TW202106396A - 塗布裝置及塗布方法 - Google Patents

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Abstract

本發明之塗布裝置中，係在行進於被塗布體10之上的行進構件23中設置有塗布用噴嘴24，並且以可朝與行進構件之行進方向交叉之方向移動之方式設置有吸管狀噴嘴25，該塗布用噴嘴24係在前端部具有朝與行進方向交叉之方向的細縫狀吐出口24a，該吸管狀噴嘴25係在前端部具有吸管狀吐出口25a，前述被塗布體10係於形成為板狀之下段部11之上設有較下段部為小之形成為板狀之上段部12而形成者。

Description

塗布裝置及塗布方法
本發明係關於一種塗布裝置，該塗布裝置係在朝固定方向往返行進於被塗布體之上的行進構件，設置有在前端部具有朝與其行進方向交叉之方向延伸之細縫(slit)狀吐出口的塗布用噴嘴，且藉由行進構件使該塗布用噴嘴中之前述細縫狀吐出口以與被塗布體相對向之方式行進於被塗布體之上，且使塗液從前述細縫狀吐出口吐出至被塗布體，而使塗液塗布於被塗布體。尤其是，其具有特徵之處在於可簡單且短時間地進行：使用前述之塗布裝置，將塗液塗布於在形成為板狀之下段部之上設有形成為較下段部小之板狀之上段部而形成之被塗布體中之上段部的上表面，以及從上段部與下段部之段差部中之上段部的端面起至下段部的上表面。
以往，已有藉由平台型塗布機(Table Coater)(註冊商標)等塗布裝置來進行將塗液塗布於由玻璃板等所構成的被塗布體之上的作業。
在此，於此種塗布裝置中，如專利文獻1等所示，係使由玻璃板等所構成的被塗布體載置於平台上，且在往固定方向往返行進於以上述方式載置之被塗布體之上的行進構件，設置有在前端部具有朝與其行進方向交叉之方向延伸之細縫狀吐出口的塗布用噴嘴，且使該塗布用噴嘴升 降而使設於該前端部之細縫狀吐出口與前述被塗布體成為適當的距離，且在此狀態下，藉由前述行進構件使塗布用噴嘴行進於被塗布體之上，而將塗液從朝與該行進方向交叉之方向延伸之細縫狀吐出口塗布在載置於平台上之被塗布體之上。
此外，在專利文獻2中所揭示者，係為了使在被保持於基板吸附平台上之玻璃基板等被塗布體之外周部附近所產生之塗布液的隆起減小，以提升塗布液之膜厚的均勻性，乃設置可移動於被保持於基板吸附平台之被塗布體之外周部上的稀釋劑(thinner)供給噴嘴，且在藉由此稀釋劑供給噴嘴沿著被塗布體的外周部塗布黏度較抗蝕(resist)液低之稀釋劑之後，使抗蝕液供給噴嘴以朝縱橫或圓周方向等方向移動於被塗布體之上之方式供給抗蝕液，以減小被塗布體之外周部中之抗蝕液之隆起。
另一方面，近年來已有進行：採用一種使用例如大小不同的玻璃基板或樹脂基板等而在形成為板狀之下段部的上方層積形成為較下段部小之板狀的上段部且予以一體化，而在設於下段部之上之上段部的周圍形成有段差部所形成者，將該者作為被塗布體，並且，不僅對於此種被塗布體之上段部的上表面塗布塗液，而且還對於上段部周圍的上段部與下段部之間之段差部中之上段部之端面至下段部的上表面塗布塗液，以與上段部的上表面一同地於前述段差部周圍的上段部之端面至下段部之上表面形成塗膜而予以保護。
在此，於使用前述專利文獻1所示的塗布裝置，而如前所述不僅對於上段部的上表面塗布塗液，而且還對於上段部周圍的上段部與下段部之間之段差部中之上段部之端面(側面)至下段部的上表面塗布塗液的 情形，當將設於前述塗布用噴嘴之前端部之寬度方向較長之細縫狀吐出口的長度設為較前述上段部之上表面的寬度更大，並且使前述塗布用噴嘴行進於前述上段部之上時，可考慮將要使塗布用噴嘴行進的長度設為較上段部之行進方向的長度更長，而將要從塗布用噴嘴之前端部中之細縫狀吐出口塗布塗液的面積設為較上段部之上表面更大，以使塗液亦供給至上段部之上表面周圍的段差部。
然而，於以此方式將要從塗布用噴嘴之前端部中之細縫狀吐出口塗布塗液的面積設為較上段部之上表面更大，以使塗液亦供給至上段部之上表面周圍的段差部的情形，一般而言，於上段部之上表面所塗布的厚度較薄，且所塗布之塗液的量較少，另一方面，上段部與下段部之間之段差部的距離會較所塗布的厚度更大，因此無法將充足量的塗液供給至上段部周圍的段差部，即使欲對於上段部與下段部之間之段差部中之上段部之端面至下段部之上表面適當地塗布塗液，塗液的附著也會在上段部的端面中斷，而極難以藉由塗液覆蓋上段部之上表面及端面的整體。尤其，在使用一般所使用之黏度較高的塗液時，會無法對於段差部中之上段部之端面至下段部的上表面塗布塗液。
此外，專利文獻2所揭示者，係如前所述設置可移動於被保持於基板吸附平台上之被塗布體之外周部上的稀釋劑供給噴嘴，且在藉由此稀釋劑供給噴嘴沿著被塗布體的外周部塗布黏度較抗蝕液低之稀釋劑之後，使抗蝕液供給噴嘴以朝縱橫或圓周方向等方向移動於被塗布體之上之方式供給抗蝕液，以減小被塗布體之外周部中之抗蝕液的隆起，專利文獻2所揭示者並不存在如前所述之不僅對於上段部的上表面塗布塗液，而且 還對於上段部周圍的上段部與下段部之間之段差部中之上段部之端面至下段部的上表面塗布塗液之目的，而且，由於是使抗蝕液供給噴嘴以朝縱橫或圓周方向等方向移動於被塗布體之上之方式供給抗蝕液，因此，為了要不僅對於上段部的上表面塗布塗液，而且還對於上段部周圍的上段部與下段部之間之段差部中之上段部之端面至下段部之上表面塗布塗液，會有要耗費極長時間的問題。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
專利文獻1：日本特開2002-200450號公報
專利文獻2：日本特開2000-237668號公報
本發明之目的為解決在「使用塗布裝置，而於在形成為板狀之下段部之上設有形成為較下段部小之板狀之上段部而形成之被塗布體中，除了將液體塗布於前述上段部之上表面之外，而且還塗布於從上段部與下段部之段差部中之上段部之端面起至下段部之上表面」時之如前所述的問題，其中該塗布裝置係在朝固定方向往返行進於被塗布體之上的行進構件，設置有在前端部具有朝與其行進方向交叉之方向延伸之細縫狀吐出口的塗布用噴嘴，且藉由行進構件使該塗布用噴嘴中之前述細縫狀吐出口 以與被塗布體相對向之方式行進於被塗布體之上，且使塗液從前述細縫狀吐出口吐出至被塗布體，而使塗液塗布於被塗布體。
亦即，在本發明中之課題為改良如前所述的塗布裝置，可簡單且短時間地進行：如前所述使塗液適當地塗布於在形成為板狀之下段部之上設有形成為較下段部小之板狀之上段部而形成之被塗布體中之上段部的上表面，以及從上段部與下段部之段差部中之上段部的端面起至下段部的上表面。
為了解決如前所述的問題，在本發明之塗布裝置中，係在朝預定方向往返行進於被塗布體之上的行進構件，設置有塗布用噴嘴，前述塗布用噴嘴係在前端部具有朝與其行進方向交叉之方向延伸之細縫狀吐出口，藉由前述行進構件將塗布用噴嘴中之細縫狀吐出口引導至與被塗布體相對向的位置，而藉由前述行進構件使塗布用噴嘴移動於被塗布體之上，且使塗液從前述細縫狀吐出口吐出至被塗布體，而使塗液塗布於被塗布體；其中，在前述行進構件中係以可朝與行進構件之行進方向交叉之方向移動之方式設置有吸管狀噴嘴，前述吸管狀噴嘴係在前端部具有吸管(straw)狀吐出口。
在此，在本發明之塗布裝置中，係可設為以相對於前述行進構件可朝上下方向移動之方式設置前述塗布用噴嘴與吸管狀噴嘴。
此外，還可設為使前述塗液及/或要使用於塗液的溶劑從前述吸管狀噴嘴中之吸管狀吐出口吐出。
此外，在本發明之塗布方法中，為了解決如前所述的問題，係設為使用塗布裝置而將塗液塗布於被塗布體中之上段部的上表面，及從上段部與下段部之段差部中之上段部的端面起至下段部的上表面，其中前述被塗布體係在形成為板狀之上述下段部之上設有形成為較下段部小之板狀之上述上段部而形成者，該塗布裝置係在朝預定方向往返行進於被塗布體之上的行進構件，設置有塗布用噴嘴，並且在前述行進構件以可朝與行進構件之行進方向交叉之方向移動之方式設置有吸管狀噴嘴，前述塗布用噴嘴係在前端部具有朝與其行進方向交叉之方向延伸之細縫狀吐出口，前述吸管狀噴嘴係在前端部具有吸管狀吐出口；在該塗布方法中，係將令前述行進構件在前述被塗布體之上行進之動作、與令前述吸管狀噴嘴朝與行進構件之行進方向交叉之方向移動的動作組合，而使前述吸管狀噴嘴沿著前述被塗布體中之上段部與下段部之段差部移動，且在將前述塗液及/或要使用於塗液的溶劑從吸管狀噴嘴的吸管狀吐出口沿著前述段差部中之上段部之端面而供給至下段部之上表面之後，使前述行進構件行進，而從前述塗布用噴嘴中之細縫狀吐出口，將塗液一併塗布於被塗布體中之上段部之上表面與已經被供給至前述段差部的塗液及/或要使用於塗液之溶劑之上。
如此一來，會將塗液從塗布用噴嘴中之細縫狀吐出口塗布於被塗布體中之上段部的上表面，並且，使塗布於已經供給過塗液及/或要使用於塗液之溶劑之段差部的塗液，在與段差部中之塗液及/或要使用於塗液之溶劑混合後的狀態下，從上段部的端面起塗布至下段部的上表面。
在此，當針對如前所述已經從吸管狀噴嘴之吸管狀吐出口以從段差部中之上段部之端面起至下段部之上表面之方式供給過要使用於前述塗液之溶劑的部分，而如前所述從塗布用噴嘴中之細縫狀吐出口塗布塗液時，以此方式塗布的塗液即溶入於已經從上段部之端面起供給至下段部之上表面的溶劑中，而在從上段部的端面起至下段部的上表面使得塗液以被稀釋的狀態塗布。
在本發明之塗布裝置中，係如前所述在朝預定方向往返行進於被塗布體之上的行進構件，設置有在前端部具有朝與其行進方向交叉之方向延伸之細縫狀吐出口的塗布用噴嘴，並且在前述行進構件，以可朝與行進構件之行進方向交叉之方向移動之方式設置有在前端部具有吸管狀吐出口之吸管狀噴嘴。
再者，在本發明之塗布方法中，係設為：於將塗液塗布於在形成為板狀之下段部之上設有形成為較下段部小之板狀之上段部而形成之被塗布體中之上段部的上表面，及從上段部與下段部之段差部中之上段部的端面起至下段部的上表面時，使用如前所述的塗布裝置，將如前所述令行進構件在被塗布體之上行進的動作、與令吸管狀噴嘴朝與行進構件之行進方向交叉之方向移動的動作組合，而使吸管狀噴嘴沿著被塗布體中之上段部與下段部之段差部移動，且在從吸管狀噴嘴的吸管狀吐出口將要使用於塗布用噴嘴的塗液及/或要使用於塗液的溶劑沿著段差部中之上段部的端面供給至下段部之後，使前述行進構件行進，而從前述塗布用噴嘴中之細縫狀吐出口，將塗液塗布於被塗布體中之上段部之上表面、與已經被供 給過前述塗液及/或要使用於塗液之溶劑之從段差部中之上段部的端面起至下段部的上表面。
如此一來，在本發明的塗布方法中，如前所述可簡單且短時間地進行：將塗液適當地塗布於在形成為板狀之下段部之上設有形成為較下段部小之板狀之上段部而形成之被塗布體中之上段部的上表面，以及從上段部與下段部之段差部中之上段部的端面起至下段部的上表面；且可簡單地進行：不僅在被塗布體之上段部的上表面形成塗膜，而且還在上段部周圍的上段部與下段部之間之段差部中之從上段部之端面起至下段部的上表面的部分，也以使塗液的附著不會中斷之方式形成塗膜而予以保護。
10:被塗布體
11:下段部
11a:上表面
12:上段部
12a:上表面
12b:端面
20:塗布裝置
21:平台
22:行進用軌
23:行進構件
24:塗布用噴嘴
24a:細縫狀吐出口
25:吸管狀噴嘴
25a:吸管狀吐出口
26:吸管狀噴嘴行進軌
x:塗液
xa:溶劑
第1圖顯示出藉由本發明之實施型態之塗布裝置塗布塗液之被塗布體，該被塗布體在形成為板狀之下段部之上設有形成為較下段部小之板狀之上段部，第1圖(A)係為概略俯視圖，第1圖(B)係為概略側視圖。
第2圖為概略俯視圖，顯示出下列狀態：在前述實施型態之塗布裝置中，使前述被塗布體載置於平台之上，且在該平台之被塗布體的寬度方向兩側設置引導行進於被塗布體之上之行進構件的引導軌，且針對此行進構件，設置有在前端部具有朝與其行進方向交叉之方向延伸之細縫狀吐出口的塗布用噴嘴，並且以可朝與行進構件之行進方向交叉之方向移動之方式設置有在前端部具有吸管狀吐出口之吸管狀噴嘴。
第3圖係為在前述實施型態之塗布裝置中，從設有前述吸管狀噴嘴之側觀看前述被塗布體被載置於平台之上之狀態時的概略說明圖。
第4圖係為在前述實施型態之塗布裝置中，從與行進構件所行進之方向交叉之側面側觀看前述被塗布體被載置於平台之上之狀態時的概略說明圖。
第5圖為放大說明圖，顯示出下列狀態：在前述實施型態之塗布裝置中，從吸管狀噴嘴之吸管狀吐出口對於段差部中之上段部的端面至下段部的上表面供給塗液。
第6圖為概略俯視圖，顯示出下列狀態：在前述實施型態之塗布裝置中，將令前述行進構件在被塗布體之上行進之動作與令前述吸管狀噴嘴朝與行進構件之行進方向交叉之方向移動的動作予以組合，而使吸管狀噴嘴沿著被塗布體中的上段部與下段部之段差部移動，且從吸管狀噴嘴的吸管狀吐出口，沿著前述段差部之全周中的上段部之端面供給塗液至下段部之上表面。
第7圖為部分放大說明圖，顯示出下列狀態：在前述實施型態之塗布裝置中，於藉由吸管狀噴嘴沿著段差部中之上段部之端面供給塗液至下段部之上表面之後，從設於塗布用噴嘴之細縫狀吐出口供給塗液，而將塗液塗布於被塗布體之上段部的上表面、及如前所述已經供給過塗液的段差部中之從上段部之端面起至下段部之上表面。
第8圖為概略俯視圖，顯示出下列狀態：在前述實施型態之塗布裝置中，如第6圖所示，在藉由吸管狀噴嘴沿著段差部之全周中的上段部的端面供給塗液至下段部之上表面之後，使設於行進構件的前述塗布用噴嘴從 行進方向一端側朝向另一端側行進於被塗布體之上，同時從設於塗布用噴嘴的細縫狀吐出口供給塗液而塗布於被塗布體中之上段部的上表面、及已經供給過塗液之段差部中之從上段部之端面起至下段部之上表面，在此狀態下，將塗布於整體之塗液之一部分去除。
第9圖係為顯示前述實施型態之塗布裝置所使用之情形的變更例，第9圖(A)係為顯示藉由吸管狀噴嘴將要使用於塗液的溶劑，從前述段差部中之上段部的端面起供給至下段部之上表面之狀態的部分放大說明圖，第9圖(B)係為部分放大說明圖，顯示出下列狀態：從設於塗布用噴嘴之細縫狀吐出口供給塗液，且將塗液塗布於被塗布體之上段部之上表面、及已經從段差部中之上段部之端面起至下段部之上表面供給過要使用於塗液之溶劑的部分。
以下，根據所附圖式具體地說明本發明之實施型態之塗布裝置及塗布方法。另外，本發明之塗布裝置及塗布方法不限定於下述實施型態所示者，可在未變更發明之要旨的範圍適當地變更而實施。
在此，本實施型態中，如第1圖(A)、(B)所示，係使用在由玻璃板等所構成之板狀的下段部11之上安裝有由面積較該下段部11小之合成樹脂等所構成之板狀的上段部12所形成者，將該者作為要被塗布塗液x的被塗布體10，在此被塗布體10中，係形成為下列狀態：在被塗布體10中的上段部12之上表面12a之緣部與下段部11之上表面11a之間的段差部，以遍及下段部11的全周之方式顯露出沿著上段部12之上表面12a之 緣部而形成之上段部12之端面12b。另外，在圖中，雖為了方便起見而將厚度顯示為較大，但實際之上段部12的厚度係0.5mm左右。
此外，在此實施型態之塗布裝置20中，如第2圖至第4圖所示，係設為將前述被塗布體10中的下段部11朝下，且使該被塗布體10安置於平台21的中央部。
再者，在此實施型態之塗布裝置20中，係設為：以架設在設於如前所述安置有被塗布體10之平台21之兩側的行進用軌22之方式設置行進構件23，且使該行進構件23沿著行進用軌22而行進於被塗布體10之上。
此外，在該塗布裝置20中，係在前述行進構件23之行進方向的單面側，設置在與被塗布體10相對向之前端部設有朝與該行進方向交叉之方向延伸之細縫狀吐出口24a的塗布用噴嘴24，另一方面，在與該塗布用噴嘴24為相反側之行進構件23的單面側，以可沿著吸管狀噴嘴行進軌26而朝與行進構件23之行進方向交叉之方向移動之方式，設置有在與被塗布體10相對向之前端部設有吸管狀吐出口25a的吸管狀噴嘴25，且設置有噴嘴升降機構(未圖示)，以使前述塗布用噴嘴24與吸管狀噴嘴25可分別相對於被安置於平台21之被塗布體10接近/離開，而可相對於前述行進構件23朝上下方向移動。
接著說明下列情形：使用本實施型態之塗布裝置20，使塗液x塗布於如前所述被安置於平台21之被塗布體10中之上段部12的上表面12a、及該上段部12之上表面12a與下段部11之上表面11a之段差 部中之從沿著上段部12之緣部而形成之上段部12的端面12b起至下段部11之上表面11a。
在此，在此實施型態之塗布裝置20中，係設為：首先，如第5圖所示，使行進構件23移動，且將前述吸管狀噴嘴25引導至被塗布體10中之上段部12與下段部11之段差部的位置的上方，並且使前述吸管狀噴嘴25朝下方移動而使該吸管狀噴嘴25中之吸管狀吐出口25a接近上段部12與下段部11的段差部，在此狀態下，使塗液x從前述吸管狀吐出口25a吐出，而使塗液x從上段部12之上表面12a之緣部中之上段部12的端面12b起供給至下段部11的上表面11a。
再者，還設為：以此方式使塗液x從吸管狀噴嘴25的吸管狀吐出口25a吐出，而使塗液x從上段部12之上表面12a之緣部中之上段部12的端面12b起供給至下段部11的上表面11a，同時如第6圖所示，以使行進構件23沿著前述行進用軌22行進，且藉由行進構件23將吸管狀噴嘴25從其行進方向中之上段部12之一方的端部引導至另一方的端部之方式，在從被塗布體10中之上段部12的端面12b起至下段部11的上表面11a，將塗液x從上段部12之一方的端部起塗布至另一方的端部，此外，如前所述使塗液x從吸管狀噴嘴25的吸管狀吐出口25a吐出，而使塗液x從上段部12之上表面12a之緣部中之上段部12的端面12b起供給至下段部11的上表面11a，同時使前述吸管狀噴嘴25朝與行進構件23之行進方向正交之方向從一端側移動至另一端側，且在與行進構件23之行進方向正交的方向上，將塗液x從被塗布體10中之上段部12之端面12b起塗布至下段部11之上表面11a，組合進行如此的操作，而在上段部12之上 表面12a之緣部中的段差部整體中，使塗液x從上段部12的端面12b起塗布至下段部11的上表面11a。
此外，如前所述在上段部12之上表面12a之緣部中的段差部整體中使塗液x從上段部12的端面12b起塗布至下段部11的上表面11a之後，係停止從前述吸管狀噴嘴25中之吸管狀吐出口25a吐出塗液x，並且使該吸管狀噴嘴25朝上方移動而移動至被塗布體10的上方，另一方面，使設置在行進構件23之與吸管狀噴嘴25為行進方向相反側之面上的前述塗布用噴嘴24朝下方移動，而將朝與行進構件23之行進方向交叉之方向延伸之塗布用噴嘴24之前端部中之前述細縫狀吐出口24a，安置於與被塗布體10中之上段部12之上表面12a隔著預定的塗布間隔而相對向的位置。
接著，還設為：在以如此地使塗布用噴嘴24中之細縫狀吐出口24a與被塗布體10中之上段部12之上表面12a隔著預定間隔而相對向之方式安置塗布用噴嘴24的狀態下，如第7圖所示，從塗布用噴嘴24中的細縫狀吐出口24a，將塗液x供給至被塗布體10中之上段部12的上表面12a、及已經由吸管狀噴嘴25供給過塗液x之從下段部11的上表面11a起至上段部12之端面12b的部分。
再者，還設為：在以如此地從塗布用噴嘴24中之細縫狀吐出口24a將塗液x供給至被塗布體10中之上段部12的上表面12a、及已經由吸管狀噴嘴25供給過塗液x之從下段部11的上表面11a起至上段部12之端面12b的部分之方式，使前述行進構件23從行進方向的一端側行進至另一端側，且如第8圖所示，使塗液x塗布於被塗布體10中之上段部 12之上表面12a、及已經由吸管狀噴嘴25供給過塗液x之從下段部11之上表面11a起至上段部12之端面12b的部分之整體。
如此一來，即可如前所述簡單且短時間地進行：將塗液x適當地塗布於在形成為板狀之下段部11之上設有形成為較下段部11小之板狀之上段部12而形成之被塗布體10中之上段部12的上表面12a，以及從上段部12與下段部11之段差部中之上段部12的端面12b起至下段部11之上表面11a；且可簡單且適當地進行：不僅在被塗布體10中之上段部12的上表面12a形成塗膜，而且還在從上段部12之緣部之段差部中之上段部12的端面12b起至下段部11之上表面11a的部分亦形成塗膜而予以保護。
另外，在此實施型態之塗布裝置20中，雖設為使塗液x從前述吸管狀噴嘴25中之吸管狀吐出口25a吐出，並使塗液x從上段部12之緣部之段差部中之上段部12的端面12b起塗布至下段部11的上表面11a，但亦可如第9圖(A)所示，從前述吸管狀吐出口25a吐出要使用於塗液x的溶劑xa以取代前述塗液x，而使前述溶劑xa從上段部12之緣部之段差部中之上段部12的端面12b起供給至下段部11的上表面11a，之後，如第9圖(B)所示，從塗布用噴嘴24中之細縫狀吐出口24a，使塗液x供給至被塗布體10中之上段部12的上表面12a、及已經由吸管狀噴嘴25供給過溶劑xa之從下段部11的上表面11a起至上段部12之端面12b的部分。另外，在以此方式構成時，係對於從下段部11之上表面11a起至上段部12之端面12b的部分，使從塗布用噴嘴24中之細縫狀吐出口24a所供給的塗液x，溶入於從下段部11之上表面11a起供給至上段部12 之端面12b之部分的溶劑xa中，而在從下段部11的上表面11a起至上段部12之端面12b的部分簡單地形成包含塗液x的塗膜而予以保護。
10:被塗布體
11:下段部
11a:上表面
12:上段部
12a:上表面
12b:端面
20:塗布裝置
21:平台
22:行進用軌
23:行進構件
24:塗布用噴嘴
24a:細縫狀吐出口
25:吸管狀噴嘴
25a:吸管狀吐出口
26:吸管狀噴嘴行進軌

Claims (4)

  1. 一種塗布裝置，係在朝預定方向往返行進於被塗布體之上的行進構件設置有塗布用噴嘴，前述塗布用噴嘴係在前端部具有朝與其行進方向交叉之方向延伸之細縫狀吐出口，藉由前述行進構件將塗布用噴嘴中之細縫狀吐出口引導至與被塗布體相對向的位置，而藉由前述行進構件使塗布用噴嘴移動於被塗布體之上，且使塗液從前述細縫狀吐出口吐出至被塗布體，而使塗液塗布於被塗布體；其中，在前述行進構件中係以可朝與行進構件之行進方向交叉之方向移動之方式設置有吸管狀噴嘴，前述吸管狀噴嘴係在前端部具有吸管狀吐出口。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之塗布裝置，係以相對於前述行進構件可朝上下方向移動之方式設置前述塗布用噴嘴與吸管狀噴嘴。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之塗布裝置，係使前述塗液及/或要使用於塗液的溶劑從前述吸管狀噴嘴中之吸管狀吐出口吐出。
  4. 一種塗布方法，係使用塗布裝置而將塗液塗布於被塗布體中之上段部的上表面，及從上段部與下段部之段差部中之上段部的端面起至下段部的上表面，其中前述被塗布體係在形成為板狀之上述下段部之上設有形成為較下段部小之板狀之上述上段部而形成者，該塗布裝置係在朝預定方向往返行進於被塗布體之上的行進構件設置有塗布用噴嘴，並且在前述行進構件以可朝與行進構件之行進方向交叉之方向移動之方式設置有吸管狀噴嘴，前述塗布用噴嘴係在前端部具有朝與其行進方向交叉之方向延伸之細縫狀吐出口，前述吸管狀噴嘴係在前端部具有吸管狀吐出口；在該塗布方法中，係將令前述行進構件在前述被塗布體之上行進之動作、與令 前述吸管狀噴嘴朝與行進構件之行進方向交叉之方向移動的動作組合，而使前述吸管狀噴嘴沿著前述被塗布體中之上段部與下段部之段差部移動，且在將前述塗液及/或要使用於塗液的溶劑從吸管狀噴嘴的吸管狀吐出口沿著前述段差部中之上段部之端面而供給至下段部之上表面之後，使前述行進構件行進，而從前述塗布用噴嘴中之細縫狀吐出口，將塗液一併塗布於被塗布體中之上段部之上表面與已經被供給至前述段差部的塗液及/或要使用於塗液之溶劑之上。
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