JP6257855B1 - 接合部材製造装置、接合部材の製造方法及び塗布物質塗布済部材の製造方法 - Google Patents

Abstract

塗布物質の塗布幅の外側近傍に突起物があっても塗布物質を塗布することができる接合部材製造装置、接合部材の製造方法及び塗布物質塗布済部材の製造方法を提供する。接合部材製造装置は、吐出口が形成された部分の第１の対向面の外縁と吐出口形成溝との間の距離が０．１ｍｍ〜１．０ｍｍに形成されているダイヘッド（１０）を有する塗布装置と、第１の吸着ステージ（２０Ａ）と、第２の吸着ステージ（２０Ｂ）と、紫外線を照射する紫外線照射器（４５）と、第１の吸着ステージ（２０Ａ）及び第２の吸着ステージ（２０Ｂ）を同時に収容することができる大きさに形成されて真空ポンプ（５３）の作動により内部の真空度を調節可能に構成されたチャンバ（５１）とを備え、塗布物質（Ｇ）は、紫外線が照射されたときに粘度が変化するように構成されている。

Description

本発明は接合部材製造装置、接合部材の製造方法及び塗布物質塗布済部材の製造方法に関し、特に塗布対象面における塗布物質の塗布幅の外側近傍に突起物がある場合でも塗布物質を塗布することができる接合部材製造装置、接合部材の製造方法及び塗布物質塗布済部材の製造方法に関する。

例えば、液晶パネルを製造する工程において、接着剤を介して液晶基板と保護ガラスとを貼り合わせることが行われる。このような、２つの部材を接着剤等の塗布物質を介して貼り合わせる際、部材の貼り合わせ面に塗布物質を塗布する。部材の貼り合わせ面に塗布物質を塗布する手段として、ダイヘッド（塗布ヘッド）を用いて、部材の貼り合わせ面に非接触で塗布物質を吐出しながら塗膜を形成するものがある。ダイヘッドの例として、２つに分割されたヘッドで、吐出口を形成するシム板を挟み込む構成とすることで、塗布物質の吐出量の変更を容易にするものがある（例えば、特許文献１参照。）。

特開２０１４−２３３６５１号公報（図２等）

しかしながら、特許文献１に記載されたダイヘッドでは、シム板のずれや逃げを抑制するために、ダイヘッドがシム板を３方向から覆うように挟み込んでいるため、塗布物質の塗布幅よりもダイヘッドの幅が大きくなってしまう。そのため、塗布物質の塗布幅の外側近傍に突起が存在するような場合は、所定の塗布幅で塗布物質を塗布することができなかった。

本発明は上述の課題に鑑み、塗布対象面における塗布物質の塗布幅の外側近傍に突起物がある場合でも塗布物質を塗布することができる接合部材製造装置、接合部材の製造方法及び塗布物質塗布済部材の製造方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の第１の態様に係る接合部材製造装置は、例えば図３及び図４に示すように、塗布対象物Ｅの塗布対象面Ｅｆに沿って相対的に移動させながら塗布物質Ｇを吐出することで塗布対象面Ｅｆに塗布物質Ｇを塗布するダイヘッド１０であって、第１の対向面１１ｆが形成された第１のヘッド構成部材１１と、第１の対向面１１ｆに接触した第２の対向面１２ｆが形成された第２のヘッド構成部材１２とを備え、第１の対向面１１ｆには、塗布物質Ｇをダイヘッド１０の外に吐出する細長い吐出口１０ｈを形成する吐出口形成溝１１ｈが形成され、吐出口１０ｈが形成された部分の第１の対向面１１ｆの細長い方向における第１の対向面１１ｆの外縁１１ｅと吐出口形成溝１１ｈとの間の距離１１ｅＬが０．１ｍｍ〜１．０ｍｍに形成されたダイヘッド１０を備えている。さらに、例えば図１に示すように、塗布対象面Ｄｆに塗布物質Ｇが塗布された塗布対象物Ｄを吸着保持する第１の吸着ステージ２０Ａと；塗布対象面Ｅｆに塗布物質Ｇが塗布された塗布対象物Ｅを吸着保持する第２の吸着ステージ２０Ｂであって、第２の吸着ステージ２０Ｂに吸着保持された塗布対象物Ｅを第１の吸着ステージ２０Ａに吸着保持された塗布対象物Ｄに貼り合わせることができるように配置された第２の吸着ステージ２０Ｂと；紫外線を照射する紫外線照射器４５と；第１の吸着ステージ２０Ａ及び第２の吸着ステージ２０Ｂを同時に収容することができる大きさに形成され、真空ポンプ５３の作動により内部の真空度を調節可能に構成されたチャンバ５１とを備え；塗布物質Ｇは、紫外線が照射されたときに粘度が変化するように構成されている。

このように構成すると、吐出口が形成された部分の第１の対向面の外縁と吐出口形成溝との間の距離が短いので、塗布物質の塗布幅の外側近傍の塗布対象面に突起物がある場合でも、ダイヘッドが突起物に干渉せずに塗布物質を塗布することが可能になる。

また、本発明の第２の態様に係る接合部材製造装置は、例えば図４に示すように、上記本発明の第１の態様に係る接合部材製造装置において、第１の対向面１１ｆには、さらに、塗布物質Ｇを一旦保留する保留部１０ｒを形成する保留部形成溝１１ｒであって細長い方向における吐出口１０ｈの幅よりも大きい幅を持つ保留部形成溝１１ｒと、吐出口形成溝１１ｈと保留部形成溝１１ｒとを連絡する連絡部形成溝１１ｃとが形成され；吐出口形成溝１１ｈが形成された部分の第１の対向面１１ｆの細長い方向における幅が、保留部形成溝１１ｒが形成された部分の第１の対向面１１ｆの細長い方向における幅よりも小さく形成されている。

このように構成すると、吐出口形成溝が形成された部分の第１の対向面の幅が、保留部が形成された部分の第１の対向面の幅よりも小さいので、吐出口から吐出される塗布物質の吐出ムラを抑制しつつ、塗布物質の塗布幅の外側近傍の塗布対象面に突起物がある場合でも、ダイヘッドが突起物に干渉せずに塗布物質を塗布することが可能になる。

また、本発明の第３の態様に係る接合部材製造装置は、例えば図３に示すように、上記本発明の第１の態様又は第２の態様に係る接合部材製造装置において、塗布対象物Ｅが載置される載置台２０と；載置台２０に載置された塗布対象物Ｅの、ダイヘッド１０に対する位置を把握する位置確認装置４０とを備える。

このように構成すると、塗布対象面に対する塗布物質の塗布位置を特定することが可能になり、塗布対象面に突起物がある場合にダイヘッドが突起物に干渉することを回避することができる。

また、本発明の第４の態様に係る接合部材製造装置は、例えば図３に示すように、上記本発明の第１の態様乃至第３の態様のいずれか１つの態様に係る接合部材製造装置において、載置台２０をダイヘッド１０に対して相対的に移動させる移動装置３０と；位置確認装置４０が確認している状態において、載置台２０に載置された塗布対象物Ｅの塗布対象面Ｅｆの所定の位置と、ダイヘッド１０の基準位置と、が合うように移動装置３０の移動を制御する制御装置９０とを備える。

このように構成すると、塗布対象面に対して所定の位置に塗布物質を塗布することが可能になる。

また、本発明の第５の態様に係る接合部材製造装置は、例えば図３に示すように、上記本発明の第４の態様に係る接合部材製造装置において、移動装置３０は、吐出口１０ｈ（例えば図４参照）が延びる方向及び吐出口１０ｈが延びる方向に対して水平に直交する方向に載置台２０を移動させることができるように構成されている。

また、本発明の第６の態様に係る接合部材製造装置は、例えば図３に示すように、上記本発明の第４の態様又は第５の態様に係る接合部材製造装置において、移動装置３０は、載置台２０をダイヘッド１０に対して相対的に、鉛直方向への移動、及び載置台２０の図心を通って鉛直に延びる仮想軸線３２ａまわりに回転移動させることができるように構成されている。

また、本発明の第７の態様に係る接合部材製造装置は、例えば図４に示すように、上記本発明の第１の態様乃至第６の態様のいずれか１つの態様に係る接合部材製造装置において、吐出口１０ｈは、ダイヘッド１０の１つの面に形成された突出部１１ｐの先端に形成され；突出部１１ｐの突出する高さ１１ｐＨが３ｍｍ以上８ｍｍ以下に形成されている。

このように構成すると、塗布物質の塗布端の外側に存在し得る多種の突起物を回避することができる。

また、本発明の第８の態様に係る接合部材の製造方法は、例えば図３、図４及び図５を参照して示すと、塗布対象物Ｅの塗布対象面Ｅｆに沿って相対的に移動させながら塗布物質Ｇを吐出することで塗布対象面Ｅｆに塗布物質Ｇを塗布するダイヘッド１０であって、第１の対向面１１ｆが形成された第１のヘッド構成部材１１と、第１の対向面１１ｆに接触した第２の対向面１２ｆが形成された第２のヘッド構成部材１２とを備え、第１の対向面１１ｆには、塗布物質Ｇをダイヘッド１０の外に吐出する細長い吐出口１０ｈを形成する吐出口形成溝１１ｈが形成され、吐出口１０ｈが形成された部分の第１の対向面１１ｆの細長い方向における第１の対向面１１ｆの外縁１１ｅと吐出口形成溝１１ｈとの間の距離１１ｅＬが０．１ｍｍ〜１．０ｍｍに形成されたダイヘッド１０と、塗布対象物Ｅが載置される載置台２０と、載置台２０に載置された塗布対象物Ｅの、ダイヘッド１０に対する位置を把握する位置確認装置４０とを備える塗布装置、を使用して２つの塗布対象物Ｅを貼り合わせた接合部材を製造する方法であって；載置台２０に塗布対象物Ｅを載置する載置工程（Ｓ１、Ｓ４）と；載置台２０に載置された塗布対象物Ｅの塗布対象面Ｅｆにダイヘッド１０を用いて塗布物質Ｇを塗布する塗布工程（Ｓ２、Ｓ５）と；塗布物質Ｇが塗布された塗布対象物Ｅの２つを塗布物質Ｇ同士が接触するように貼り合わせる貼合工程（Ｓ１３）とを備える。

このように構成すると、塗布物質の塗布幅の外側近傍の塗布対象面に突起物がある場合でも、塗布物質が適切に塗布された接合部材を製造することができる。

また、本発明の第９の態様に係る塗布物質塗布済部材の製造方法は、例えば図３、図４及び図６を参照して示すと、塗布対象物Ｅの塗布対象面Ｅｆに沿って相対的に移動させながら塗布物質Ｇを吐出することで塗布対象面Ｅｆに塗布物質Ｇを塗布するダイヘッド１０であって、第１の対向面１１ｆが形成された第１のヘッド構成部材１１と、第１の対向面１１ｆに接触した第２の対向面１２ｆが形成された第２のヘッド構成部材１２とを有し、第１の対向面１１ｆには、塗布物質Ｇをダイヘッド１０の外に吐出する細長い吐出口１０ｈを形成する吐出口形成溝１１ｈが形成され、吐出口１０ｈが形成された部分の第１の対向面１１ｆの細長い方向における第１の対向面１１ｆの外縁１１ｅと吐出口形成溝１１ｈとの間の距離である端部厚１１ｅＬが０．１ｍｍ〜１．０ｍｍに形成されたダイヘッド１０を、吐出口１０ｈから塗布物質Ｇを吐出しながら、塗布対象物Ｅの塗布対象面Ｅｆに沿って相対的に移動させることにより、第１の所定の長さの塗布物質Ｇである第１の塗布膜Ｇａを塗布対象面Ｅに形成する第１の塗布膜形成工程と；第１の塗布膜形成工程の後、ダイヘッド１０からの塗布物質Ｇの吐出を停止した状態で、ダイヘッド１０を、第１の塗布膜形成工程においてダイヘッド１０を相対的に移動させた方向に対して交差する方向に移動させるダイヘッド移動工程と；ダイヘッド移動工程の後、ダイヘッド１０を、吐出口１０ｈから塗布物質Ｇを吐出しながら、塗布対象物Ｅの塗布対象面Ｅｆに沿って相対的に移動させることにより、第２の所定の長さの塗布物質Ｇである第２の塗布膜Ｇｂを塗布対象面Ｅに形成する第２の塗布膜形成工程とを備え；ダイヘッド移動工程は、第１の塗布膜Ｇａを形成する際の吐出口１０ｈの軌跡と第２の塗布膜Ｇｂを形成する際の吐出口１０ｈの軌跡との最短の間隔Ｑが２ｍｍ以下となるように、ダイヘッド１０を交差する方向に移動させる。

このように構成すると、ダイヘッドの吐出口の幅よりも広い範囲に塗布物質を均一に塗布することができる。

また、本発明の第１０の態様に係る塗布物質塗布済部材の製造方法は、例えば図６（Ｂ）を参照して示すと、第１の塗布膜形成工程における第１の塗布膜Ｇａの表面と吐出口１０ｈとの距離及び第２の塗布膜形成工程における第２の塗布膜Ｇｂの表面と吐出口１０ｈとの距離Ｈが０μｍ以上３０μｍ以下である。

このように構成すると、第１の塗布膜及び第２の塗布膜の側辺が乱れてしまうことを抑制することができる。

また、本発明の第１１の態様に係る接合部材の製造方法は、例えば図６を参照して示すと、本発明の第９の態様又は第１０の態様に係る塗布物質塗布済部材の製造方法を用いて塗布物質Ｇが塗布された塗布対象物である塗布物質塗布済部材を製造する塗布物質塗布済部材製造工程と；塗布物質塗布済部材を所定の時間放置する放置工程と；放置工程が完了した塗布物質塗布済部材と、接合対象部材と、を貼り合わせる貼合工程とを備える。

このように構成すると、放置工程を備えるので、塗布済の塗布物質が流動して第１の塗布膜と第２の塗布膜との間の隙間が埋まり、貼り合わせた部材の間にボイドが形成されることを抑制することができる。

なお、本発明の第１１の態様に係る接合部材の製造方法において、接合対象物は、放置工程が完了した塗布物質塗布済部材であってもよく、この場合は塗布物質塗布済部材の２つを塗布物質同士が接触するように貼り合わせることとしてもよい。また、接合工程の後に、塗布物質を硬化させる硬化工程を備えることとしてもよい。

また、第１２の態様に係る接合部材の製造方法として、例えば図１及び図５に示すように、第１の接合面Ｄｆが形成された第１の部材Ｄと、第２の接合面Ｅｆが形成された第２の部材Ｅとが、所定の粘度の接合剤Ｇをあらかじめ決められた厚さで介して接合された接合部材Ｃ（例えば図２（Ａ）参照）を製造する方法であって；第１の接合面Ｄｆに接合剤Ｇを第１の所定の厚さで塗布する第１の塗布工程（Ｓ２）と；第２の接合面Ｅｆに接合剤Ｇを第２の所定の厚さで塗布する第２の塗布工程（Ｓ５）と；第１の接合面Ｄｆに塗布された接合剤Ｇである第１の塗布済接合剤Ｇ１と、第２の接合面Ｅｆに塗布された接合剤Ｇである第２の塗布済接合剤Ｇ２と、を接触させて第１の部材Ｄと第２の部材Ｅとを貼り合わせる貼合工程（Ｓ１３）とを備え；第１の所定の厚さは、第１の塗布済接合剤Ｇ１を第２の塗布済接合剤Ｇ２に接触させたときに、第１の塗布済接合剤Ｇ１の第２の塗布済接合剤Ｇ２に接触した部分の輪郭が第１の接合面Ｄｆに投影された場合に第１の接合面Ｄｆの第１の所定の領域を包含しつつ、第１の接合面Ｄｆから接合剤Ｇがはみ出さない厚さであり；第２の所定の厚さは、第２の塗布済接合剤Ｇ２を第１の塗布済接合剤Ｇ１に接触させたときに、第２の塗布済接合剤Ｇ２の第１の塗布済接合剤Ｇ１に接触した部分の輪郭が第２の接合面Ｅｆに投影された場合に第２の接合面Ｅｆの第２の所定の領域Ｅｇ（例えば図２（Ｃ）参照）を包含しつつ、第２の接合面Ｅｆから接合剤Ｇがはみ出さない厚さであることとしてもよい。

このように構成すると、第１の所定の領域及び第２の所定の領域に、第１の塗布済接合剤と第２の塗布済接合剤とが接触したときの輪郭が現れることなく、あらかじめ決められた厚さの接合剤で接合部材を製造することができる。

また、第１３の態様に係る接合部材の製造方法として、例えば図１及び図５を参照して示すと、上記第１２の態様に係る接合部材の製造方法において、貼合工程（Ｓ１３）の前に、接合剤Ｇが塗布された第１の部材Ｄの配置を調節する第１の配置調節工程（Ｓ９）と；貼合工程（Ｓ１３）の前に、接合剤Ｇが塗布された第２の部材Ｅの配置を調節する第２の配置調節工程（Ｓ１０）とを備えることとしてもよい。

このように構成すると、第１の部材と第２の部材とを適切な位置関係で貼り合わせることができる。

また、第１４の態様に係る接合部材の製造方法として、例えば図１及び図５を参照して示すと、上記第１２の態様又は第１３の態様に係る接合部材の製造方法において、貼合工程（Ｓ１３）の前に、第１の塗布済接合剤Ｇ１を半硬化させる第１の半硬化工程（Ｓ７）と；貼合工程（Ｓ１３）の前に、第２の塗布済接合剤Ｇ２を半硬化させる第２の半硬化工程（Ｓ８）とを備えることとしてもよい。

このように構成すると、接合面に接した部分の接合剤の輪郭と、他方の接合剤に接触した部分の接合剤の輪郭との差を抑制することができる。

また、第１５の態様に係る接合部材の製造方法として、例えば図１及び図５を参照して示すと、上記第１２の態様乃至第１４の態様のいずれか１つの態様に係る接合部材の製造方法において、貼合工程（Ｓ１３）が、所定の真空度の環境下で行われることとしてもよい。

このように構成すると、接合部分に気泡が入ることを抑制することができる。

また、第１６の態様に係る接合部材製造装置として、例えば図１に示すように、第１の接合面Ｄｆが形成された第１の部材Ｄと、第２の接合面Ｅｆが形成された第２の部材Ｅとを、所定の粘度の接合剤Ｇをあらかじめ決められた厚さで介して接合する装置であって；第１の部材Ｄを保持する第１の保持具２０Ａと；第２の部材Ｅを保持する第２の保持具２０Ｂと；第１の接合面Ｄｆに接合剤Ｇを塗布する第１の塗布装置１０Ａと；第２の接合面Ｅｆに接合剤Ｇを塗布する第２の塗布装置１０Ｂと；第１の接合面Ｄｆに塗布する接合剤Ｇを第１の所定の厚さとし、第２の接合面Ｅｆに塗布する接合剤Ｇを第２の所定の厚さとするように、第１の塗布装置１０Ａ及び第２の塗布装置１０Ｂを制御すると共に、第１の部材Ｄに塗布された接合剤Ｇと第２の部材Ｅに塗布された接合剤Ｇとを対向させ接触させて第１の接合面Ｄｆと第２の接合面Ｅｆとが接近する方向に押圧するように第１の保持具２０Ａ及び第２の保持具２０Ｂを制御する制御装置９０とを備え；第１の所定の厚さの設定値は、第１の接合面Ｄｆに塗布された接合剤Ｇである第１の塗布済接合剤Ｇ１を、第２の接合面Ｅｆに塗布された接合剤Ｇである第２の塗布済接合剤Ｇ２に接触させたときに、第１の塗布済接合剤Ｇ１の第２の塗布済接合剤Ｇ２に接触した部分の輪郭が第１の接合面Ｄｆに投影された場合に第１の接合面Ｄｆの第１の所定の領域を包含しつつ、第１の接合面Ｄｆから接合剤Ｇがはみ出さない厚さであり；第２の所定の厚さの設定値は、第２の塗布済接合剤Ｇ２を第１の塗布済接合剤Ｇ１に接触させたときに、第２の塗布済接合剤Ｇ２の第１の塗布済接合剤Ｇ１に接触した部分の輪郭が第２の接合面Ｅｆに投影された場合に第２の接合面Ｅｆの第２の所定の領域Ｅｇ（例えば図２（Ｃ）参照）を包含しつつ、第２の接合面Ｅｆから接合剤Ｇがはみ出さない厚さであることとしてもよい。

このように構成すると、第１の所定の領域及び第２の所定の領域に、第１の塗布済接合剤と第２の塗布済接合剤とが接触したときの輪郭が現れることなく、あらかじめ決められた厚さの接合剤で接合部材を製造することができる。

また、第１７の態様に係る接合部材製造装置として、例えば図１に示すように、上記第１６の態様に係る接合部材製造装置１００において、第１の塗布済接合剤Ｇ１及び第２の塗布済接合剤Ｇ２の位置を把握する位置確認装置４０を備え；制御装置９０は、位置確認装置４０を用いて第１の塗布済接合剤Ｇ１と第２の塗布済接合剤Ｇ２との位置を合わせた後に第１の塗布済接合剤Ｇ１と第２の塗布済接合剤Ｇ２とを接触させることとしてもよい。

このように構成すると、第１の部材と第２の部材とを適切な位置関係で貼り合わせることができる。

また、第１８の態様に係る接合部材製造装置として、例えば図１に示すように、上記第１６の態様又は第１７の態様に係る接合部材製造装置１００において、接合剤Ｇを半硬化させる半硬化装置４５を備え；制御装置９０は、半硬化装置４５を作動させて第１の塗布済接合剤Ｇ１及び第２の塗布済接合剤Ｇ２を半硬化させた後に第１の塗布済接合剤Ｇ１と第２の塗布済接合剤Ｇ２とを接触させることとしてもよい。

このように構成すると、接合面に接した部分の接合剤の輪郭と、他方の接合剤に接触した部分の接合剤の輪郭との差を抑制することができる。

また、第１９の態様に係る接合部材製造装置として、例えば図１に示すように、上記第１６の態様乃至第１８の態様のいずれか１つの態様に係る接合部材製造装置１００において、第１の保持具２０Ａ及び第２の保持具２０Ｂを収容するチャンバ５１と；チャンバ５１の内部を所定の真空度に減圧する減圧装置５３とを備え；制御装置９０は、減圧装置５３を作動させてチャンバ５１の内部を所定の真空度に減圧したうえで、第１の塗布済接合剤Ｇ１と第２の塗布済接合剤Ｇ２とを接触させて第１の接合面Ｄｆと第２の接合面Ｅｆとが接近する方向に押圧する。

このように構成すると、接合部分に気泡が入ることを抑制することができる。

本発明によれば、吐出口が形成された部分の第１の対向面の外縁と吐出口形成溝との間の距離が短いので、塗布物質の塗布幅の外側近傍の塗布対象面に突起物がある場合でも、ダイヘッドが突起物に干渉せずに塗布物質を塗布することが可能になる。

本発明の実施の形態に係る接合部材製造装置の概略構成を示す概念図である。 （Ａ）は接合部材の構成を例示する断面図、（Ｂ）は第２部材の断面図、（Ｃ）は第２部材の平面図である。 塗布装置の概略構成を示す側面図である。 ダイヘッドの構成を示す図であり、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は第１対向面の平面図、（Ｃ）は吐出口形成溝の部分拡大図である。 接合部材を製造する方法の手順を示すフローチャートである。 （Ａ）は接着剤の塗布態様の変形例を示す平面図、（Ｂ）は部分垂直断面図である。

この出願は、日本国で２０１６年２月１９日に出願された特願２０１６−０３０１１０号及び日本国で２０１６年２月１９日に出願された特願２０１６−０３０１１１号に基づいており、その内容は本出願の内容として、その一部を形成する。
また、本発明は以下の詳細な説明によりさらに完全に理解できるであろう。本発明のさらなる応用範囲は、以下の詳細な説明により明らかとなろう。しかしながら、詳細な説明及び特定の実例は、本発明の望ましい実施の形態であり、説明の目的のためにのみ記載されているものである。この詳細な説明から、種々の変更、改変が、本発明の精神と範囲内で、当業者にとって明らかであるからである。
出願人は、記載された実施の形態のいずれをも公衆に献上する意図はなく、開示された改変、代替案のうち、特許請求の範囲内に文言上含まれないかもしれないものも、均等論下での発明の一部とする。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。なお、各図において互いに同一又は相当する部材には同一あるいは類似の符号を付し、重複した説明は省略する。

まず図１を参照して、本発明の実施の形態に係る接合部材製造装置１００を説明する。図１は、接合部材製造装置１００の概略構成を示す概念図である。接合部材製造装置１００は、第１の部材（以下「第１部材Ｄ」という）と第２の部材（以下「第２部材Ｅ」という）とを、接合剤としての接着剤Ｇを介して接合させた接合部材を製造する装置である。ここで、接合部材製造装置１００の詳細な説明に先立って、接合部材製造装置１００で製造される接合部材の構成を例示する。

図２（Ａ）は、接合部材Ｃの構成を例示する断面図である。図２（Ｂ）は、第２部材Ｅに接着剤Ｇを塗布した状態を示す断面図である。図２（Ｃ）は、第２部材Ｅの平面図である。接合部材Ｃは、第１部材Ｄと第２部材Ｅとが、あらかじめ決められた厚さの接着剤Ｇの層（接着剤層ＧＬ）を挟んで構成された部品である。本実施の形態では、第１部材Ｄが板状に形成された液晶モジュールであり、第２部材Ｅが液晶を保護するカバーガラスであるとして説明する。第１部材Ｄは、液晶を含む板状の部品の一方の表面が、接着剤Ｇを介して第２部材Ｅと接合する第１接合面Ｄｆとなっている。第１部材Ｄは、本実施の形態では、第１接合面Ｄｆ及びその反対側の裏面共に、平坦に形成されている。第２部材Ｅは、矩形のガラス板Ｅｇの外周全体が外枠Ｅｒで囲まれて構成されている。第２部材Ｅは、一方の面が、接着剤Ｇを介して第１接合面Ｄｆに接合する第２接合面Ｅｆとなっている。第２接合面Ｅｆは、本実施の形態では、第２接合面Ｅｆ及びその反対側の裏面共に、平坦に形成されている。接着剤Ｇは、本実施の形態では、第１部材Ｄ及び／又は第２部材Ｅに塗布されるときは流動性を有する所定の粘度の液体状となっており、紫外線を照射して硬化させたときに粘着特性を発現する樹脂である。接着剤層ＧＬは、第１部材Ｄと第２部材Ｅとを貼り合わせる前は流動性を有していた接着剤Ｇが、粘度が増加することにより流動性を失って形成されたものである。接着剤層ＧＬは、第１部材Ｄと第２部材Ｅとを貼り付けると共に、硬化した際には第１部材Ｄと第２部材Ｅとの間隔を適切な間隔に保持する中間層の役割をするものである。接着剤層ＧＬの厚さは、製品としての接合部材Ｃに求められる厚さであり、接合部材Ｃの種類に応じてあらかじめ決められている。接着剤層ＧＬの厚さは、概ね１００μｍ以上、典型的には１５０μｍ程度である。

図２（Ｂ）に示すように、接着剤Ｇは、部材に塗布すると、断面形状が台形状となる。図２（Ｂ）は、第２部材Ｅに接着剤Ｇを塗布した例であるが、第２接合面Ｅｆに塗布された接着剤Ｇは、その外縁が、第２接合面Ｅｆから離れるほど内側となるように、側面Ｇｓが傾斜する。側面Ｇｓの傾斜の程度（第２接合面Ｅｆの法線とのなす角度）は、接着剤Ｇの特性としてチキソ性があるほど及び粘度が高いほど小さくなる傾向にあるが、チキソ性及び／又は粘度は接着剤Ｇの塗布作業性と相関があるので、無条件にチキソ性及び／又は粘度を上げるのは難しい。このように、側面Ｇｓの傾斜の程度は、接着剤Ｇの特性に影響を受ける。接着剤Ｇの例として、ＯＣＲやＬＯＣＡ等の透明樹脂を用いることができる。側面Ｇｓの傾斜は、塗布された接着剤Ｇの厚さが変化しても一定である。このため、塗布された接着剤Ｇが厚くなると、接着剤Ｇの表面Ｇｆと側面Ｇｓとの交点Ｇｐの位置が、第２接合面Ｅｆに投影したときに、外枠Ｅｒ上からガラス板Ｅｇ上に移動し得る（図２（Ｂ）に破線で示した接着剤Ｇを参照）。第２接合面Ｅｆに投影した交点Ｇｐの位置がガラス板Ｅｇ上に来ると、接合部材Ｃとなったときに、接着剤Ｇの外縁（輪郭）がガラス板Ｅｇから視認できてしまい、見栄えが悪くなってしまう。本実施の形態では、このような不都合を回避するため、第１部材Ｄ及び第２部材Ｅのそれぞれに接着剤Ｇを塗布し、一方の部材に塗布された接着剤Ｇが厚くなりすぎないようにしている。

再び図１に戻って接合部材製造装置１００の説明を続ける。接合部材製造装置１００は、塗布装置１と、第１部材Ｄを保持する第１の保持具としての第１吸着ステージ２０Ａと、第２部材Ｅを保持する第２の保持具としての第２吸着ステージ２０Ｂと、半硬化装置としてのＵＶ照射器４５と、第１部材Ｄと第２部材Ｅとの貼り合わせが行われるチャンバ５１と、制御装置９０とを備えている。接合部材製造装置１００は、本実施の形態では、塗布装置１として、第１部材Ｄに接着剤Ｇを塗布する第１塗布装置１Ａと、第２部材Ｅに接着剤Ｇを塗布する第２塗布装置１Ｂとがそれぞれ設けられているが、両者は同じ構成であるため、共通の性質を説明する場合は単に塗布装置１と総称する。

ここで図３を参照して、塗布装置１の詳細を説明する。図３は、塗布装置１の概略構成を示す側面図である。塗布装置１は、第１部材Ｄあるいは第２部材Ｅに接着剤Ｇを塗布する装置である。本実施の形態では、第１部材Ｄ及び第２部材Ｅが塗布対象物に相当し、接着剤Ｇが塗布物質に相当する。ここでの説明では、塗布対象物が第２部材Ｅであるとして、第２部材Ｅに接着剤Ｇを塗布することとする。塗布装置１は、ダイヘッド１０と、ダイヘッド１０に接着剤Ｇを供給する接着剤供給部１６と、第２部材Ｅが載置される載置台２０と、載置台２０をダイヘッド１０に対して移動させる移動装置３０と、載置台２０に載置された第２部材Ｅの位置を把握する位置確認装置としてのカメラ４０と、制御装置９０とを備えている。塗布装置１が備える制御装置９０は、本実施の形態では、接合部材製造装置１００（図１参照）が備える制御装置９０と兼用となっているが、塗布装置１と接合部材製造装置１００（図１参照）とで別個の制御装置を備えていてもよい。

図４に、ダイヘッド１０の構造を示す。図４（Ａ）は、ダイヘッド１０の側面図である。ダイヘッド１０は、第１ヘッド１１と第２ヘッド１２とに分割可能に構成されている。ダイヘッド１０は、第１ヘッド１１の第１の対向面（以下「第１対向面１１ｆ」という。）と、第２ヘッド１２の第２の対向面（以下「第２対向面１２ｆ」という。）とが向かい合って接触して連結されている。第１ヘッド１１は第１のヘッド構成部材に相当し、第２ヘッド１２は第２のヘッド構成部材に相当する。ダイヘッド１０は、接着剤Ｇの塗布幅を調整するためのシム板が設けられていない。シム板を設けないことで、吐出口１０ｈまわりの構成を簡潔にすることが可能となる。ダイヘッド１０は、概ね細長い直方体状に形成されている。ダイヘッド１０は、直方体状の複数の面のうちの１つの面に突出した部分が形成され、当該突出した部分の先端に吐出口１０ｈが形成されている。先端に吐出口１０ｈが形成された突出部は、第１ヘッド１１と第２ヘッド１２との境界が現れる長方形状の面の一つの中央部に形成されている。吐出口１０ｈは、直方体状の長手方向に沿って、かつ、第１ヘッド１１と第２ヘッド１２との境界に沿って延びている。吐出口１０ｈは、接着剤Ｇをダイヘッド１０の外に吐出する細長い開口（スリット）である。また、ダイヘッド１０の内部には、接着剤Ｇをダイヘッド１０内に一旦保留する保留部１０ｒが形成されている。

図４（Ｂ）は、第１ヘッド１１の第１対向面１１ｆを示す図である。第１対向面１１ｆは、本実施の形態では、概ね長方形状に形成されており、さらに長方形の一方の長辺の中央部分において当該長方形の外側に突出した第１突出部１１ｐが形成されている。第１対向面１１ｆの概ね長方形状に形成された部分を、以下の説明の便宜上、第１主部１１ｂということとする。したがって、第１対向面１１ｆは、第１主部１１ｂと第１突出部１１ｐとを含んでいる。第１突出部１１ｐの突出する高さ１１ｐＨは、第２部材Ｅへの接着剤Ｇの塗布幅の外側に存在し得る突起物を回避できる高さであり、より多種の突起物の回避を可能にする観点からは３ｍｍ以上、好ましくは４ｍｍ以上、より好ましくは５ｍｍ以上とするとよく、接着剤Ｇ吐出時に第１突出部１１ｐにかかる圧力を抑制する観点からは８ｍｍ以下、好ましくは７ｍｍ以下、より好ましくは６ｍｍ以下とするとよい。第１突出部１１ｐの幅１１ｐＷは、概ね接着剤Ｇの第２部材Ｅへの塗布幅である。本実施の形態では、幅１１ｐＷは、第１主部１１ｂの長方形状の長辺の長さよりも短く、当該長辺に対して概ね０．４倍に形成されているが、当該長辺に対して０．３〜０．５倍、あるいは０．６倍程度としてもよい。第１対向面１１ｆには、吐出口１０ｈを形成する吐出口形成溝１１ｈと、保留部１０ｒを形成する保留部形成溝１１ｒと、吐出口形成溝１１ｈと保留部形成溝１１ｒとを連絡する連絡部形成溝１１ｃが形成されている。これらの各溝１１ｈ、１１ｒ、１１ｃは、第１対向面１１ｆから裏側の面に向かって掘られることで形成されている。

吐出口形成溝１１ｈは、第１突出部１１ｐの長手方向両端を除いた全体に形成されている。図４（Ｃ）の部分拡大図に示すように、第１突出部１１ｐの先端（吐出口１０ｈが形成される部分）における、第１突出部１１ｐの第１外縁１１ｅと吐出口形成溝１１ｈとの間の距離１１ｅＬ（以下「端部厚１１ｅＬ」という。）は、０．１ｍｍ〜１．０ｍｍに形成されている。第１外縁１１ｅに沿った吐出口形成溝１１ｈの輪郭は、第１主部１１ｂに向けてわずかに（概ね端部厚１１ｅＬの３０〜５０％程度）長手方向内側に張り出していてもよい。吐出口形成溝１１ｈの深さ（第１対向面１１ｆから、その裏面に向かう方向の距離）は、第１突出部１１ｐの構成上浅くなるが、第２部材Ｅに塗布する接着剤Ｇの厚さや第２部材Ｅに対するダイヘッド１０の移動速度等を考慮して決定するとよい。図４（Ｂ）に示すように、保留部形成溝１１ｒは、第１主部１１ｂを短辺が延びる方向で仮想的に概ね三等分したうちの第１突出部１１ｐ寄りの領域に、第１突出部１１ｐと間隔をあけて形成されている。保留部形成溝１１ｒの長手方向の長さ１１ｒＷは、典型的には吐出口形成溝１１ｈが形成された第１突出部１１ｐの幅１１ｐＷよりも長くなっており、本実施の形態では第１主部１１ｂの長手方向の長さの概ね２／３となっている。連絡部形成溝１１ｃは、概ね吐出口形成溝１１ｈの幅で保留部形成溝１１ｒに到達しており、保留部形成溝１１ｒから吐出口形成溝１１ｈまでの接着剤Ｇの流れを円滑にするために、保留部形成溝１１ｒの近辺で幅が広がっていてもよい。本実施の形態では、連絡部形成溝１１ｃの深さは吐出口形成溝１１ｈの深さと同じであり、保留部形成溝１１ｒの深さは吐出口形成溝１１ｈの深さよりも深い。保留部形成溝１１ｒに対して連絡部形成溝１１ｃとは反対側の第１ヘッド１１には、接着剤Ｇをダイヘッド１０の外部から保留部１０ｒに導く投入流路１１ｔが形成されている。投入流路１１ｔは、典型的には第１対向面１１ｆに現れておらず、第１ヘッド１１の一面から第１ヘッド１１の内部を貫通して保留部形成溝１１ｒに到達している。

第２ヘッド１２の第２対向面１２ｆは、その輪郭が、典型的には第１対向面１１ｆと合同に形成されているが、第１対向面１１ｆとは異なる形であってもよい。第２対向面１２ｆは、本実施の形態では、輪郭が第１対向面１１ｆと合同に形成されているが、第１対向面１１ｆに形成されていた吐出口形成溝１１ｈ、保留部形成溝１１ｒ、及び連絡部形成溝１１ｃに相当する溝は形成されておらず、平坦に形成されている。しかしながら、第２対向面１２ｆにもこれらの溝１１ｈ、１１ｒ、１１ｃに相当する溝の１つ以上が形成されていてもよい。第２ヘッド１２には、第１ヘッド１１の第１突出部１１ｐに対応する、第２突出部１２ｐが形成されている。第２突出部１２ｐの高さ及び幅は、第１突出部１１ｐと同様である。第１ヘッド１１と第２ヘッド１２とは、締結用のボルト１３で相互に固定されている。本実施の形態では、第１ヘッド１１に、第１対向面１１ｆからその裏面に貫通するボルト貫通孔１１ｘが形成されており、第２対向面１２ｆには、第１対向面１１ｆと対面したときにボルト貫通孔１１ｘに対応する位置に、ボルト１３が螺合するねじ山（不図示）が形成されている。第１対向面１１ｆに形成されたボルト貫通孔１１ｘは、本実施の形態では、連絡部形成溝１１ｃ側を除いて、矩形の保留部形成溝１１ｒの三辺を囲むように配置されている。このようにボルト貫通孔１１ｘが配置されていることで、第１ヘッド１１と第２ヘッド１２との連結を強固に行うことができ、接着剤Ｇを吐出する際に接着剤Ｇが流れる溝１１ｈ、１１ｒ、１１ｃの内圧が上昇しても第１ヘッド１１と第２ヘッド１２とが離れてしまうことを抑制することができる。

再び図３に戻って、塗布装置１の説明を続ける。以下の塗布装置１の説明において、ダイヘッド１０の構成に言及しているときは、適宜図４を参照することとする。接着剤供給部１６は、接着剤Ｇを貯留する接着剤タンク（不図示）を有している。接着剤供給部１６は、また、貯留されている接着剤Ｇをダイヘッド１０に向けて圧送する圧送機（不図示）を有している。圧送機として、ポンプを用いることができる。接着剤供給部１６が有する圧送機は、接着剤Ｇの吐出圧力を変えることで、接着剤１３の吐出流量を変えることができるように構成されている。なお、接着剤Ｇの吐出圧力は、ポンプに代えて気圧によって変化させる構成としてもよい。接着剤供給部１６は、接着剤流路１６ｐを介してダイヘッド１０と接続されており、接着剤流路１６ｐを介して接着剤Ｇをダイヘッド１０に供給することができるように構成されている。

載置台２０は、第２部材Ｅに接着剤Ｇが塗布される際に、第２部材Ｅが置かれる台である。載置台２０は、典型的には、平面視において第２部材Ｅを包含する大きさで、板状に形成されている。載置台２０は、第２部材Ｅが載置される面が載置面２０ｆとなっている。載置面２０ｆは、載置される第２部材Ｅに適合する形状になっており、本実施の形態では平面に形成されている。載置台２０は、典型的には、載置面２０ｆが上向きで水平になるように配設されている。

移動装置３０は、載置台２０をダイヘッド１０に対して相対的に移動させる装置であり、本実施の形態では、位置が固定されたダイヘッド１０に対して載置台２０を移動させる装置となっている。移動装置３０は、送り装置３１と、調節装置３２とを含んでいる。送り装置３１の上には調節装置３２が設けられており、調節装置３２の上には載置台２０が取り付けられている。送り装置３１は、調節装置３２を介して取り付けられた載置台２０を、ダイヘッド１０の吐出口１０ｈが延びる方向に対して水平に直行する方向（以下「Ｘ方向」という。）で往復移動させることができるように構成されている。調節装置３２は、ダイヘッド１０の吐出口１０ｈが延びる方向（Ｘ方向に対して水平に直行する方向）及び鉛直方向に載置台２０を往復移動させると共に、載置台２０の図心を通って鉛直に延びる仮想軸線３２ａまわりに載置台２０を回転移動させることができるように構成されている。

カメラ４０は、ダイヘッド１０に対してＸ方向に離れた、接着剤Ｇが塗布される前の第２部材Ｅが載置された載置台２０の待機位置の上方に設置されている。カメラ４０は、接着剤Ｇを塗布する対象の第２部材Ｅの面である第２接合面Ｅｆ（塗布対象面に相当）が矩形である本実施の形態では、載置台２０に載置された第２部材Ｅの対角となる２箇所の角を認識することができるように、合計２台が設置されている。しかしながら、カメラ４０の数は、載置台２０に載置された第２部材Ｅのダイヘッド１０に対する位置を把握することができれば、いくつであってもよい。

制御装置９０は、塗布装置１の動作を司る機器である。制御装置９０は、移動装置３０と信号ケーブル（不図示）で接続されており、載置台２０を水平及び鉛直方向に移動させることができると共に、載置台２０を仮想軸線３２ａまわりに回転移動させることができるように構成されている。制御装置９０は、載置台２０に載置された第２部材Ｅの位置を把握しながら移動装置３０を作動させることで、第２部材Ｅの第２接合面Ｅｆの所定の位置と、ダイヘッド１０の基準位置とが合うように載置台２０を移動させることができる。第２接合面Ｅｆの所定の位置は、典型的には第２接合面Ｅｆの図心である。ダイヘッド１０の基準位置は、典型的には細長い吐出口１０ｈの中央（塗布幅の中心）である。所定の位置と基準位置が合うとは、共に１つの仮想鉛直平面上に存在する状態である。また、制御装置９０は、接着剤供給部１６と信号ケーブル（不図示）で接続されており、接着剤供給部１６からダイヘッド１０への接着剤Ｇの供給の有無の制御及び接着剤Ｇの供給流量の調節を行うことができるように構成されている。また、制御装置９０は、カメラ４０と信号ケーブル（不図示）で接続されており、カメラ４０で得た位置情報を取得することができるように構成されている。

図１に戻って、上述した塗布装置１以外の接合部材製造装置１００の構成を説明する。第１吸着ステージ２０Ａは、典型的には第１部材Ｄを包含する大きさで、板状に形成されている。第１吸着ステージ２０Ａは、載置された第１部材Ｄを吸着保持することができるように、第１部材Ｄが載置されたときに第１部材Ｄに覆われる領域内に、複数の吸引孔（不図示）が形成されている。吸引孔（不図示）は、真空ポンプ（不図示）が配設された流路に接続され、負圧にすることで第１部材Ｄを吸着保持することができるように構成されている。

第２吸着ステージ２０Ｂは、典型的には第２部材Ｅを包含する大きさで、板状に形成されている。第２吸着ステージ２０Ｂは、載置された第２部材Ｅを吸着保持することができるように、第２部材Ｅが載置されたときに第２部材Ｅに覆われる領域内に、複数の吸引孔（不図示）が形成されている。吸引孔（不図示）は、真空ポンプ（不図示）が配設された流路に接続され、負圧にすることで第２部材Ｅを吸着保持することができるように構成されている。第２吸着ステージ２０Ｂは、上述のような第１吸着ステージ２０Ａと同様に構成されているほか、反転可能に構成されている。換言すれば、第２吸着ステージ２０Ｂは、第２部材Ｅが載置される面を、鉛直上向きと鉛直下向きとで切り替えることができるように構成されている。なお、第２吸着ステージ２０Ｂ自身が反転可能に構成されることに代えて、塗布装置１において接着剤Ｇが塗布された第２部材Ｅを反転させる反転機構（反転機）を第２吸着ステージ２０Ｂとは別に設けると共に、第２吸着ステージ２０Ｂが反転された第２部材Ｅを吸着できるように第１吸着ステージ２０Ａに対向して配置されていてもよい。

ＵＶ照射器４５は、紫外線を照射する機器である。ＵＶ照射器４５は、接着剤Ｇに向けて紫外線を照射することで、接着剤Ｇの流動性を失わせて粘度を増加させるために設けられている。ＵＶ照射器４５は、照射する紫外線の強さ及び／又は紫外線を照射する時間を調節することにより、紫外線を照射した接着剤Ｇの粘度（硬化度）を調節することができるように構成されている。ＵＶ照射器４５は、本実施の形態では、第１吸着ステージ２０Ａの上方及び第２吸着ステージ２０Ｂの上方にそれぞれ個別に設置されているが、１つで第１部材Ｄに塗布された接着剤Ｇと第２部材Ｅに塗布された接着剤Ｇの両方に対して紫外線を照射することとしてもよい。

チャンバ５１は、第１吸着ステージ２０Ａ及び第２吸着ステージ２０Ｂを同時に収容することができる大きさに形成されている。チャンバ５１は、第１吸着ステージ２０Ａに吸着保持された第１部材Ｄ及び第２吸着ステージ２０Ｂに吸着保持された第２部材Ｅを出し入れすることができるように、開閉可能に構成されている。チャンバ５１には、吸引管５２が接続されている。吸引管５２には、減圧装置としての真空ポンプ５３が配設されている。チャンバ５１は、真空ポンプ５３を作動させることにより、内部の真空度を調節することができるように構成されている。

塗布装置１と兼用する制御装置９０は、前述した塗布装置１の動作を司る機能のほか、塗布装置１以外の接合部材製造装置１００の動作を司るように構成されている。制御装置９０は、第１吸着ステージ２０Ａ及び第２吸着ステージ２０Ｂと信号ケーブル（不図示）で接続されており、第１部材Ｄ及び第２部材Ｅの保持と解除とを切り替えることができると共に、第２吸着ステージ２０Ｂの反転動作（反転機構を別途設ける場合は反転機構の反転動作）を行うことができるように構成されている。また、制御装置９０は、ＵＶ照射器４５と信号ケーブル（不図示）で接続されており、紫外線の照射の強さ及び照射時間を制御することができるように構成されている。また、制御装置９０は、チャンバ５１及び真空ポンプ５３と信号ケーブル（不図示）で接続されており、チャンバ５１の開閉及び真空ポンプ５３の作動状態（発停）を制御することができるように構成されている。なお、本実施の形態では、塗布装置１のカメラ４０は、塗布装置１外の接合部材製造装置１００内において第１部材Ｄと第２部材Ｅとを貼り合わせる際の位置合わせにも用いられる。

次に図５を参照して、本発明の実施の形態に係る接合部材の製造方法を説明する。図５は、接合部材Ｃを製造する手順を示すフローチャートである。以下に説明する接合部材の製造方法（接合部材Ｃの製法）は、典型的には、これまで説明した接合部材製造装置１００で行われるが、接合部材製造装置１００を用いること以外の手法で行われてもよい。以下に説明する接合部材Ｃの製法は、接合部材製造装置１００の作用の説明を兼ねている。以下の接合部材Ｃの製法の説明において、ダイヘッド１０を含む塗布装置１を備える接合部材製造装置１００の構成あるいは接合部材Ｃの構造に言及しているときは、適宜図１乃至図４を参照することとする。

接合部材Ｃの製造を開始したら、まず、第１部材Ｄを、第１接合面Ｄｆを上に向けて、第１塗布装置１Ａの載置台２０に載置する（載置工程：Ｓ１）。載置台２０への第１部材Ｄの載置は、人の手で行ってもよく、制御装置９０に制御されるロボットハンド（不図示）によって行われてもよい。第１部材Ｄを載置台２０に載置したら、制御装置９０は、移動装置３０を作動させることによって載置台２０を移動させると共に、第１部材Ｄがダイヘッド１０に対して決められた位置に来たときに吐出口１０ｈから液状の接着剤Ｇを吐出させて、第１接合面Ｄｆに接着剤Ｇを塗布する（第１の塗布工程：Ｓ２）。第１接合面Ｄｆは、塗布対象面に相当する。第１接合面Ｄｆに接着剤Ｇを塗布する際、制御装置９０は、カメラ４０によって載置台２０上の第１部材Ｄの位置を確認して、載置台２０をＸ方向（図３参照）に移動させたときに吐出口１０ｈから吐出された接着剤Ｇが第１接合面Ｄｆの予定された位置に塗布されるように、載置台２０の位置を調節する。また、制御装置９０は、第１接合面Ｄｆに塗布された接着剤Ｇ（以下「第１塗布済接着剤Ｇ１」という。）が第１の所定の厚さとなるように、ダイヘッド１０に形成された吐出口１０ｈの大きさを前提として、接着剤Ｇの吐出圧力を調節する。第１の所定の厚さは後述する。

第１接合面Ｄｆに接着剤Ｇを塗布する際、ダイヘッド１０は、端部厚１１ｅＬ（図４（Ｃ）参照）が０．１ｍｍ〜１．０ｍｍに形成されているので、Ｘ方向に直交する方向における第１接合面Ｄｆの接着剤Ｇが塗布される領域の直近外側に突出したものが存在する場合であっても、当該突出したものにダイヘッド１０が干渉することを回避することができる。ここで、当該突出したものとして、第１部材Ｄの構造として物理的に存在する突出した部分のほか、以下のものが挙げられる。

図６（Ａ）は、接着剤Ｇの塗布態様の変形例を示す平面図である。図６（Ａ）に示す変形例は、部材の接着剤Ｇを塗布する面積が広く、接着剤Ｇを塗布する幅がダイヘッド１０の第１突出部１１ｐの幅１１ｐＷの約２倍となっている。この場合、接着剤Ｇの塗布幅の一方の辺にダイヘッド１０を合わせて図中Ｘ１方向に接着剤Ｇを塗布し（これにより形成されたものを「第１接着剤膜Ｇａ」ということもある）、Ｘ１方向に予定された長さ（第１の所定の長さ）の塗布が完了したら（第１の塗布膜形成工程）、ダイヘッドを塗布幅方向に移動させてから（ダイヘッド移動工程）、図中Ｘ２方向に接着剤Ｇを塗布し（これにより形成されたものを「第２接着剤膜Ｇｂ」ということもある）、Ｘ２方向に予定された長さ（第２の所定の長さ）の塗布を完了することで（第２の塗布膜形成工程）、予定された部分全体に接着剤Ｇを塗布することができる。なお、本変形例では、第１の所定の長さと第２の所定の長さを同じ長さとしているが、異なる長さであってもよい。このように第１接着剤膜Ｇ１及び第２接着剤膜Ｇ２を形成するとき、シム板を有して吐出口よりも塗布幅方向にダイヘッドの幅が張り出した（ダイヘッド幅が塗布幅よりも大きい）従来のダイヘッドを用いた場合、Ｘ１方向で塗布した接着剤Ｇ（第１接着剤膜Ｇａ）とＸ２方向で塗布した接着剤Ｇ（第２接着剤膜Ｇｂ）との隙間をなくすようにすると、Ｘ２方向に接着剤Ｇを塗布する際に、塗布幅方向に張り出したダイヘッドの部分で塗布済の接着剤Ｇ（第１接着剤膜Ｇａ）の上層部分を削り取ってしまい、Ｘ１方向で塗布した接着剤Ｇ（第１接着剤膜Ｇａ）の厚さとＸ２方向で塗布した接着剤Ｇ（第２接着剤膜Ｇｂ）の厚さとを均一にすることができなかった。

この不具合をより詳しく説明する。第１接着剤膜Ｇａ及び第２接着剤膜Ｇｂをそれぞれ形成するためにダイヘッド１０で接着剤Ｇを塗布したとき、通常、図６（Ｂ）の部分垂直断面に示すように、塗布幅の両端が盛り上がる（図６（Ｂ）では第１接着剤膜Ｇａ及び第２接着剤膜Ｇｂのそれぞれ片端を表示している）。このため、接着剤Ｇを塗布する際は、通常、接着剤Ｇが塗布されたときに表面となる高さ（盛り上がりの内側の一段下がった高さ）よりもダイヘッド１０の先端が高くなるようにすることが好ましい。しかし、接着剤Ｇを塗布する際にダイヘッド１０を塗布対象面（第１接合面Ｄｆ又は第２接合面Ｅｆ）から離しすぎると、塗布済の接着剤Ｇの膜の側辺（塗布幅の軌跡で形成された辺）が波打ってしまう（ぎざぎざしてしまう）。このため、接着剤Ｇを塗布する際、ダイヘッド１０の先端と塗布済の接着剤Ｇの膜の表面（側辺より内側の盛り上がりから下がった平坦な面）との距離Ｈが所定の距離（例えば３０μｍ）以下となるようにするのが好ましい。距離Ｈは、膜厚のコントロールを可能にする観点から、マイナス（接着剤膜の表面よりもダイヘッド１０の先端が塗布対象面に近い状態）とならないように０μｍ以上とするのが好ましい。塗布済の接着剤Ｇの膜の側辺が波打たないように、接着剤Ｇが塗布されたときに膜の表面となる高さにダイヘッド１０の先端を近づけると、第１接着剤膜Ｇａに対して好ましい間隔Ｑで第２接着剤膜Ｇｂを形成する際に、従来のシム板を有するダイヘッド（端部厚が大きいダイヘッド）では、ダイヘッドの先端が第１接着剤膜Ｇａ上方にかかってしまい、表面張力の影響で第１接着剤膜Ｇａがダイヘッドに接触し、第１接着剤膜Ｇａの一部をダイヘッドが削り取ってしまうこととなる。この点、本実施の形態に係るダイヘッド１０によれば、端部厚１１ｅＬ（図４（Ｃ）参照）が０．１ｍｍ〜１．０ｍｍに形成されているので、間隔Ｑを２ｍｍ以下として、複数列に接着剤Ｇを塗布する際に各列間の隙間を実質的になくすようにしても、塗布済の接着剤Ｇの上層部分を削り取ることが実質的になく、均一に接着剤Ｇを塗布することができる。間隔Ｑは、第１接着剤膜Ｇａを形成する際のダイヘッド１０の吐出口１０ｈの軌跡と第２接着剤膜Ｇｂを形成する際のダイヘッド１０の吐出口１０ｈの軌跡との距離（最短距離）である。間隔Ｑは、塗布済の接着剤Ｇにダイヘッド１０が接触してしまう確率をより低減させる観点から、端部厚１１ｅＬより大きく設定してもよい。本変形のように第１接着剤膜Ｇａに隣接して第２接着剤膜Ｇｂを形成する場合、接合部材Ｃ（図２参照）となったときに接着剤Ｇの不連続部分が生じることを抑制する観点から、間隔Ｑを１ｍｍ以下とすることがより好ましい。間隔Ｑが２ｍｍ以下であれば、通常、第１接着剤膜Ｇａの表面と第２接着剤膜Ｇｂの表面との間に隙間が形成されていても、塗布対象面付近で第１接着剤膜Ｇ１と第２接着剤膜Ｇ２とが重なり合ってつながり、塗布対象面上では両者の境界がなくなる。また、第２接着剤膜Ｇ２の形成直後は第１接着剤膜Ｇａの表面と第２接着剤膜Ｇｂの表面との間に隙間が形成されていても、所定の時間放置する（放置工程）ことにより、本実施の形態で用いている所定の粘度（概ね１０００〜２００００ｍＰａ・ｓ）の接着剤Ｇは流動して、塗布幅の両端の盛り上がりがなくなると共に両接着剤膜Ｇａ、Ｇｂの表面の間の隙間が埋まってフラットとなる。所定の時間は、接着剤Ｇの粘度に応じて決まり、本実施の形態における所定の粘度の接着剤Ｇを用いている場合は、１分〜２分あるいは２分〜３分あるいは３分〜５分程度である。なお、間隔Ｑは、第１接着剤膜Ｇａ及び第２接着剤膜Ｇｂの厚さ（膜厚）に応じて調節してもよい。また、ダイヘッド１０の先端と塗布対象面とは典型的には接着剤Ｇの塗布時には平行が維持されるが、平行とならない場合は、ダイヘッド１０の先端と第１接着剤膜Ｇａの表面あるいは第２接着剤膜Ｇｂの表面との距離Ｈは、最大となる部分が所定の距離（例えば３０μｍ）以下となるようにするとよい。

なお、図６に示すように、第１接着剤膜Ｇａに隣接して第２接着剤膜Ｇｂを塗布する際、ダイヘッド１０の吐出口１０ｈの細長い方向が、典型的には、接着剤Ｇを塗布する方向Ｘ１、Ｘ２に対して直交する向きにダイヘッド１０が設置されるが、方向Ｘ１、Ｘ２に対して直交以外の角度となる向きにダイヘッド１０が設置されることとしてもよい。また、第１接着剤膜Ｇａを形成した後でダイヘッド１０を塗布幅方向に移動させる際（ダイヘッド移動工程の際）、第１の塗布膜形成工程の完了後に吐出口１０ｈからの接着剤Ｇの吐出を停止しつつダイヘッド１０のＸ１方向への移動を適切な時間継続した後でダイヘッド移動工程を行い、その後、吐出口１０ｈからの接着剤Ｇの吐出を停止しつつダイヘッド１０をＸ２方向へ移動させてダイヘッド１０が適切な位置に到達したときに吐出口１０ｈからの接着剤Ｇの吐出を開始して第２の塗布膜形成工程を行うこととしてもよい。ダイヘッド移動工程の際、典型的にはダイヘッド１０を方向Ｘ１、Ｘ２に対して直交する方向に移動させるが、方向Ｘ１、Ｘ２に対して直交以外の角度となる方向に移動させることとしてもよい。なお、ダイヘッド１０の吐出口１０ｈの細長い方向が、方向Ｘ１、Ｘ２に対して直交する向きにダイヘッド１０が設置された場合、ダイヘッド移動工程においてダイヘッド１０を方向Ｘ１、Ｘ２に対して直交する方向に移動させることは、ダイヘッド１０を吐出口１０ｈの細長い方向に移動させることとなる。

再び主に図５に戻って、接合部材Ｃの製法の説明を続ける。第１接合面Ｄｆに接着剤Ｇを塗布したら、第１部材Ｄを載置台２０から第１吸着ステージ２０Ａへ移動し、第１部材Ｄを第１吸着ステージ２０Ａに吸着保持させる（Ｓ３）。第１吸着ステージ２０Ａへの第１部材Ｄの移動は、人の手で行ってもよく、制御装置９０に制御されるロボットハンド（不図示）によって行われてもよい。第１吸着ステージ２０Ａに第１部材Ｄを移動させたら、第２部材Ｅを、第２接合面Ｅｆを上に向けて、第２塗布装置１Ｂの載置台２０に載置する（載置工程：Ｓ４）。第２部材Ｅの載置台２０への載置は、典型的には第１部材Ｄを載置台２０へ載置したときと同じ要領で行われる。第２部材Ｅを載置台２０に載置したら、制御装置９０は、典型的には第１接合面Ｄｆに接着剤Ｇを塗布したときと同じ要領で、第２接合面Ｅｆに接着剤Ｇを塗布する（第２の塗布工程：Ｓ５）。このとき、制御装置９０は、第２接合面Ｅｆに塗布された接着剤Ｇ（以下「第２塗布済接着剤Ｇ２」という。）が第２の所定の厚さとなるように、ダイヘッド１０に形成された吐出口１０ｈの大きさを前提として、接着剤Ｇの吐出圧力を調節する。

ここで、前述の第１の所定の厚さ及び上述の第２の所定の厚さを説明する。前述のように、部材に接着剤Ｇを塗布すると側面Ｇｓが傾斜するため（図２（Ｂ）参照）、接着剤Ｇが厚くなるほど接着剤Ｇの表面Ｇｆと側面Ｇｓとの交点Ｇｐの位置が内側になる。後の工程で、第１塗布済接着剤Ｇ１と第２塗布済接着剤Ｇ２とを向かい合わせて接触させると、各接着剤Ｇの交点Ｇｐのうちのより内側にある方のものが、輪郭として現れ得る。本実施の形態では、当該輪郭が、第２部材Ｅの外枠Ｅｒの内側にあるガラス板Ｅｇから視認できないように、外枠Ｅｒ内で収まることを意図する。他方、交点Ｇｐをより外側にしようとして部材に接着剤Ｇが接する部分の面積を広げようとしても、各部材Ｄ、Ｅの外縁よりも広げることは現実的ではない。上記の事情をふまえて、第１の所定の厚さは、第１塗布済接着剤Ｇ１の交点Ｇｐが連なって形成される輪郭が、第２塗布済接着剤Ｇ２に接触したときにガラス板Ｅｇの外周を包含し（ガラス板Ｅｇを丸ごと含み）、かつ、第１接合面Ｄｆから第１塗布済接着剤Ｇ１がはみ出さない厚さである。第２の所定の厚さは、第２塗布済接着剤Ｇ２の交点Ｇｐが連なって形成される輪郭が、第１塗布済接着剤Ｇ１に接触したときにガラス板Ｅｇの外周を包含し、かつ、第２接合面Ｅｆから第２塗布済接着剤Ｇ２がはみ出さない厚さである。本実施の形態では、第１の所定の厚さ及び第２の所定の厚さ共に、接合部材Ｃの接着剤層ＧＬの厚さとしてあらかじめ決められている厚さの半分の厚さとしている。なお、本実施の形態では、ガラス板Ｅｇの外周（ガラス板Ｅｇと外枠Ｅｒとの境界）が、第１の所定の領域及び第２の所定の領域に相当する。

第２接合面Ｅｆに接着剤Ｇを塗布したら、第２部材Ｅを載置台２０から第２吸着ステージ２０Ｂへ移動し、第２部材Ｅを第２吸着ステージ２０Ｂに吸着保持させる（Ｓ６）。第２吸着ステージ２０Ｂへの第２部材Ｅの移動は、人の手で行ってもよく、制御装置９０に制御されるロボットハンド（不図示）によって行われてもよい。第２吸着ステージ２０Ｂが、自身が反転せずに第１吸着ステージ２０Ａに対向して配置されている場合は、ロボットハンド（不図示）が反転機構として機能するように構成してもよい。第２部材Ｅを第２吸着ステージ２０Ｂに移動したら、第１塗布済接着剤Ｇ１に対してＵＶ照射器４５で紫外線を照射して第１塗布済接着剤Ｇ１を半硬化させ（第１の半硬化工程：Ｓ７）、また、第２塗布済接着剤Ｇ２に対してＵＶ照射器４５で紫外線を照射して第２塗布済接着剤Ｇ２を半硬化させる（第２の半硬化工程：Ｓ８）。ここでいう半硬化は、第１塗布済接着剤Ｇ１と第２塗布済接着剤Ｇ２とを接触させたときに相互に接合することができる余地を残しつつ、接着剤Ｇが塗布された部材Ｄ、Ｅを傾けあるいは逆さにしても接着剤Ｇが流れることがない（変形することがない）程度に粘度を増加させることを意図している。第１の半硬化工程（Ｓ７）と第２の半硬化工程（Ｓ８）とは、並行して行われてもよく、順序が逆であってもよい。なお、図５では、便宜上、第１の半硬化工程（Ｓ７）は、第２部材Ｅを吸着保持させる工程（Ｓ６）の後に行うこととしているが、第２部材Ｅを吸着保持させる工程（Ｓ６）の終了を待たずに第１部材Ｄを吸着保持させる工程（Ｓ３）の後適時に行ってもよい。また、本実施の形態のように、第１部材Ｄと第２部材Ｅとが異なる場所で処理される場合は、第１部材Ｄを載置する工程（Ｓ１）〜第１部材Ｄを吸着保持させる工程（Ｓ３）（及び第１の半硬化工程（Ｓ７））と、第２部材Ｅを載置する工程（Ｓ４）〜第２部材Ｅを吸着保持させる工程（Ｓ６）（及び第２の半硬化工程（Ｓ８））とを並行して行ってもよい。

次に、制御装置９０は、カメラ４０で確認しながら、第１吸着ステージ２０Ａに吸着保持された第１部材Ｄの配置を調節し（第１の配置調節工程：Ｓ９）、また、第２吸着ステージ２０Ｂに吸着保持された第２部材Ｅの配置を調節する（第２の配置調節工程：Ｓ１０）。本実施の形態では、第１接合面Ｄｆを上向きのままとし、第２接合面Ｅｆを下向きとして第１接合面Ｄｆに対向させて、平面視において、第１塗布済接着剤Ｇ１の交点Ｇｐ（図２（Ｂ）参照）を連ねた輪郭が第２部材Ｅのガラス板Ｅｇを包含するように、かつ、第１部材Ｄの外縁と第２部材Ｅの外縁とが一致するように、第１部材Ｄ及び第２部材Ｅの配置を調節する。このとき、第１塗布済接着剤Ｇ１と第２塗布済接着剤Ｇ２とは、未だ接触していない。第１部材Ｄ及び第２部材Ｅの配置を調節したら、第１部材Ｄ及び第２部材Ｅをチャンバ５１内に収容する（Ｓ１１）。第１部材Ｄ及び第２部材Ｅのチャンバ５１内への収容は、人の手で行ってもよく、制御装置９０に制御されるロボットハンド（不図示）によって行われてもよい。

第１部材Ｄ及び第２部材Ｅをチャンバ５１内に収容したら、チャンバ５１を密閉し、真空ポンプ５３を作動させて、チャンバ５１内が所定の真空度となるようにチャンバ５１内の圧力を低下させる（Ｓ１２）。ここでの所定の真空度は、第１塗布済接着剤Ｇ１と第２塗布済接着剤Ｇ２とを接触させたときに接着剤Ｇの内部に気泡が存在すること（ボイドが発生すること）を抑制することができる程度の圧力である。チャンバ５１内を所定の真空度にしたら、第１塗布済接着剤Ｇ１と第２塗布済接着剤Ｇ２とを接触させ、第１部材Ｄと第２部材Ｅとを貼り合わせる（貼合工程：Ｓ１３）。第１部材Ｄと第２部材Ｅとの貼り合わせは、典型的には、第２部材Ｅを吸着保持している第２吸着ステージ２０Ｂを鉛直下方に移動させることにより行われる。このとき、第１塗布済接着剤Ｇ１が第１の所定の厚さであり、第２塗布済接着剤Ｇ２が第２の所定の厚さであるので、第１塗布済接着剤Ｇ１と第２塗布済接着剤Ｇ２とが接触した面の外縁（輪郭）が第２部材Ｅのガラス板Ｅｇの外側の外枠Ｅｒ内に収まることとなり、当該外縁（輪郭）がガラス板Ｅｇから視認できてしまうことを回避することができる。

第１部材Ｄと第２部材Ｅとを貼り合わせたら、第２部材Ｅを第１部材Ｄに向けて相対的に押圧する（Ｓ１４）。押圧工程（Ｓ１４）は、第１部材Ｄと第２部材Ｅとに挟まれた接着剤Ｇが、展延すると共に、あらかじめ決められた厚さとなるように行われる。押圧工程（Ｓ１４）を行うことにより、コーティング面積と接液面積との差を抑制することができる。押圧工程（Ｓ１４）を行ったら、ＵＶ照射器４５を用いて紫外線を接着剤Ｇに照射して、接着剤Ｇを硬化させる（Ｓ１５）。接着剤Ｇが硬化してあらかじめ決められた厚さの接着剤層ＧＬになると、接着剤層ＧＬによって第１部材Ｄと第２部材Ｅとが固定され、接合部材Ｃとなる。製造された接合部材Ｃは、チャンバ５１から取り出される（Ｓ１６）。接合部材Ｃがチャンバ５１から取り出される際は、真空ポンプ５３が停止され、チャンバ５１内外の圧力差が解消してから、チャンバ５１が開けられる。真空ポンプ５３を停止するタイミングは、押圧工程（Ｓ１４）が行われてからチャンバ５１が開けられるまでのいずれかとすることができる。チャンバ５１内からの接合部材Ｃの取り出しは、人の手で行ってもよく、制御装置９０に制御されるロボットハンド（不図示）によって行われてもよい。

以上で説明したように、本実施の形態に係るダイヘッド１０によれば、端部厚１１ｅＬ（図４（Ｃ）参照）が０．１ｍｍ〜１．０ｍｍに形成されているので、Ｘ方向に直交する方向における第１接合面Ｄｆの接着剤Ｇが塗布される領域の直近外側に突出したものが存在する場合であっても、当該突出したものにダイヘッド１０が干渉することを回避することができる。また、本実施の形態に係る塗布装置１によれば、部材Ｄ、Ｅに接着剤Ｇを塗布する際、カメラ４０によって載置台２０上の部材Ｄ、Ｅの位置を確認するので、部材Ｄ、Ｅの所定の位置に接着剤Ｇを塗布することができる。また、本実施の形態に係る接合部材製造装置１００によれば、第１部材Ｄ及び第２部材Ｅの双方に、ガラス板Ｅｇの外縁（所定の領域）を包含しつつ接合面Ｄｆ、Ｅｆからはみ出さない所定の厚さで接着剤Ｇを塗布して第１部材Ｄと第２部材Ｅとを貼り合わせるので、第１塗布済接着剤Ｇ１と第２塗布済接着剤Ｇ２とが接触したときに輪郭がガラス板Ｅｇから視認できてしまうことを回避しつつ、あらかじめ決められた厚さの接着剤層ＧＬを有する接合部材Ｃを製造することができる。

以上の説明では、接着剤Ｇが、流動性を有する所定の粘度の液体状のものに対して、紫外線を照射すると硬化して（粘度が増加して）粘着特性を発現するものであることとしたが、紫外線を照射することに代えて、あるいは紫外線を照射すると共に、加熱すると硬化して（粘度が増加して）粘着特性を発現するものであってもよい。

以上の説明では、保留部形成溝１１ｒの長手方向の長さ１１ｒＷが、吐出口形成溝１１ｈが形成された第１突出部１１ｐの幅１１ｐＷよりも長くなっていることとしたが、幅１１ｐＷよりも短くてもよく、吐出口形成溝１１ｈの長手方向の長さと同じでもよい。

以上の説明では、移動装置３０が、位置が固定されたダイヘッド１０に対して載置台２０を移動させることとしたが、位置が固定された載置台２０に対してダイヘッド１０を移動させることとしてもよく、ダイヘッド１０及び載置台２０の双方を相互に移動させることとしてもよい。

以上の説明では、接合部材製造装置１００が備える塗布装置１が、第１部材Ｄに接着剤Ｇを塗布する第１塗布装置１Ａと、第２部材Ｅに接着剤Ｇを塗布する第２塗布装置１Ｂとがそれぞれ設けられているとしたが、１つの塗布装置１で第１部材Ｄと第２部材Ｅとのそれぞれに接着剤Ｇを塗布することとしてもよい。この場合は、第１の塗布装置が第２の塗布装置を兼ねることとなる。あるいは、塗布装置１を構成する要素の一部を兼用することとしてもよい。例えば、載置台２０及び移動装置３０は、第１部材Ｄ用と第２部材Ｅ用とでそれぞれ設け、ダイヘッド１０、接着剤供給部１６、及びカメラ４０を第１部材Ｄ用と第２部材Ｅ用とで兼用することとしてもよい。又は、ダイヘッド１０、接着剤供給部１６、カメラ４０のうちの１つ又は２つを兼用することとしてもよい。

以上の説明では、塗布装置１の載置台２０上で接着剤Ｇが塗布された第１部材Ｄ及び第２部材Ｅを、塗布装置１外の第１吸着ステージ２０Ａ又は第２吸着ステージ２０Ｂに移動させることとしたが、第１部材Ｄを第１吸着ステージ２０Ａ上で吸着保持した状態で接着剤Ｇを塗布し及び／又は第２部材Ｅを第２吸着ステージ２０Ｂ上で吸着保持した状態で接着剤Ｇ塗布することとしてもよい。この場合、第１の保持具及び／又は第２の保持具は、載置台を兼ねることとなり、移動装置３０が設けられることとなる。

以上の説明では、第１部材Ｄと第２部材Ｅとを貼り合わせる前に、第１塗布済接着剤Ｇ１及び第２塗布済接着剤Ｇ２を半硬化させることとしたが、用いる接着剤Ｇの特性や接着剤Ｇが塗布される向き（上向きか下向きか）等を考慮して半硬化させなくても差し支えない場合は、第１塗布済接着剤Ｇ１及び／又は第２塗布済接着剤Ｇ２を半硬化させなくてもよい。第１塗布済接着剤Ｇ１及び第２塗布済接着剤Ｇ２の両方とも半硬化させなくてもよい場合、ＵＶ照射器４５を設置しなくてもよい。しかしながら、接着剤Ｇの特性上半硬化させた方がよい場合は、第１塗布済接着剤Ｇ１及び第２塗布済接着剤Ｇ２の両方とも半硬化させると、第１部材Ｄと第２部材Ｅとを貼り合わせる際に第１塗布済接着剤Ｇ１及び第２塗布済接着剤Ｇ２の形状が変わってしまうことを回避することができ、コーティング面積と接液面積との差を抑制することができるため好ましい。

以上の説明では、第１部材Ｄと第２部材Ｅとの貼り合わせを、所定の真空度に減圧したチャンバ５１内で行うこととしたが、大気圧下で貼り合わせても接着剤Ｇ内に気泡が実質的発生しない等、減圧した環境下で貼り合わせなくても差し支えない場合は、チャンバ５１、吸引管５２、真空ポンプ５３を設置しなくてもよい。

本明細書中で引用する刊行物、特許出願及び特許を含むすべての文献を、各文献を個々に具体的に示し、参照して組み込むのと、また、その内容のすべてをここで述べるのと同じ限度で、ここで参照して組み込む。

本発明の説明に関連して（特に以下の請求項に関連して）用いられる名詞及び同様な指示語の使用は、本明細書中で特に指摘したり、明らかに文脈と矛盾したりしない限り、単数及び複数の両方に及ぶものと解釈される。語句「備える」、「有する」、「含む」及び「包含する」は、特に断りのない限り、オープンエンドターム（すなわち「〜を含むが限らない」という意味）として解釈される。本明細書中の数値範囲の具陳は、本明細書中で特に指摘しない限り、単にその範囲内に該当する各値を個々に言及するための略記法としての役割を果たすことだけを意図しており、各値は、本明細書中で個々に列挙されたかのように、明細書に組み込まれる。本明細書中で説明されるすべての方法は、本明細書中で特に指摘したり、明らかに文脈と矛盾したりしない限り、あらゆる適切な順番で行うことができる。本明細書中で使用するあらゆる例又は例示的な言い回し（例えば「など」）は、特に主張しない限り、単に本発明をよりよく説明することだけを意図し、本発明の範囲に対する制限を設けるものではない。明細書中のいかなる言い回しも、請求項に記載されていない要素を、本発明の実施に不可欠であるものとして示すものとは解釈されないものとする。

本明細書中では、本発明を実施するため本発明者が知っている最良の形態を含め、本発明の好ましい実施の形態について説明している。当業者にとっては、上記説明を読めば、これらの好ましい実施の形態の変形が明らかとなろう。本発明者は、熟練者が適宜このような変形を適用することを期待しており、本明細書中で具体的に説明される以外の方法で本発明が実施されることを予定している。したがって本発明は、準拠法で許されているように、本明細書に添付された請求項に記載の内容の修正及び均等物をすべて含む。さらに、本明細書中で特に指摘したり、明らかに文脈と矛盾したりしない限り、すべての変形における上記要素のいずれの組合せも本発明に包含される。

１ 塗布装置
１０ ダイヘッド
１０ｈ 吐出口
１０ｒ 保留部
１１ 第１ヘッド
１１ｃ 連絡部形成溝
１１ｅ 第１外縁
１１ｅＬ 端部厚
１１ｆ 第１対向面
１１ｈ 吐出口形成溝
１１ｒ 保留部形成溝
１２ 第２ヘッド
１２ｆ 第２対向面
２０ 載置台
２０Ａ 第１吸着ステージ
２０Ｂ 第２吸着ステージ
３０ 移動装置
４０ カメラ
４５ ＵＶ照射器
５１ チャンバ
５３ 真空ポンプ
９０ 制御装置
１００ 接合部材製造装置
Ｄ 第１部材
Ｄｆ 第１接合面
Ｅ 第２部材
Ｅｆ 第２接合面
Ｇ 接着剤

Claims (10)

1. 塗布対象物の塗布対象面に沿って相対的に移動させながら塗布物質を吐出することで前記塗布対象面に前記塗布物質を塗布するダイヘッドであって、
   第１の対向面が形成された第１のヘッド構成部材と、
   前記第１の対向面に接触した第２の対向面が形成された第２のヘッド構成部材とを備え、
   前記第１の対向面には、前記塗布物質を前記ダイヘッドの外に吐出する細長い吐出口を形成する吐出口形成溝が形成され、
   前記ダイヘッドの１つの面に当該面から外側に突出した突出部が形成されて、前記吐出口は前記突出部の先端に形成され、
   前記吐出口が形成された部分の前記第１の対向面の前記細長い方向における前記第１の対向面の外縁と前記吐出口形成溝との間の距離が０．１ｍｍ〜１．０ｍｍに形成されたダイヘッドを備える塗布装置と；
   前記塗布対象面に前記塗布物質が塗布された前記塗布対象物を吸着保持する第１の吸着ステージと；
   前記塗布対象面に前記塗布物質が塗布された前記塗布対象物を吸着保持する第２の吸着ステージであって、前記第２の吸着ステージに吸着保持された前記塗布対象物を前記第１の吸着ステージに吸着保持された前記塗布対象物に貼り合わせることができるように配置された第２の吸着ステージと；
   紫外線を照射する紫外線照射器と；
   前記第１の吸着ステージ及び前記第２の吸着ステージを同時に収容することができる大きさに形成され、真空ポンプの作動により内部の真空度を調節可能に構成されたチャンバとを備え；
   前記塗布物質は、紫外線が照射されたときに粘度が増加して流動性を失うことができるように構成された；
   接合部材製造装置。
2. 前記第１の対向面には、さらに、前記塗布物質を一旦保留する保留部を形成する保留部形成溝であって前記細長い方向における前記吐出口の幅よりも大きい幅を持つ保留部形成溝と、前記吐出口形成溝と前記保留部形成溝とを連絡する連絡部形成溝とが形成され；
   前記吐出口形成溝が形成された部分の前記第１の対向面の前記細長い方向における幅が、前記保留部形成溝が形成された部分の前記第１の対向面の前記細長い方向における幅よりも小さく形成された；
   請求項１に記載の接合部材製造装置。
3. 前記塗布装置は、
   前記塗布対象物が載置される載置台と、
   前記載置台に載置された前記塗布対象物の、前記ダイヘッドに対する位置を把握する位置確認装置とを備える、
   請求項１又は請求項２に記載の接合部材製造装置。
4. 前記載置台を前記ダイヘッドに対して相対的に移動させる移動装置と；
   前記位置確認装置が確認している状態において、前記載置台に載置された前記塗布対象物の前記塗布対象面の所定の位置と、前記ダイヘッドの基準位置と、が合うように前記移動装置の移動を制御する制御装置とを備える；
   請求項３に記載の接合部材製造装置。
5. 前記移動装置は、前記吐出口が延びる方向及び前記吐出口が延びる方向に対して水平に直交する方向に前記載置台を移動させることができるように構成された；
   請求項４に記載の接合部材製造装置。
6. 前記移動装置は、前記載置台を前記ダイヘッドに対して相対的に、鉛直方向への移動、及び前記載置台の図心を通って鉛直に延びる仮想軸線まわりに回転移動させることができるように構成された；
   請求項４又は請求項５に記載の接合部材製造装置。
7. 前記突出部の突出する高さが３ｍｍ以上８ｍｍ以下に形成された；
   請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の接合部材製造装置。
8. 塗布対象物の塗布対象面に沿って相対的に移動させながら塗布物質を吐出することで前記塗布対象面に前記塗布物質を塗布するダイヘッドであって、
   第１の対向面が形成された第１のヘッド構成部材と、
   前記第１の対向面に接触した第２の対向面が形成された第２のヘッド構成部材とを有し、
   前記第１の対向面には、前記塗布物質を前記ダイヘッドの外に吐出する細長い吐出口を形成する吐出口形成溝が形成され、
   前記ダイヘッドの１つの面に当該面から外側に突出した突出部が形成されて、前記吐出口は前記突出部の先端に形成され、
   前記吐出口が形成された部分の前記第１の対向面の前記細長い方向における前記第１の対向面の外縁と前記吐出口形成溝との間の距離である端部厚が０．１ｍｍ〜１．０ｍｍに形成されたダイヘッドを、前記吐出口から前記塗布物質を吐出しながら、前記塗布対象物の前記塗布対象面に沿って相対的に移動させることにより、第１の所定の長さの前記塗布物質である第１の塗布膜を前記塗布対象面に形成する第１の塗布膜形成工程と；
   前記第１の塗布膜形成工程の後、前記ダイヘッドからの前記塗布物質の吐出を停止した状態で、前記ダイヘッドを、前記第１の塗布膜形成工程において前記ダイヘッドを前記相対的に移動させた方向に対して交差する方向に移動させるダイヘッド移動工程と；
   前記ダイヘッド移動工程の後、前記ダイヘッドを、前記吐出口から前記塗布物質を吐出しながら、前記塗布対象物の前記塗布対象面に沿って相対的に移動させることにより、第２の所定の長さの前記塗布物質である第２の塗布膜を前記塗布対象面に形成する第２の塗布膜形成工程とを備え；
   前記ダイヘッド移動工程は、前記第１の塗布膜を形成する際の前記吐出口の軌跡と前記第２の塗布膜を形成する際の前記吐出口の軌跡との最短の間隔が２ｍｍ以下となるように、前記ダイヘッドを前記交差する方向に移動させる；
   塗布物質塗布済部材の製造方法。
9. 前記第１の塗布膜形成工程における前記第１の塗布膜の表面と前記吐出口との距離及び前記第２の塗布膜形成工程における前記第２の塗布膜の表面と前記吐出口との距離がそれぞれ０μｍ以上３０μｍ以下である；
   請求項８に記載の塗布物質塗布済部材の製造方法。
10. 請求項８又は請求項９に記載の塗布物質塗布済部材の製造方法を用いて前記塗布物質が塗布された前記塗布対象物である塗布物質塗布済部材を製造する塗布物質塗布済部材製造工程と；
    前記塗布物質塗布済部材を所定の時間放置する放置工程と；
    前記放置工程が完了した前記塗布物質塗布済部材と、接合対象部材と、を貼り合わせる貼合工程とを備える；
    接合部材の製造方法。

Images