KR100982245B1 - 더미 코팅 플레이트 장치 및 이를 구비한 코팅 장치 및 코팅 방법 - Google Patents

더미 코팅 플레이트 장치 및 이를 구비한 코팅 장치 및 코팅 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 더미 코팅 플레이트 장치 및 이를 구비한 코팅 장치 및 코팅 방법을 개시한다.
본 발명에 따른 더미 코팅 플레이트 장치는 도액이 코팅될 작업물의 일측면과 맞닿으며, 상기 작업물과 동일한 높이(H)를 가지는 더미 코팅 플레이트; 상기 더미 코팅 플레이트와 배출 통로에 의해 연결되는 도액 흡입 장치; 및 상기 도액 흡입 장치와 연결되며, 상기 도액 흡입 장치에 의해 흡입된 도액을 회수하는 도액 회수 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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Description

더미 코팅 플레이트 장치 및 이를 구비한 코팅 장치 및 코팅 방법{A Dummy Coating Plate Device and A Coating Apparatus and A Coating Method Having the Same}
본 발명은 PDP 또는 LCD 패널 상에서 등속 및 균일한 두께로 도액을 연속적으로 코팅하기 위한 더미 코팅 플레이트 장치 및 이를 구비한 코팅 장치 및 코팅 방법에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 PDP 또는 LCD 패널 제조용 글래스 기판의 일측면에 상기 글래스 기판과 동일한 높이 가지는 더미 코팅 플레이트 장치를 제공함으로써, 도액이 PDP 또는 LCD 제조용 글래스 기판 상에서 등속 및 균일한 두께로 연속적으로 코팅될 수 있도록 하여 도액 코팅 공정의 수를 감소시키고, 불필요한 재료의 낭비를 줄이며, 전체 제조 공정 시간(tact time) 및 비용을 상당히 감소시킬 수 있는 더미 코팅 플레이트 장치 및 이를 구비한 코팅 장치 및 코팅 방법에 관한 것이다.
일반적으로 PDP 또는 LCD를 제조하기 위해서는 글래스와 같은 기재(基材) 또는 작업물(work piece) 상에 도액을 도포하기 위해서는 노즐 디스펜서(nozzle dispenser) 또는 슬릿 다이(또는 슬릿 노즐)(이하 노즐 디스펜서 및 슬릿 다이를 통칭하여 "노즐 장치"라 합니다)를 구비한 코팅 장치가 사용된다.
좀 더 구체적으로, 도 1a에 개략적으로 도시된 PDP 또는 LCD 패널을 제조하기 위해 사용되는 테이블 코팅 장치(table coater)(100)(이하 "코팅 장치"라 합니다)에서는 코팅할 작업물인 글래스 기판(110)을 석션 테이블(suction table: 130) 상에 위치시킨 후 갠트리(gantry)(125)에 부착된 노즐 장치(120)를 수평방향으로 이동시키면서 다양한 도액 코팅을 수행한다. 이러한 코팅의 예로는, LCD 제조의 경우 LCD 패널 글래스 상에 포토레지스트(photoresist: PR), 블랙 매트릭스(Black Matrix: B.M), 컬럼 스페이스(column space: C.S) 등을 형성하기 위해 도액을 코팅하는 경우 및 PDP 제조의 경우 PDP 패널 글래스 상에 상유전체, 하유전체, 격벽을 형성하기 위해 도액을 코팅하는 경우와 같은 다양한 경우에 적용되는 도액을 도포시키는 방법이 사용되고 있다.
도 1b는 상술한 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 노즐 장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 1b를 참조하면, 종래 기술에 따른 노즐 장치(120)는 제 1 립(122), 및 제 1 립(122)과 대향하여 제공되는 제 2 립(124); 상기 제 1 립(122)과 상기 제 2 립(124) 사이에 제공되며, 도액을 저장하는 챔버(128); 및 상기 챔버(128)에 저장된 도액을 토출하는 복수의 노즐 구멍(126) 또는 슬릿(126)을 포함한다. 제 1 립(122) 및/또는 제 2 립(124)의 상부 또는 일측면에는 도액 공급 장치(미도시)로부터 도액이 유입되는 도액 공급구(미도시)가 제공된다.
상술한 테이블 코팅 장치(100)를 사용하여 도액을 공급하는 구체적인 하나의 예가 도 1c 및 도 1d에 각각 도시되어 있다. 이러한 도액 공급 장치는 예를 들어, 2006년 07월 21일자에 "예비 토출부와 이를 포함하는 기판 코팅 장치"라는 발명의 명칭으로 주식회사 케이씨텍에 의해 대한민국 특허 제 10-2006-0068595호로 출원되어, 2007년11월27일자로 등록되었으며 2007년 12월 10일자에 공고된 대한민국 특허 제 10-0781771(이하 "771 특허"라 합니다)에 상세히 기술되어 있다.
좀 더 구체적으로, 도 1c는 상술한 771 특허에 개시된 종래 기술에 따른 포토레지스트를 토출하기 위한 예비 토출부와 이를 포함하는 기판 코팅 장치의 사시도를 도시하고 있으며, 도 1d는 도 1c에 도시된 종래 기술에 따른 예비 토출부의 단면도를 도시하고 있다.
도 1c 및 도 1d를 참조하면, 종래 기술에 따른 기판 코팅 장치(100)는 노즐 장치(120)와 예비 토출부(118)를 포함한다. 노즐 장치(120)인 슬릿 노즐의 하부면에는 포토레지스트가 토출되는 미세한 토출구 또는 슬릿(126)이 슬릿 노즐의 길이 방향으로 연장 형성되어 있다. 상기 슬릿(126)을 통해 포토레지스트는 기판(110)에 일정한 양이 토출된다. 또한, 노즐 장치(120)에는 갠트리(125)의 일측에 구비된 포토레지스트 공급부(104), 상기 포토레지스트 공급부(104)와 슬릿 노즐(126) 사이를 연통시키는 제 1 포토레지스트 공급 라인(108), 및 외부 공급원(미도시)으로부터 상기 포토레지스트 공급부(104)에 포토레지스트을 공급하는 제 2 포토레지스트 공급라인(101)이 제공된다.
한편, 종래 기술에 따른 예비 토출부(118)는 시트 지지부(112)와 상기 시트 지지부(112)의 상부에 보유되는 시트(114)를 포함한다. 시트 지지부(112)는 기 판(110)의 선단 일측에 설치되고, 기판(110)과 대응하는 두께로 형성된다. 시트 지지부(112)에는 상하부를 관통하는 복수개의 흡착홀(116)이 형성되어 있고, 흡착홀(116)에는 외부에 진공 수단(미도시)이 연결되어 있다. 따라서, 진공 수단에 의해 상기 시트 지지부(112)의 상부에 위치한 시트(114)가 시트 지지부(112)에 밀착된다. 상기 시트 지지부(112)의 상부에 구비된 시트(114)는 기판(110)의 선단 일부를 덮는다. 이때, 시트(114)가 기판(110)의 상부를 덮는 길이는 대략 2mm인 것이 바람직하며, 이러한 시트(114)에 의해 기판(110)의 선단의 일부에 포토레지스트가 도포되지 않는다. 또한, 슬릿 노즐(120)과 기판(110) 사이의 코팅 간격(B)이 200㎛ 이하가 되어야 포토레지스트의 두께 불균일의 영향을 최소화할 수 있으므로, 시트(114)의 두께(C)는 이보다 얇은 30㎛인 것이 바람직하다. 이러한 시트 두께는 포토레지스트의 두께 불균일성을 최소화할 수 있을 뿐 아니라, 슬릿 노즐(120)이 시트(114) 상부 및 기판(110)에 연속적 코팅을 수행할 때 기판(110)의 일부를 덮고 있는 시트(114)와 기판(110) 사이의 불균일한 코팅을 방지할 수 있다. 따라서, 시트(114)는 기판(110)의 선단 일측에 설치된 시트 지지부(112)의 상부에 안착되고, 상기 시트(114)는 외부 진공 수단에 의해 시트 지지부(112) 및 기판(110)에 밀착되어 포토레지스트 도포시 예비 토출과 기판 상의 코팅이 중단 없이 진행되도록 한다. 이때, 코팅을 마친 상기 시트(114)는 폐기되거나, 세정 수단을 더 구비하여 시트(114)를 세정 후 재활용할 수도 있다. 아울러, 예비 토출부(118)는 기판(110)의 말단에도 설치되어, 상기 슬릿 노즐(120)을 통해 기판(110)과 예비 토출부(118) 상부에 포토레지스트를 연속적으로 분사할 수도 있다.
상술한 종래 기술에 따른 기판 코팅 장치(100)는 예비 토출부(118)를 사용함으로써 세정조와 세정조 내에 회전 가능하게 설치된 원통형의 프라이밍 롤러로 구성되는 종래 예비 토출부에서 발생하는 문제점, 즉 1) 예비 토출을 마친 후, 슬릿 노즐이 포토레지스트의 토출을 잠시 멈추고, 기판이 안착된 기판 척(chuck)의 선단까지 이동한 후 다시 포토레지스트를 토출하여 코팅을 진행하여야 하는 점, 2) 이로 인하여 기판의 선단 및 말단의 일정 부분이 코팅되지 않아야 하는 공정 상의 조건에 의해 슬릿 노즐이 기판의 선단에서 일정 거리 더 진행한 뒤 포토레지스트의 코팅을 시작하게 되므로 포토레지스트의 분사가 예비 토출부와 기판 사이에서 중단되므로 공정 효율이 떨어지는 문제점, 3) 예비 토출을 마치고, 기판의 선단에 멈춰진 상태에서 초기 코팅 불량 및 두께 균일도 등을 맞추기 위해서는 여러 가지 공정 인자들(즉, 비드 형성 조건, 감광액 토출량의 가속, 주행 방향의 가속 등의 인자들)을 조절 또는 제어해야 한다는 점, 4) 마찬가지로, 슬릿 노즐이 기판 상에 포토레지스트를 토출한 후 기판의 말단 부근에 이르게 되면, 말단에서 일정 거리 만큼은 포토레지스트가 코팅되지 않아야 하므로 포토레지스트를 토출하면서 정속 이동을 하던 슬릿 노즐이 정지되어야 하고 이 경우 역시 코팅 불량 및 두께 균일도를 맞추기 위해 여러 가지 공정 인자들(즉, 토출의 정지 위치, 토출량의 감속, 슬릿 노즐의 정지 위치 등의 인자들)을 조절 또는 제어하여야 한다는 점, 5) 상기와 같은 제어 인자들은 슬릿 노즐의 선단 및 말단의 정지 위치 부근에서 포토레지스트 균일도에 상당한 영향을 미치며, 또한, 상술한 공정 인자를 제어함에 따라 현재의 기판 코팅 공정에 복잡함과 공정의 불안정성이란 문제를 야기시킨다는 점, 및 6) 공정 반복 시 슬릿 노즐이 항상 기판 선단에 복귀하여 예비 토출을 수행해야하기 때문에 공정 시간이 오래 걸린다는 문제점이 있을 해결한다는 장점이 달성된다.
그러나, 상술한 771 특허에 개시된 시트 지지부(112)와 시트(114)를 포함한 예비 토출부(118)를 구비한 종래 기술의 기판 코팅 장치는 다음과 같은 문제점을 여전히 갖는다.
1. 시트(114)가 시트 지지부(112) 상에 제공되므로, 도액(포토레지스트액)을 기판(110) 상에 코팅한 후에 후속적으로 도액을 코팅하기 위해서는 시트(114)가 폐기되거나, 세정 수단을 더 구비하여 시트(114)를 세정 후에 재활용되어야 한다. 따라서, 시트(114)를 폐기하는 경우에는 그에 따른 비용 및 공정수가 증가하고 또한 전체 공정시간이 증가된다. 또한, 시트(114)를 세정 후 재활용하는 경우에도 별도의 세정 장비 비용이 요구되며 또한 시트(114)의 세정에 따른 공정수가 증가하여 전체 공정시간이 증가된다.
2. 후속적으로 도액을 코팅할 때마다 사용된 시트(114)의 제거 및 새로운 시트(114) 또는 재활용 시트(114)를 기판(110) 상에 재정렬시켜야 하는 동작을 반복하여야 하므로, 이러한 별도의 시트 정렬 공정에 따른 공정수 및 전체 공정 시간이 증가된다.
3. 초기 코팅시에 요구되는 여러 가지 공정 인자들(즉, 비드 형성 조건, 감광액 토출량의 가속, 주행 방향의 가속 등의 인자들) 및 코팅 종료시에 요구되는 여러 가지 공정 인자들(즉, 토출의 정지 위치, 토출량의 감속, 슬릿 노즐의 정지 위치 등의 인자들)을 설정하기 위해 다수회의 테스트가 시행되는 경우, 별도로 시 트(114)의 제거 및 새로운 시트(114) 또는 재활용 시트(114)를 기판(110) 상에 재정렬시켜야 하는 동작을 반복하여야 하고 또한 고가의 기판(110)을 버려야 하므로, 이에 따른 공정수, 공정 전체 공정 시간 및 비용이 추가로 증가된다.
본 발명은 PDP 또는 LCD 패널 제조용 글래스 기판의 일측면에 상기 글래스와 동일한 높이를 가지는 더미 코팅 플레이트 장치를 제공함으로써, 도액이 PDP 또는 LCD 제조용 글래스 기판 상에서 등속 및 균일한 두께로 연속적으로 코팅될 수 있도록 하여 도액 코팅 공정의 수를 감소시키고, 불필요한 재료의 낭비를 줄이며, 전체 제조 공정 시간(tact time) 및 비용을 상당히 감소시킬 수 있는 더미 코팅 플레이트 장치 및 이를 구비한 코팅 장치 및 코팅 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 1 특징에 따르면, 도액의 코팅 장치에 사용되는 더미 코팅 플레이트 장치에 있어서, 도액이 코팅될 작업물의 일측면과 맞닿으며, 상기 작업물과 동일한 높이(H)를 가지는 더미 코팅 플레이트; 상기 더미 코팅 플레이트와 배출 통로에 의해 연결되는 도액 흡입 장치; 및 상기 도액 흡입 장치와 연결되며, 상기 도액 흡입 장치에 의해 흡입된 도액을 회수하는 도액 회수 부재를 포함하는 더미 코팅 플레이트 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 2 특징에 따르면, 도액을 코팅하는 코팅 장치에 있어서, 석션 테이블; 상기 석션 테이블 상에 위치되며, 도액이 코팅될 작업물; 상기 작업물의 일측면과 맞닿으며, 상기 작업물과 동일한 높이(H)를 가지는 더미 코팅 플레이트, 상기 더미 코팅 플레이트에 배출 통로에 의해 연결되는 도액 흡입 장치, 상기 도액 흡입 장치와 연결되며, 상기 도액 흡입 장치에 의해 흡입된 도액을 회수하는 도액 회수 부재로 구성되는 더미 코팅 플레이트 장치; 상기 더미 코팅 플레이트 및 상기 작업물 상에 도액을 공급하는 노즐 장치; 및 상기 노즐 장치를 상기 석션 테이블 상에서 이동시키는 갠트리(gantry)를 포함하고, 상기 노즐 장치는 상기 더미 코팅 플레이트 상의 미리 정해진 위치(predetermined position)에 도달하면 상기 도액을 상기 더미 코팅 플레이트 상에 공급하기 시작하고, 상기 노즐 장치가 상기 작업물 상에서 일정한 속도로 상기 도액을 공급하는 적절한 시점에서, 상기 도액 흡입 장치는 상기 더미 코팅 플레이트 상에 도포된 도액을 흡입하도록 동작하는 코팅 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 3 특징에 따르면, 도액을 코팅하는 코팅 장치에 있어서, 석션 테이블; 상기 석션 테이블 상에 위치되며, 도액이 코팅될 작업물; 상기 작업물의 일측면과 맞닿으며, 상기 작업물과 동일한 높이(H)를 가지는 제 1 더미 코팅 플레이트, 상기 제 1 더미 코팅 플레이트와 제 1 도액 배출 통로에 의해 연결되는 제 1 도액 흡입 장치, 및 제 1 상기 도액 흡입 장치와 연결되며, 상기 제 1 도액 흡입 장치에 의해 흡입된 도액을 회수하는 제 1 도액 회수 부재로 구성되는 제 1 더미 코팅 플레이트 장치; 상기 작업물의 타측면과 맞닿으며, 상기 작업물과 동일한 높이(H)를 가지는 제 2 더미 코팅 플레이트, 상기 제 2 더미 코팅 플레이트와 제 2 도액 배출 통로에 의해 연결되는 제 2 도액 흡입 장치, 및 상기 제 2 도액 흡입 장 치와 연결되며, 상기 제 2 도액 흡입 장치에 의해 흡입된 도액을 회수하는 제 2 도액 회수 부재로 구성되는 제 2 더미 코팅 플레이트 장치; 상기 제 1 더미 코팅 플레이트, 상기 작업물, 및 상기 제 2 더미 코팅 플레이트 상에 도액을 공급하는 노즐 장치; 및 상기 노즐 장치를 상기 석션 테이블 상에서 이동시키는 갠트리(gantry)를 포함하고, 상기 노즐 장치는 상기 제 1 더미 코팅 플레이트 상의 제 1 의 미리 정해진 위치(predetermined position)에 도달하면 상기 도액을 상기 제 1 더미 코팅 플레이트 상에 공급하기 시작하고, 상기 노즐 장치가 상기 작업물 상에서 일정한 속도로 상기 도액을 공급하는 적절한 시점에서, 상기 제 1 도액 흡입 장치는 상기 제 1 더미 코팅 플레이트 상에 도포된 도액을 흡입하도록 동작하며, 상기 노즐 장치가 상기 제 2 더미 코팅 플레이트 상의 제 2의 미리 정해진 위치에서 도액 공급을 중단하면, 상기 제 2 도액 흡입 장치는 제 2 더미 코팅 플레이트 상에 도포된 도액을 흡입하도록 동작하는 코팅 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 4 특징에 따르면, 도액을 코팅하는 코팅 방법에 있어서, a) 석션 테이블 상에 작업물을 위치시키는 단계; b) 상기 작업물의 일측면과 맞닿으며, 상기 작업물과 동일한 높이(H)를 가지는 더미 코팅 플레이트를 포함하는 더미 코팅 플레이트 장치를 제공하는 단계; c) 노즐 장치를 상기 석션 테이블 상에서 이동시키는 단계; d) 상기 노즐 장치가 상기 더미 코팅 플레이트 상의 미리 정해진 위치(predetermined position)에 도달하면 도액을 상기 더미 코팅 플레이트 상에 공급하기 시작하는 단계; 및 e) 상기 노즐 장치가 상기 작업물 상에서 일정한 속도로 도액을 공급하는 적절한 시점에서, 상기 더미 코팅 플레이트 상에 도포된 도액을 흡입하여 회수하는 단계를 포함하는 코팅 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 5 특징에 따르면, 도액을 코팅하는 코팅 방법에 있어서, a) 석션 테이블 상에 작업물을 위치시키는 단계; b) 상기 작업물의 일측면과 맞닿으며, 상기 작업물과 동일한 높이(H)를 가지는 제 1 더미 코팅 플레이트를 포함하는 제 1 더미 코팅 플레이트 장치를 제공하고, 또한 상기 작업물의 타측면과 맞닿으며, 상기 작업물과 동일한 높이(H)를 가지는 제 2 더미 코팅 플레이트를 포함하는 제 2 더미 코팅 플레이트 장치를 제공하는 단계; c) 노즐 장치를 상기 석션 테이블 상에서 이동시키는 단계; d) 상기 노즐 장치가 상기 제 1 더미 코팅 플레이트 상의 제 1의 미리 정해진 위치(predetermined position)에 도달하면 도액을 상기 제 1 더미 코팅 플레이트 상에 공급하기 시작하는 단계; e) 상기 노즐 장치가 상기 작업물 상에서 일정한 속도로 도액을 공급하는 적절한 시점에서, 상기 제 1 더미 코팅 플레이트 상에 도포된 도액을 흡입하여 회수하는 단계; f) 상기 노즐 장치가 상기 제 2 더미 코팅 플레이트 상의 제 2의 미리 정해진 위치에 도달하면, 상기 노즐 장치가 도액 공급을 중단하는 단계; 및 g) 상기 제 2 더미 코팅 플레이트 상에 도포된 도액을 흡입하여 회수하는 단계를 포함하는 코팅 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 더미 코팅 플레이트 장치 및 이를 구비한 코팅 장치 및 코팅 방법에서는 다음과 같은 장점이 달성된다.
1. 더미 코팅 플레이트 장치는 지속적으로 사용 가능하고 세정이 불필요하므로 비용이 절감되고 공정수가 줄어들어 전체 공정시간이 상당히 감소된다.
2. 글래스 기판을 연속으로 공급하는 경우에도 더미 코팅 플레이트의 재정렬 동작이 불필요하다. 따라서, 전체 공정 시간이 상당히 감소된다.
3. 초기 코팅시에 요구되는 여러 가지 공정 인자들(즉, 비드 형성 조건, 감광액 토출량의 가속, 주행 방향의 가속 등의 인자들) 및 코팅 종료시에 요구되는 여러 가지 공정 인자들(즉, 토출의 정지 위치, 토출량의 감속, 슬릿 노즐의 정지 위치 등의 인자들)이 1 내지 2회의 테스트로 충분히 설정될 수 있다. 따라서, 초기 코팅시 및 코팅 종료시 여러 가지 공정 인자 설정 테스트에 요구되는 공정수, 공정 전체 공정 시간, 및 비용이 불필요하거나 현저하게 감소된다.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 더미 코팅 플레이트 장치 및 이를 구비한 코팅 장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 더미 코팅 플레이트 장치(270)는 도액이 코팅될 작업물(210)의 일측면과 맞닿으며, 상기 작업물(210)과 동일한 높이(H)를 가지는 더미 코팅 플레이트(240); 상기 더미 코팅 플레이트(240)와 배출 통로(242)에 의해 연결되는 도액 흡입 장치(250); 및 상기 도액 흡입 장치(250)와 연결되며, 상기 도액 흡입 장치(250)에 의해 흡입된 도액을 회수하는 도액 회수 부재(260)를 포함한다. 여기서, 작업물(210)은 통상적으로 PDP용 또는 LCD 용 글래스 기판이지만, 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 플렉시블 재질의 박막(thin film) 상에 도액을 코팅하는 경우 박막이 작업물(210)이 될 수 있다. 또한, 더미 코팅 플레이트(240)는 예를 들어 그 상부에 도포된 도액을 도액 흡입 장치(250)에 의해 배출 통로(242)를 통해 배출하기 위해 다수의 미세한 구멍(미도시)을 갖는 다공질 재질(예를 들어, 스펀지)로 구현될 수 있다. 또한, 더미 코팅 플레이트(240)는 예를 들어 작업물(210)과 동일한 재질(예를 들어, 글래스 기판 또는 박막)로 구현될 수 있으며, 이 경우 동일 재질의 더미 코팅 플레이트(240)는 그 상부에 도포된 도액이 배출 통로(242)를 통해 배출될 수 있도록 다수의 미세한 구멍이 제공된다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 더미 코팅 플레이트 장치(270)를 구비한 코팅 장치의 구성을 상세히 기술한다.
다시 도 2a를 참조하면, 본 발명의 코팅 장치는 석션 테이블(230)이 작업물(210)의 일측면 상에 제공되는 더미 코팅 플레이트 장치(270)를 구비한다는 점을 제외하고는 도 1a에 도시된 코팅 장치(100)와 실질적으로 동일하다. 즉, 본 발명의 코팅 장치는 석션 테이블(230); 상기 석션 테이블(230) 상에 위치되며, 도액이 코팅될 작업물(210); 상기 작업물(210)의 일측면과 맞닿으며, 상기 작업물(210)과 동일한 높이(H)를 가지는 더미 코팅 플레이트(240), 상기 더미 코팅 플레이트(240)에 배출 통로(242)에 의해 연결되는 도액 흡입 장치(250), 및 상기 도액 흡입 장치(250)와 연결되며, 상기 도액 흡입 장치(250)에 의해 흡입된 도액을 회수하는 도액 회수 부재(260)로 구성되는 더미 코팅 플레이트 장치(270); 상기 더미 코팅 플 레이트(240) 및 상기 작업물(210) 상에 도액을 공급하는 노즐 장치(220); 및 상기 노즐 장치(220)를 상기 석션 테이블(230) 상에서 이동시키는 갠트리(gantry)(미도시)를 포함한다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 더미 코팅 플레이트 장치(270)를 구비한 코팅 장치의 동작을 상세히 기술한다.
다시 도 2a를 참조하면, 갠트리에 의해 노즐 장치(220)는 석션 테이블(230) 상에서 이동한다. 노즐 장치(220)는 더미 코팅 플레이트(240) 상의 미리 정해진 위치(predetermined position)에 도달하면 도액을 더미 코팅 플레이트(240) 상에 공급하기 시작한다. 여기서, 미리 정해진 위치는 경계선(241)으로부터 작업물(210) 상의 특정 위치까지 도액 코팅 두께가 균일하게 도포되기에 충분한 거리이다. 좀 더 구체적으로, 미리 정해진 위치는, 예를 들어 작업물(210)이 8면취 LCD 글래스 패널(210)인 경우, 경계선(241)으로부터 더미 코팅 플레이트(240)의 방향으로 대략 100mm이다. 이러한 미리 정해진 위치는 작업물(210)의 사이즈, 갠트리의 이동 속도, 및 노즐 장치(220)의 도액 펌핑 속도 등에 따라 상이한 값을 가질 수 있다는 것은 자명하다.
한편, 노즐 장치(220)가 더미 코팅 플레이트(240) 상의 미리 정해진 위치에서 도액 공급을 시작하여 경계선(241)을 지나 작업물(210) 상으로 진행하면서 일정한 속도로(즉, 정속으로) 도액을 공급하는 적절한 시점에서, 도액 흡입 장치(250)는 더미 코팅 플레이트(240) 상에 도포된 도액을 흡입하도록 동작한다. 여기서, 노즐 장치(220)는 정속에 도달하기 전의 가속(즉, 비정속)이 더미 코팅 플레이트(240) 상에서 이루어지므로 작업물(210) 상에서는 정속으로 도액의 도포가 가능하며, 또한 상기 적절한 시점이란 도액이 작업물(210) 상에서 정속으로 도포되기 시작한 이후의 임의의 시점을 지칭한다. 이러한 도액 흡입 장치(250)는 예를 들어 진공 펌핑 장치로 구현될 수 있다. 도액 흡입 장치(250)의 흡입 동작에 따라 더미 코팅 플레이트(240) 상에 도포된 도액은 더미 코팅 플레이트(240)에 존재하거나 또는 제공되는 다수의 미세한 구멍(미도시)을 통해 도액 배출 통로(242)로 유입된다. 배출 통로(242)로 유입된 도액은 최종적으로 도액 흡입 장치(250)와 연결된 도액 회수 부재(260) 내로 회수된다.
그 후, 노즐 장치(220)가 작업물(210) 상에서 도액 공급을 마치면, 후속적으로 공급되는 작업물(210)의 일측면이 작업물(210)과 맞닿도록 석션 테이블(230) 상에 제공된다. 그 후, 노즐 장치(220)는 상술한 바와 같이 더미 코팅 플레이트(240) 상의 미리 정해진 위치(predetermined position)에 도달하면 도액을 더미 코팅 플레이트(240) 상에 공급하기 시작하고, 계속해서 경계선(241)을 지나 후속적으로 공급된 작업물(210) 상으로 진행하면서 일정한 속도로 도액 공급한다. 그 후 상술한 적절한 시점에서, 도액 흡입 장치(250)가 다시 더미 코팅 플레이트(240) 상에 도포된 도액을 흡입하도록 동작한다. 이러한 방식으로 본 발명의 일 실시예에 따른 더미 코팅 플레이트 장치(270) 및 이를 구비한 코팅 장치는 연속적으로 제공되는 작업물(210) 상에서 도액의 초기 코팅 시점에서부터 도액을 정속으로, 균일하게, 그리고 신속하게 공급하는 것이 가능하다.
도 2b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 더미 코팅 플레이트 장치 및 이를 구비한 코팅 장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2b를 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 더미 코팅 플레이트 장 치 및 이를 구비한 코팅 장치는 더미 코팅 플레이트 장치가 2개의 더미 코팅 플레이트 장치(270a,270b)를 구비한다는 점을 제외하고는 도 2a에 도시된 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 더미 코팅 플레이트 장치(270) 및 이를 구비한 코팅 장치와 실질적으로 동일하다.
좀 더 구체적으로, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 더미 코팅 플레이트 장치(270)는 제 1 더미 코팅 플레이트 장치(270a)와 제 2 더미 코팅 플레이트 장치(270b)로 구성된다. 여기서, 제 1 더미 코팅 플레이트 장치(270a)와 제 2 더미 코팅 플레이트 장치(270b)는 각각 도 2a에 도시된 더미 코팅 플레이트 장치(270)와 실질적으로 동일하다.
이하에서는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 더미 코팅 플레이트 장치(270)를 구비한 코팅 장치의 구성을 상세히 기술한다.
다시 도 2b를 참조하면, 본 발명의 코팅 장치는 석션 테이블(230); 상기 석션 테이블(230) 상에 위치되며, 도액이 코팅될 작업물(210); 상기 작업물(210)의 일측면과 맞닿으며, 상기 작업물(210)과 동일한 높이(H)를 가지는 제 1 더미 코팅 플레이트(240a), 상기 제 1 더미 코팅 플레이트(240a)와 제 1 도액 배출 통로(242a)에 의해 연결되는 제 1 도액 흡입 장치(250a), 및 제 1 상기 도액 흡입 장치(250a)와 연결되며, 상기 제 1 도액 흡입 장치(250a)에 의해 흡입된 도액을 회수하는 제 1 도액 회수 부재(260a)로 구성되는 제 1 더미 코팅 플레이트 장치(270a); 상기 작업물(210)의 타측면과 맞닿으며, 상기 작업물(210)과 동일한 높이(H)를 가지는 제 2 더미 코팅 플레이트(240b), 상기 제 2 더미 코팅 플레이트(240b)와 제 2 도액 배출 통로(242b)에 의해 연결되는 제 2 도액 흡입 장치(250b), 및 상기 제 2 도액 흡입 장치(250b)와 연결되며, 상기 제 2 도액 흡입 장치(250b)에 의해 흡입된 도액을 회수하는 제 2 도액 회수 부재(260b)로 구성되는 제 2 더미 코팅 플레이트 장치(270b); 상기 제 1 더미 코팅 플레이트(240a), 상기 작업물(210), 및 상기 제 2 더미 코팅 플레이트(240b) 상에 도액을 공급하는 노즐 장치(220); 및 상기 노즐 장치(220)를 상기 석션 테이블(230) 상에서 이동시키는 갠트리(gantry)(미도시)를 포함한다.
이하에서는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 더미 코팅 플레이트 장치(270)를 구비한 코팅 장치의 동작을 상세히 기술한다.
다시 도 2b를 참조하면, 갠트리에 의해 노즐 장치(220)는 석션 테이블(230) 상에서 이동한다. 노즐 장치(220)는 제 1 더미 코팅 플레이트(240a) 상의 제 1의 미리 정해진 위치에 도달하면 도액을 제 1 더미 코팅 플레이트(240a) 상에 공급하기 시작한다. 여기서 제 1의 미리 정해진 위치는 상술한 도 2a의 미리 정해진 위치와 동일하다. 이러한 제 1의 미리 정해진 위치는 작업물(210)의 사이즈, 노즐 장치(220)의 도액 펌핑 속도 등에 따라 상이한 값을 가질 수 있다는 것은 자명하다.
한편, 노즐 장치(220)가 제 1 더미 코팅 플레이트(240a) 상의 미리 정해진 위치에서 도액 공급을 시작하여 제 1 경계선(241a)을 지나 작업물(210) 상으로 진행하면서 일정한 속도로(즉, 정속으로) 도액을 공급하는 적절한 시점에서, 제 1 도액 흡입 장치(250a)는 제 1 더미 코팅 플레이트(240a) 상에 도포된 도액을 흡입하도록 동작한다. 여기서, 노즐 장치(220)는 정속에 도달하기 전의 가속(즉, 비정속) 이 제 1 더미 코팅 플레이트(240a) 상에서 이루어지므로 작업물(210) 상에서는 정속으로 도액의 도포가 가능하다. 이러한 제 1 도액 흡입 장치(250a)는 예를 들어 진공 펌핑 장치로 구현될 수 있다. 제 1 도액 흡입 장치(250a)의 흡입 동작에 따라 제 1 더미 코팅 플레이트(240a) 상에 도포된 도액은 제 1 더미 코팅 플레이트(240a)에 존재하거나 또는 제공되는 다수의 미세한 구멍(미도시)을 통해 제 1 배출 통로(242a)로 유입된다. 제 1 배출 통로(242a)로 배출된 도액은 최종적으로 제 1 도액 흡입 장치(250a)와 연결된 제 1 도액 회수 부재(260a) 내로 회수된다.
그 후, 노즐 장치(220)는 작업물(210)과 제 2 더미 코팅 플레이트(240b)의 제 2 경계선(241b)을 지나 제 2 더미 코팅 플레이트(240b) 상의 제 2의 미리 정해진 위치에 도달할 때까지 작업물(210) 및 제 2 더미 코팅 플레이트(240b) 상에 도액 공급을 공급한다. 그 후, 노즐 장치(220)는 제 2의 미리 정해진 위치에 도달하면, 도액 공급을 중단한다. 여기서, 제 2의 미리 정해진 위치는 제 2 경계선(241b)으로부터 작업물(210) 상의 특정 위치까지 도액 코팅 두께가 균일하게 도포되기에 충분한 거리이다. 좀 더 구체적으로, 제 2의 미리 정해진 위치는, 예를 들어 작업물(210)이 8면취 LCD 글래스 패널(210)인 경우, 제 2 경계선(241b)으로부터 제 2 더미 코팅 플레이트(240b)의 방향으로 대략 100mm이다. 이러한 제 2의 미리 정해진 위치는 작업물(210)의 사이즈, 갠트리의 이동 속도, 및 노즐 장치(220)의 도액 펌핑 속도 등에 따라 상이한 값을 가질 수 있다는 것은 자명하다.
한편, 노즐 장치(220)가 제 2 더미 코팅 플레이트(240b) 상의 제 2의 미리 정해진 위치에서 도액 공급을 중단하면, 제 2 도액 흡입 장치(250b)는 제 2 더미 코팅 플레이트(240b) 상에 도포된 도액을 흡입하도록 동작한다. 이러한 제 2 도액 흡입 장치(250b)는 예를 들어 진공 펌핑 장치로 구현될 수 있다. 제 2 도액 흡입 장치(250b)의 흡입 동작에 따라 제 2 더미 코팅 플레이트(240b) 상에 도포된 도액은 제 2 더미 코팅 플레이트(240b)에 존재하거나 또는 제공되는 다수의 미세한 구멍(미도시)을 통해 제 2 배출 통로(242b)로 유입된다. 제 2 배출 통로(242b)로 배출된 도액은 최종적으로 제 2 도액 흡입 장치(250b)와 연결된 제 2 도액 회수 부재(260b) 내로 회수된다. 이러한 방식으로 도 2b에 도시된 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 더미 코팅 플레이트 장치(270) 및 이를 구비한 코팅 장치는 연속적으로 제공되는 작업물(210) 상에서 도액의 초기 코팅 시점에서부터 코팅 종료 시점까지 도액을 정속으로, 균일하게, 그리고 신속하게 공급하는 것이 가능하다.
도 2c는 도 2b에 도시된 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 더미 코팅 플레이트 장치 및 이를 구비한 코팅 장치의 대안적인 실시예를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2c를 참조하면, 본 발명의 대안적인 실시예에 따른 더미 코팅 플레이트 장치 및 이를 구비한 코팅 장치는 도 2b의 실시예에서 각각 개별적으로 제공되는 제 1 도액 흡입 장치(250a) 및 제 2 도액 흡입 장치(250b)가 하나의 일체형 도액 흡입 장치(250)로 구현되고 또한 제 1 도액 회수 부재(260a) 및 제 2 도액 회수 부재(260b)가 하나의 일체형 도액 회수 부재(260)로 구현된다는 점을 제외하고는 도 2b의 실시예에 따른 더미 코팅 플레이트 장치 및 이를 구비한 코팅 장치와 실질적으로 동일하다. 이 경우, 하나의 도액 흡입 장치(250)는 노즐 장치(220)가 제 1 경 계선(241a)을 지나 작업물(210) 상에서 일정한 속도로(즉, 정속으로) 도액을 공급하는 적절한 시점에서 제 1 더미 코팅 플레이트(240a) 상에 도포된 도액을 흡입하도록 동작한다. 그 후, 하나의 도액 흡입 장치(250)는 흡입 동작을 중단한다. 그 후, 하나의 도액 흡입 장치(250)는 노즐 장치(220)가 제 2 더미 코팅 플레이트(240b) 상의 제 2의 미리 정해진 위치에서 도액 공급을 중단하면, 제 2 더미 코팅 플레이트(240b) 상에 도포된 도액을 흡입하도록 동작한다.
도 3a는 본 발명에 따른 코팅 방법의 일 실시예를 도시한 플로우차트이다.
도 2a 및 도 3a를 함께 참조하면, 본 발명에 따른 코팅 방법(300)은 a) 석션 테이블(230) 상에 작업물(210)을 위치시키는 단계(310); b) 상기 작업물(210)의 일측면과 맞닿으며, 상기 작업물(210)과 동일한 높이(H)를 가지는 더미 코팅 플레이트(240)를 포함하는 더미 코팅 플레이트 장치(270)를 제공하는 단계(320); c) 노즐 장치(220)를 상기 석션 테이블(230) 상에서 이동시키는 단계(330); d) 상기 노즐 장치(220)가 상기 더미 코팅 플레이트(240) 상의 미리 정해진 위치(predetermined position)에 도달하면 도액을 상기 더미 코팅 플레이트(240) 상에 공급하기 시작하는 단계(340); 및 e) 상기 노즐 장치(220)가 상기 작업물(210) 상에서 일정한 속도로 도액을 공급하는 적절한 시점에서, 상기 더미 코팅 플레이트(240) 상에 도포된 도액을 흡입하여 회수하는 단계(350)를 포함한다.
한편, 상술한 본 발명에 따른 코팅 방법(300)은 상기 a) 단계(310) 및 상기 b) 단계(320)의 순서가 서로 바뀌는 경우에도 동일하게 적용될 수 있다. 즉, 상술한 본 발명에 따른 코팅 방법(300)은 상기 a) 단계(310) 및 상기 b) 단계(320) 대 신 a) 석션 테이블(230) 상에 작업물(210)과 동일한 높이(H)를 가지는 더미 코팅 플레이트(240)를 포함하는 더미 코팅 플레이트 장치(270)를 제공하는 단계(310); 및 b) 상기 작업물(210)을 상기 더미 코팅 플레이트(240)의 일측면과 맞닿도록 위치시키는 단계(320)가 사용될 수 있다.
상술한 본 발명에 따른 코팅 방법(300)은 더미 코팅 플레이트 장치(270)를 사용하여 도액이 더미 코팅 플레이트(240) 상에서 미리 도포되도록 하고, 또한 도액이 작업물(210) 상에서 일정한 속도로 도액 공급되는 적절한 시점에서 더미 코팅 플레이트(240) 상에 도포된 도액을 흡입하여 회수함으로써, 작업물(210) 상에서 도액의 초기 코팅 시점에서부터 도액을 정속으로, 균일하게, 그리고 신속하게 공급하는 것이 가능하다.
도 3b는 본 발명에 따른 코팅 방법의 또 다른 실시예를 도시한 플로우차트이다.
도 2b, 도 2c 및 도 3b를 함께 참조하면, 본 발명에 따른 코팅 방법(300)은 a) 석션 테이블(230) 상에 작업물(210)을 위치시키는 단계(310); b) 상기 작업물(210)의 일측면과 맞닿으며, 상기 작업물(210)과 동일한 높이(H)를 가지는 제 1 더미 코팅 플레이트(240a)를 포함하는 제 1 더미 코팅 플레이트 장치(270a)를 제공하고, 또한 상기 작업물(210)의 타측면과 맞닿으며, 상기 작업물(210)과 동일한 높이(H)를 가지는 제 2 더미 코팅 플레이트(240b)를 포함하는 제 2 더미 코팅 플레이트 장치(270b)를 제공하는 단계(320); c) 노즐 장치(220)를 상기 석션 테이블(230) 상에서 이동시키는 단계(330); d) 상기 노즐 장치(220)가 상기 제 1 더미 코팅 플 레이트(240) 상의 제 1의 미리 정해진 위치(predetermined position)에 도달하면 도액을 상기 제 1 더미 코팅 플레이트(240) 상에 공급하기 시작하는 단계(340); e) 상기 노즐 장치(220)가 상기 작업물(210) 상에서 일정한 속도로 도액을 공급하는 적절한 시점에서, 상기 제 1 더미 코팅 플레이트(240) 상에 도포된 도액을 흡입하여 회수하는 단계(350); f) 상기 노즐 장치(220)가 상기 제 2 더미 코팅 플레이트(240b) 상의 제 2의 미리 정해진 위치에 도달하면, 상기 노즐 장치(220)가 도액 공급을 중단하는 단계(360); 및 g) 상기 제 2 더미 코팅 플레이트(240b) 상에 도포된 도액을 흡입하여 회수하는 단계(370)를 포함한다.
한편, 상술한 도 3b에 도시된 본 발명에 따른 코팅 방법(300)은 상기 a) 단계(310) 및 상기 b) 단계(320)의 순서가 서로 바뀌는 경우에도 동일하게 적용될 수 있다. 즉, 상술한 본 발명에 따른 코팅 방법(300)은 상기 a) 단계(310) 및 상기 b) 단계(320) 대신 a) 석션 테이블(230) 상에 작업물(210)과 동일한 높이(H)를 가지는 제 1 더미 코팅 플레이트(240a)를 포함하는 제 1 더미 코팅 플레이트 장치(270a)와 상기 작업물(210)과 동일한 높이(H)를 가지는 제 2 더미 코팅 플레이트(240b)를 포함하는 제 2 더미 코팅 플레이트 장치(270b)를 제공하는 단계(310); 및 b) 상기 작업물(210)을 일측면이 상기 제 1 더미 코팅 플레이트(240a)와 맞닿도록 위치시키고, 타측면이 상기 제 2 더미 코팅 플레이트(240b)와 맞닿도록 위치시키는 단계(320)가 사용될 수 있다.
상술한 도 3b에 도시된 본 발명에 따른 코팅 방법(300)은 더미 코팅 플레이트 장치(270)를 사용하여 도액이 제 1 더미 코팅 플레이트(240a) 상에서 미리 도포 되고 또한 제 2 더미 코팅 플레이트(240b) 상까지 도포되도록 하고, 나아가 도액이 작업물(210) 상에서 일정한 속도로 도액 공급되는 적절한 시점 및 제 2 더미 코팅 플레이트(240b) 상에서 도포가 종료되는 시점에 각각 제 1 및 제 2 더미 코팅 플레이트(240a,240b) 상에 도포된 도액을 흡입하여 회수함으로써, 작업물(210) 상에서 도액의 초기 코팅 시점에서부터 코팅 종료 시점까지 도액을 정속으로, 균일하게, 그리고 신속하게 공급하는 것이 가능하다.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.
도 1a는 LCD 또는 PDP를 제조하기 위해 사용되는 테이블 코팅 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1b는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 노즐 장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 1c는 종래 기술에 따른 포토레지스트를 토출하기 위한 예비 토출부와 이를 포함하는 기판 코팅 장치의 사시도를 도시한 도면이다.
도 1d는 도 1c에 도시된 종래 기술에 따른 예비 토출부의 단면도를 도시한 도면이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 더미 코팅 플레이트 장치 및 이를 구비한 코팅 장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 더미 코팅 플레이트 장치 및 이를 구비한 코팅 장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2c는 도 2b에 도시된 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 더미 코팅 플레이트 장치 및 이를 구비한 코팅 장치의 대안적인 실시예를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 3a는 도 3a는 본 발명에 따른 코팅 방법의 일 실시예를 도시한 플로우차트이다.
도 3b는 도 3b는 본 발명에 따른 코팅 방법의 또 다른 실시예를 도시한 플로우차트이다.

Claims (20)

  1. 도액의 코팅 장치에 사용되는 더미 코팅 플레이트 장치에 있어서,
    도액이 코팅될 작업물의 일측면과 맞닿으며, 상기 작업물과 동일한 높이(H)를 가지는 더미 코팅 플레이트;
    상기 더미 코팅 플레이트와 배출 통로에 의해 연결되는 도액 흡입 장치; 및
    상기 도액 흡입 장치와 연결되며, 상기 도액 흡입 장치에 의해 흡입된 도액을 회수하는 도액 회수 부재
    를 포함하고,
    상기 더미 코팅 플레이트는 다수의 미세한 구멍을 갖는 다공질 재질로 구현되거나 또는 다수의 미세한 구멍이 제공되는
    더미 코팅 플레이트 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 다공질 재질이 스폰지인 더미 코팅 플레이트 장치.
  4. 제 1항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 도액 흡입 장치가 진공 펌핑 장치로 구현되는 더미 코팅 플레이트 장치.
  5. 제 1항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 작업물은 PDP용 글래스 기판, LCD용 글래스 기판, 및 박막(thin film) 중 어느 하나인 더미 코팅 플레이트 장치.
  6. 도액을 코팅하는 코팅 장치에 있어서,
    석션 테이블;
    상기 석션 테이블 상에 위치되며, 도액이 코팅될 작업물;
    상기 작업물의 일측면과 맞닿으며, 상기 작업물과 동일한 높이(H)를 가지는 더미 코팅 플레이트, 상기 더미 코팅 플레이트에 배출 통로에 의해 연결되는 도액 흡입 장치, 및 상기 도액 흡입 장치와 연결되며, 상기 도액 흡입 장치에 의해 흡입된 도액을 회수하는 도액 회수 부재로 구성되는 더미 코팅 플레이트 장치;
    상기 더미 코팅 플레이트 및 상기 작업물 상에 도액을 공급하는 노즐 장치; 및
    상기 노즐 장치를 상기 석션 테이블 상에서 이동시키는 갠트리(gantry)
    를 포함하고,
    상기 노즐 장치는 상기 더미 코팅 플레이트 상의 미리 정해진 위치(predetermined position)에 도달하면 상기 도액을 상기 더미 코팅 플레이트 상에 공급하기 시작하고,
    상기 노즐 장치가 상기 작업물 상에서 일정한 속도로 상기 도액을 공급하는 적절한 시점에서, 상기 도액 흡입 장치는 상기 더미 코팅 플레이트 상에 도포된 도액을 흡입하도록 동작하는
    코팅 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 더미 코팅 플레이트는 다수의 미세한 구멍을 갖는 다공질 재질로 구현되거나 또는 다수의 미세한 구멍이 제공되는 코팅 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 다공질 재질이 스폰지인 코팅 장치.
  9. 제 6항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 도액 흡입 장치가 진공 펌핑 장치로 구현되는 코팅 장치.
  10. 제 6항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 작업물은 PDP용 글래스 기판, LCD용 글래스 기판, 및 박막(thin film) 중 어느 하나인 코팅 장치.
  11. 도액을 코팅하는 코팅 장치에 있어서,
    석션 테이블;
    상기 석션 테이블 상에 위치되며, 도액이 코팅될 작업물;
    상기 작업물의 일측면과 맞닿으며, 상기 작업물과 동일한 높이(H)를 가지는 제 1 더미 코팅 플레이트, 상기 제 1 더미 코팅 플레이트와 제 1 도액 배출 통로에 의해 연결되는 제 1 도액 흡입 장치, 및 제 1 상기 도액 흡입 장치와 연결되며, 상기 제 1 도액 흡입 장치에 의해 흡입된 도액을 회수하는 제 1 도액 회수 부재로 구성되는 제 1 더미 코팅 플레이트 장치;
    상기 작업물의 타측면과 맞닿으며, 상기 작업물과 동일한 높이(H)를 가지는 제 2 더미 코팅 플레이트, 상기 제 2 더미 코팅 플레이트와 제 2 도액 배출 통로에 의해 연결되는 제 2 도액 흡입 장치, 및 상기 제 2 도액 흡입 장치와 연결되며, 상기 제 2 도액 흡입 장치에 의해 흡입된 도액을 회수하는 제 2 도액 회수 부재로 구성되는 제 2 더미 코팅 플레이트 장치;
    상기 제 1 더미 코팅 플레이트, 상기 작업물, 및 상기 제 2 더미 코팅 플레이트 상에 도액을 공급하는 노즐 장치; 및
    상기 노즐 장치를 상기 석션 테이블 상에서 이동시키는 갠트리(gantry)
    를 포함하고,
    상기 노즐 장치는 상기 제 1 더미 코팅 플레이트 상의 제 1 의 미리 정해진 위치(predetermined position)에 도달하면 상기 도액을 상기 제 1 더미 코팅 플레이트 상에 공급하기 시작하고,
    상기 노즐 장치가 상기 작업물 상에서 일정한 속도로 상기 도액을 공급하는 적절한 시점에서, 상기 제 1 도액 흡입 장치는 상기 제 1 더미 코팅 플레이트 상에 도포된 도액을 흡입하도록 동작하며,
    상기 노즐 장치가 상기 제 2 더미 코팅 플레이트 상의 제 2의 미리 정해진 위치에서 도액 공급을 중단하면, 상기 제 2 도액 흡입 장치는 제 2 더미 코팅 플레이트 상에 도포된 도액을 흡입하도록 동작하는
    코팅 장치.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 제 1 더미 코팅 플레이트 및 상기 제 2 더미 코팅 플레이트는 각각 다수의 미세한 구멍을 갖는 다공질 재질로 구현되거나 또는 다수의 미세한 구멍이 제공되는 코팅 장치.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 다공질 재질이 스폰지인 코팅 장치.
  14. 제 11항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 도액 흡입 장치 및 상기 제 1 도액 흡입 장치가 각각 진공 펌핑 장치로 구현되는 코팅 장치.
  15. 제 11항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 작업물은 PDP용 글래스 기판, LCD용 글래스 기판, 및 박막(thin film) 중 어느 하나인 코팅 장치.
  16. 제 11항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 도액 흡입 장치 및 상기 제 2 도액 흡입 장치는 하나의 일체형 도액 흡입 장치로 구현되고,
    상기 제 1 도액 회수 부재 및 상기 제 2 도액 회수 부재는 하나의 일체형 도액 회수 부재로 구현되는
    코팅 장치.
  17. 도액을 코팅하는 코팅 방법에 있어서,
    a) 석션 테이블 상에 작업물을 위치시키는 단계;
    b) 상기 작업물의 일측면과 맞닿으며, 상기 작업물과 동일한 높이(H)를 가지는 더미 코팅 플레이트를 포함하는 더미 코팅 플레이트 장치를 제공하는 단계;
    c) 노즐 장치를 상기 석션 테이블 상에서 이동시키는 단계;
    d) 상기 노즐 장치가 상기 더미 코팅 플레이트 상의 미리 정해진 위치(predetermined position)에 도달하면 도액을 상기 더미 코팅 플레이트 상에 공급하기 시작하는 단계; 및
    e) 상기 노즐 장치가 상기 작업물 상에서 일정한 속도로 도액을 공급하는 적절한 시점에서, 상기 더미 코팅 플레이트 상에 도포된 도액을 흡입하여 회수하는 단계
    를 포함하는 코팅 방법.
  18. 제 17항에 있어서,
    상기 a) 단계 및 상기 b) 단계가 각각 a) 상기 석션 테이블 상에 상기 작업물과 동일한 높이(H)를 가지는 상기 더미 코팅 플레이트를 포함하는 상기 더미 코팅 플레이트 장치를 제공하는 단계; 및 b) 상기 작업물을 상기 더미 코팅 플레이트의 일측면과 맞닿도록 위치시키는 단계인 코팅 방법.
  19. 도액을 코팅하는 코팅 방법에 있어서,
    a) 석션 테이블 상에 작업물을 위치시키는 단계;
    b) 상기 작업물의 일측면과 맞닿으며, 상기 작업물과 동일한 높이(H)를 가지는 제 1 더미 코팅 플레이트를 포함하는 제 1 더미 코팅 플레이트 장치를 제공하고, 또한 상기 작업물의 타측면과 맞닿으며, 상기 작업물과 동일한 높이(H)를 가지는 제 2 더미 코팅 플레이트를 포함하는 제 2 더미 코팅 플레이트 장치를 제공하는 단계;
    c) 노즐 장치를 상기 석션 테이블 상에서 이동시키는 단계;
    d) 상기 노즐 장치가 상기 제 1 더미 코팅 플레이트 상의 제 1의 미리 정해진 위치(predetermined position)에 도달하면 도액을 상기 제 1 더미 코팅 플레이트 상에 공급하기 시작하는 단계;
    e) 상기 노즐 장치가 상기 작업물 상에서 일정한 속도로 도액을 공급하는 적 절한 시점에서, 상기 제 1 더미 코팅 플레이트 상에 도포된 도액을 흡입하여 회수하는 단계;
    f) 상기 노즐 장치가 상기 제 2 더미 코팅 플레이트 상의 제 2의 미리 정해진 위치에 도달하면, 상기 노즐 장치가 도액 공급을 중단하는 단계; 및
    g) 상기 제 2 더미 코팅 플레이트 상에 도포된 도액을 흡입하여 회수하는 단계
    를 포함하는 코팅 방법.
  20. 제 19항에 있어서,
    상기 a) 단계 및 상기 b) 단계가 각각 a) 상기 석션 테이블 상에 상기 작업물과 동일한 높이(H)를 가지는 상기 제 1 더미 코팅 플레이트를 포함하는 상기 제 1 더미 코팅 플레이트 장치와 상기 작업물과 동일한 높이(H)를 가지는 상기 제 2 더미 코팅 플레이트를 포함하는 상기 제 2 더미 코팅 플레이트 장치를 제공하는 단계; 및 b) 상기 작업물을 일측면이 상기 제 1 더미 코팅 플레이트와 맞닿도록 위치시키고, 타측면이 상기 제 2 더미 코팅 플레이트와 맞닿도록 위치시키는 단계인 코팅 방법.
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