KR100781771B1 - 예비 토출부와 이를 포함하는 기판 코팅 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 기판의 일측에 마련된 시트 지지부와,상기 시트 지지부의 상부에 위치하여 기판의 일부를 덮는 시트를 포함하는 것을 특징으로 하는 예비 토출부.
- 청구항 1에 있어서, 상기 시트 지지부에는 상기 시트를 밀착시키기 위한 흡착홀이 형성된 것을 특징으로 하는 예비 토출부.
- 청구항 1에 있어서, 상기 시트 지지부는 측방향으로 대향 위치한 롤러로 구성되고, 상기 롤러의 회전에 따라 이동하고 가장자리 일부가 절개된 오목부가 형성된 구형파 형상의 시트를 포함하는 것을 특징으로 하는 예비 토출부.
- 청구항 3에 있어서, 상기 시트는 순환되도록 구성되고, 상기 시트의 일부를 세정하기 위한 세정 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 예비 토출부.
- 청구항 3에 있어서, 상기 시트의 일단은 권취 롤러에 연결되고, 타단은 취출 롤러에 연결된 것을 특징으로 하는 예비 토출부.
- 기판이 안착되는 스테이지부와,상기 스테이지부의 적어도 일측에 설치된 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 따른 예비 토출부와,상기 예비 토출부 및 기판에 코팅액을 분사하는 노즐부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅 장치.
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