CN112341005A - 涂敷装置及涂敷方法 - Google Patents

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Abstract

一种涂敷装置及涂敷方法，能够简单且在短时间内适当地涂敷涂敷液。在被涂敷体(10)之上行进的行进构件(23)处设置涂敷用喷嘴(24)，被涂敷体(10)通过在构成为板状的下层部(11)之上设置有构成为比下层部小的板状的上层部(12)的方式形成，在涂敷用喷嘴(24)的前端部具有在与行进方向相交的方向上延伸的狭缝状排出口(24a)，并且，将前端部具有吸管状排出口(25a)的吸管状喷嘴(25)设置成能够在与行进构件的行进方向相交的方向上移动。

Description

涂敷装置及涂敷方法
技术领域
本发明涉及一种涂敷装置，在该涂敷装置中，在被涂敷体之上沿一定方向往复行进的行进构件处设置有涂敷用喷嘴，在涂敷用喷嘴的前端部具有在与行进构件的行进方向相交的方向上延伸的狭缝状排出口，使该涂敷用喷嘴的所述狭缝状排出口与被涂敷体相向并且通过行进构件使其在被涂敷体之上行进，使涂敷液从所述狭缝状排出口排出至被涂敷体，从而将涂敷液涂敷至被涂敷体。特别地，本发明具有下述特征：能够简单且在短时间内使用所述涂敷装置适当地涂敷涂敷液，以使涂敷液涂敷至被涂敷体的上层部的上表面，并且使涂敷液从上层部与下层部的台阶部处的上层部的端面到达下层部的上表面，其中，上述被涂敷体通过在构成为板状的下层部之上设置有构成为比该下层部小的板状的上层部的方式形成。
背景技术
目前，利用台式涂布机(TABLE COATER，注册商标)等涂敷装置将涂敷液涂敷至由玻璃板等构成的被涂敷体之上。
此处，在上述涂敷装置中，如专利文献1等所示，将由玻璃板等构成的被涂敷体载置于工作台之上，在以上述方式载置的被涂敷体之上沿一定方向往复行进的行进构件处设置有涂敷用喷嘴，在该涂敷用喷嘴的前端部具有在与行进构件的行进方向相交的方向上延伸的狭缝状排出口，使该涂敷用喷嘴升降，从而设置于其前端部的狭缝状排出口与所述被涂敷体相距适当的距离，在该状态下，通过所述行进构件使涂敷用喷嘴在被涂敷体之上行进，从而使涂敷液从在与上述行进方向相交的方向上延伸的狭缝状排出口涂敷至载置于工作台之上的被涂敷体之上。
此外，在专利文献2中示出了一种涂敷装置，为了减小在保持于基板吸附工作台的玻璃基板等被涂敷体的外周部附近产生的涂敷液的隆起，提高涂敷液的膜厚的均匀性，设置有能够在保持于基板吸附工作台的被涂敷体的外周部上移动的稀释剂供给喷嘴，通过该稀释剂供给喷嘴沿着被涂敷体的外周部涂敷粘度低于保护液的粘度的稀释剂，然后，使保护液供给喷嘴在被涂敷体上沿纵向横向或沿圆周方向等移动而供给保护液，从而减小被涂敷体的外周部处的保护液的隆起。
另一方面，近年来，作为被涂敷体，例如，使用以下述方式构成的被涂敷体：采用大小不同的玻璃基板或树脂基板等，并且通过在构成为板状的下层部之上层叠构成为比下层部小的板状的上层部的方式一体化，从而在设置于下层部之上的上层部的周围形成有台阶部，此外，使涂敷液涂敷至上述被涂敷体的上层部的上表面，并且使涂敷液从上层部的周围的上层部与下层部之间的台阶部处的上层部的端面到达下层部的上表面，并且在上层部的上表面以及从所述台阶部的周围的上层部的端面到下层部的上表面这一范围形成涂敷而进行保护。
此处，在使用所述专利文献1所示的涂敷装置如前文所述不仅将涂敷液涂敷至上层部的上表面，还使涂敷液从上层部的周围的、上层部与下层部之间的台阶部处的上层部的端面(侧面)涂敷至下层部的上表面的情况下，可以考虑的是，使设置于所述涂敷用喷嘴的前端部的宽度方向上较长的狭缝状排出口的长度大于所述上层部的上表面的宽度，并且在使所述涂敷用喷嘴在所述上层部之上行进时，使供涂敷用喷嘴行进的长度大于上层部在行进方向上的长度，从而使涂敷液从涂敷用喷嘴的前端部的狭缝状排出口涂敷的面积大于上层部的上表面，进而也将涂敷液供给至上层部的上表面的周围的台阶部。
然而，如此一来，在使涂敷液从涂敷用喷嘴的前端部的狭缝状排出口涂敷的面积大于上层部的上表面而使涂敷液也供给至上层部的上表面周围的台阶部的情况下，通常而言，涂敷至上层部的上表面的厚度较薄且涂敷液的涂敷量较少，并且上层部与下层部之间的台阶部的距离大于涂敷的厚度，因此，无法将足够量的涂敷液供给至上层部周围的台阶部，即使想要适当地涂敷涂敷液以使涂敷液从上层部与下层部之间的台阶部处的上层部的端面到达下层部的上表面，涂敷液的附着也会在上层部的端面处中断，从而很难通过涂敷液覆盖上层部的整个上表面和端面。特别地，在使用了通常使用的粘度高的涂敷液的情况下，无法涂敷涂敷液以使涂敷液从台阶部的上层部的端面到达下层部的上表面。
此外，在专利文献2所示的涂敷装置中，如前文所述的那样设置有能够在保持于基板吸附工作台的被涂敷体的外周部上移动的稀释剂供给喷嘴，通过该稀释剂供给喷嘴沿着被涂敷体的外周部涂敷粘度比保护液的粘度低的稀释液，然后，使保护液供给喷嘴在被涂敷体上沿纵向横向或圆周方向等移动而供给保护液，从而减小被涂敷体的外周部处的保护液的隆起，在专利文献2中并不存在下述目的、即如前文所述那样涂敷涂敷液以使涂敷液不仅涂敷至上层部的上表面，而且从上层部周围的上层部与下层部之间的台阶部处的上层部的端面到达下层部的上表面，此外，在专利文献2中还存在下述技术问题：由于使保护液供给喷嘴在被涂敷体上沿纵向横向或圆周方向等移动而供给保护液，因此，为了涂敷涂敷液以使涂敷液不仅涂敷至上层部的上表面，而且从上层部周围的上层部与下层部之间的台阶部处的上层部的端面到达下层部的上表面，需要非常长的时间。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利特开2002-200450号公报
发明文献2：日本专利特开2000-237668号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
本发明用于解决下述情况下的上述技术问题：利用涂敷装置将涂敷液涂敷至在构成为板状的下层部之上设置有构成为比下层部小的板状的上层部的被涂敷体，以使涂敷液涂敷至所述上层部的上表面，并且使涂敷液从上层部与下层部的台阶部处的上层部的端面到达下层部的上表面，在该涂敷装置中，在被涂敷体之上沿一定方向往复行进的行进构件处设置有涂敷用喷嘴，在该涂敷用喷嘴的前端部具有在与上述行进构件的行进方向相交的方向上延伸的狭缝状排出口，通过行进构件使涂敷用喷嘴的所述狭缝状排出口在被涂敷体之上行进以使其与被涂敷体相向，并且将涂敷液从所述狭缝状排出口排出至被涂敷体，从而将涂敷液涂敷至被涂敷体。
也就是说，本发明的技术问题在于，对所述涂敷装置进行改进，从而能够简单且在短时间内适当地涂敷涂敷液，以使涂敷液涂敷至被涂敷体的上层部的上表面，并且使涂敷液从上层部与下层部的台阶部处的上层部的端面到达下层部的上表面，其中，上述被涂敷体如前文所述那样通过在构成为板状的下层部之上设置有构成为比下层部小的板状的上层部的方式形成。
解决技术问题所采用的技术方案
为了解决上述技术问题，在本发明的涂敷装置中，在行进构件处设置有涂敷用喷嘴，所述行进构件在被涂敷体之上沿规定方向往复行进，在所述涂敷用喷嘴的前端部具有在与所述行进构件的行进方向相交的方向上延伸的狭缝状排出口，通过所述行进构件将涂敷用喷嘴的狭缝状排出口引导至与被涂敷体相向的位置，通过所述行进构件使涂敷用喷嘴在被涂敷体之上移动，使涂敷液从所述狭缝状排出口排出至被涂敷体，从而将涂敷液涂敷至被涂敷体，在所述行进构件设置有吸管状喷嘴，所述吸管状喷嘴能够在与行进构件的行进方向相交的方向上移动，在所述吸管状喷嘴的前端部具有吸管状排出口。
此处，在本发明的涂敷装置中，能够将所述涂敷用喷嘴和吸管状喷嘴设置成能够相对于所述行进构件在上下方向上移动。
此外，能够使所述涂敷液以及/或者用于涂敷液的溶剂从所述吸管状喷嘴的吸管状排出口排出。
此外，为了解决上述技术问题，本发明的涂敷方法使用涂敷装置涂敷涂敷液，在所述涂敷装置中，在行进构件处设置有涂敷用喷嘴，所述行进构件在被涂敷体之上沿规定方向往复行进，在所述涂敷用喷嘴的前端部具有在与所述行进构件的行进方向相交的方向上延伸的狭缝状排出口，并且，在所述行进构件处设置有吸管状喷嘴，所述吸管状喷嘴能够在与行进构件的行进方向相交的方向上移动，在所述吸管状喷嘴的前端部具有吸管状排出口，所述被涂敷体通过在构成为板状的下层部之上设置有构成为比该下层部小的板状的上层部的方式形成，本发明的涂敷方法使所述涂敷液涂敷至所述被涂敷体的所述上层部的上表面，并且使所述涂敷液从上层部与下层部的台阶部处的上层部的端面到达下层部的上表面，将使所述行进构件在所述被涂敷体之上行进的动作与使所述吸管状喷嘴在与行进构件的行进方向相交的方向上移动的动作结合，从而使所述吸管状喷嘴沿着所述被涂敷体的上层部与下层部的台阶部移动，并且从吸管状喷嘴的吸管状排出口供给所述涂敷液以及/或者用于涂敷液的溶剂以使所述涂敷液以及/或者用于涂敷液的溶剂沿着所述台阶部处的上层部的端面到达下层部的上表面，然后，使所述行进构件行进，将涂敷液从所述涂敷用喷嘴的狭缝状排出口涂敷至被涂敷体的上层部的上表面以及供给至所述台阶部的涂敷液以及/或者用于涂敷液的溶剂之上。
如此一来，涂敷液从涂敷用喷嘴的狭缝状排出口被涂敷至被涂敷体的上层部的上表面，并且，涂敷至供给有涂敷液以及/或者用于涂敷液的溶剂的台阶部的涂敷液在与台阶部的涂敷液以及/或者用于涂敷液的溶剂混合的状态下以从上层部的端面到达下层部的上表面的方式涂敷。
此处，若针对如前文所述那样从吸管状喷嘴的吸管状排出口供给有用于所述涂敷液的溶剂，以使用于所述涂敷液的溶剂从台阶部处的上层部的端面到达下层部的上表面的部分，如前文所述那样将涂敷液从涂敷用喷嘴的狭缝状排出口涂敷，那么，如上所述那样涂敷的涂敷液在从上层部的端面供给到下层部的上表面的溶剂中溶解，从而以涂敷液在上层部的端面到下层部的上表面处变薄的状态涂敷。
发明效果
在本发明的涂敷装置中，在如前文所述那样在被涂敷体之上沿规定方向往复行进的行进构件处设置有涂敷用喷嘴，在该涂敷用喷嘴的前端部具有在与所述行进构件的行进方向相交的方向上延伸的狭缝状排出口，并且，将前端部具有吸管状排出口的吸管状喷嘴以能够在与行进构件的行进方向相交的方向上移动的方式设置于所述行进构件。
此外，在本发明的涂敷方法中，涂敷涂敷液，以使该涂敷液涂敷至被涂敷体的上层部的上表面，并且使该涂敷液从上层部与下层部之间的台阶部处的上层部的端面到达下层部的上表面，所述被涂敷体通过在构成为板状的下层部之上设置有构成为比下层部小的板状的上层部的方式形成，在该情况下，使用所述涂敷装置，如前文所述的那样，将使行进构件在被涂敷体之上行进的动作与使吸管状喷嘴在与行进构件的行进方向相交的方向上移动的动作结合，从而使吸管状喷嘴沿着被涂敷体的上层部与下层部的台阶部移动，并且从吸管状喷嘴的吸管状排出口供给涂敷液以及/或者用于涂敷液的溶剂以使涂敷液以及/或者用于涂敷液的溶剂沿着台阶部处的上层部的端面到达下层部的上表面，然后，使所述行进构件行进，从而从所述涂敷用喷嘴的狭缝状排出口涂敷涂敷液，以使该涂敷液涂敷至被涂敷体的上层部的上表面，并且使该涂敷液从供给有所述涂敷液以及/或者用于涂敷液的溶剂的台阶部处的上层部的端面到达下层部的上表面。
如此一来，在本发明的涂敷方法中，能够简单且在短时间内适当地涂敷涂敷液，以使涂敷液涂敷至被涂敷体的上层部的上表面，并且使涂敷液从上层部与下层部的台阶部处的上层部的端面到达下层部的上表面，上述被涂敷体如前文所述那样通过在构成为板状的下层部之上设置有构成为比下层部小的板状的上层部的方式形成，从而不仅能够简单地使涂敷液连续地附着于被涂敷体的上层部的上表面，而且能够简单地使涂敷液连续地附着于从上层部周围的上层部与下层部之间的台阶部处的上层部的端面到下层部的上表面这一部分，进而形成涂膜而进行保护。
附图说明
图1示出了利用本发明实施方式的涂敷装置涂敷涂敷液的被涂敷体，该被涂敷体通过在构成为板状的下层部之上设置有构成为比下层部小的板状的上层部的方式形成，图1的(A)是示意俯视图，图1的(B)是示意侧视图。
图2是示出了下述状态的示意俯视图：在上述实施方式的涂敷装置中，将所述被涂敷体载置于工作台之上，在该工作台的被涂敷体的宽度方向两侧设置有对在被涂敷体之上行进的行进构件进行引导的引导轨道，针对该行进构件设置涂敷用喷嘴，在该涂敷用喷嘴的前端部具有在与行进构件的行进方向相交的方向上延伸的狭缝状排出口，并且，将前端部具有吸管状排出口的吸管状喷嘴设置成能够在与行进构件的行进方向相交的方向上移动。
图3是在所述实施方式的涂敷装置中从设置有所述吸管状喷嘴一侧观察所述被涂敷体载置于工作台之上的状态的示意说明图。
图4是在所述实施方式的涂敷装置中从与行进构件行进的方向相交的侧面侧观察所述被涂敷体载置于工作台之上的状态的示意说明图。
图5是表示在所述实施方式的涂敷装置中，从吸管状喷嘴的吸管状排出口供给涂敷液以使涂敷液从台阶部处的上层部的端面到达下层部的上表面的局部放大说明图。
图6是表示下述状态的示意俯视图：在所述实施方式的涂敷装置中，将使所述行进构件在被涂敷体之上行进的动作与使所述吸管状喷嘴在与行进构件的行进方向相交的方向上移动的动作结合，从而使吸管状喷嘴沿着被涂敷体的上层部与下层部的台阶部移动，并且从吸管状喷嘴的吸管状排出口供给涂敷液以使涂敷液沿着所述台阶部整个周向上的上层部的端面到达下层部的上表面。
图7是表示下述状态的局部放大说明图：在所述实施方式的涂敷装置中，通过吸管状喷嘴供给涂敷液以使涂敷液沿着台阶部处的上层部的端面到达下层部的上表面，然后，从设置于涂敷用喷嘴的狭缝状排出口供给涂敷液，从而涂敷涂敷液以使涂敷液从被涂敷体的上层部的上表面以及如前文所述那样供给有涂敷液的台阶部处的上层部的端面到达下层部的上表面。
图8是表示下述状态的示意俯视图：在所述实施方式的涂敷装置中，在如图6所示那样通过吸管状喷嘴供给涂敷液以使涂敷液沿着台阶部整个周向上的上层部的端面到达下层部的上表面，然后，一边使设置于行进构件的所述涂敷用喷嘴从行进方向一端侧朝向另一端侧在被涂敷体之上行进，一边从设置于涂敷用喷嘴的狭缝状排出口供给涂敷液，从而在涂敷液以从被涂敷体的上层部的上表面以及供给有涂敷液的台阶部处的上层部的端面到达下层部的上表面的方式涂敷的状态下，将整体涂敷后的涂敷液的一部分去除。
图9示出了使用所述实施方式的涂敷装置的情况下的变形例，图9的(A)是表示通过吸管状喷嘴供给用于涂敷液的溶剂以使溶剂从所述台阶部的上层部的端面到达下层部的上表面这一状态的局部放大说明图，图9的(B)是表示下述状态的局部放大说明图：通过设置于涂敷用喷嘴的狭缝状排出口供给涂敷液，从而将涂敷液涂敷至供给有用于涂敷液的溶剂的部分，以使涂敷液从被涂敷体的上层部的上表面以及台阶部处的上层部的端面到达下层部的上表面。
符号说明
10：被涂敷体；
11：下层部；
11a：上表面；
12：上层部；
12a：上表面；
12b：端面；
20：涂敷装置；
21：工作台；
22：行进用轨道；
23：行进构件；
24：涂敷用喷嘴；
24a：狭缝状排出口；
25：吸管状喷嘴；
25a：吸管状排出口；
26：吸管状喷嘴行进轨道；
x：涂敷液；
xa：溶剂。
具体实施方式
以下，基于附图对本发明实施方式的涂敷装置及涂敷方法进行具体说明。另外，本发明的涂敷装置及涂敷方法不限定于下述实施方式所示的装置及方法，能在不改变发明的主旨的范围内进行适当变更来实施。
此处，在本实施方式中，作为供涂敷液x涂敷的被涂敷体10，如图1的(A)、(B)所示，采用在由玻璃板等构成的板状的下层部11之上安装有面积小于该下层部11的面积且由合成树脂板等构成的板状的上层部12的结构，在该被涂敷体10中，在被涂敷体10的上层部12的上表面12a的缘部与下层部11的上表面11a之间的台阶部处，沿着上层部12的上表面12a的缘部的上层部12的端面12b处于遍及下层部11的整个周向地显露出的状态。另外，在图中，为了方便，将厚度放大而示出，但上层部12的实际厚度为0.5mm左右。
此外，在本实施方式的涂敷装置20中，如图2至图4所示，将所述被涂敷体10的下层部11置于下方，将该被涂敷体10放置于工作台21的中央部。
此外，在本实施方式的涂敷装置20中，设置行进构件23以使该行进构件23架设于设置在如前文所述那样放置有被涂敷体10的工作台21的两侧的行进用轨道22，并且使该行进构件23沿着行进用轨道22在被涂敷体10之上行进。
此外，在该涂敷装置20中，在所述行进构件23的行进方向上的一面侧设置涂敷用喷嘴24，在与该行进方向相交的方向上延伸的狭缝状排出口24a设置于该涂敷用喷嘴24的与被涂敷体10相向的前端部，并且，在行进构件23的与该涂敷用喷嘴24相反一侧的一面侧设置吸管状喷嘴25以使该吸管状喷嘴25能够沿着吸管状喷嘴行进轨道26在与行进构件23的行进方向相交的方向上移动，在该吸管状喷嘴25的与被涂敷体10相向的前端部设置有吸管状排出口25a，在该涂敷装置20中设置有喷嘴升降机构(未图示)，以使所述涂敷用喷嘴24和吸管状喷嘴25能够分别靠近、远离放置于工作台21的被涂敷体10并且能够相对于所述行进构件23在上下方向上移动。
接着，对下述情况进行说明：使用本实施方式的涂敷装置20，如前文所述那样将涂敷液x涂敷至放置于工作台21的被涂敷体10的上层部12的上表面12a，并且使涂敷液x从该上层部12的上表面12a与下层部11的上表面11a的台阶部处的、沿着上层部12的缘部的上层部12的端面12b涂敷至下层部11的上表面11a。
此处，在本实施方式的涂敷装置20中，首先，如图5所示那样使行进构件23移动，从而将所述吸管状喷嘴25向上方引导至被涂敷体10的上层部12与下层部11之间的台阶部的位置，并且使所述吸管状喷嘴25向下方移动，进而使该吸管状喷嘴25的吸管状排出口25a靠近上层部12与下层部11的台阶部，在该状态下，使涂敷液x从所述吸管状排出口25a排出，从而将该涂敷液x从上层部12的上表面12a的缘部处的上层部12的端面12b供给至下层部11的上表面11a。
然后，如上所述那样使涂敷液x从吸管状喷嘴25的吸管状排出口25a排出，并且一边使涂敷液x从上层部12的上表面12a的缘部处的上层部12的端面12b供给至下层部11的上表面11a，一边如图6所示那样使行进构件23沿着所述行进用轨道22行进，从而通过行进构件23将吸管状喷嘴25从其行进方向上的上层部12的一端部引导至另一端部，进而将涂敷液x从被涂敷体10的上层部12的端面12b涂敷至下层部11的上表面11a并且从上层部12的一端部涂敷至另一端部，此外，如前文所述那样使涂敷液x从吸管状喷嘴25的吸管状排出口25a排出，并且一边将涂敷液x从上层部12的上表面12a的缘部处的上层部12的端面12b供给至下层部11的上表面11a，一边使所述吸管状喷嘴25在与行进构件23的行进方向正交的方向上从一端侧移动至另一端侧，从而在与行进构件23的行进方向正交的方向上，将涂敷液x从被涂敷体10的上层部12的端面12b涂敷至下层部11的上表面11a，由此，通过组合地进行上述操作，从而在上层部12的上表面12a的缘部的整个台阶部处，使涂敷液x从上层部12的端面12b涂敷至下层部11的上表面11a。
此外，在如前文所述那样在上层部12的上表面12a的缘部的整个台阶部处使涂敷液x从上层部12的端面12b涂敷至下层部11的上表面11a后，使将涂敷液x从所述吸管状喷嘴25的吸管状排出口25a排出这一动作停止，使该吸管状喷嘴25向上方移动而移动至被涂敷体10的上方，并且使设置于与吸管状喷嘴25位于行进构件23的行进方向相反侧的面的所述涂敷用喷嘴24向下移动，从而在与行进构件23的行进方向相交的方向上延伸的涂敷用喷嘴24的前端部处的所述狭缝状排出口24a放置于与被涂敷体10的上层部12的上表面12a隔着规定的涂敷间隔相向的位置。
然后，在如上所述那样以使涂敷用喷嘴24的狭缝状排出口24a与被涂敷体10的上层部12的上表面12a隔着规定间隔相向的方式放置了涂敷用喷嘴24的状态下，如图7所示那样，从涂敷用喷嘴24的狭缝状排出口24a将涂敷液x供给至被涂敷体10的上层部12的上表面12a以及通过吸管状喷嘴25供给有涂敷液x的下层部11的上表面11a到上层部12的端面12b的部分。
接着，如上所述那样从涂敷用喷嘴24的狭缝状排出口24a将涂敷液x供给至被涂敷体10的上层部12的上表面12a以及通过吸管状喷嘴25供给有涂敷液x的下层部11的上表面11a到上层部12的端面12b的部分，并且使所述行进构件23从行进方向的一端侧行进至另一端侧，从而如图8所示的那样，将涂敷液x涂敷至被涂敷体10的上层部12的上表面12a以及通过吸管状喷嘴25供给有涂敷液x的下层部11的上表面11a到上层部12的整个端面12b的部分。
如此一来，能够简单且在短时间内进行下述操作：适当地涂敷涂敷液x以使该涂敷液x涂敷至被涂敷体10的上层部12的上表面12a，并且使该涂敷液x从上层部12与下层部11的台阶部处的上层部12的端面12b到达下层部11的上表面11a，上述被涂敷体10通过如前文所述那样在构成为板状的下层部11之上设置有构成为比下层部11小的板状的上层部12的方式形成，并且能够简单且适当地进行下述操作：不仅在被涂敷体10的上层部12的上表面12a形成涂膜而进行保护，而且在从上层部12的缘部的台阶部处的上层部12的端面12b到下层部11的上表面11a这一部分形成涂膜而进行保护。
另外，在本实施方式的涂敷装置20中，使涂敷液x从所述吸管状喷嘴25的吸管状排出口25a排出，从而将涂敷液x从上层部12的缘部的台阶部处的上层部12的端面12b涂敷至下层部11的上表面11a，不过，如图9的(A)所示，作为所述涂敷液x的替代，也能够使用于涂敷液x的溶剂xa从所述吸管状排出口25a排出，从而将所述溶剂xa从上层部12的缘部的台阶部处的上层部12的端面12b供给至下层部11的上表面11a，然后，如图9的(B)所示，将涂敷液x从涂敷用喷嘴24的狭缝状排出口24a供给至被涂敷体10的上层部12的上表面12a以及通过吸管状喷嘴25供给有溶剂xa的下层部11的上表面11a到上层部12的端面12b这一部分。另外，在上述情况下，从涂敷用喷嘴24的狭缝状排出口24a供给至下层部11的上表面11a到上层部12的端面12b的部分的涂敷液x在供给至下层部11的上表面11a到上层部12的端面12b的部分的溶剂xa中溶解，从而在上层部11的上表面11a到上层部12的端面12b的部分简单地形成包含涂敷液x的涂膜而进行保护。

Claims (4)

1.一种涂敷装置，在所述涂敷装置中，在行进构件处设置有涂敷用喷嘴，所述行进构件在被涂敷体之上沿规定方向往复行进，在所述涂敷用喷嘴的前端部具有在与所述行进构件的行进方向相交的方向上延伸的狭缝状排出口，通过所述行进构件将涂敷用喷嘴的狭缝状排出口引导至与被涂敷体相向的位置，通过所述行进构件使涂敷用喷嘴在被涂敷体之上移动，使涂敷液从所述狭缝状排出口排出至被涂敷体，从而将涂敷液涂敷至被涂敷体，其特征在于，
在所述行进构件处设置有吸管状喷嘴，所述吸管状喷嘴能够在与行进构件的行进方向相交的方向上移动，在所述吸管状喷嘴的前端部具有吸管状排出口。
2.如权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，
将所述涂敷用喷嘴和所述吸管状喷嘴以能够在上下方向上移动的方式设置于所述行进构件。
3.如权利要求1或2所述的涂敷装置，其特征在于，
使所述涂敷液以及/或者用于涂敷液的溶剂从所述吸管状喷嘴的吸管状排出口排出。
4.一种涂敷方法，所述涂敷方法使用涂敷装置涂敷涂敷液，在所述涂敷装置中，在行进构件处设置有涂敷用喷嘴，所述行进构件在被涂敷体之上沿规定方向往复行进，在所述涂敷用喷嘴的前端部具有在与所述行进构件的行进方向相交的方向上延伸的狭缝状排出口，并且，在所述行进构件处设置有吸管状喷嘴，所述吸管状喷嘴能够在与行进构件的行进方向相交的方向上移动，在所述吸管状喷嘴的前端部具有吸管状排出口，所述被涂敷体通过在构成为板状的下层部之上设置有构成为比该下层部小的板状的上层部的方式形成，所述涂敷方法使所述涂敷液涂敷至所述被涂敷体的所述上层部的上表面，并且使所述涂敷液从上层部与下层部的台阶部处的上层部的端面到达下层部的上表面，其特征在于，
将使所述行进构件在所述被涂敷体之上行进的动作与使所述吸管状喷嘴在与行进构件的行进方向相交的方向上移动的动作结合，从而使所述吸管状喷嘴沿着所述被涂敷体的上层部与下层部的台阶部移动，并且从吸管状喷嘴的吸管状排出口供给所述涂敷液以及/或者用于涂敷液的溶剂以使所述涂敷液以及/或者用于涂敷液的溶剂沿着所述台阶部处的上层部的端面到达下层部的上表面，然后，使所述行进构件行进，从所述涂敷用喷嘴的狭缝状排出口将涂敷液涂敷至被涂敷体的上层部的上表面以及供给至所述台阶部的涂敷液以及/或者用于涂敷液的溶剂之上。
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