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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Gebiet der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine an einer Bearbeitungseinrichtung,
wie zum Beispiel einer Schneideeinrichtung zum Schneiden eines Werkstücks,
wie zum Beispiel eines Halbleiterwafers oder dergleichen, angebrachte
Bearbeitungsabfallflüssigkeits-Aufbereitungsvorrichtung
zum Aufbereiten von Bearbeitungsabfallflüssigkeit, welche
dieser während der Bearbeitung zugeführt wird.
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Beschreibung des Stands der
Technik
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In
dem Halbleiterbauelement-Herstellungsschritt wird die vordere Oberfläche
eines im Allgemeinen scheibenartigen Halbleiterwafers durch als
Straßen bezeichnete vorgegebene Trennlinien, die in einem
gitterartigen Muster angeordnet sind, in mehrere Bereiche unterteilt.
Bauelemente, wie zum Beispiel ICs (Integrierte Schaltungen), LSIs
oder dergleichen werden in den so abgeteilten Bereichen ausgebildet. Danach
wird der Halbleiterwafer entlang der Straßen geschnitten,
um die mit den Bauelementen ausgebildeten Bereiche zu trennen, um
die einzelnen Halbleiterbauelemente herzustellen. Außerdem
wird ein Wafer für optische Bauelemente, bei dem auf Galliumnitrid
basierende Verbundhalbleiter oder dergleichen auf der vorderen Oberfläche
eines Saphirsubstrats geschichtet sind, entlang von Straßen
geschnitten und in einzelne optische Bauelemente, wie zum Beispiel
Licht emittierende Dioden, Laserdioden oder dergleichen, getrennt,
die in verschiedenen elektrischen Geräten weitverbreitet
verwendet werden.
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Das
oben beschriebene Schneiden des Halbleiterwafers oder des Wafers
für optische Bauelemente entlang der Straßen wird
im Allgemeinen durch eine als ein Zerteiler (Dicer) bezeichnete Schneideeinrichtung
durchgeführt. Diese Schneideeinrichtung beinhaltet einen
Einspanntisch, der geeignet ist, ein Werkstück, wie zum
Beispiel einen Halbleiterwafer oder dergleichen, zu halten; ein Schneidemittel,
das mit einer Schneideklinge zum Schneiden des durch den Einspanntisch
gehaltenen Werkstücks versehen ist; und ein Bearbeitungswasser-Zuführmittel
zum Zuführen von Bearbeitungswasser zu der Schneideklinge.
Zusätzlich führt das Bearbeitungswasser-Zuführmittel
der sich drehenden Schneideklinge Schneidewasser zu, um diese zu kühlen,
und einem Abschnitt des Werkstücks, der durch die Schneideklinge
geschnitten wird, Bearbeitungswasser zu. Auf diese Weise wird der
Schneidearbeitsschritt durchgeführt.
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Durch
Schneiden von Silizium oder auf Galliumnitrid basierenden Verbundhalbleitern
erzeugter Schneideabfall mischt sich in die wie oben beschrieben
während des Schneidens zugeführte Bearbeitungsflüssigkeit.
Da die mit dem aus dem Halbleitermaterial bestehenden Schneideabfall
vermischte Bearbeitungsabfallflüssigkeit die Umwelt verschmutzt, wird
eine Abfallflüssigkeits-Aufbereitungsvorrichtung verwendet,
um den Schneideabfall vor der Wiederverwendung oder Entsorgung zu
entfernen. Siehe zum Beispiel das offengelegte
japanische Patent Nr. 2004-230527 .
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Die
Abfallflüssigkeits-Aufbereitungsvorrichtung beinhaltet
einen Abfallflüssigkeits-Speichertank zum Halten von Bearbeitungsabfallflüssigkeit;
eine Pumpe zum Zuführen der in dem Abfallflüssigkeits-Speichertank
gehaltenen Bearbeitungsabfallflüssigkeit; ein Abfallflüssigkeits- Filtermittel
zum Filtern der durch die Pumpe zugeführten Bearbeitungsabfallflüssigkeit,
um diese zu Klarwasser aufzubereiten; und einen Klarwasser-Speichertank
zum Halten des durch das Abfallflüssigkeits-Filtermittel
aufbereiteten Klarwassers. Die Abfallflüssigkeits-Aufbereitungsvorrichtung
beinhaltet ferner eine Klarwasser-Zuführpumpe zum Zuführen
des in dem Klarwasser-Speichertank gehaltenen Klarwassers; ein Steuermittel
zum Steuern der oben beschriebenen Komponenten; und eine mit einem
Anzeigemittel versehene Schalttafel zum Anzeigen der Betriebsbedingungen
der durch das Steuermittel gesteuerten Komponenten. Ein Aufbaubereich
von erheblicher Größe ist erforderlich, um die
Komponenten anzuordnen, so dass ein Reinraum mit hohen Unterhaltskosten
nicht effektiv genutzt werden kann.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Dementsprechend
ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Bearbeitungsabfallflüssigkeits-Aufbereitungsvorrichtung
bereitzustellen, die geeignet ist, auf eine vollkommen kompakte
Weise konfiguriert zu werden.
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Gemäß einem
Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Bearbeitungsabfallflüssigkeits-Aufbereitungsvorrichtung
bereitgestellt, die beinhaltet: einen Abfallflüssigkeits-Speichertank
zum Halten von Bearbeitungsabfallflüssigkeit, die aus einer
Bearbeitungseinrichtung während der Bearbeitung zugeführter
Bearbeitungsflüssigkeit erzeugt wird; eine Abfallflüssigkeits-Zuführpumpe
zum Zuführen der in dem Abfallflüssigkeits-Speichertank
gehaltenen Bearbeitungsabfallflüssigkeit; ein Abfallflüssigkeits-Filtermittel
mit einem Filter zum Filtern und Aufbereiten der durch die Abfallflüssigkeits-Zuführpumpe
zugeführten Bearbeitungsabfallflüssigkeit zu Klarwasser
und einer Klarwasser-Aufnahmewanne, die den Filter lösbar
hält; einen Klarwasser-Speichertank zum Halten des durch
das Abfallflüssigkeits-Filtermittel aufbereiteten Klarwassers; eine
Klarwasser-Zuführpumpe zum Zuführen des in dem
Klarwasser-Speichertank gehaltenen Klarwassers; ein Reinwasser-Erzeugungsmittel
mit einem Ionenaustauschmittel zum Aufbereiten des durch die Klarwasser-Zuführpumpe zugeführten
Klarwassers zu Reinwasser und einer Halterungsbasis zum lösbaren
Halten des Ionenaustauschmittels; ein Reinwasser-Temperaturanpassmittel
zum Anpassen des durch das Reinwasser-Erzeugungsmittel aufbereiteten
Reinwassers auf eine vorgegebene Temperatur; ein Steuermittel zum
Steuern der oben beschriebenen Komponenten; eine Schalttafel mit
einem Eingabemittel zum Zuführen von Bearbeitungsinformation
zu dem Steuermittel und einem Anzeigemittel zum Anzeigen eines durch das
Steuermittel bewirkten Betriebszustands; und ein Gehäuse
zum Aufnehmen der oben beschriebenen Komponenten.
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Vorzugsweise
beinhaltet das Gehäuse eine untere Wand, eine obere Wand,
eine linke Seitenwand, eine rechte Seitenwand, eine hintere Wand und
eine Öffnungs/Verschluss-Tür zum Öffnen/Schließen
einer vorderen Öffnung; ist der Abfallflüssigkeitstank
an der unteren Wand und nahe zu der hinteren Wand angeordnet, der
Klarwasser-Speichertank neben dem Abfallflüssigkeitstank
und an dem Mittelabschnitt der unteren Wand angeordnet und das Reinwasser-Erzeugungsmittel
an der unteren Wand neben dem Klarwasser-Speichertank und nahe zu
der vorderen Öffnung angeordnet; ist das Abfallflüssigkeits-Filtermittel
oberhalb des Reinwasser-Erzeugungsmittels angeordnet; ist das Reinwasser-Temperaturanpassmittel
oberhalb des Abfallflüssigkeitstanks angeordnet; und sind
das Steuermittel und die Schalttafel oberhalb des Abfallflüssigkeits-Filtermittels
angeordnet und ist die Schalttafel an der vorderen Seite des Gehäuses
angeordnet.
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Bei
der Bearbeitungsabfallflüssigkeits-Aufbereitungsvorrichtung
gemäß der vorliegenden Erfindung ist der Abfallflüssigkeitstank
an der unteren Wand, die einen Teil des Gehäuses bildet,
so angeordnet, dass er nahe zu der hinteren Wand liegt. Der Klarwasser-Speichertank
ist neben dem Abfallflüssigkeitstank und an dem Mittelabschnitt
der unteren Wand angeordnet. Das Reinwasser-Erzeugungsmittel ist
neben dem Klarwasser-Speichertank und nahe zu der vorderen Öffnung
angeordnet. Das Abfallflüssigkeits-Filtermittel ist oberhalb
des Reinwasser-Erzeugungsmittels angeordnet. Das Reinwasser-Temperaturanpassmittel
ist oberhalb des Abfallflüssigkeitstanks angeordnet. Das
Steuermittel und die Schalttafel sind oberhalb des Abfallflüssigkeits-Filtermittels
angeordnet und die Schalttafel ist an der vorderen Seite des Gehäuses
angeordnet. Somit kann die gesamte Vorrichtung kompakt konfiguriert
werden, ohne die Bedienung durch einen Benutzer zu beeinträchtigen,
so dass ein Reinraum mit hohen Unterhaltskosten effektiv genutzt
werden kann.
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Die
obigen und andere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden
Erfindung und die Art und Weise, diese zu verwirklichen, werden
offenkundiger werden und die Erfindung selbst wird am besten verstanden
werden, indem die folgende Beschreibung und die angefügten
Ansprüche mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen,
die einige bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung zeigen,
studiert werden.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
eine erklärende Darstellung, die Komponenten einer Bearbeitungsabfallflüssigkeits-Aufbereitungsvorrichtung,
die gemäß der vorliegenden Erfindung konfiguriert
ist, entsprechend einem Fluss von Abfallflüssigkeit veranschaulicht;
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2 ist
eine perspektivische Ansicht eines Gehäuses, in dem die
Komponenten der in 1 gezeigten Abfallflüssigkeits-Aufbereitungsvorrichtung angeordnet
sind;
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3 ist
eine perspektivische Ansicht, welche die in dem Gehäuse
angeordneten Komponenten der Bearbeitungsabfallflüssigkeits-Aufbereitungsvorrichtung
veranschaulicht, wenn man durch die Wände sieht, die das
in 2 gezeigte Gehäuse bilden;
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4 ist
eine perspektivische Ansicht, die einen Zustand veranschaulicht,
in dem das Reinwasser-Erzeugungsmittel, das einen Teil der in 3 gezeigten
Bearbeitungsabfallflüssigkeits-Aufbereitungsvorrichtung
bildet, durch eine vordere Öffnung des Gehäuses
herausgezogen ist; und
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5 ist
eine perspektivische Ansicht, die einen Zustand veranschaulicht,
in dem ein Abfallflüssigkeits-Filtermittel, das einen Teil
der in 3 gezeigten Bearbeitungsabfallflüssigkeits-Aufbereitungsvorrichtung
bildet, durch die vordere Öffnung des Gehäuses
herausgezogen ist.
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AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG
DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Bevorzugte
Ausführungsformen der gemäß der vorliegenden
Erfindung konfigurierten Bearbeitungsabfallflüssigkeits-Aufbereitungsvorrichtung werden
nachfolgend ausführlich mit Bezug auf die beigefügten
Zeichnungen beschrieben. 1 veranschaulicht Komponenten
der gemäß der vorliegenden Erfindung konfigurierten
Bearbeitungsabfallflüssigkeits-Aufbereitungsvorrichtung
entsprechend dem Fluss von Bearbeitungsabfallflüssigkeit.
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Die
in einer Ausführungsform veranschaulichte Bearbeitungsabfallflüssigkeits-Aufbereitungsvorrichtung beinhaltet
einen Abfallflüssigkeitstank 2 zum Halten von.
Bearbeitungsabfallflüssigkeit; und eine Abfallflüssigkeits-Zuführpumpe 3 zum
Zuführen der in dem Abfallflüssigkeitstank 2 gehaltenen
Bearbeitungsabfallflüssigkeit. Der Abfallflüssigkeitstank 2 ist über
eine Zuführleitung 20 mit einem Bearbeitungsflüssigkeits-Zuführmittel
verbunden, das in einer nicht gezeigten Bearbeitungseinrichtung,
wie zum Beispiel einer Schneideeinrichtung, angebracht ist. Das
heißt der Abfallflüssigkeitstank 2 nimmt über die
Zuführleitung 20 die von dem in der nicht gezeigten
Bearbeitungseinrichtung, wie zum Beispiel einer Schneideeinrichtung,
angebrachten Bearbeitungsabfallflüssigkeits-Zuführmittel
eingeführte Bearbeitungsabfallflüssigkeit auf.
Die Abfallflüssigkeits-Zuführpumpe 3 zum
Zuführen von Bearbeitungsabfallflüssigkeit ist
an der oberen Wand des Abfallflüssigkeitstanks 2 angebracht.
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Die
durch die Abfallflüssigkeits-Zuführpumpe 3 zugeführte
Bearbeitungsabfallflüssigkeit wird über eine Zuführleitung 30,
die aus einem flexiblen Schlauch besteht, einem Abfallflüssigkeits-Filtermittel 4 zugeführt.
Das Abfallflüssigkeits-Filtermittel 4 beinhaltet
eine Klarwasser-Aufnahmewanne 41; und einen ersten Filter 42a und
einen zweiten Filter 42b, die an der Klarwasser-Aufnahmewanne 41 angeordnet
sind. Der erste Filter 42a und der zweite Filter 42b sind
lösbar an der Klarwasser-Aufnahmewanne 41 angebracht.
Elektromagnetische Ein/Aus-Ventile 43a, 43b sind
an der Leitung 30 angeordnet, welche die Abfallflüssigkeits-Zuführpumpe 3 mit
dem ersten Filter 42a und dem zweiten Filter 42b verbindet.
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Wenn
das elektromagnetische Ein/Aus-Ventil 43a betätigt
oder angeschaltet wird, so dass es sich öffnet, wird die
durch die Abfallflüssigkeits-Zuführpumpe 3 zugeführte
Bearbeitungsabfallflüssigkeit in den ersten Filter 42a eingeführt.
Wenn das elektromagnetische Ein/Aus-Ventil 43b betätigt
oder angeschaltet wird, so dass es sich öffnet, wird die durch
die Abfallflüssigkeits-Zuführpumpe 3 zugeführte
Bearbeitungsabfallflüssigkeit in den zweiten Filter 42b eingeführt.
Die in den ersten Filter 42a eingeführte Bearbeitungsabfallflüssigkeit
wird durch den ersten Filter 42a gefiltert und auf ähnliche
Weise wird die in den zweiten Filter 42b eingeführte
Bearbeitungsabfallflüssigkeit durch den zweiten Filter 42b gefiltert. Somit
wird der mit der Bearbeitungsabfallflüssigkeit vermischte
Schneideabfall durch den ersten und den zweiten Filter 42a, 42b eingefangen,
so dass die Bearbeitungsabfallflüssigkeit zu Klarwasser
aufbereitet wird, das in die Klarwasser-Aufnahmewanne 41 hinaus
fließt. Die Klarwasser-Aufnahmewanne 41 ist über
eine aus einem flexiblen Schlauch bestehende Zuführleitung 44 mit
einem Klarwasser-Speichertank 5 verbunden. Somit wird das
in die Klarwasser-Aufnahmewanne 41 hinaus fließende
Klarwasser über die Zuführleitung 44 zur
Speicherung in den Klarwasser-Speichertank 5 zugeführt.
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Ein
Druckerfassungsmittel 31 ist so an der Leitung 30 angeordnet,
dass der Druck der Bearbeitungsabfallflüssigkeit erfasst
wird, die dem ersten und dem zweiten Filter 42a, 42b des
Abfallflüssigkeits-Filtermittels 4 zugeführt
wird. Das Druckerfassungsmittel 31 sendet ein Erfassungssignal
zu einem später beschriebenen Steuermittel. Zum Beispiel kann
das elektromagnetische Ein/Aus-Ventil 43a betätigt
oder angeschaltet werden und wird der Bearbeitungsabfall durch den
ersten Filter 42a gefiltert. In einem solchen Zustand bestimmt,
wenn das Erfassungssignal von dem Druckerfassungsmittel 31 einen
vorgegebenen Druckwert oder mehr erreicht, das Steuermittel, dass
sich Bearbeitungsabfall an dem ersten Filter 42a ansammelt,
so dass die Funktion des Filters verloren geht. Dann unterbricht
das Steuermittel das elektromagnetische Ein/Aus-Ventil 43a oder
schaltet dieses ab und betätigt das elektromagnetische
Ein/Aus-Ventil 43b oder schaltet dieses an. Zusätzlich
zeigt das Steuermittel auf dem an der später beschriebenen
Schalttafel angebrachten Anzeigemittel den Umstand an, dass von
dem ersten Filter 42a auf den zweiten Filter 42b umgeschaltet wird.
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Auf
der Grundlage der wie oben beschrieben auf dem Anzeigemittel angezeigten
Meldung erkennt ein Benutzer, dass der erste Filter 42a das
Ende seiner Benutzbarkeit erreicht, und kann dann den ersten Filter
ersetzen. Andererseits kann das elektromagnetische Ein/Aus-Ventil 43b betätigt
oder angeschaltet werden und der Bearbeitungsabfall durch den zweiten
Filter 42b gefiltert werden. In einem solchen Zustand bestimmt,
wenn das Erfassungssignal von dem Druckerfassungsmittel 31 einen
vorgegebenen Druckwert oder mehr erreicht, das Steuermittel, dass sich
an dem zweiten Filter 42b Bearbeitungsabfall ansammelt,
so dass die Funktion des Filters verlorengeht. Dann unterbricht
das Steuermittel das elektromagnetische Ein/Aus-Ventil 43b oder
schaltet dieses ab und betätigt das elektromagnetische
Ein/Aus-Ventil 43a oder schaltet dieses an. Zusätzlich
zeigt das später beschriebene Steuermittel auf dem an der später
beschriebenen Schalttafel angebrachten Anzeigemittel den Umstand
an, dass von dem zweiten Filter 42b auf den ersten Filter 42a umgeschaltet wird.
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Das
in dem Klarwasser-Speichertank 5 gehaltene und von dem
Abfallflüssigkeits-Filtermittel 4 über
die aus einem flexiblen Schlauch bestehende Zuführleitung 44 zugeführte
Klarwasser wird durch eine Klarwasser-Zuführpumpe 50 über
eine aus einem flexiblen Schlauch bestehende Leitung 51 einem
Reinwasser-Erzeugungsmittel 6 zugeführt. Das Reinwasser-Erzeugungsmittel 6 der
veranschaulichten Ausführungsform beinhaltet eine Halterungsbasis 61;
eine Trennplatte 611, die so an der Halterungsbasis 61 vorgesehen
ist, dass sie sich nach oben erstreckt; und ein Ultraviolett-Bestrahlungsmittel 62, das
an der hinteren Seite der Trennplatte 611 der Halterungsbasis 61 angeordnet
ist. Das Reinwasser-Erzeugungsmittel 6 beinhaltet ferner
ein erstes Ionenaustauschmittel 63a und ein zweites Ionenaustauschmittel 63b,
die jeweils mit einem Ionenaustauschharz versehen sind und an der
vorderen Seite der Trennplatte 611 der Halterungsbasis 61 angeordnet
sind; und einen Feinfilter 64, der an der hinteren Seite
der Trennplatte 611 der Halterungsbasis 61 angeordnet
ist.
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Das
erste und das zweite Ionenaustauschmittel 63a, 63b und
der Feinfilter 64 sind lösbar an der Halterungsbasis 61 angeordnet.
Das durch die Klarwasser-Zuführpumpe 50 über
eine aus einem flexiblen Schlauch bestehende Zuführleitung 51 zugeführte
Klarwasser wird eingeführt und zur Sterilisierung mit Ultraviolett-Bestrahlung
(UV) bestrahlt. Das durch das Ultraviolett-Bestrahlungsmittel 62 sterilisierte
Klarwasser wird über eine Zuführleitung 65 in das
erste Ionenaustauschmittel 63a oder das zweite Ionenaustauschmittel 63b eingeführt.
Im Übrigen sind ein elektromagnetisches Ein/Aus-Ventil 66a und ein
elektromagnetisches Ein/Aus-Ventil 66b an der Zuführleitung 65 angeordnet.
Wenn das elektromagnetische Ein/Aus-Ventil 66a betätigt
oder angeschaltet wird, so dass es sich öffnet, wird das
sterilisierte Klarwasser in das erste Ionenaustauschmittel 63a eingeführt.
Wenn das elektromagnetische Ein/Aus-Ventil 66b betätigt
oder angeschaltet wird, so dass es sich öffnet, wird das
sterilisierte Klarwasser in das zweite Ionenaustauschmittel 63b eingeführt.
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Das
in das erste Ionenaustauschmittel 63a oder das zweite Ionenaustauschmittel 63b eingeführte
Klarwasser wird einem Ionenaustausch unterzogen, um zu Reinwasser
aufbereitet zu werden. Feine Materialien, wie zum Bespiel Harzabfall
des Ionenaustauschharzes, welches das erste und das zweite Ionenaustauschmittel 63a, 63b bildet,
kann sich in einigen Fällen als Folge dessen, dass das
Klarwasser wie oben beschrieben zur Aufbereitung einem Ionenaustausch
unterzogen wird, mit dem Reinwasser vermischen. Deswegen wird bei
der veranschaulichten Ausführungsform das Reinwasser, das
aus dem Klarwasser entsteht, das durch das erste und das zweite Ionenaustauschmittel 63a, 63b zur
Aufbereitung einem Ionenaustausch unterzogen wird, über
eine Leitung 67 in den Feinfilter 64 eingeführt.
Der Feinfilter 64 fängt in das Reinwasser gemischte
feine Materialien, wie zum Beispiel Harzabfall von dem Ionenaustauschharz,
ein.
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Ein
Druckerfassungsmittel 68 ist an der Zuführleitung 67 vorgesehen,
so dass der Druck des von dem ersten und dem zweiten Ionenaustauschmittel 63a, 63b dem
Feinfilter 64 zugeführten Reinwassers erfasst
wird. Das Druckerfassungsmittel 68 sendet ein Erfassungssignal
zu dem Steuermittel. Zum Beispiel bestimmt, wenn das Erfassungssignal des
Druckerfassungsmittels 68 einen vorgegebenen Druckwert
oder mehr erreicht, das später beschriebene Steuermittel,
dass sich an dem Feinfilter 64 feine Materialien, wie zum
Beispiel Harzabfall oder dergleichen, ansammeln, so dass die Funktion
des Filters verlorengeht, was an der später beschriebenen Schalttafel
angezeigt wird. Auf der Grundlage der auf dem Anzeigemittel wie
oben beschrieben angezeigten Meldung erkennt der Benutzer, dass
der Feinfilter 64 das Ende seiner Benutzbarkeit erreicht,
und kann dann den Filter ersetzen.
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Ein
Widerstandsmesser 69 ist an der Zuführleitung 67 angeordnet,
so dass der spezifische Widerstand des dem Feinfilter 64 von
dem ersten und dem zweiten Ionenaustauschmittel 63a, 63b zugeführten
Reinwassers erfasst wird. Der Widerstandsmesser 69 sendet
ein Erfassungssignal zu dem Steuermittel. Das elektromagnetische
Ein/Aus-Ventil 66a kann betätigt oder angeschaltet
werden und Klarwasser kann durch das erste Ionenaustauschmittel 63a zu
Reinwasser aufbereitet werden. In einem solchen Zustand bestimmt,
wenn das Erfassungssignal des Widerstandsmessers 69 einen
vorgegebenen Wert (z. B. 10 MΩ·cm) oder weniger
erreicht, das später beschriebene Steuermittel, dass die
Reinwasser-Aufbereitungskapazität des ersten Ionenaustauschmittels 63a nachlässt.
Zusätzlich wird das elektromagnetische Ein/Aus- Ventil 66a unterbrochen oder
abgeschaltet und das elektromagnetische Ein/Aus-Ventil 66b betätigt
oder angeschaltet. Das später beschriebene Steuermittel
zeigt auf dem an der später beschriebenen Schalttafel vorgesehenen Anzeigemittel
den Umstand an, dass von dem ersten Ionenaustauschmittel 63a auf
das zweite Ionenaustauschmittel 63b umgeschaltet wird.
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Auf
der Grundlage der wie oben beschrieben auf dem Anzeigemittel angezeigten
Meldung erkennt der Benutzer, dass das erste Ionenaustauschmittel 63a das
Ende seiner Benutzbarkeit erreicht, und kann dann das Ionenaustauschharz
des ersten Ionenaustauschmittels 63a ersetzen. Andererseits kann
das elektromagnetische Ein/Aus-Ventil 66b betätigt
oder angeschaltet werden und Klarwasser durch das zweite Ionenaustauschmittel 63b zu
Reinwasser aufbereitet werden. In einem solchen Zustand erkennt,
wenn das Erfassungssignal des Widerstandsmessers 69 einen
vorgegebenen Wert (z. B. 10 MΩ·cm) oder weniger
erreicht, das später beschriebene Steuermittel, dass die
Reinwasser-Aufbereitungskapazität des zweiten Ionenaustauschmittels 63b nachlässt.
Zusätzlich wird das elektromagnetische Ein/Aus-Ventil 66b unterbrochen
oder abgeschaltet und das elektromagnetische Ein/Aus-Ventil 66a betätigt
oder angeschaltet. Das später beschriebene Steuermittel
zeigt auf dem an der Schalttafel vorgesehenen Anzeigemittel den
Umstand an, dass von dem zweiten Ionenaustauschmittel 63b auf
das erste Ionenaustauschmittel 63a umgeschaltet wird.
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Das
durch das Reinwasser-Erzeugungsmittel 6 aufbereitete Reinwasser
wird über eine aus einem flexiblen Schlauch bestehende
Zuführleitung 60 einem Reinwasser-Temperaturanpassmittel 7 zugeführt.
Das dem Reinwasser-Temperaturanpassmittel 7 zugeführte
Reinwasser wird auf eine vorgegebene Temperatur (z. B. 23°C)
angepasst. Das so angepasste Reinwasser wird über eine
Zuführleitung 70 zu einem Bearbeitungsflüssigkeits-Zuführmittel
zirkuliert, das in einer nicht gezeigten Bearbeitungseinrichtung,
wie zum Beispiel einer Schneideeinrichtung oder dergleichen, vorgesehen
ist.
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Der
Abfallflüssigkeitstank 2, das Abfallflüssigkeits-Filtermittel 4,
der Klarwasser-Speichertank 5, das Reinwasser-Erzeugungsmittel 6,
das Reinwasser-Temperaturanpassmittel 7 und die Zuführleitungen,
die oben beschrieben wurden, sind in einem in 2 und 3 veranschaulichten
Anlagengehäuse 10 angeordnet. 2 ist
eine perspektivische Ansicht des Anlagengehäuses 10. 3 veranschaulicht
das Abfallflüssigkeits-Filtermittel 4, den Klarwasser-Speichertank 5,
das Reinwasser-Erzeugungsmittel 6, das Reinwasser-Temperaturanpassmittel 7 und
die Zuführleitungen, die in dem Anlagengehäuse 10 angeordnet
sind, indem durch später beschriebene Wände geblickt
wird, die das Anlagengehäuse 10 bilden. Das Anlagengehäuse 10 der
veranschaulichten Ausführungsform beinhaltet einen Rahmen 110,
der eine wie ein rechteckiges Parallelepiped geformte Gehäusekammer
bildet; eine an dem Rahmen 110 angebrachte untere Wand 121;
eine obere Wand 122; eine linke Seitenwand 123;
eine rechte Seitenwand 124; eine hintere Wand 125;
und eine an der Vorderseite des Rahmens 110 angebrachte Öffnungs/Verschluss-Tür 126 zum Öffnen und
Schließen einer an der vorderen Seite des Rahmens 110 ausgebildeten
vorderen Öffnung 101.
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Der
Abfallflüssigkeitstank 2, der Klarwasser-Speichertank 5 und
das Reinwasser-Erzeugungsmittel 6 sind an der unteren Wand 121 des
wie oben beschrieben konfigurierten Anlagengehäuses 10 angeordnet.
Der Abfallflüssigkeitstank 2 ist nahe zu der hinteren
Wand 125 und an der unteren Wand 121 des Anlagengehäuses 10 angeordnet.
Der Klarwasser-Speichertank 5 ist neben dem Abfallflüssigkeitstank 2 und
an dem Mittelabschnitt der unteren Wand 121 angeordnet.
Das Reinwasser-Erzeugungsmittel 6 ist neben dem Klarwasser-Speichertank 5 nahe
zu der vorderen Öffnung 101 (nahe zu der Öffnungs/Verschluss-Tür 126)
und an der unteren Wand 121 angeordnet.
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Das
Reinwasser-Erzeugungsmittel 6 ist bei der veranschaulichten
Ausführungsform so angeordnet, dass es durch die vordere Öffnung 101 des
Anlagengehäuses 10 herausgezogen werden kann. Spezieller
ist ein Paar von Führungsschienen 130, 130 an
den jeweiligen Innenoberflächen-Unterendabschnitten der
linken Seitenwand 123 und der rechten Seitenwand 124,
die einen Teil des Anlagengehäuses 10 bilden,
so angeordnet, dass sie einander gegenüber und parallel
zu der oberen Oberfläche der unteren Wand 121 liegen
und sich in die Richtung nach hinten und vorne erstrecken. Da die
Halterungsbasis 61 des Reinwasser-Erzeugungsmittels 6 auf dem
Paar von Führungsschienen 130, 130 angeordnet
ist, wird das Reinwasser-Erzeugungsmittel 6 so gehalten,
dass es entlang der Führungsschienen 130, 130 durch
die vordere Öffnung 101 des Anlagengehäuses 10 herausgezogen
werden kann. Dementsprechend können das erste und das zweite
Ionenaustauschmittel 63a, 63b und der Feinfilter 64, die
an der Halterungsbasis 61 angeordnet sind und einen Teil
des Reinwasser-Erzeugungsmittels 6 bilden, leicht ersetzt
werden, indem das Reinwasser-Erzeugungsmittel 6 entlang
der Führungsschienen 130, 130 durch die
vordere Öffnung 101 des Anlagengehäuses 10 herausgezogen
wird, wie in 4 gezeigt ist.
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Bei
der Bearbeitungsabfallflüssigkeits-Aufbereitungsvorrichtung
der veranschaulichten Ausführungsform ist das Abfallflüssigkeits-Filtermittel 4 oberhalb
des Reinwasser-Erzeugungsmittels 6 und des Klarwasser-Speichertanks 5 in
dem Anlagengehäuse 10 angeordnet, so dass es durch
die vordere Öffnung 101 des Anlagengehäuses 10 herausgezogen
werden kann. Spezieller ist ein Paar von Führungsschienen 140, 140 an
den jeweiligen Innenoberflächen-Zwischenabschnitten der
linken Seitenwand 123 und der rechten Seitenwand 124,
die einen Teil des Anlagengehäuses 10 bilden,
so angeordnet, dass sie einander gegenüber und parallel
zu der oberen Oberfläche der unteren Wand 121 (parallel
zu dem Paar von Führungsschienen 130, 130)
liegen und sich in die Richtung nach hinten und vorne erstrecken.
Da die Klarwasser-Aufnahmewanne 41 des Abfallflüssigkeits-Filtermittels 4 auf
dem Paar von Führungsschienen 140, 140 angeordnet
ist, kann das Abfallflüssigkeits-Filtermittel 4 so
gehalten werden, dass es entlang der Führungsschienen 140, 140 durch
die vordere Öffnung 101 des Anlagengehäuses 10 herausgezogen
werden kann.
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Zusätzlich
ist an dem vorderen Ende der Klarwasser-Aufnahmewanne 41,
die einen Teil des Abfallflüssigkeits-Filtermittels 4 bildet,
ein nach unten hervorstehender Griff 411 vorgesehen, um
den Herausziehvorgang des Abfallflüssigkeits-Filtermittels 4 zu
erleichtern. Daher können das erste und das zweite Filtermittel 42a, 42b,
die lösbar an der Klarwasser-Aufnahmewanne 41,
die einen Teil des Abfallflüssigkeits-Filtermittels 4 bildet,
angeordnet sind, leicht ersetzt werden, indem das Abfallflüssigkeits-Filtermittel 4 entlang
des Paars von Führungsschienen 140, 140 durch
die vordere Öffnung 101 des Anlagengehäuses 10 herausgezogen
wird, wie in 5 gezeigt ist. Da das Abfallflüssigkeits-Filtermittel 4 so angeordnet
ist, dass es herausgezogen werden kann, ist die Zuführleitung 44,
welche die Klarwasser-Aufnahmewanne 41 des Abfallflüssigkeits-Filtermittels 4 mit
dem Klarwasser-Speichertank 5 verbindet, ein flexibler
Schlauch.
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Die
Klarwasser-Aufnahmewanne 41 des Abfallflüssigkeits-Filtermittels 4 ist
wie oben beschrieben mit dem Klarwasser-Speichertank 5 durch
die aus einem flexiblen Schlauch bestehende Zuführleitung 44 verbunden.
Im Zusammenhang damit ist eine Schlauchhalteplatte 150 an
der Seite der hinteren Wand 125 des Anlagengehäuses 10 mit
Bezug auf das Abfallflüssigkeits-Filtermittel 4 so
angeordnet, dass sie die Zuführleitung 44 hält.
Diese Schlauchhalteplatte 150 ist geneigt ausgebildet,
so dass sie in Richtung auf die hintere Wand 125 und auch
in Richtung auf die rechte Seitenwand 124 zunehmend erhöht
liegt. Dies kann verhindern, dass sich die aus einem flexiblen Schlauch
bestehende Zuführleitung 44 wegen ihres eigenen
Gewichts nach unten biegt. Zusätzlich kann dies einen Abschnitt
der Leitung 44, der näher zu der Klarwasser-Aufnahmewanne 41 liegt, konstant
auf einer höheren Position halten. Daher kann aus der Klarwasser-Aufnahmewanne 41 fließendes
Klarwasser wegen seines eigenen Gewichts durch die Zuführleitung 44 in
den Klarwasser-Speichertank 5 fließen.
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Bei
der Bearbeitungsabfallflüssigkeits-Aufbereitungsvorrichtung
der veranschaulichten Ausführungsform ist das Reinwasser-Temperaturanpassmittel 7 oberhalb
der Schlauchhalteplatte 150 in dem Anlagengehäuse 10 angeordnet.
Speziell ist das Reinwasser-Temperaturanpassmittel 7 an
einem nicht gezeigten Halterungselement angeordnet, das an der linken
Seitenwand 123 und der rechten Seitenwand 124,
die einen Teil des Anlagengehäuses 10 bilden,
angebracht und daran mit einem geeigneten Befestigungsmittel befestigt
ist.
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Die
Bearbeitungsabfallflüssigkeits-Aufbereitungsvorrichtung
beinhaltet das Steuermittel 8 zum Steuern des Betriebs
der oben beschriebenen Komponenten; und die Schalttafel 9,
die geeignet ist, die Bearbeitungsinformation, wie zum Beispiel
Abfallflüssigkeits-Aufbereitungsanfangs-Information, dem Steuermittel 8 zuzuführen.
Das Steuermittel 8 und die Schalttafel 9 sind
bei der veranschaulichten Ausführungsform integral miteinander
ausgebildet. Das Steuermittel 8 und die Schalttafel 9,
die wie oben beschrieben konfiguriert sind, sind oberhalb des Abfallflüssigkeits-Filtermittels 4 in
dem Anlagengehäuse 10 angeordnet. Speziell sind
das Steuermittel 8 und die Schalttafel 9 an einem
nicht gezeigten Halterungselement angeordnet, das an der linken
Seitenwand 123 und der rechten Seitenwand 124,
die einen Teil des Anlagengehäuses 10 bilden,
angebracht und daran mit einem geeigneten Befestigungsmittel befestigt
ist. In diesem Fall befindet sich die Schalttafel 9 an
der vorderen Seite des Anlagengehäuses 10 (an der
Seite, an der die Öffnungs/Verschluss-Tür 126 angeordnet
ist). Zusätzlich sind ein Eingabemittel 91 zum
Zuführen von Bearbeitungsinformation etc., ein Anzeigemittel 92 zum
Anzeigen von durch das Steuermittel 8 verarbeiteter Information
und dergleichen an der Schalttafel 9 angeordnet.
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Die
Bearbeitungsabfallflüssigkeits-Aufbereitungsvorrichtung
ist wie oben beschrieben konfiguriert. Wenn ein Benutzer eine Abfallaufbereitungsanfangs-Information
von der Schalttafel 9 dem Steuermittel 8 zuführt,
steuert das Steuermittel 8 die oben beschriebenen Komponenten,
um einen Abfallflüssigkeits-Aufbereitungsarbeitsschritt
durchzuführen. Während der oben beschriebene Abfallflüssigkeits-Aufbereitungsarbeitsschritt
durchgeführt wird, zeigt das Steuermittel 8 das
Folgende auf dem Anzeigemittel 92 der Schalttafel 9 an:
Von dem ersten Filter 42a wird auf den zweiten Filter 42b umgeschaltet, wenn
das elektromagnetische Ein/Aus-Ventil 43a des Abfallflüssigkeits-Filtermittels 4 unterbrochen
oder abgeschaltet wird und das elektromagnetische Ein/Aus-Ventil 43b betätigt
oder angeschaltet wird; von dem zweiten Filter 42b wird
auf den ersten Filter 42a umgeschaltet, wenn das elektromagnetische Ein/Aus-Ventil 43b unterbrochen
oder abgeschaltet wird und das elektromagnetische Ein/Aus-Ventil 43a betätigt
oder angeschaltet wird.
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Auf
der Grundlage der wie oben beschrieben auf dem Anzeigemittel 92 angezeigten
Meldung erkennt der Benutzer, dass der erste oder der zweite Filter 42a oder 42b das
Ende seiner Benutzbarkeit erreicht. Der Benutzer öffnet
die Öffnungs/Verschluss-Tür 126 des Anlagengehäuses 10 und
zieht das Abfallflüssigkeits-Filtermittel 4 entlang
des Paars von Führungsschienen 140, 140 durch
die vordere Öffnung 101 des Anlagengehäuses 10 heraus.
Zu diesem Zeitpunkt zieht der Benutzer es heraus, während
er den Griff 411 hält, der an der Klarwasser-Aufnahmewanne 41,
die einen Teil des Abfallflüssigkeits-Filtermittels 4 bildet,
vorgesehen ist. Auf diese Weise ersetzt der Benutzer den ersten
oder den zweiten Filter 42a oder 42b entsprechend
der auf dem Anzeigemittel 92 angezeigten Meldung.
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Während
der Durchführung des Abfallsflüssigkeits-Aufbereitungsarbeitsschritts
bestimmt, wenn das Erfassungssignal von dem Druckerfassungsmittel 68 den
vorgegebenen Wert oder mehr erreicht, das Steuermittel 8,
dass der Feinfilter 64 seine Funktion verliert und zeigt
dies auf dem Anzeigemittel 92 der Schalttafel 9 an.
Auf der Grundlage der wie oben beschrieben auf dem Anzeigemittel
angezeigten Meldung erkennt der Benutzer, dass der Feinfilter 64 das Ende
seiner Benutzbarkeit erreicht, öffnet die Öffnungs/Verschluss-Tür 126 des
Anlagengehäuses 10 und zieht das Reinwasser-Erzeugungsmittel 6 entlang
des Paars von Führungsschienen 130, 130 durch
die vordere Öffnung 101 des Anlagengehäuses 10 heraus.
In diesem Fall zieht der Benutzer es heraus, während er
den Griff 612 hält, der an der Trennplatte 611 vorgesehen
ist, die so an der Halterungsbasis 61 vorgesehen ist, dass
sie sich nach oben erstreckt, wobei die Halterungsbasis 61 einen Teil
des Reinwasser-Erzeugungsmittels 6 bildet. Auf diese Weise
ersetzt der Benutzer den Feinfilter 64 entsprechend der
auf dem Anzeigemittel 92 angezeigten Meldung.
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Ferner
zeigt während der Durchführung des oben beschriebenen
Abfallflüssigkeits-Aufbereitungsarbeitsschritts, wenn das
Erfassungssignal von dem Widerstandsmesser 69 den vorgegebenen
Wert (z. B. 10 MΩ·cm) oder weniger erreicht, das
Steuermittel 8 auf dem Anzeigemittel 92 der Schalttafel 9 das
Folgende an: Von dem ersten Ionenaustauschmittel 63a wird
auf das zweite Ionenaustauschmittel 63b umgeschaltet, wenn
das elektromagnetische Ein/Aus-Ventil 66a des Reinwasser-Erzeugungsmittels 6 unterbrochen
oder abgeschaltet wird und das elektromagnetische Ein/Aus-Ventil 66b betätigt
oder angeschaltet wird. Zusätzlich wird von dem zweiten Ionenaustauschmittel 63b auf
das erste Ionenaustauschmittel 63a umgeschaltet, wenn das
elektromagnetische Ventil 66b unterbrochen oder abgeschaltet wird
und das elektromagnetische Ventil 66a betätigt oder
angeschaltet wird.
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Auf
der Grundlage der auf dem Anzeigemittel 92 angezeigten
Meldung erkennt der Benutzer, dass das erste oder das zweite Ionenaustauschmittel 63a oder 63b das
Ende seiner Benutzbarkeit erreicht, öffnet die Öffnungs/Verschluss-Tür 126 des
Anlagengehäuses 10 und zieht das Reinwasser-Erzeugungsmittel 6 entlang
des Paars von Führungsschienen 130, 130 durch
die vordere Öffnung 101 des Anlagengehäuses 10 heraus.
Zu diesem Zeitpunkt zieht der Benutzer das Reinwasser-Erzeugungsmittel 6 heraus,
während er den Griff 612 hält, der an
der Trennplatte 611 vorgesehen ist, die so an der Halterungsbasis 61 vorgesehen
ist, dass sie sich nach oben erstreckt. Der Benutzer ersetzt das
Ionenaustauschharz des ersten oder des zweiten Ionenaustauschmittels 63a oder 63b entsprechend
der auf dem Anzeigemittel 92 angezeigten Meldung.
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Die
Bearbeitungsabfallflüssigkeits-Aufbereitungsvorrichtung
ist wie oben beschrieben konfiguriert. Das heiß der Abfallflüssigkeitstank 2,
der Klarwasser-Speichertank 5 und das Reinwasser-Erzeugungsmittel 6 sind
an der unteren Wand 121 des Anlagengehäuses 10 angeordnet.
Das Abfallflüssigkeits-Filtermittel 4 ist oberhalb
des Reinwasser-Erzeugungsmittels 6 angeordnet. Das Reinwasser-Temperaturanpassmittel 7 ist
oberhalb der Schlauchhalteplatte 150 (oberhalb des Abfallflüssigkeitstanks 2)
angeordnet. Das Steuermittel 8 und die Schalttafel 9 sind
nahe zu dem Reinwasser-Temperaturanpassmittel 7 angeordnet.
Daher kann die gesamte Vorrichtung kompakt konfiguriert werden, ohne
die Bedienung durch den Benutzer zu beeinträchtigen, so
dass ein Reinraum mit hohen Unterhaltskosten effektiv genutzt werden
kann. Das Reinwasser-Erzeugungsmittel 6 ist nahe zu der
vorderen Öffnung 101 des Anlagengehäuses 10 angeordnet und
so konfiguriert, dass es durch die vordere Öffnung 101 herausgezogen
werden kann. Deshalb können das erste und das zweite Ionenaustauschmittel 63a, 63b und
der Feinfilter 64 leicht ersetzt werden. Ferner können,
da auch das Abfallflüssigkeits-Filtermittel 4 so
konfiguriert ist, dass es durch die vordere Öffnung 101 des
Anlagengehäuses 10 herausgezogen werden kann,
der erste und der zweite Filter 42a, 42b leicht
ersetzt werden.
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Die
vorliegende Erfindung ist nicht auf die Einzelheiten der oben beschriebenen
bevorzugten Ausführungsformen beschränkt. Der
Umfang der Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche
definiert und alle Veränderungen und Abwandlungen, die innerhalb
der Äquivalenz des Umfangs der Ansprüche liegen,
werden deshalb durch die Erfindung umfasst.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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