JP6775907B1

JP6775907B1 - 塗布装置及び塗布方法

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Publication number: JP6775907B1
Application number: JP2019145905A
Authority: JP
Inventors: 慎也福井; 寿夫神戸; 雅樹横山
Original assignee: Chugai Ro Co Ltd
Current assignee: Chugai Ro Co Ltd
Priority date: 2019-08-08
Filing date: 2019-08-08
Publication date: 2020-10-28
Anticipated expiration: 2039-08-08
Also published as: TWI787551B; CN112341005B; TW202106396A; JP2021023901A; CN112341005A

Abstract

【課題】板状になった下段部の上に下段部より小さい板状になった上段部が設けられた被塗布体の上段部の上面と、上段部と下段部との段差部における上段部の端面から下段部の上面に塗液を適切に塗布できるようにする。【解決手段】板状になった下段部11の上に下段部より小さい板状になった上段部12が設けられた被塗布体10の上を走行する走行部材23に、走行方向と交差する方向にスリット状吐出口24aを先端部に有する塗布用ノズル24を設けると共に、先端部にストロー状吐出口25aを有するストロー状ノズル25を、走行部材の走行方向と交差する方向に移動可能に設けた。【選択図】図４

Description

本発明は、被塗布体の上を一定方向に往復走行する走行部材に、その走行方向と交差する方向に伸びたスリット状吐出口を先端部に有する塗布用ノズルを設け、この塗布用ノズルにおける前記のスリット状吐出口を、被塗布体と対向させるようにして走行部材により被塗布体の上を走行させ、前記のスリット状吐出口から被塗布体に塗液を吐出させて、被塗布体に塗液を塗布させる塗布装置に関するものである。特に、前記のような塗布装置を用いて塗液を、板状になった下段部の上に下段部より小さい板状になった上段部が設けられた被塗布体における上段部の上面に塗布すると共に、上段部と下段部との段差部における上段部の端面から下段部の上面に至るように塗液を適切に塗布させることが簡単かつ短時間で行えるようにした点に特徴を有するものである。

従来から、テーブルコータ（登録商標）等の塗布装置によって、ガラス板等からなる被塗布体の上に塗液を塗布することが行われていた。

ここで、このような塗布装置においては、特許文献１等に示されるように、ガラス板等からなる被塗布体をテーブルの上に載置させ、このように載置された被塗布体の上を一定方向に往復走行する走行部材に、その走行方向と交差する方向に伸びたスリット状吐出口を先端部に有する塗布用ノズルを設け、この塗布用ノズルを昇降させて、その先端部に設けたスリット状吐出口が前記の被塗布体と適切な距離になるようにし、この状態で、前記の走行部材により塗布用ノズルを被塗布体の上を走行させて、その走行方向と交差する方向に伸びたスリット状吐出口から塗液をテーブルの上に載置させた被塗布体の上に塗布させるようにしている。

また、特許文献２においては、基板吸着テーブルに保持されたガラス基板等の被塗布体の外周部近傍で生じる塗布液の盛り上がりを小さくし、塗布液の膜厚の均一性を向上させるため、基板吸着テーブルに保持された被塗布体の外周部上を移動できるシンナー供給ノズルを設け、このシンナー供給ノズルにより被塗布体の外周部に沿って、レジスト液よりも低い粘度のシンナーを塗布した後、レジスト液供給ノズルを、被塗布体上に縦横にあるいは円周方向等に移動させてレジスト液を供給し、被塗布体の外周部におけるレジスト液の盛り上がりを小さくするようにしたものが示されている。

一方、近年においては、被塗布体として、例えば、大きさの異なるガラス基板や樹脂基板等を用い、板状になった下段部の上に、下段部より小さい板状になった上段部を積層させて一体化させて、下段部の上に設けた上段部の周囲に段差部を形成したものを用い、塗液をこのような被塗布体における上段部の上面だけではなく、上段部の周囲における上段部と下段部との間の段差部における上段部の端面から下段部の上面に至るように塗布し、上段部の上面と一緒に前記の段差部の周囲における上段部の端面から下段部の上面に至るように塗膜を形成して保護することが行われるようになった。

ここで、前記の特許文献１に示される塗布装置を用いて、前記のように塗液を上段部の上面だけではなく、上段部の周囲における上段部と下段部との間の段差部における上段部の端面（側面）から下段部の上面に至るように塗布させる場合、前記の塗布用ノズルの先端部に設ける幅方向に長くなったスリット状吐出口の長さを前記の上段部の上面の幅よりも大きくすると共に、前記の塗布用ノズルを前記の上段部の上を走行させるにあたり、塗布用ノズルを走行させる長さを、上段部の走行方向の長さよりも長くして、塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口から塗液を塗布させる面積を、上段部の上面よりも大きくなるようにして、塗液を上段部の上面の周囲における段差部にも供給させることが考えられた。

しかし、このようにして塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口から塗液を塗布させる面積を、上段部の上面よりも大きくなるようにして、塗液を上段部の上面の周囲における段差部にも供給させる場合、一般に、上段部の上面に塗布させる厚みが薄く、塗布する塗液の量が少ない一方、上段部と下段部との間の段差部の距離が塗布する厚みよりも大きいため、上段部の周囲における段差部に十分な量の塗液を供給させることができず、上段部と下段部との間の段差部における上段部の端面から下段部の上面に至るように塗液を適切に塗布させようとしても、上段部の端面で塗液の付着が途切れてしまい上段部の上面及び端面の全体を塗液で覆うことがことは非常に困難であった。特に、一般に使用されている粘度の高い塗液を使用した場合においては、段差部における上段部の端面から下段部の上面に至るように塗液を塗布することはできなかった。

また、特許文献２に示されるものは、前記のように基板吸着テーブルに保持された被塗布体の外周部上を移動できるシンナー供給ノズルを設け、このシンナー供給ノズルにより被塗布体の外周部に沿って、レジスト液よりも低い粘度のシンナーを塗布した後、レジスト液供給ノズルを、被塗布体上に縦横にあるいは円周方向等に移動させてレジスト液を供給し、被塗布体の外周部におけるレジスト液の盛り上がりを小さくものであり、前記のように塗液を上段部の上面だけではなく、上段部の周囲における上段部と下段部との間の段差部における上段部の端面から下段部の上面に至るように塗布させるという目的は存在しておらず、またレジスト液供給ノズルを、被塗布体上に縦横にあるいは円周方向等に移動させてレジスト液を供給するため、塗液を上段部の上面だけではなく、上段部の周囲における上段部と下段部との間の段差部における上段部の端面から下段部の上面に至るように塗布させるためには、非常に長い時間を要するという問題があった。

特開２００２−２００４５０号公報特開２０００−２３７６６８号公報

本発明は、被塗布体の上を一定方向に往復走行する走行部材に、その走行方向と交差する方向に伸びたスリット状吐出口を先端部に有する塗布用ノズルを設け、この塗布用ノズルにおける前記のスリット状吐出口を、被塗布体と対向させるようにして走行部材により被塗布体の上を走行させ、前記のスリット状吐出口から被塗布体に塗液を吐出させて、被塗布体に塗液を塗布させる塗布装置を用い、板状になった下段部の上に下段部より小さい板状になった上段部が設けられた被塗布体において、前記の上段部の上面の他に、上段部と下段部との段差部における上段部の端面から下段部の上面に至るように塗液を塗布する場合における前記のような問題を解決することを課題とするものである。

すなわち、本発明においては、前記のような塗布装置を改良し、前記のように板状になった下段部の上に下段部より小さい板状になった上段部が設けられた被塗布体における上段部の上面と、上段部と下段部との段差部における上段部の端面から下段部の上面に至るように、塗液を適切に塗布させることが簡単かつ短時間で行えるようにすることを課題とするものである。

本発明に係る塗布装置においては、前記のような課題を解決するため、被塗布体の上を所定方向に往復走行する走行部材に、その走行方向と交差する方向に伸びたスリット状吐出口を先端部に有する塗布用ノズルを設け、前記の走行部材により塗布用ノズルにおけるスリット状吐出口を被塗布体と対向する位置に導き、塗布用ノズルを前記の走行部材により被塗布体の上を移動させ、前記のスリット状吐出口から被塗布体に塗液を吐出させて、被塗布体に塗液を塗布させる塗布装置において、前記の走行部材に対して、先端部にストロー状吐出口を有するストロー状ノズルを、走行部材の走行方向と交差する方向に移動可能に設けると共に、前記の塗布用ノズルとストロー状ノズルとを上下方向に移動可能に設け、板状になった下段部の上に下段部より小さい板状になった上段部が設けられた被塗布体における上段部の上面と、上段部と下段部との段差部における上段部の端面から下段部の上面に至るように塗液を塗布するにあたり、前記の走行部材を前記被塗布体の上で走行させる動作と前記のストロー状ノズルを走行部材の走行方向と交差する方向に移動させる動作とを組み合わせて、前記のストロー状ノズルを前記の被塗布体における上段部と下段部との段差部に沿って移動させ、ストロー状ノズルのストロー状吐出口から前記の塗液及び／又は塗液に用いる溶剤を、前記の段差部における上段部の端面に沿って下段部の上面に至るように供給させると共に、前記の走行部材を走行させて、前記の塗布用ノズルにおけるスリット状吐出口から塗液を、被塗布体における上段部の上面と合わせて、前記の段差部に供給された塗液及び／又は塗液に用いる溶剤の上に塗布させるようにした。

ここで、本発明に係る塗布装置においては、前記の走行部材に対して、前記の塗布用ノズルとストロー状ノズルとを上下方向に移動可能に設けるようにしている。

また、前記のストロー状ノズルにおけるストロー状吐出口から、前記の塗液及び／又は塗液に用いる溶剤を吐出させるようにしている。

また、本発明に係る塗布方法においては、前記のような課題を解決するため、被塗布体の上を所定方向に往復走行する走行部材に、その走行方向と交差する方向に伸びたスリット状吐出口を先端部に有する塗布用ノズルを設けると共に、前記の走行部材に、先端部にストロー状吐出口を有するストロー状ノズルを走行部材の走行方向と交差する方向に移動可能に設けた塗布装置を用い、板状になった下段部の上に下段部より小さい板状になった上段部が設けられた被塗布体における前記の上段部の上面と、上段部と下段部との段差部における上段部の端面から下段部の上面に至るように塗液を塗布する塗布方法において、前記の走行部材を前記被塗布体の上で走行させる動作と前記のストロー状ノズルを走行部材の走行方向と交差する方向に移動させる動作とを組み合わせて、前記のストロー状ノズルを前記の被塗布体における上段部と下段部との段差部に沿って移動させ、ストロー状ノズルのストロー状吐出口から前記の塗液及び／又は塗液に用いる溶剤を、前記の段差部における上段部の端面に沿って下段部の上面に至るように供給した後、前記の走行部材を走行させて、前記の塗布用ノズルにおけるスリット状吐出口から塗液を、被塗布体における上段部の上面と合わせて、前記の段差部に供給された塗液及び／又は塗液に用いる溶剤の上に塗布するようにした。

このようにすると、塗布用ノズルにおけるスリット状吐出口から塗液が、被塗布体における上段部の上面に塗布されると共に、塗液及び／又は塗液に用いる溶剤が供給された段差部に塗布された塗液が、段差部における塗液及び／又は塗液に用いる溶剤と混ざり合った状態で、上段部の端面から下段部の上面に至るように塗布される。

ここで、前記のようにストロー状ノズルのストロー状吐出口から段差部における上段部の端面から下段部の上面に至るようにして、前記の塗液に用いる溶剤を供給した部分に対して、前記のように塗布用ノズルにおけるスリット状吐出口から塗液を塗布すると、このように塗布された塗液が、上段部の端面から下段部の上面に供給された溶剤中に溶け込んで、上段部の端面から下段部の上面において塗液が薄められた状態で塗布されるようになる。

本発明における塗布装置においては、前記のように被塗布体の上を所定方向に往復走行する走行部材に、その走行方向と交差する方向に伸びたスリット状吐出口を先端部に有する塗布用ノズルを設けると共に、前記の走行部材に対して、先端部にストロー状吐出口を有するストロー状ノズルを、走行部材の走行方向と交差する方向に移動可能に設けると共に、前記の塗布用ノズルとストロー状ノズルとを上下方向に移動可能に設けている。

そして、本発明の塗布方法においては、板状になった下段部の上に下段部より小さい板状になった上段部が設けられた被塗布体における上段部の上面と、上段部と下段部との段差部における上段部の端面から下段部の上面に至るように塗液を塗布するにあたり、前記のような塗布装置を用い、前記のように走行部材を被塗布体の上で走行させる動作とストロー状ノズルを走行部材の走行方向と交差する方向に移動させる動作とを組み合わせて、ストロー状ノズルを被塗布体における上段部と下段部との段差部に沿って移動させ、ストロー状ノズルのストロー状吐出口から塗布用ノズルに用いる塗液及び／又は塗液に用いる溶剤を、段差部における上段部の端面に沿って下段部に至るように供給した後、前記の走行部材を走行させて、前記の塗布用ノズルにおけるスリット状吐出口から被塗布体における上段部の上面及び前記の塗液及び／又は塗液に用いる溶剤を供給が供給された段差部における上段部の端面から下段部の上面に至るように塗液を塗布させるようにする。

このようにすると、本発明の塗布方法においては、前記のように板状になった下段部の上に下段部より小さい板状になった上段部が設けられた被塗布体における上段部の上面と共に、上段部と下段部との段差部における上段部の端面から下段部の上面に至るようにして塗液を適切に塗布させることが簡単かつ短時間で行えるようになり、被塗布体における上段部の上面だけではなく、上段部の周囲における上段部と下段部との間の段差部における上段部の端面から下段部の上面に至る部分に塗液の付着を途切らせることなく塗膜を形成して保護することが簡単に行えるようになる。

本発明の実施形態に係る塗布装置によって塗液を塗布する板状になった下段部の上に下段部より小さい板状になった上段部が設けられた被塗布体を示し、（Ａ）は概略平面図、（Ｂ）は概略側面図である。前記の実施形態に係る塗布装置において、前記の被塗布体をテーブルの上に載置させ、このテーブルにおける被塗布体の幅方向両側に、被塗布体の上を走行する走行部材を案内する案内レールを設け、この走行部材に対して、その走行方向と交差する方向に伸びたスリット状吐出口を先端部に有する塗布用ノズルを設けると共に、先端部にストロー状吐出口を有するストロー状ノズルを走行部材の走行方向と交差する方向に移動可能に設けた状態を示した概略平面図である。前記の実施形態に係る塗布装置において、前記の被塗布体をテーブルの上に載置させた状態を、前記のストロー状ノズルが設けられた側から見た概略説明図である。前記の実施形態に係る塗布装置において、前記の被塗布体をテーブルの上に載置させた状態を、走行部材が走行する方向と交差する側面側から見た概略説明図である。前記の実施形態に係る塗布装置において、ストロー状ノズルのストロー状吐出口から塗液を、段差部における上段部の端面から下段部の上面に至るように供給した状態を示した部分拡大説明図である。前記の実施形態に係る塗布装置において、前記の走行部材を被塗布体の上で走行させる動作と前記のストロー状ノズルを走行部材の走行方向と交差する方向に移動させる動作とを組み合わせて、ストロー状ノズルを被塗布体における上段部と下段部との段差部に沿って移動させ、ストロー状ノズルのストロー状吐出口から塗液を、前記の段差部の全周における上段部の端面に沿って下段部の上面に至るように供給した状態を示した概略平面図である。前記の実施形態に係る塗布装置において、ストロー状ノズルにより段差部における上段部の端面に沿って下段部の上面に至るように塗液を供給した後、塗布用ノズルに設けたスリット状吐出口から塗液を供給して、被塗布体における上段部の上面及び前記のように塗液が供給された段差部における上段部の端面から下段部の上面に至るように塗液を塗布した状態を示した部分拡大説明図である。前記の実施形態に係る塗布装置において、前記の実施形態に係る塗布装置において、図６に示すように、ストロー状ノズルにより段差部の全周における上段部の端面に沿って下段部の上面に至るように塗液を供給した後、走行部材に設けられた前記の塗布用ノズルを、走行方向一端側から他端側に向けて、被塗布体の上を走行させながら、塗布用ノズルに設けたスリット状吐出口から塗液を供給して、被塗布体における上段部の上面及び塗液が供給された段差部における上段部の端面から下段部の上面に至るように塗布した状態で、全体に塗布した塗液の一部を外した状態を示した概略平面図である。前記の実施形態に係る塗布装置の使用する場合の変更例を示し、（Ａ）は、ストロー状ノズルにより塗液に用いる溶剤を、前記の段差部における上段部の端面から下段部の上面に至るように供給した状態を示した部分拡大説明図、（Ｂ）は、塗布用ノズルに設けたスリット状吐出口から塗液を供給して、被塗布体における上段部の上面及び段差部における上段部の端面から下段部の上面に至るように塗液に用いる溶剤を供給させた部分に塗液を塗布した状態を示した部分拡大説明図である。

以下、本発明の実施形態に係る塗布装置及び塗布方法を添付図面に基づいて具体的に説明する。なお、本発明に係る塗布装置及び塗布方法は、下記の実施形態に示したものに限定されず、発明の要旨を変更しない範囲において、適宜変更して実施できるものである。

ここで、この実施形態においては、塗液ｘを塗布させる被塗布体１０として、図１（Ａ），（Ｂ）に示すように、ガラス板等で構成された板状の下段部１１の上に、この下段部１１より面積が小さい合成樹脂板等で構成された板状の上段部１２を取り付けたものを用いるようにしており、この被塗布体１０においては、被塗布体１０における上段部１２の上面１２ａの縁部と下段部１１の上面１１ａとの間の段差部に、上段部１２の上面１２ａの縁部に沿った上段部１２の端面１２ｂが下段部１１の全周に渡って現れた状態になっている。なお、図においては便宜上、厚みを大きくして示すが、実際の上段部１２の厚みは０．５ｍｍ程度である。

また、この実施形態における塗布装置２０においては、図２〜図４に示すように、前記の被塗布体１０における下段部１１を下にして、この被塗布体１０をテーブル２１の中央部にセットさせるようにしている。

そして、この実施形態の塗布装置２０においては、前記のように被塗布体１０をセットさせたテーブル２１の両側に設けられた走行用レール２２に架け渡すようにして走行部材２３を設け、この走行部材２３を走行用レール２２に沿って被塗布体１０の上を走行させるようにしている。

また、この塗布装置２０においては、前記の走行部材２３の走行方向の片面側に、その走行方向と交差する方向に伸びたスリット状吐出口２４ａが被塗布体１０と対向する先端部に設けられた塗布用ノズル２４を設ける一方、この塗布用ノズル２４と反対側における走行部材２３の片面側に、被塗布体１０と対向する先端部にストロー状吐出口２５ａが設けられたストロー状ノズル２５を、ストロー状ノズル走行レール２６に沿って走行部材２３の走行方向と交差する方向に移動可能に設けており、前記の塗布用ノズル２４とストロー状ノズル２５とを、それぞれテーブル２１にセットされた被塗布体１０に対して近接・離間できるように、前記の走行部材２３に対して上下方向に移動できるようにノズル昇降機構（図示せず）を設けている。

次に、この実施形態における塗布装置２０を使用して、前記のようにテーブル２１にセットされた被塗布体１０における上段部１２の上面１２ａと、この上段部１２の上面１２ａと下段部１１の上面１１ａとの段差部における、上段部１２の縁部に沿った上段部１２の端面１２ｂから下段部１１の上面１１ａに塗液ｘを塗布させる場合について説明する。

ここで、この実施形態における塗布装置２０においては、先ず、図５に示すように、走行部材２３を移動させて、前記のストロー状ノズル２５を、被塗布体１０における上段部１２と下段部１１との段差部の位置に上方に導くと共に、前記のストロー状ノズル２５を下方に移動させて、このストロー状ノズル２５におけるストロー状吐出口２５ａを上段部１２と下段部１１との段差部に近づけ、この状態で、前記のストロー状吐出口２５ａから塗液ｘを吐出させて、塗液ｘを上段部１２の上面１２ａの縁部における上段部１２の端面１２ｂから下段部１１の上面１１ａに供給させるようにする。

そして、このようにストロー状ノズル２５のストロー状吐出口２５ａから塗液ｘを吐出させて、上段部１２の上面１２ａの縁部における上段部１２の端面１２ｂから下段部１１の上面１１ａに塗液ｘを供給させながら、図６に示すように、前記の走行用レール２２に沿って走行部材２３を走行させて、ストロー状ノズル２５を走行部材２３によりその走行方向における上段部１２の一方の端部から他方の端部に導くようにして、被塗布体１０における上段部１２の端面１２ｂから下段部１１の上面１１ａに、塗液ｘを上段部１２の一方の端部から他方の端部に塗布し、また、前記のようにストロー状ノズル２５のストロー状吐出口２５ａから塗液ｘを吐出させて、塗液ｘを上段部１２の上面１２ａの縁部における上段部１２の端面１２ｂから下段部１１の上面１１ａに供給させながら、前記のストロー状ノズル２５を走行部材２３の走行方向と直交する方向に一端側から他端側に移動させ、走行部材２３の走行方向と直交する方向において、被塗布体１０における上段部１２の端面１２ｂから下段部１１の上面１１ａに塗液ｘを塗布するようにし、このような操作を組み合わせて行い、上段部１２の上面１２ａの縁部における段差部全体において、上段部１２の端面１２ｂから下段部１１の上面１１ａに塗液ｘを塗布させるようにしている。

また、前記のように上段部１２の上面１２ａの縁部における段差部全体において、上段部１２の端面１２ｂから下段部１１の上面１１ａに塗液ｘを塗布させた後は、前記のストロー状ノズル２５におけるストロー状吐出口２５ａから塗液ｘを吐出させるのを停止させると共に、このストロー状ノズル２５を上方に移動させて被塗布体１０の上方に移動させる一方、ストロー状ノズル２５と走行部材２３の走行方向反対側の面に設けられた、前記の塗布用ノズル２４を下向に移動させて、走行部材２３の走行方向と交差する方向に伸びた塗布用ノズル２４の先端部における前記のスリット状吐出口２４ａが、被塗布体１０における上段部１２の上面１２ａと所定の塗布間隔を介して対向する位置にセットする。

次いで、このように塗布用ノズル２４におけるスリット状吐出口２４ａを、被塗布体１０における上段部１２の上面１２ａと所定間隔を介して対向するように塗布用ノズル２４をセットした状態で、図７に示すように、塗布用ノズル２４におけるスリット状吐出口２４ａから塗液ｘを、被塗布体１０における上段部１２の上面１２ａ及びストロー状ノズル２５によって塗液ｘが供給された下段部１１の上面１１ａから上段部１２の端面１２ｂの部分に供給させるようにする。

そして、このように塗布用ノズル２４におけるスリット状吐出口２４ａから塗液ｘを、被塗布体１０における上段部１２の上面１２ａ及びストロー状ノズル２５によって塗液ｘが供給された下段部１１の上面１１ａから上段部１２の端面１２ｂの部分に供給させるようにして、前記の走行部材２３を走行方向の一端側から他端側に走行させて、図８に示すように、被塗布体１０における上段部１２の上面１２ａ及びストロー状ノズル２５によって塗液ｘが供給された下段部１１の上面１１ａから上段部１２の端面１２ｂの部分全体に塗液ｘを塗布させるようにする。

このようにすると、前記のように板状になった下段部１１の上に下段部１１より小さい板状になった上段部１２が設けられた被塗布体１０における上段部１２の上面１２ａと共に、上段部１２と下段部１１との段差部における上段部１２の端面１２ｂから下段部１１の上面１１ａに至るようにして塗液ｘを適切に塗布させる操作が簡単かつ短時間で行え、被塗布体１０における上段部１２の上面１２ａだけではなく、上段部１２の縁部の段差部における上段部１２の端面１２ｂから下段部１１の上面１１ａに至る部分に塗膜を形成して保護することが簡単かつ適切に行えるようになる。

なお、この実施形態における塗布装置２０においては、前記のストロー状ノズル２５におけるストロー状吐出口２５ａから塗液ｘを吐出させて、上段部１２の縁部の段差部における上段部１２の端面１２ｂから下段部１１の上面１１ａに塗液ｘを塗布させるようにしたが、図９（Ａ）に示すように、前記のストロー状吐出口２５ａから前記の塗液ｘに代えて、塗液ｘに用いる溶剤ｘａを吐出させるようにして、上段部１２の縁部の段差部における上段部１２の端面１２ｂから下段部１１の上面１１ａに前記の溶剤ｘａを供給させ、その後、図９（Ｂ）に示すように、塗布用ノズル２４におけるスリット状吐出口２４ａから塗液ｘを、被塗布体１０における上段部１２の上面１２ａ及びストロー状ノズル２５によって溶剤ｘａが供給された下段部１１の上面１１ａから上段部１２の端面１２ｂの部分に供給させるようにすることもできる。なお、このようにした場合には、下段部１１の上面１１ａから上段部１２の端面１２ｂの部分に対して、塗布用ノズル２４におけるスリット状吐出口２４ａから供給された塗液ｘが、下段部１１の上面１１ａから上段部１２の端面１２ｂの部分に供給されている溶剤ｘａ中に溶け込んで、下段部１１の上面１１ａから上段部１２の端面１２ｂの部分に塗液ｘを含む塗膜が簡単に形成されて保護されるようになる。

１０：被塗布体
１１：下段部
１１ａ：上面
１２：上段部
１２ａ：上面
１２ｂ：端面
２０：塗布装置
２１：テーブル
２２：走行用レール
２３：走行部材
２４：塗布用ノズル
２４ａ：スリット状吐出口
２５：ストロー状ノズル
２５ａ：ストロー状吐出口
２６：ストロー状ノズル走行レール
ｘ：塗液
ｘａ：溶剤

Claims

被塗布体の上を所定方向に往復走行する走行部材に、その走行方向と交差する方向に伸びたスリット状吐出口を先端部に有する塗布用ノズルを設け、前記の走行部材により塗布用ノズルにおけるスリット状吐出口を被塗布体と対向する位置に導き、塗布用ノズルを前記の走行部材により被塗布体の上を移動させ、前記のスリット状吐出口から被塗布体に塗液を吐出させて、被塗布体に塗液を塗布させる塗布装置において、前記の走行部材に対して、先端部にストロー状吐出口を有するストロー状ノズルを、走行部材の走行方向と交差する方向に移動可能に設けると共に、前記の塗布用ノズルとストロー状ノズルとを上下方向に移動可能に設け、板状になった下段部の上に下段部より小さい板状になった上段部が設けられた被塗布体における上段部の上面と、上段部と下段部との段差部における上段部の端面から下段部の上面に至るように塗液を塗布するにあたり、前記の走行部材を前記被塗布体の上で走行させる動作と前記のストロー状ノズルを走行部材の走行方向と交差する方向に移動させる動作とを組み合わせて、前記のストロー状ノズルを前記の被塗布体における上段部と下段部との段差部に沿って移動させ、ストロー状ノズルのストロー状吐出口から前記の塗液及び／又は塗液に用いる溶剤を、前記の段差部における上段部の端面に沿って下段部の上面に至るように供給させると共に、前記の走行部材を走行させて、前記の塗布用ノズルにおけるスリット状吐出口から塗液を、被塗布体における上段部の上面と合わせて、前記の段差部に供給された塗液及び／又は塗液に用いる溶剤の上に塗布させることを特徴とする塗布装置。
被塗布体の上を所定方向に往復走行する走行部材に、その走行方向と交差する方向に伸びたスリット状吐出口を先端部に有する塗布用ノズルを設けると共に、前記の走行部材に、先端部にストロー状吐出口を有するストロー状ノズルを走行部材の走行方向と交差する方向に移動可能に設けた塗布装置を用い、板状になった下段部の上に下段部より小さい板状になった上段部が設けられた被塗布体における前記の上段部の上面と、上段部と下段部との段差部における上段部の端面から下段部の上面に至るように塗液を塗布する塗布方法において、前記の走行部材を前記被塗布体の上で走行させる動作と前記のストロー状ノズルを走行部材の走行方向と交差する方向に移動させる動作とを組み合わせて、前記のストロー状ノズルを前記の被塗布体における上段部と下段部との段差部に沿って移動させ、ストロー状ノズルのストロー状吐出口から前記の塗液及び／又は塗液に用いる溶剤を、前記の段差部における上段部の端面に沿って下段部の上面に至るように供給した後、前記の走行部材を走行させて、前記の塗布用ノズルにおけるスリット状吐出口から塗液を、被塗布体における上段部の上面と合わせて、前記の段差部に供給された塗液及び／又は塗液に用いる溶剤の上に塗布することを特徴とする塗布方法。