestimmten relativen Bewegungsgeschwindigkeiten Va und Vb und die Ausstoßsteuerungsmengen Da und Db in die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 ein. Auf der Grundlage dieser Eingaben berechnet die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 eine lineare Funktion, die eine Beziehung zwischen der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V und der Ausstoßsteuerungsmenge D darstellt, wobei in der Beziehung die Linienbreite der Aufbringungslinie Wa wird. Die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 speichert die berechnete lineare Funktion in der Speichervorrichtung.
  • Das vorstehend beschriebene Beispiel ist in Verbindung mit der Konfiguration beschrieben worden, in der bei einer Eingabe der Bedienungsperson der relativen Bewegungsgeschwindigkeiten Va und Vb und der Ausstoßsteuerungsmengen Da und Db in die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 die lineare Funktion berechnet, die die Beziehung zwischen der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V und der Ausstoßsteuerungsmenge D darstellt, wobei die Beziehung der Linienbreite Wa der Aufbringungslinie entspricht, die durch die Bedienungsperson gewünscht wird. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf diese Konfiguration begrenzt. In einer anderen Konfiguration kann die Bedienungsperson die lineare Funktion, die die Beziehung zwischen der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V und der Ausstoßsteuerungsmenge D darstellt, wobei die Beziehung der gewünschten Linienbreite Wa der Aufbringungslinie entspricht, auf der Grundlage der relativen Bewegungsgeschwindigkeiten Va und Vb und der Ausstoßsteuerungsmengen Da und Db berechnen, wobei sie die berechnete lineare Funktion in die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 speichern kann.
  • Des Weiteren ist es, wenn die Beziehung zwischen der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V und der Ausstoßsteuerungsmenge D in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung in der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 eingestellt wird, zu bevorzugen, dass eine der relativen Bewegungsgeschwindigkeiten Va und Vb auf einen Wert eingestellt ist, der höher als eine tatsächliche maximale Geschwindigkeit der Linienziehaufbringung für das Aufbringungsmuster ist, und dass die andere auf einen Wert eingestellt ist, der niedriger als eine tatsächliche minimale Geschwindigkeit ist. Mit einer derartigen Einstellung besteht eine geringere Neigung dazu, dass ein Fehler zwischen einer Linienbreite W der Aufbringungslinie, die durch die Bedienungsperson gewünscht wird, und einer Linienbreite der Aufbringungslinie, die tatsächlich gezogen wird, erzeugt wird. Außerdem kann, indem die Beziehung zwischen der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V und der Ausstoßsteuerungsmenge D in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung außerhalb eines Bereichs der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V, bei der das Aufbringungsmuster tatsächlich durch die Linienziehaufbringung gezogen wird, bestimmt wird, auf effektive Weise verhindert werden, dass die relative Bewegungsgeschwindigkeit und die Ausstoßsteuerungsmenge, die von der vorstehend beschriebenen Beziehung bestimmt werden, um die Aufbringungslinie in der Linienbreite zu ziehen, die durch die Bedienungsperson gewünscht wird, von Betriebsbereichen des Dispensers 10 und des Roboters 20 abzuweichen, wenn die Aufbringungsarbeiten tatsächlich ausgeführt werden.
  • Zusätzlich kann, wenn es zuvor bekannt ist, dass die Ausstoßsteuerungsmenge D null (D0 ) bei der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V ist, die null ist (V0 ), die vorstehend beschriebene Beziehung berechnet werden, indem lediglich eine Kombination der relativen Bewegungsgeschwindigkeit Va und der Ausstoßsteuerungsmenge Da bestimmt wird, bei der die Aufbringungslinie in der Linienbreite gezogen werden kann, die durch die Bedienungsperson gewünscht wird, und indem die Kombinationen der relativen Bewegungsgeschwindigkeiten V0 und Va und der Ausstoßsteuerungsmengen D0 und Da verwendet werden. Auch in einem derartigen Fall wird die relative Bewegungsgeschwindigkeit Va vorzugsweise auf einen Wert eingestellt, der höher als die tatsächliche maximale Geschwindigkeit ist, bei der das Aufbringungsmuster tatsächlich durch die Linienziehaufbringung gezogen wird, wie es vorstehend beschrieben ist. Die Beziehung zwischen der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V und der Ausstoßsteuerungsmenge D in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung kann ebenso unter Verwendung einer Funktion definiert werden, die zu der linearen Funktion unterschiedlich ist, wobei sie ebenso durch ein Verfahren bestimmt werden kann, das zu dem vorstehend beschriebenen Verfahren unterschiedlich ist.
  • Der Ausstoßbetrieb in dem Entsorgungsausstoßbereich 27 wird in der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung ausgeführt, in der der Ausstoß unabhängig von der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V ausgeführt wird. Die Ausstoßsteuerungsmenge D in der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung kann auf eine Ausstoßsteuerungsmenge Dc pro Einheitszeit eingestellt werden, die der Ausstoßmenge entspricht, die durch die Bedienungsperson in der Entsorgungsaufbringung gewünscht wird.
  • Dann führt die Bedienungsperson eine Einstellung der Robotersteuerungseinrichtung 30 aus. Genauer gesagt stellt die Bedienungsperson ein Aufbringungsprogramm ein, das in der Robotersteuerungseinrichtung 30 zu speichern ist. Das Aufbringungsprogramm beschreibt hauptsächlich die Befehle, die die PTP-Bewegung, die Interpolationsbewegung, das Ein-/Ausschalten des Ausstoßens, das Umschalten zwischen der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung und der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung usw. betreffen, sodass eine Abfolge von gewünschten Aufbringungsarbeiten ausgeführt werden kann. Bezüglich der Interpolationsbewegung wird die relative Bewegungsgeschwindigkeit V ebenso gemeinsam damit eingestellt. Es ist anzumerken, dass die Einstellung der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 und die Einstellung der Robotersteuerungseinrichtung 30 in keiner bestimmten Reihenfolge ausgeführt werden können oder zur gleichen Zeit ausgeführt werden können.
  • Der Betrieb der Aufbringungsvorrichtung 1 in der Abfolge von Aufbringungsarbeiten, der in 6 veranschaulicht ist, wird nachstehend beschrieben. Um die Entsorgungsaufbringung auszuführen, überträgt die Robotersteuerungseinrichtung 30 zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 das Umschaltsignal für ein Umschalten auf die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung. In Reaktion hierauf wird eine Ausstoßsteuerung, die durch die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 ausgeführt wird, auf die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung eingestellt, in der das Flüssigmaterial in der vorbestimmten Ausstoßmenge unabhängig von der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V ausgestoßen wird. Dann bewegt die Robotersteuerungseinrichtung 30 den Verteilungskopf 50 relativ zu dem Entsorgungsausstoßbereich 27 mit der PTP-Bewegung. Wenn der Verteilungskopf 50 zu dem Entsorgungsausstoßbereich 27 bewegt worden ist, überträgt die Robotersteuerungseinrichtung 30 den Ausstoßstartbefehl zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40. In Reaktion auf den Ausstoßstartbefehl betreibt die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 die Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 entsprechend der voreingestellten Ausstoßsteuerungsmenge Dc in der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung, wobei sie den Verteilungskopf 50 steuert, um das Flüssigmaterial in der Ausstoßmenge pro Einheitszeit auszustoßen, die bei der Entsorgungsaufbringung erforderlich ist.
  • Nach dem Ende der Entsorgungsaufbringung überträgt, um die Linienziehaufbringung für das viereckige Aufbringungsmuster auszuführen, wie es in 6 veranschaulicht ist, die Robotersteuerungseinrichtung 30 zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 das Umschaltsignal für ein Umschalten von der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung zu der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung entsprechend dem Aufbringungsprogramm. Somit wird die Ausstoßsteuerung, die durch die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 ausgeführt wird, auf die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung eingestellt, in der die Ausstoßsteuerungsmenge D in Abhängigkeit von der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V bestimmt wird, die von der Robotersteuerungseinrichtung 30 empfangen wird.
  • Die Robotersteuerungseinrichtung 30 bewegt den Verteilungskopf 50 relativ zu einem Startpunkt A des Aufbringungsmusters, der in 6 veranschaulicht ist, mit der PTP-Bewegung entsprechend dem Aufbringungsprogramm. Dann bewegt die Robotersteuerungseinrichtung 30 den Verteilungskopf 50 und den Arbeitstisch 25 relativ zueinander mit der voreingestellten relativen Bewegungsgeschwindigkeit V entsprechend dem Aufbringungsprogramm, wobei sie zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 das Geschwindigkeitssignal überträgt, das der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V entspricht.
  • Die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 wandelt das Geschwindigkeitssignal, das von der Robotersteuerungseinrichtung 30 empfangen wird, in die relative Bewegungsgeschwindigkeit V um. Auf der Grundlage der zuvor gespeicherten Beziehung zwischen der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V und der Ausstoßsteuerungsmenge D in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung berechnet die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 eine Ausstoßsteuerungsmenge Dcur , um die Aufbringungslinie in der Linienbreite W, die durch die Bedienungsperson gewünscht wird, zu ziehen, auf der Grundlage einer derzeitigen relativen Bewegungsgeschwindigkeit Vcur zwischen dem Verteilungskopf 50 und dem Arbeitstisch 25. Dann betreibt die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 die Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 entsprechend der berechneten Ausstoßsteuerungsmenge Dcur , wobei sie den Verteilungskopf 50 steuert, um das Flüssigmaterial in der Ausstoßmenge pro Einheitszeit auszustoßen, die bei der Linienziehaufbringung erforderlich ist.
  • Für das Aufbringungsmuster, das in 6 veranschaulicht ist, wird die Linienziehaufbringung in einer Reihenfolge gemäß A - B - C - D - E - F - G - H - I - A ausgeführt. Folglich bewegt die Robotersteuerungseinrichtung 30 den Verteilungskopf 50 mit der Interpolationsbewegung in der Reihenfolge gemäß A - B - C - D - E - F - G - H - I - A. In diesem Fall steuert die Robotersteuerungseinrichtung 30 die relative Bewegungsgeschwindigkeit V zwischen dem Verteilungskopf 50 und dem Arbeitstisch 25 derart, dass die Linienbreite W der Aufbringungslinie in dem Eckabschnitt des Aufbringungsmusters nicht variiert.
  • Genauer gesagt beschleunigt die Robotersteuerungseinrichtung 30 den Verteilungskopf 50 mit einer Beschleunigung VA1 von dem Aufbringungsstartpunkt A in Richtung eines Punkts B, bis die relative Bewegungsgeschwindigkeit V1 erreicht. Wenn die relative Bewegungsgeschwindigkeit V1 erreicht, bewegt die Robotersteuerungseinrichtung 30 den Verteilungskopf 50 relativ entlang einer verbleibenden linearen Linie zwischen A und B mit der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V1 , wodurch die Linienziehaufbringung ausgeführt wird. Wenn der Verteilungskopf 50 den Punkt B erreicht, verlangsamt die Robotersteuerungseinrichtung 30 den Verteilungskopf 50 mit einer Verzögerung VA2 in einem Eckabschnitt BC, bis die relative Bewegungsgeschwindigkeit V2 erreicht. Wenn die relative Bewegungsgeschwindigkeit V2 erreicht, bewegt die Robotersteuerungseinrichtung 30 den Verteilungskopf 50 relativ in einem verbleibenden Teil des Eckabschnitts BC mit der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V2 , wodurch die Linienziehaufbringung ausgeführt wird. Des Weiteren beschleunigt, wenn der Verteilungskopf 50 einen Punkt C erreicht, die Robotersteuerungseinrichtung 30 den Verteilungskopf 50 mit der Beschleunigung VA1 entlang einer linearen Linie CD, sodass die relative Bewegungsgeschwindigkeit V1 wird. Wenn die relative Bewegungsgeschwindigkeit V1 erreicht, bewegt die Robotersteuerungseinrichtung 30 den Verteilungskopf 50 relativ entlang einem verbleibenden Teil der linearen Linie CD mit der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V1 , wodurch die Linienziehaufbringung ausgeführt wird. In anderen Eckabschnitten DE, FG und HI und anderen linearen Abschnitten EF, GH und IA wird der Aufbringungsbetrieb in einer ähnlichen Art und Weise ausgeführt.
  • Während der Interpolationsbewegung (während zumindest einer Zeitdauer, in der das Aufbringungsmuster mit der Linienziehaufbringung gezogen bzw. gezeichnet wird), wird das Geschwindigkeitssignal (Impulssignal), das der derzeitigen relativen Bewegungsgeschwindigkeit Vcur entspricht, kontinuierlich von der Robotersteuerungseinrichtung 30 zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 in einer wiederholten Art und Weise ausgegeben. Dementsprechend kann in dem Beispiel, das in 6 veranschaulicht ist, die Robotersteuerungseinrichtung 30 kontinuierlich das Geschwindigkeitssignal, das der derzeitigen relativen Bewegungsgeschwindigkeit Vcur entspricht, während der Zeitdauer ausgeben, in der das Aufbringungsmuster mit der Linienziehaufbringung gezogen bzw. gezeichnet wird. Des Weiteren kann, wenn die relative Bewegungsgeschwindigkeit Vcur des Verteilungskopfes 50 nahe dem Eckabschnitt geändert wird, die Robotersteuerungseinrichtung 30 zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 das Geschwindigkeitssignal ausgeben, das der tatsächlichen relativen Bewegungsgeschwindigkeit Vcur nahe dem Eckabschnitt entspricht. Dann berechnet die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 auf der Grundlage des empfangenen Geschwindigkeitssignals eine Ausstoßsteuerungsmenge Dcur , die der derzeitigen relativen Bewegungsgeschwindigkeit Vcur entspricht, von der Beziehung zwischen der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V und der Ausstoßsteuerungsmenge D in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung, wobei die Beziehung in der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 gespeichert ist, zu einem Zeitpunkt, der für die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 geeignet ist. Somit kann, auch wenn die relative Bewegungsgeschwindigkeit Vcur des Verteilungskopfes 50 nahe dem Eckabschnitt geändert wird, die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 sofort die Ausstoßsteuerungsmenge Dcur , die der tatsächlichen relativen Bewegungsgeschwindigkeit Vcur nahe dem Eckabschnitt entspricht, zu dem Zeitpunkt berechnen, der für die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 geeignet ist, wobei sie den Dispenser 10 steuern kann, um das Flüssigmaterial in der Ausstoßmenge, die der tatsächlichen relativen Bewegungsgeschwindigkeit Vcur nahe dem Eckabschnitt entspricht, zu einem Zeitpunkt, der für die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 geeignet ist, sofort auszustoßen. Als Ergebnis kann der Dispenser 10 gesteuert werden, um das Flüssigmaterial in der Ausstoßmenge, die die gewünschte Linienbreite W bereitstellt, nicht nur in dem Fall, in dem der Verteilungskopf 50 mit einer konstanten Geschwindigkeit bewegt wird, sondern auch in dem Fall auszustoßen, in dem er beschleunigt oder verlangsamt wird.
  • Wenn der Verteilungskopf 50 den Aufbringungsendpunkt A erreicht, wird der Verteilungskopf 50 gestoppt, wobei der Ausstoßbetrieb in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung zu einem Ende gebracht wird. Dann überträgt die Robotersteuerungseinrichtung 30 zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 das Umschaltsignal für ein Umschalten auf die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung, wobei sie den Verteilungskopf 50 zu dem Entsorgungsausstoßbereich 27 mit der PTP-Bewegung relativ bewegt. Danach werden die Entsorgungsaufbringung und die Linienziehaufbringung in einer ähnlichen Art und Weise wiederholt.
  • Anstatt den Verteilungskopf 50 mit der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V, wie sie durch die Bedienungsperson in dem Aufbringungsprogramm eingestellt ist, relativ zu bewegen, kann die Robotersteuerungseinrichtung 30 den Verteilungskopf 50 mit einer relativen Bewegungsgeschwindigkeit V bewegen, die unterschiedlich zu der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V ist, die durch die Bedienungsperson in dem Aufbringungsprogramm eingestellt ist, und die vom Standpunkt einer Sicherheit und Arbeitseffektivität optimiert ist. Genauer gesagt kann die Robotersteuerungseinrichtung 30 zusätzlich zu der relativen Bewegungsgeschwindigkeit, die durch die Bedienungsperson in dem Aufbringungsprogramm eingestellt wird, eine Beschleunigung bei dem Start der Aufbringungsarbeiten und eine Verzögerung bei dem Ende der Aufbringungsarbeiten einstellen. Des Weiteren kann die Robotersteuerungseinrichtung 30 zusätzlich zu der relativen Bewegungsgeschwindigkeit, die durch die Bedienungsperson in dem Aufbringungsprogramm eingestellt wird, die Beschleunigung VA1 und die Verzögerung VA2 zwischen dem linearen Abschnitt und dem Eckabschnitt des Aufbringungsmusters einstellen, indem diese Beschleunigung und Verzögerung aus einer Differenz in der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V, die durch die Bedienungsperson um eine Position vor dem Eckabschnitt und eine Position nach dem Eckabschnitt herum eingestellt wird, automatisch berechnet werden. Außerdem kann die Robotersteuerungseinrichtung 30 die relative Bewegungsgeschwindigkeit V, die durch die Bedienungsperson eingestellt worden ist, derart optimieren (korrigieren), dass der Verteilungskopf 50 entlang einem Weg des Aufbringungsmusters ruhig bzw. sanft bewegt wird. Wenn die Robotersteuerungseinrichtung 30 automatisch eine Korrektur oder eine zusätzliche Einstellung bei der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V und der Beschleunigung VA vornimmt, die durch die Bedienungsperson in dem Aufbringungsprogramm beschrieben werden, wie es vorstehend genannt ist, ist es zu bevorzugen, die Robotersteuerungseinrichtung 30 anzuweisen, das Geschwindigkeitssignal, das der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V entspricht, mit der die Robotersteuerungseinrichtung 30 den Verteilungskopf 50 tatsächlich relativ bewegt, anstelle einer Ausgabe des Geschwindigkeitssignals, das der relativen Bewegungsgeschwindigkeit entspricht, die durch die Bedienungsperson in dem Aufbringungsprogramm eingestellt wird, auszugeben.
  • Mit der Abfolge von Aufbringungsarbeiten, die in 6 veranschaulicht ist, kann, da die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung und die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung während der Abfolge von Aufbringungsarbeiten umgeschaltet werden können, das Flüssigmaterial in einem Zustand ausgestoßen werden, in dem der Verteilungskopf 50 während der Abfolge von Aufbringungsarbeiten gestoppt ist. Folglich kann, auch wenn der Entsorgungsausstoßbereich 27 einen relativ kleinen Raum aufweist, die Entsorgungsaufbringung während der Ausstoßarbeit ausgeführt werden. Außerdem kann, da die Ausstoßarbeit von der Entsorgungsaufbringung zu der Linienziehaufbringung in einer kontinuierlichen Art und Weise geschaltet werden kann, die Linienziehaufbringung mit der Düse 54 ausgeführt werden, die nach der Entsorgungsaufbringung in einem zufriedenstellenden Zustand gehalten wird, wobei eine Fehlerhäufigkeit verringert werden kann.
  • Die Beschleunigung VA1 und die Verzögerung VA2 können der gleiche Wert (skalare Größe) oder unterschiedliche Werte sein. Da Situationen zwischen einer jeweiligen einer Aufbringungsstartzone und einer Aufbringungsendzone sowie dem Eckabschnitt unterschiedlich sind, können die Beschleunigung und die Verzögerung auf unterschiedliche Werte dazwischen eingestellt werden. Des Weiteren kann anstelle einer Ausführung der Entsorgungsaufbringung eine Versuchsaufbringung ausgeführt werden, indem ein Messgerät zum Messen von Ausstoß- und Aufbringungszuständen, wie beispielsweise eine Wiegevorrichtung, in dem Entsorgungsausstoßbereich 27 mit der Absicht angeordnet wird, die Ausstoßmenge des ausgestoßenen Flüssigmaterials für den Zweck einer Ausgabe eines Alarms oder zur Ausführung einer Regelung zu messen.
  • <Beispiel 2>
  • Der Betrieb der Aufbringungsvorrichtung 1 in einer Abfolge von Aufbringungsarbeiten, die in 7 veranschaulicht ist, wird nachstehend beschrieben. In der Abfolge von Aufbringungsarbeiten, die in 7 veranschaulicht ist, wird ein linearer Abschnitt JK in einem viereckigen Aufbringungsmuster, das in 7 veranschaulicht ist, in einer größeren Linienbreite als die anderen Abschnitte gezogen bzw. gezeichnet. Des Weiteren wird in der Abfolge von Aufbringungsarbeiten, die in 7 veranschaulicht ist, die Entsorgungsaufbringung nicht ausgeführt, wobei der Aufbringungsbetrieb für das viereckige Aufbringungsmuster, das in 7 veranschaulicht ist, kontinuierlich wiederholt wird. Nachstehend wird die Abfolge von Aufbringungsarbeiten, die in 7 veranschaulicht ist, hauptsächlich bezüglich Punkten beschrieben, die zu der Abfolge von Aufbringungsarbeiten, die in 6 veranschaulicht ist, unterschiedlich sind.
  • In der Abfolge von Aufbringungsarbeiten, die in 7 veranschaulicht ist, kann, da der lineare Abschnitt JK den Eckabschnitt nicht umfasst, der Verteilungskopf 50 mit der konstanten relativen Bewegungsgeschwindigkeit V in dem linearen Abschnitt JK relativ bewegt werden. Dementsprechend stellt die Bedienungsperson das Aufbringungsprogramm für die Robotersteuerungseinrichtung 30 ein, um in dem linearen Abschnitt JK die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung auszuführen, in der das Flüssigmaterial in der vorbestimmten Ausstoßmenge unabhängig von der relativen Bewegungsgeschwindigkeit ausgestoßen wird. Des Weiteren bestimmt die Bedienungsperson zuvor beispielsweise durch Experimente eine Ausstoßsteuerungsmenge Djk , die der Ausstoßmenge pro Einheitszeit entspricht, mit der die Aufbringungslinie, die eine gewünschte Linienbreite WJK aufweist, in dem linearen Abschnitt JK mit der geplanten relativen Bewegungsgeschwindigkeit Vjk des Verteilungskopfes 50 gezogen bzw. gezeichnet werden kann, wobei sie in der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 die bestimmte Menge als die Ausstoßsteuerungsmenge Djk pro Einheitszeit in der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung einstellt. Bezüglich der anderen Abschnitte des Aufbringungsmusters neben dem linearen Abschnitt JK können die Robotersteuerungseinrichtung 30 und die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 in einer ähnlichen Art und Weise wie der in den Aufbringungsarbeiten für das Aufbringungsmuster, das in 6 veranschaulicht ist, eingestellt werden.
  • Die Abfolge von Aufbringungsarbeiten, die in 7 veranschaulicht ist, wird nachstehend beschrieben. Auch in der Abfolge von Aufbringungsarbeiten, die in 7 veranschaulicht ist, wird in einer Region von dem Aufbringungsstartpunkt A zu einer Verbindung J der Verteilungskopf 50 relativ bewegt, wobei die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung, in der die Ausstoßsteuerungsmenge D pro Einheitszeit in Abhängigkeit von der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V des Verteilungskopfes 50 bestimmt wird, wie in dem Fall des Aufbringungsmusters, das in 6 veranschaulicht ist, ausgeführt wird.
  • Wenn der Verteilungskopf 50 den Punkt J erreicht, gibt die Robotersteuerungseinrichtung 30 zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 das Umschaltsignal für ein Umschalten zu der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung entsprechend dem Aufbringungsprogramm aus. In Reaktion darauf wird die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 auf die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung eingestellt, in der die Ausstoßsteuerungsmenge Djk , die der Ausstoßmenge pro Einheitszeit entspricht, unabhängig von der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V des Verteilungskopfes 50 ausgegeben wird. Des Weiteren bewegt die Robotersteuerungseinrichtung 30 den Verteilungskopf 50 relativ mit einer relativen Bewegungsgeschwindigkeit VJK in dem linearen Abschnitt JK entsprechend dem Aufbringungsprogramm. Da, wie es vorstehend beschrieben ist, die Ausstoßsteuerungsmenge Djk die Steuerungsmenge ist, bei der die Linienbreite der Aufbringungslinie die Linienbreite WJK wird, die durch die Bedienungsperson in dem linearen Abschnitt JK gewünscht wird, wenn der Verteilungskopf 50 mit der relativen Bewegungsgeschwindigkeit VJK bewegt wird, ist die Aufbringungsvorrichtung 1 in der Lage, den linearen Abschnitt JK mit der Linienbreite WJK zu ziehen bzw. zu zeichnen, die durch die Bedienungsperson gewünscht wird.
  • Danach gibt, wenn der Verteilungskopf 50 einen Punkt K erreicht, die Robotersteuerungseinrichtung 30 zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 das Umschaltsignal für ein Umschalten auf die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung entsprechend dem Aufbringungsprogramm aus. In Reaktion darauf wird die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 auf die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung eingestellt, in der die Ausstoßsteuerungsmenge D in Abhängigkeit von der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V des Verteilungskopfes 50 bestimmt wird. Als Ergebnis kann in den anderen Abschnitten des Aufbringungsmusters, die zu dem linearen Abschnitt JK unterschiedlich sind, die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 die Ausstoßsteuerungsmenge D in Abhängigkeit von der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V des Verteilungskopfes 50 derart steuern, dass das Flüssigmaterial in der Ausstoßmenge ausgestoßen wird, die die Linienbreite W bereitgestellt, die durch die Bedienungsperson gewünscht wird, auch wenn die relative Bewegungsgeschwindigkeit V des Verteilungskopfes 50 geändert wird.
  • Wenn die Linienbreite in einem Teil des linearen Abschnitts in der Abfolge von Aufbringungsarbeiten geändert wird, wie es in 7 veranschaulicht ist, können lineare Linien, die unterschiedliche Linienbreiten aufweisen, durch einen kontinuierlichen Aufbringungsbetrieb gezogen bzw. gezeichnet werden, indem die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung und die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung während der Abfolge von Aufbringungsarbeiten umgeschaltet werden. Des Weiteren können, indem die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung in dem Abschnitt ausgeführt wird, in dem die relative Bewegungsgeschwindigkeit V nicht geändert wird, wie in dem Fall, der in 7 veranschaulicht ist, Zeit und Aufwand, die für die Bedienungsperson erforderlich sind, um das Ausstoßsteuerungsprogramm einzustellen, verringert werden, da keine Notwendigkeit zur Bestimmung der Beziehung zwischen der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V und der Ausstoßsteuerungsmenge D für den vorstehend beschriebenen Abschnitt besteht. Außerdem können, da die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung und die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung automatisch entsprechend dem Aufbringungsprogramm umgeschaltet werden, die linearen Abschnitte J und JK, die bezüglich einer Breite zueinander unterschiedlich sind, und die linearen Abschnitte JK und KF, die bezüglich einer Breite zueinander unterschiedlich sind, kontinuierlich ohne Unterbrechung gezogen bzw. gezeichnet werden.
  • In dem in 7 veranschaulichten Beispiel kann die relative Bewegungsgeschwindigkeit V des Verteilungskopfes 50 zwischen einer Region, in der die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung ausgeführt wird, und einer Region, in der die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung ausgeführt wird, geändert werden oder konstant gehalten werden. Die vorliegende Erfindung ist nicht auf den Fall eines Einstellens der Linienbreite der Aufbringungslinie in dem linearen Abschnitt JK, um größer als die in den anderen Abschnitten zu sein, begrenzt, wobei die Linienbreite der Aufbringungslinie in dem linearen Abschnitt JK kleiner oder gleich zu der in den anderen Abschnitten sein kann.
  • <Beispiel 3>
  • Eine Abfolge von Aufbringungsarbeiten, die in 8 veranschaulicht ist, wird nachstehend beschrieben. In der Abfolge von Aufbringungsarbeiten, die in 8 veranschaulicht ist, werden die Linienziehaufbringung für ein viereckiges Aufbringungsmuster und die Punktaufbringung für ein Punktmuster, das aus drei Punkten hergestellt ist, abwechselnd ausgeführt, ohne die Entsorgungsaufbringung auszuführen.
  • In der Abfolge von Aufbringungsarbeiten, die in 8 veranschaulicht ist, wird die Ausstoßsteuerung in der Linienziehaufbringung für das viereckige Aufbringungsmuster entsprechend der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung ausgeführt, wobei die Ausstoßsteuerung in der Punktaufbringung entsprechend der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung ausgeführt wird. Somit kann die Bedienungsperson das Aufbringungsprogramm für die Robotersteuerungseinrichtung 30 derart einstellen, dass die Ausstoßsteuerung in der Linienziehaufbringung für das viereckige Aufbringungsmuster entsprechend der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung ausgeführt wird und dass die Ausstoßsteuerung in der Punktaufbringung entsprechend der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung ausgeführt wird. Hierbei kann, da das viereckige Aufbringungsmuster ähnlich zu dem Aufbringungsmuster ist, das in 6 veranschaulicht ist, die Bedienungsperson die Robotersteuerungseinrichtung 30 und die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 für die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung wie in dem Beispiel 1 einstellen. Für die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung kann die Bedienungsperson zuvor beispielsweise durch Experimente die Ausstoßsteuerungsmenge D bestimmen, mit der das Flüssigmaterial in der Ausstoßmenge ausgestoßen wird, die für die Punktaufbringung erforderlich ist, wobei sie die bestimmte Ausstoßsteuerungsmenge D in der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 einstellen kann.
  • In der Abfolge von Aufbringungsarbeiten, die in 8 veranschaulicht ist, führen die Robotersteuerungseinrichtung 30 und die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 die Linienziehaufbringung für das viereckige Aufbringungsmuster entsprechend der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung wie in dem Fall der Linienziehaufbringung für das Aufbringungsmuster, das in 6 veranschaulicht ist, aus. Nach dem Ende der Linienziehaufbringung für das viereckige Aufbringungsmuster gibt die Robotersteuerungseinrichtung 30 zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 das Umschaltsignal für ein Umschalten auf die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung entsprechend dem Aufbringungsprogramm aus. In Reaktion hierauf wird die Ausstoßsteuerung, die durch die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 ausgeführt wird, zu der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung geändert. Dann bewegt die Robotersteuerungseinrichtung 30 den Verteilungskopf 50 relativ zu einer Position über dem Punkt J mit der PTP-Bewegung, wobei sie nach einem Stoppen des Verteilungskopfes 50 über dem Punkt J den Ausstoßstartbefehl zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 überträgt. Somit kann die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 die Ausstoßansteuerungseinrichtung 64 entsprechend der Ausstoßsteuerungsmenge D, die zuvor für die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung eingestellt worden ist, in einem Zustand steuern, in dem der Verteilungskopf 50 über dem Punkt J gestoppt hat, wobei sie den Verteilungskopf 50 steuern kann, das Flüssigmaterial in der Ausstoßmenge pro Einheitszeit auszustoßen, die durch die Bedienungsperson gewünscht wird. Die Robotersteuerungseinrichtung 30 und die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 führen die Punktaufbringung für die anderen Punkte K und N in einer ähnlichen Art und Weise aus. Nach dem Ende der Punktaufbringung für die Punkte K und L bewegt die Robotersteuerungseinrichtung 30 den Verteilungskopf relativ zu dem Punkt A mit der PTP-Bewegung, wobei sie zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 das Umschaltsignal für ein Umschalten auf die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung überträgt. Somit wird die Ausstoßsteuerung, die durch die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 ausgeführt wird, auf die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung umgeschaltet. Danach werden die Linienziehaufbringung für das vorbestimmte Aufbringungsmuster und die Punktaufbringung kontinuierlich in einer wiederholten Art und Weise ausgeführt.
  • Bezüglich der Abfolge von Aufbringungsarbeiten, in der die Linienziehaufbringung für das vorbestimmte Aufbringungsmuster, das die Eckabschnitte umfasst, und die Punktaufbringung abwechselnd ausgeführt werden, wie es in 8 veranschaulicht ist, ist es möglich, die Abfolge von Aufbringungsarbeiten, in der die Linienziehaufbringung für das vorbestimmte Aufbringungsmuster, das die Eckabschnitte umfasst, und die Punktaufbringung abwechselnd ausgeführt werden, wie es in 8 veranschaulicht ist, automatisch und kontinuierlich auszuführen, indem die Ausstoßsteuerungsbetriebsart derart automatisch umgeschaltet wird, dass die Linienziehaufbringung entsprechend der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung ausgeführt wird und dass die Punktaufbringung entsprechend der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung ausgeführt wird.
  • <Beispiel 4>
  • Der Betrieb der Aufbringungsvorrichtung 1 in einer Abfolge von Aufbringungsarbeiten, die in 9 veranschaulicht ist, wird nachstehend beschrieben. In der Abfolge von Aufbringungsarbeiten, die in 9 veranschaulicht ist, werden die Entsorgungsaufbringung, die Linienziehaufbringung für ein erstes Aufbringungsmuster P1, die Entsorgungsaufbringung und die Linienziehaufbringung für ein zweites Aufbringungsmuster P2 aufeinanderfolgend in einer wiederholten Art und Weise ausgeführt. Wie es in 9 veranschaulicht ist, sind die Aufbringungsmuster P1 und P2 jeweils ein Aufbringungsmuster, das Eckabschnitte umfasst, wobei aber eine Linienbreite einer Aufbringungslinie in dem zweiten Aufbringungsmuster P2 größer ist als die in dem ersten Aufbringungsmuster P1.
  • Hierbei kann die Aufbringungsvorrichtung 1 gemäß dem Ausführungsbeispiel als die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung mehrere Typen von Ausstoßsteuerungen, die bezüglich Ausstoßbedingungen unterschiedlich sind, einstellen. Auf ähnliche Weise kann die Aufbringungsvorrichtung 1 als die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung mehrere Typen von Ausstoßsteuerungen, die bezüglich Ausstoßbedingungen unterschiedlich sind, einstellen. In einem Beispiel, das in 9 veranschaulicht ist, kann die Bedienungsperson in der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 eine Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung X1, in der eine Beziehung zwischen der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V und der Ausstoßsteuerungsmenge D, wobei die Beziehung eine Linienbreite W1 der Aufbringungslinie in der Linienziehaufbringung bereitstellt, durch RW1 bezeichnet wird, und eine Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung X2 einstellen, in der eine Beziehung zwischen der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V und der Ausstoßsteuerungsmenge D, wobei die Beziehung eine Linienbreite W2 der Aufbringungslinie in der Linienziehaufbringung bereitstellt, durch RW2 bezeichnet wird.
  • Des Weiteren kann in der Aufbringungsvorrichtung 1 gemäß dem Ausführungsbeispiel, wenn die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung und die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung jeweils als die mehreren Typen von Ausstoßsteuerungen, die bezüglich Ausstoßbedingungen unterschiedlich sind, eingestellt werden, eine Kombination einer beliebigen der mehreren Typen der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung und einer beliebigen der mehreren Typen der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung als ein Kanal eingestellt werden. Beispielsweise ist es, wenn X1 und X2 als die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung eingestellt werden und Y1 und Y2 als die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung eingestellt werden, möglich, eine Kombination der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung X1 und der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung Y1 als einen Kanal C1 und eine Kombination der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung X2 und der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung Y2 als einen Kanal C2 einzustellen. In diesem Fall kann, indem ein Aufbringungsprogramm eingestellt wird, um den Kanal C1 und den Kanal C2 wiederholt auszuführen, die Aufbringungsvorrichtung 1 die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung X1, die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung Y1, die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung X2 und die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung Y2 in einer wiederholten Art und Weise aufeinanderfolgend ausführen. Es ist anzumerken, dass in der Aufbringungsvorrichtung 1 nur eine der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung und der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung in mehreren Typen eingestellt werden kann. Ein Einstellen der Kanäle ist ebenso nicht spezifisch begrenzt. Beispielsweise kann die Ausstoßsteuerung in der gleichen Betriebsart in mehreren Kanälen wie in dem Fall eines Einstellens der Kombination der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung X1 und der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung Y1 als den Kanal C1 und eines Einstellens einer Kombination der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung X2 und der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung Y1 als den Kanal C2 eingestellt werden. Alternativ hierzu kann die Ausstoßsteuerung in der gleichen Betriebsart mehrmalig in einem Kanal eingestellt werden.
  • In der Abfolge von Aufbringungsarbeiten, die in 9 veranschaulicht ist, werden die Linienziehaufbringung für das erste Aufbringungsmuster P1 mit der Aufbringungslinie, die die Linienbreite W1 aufweist, die Entsorgungsaufbringung und die Linienziehaufbringung für das zweite Aufbringungsmuster P2 mit der Aufbringungslinie, die die Linienbreite W2 (W2 > W1) aufweist, aufeinanderfolgend in einer wiederholten Art und Weise ausgeführt. In diesem Fall stellt die Bedienungsperson in der Verteilungssteuerungseinrichtung 40 eine Kombination der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung Y1, die die Entsorgungsaufbringung ausführt, und der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung X1, die die Aufbringungslinie in der Linienbreite W1 bereitstellt, als den Kanal C1 und eine Kombination der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung Y1, die die Entsorgungsaufbringung ausführt, und der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung X2, die die Aufbringungslinie in der Linienbreite W2 bereitstellt, als den Kanal C2 ein. Außerdem stellt die Bedienungsperson das Aufbringungsprogramm ein, das in der Robotersteuerungseinrichtung 30 gespeichert ist, um die Ausstoßsteuerung des Kanals C1 für das erste Aufbringungsmuster P1 auszuführen und die Ausstoßsteuerung des Kanals C2 für das zweite Aufbringungsmuster P2 auszuführen.
  • In dem vorstehend beschriebenen Fall überträgt die Robotersteuerungseinrichtung 30 zuerst entsprechend dem Aufbringungsprogramm eine Anweisung zum Ausführen der Ausstoßsteuerung des Kanals C1 zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40. Des Weiteren bewegt die Robotersteuerungseinrichtung 30 entsprechend dem Aufbringungsprogramm den Verteilungskopf 50 relativ zu dem Entsorgungsausstoßbereich 27, wobei sie die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 anweist, die Entsorgungsaufbringung in der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung Y1 auszuführen. Dann bewegt die Robotersteuerungseinrichtung 30 den Verteilungskopf 50 relativ zu einem Aufbringungsstartpunkt des ersten Aufbringungsmusters P1, wobei sie die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 anweist, die Linienziehaufbringung für das erste Aufbringungsmuster P1 in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung X1 auszuführen. Da in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung X1 die Beziehung RW1 zwischen der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V des Verteilungskopfes 50 und der Ausstoßsteuerungsmenge D darauf abzielend eingestellt ist, die Linienbreite W1 der Aufbringungslinie bereitzustellen, kann die Aufbringungsvorrichtung 1 die Linienziehaufbringung ausführen, um die Aufbringungslinie in der Linienbreite W1 für das erste Aufbringungsmuster P1 zu ziehen bzw. zu zeichnen.
  • Nach dem Ende der Aufbringung für das erste Aufbringungsmuster P1 überträgt die Robotersteuerungseinrichtung 30 entsprechend dem Aufbringungsprogramm eine Anweisung zum Ausführen der Ausstoßsteuerung des Kanals C2 zu der Verteilungssteuerungseinrichtung 40. Des Weiteren bewegt die Robotersteuerungseinrichtung 30 entsprechend dem Aufbringungsprogramm den Verteilungskopf 50 relativ zu dem Entsorgungsausstoßbereich 27, wobei sie die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 anweist, die Entsorgungsaufbringung in der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung Y1 auszuführen. Dann bewegt die Robotersteuerungseinrichtung 30 den Verteilungskopf 50 relativ zu einem Aufbringungsstartpunkt des zweiten Aufbringungsmusters P2, wobei sie die Verteilungssteuerungseinrichtung 40 anweist, die Linienziehaufbringung für das zweite Aufbringungsmuster P2 in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung X2 auszuführen. Da in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung X2 die Beziehung RW2 zwischen der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V des Verteilungskopfes 50 und der Ausstoßsteuerungsmenge D darauf abzielend eingestellt ist, die Linienbreite W2 der Aufbringungslinie bereitzustellen, kann die Aufbringungsvorrichtung 1 die Linienziehaufbringung ausführen, um die Aufbringungslinie in der Linienbreite W2 für das zweite Aufbringungsmuster P2 zu ziehen bzw. zu zeichnen.
  • Die relative Bewegungsgeschwindigkeit V des Verteilungskopfes 50 kann die Gleiche oder unterschiedlich zwischen dem ersten Aufbringungsmuster P1 und dem zweiten Aufbringungsmuster P2 sein. In dem Beispiel, das in 9 veranschaulicht ist, kann die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung Y1 in der Entsorgungsaufbringung in lediglich einem des Kanals C1 und des Kanals C2 beschrieben sein, wobei die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung Y1 in dem anderen Kanal ausgeführt werden kann, indem auf den Kanal Bezug genommen wird, in dem die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung Y1 beschrieben ist.
  • Somit kann in der Aufbringungsvorrichtung 1 gemäß dem Beispiel 4, da die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung und die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung in mehreren Typen, die bezüglich Ausstoßbedingungen unterschiedlich sind, eingestellt werden können, eine Abfolge von Aufbringungsarbeiten in Kombinationen von mehreren Aufbringungsmustern, die unterschiedliche Linienbreiten aufweisen, mehreren Entsorgungsaufbringungen in unterschiedlichen Ausstoßmengen usw. ausgeführt werden.
  • Mit dem Ausführungsbeispiel gemäß der vorliegenden Erfindung können, wie es vorstehend beschrieben ist, die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung zum Ändern der Ausstoßmenge des Flüssigmaterials, die von dem Verteilungskopf 50 pro Einheitszeit ausgestoßen wird, in Abhängigkeit von der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V zwischen dem Verteilungskopf 50 und dem Arbeitstisch 25 und die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung zum Betreiben des Verteilungskopfes 50, um das Flüssigmaterial in der vorbestimmten Ausstoßmenge pro Einheitszeit unabhängig von der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V auszustoßen, während einer Abfolge der Aufbringungsarbeiten, die entsprechend dem Aufbringungsprogramm ausgeführt wird, umgeschaltet werden. Als Ergebnis ist es möglich, Aufbringungsarbeiten, die in der Vergangenheit undurchführbar gewesen sind, wie beispielsweise die Abfolge der Aufbringungsarbeiten, in der die Linienziehaufbringung für das vorbestimmte Aufbringungsmuster, das die Eckabschnitte aufweist, und die Entsorgungsaufbringung wiederholt werden, die Abfolge der Aufbringungsarbeiten, in der die Aufbringungslinie in einer unterschiedlichen Linienbreite in einem Teil des linearen Abschnitts während der Linienziehaufbringung für das vorbestimmte Aufbringungsmuster, das die Eckabschnitte aufweist, gezogen bzw. gezeichnet wird, die Abfolge der Aufbringungsarbeiten, in der die Linienziehaufbringung für das vorbestimmte Aufbringungsmuster, das die Eckabschnitte aufweist, und die Punktaufbringung wiederholt werden, und die Abfolge der Aufbringungsarbeiten, in der die Linienziehaufbringungen für eine Vielzahl von Aufbringungsmustern, die unterschiedliche Linienbreiten aufweisen, ausgeführt werden, wie sie in den 6 bis 8 veranschaulicht sind, automatisch und kontinuierlich auszuführen.
  • Während die bevorzugten Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung vorstehend beschrieben worden sind, ist der technische Umfang der vorliegenden Erfindung nicht auf die vorstehend beschriebenen Beispiele begrenzt. Die vorstehend beschriebenen Beispiele können in verschiedener Weise modifiziert oder verbessert werden, wobei die modifizierten oder verbesserten Versionen ebenso in dem technischen Umfang der vorliegenden Erfindung beinhaltet sind.
  • Beispielsweise ist, während das Beispiel 1, das in 6 veranschaulicht ist, vorstehend in Verbindung mit der Abfolge von Aufbringungsarbeiten beschrieben worden ist, in der die Linienziehaufbringung für das vorbestimmte Aufbringungsmuster und die Entsorgungsaufbringung abwechselnd ausgeführt werden, die vorliegende Erfindung nicht auf diesen Fall begrenzt. Die Abfolge der Aufbringungsarbeiten kann beispielsweise wie nachstehend beschrieben modifiziert werden. Nach einem Ausführen der Linienziehaufbringung für das vorbestimmte Aufbringungsmuster auf einer Vielzahl von Werkstücken 26 für eine vorbestimmte Anzahl von Malen wird die Entsorgungsaufbringung ausgeführt. Danach werden ähnliche Schritte eines Ausführens der Linienziehaufbringung für das vorbestimmte Aufbringungsmuster auf die Werkstücke 26 für die vorbestimmte Anzahl von Malen und das darauffolgende Ausführen der Entsorgungsaufbringung wiederholt. Während in dem Beispiel 4, das in 9 veranschaulicht ist, die Entsorgungsaufbringung, die Linienziehaufbringung für das erste Aufbringungsmuster P1, die Entsorgungsaufbringung und die Linienziehaufbringung für das zweite Aufbringungsmuster P2 aufeinanderfolgend wiederholt werden, kann die Abfolge der Aufbringungsarbeiten beispielsweise derart modifiziert werden, dass die Entsorgungsaufbringung, die Linienziehaufbringung für das erste Aufbringungsmuster P1 und die Linienziehaufbringung für das zweite Aufbringungsmuster P2 aufeinanderfolgend wiederholt werden. In einem anderen Beispiel kann die Aufbringung in dem Verlauf der Linienziehaufbringung für das vorbestimmte Aufbringungsmuster unterbrochen werden, um die Entsorgungsaufbringung auszuführen. In noch einem weiteren Beispiel kann die Entsorgungsaufbringung bei Intervallen einer bestimmten Zeit ausgeführt werden. Die Frequenz und der Zeitpunkt eines Ausführens der Entsorgungsaufbringung kann in geeigneter Weise in dem Aufbringungsprogramm durch die Bedienungsperson in Abhängigkeit von dem Flüssigmaterial, das aufzubringen ist, eingestellt werden.
  • Der Zeitpunkt eines Ausgebens des Umschaltsignals für die Ausstoßsteuerungsbetriebsart durch die Robotersteuerungseinrichtung 30 und der Zeitpunkt eines Umschaltens der Ausstoßbetriebsartsteuerung durch die Verteilungssteuerungseinrichtung 40, die das Umschaltsignal empfangen hat, sind nicht auf die vorstehend beschriebenen Zeitpunkte begrenzt. Die Zeitpunkte können auf Zeitpunkte eingestellt werden, die zu denen unterschiedlich sind, die in den vorstehend beschriebenen Beispielen beschrieben sind, solange keine Schwierigkeiten in dem Ausstoßen/der Aufbringung nach einer Änderung der Ausstoßsteuerungsbetriebsart auftreten.
  • Des Weiteren sind die vorstehend beschriebenen Beispiele beispielhaft in Verbindung mit der Konfiguration beschrieben worden, in der die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung zum Ändern der Ausstoßsteuerungsmenge D in Übereinstimmung mit einer Änderung der relativen Bewegungsgeschwindigkeit V für die Linienziehaufbringung für das Aufbringungsmuster, das die Eckabschnitte ausweist, ausgeführt wird. Wenn jedoch die relative Bewegungsgeschwindigkeit in einem Abschnitt geändert wird, der zu dem Eckabschnitt unterschiedlich ist, kann die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung in diesem Abschnitt ausgeführt werden. Beispielsweise kann, wenn die relative Bewegungsgeschwindigkeit in dem linearen Abschnitt geändert werden muss, die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung auch für ein derartiges Aufbringungsmuster ausgeführt werden.
  • Außerdem kann, während in dem vorstehend beschriebenen Beispiel die PTP-Bewegung und die Interpolationsbewegung selektiv von dem Standpunkt einer Vergrößerung der Effektivität ausgeführt werden, die Interpolationsbewegung in einem Teil oder der Gesamtheit der vorstehend beschriebenen PTP-Bewegung ausgeführt werden. Während die Beispiele 1 bis 4 in Verbindung mit dem Fall eines Ausführens einer der Entsorgungsaufbringung, der Versuchsaufbringung, der Linienziehaufbringung und der Punktaufbringung als die Aufbringung in der zweiten Betriebsart beschrieben worden sind, können mehrere Typen von Aufbringungen als die Aufbringung in der zweiten Betriebsart in der Abfolge von Aufbringungsarbeiten ausgeführt werden. Zusätzlich kann ein anderer Typ einer Aufbringung, die zu den vorstehend beschriebenen Aufbringungen unterschiedlich ist, als die Aufbringung in der zweiten Betriebsart ausgeführt werden, wenn es die Gelegenheit erfordert.
  • Bezugszeichenliste
  • 1:
    Aufbringungsvorrichtung
    10:
    Dispenser bzw. Verteiler
    20:
    Roboter
    21:
    X-Achsen-Bewegungsvorrichtung
    22:
    Y-Achsen-Bewegungsvorrichtung
    23:
    Kopf (Z-Achsen-Bewegungsvorrichtung)
    24:
    Basis
    25:
    Werkstückhalteeinrichtung (Arbeitstisch)
    26:
    Werkstück
    27:
    Entsorgungsausstoßbereich (Justierungsaufbringungsbereich)
    28:
    Bewegungselement
    30:
    Robotersteuerungseinrichtung
    31:
    Speichervorrichtung
    32:
    Berechnungsvorrichtung
    40:
    Verteilungssteuerungseinrichtung
    50:
    Verteilungskopf
    53:
    Ausstoßeinheit
    54:
    Düse
    55:
    Ausstoßöffnung
    56:
    Schraube
    57:
    Kolben
    58:
    Kolben
    59:
    Ventil
    61:
    X-Achsen-Ansteuerungsquelle
    62:
    Y-Achsen-Ansteuerungsquelle
    63:
    Z-Achsen-Ansteuerungsquelle
    64:
    Ausstoßansteuerungseinrichtung
    81, A1, A2, B:
    Kabel

Claims (18)

  1. Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung mit: einem Ausstoßkopf, der ein Flüssigmaterial ausstößt; einem Roboter, der den Ausstoßkopf in Bezug auf ein Werkstück bewegt; einer Bewegungssteuerungseinheit, die eine relative Bewegung des Ausstoßkopfes und des Werkstücks entsprechend einem Aufbringungsprogramm steuert; und einer Ausstoßsteuerungseinheit, die einen Betrieb zum Ausstoßen des Flüssigmaterials aus dem Ausstoßkopf steuert, wobei die Bewegungssteuerungseinheit und die Ausstoßsteuerungseinheit kooperativ eine Arbeit zum Aufbringen des Flüssigmaterials auf das Werkstück in einem vorbestimmten Aufbringungsmuster ausführen, wobei die Ausstoßsteuerungseinheit in einer umschaltbaren Art und Weise entsprechend dem Aufbringungsprogramm eine Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung zum Ändern einer Ausstoßmenge des Flüssigmaterials, die von dem Ausstoßkopf pro Einheitszeit ausgestoßen wird, in Abhängigkeit von einer relativen Bewegungsgeschwindigkeit zwischen dem Ausstoßkopf und dem Werkstück und eine Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung zum Betreiben des Ausstoßkopfes, um das Flüssigmaterial in einer vorbestimmten Ausstoßmenge pro Einheitszeit unabhängig von der relativen Bewegungsgeschwindigkeit auszustoßen, ausführt.
  2. Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung eine Linienziehaufbringung zum Ziehen einer Aufbringungslinie in einer konstanten Aufbringungsmenge pro Einheitslänge entsprechend dem Aufbringungsprogramm ausgeführt wird.
  3. Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung nach Anspruch 2, wobei in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung eine Linienziehaufbringung zum Ziehen einer Aufbringungslinie in einer konstanten Linienbreite entsprechend dem Aufbringungsprogramm ausgeführt wird.
  4. Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, wobei in der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung zumindest eine aus der Linienziehaufbringung, einer Entsorgungsaufbringung, einer Versuchsaufbringung und einer Punktaufbringung entsprechend dem Aufbringungsprogramm ausgeführt werden kann.
  5. Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Ausstoßsteuerungseinheit die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung und die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung bei einem Empfang eines Signals, das von der Bewegungssteuerungseinheit ausgegeben wird, entsprechend dem Aufbringungsprogramm umschaltet.
  6. Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Ausstoßsteuerungseinheit in der Lage ist, mehrere Typen der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung, in denen Beziehungen zwischen der relativen Bewegungsgeschwindigkeit und der Ausstoßmenge pro Einheitszeit unterschiedlich zueinander sind, und mehrere Typen der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung, in denen die vorbestimmten Ausstoßmengen pro Einheitszeit unterschiedlich zueinander sind, einzustellen und einen der mehreren Typen der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung und der mehreren Typen der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung selektiv auszuführen.
  7. Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Ausstoßsteuerungseinheit eine Funktion zum automatischen Berechnen, auf der Grundlage der ersten relativen Bewegungsgeschwindigkeit, einer ersten Ausstoßmenge pro Einheitszeit, die der ersten relativen Bewegungsgeschwindigkeit entspricht, einer zweiten relative Bewegungsgeschwindigkeit und einer zweiten Ausstoßmenge pro Einheitszeit, die der zweiten relativen Bewegungsgeschwindigkeit entspricht, einer dritten Ausstoßmenge pro Einheitszeit, die einer dritten relativen Bewegungsgeschwindigkeit entspricht, aufweist, und in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung die Ausstoßsteuerungseinheit den Ausstoßkopf in einer Weise steuert, um während einer Bewegung des Ausstoßkopfes mit einer der ersten bis dritten relativen Bewegungsgeschwindigkeiten das Flüssigmaterial in der Ausstoßmenge pro Einheitszeit, die der einen relativen Bewegungsgeschwindigkeit entspricht, aus dem Ausstoßkopf auszustoßen.
  8. Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die relativen Bewegungsgeschwindigkeiten zusätzlich zu den relativen Bewegungsgeschwindigkeiten, die zuvor in das Aufbringungsprogramm eingegeben worden sind, um das Flüssigmaterial in dem Aufbringungsmuster aufzubringen, eine relative Bewegungsgeschwindigkeit umfassen, die automatisch auf der Grundlage der relativen Bewegungsgeschwindigkeiten berechnet wird, die zuvor in das Aufbringungsprogramm eingegeben worden sind, um die relativen Bewegungsgeschwindigkeiten, die zuvor in das Aufbringungsprogramm eingegeben worden sind, zu ergänzen.
  9. Flüssigmaterialaufbringungsverfahren, das eine Flüssigmaterialaufbringungsvorrichtung verwendet, die umfasst: einen Ausstoßkopf, der ein Flüssigmaterial ausstößt; einen Roboter, der den Ausstoßkopf relativ zu einem Werkstück bewegt; eine Bewegungssteuerungseinheit, die eine relative Bewegung des Ausstoßkopfes und des Werkstücks entsprechend einem Aufbringungsprogramm steuert; und eine Ausstoßsteuerungseinheit, die einen Betrieb zum Ausstoßen des Flüssigmaterials aus dem Ausstoßkopf steuert, wobei die Bewegungssteuerungseinheit und die Ausstoßsteuerungseinheit kooperativ eine Arbeit zum Aufbringen des Flüssigmaterials auf das Werkstück in einem vorbestimmten Aufbringungsmuster ausführen, wobei eine Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung zum Ändern einer Ausstoßmenge des Flüssigmaterials, die von dem Ausstoßkopf pro Einheitszeit ausgestoßen wird, in Abhängigkeit von einer relativen Bewegungsgeschwindigkeit zwischen dem Ausstoßkopf und dem Werkstück und eine Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung zum Betreiben des Ausstoßkopfes, um das Flüssigmaterial in einer vorbestimmten Ausstoßmenge pro Einheitszeit unabhängig von der relativen Bewegungsgeschwindigkeit auszustoßen, in einer umschaltbaren Art und Weise entsprechend dem Aufbringungsprogramm ausgeführt werden.
  10. Flüssigmaterialaufbringungsverfahren nach Anspruch 9, wobei in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung eine Linienziehaufbringung zum Ziehen einer Aufbringungslinie in einer konstanten Aufbringungsmenge pro Einheitslänge entsprechend dem Aufbringungsprogramm ausgeführt wird.
  11. Flüssigmaterialaufbringungsverfahren nach Anspruch 10, wobei in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung eine Linienziehaufbringung zum Ziehen einer Aufbringungslinie in einer konstanten Linienbreite entsprechend dem Aufbringungsprogramm ausgeführt wird.
  12. Flüssigmaterialaufbringungsverfahren nach Anspruch 10 oder 11, wobei in der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung zumindest eine aus der Linienziehaufbringung, einer Entsorgungsaufbringung, einer Versuchsaufbringung und einer Punktaufbringung entsprechend dem Aufbringungsprogramm ausgeführt wird.
  13. Flüssigmaterialaufbringungsverfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 12, wobei die Ausstoßsteuerungseinheit die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung und die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung bei einem Empfang eines Signals, das von der Bewegungssteuerungseinheit ausgegeben wird, entsprechend dem Aufbringungsprogramm umschaltet.
  14. Flüssigmaterialaufbringungsverfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 13, wobei die Ausstoßsteuerungseinheit mehrere Typen der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung, in denen Beziehungen zwischen der relativen Bewegungsgeschwindigkeit und der Ausstoßmenge pro Einheitszeit unterschiedlich zueinander sind, und mehrere Typen der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung einstellt, in denen die vorbestimmten Ausstoßmengen pro Einheitszeit unterschiedlich zueinander sind, und einen aus den mehreren Typen der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung und der mehreren Typen der Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung selektiv ausführt.
  15. Flüssigmaterialaufbringungsverfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 14, wobei die Ausstoßsteuerungseinheit eine Funktion zum automatischen Berechnen, auf der Grundlage einer ersten relativen Bewegungsgeschwindigkeit, einer ersten Ausstoßmenge pro Einheitszeit, die der ersten relativen Bewegungsgeschwindigkeit entspricht, einer zweiten relativen Bewegungsgeschwindigkeit und einer zweiten Ausstoßmenge pro Einheitszeit, die der zweiten relativen Bewegungsgeschwindigkeit entspricht, einer dritten Ausstoßmenge pro Einheitszeit, die einer dritten relativen Bewegungsgeschwindigkeit entspricht, aufweist, und in der Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung die Ausstoßsteuerungseinheit den Ausstoßkopf in einer Art und Weise steuert, um während eines Bewegens des Ausstoßkopfes mit einer der ersten bis dritten relativen Bewegungsgeschwindigkeiten das Flüssigmaterial in der Ausstoßmenge pro Einheitszeit, die der einen relativen Bewegungsgeschwindigkeit entspricht, aus dem Ausstoßkopf auszustoßen.
  16. Flüssigmaterialaufbringungsverfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 15, wobei die relativen Bewegungsgeschwindigkeiten zusätzlich zu relativen Bewegungsgeschwindigkeiten, die zuvor in das Aufbringungsprogramm eingegeben worden sind, um das Flüssigmaterial in dem Aufbringungsmuster aufzubringen, eine relative Bewegungsgeschwindigkeit umfassen, die auf der Grundlage der relativen Bewegungsgeschwindigkeiten, die zuvor in das Aufbringungsprogramm eingegeben worden sind, automatisch berechnet wird, um die relativen Bewegungsgeschwindigkeiten, die zuvor in das Aufbringungsprogramm eingegeben worden sind, zu ergänzen.
  17. Flüssigmaterialaufbringungsverfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 16, wobei die Erste-Betriebsart-Ausstoßsteuerung ausgeführt wird, wenn eine Linienziehaufbringung ausgeführt wird, in der die relative Bewegungsgeschwindigkeit in Abhängigkeit von dem Aufbringungsmuster geändert wird, und die Zweite-Betriebsart-Ausstoßsteuerung ausgeführt wird, wenn eine Linienziehaufbringung mit einer konstanten relativen Bewegungsgeschwindigkeit ausgeführt wird.
  18. Flüssigmaterialaufbringungsverfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 17, wobei das Werkstück als ein Halbleiterchip oder mehrere Halbleiterchips, ein Substrat oder mehrere Substrate, von denen jedes einen darauf angebrachten Halbleiterchip umfasst, oder ein Substrat oder mehrere Substrate, von denen jedes eine Vielzahl von darauf angebrachten Halbleiterchips umfasst, vorbereitet wird.
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