JP5329837B2 - 塗布装置および塗布方法 - Google Patents
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前記基板表面に対し前記塗布液供給ノズルの塗布方向に沿って移動可能な、前記塗布液供給ノズルのノズル開口の延在方向と同一方向に延在するシート状の塗布開始予備塗布シートと、
前記塗布開始予備塗布シートの移動および前記塗布液供給ノズルの前記基板表面に対する相対移動を制御する制御手段とを備える塗布装置であって、
前記制御手段は、
前記塗布液供給ノズルがノズル開口から塗布液の吐出を開始するときに、前記塗布開始予備塗布シートがノズル開口と対向して前記基板の端部を覆うように、前記塗布開始予備塗布シートを移動させ、
前記塗布液供給ノズルを、ノズル開口から塗布液を吐出させながら、基板表面に対して相対的に移動させて、前記塗布開始予備塗布シートの表面に、基板への塗布に先立って塗布液を塗布し、
ノズル開口が基板表面の塗布開始位置近傍の所定位置となったときに、前記塗布開始予備塗布シートを塗布方向と反対方向に移動させるように構成されることを特徴とする塗布装置である。
前記制御手段は、
前記塗布液供給ノズルを基板表面に対して相対的に移動させて、ノズル開口が基板表面の塗布終了位置となる前に、前記塗布終了予備塗布シートの塗布方向上流側端部が塗布終了位置と一致するように塗布終了予備塗布シートを移動させて配置させ、
ノズル開口が、前記塗布終了予備塗布シートと対向した状態のまま、基板表面の塗布終了位置から所定の位置だけ塗布方向下流側方向にずれたときに、塗布終了予備塗布シートを塗布方向と同一方向に移動させるように構成されることを特徴とする。
以下の実験条件に基づいて、基板表面への塗布液の塗布を行った。塗布開始予備塗布シートを備える塗布装置によって基板表面に塗布膜を形成し、塗布膜の膜厚を接触式段差計を用いて測定した。このとき、塗布液供給ノズルおよび塗布開始予備塗布シートの移動動作は、前述したように、制御手段が制御した。なお、比較のために、塗布開始予備塗布シートを備えない以外は同様の塗布装置を用いて基板表面に塗布膜を形成した。
塗布液供給ノズル:ノズルの延在方向長さ160mm、ノズル開口の開口幅500μm
ノズル移動速度:50mm/sec
塗布開始予備塗布シート:ポリエチレンフィルム、厚み100μm、塗布方向長さ80mm
シート移動速度:100mm/sec(ノズル移動速度の2倍)
基板:幅手方向長さ100mm、長手方向長さ200mm、厚み1.0mm
塗布ギャップ(塗布液供給ノズル先端から基板までの距離):200μm
塗布液供給ノズル先端から塗布開始予備塗布シートまでの距離:100μm
塗布液:レジスト液(東友ファインケム社製、YS−G102)
塗布膜の目標膜厚:1.5μm
塗布開始予備塗布シートを備えた塗布装置で基板表面に形成した塗布膜においては、塗布開始位置から塗布方向に70mmまでの膜厚変動(最大膜厚−最小膜厚)は、1.0μmであった。
11 ノズル開口
12 塗布液貯蔵タンク
13 ポンプ
14 待機ポット
20 予備塗布手段
21 塗布開始予備塗布シート
22 シート支持部
30 シート洗浄ユニット
31 シート洗浄部
32 シート洗浄案内部
40 ノズル洗浄ユニット
41 ノズル洗浄部
42 ノズル洗浄案内部
50 基台
51 シート案内板
60 基板
70 塗布液
71 ビード
72 塗布膜
73 塗布膜端部
100 塗布装置
Claims (3)
- 基板の表面に対して相対的に移動しながら、ノズル開口から塗布液を吐出して該基板表面に塗布液を塗布する塗布液供給ノズルと、
前記基板表面に対し前記塗布液供給ノズルの塗布方向に沿って移動可能な、前記塗布液供給ノズルのノズル開口の延在方向と同一方向に延在するシート状の塗布開始予備塗布シートと、
前記塗布開始予備塗布シートの移動および前記塗布液供給ノズルの前記基板表面に対する相対移動を制御する制御手段とを備える塗布装置であって、
前記制御手段は、
前記塗布液供給ノズルがノズル開口から塗布液の吐出を開始するときに、前記塗布開始予備塗布シートがノズル開口と対向して前記基板の端部を覆うように、前記塗布開始予備塗布シートを移動させ、
前記塗布液供給ノズルを、ノズル開口から塗布液を吐出させながら、基板表面に対して相対的に移動させて、前記塗布開始予備塗布シートの表面に、基板への塗布に先立って塗布液を塗布し、
ノズル開口が基板表面の塗布開始位置近傍の所定位置となったときに、前記塗布開始予備塗布シートを塗布方向と反対方向に移動させるように構成されることを特徴とする塗布装置。 - 前記塗布液供給ノズルのノズル開口の延在方向と同一方向に延在するシート状であり、基板表面の塗布終了位置近傍においてノズル開口から吐出される塗布液が塗布される塗布終了予備塗布シートをさらに含み、
前記制御手段は、
前記塗布液供給ノズルを基板表面に対して相対的に移動させて、ノズル開口が基板表面の塗布終了位置となる前に、前記塗布終了予備塗布シートの塗布方向上流側端部が塗布終了位置と一致するように塗布終了予備塗布シートを移動させて配置させ、
ノズル開口が、前記塗布終了予備塗布シートと対向した状態のまま、基板表面の塗布終了位置から所定の位置だけ塗布方向下流側方向にずれたときに、塗布終了予備塗布シートを塗布方向と同一方向に移動させるように構成されることを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。 - 請求項1または2に記載の塗布装置によって、基板表面に塗布液を塗布することを特徴とする塗布方法。
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