JP4107528B2 - 加工水コントロールシステム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイシング装置等の加工装置から排出された廃水を加工水に再生して再利用する加工水コントロールシステムに関する。
【0002】
【従来の技術】
加工装置例えばダイシング装置、研磨装置、ポリッシング装置等が設置されている製造ラインにおいては、一般的に加工水が一括供給され且つ一括処理されるシステムが導入されている。即ち、市水から純水を生成する純水生成設備、その純水生成設備から各種加工装置に直接的に又は加工装置固有の加工水を生成する加工水調整装置を介して加工水を供給する供給経路、その供給経路から各種加工装置に供給され使用済みとなった廃水を回収する廃水処理設備といった設備から構成されているシステムである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようなシステムにおいては、大量の廃水が捨てられることから自然環境を著しく汚染するという問題、及び市水から純水を生成するには相当のコスト高となることから不経済であるという問題があった。
又、廃水処理設備において廃水を純水に再生して循環することも考えられるが、加工水調整装置で調整された固有の加工水を純水に戻す必要があり、純度の面で問題があることから循環システムとして完成されたものは従来存在しない。
【0004】
本発明は、上記従来の問題を全て解消するためになされ、自然環境を汚染することなく、純水生成を低コストで行え、加工水の純度の面でも問題がなく、加工水の廃水処理と再利用を図れるようにした加工水コントロールシステムを提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するための技術的手段として、本発明は、加工装置に連通し使用された加工水を排出する廃水経路と、この廃水経路に連通し廃水を濾過して加工水を再生する廃水リサイクル装置と、この廃水リサイクル装置に連通し生成された加工水を適宜の温度に調整する加工水調整装置と、この加工水調整装置に連通し定温に生成された加工水を前記加工装置に供給する加工水供給経路と、から構成される加工水コントロールシステムであって、
前記廃水リサイクル装置は、前記廃水経路から排出された廃水を貯水する廃水貯水タンクと、この廃水貯水タンクの廃水をセラミックフィルターに送り込む第1のポンプと、セラミックフィルターを通過して濃縮された廃水を適宜の割合で濃縮廃水経路と循環経路とに分岐する流量調整弁と、からなる廃水部と、前記セラミックフィルターによって生成された加工水を貯水する加工水貯水タンクと、この加工水貯水タンクの加工水を紫外線照射手段に送り込む第2のポンプと、紫外線照射手段を通過した加工水のイオンを調整するイオン交換手段と、このイオン交換手段を通過した加工水から微細なコンタミを排除する超フィルターと、からなる再生部と、から構成されている加工水コントロールシステムを要旨とする。
又、前記循環経路に流れた廃水が、少なくとも前記第1のポンプと前記セラミックフィルターと前記流量調整弁とでクロスフローを形成すること、
前記廃水リサイクル装置の加工水貯水タンクには外部から加工水が適宜補給されること、
前記加工装置はダイシング装置であること、
を特徴とするものである。
【0006】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳説する。
図1は、クリーンルーム等に複数の加工装置1(例えば3台のダイシング装置)が並置された状態を示すもので、各加工装置1は切削手段2を有し、スピンドルユニット3の先端部には回転ブレード4が装着され、加工水5を供給しながら半導体ウェーハ等の被加工物Wを切削する。
【0007】
前記加工水5は、クリーンルーム内に設置された加工水調整装置6から供給経路7を経て各加工装置1にそれぞれ送られる。その際、加工水調整装置6は、前記被加工物Wの種類に応じて温度を調整した固有の加工水を送るようにしてある。
【0008】
加工装置1で使用された加工水は、各加工装置1に連通した廃水経路8に排水されると共に、この廃水経路8を経て図2に示す廃水リサイクル装置9における廃水部9aの廃水貯水タンク10に送り込まれる。廃水リサイクル装置9は、廃水部9aと再生部9bとから構成され、前記廃水経路8から送り込まれた廃水を濾過して加工水を再生する機能を有する。
【0009】
前記廃水貯水タンク10に貯水された廃水は、第1のポンプ11の作動によりセラミックフィルター12に送り込まれ、このセラミックフィルター12により濾過される。濾過により生成された加工水は、前記再生部9bの加工水貯水タンク13に送り込まれる一方、セラミックフィルター12を通過して濃縮された廃水は、流量調整弁14を介して適宜の割合で濃縮廃水経路15と循環経路16とに分岐させられる。
【0010】
循環経路16側に流された濃縮廃水は、前記廃水貯水タンク10とセラミックフィルター12とを接続する管路に合流すると共に、前記第1のポンプ11によって廃水貯水タンク10からの廃水と共に再度セラミックフィルター12に送り込まれて濾過される。従って、クロスフローされることになる。前記濃縮廃水経路15側に流された少量の濃縮廃水は外部に捨てられる。
【0011】
前記クロスフローについて説明すると、例えば廃水貯水タンク10から第1のポンプ11によって10リットルの廃水がセラミックフィルター12に送り込まれた場合、セラミックフィルター(0.1μmメッシュ)で2リットルの加工水が作られ、この加工水は前記加工水貯水タンク13に送られる一方、セラミックフィルター12を通過した8リットルの濃縮廃水は、前記流量調整弁14で分岐されて0.5リットルが濃縮廃水経路15側に流され、残りの7.5リットルが循環経路16側に流される。そして、廃水貯水タンク10からは新たに2.5リットルの廃水が流れ込んで7.5リットルの濃縮廃水と合流して10リットルとなり、この10リットルの廃水が第1のポンプ11によってセラミックフィルター13に送り込まれる。このような動作を続けることをクロスフローという。
尚、図2に鎖線で示す如く、経路16′によって循環経路16に流れた廃水を廃水貯水タンク10に戻し、この廃水貯水タンク10、第1のポンプ11、セラミックフィルター12、流量調整弁14でクロスフローを形成しても良い。
【0012】
このようなクロスフローによって生成され且つ前記加工水貯水タンク13に送られた加工水は、再生部9bに設置された第2のポンプ17により紫外線照射手段18に送り込まれて紫外線(UV)が照射され殺菌される。次いでイオン交換手段19によりpH等のイオンが調整され、更に超フィルター20により微細なコンタミ等の混合物が排除された後に前記加工水調整装置6に送り込まれ、加工水として再利用されるのである。この加工水は純度の面で何ら問題はない。
【0013】
図2において、21は純水補給部であって前記加工水貯水タンク13に接続され、その管路の途中には開閉弁22が設けられ、この開閉弁22を開くと純水補給部21から加工水貯水タンク13に純水が適量補給される。リサイクルにより減量した加工水を補うためである。
【0014】
このようにして、複数の加工装置1と廃水リサイクル装置9とを組み合わせることで、加工水を循環し再生することができ、加工水の有効利用が図れると共に、外部への廃水量を極少に抑えることができる。
【0015】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る加工水コントロールシステムによれば、加工装置において使用された加工水を循環して再利用するように構成したので、加工水の消耗が著しく減少し、常に純水等の加工水を製造する必要がなく経済性に優れている。加工水が不足した場合には、外部から僅かに補給するだけで充分な加工水を加工装置に供給することができる。
又、廃水は濃縮されているので廃水量が著しく減少し、しかも広範囲に広がることはなく環境汚染を最小限に抑えることができると共に、廃水処理のコストが抑えられることからきわめて経済的である。
更に、例えばダイシング装置のように被加工物の種類によって又はユーザー固有の理由により加工水のpH等に個性を有している場合においては、加工水が循環していることからその個性を失うことが少なく、従来の如く使い捨ての場合に比べ加工水の調整コストを著しく低減できる等の優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る加工水コントロールシステムの実施形態を示すもので、加工装置への加工水の供給及び廃水状態の説明図。
【図2】廃水リサイクル装置のブロック図。
【符号の説明】
1…加工装置
2…切削手段
3…スピンドルユニット
4…回転ブレード
5…加工水
6…加工水調整装置
7…供給経路
8…廃水経路
9…廃水リサイクル装置
10…廃水貯水タンク
11…第1のポンプ
12…セラミックフィルター
13…加工水貯水タンク
14…流量調整弁
15…濃縮廃水経路
16…循環経路
17…第2のポンプ
18…紫外線照射手段
19…イオン交換手段
20…超フィルター
21…純水補給部
22…開閉弁
Claims (4)
- 加工装置に連通し使用された加工水を排出する廃水経路と、この廃水経路に連通し廃水を濾過して加工水を再生する廃水リサイクル装置と、この廃水リサイクル装置に連通し生成された加工水を適宜の温度に調整する加工水調整装置と、この加工水調整装置に連通し定温に生成された加工水を前記加工装置に供給する加工水供給経路と、から構成される加工水コントロールシステムであって、
前記廃水リサイクル装置は、前記廃水経路から排出された廃水を貯水する廃水貯水タンクと、この廃水貯水タンクの廃水をセラミックフィルターに送り込む第1のポンプと、セラミックフィルターを通過して濃縮された廃水を適宜の割合で濃縮廃水経路と循環経路とに分岐する流量調整弁と、からなる廃水部と、前記セラミックフィルターによって生成された加工水を貯水する加工水貯水タンクと、この加工水貯水タンクの加工水を紫外線照射手段に送り込む第2のポンプと、紫外線照射手段を通過した加工水のイオンを調整するイオン交換手段と、このイオン交換手段を通過した加工水から微細なコンタミを排除する超フィルターと、からなる再生部と、から構成されている加工水コントロールシステム。 - 前記循環経路に流れた廃水が、少なくとも前記第1のポンプと前記セラミックフィルターと前記流量調整弁とでクロスフローを形成する請求項1記載の加工水コントロールシステム。
- 前記廃水リサイクル装置の加工水貯水タンクには外部から加工水が適宜補給される請求項1又は2記載の加工水コントロールシステム。
- 前記加工装置はダイシング装置である請求項1、2又は3記載の加工水コントロールシステム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33979198A JP4107528B2 (ja) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | 加工水コントロールシステム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33979198A JP4107528B2 (ja) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | 加工水コントロールシステム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000157996A JP2000157996A (ja) | 2000-06-13 |
JP4107528B2 true JP4107528B2 (ja) | 2008-06-25 |
Family
ID=18330850
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33979198A Expired - Lifetime JP4107528B2 (ja) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | 加工水コントロールシステム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4107528B2 (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002119964A (ja) * | 2000-10-13 | 2002-04-23 | Enzan Seisakusho:Kk | 半導体製造工程における排水循環システム |
JP4749801B2 (ja) * | 2005-08-22 | 2011-08-17 | 株式会社ディスコ | イオン交換樹脂を備えた切削装置 |
JP2007127343A (ja) * | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 定温水供給システム |
JP5086123B2 (ja) * | 2008-02-15 | 2012-11-28 | 株式会社ディスコ | 加工廃液処理装置 |
JP5086124B2 (ja) * | 2008-02-19 | 2012-11-28 | 株式会社ディスコ | 加工廃液処理装置 |
JP5086125B2 (ja) * | 2008-02-19 | 2012-11-28 | 株式会社ディスコ | 加工廃液処理装置 |
JP5149035B2 (ja) * | 2008-02-28 | 2013-02-20 | 株式会社ディスコ | 加工廃液処理装置 |
JP2009214193A (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工廃液処理装置 |
JP5461918B2 (ja) * | 2009-08-19 | 2014-04-02 | 株式会社ディスコ | 加工廃液処理装置 |
JP5598841B2 (ja) * | 2010-02-23 | 2014-10-01 | 国立大学法人岩手大学 | 機械加工システム |
CN102528539B (zh) * | 2010-10-08 | 2014-09-03 | 芝浦机械电子装置股份有限公司 | 净化装置 |
JP2012223846A (ja) * | 2011-04-19 | 2012-11-15 | Disco Corp | 加工廃液処理装置 |
JPWO2013054577A1 (ja) * | 2011-10-12 | 2015-03-30 | 株式会社村田製作所 | 加工廃液循環装置及び加工廃液循環方法 |
JPWO2013057992A1 (ja) * | 2011-10-20 | 2015-04-02 | 株式会社村田製作所 | 加工廃液循環装置 |
JP6253089B2 (ja) * | 2013-12-10 | 2017-12-27 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
-
1998
- 1998-11-30 JP JP33979198A patent/JP4107528B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000157996A (ja) | 2000-06-13 |
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A621 | Written request for application examination |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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